JP2004259639A - 放電ランプ及びその電極構造 - Google Patents

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Abstract

【課題】電極との密着性に優れ、また、電極の温度上昇を適切に抑制でき、さらに、電極表面の保護に優れ、また、放電ランプの内管壁の黒化を少なく、そして、放電ランプの使用寿命を長くすることができる放電ランプ及びその電極構造を提供すること。
【解決手段】バルブ中央の膨出する発光空間内に対向して陽極3と陰極6が設置された放電ランプ1及びその電極構造において、前記陽極3及び陰極6の内の少なくとも一方の電極の先端近傍を除く外表面に金属の酸化物を少なくとも1種含む放熱層を形成した。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ショートアーク型放電ランプなどの特定波長を含む紫外線を照射する放電ランプ及びその電極構造に関し、詳しくは、電極の温度上昇を抑制することに優れた放電ランプ及びその電極構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体の配線パターンを形成する際に、紫外線照射するショートアーク型などの放電ランプが光源として使用されている。この放電ランプは、陽極を上または下にした状態で垂直点灯して使用している。そして、前記放電ランプは、点灯すると高熱となることが知られている。また、放電ランプを点灯状態にすると、陽極は陰極から送られてくる電子が衝突し、その衝突により蒸発、消耗する。さらに、電子の衝突により電極が消耗すると、熱対流により放電ランプの内壁、特に発光管中央部から上部側の内管壁が黒化する問題があった。
【0003】
ここで、放電ランプの電極は、陰極の電極及び陽極の電極等があるが、以下の説明において、陰極の電極及び陽極の電極の内のいずれか一方または両方を単に電極と総称する。
【0004】
輻射によって放出される熱量の増加を図るために、電極を炭素や、粉末金属のような黒い層で被覆することも考えられるが、これらの被覆では、電極材料と化合物を作って表面から消失するか、あるいは表面からわずかにしか付着せず、または全く付着しないという問題がある。
【0005】
例えば、特許文献1ではX線管陽極において焦点路以外の部分の黒色材料の被覆を行うX線回転陽極について開示されている。ここでは、ガラス管球の黒化による可視光や紫外線の低下の防止が目的でないだけではなく、産業上の利用分野である使用目的が異なり、この皮膜は放熱を助力する目的だけに限られている。
【0006】
また、特許文献2では、ランプ点灯時の陽極の温度を下げるべく、陽極の先端を除く表面に炭化タンタルとタングステンの混合物からなる多孔質層を形成することが開示されている。しかし、炭化タンタルの還元反応によって、この多孔質層も分解してしまい寿命が短いという問題がある。
【0007】
また、特許文献3には、放電ランプの陽極に炭化タングステン、炭化タンタルおよびタングステンの混合物を焼結して多孔質層を形成した放電ランプ陽極の構造が開示されている。
【0008】
また、特許文献4には、発光管内に陽極と陰極が対向配置されたショートアーク型放電ランプにおいて、点灯時に陽極温度の昇温をできるたけ抑制し、陽極部材の早期蒸発に起因する発光管の内壁黒化を抑え、前記ランプの使用寿命を延ばす陽極構造を提供することが開示されている。具体的に、この文献では、陽極表面は微粒子状のタングステンの焼結層の形成が提案されている。これら放電ランプ陽極の表面に表面層を形成する場合には、陽極側を保護すると共に、陽極の温度上昇を抑制する構成であるが、いずれも高融点金属またはその炭化物を表面層に形成することに特徴があるものである。
【0009】
また、特許文献5には、陰極の外表面に炭化タンタル及び酸化トリウムの混合物よりなる多孔質層を焼結した放電灯の陰極構造が開示されている。この特許文献5では、陰極の多孔質からなる放電層にトリウムを使用していることから、放射性物質の使用を余儀なくされるものである。
【0010】
さらに、特許文献6には、陰極の放熱層としてタングステン粉末の焼結層またはネジ状あるいは凹凸状の溝を形成した構造を備えているものが開示されている。特許文献6の場合も、タングステン粉末の焼結層またはネジ状あるいは凹凸状の溝では充分な放熱効果が得られないとういう問題がある。
【0011】
【特許文献1】
特開昭48―83789号公報
【0012】
【特許文献2】
特開平2−256150号公報
【0013】
【特許文献3】
特開平9―115479号公報
【0014】
【特許文献4】
特開平9−231946号公報
【0015】
【特許文献5】
特開2000−306546公報
【0016】
【特許文献6】
特開平9−115478号公報
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の放電ランプの構成では、以下のような問題点が存在していた。
【0018】
(イ)上記従来の放電ランプにおいては、電極の表面に炭化タンタル、炭化タングステンやタングステンを焼結した構成としているが、その炭化タンタルおよびタングステン共に融点が高く、かつ、電極との密着性が悪いため、必ずしも電極の温度上昇を抑制することができなかった。
【0019】
(ロ)また、電極との密着性が悪いことから、炭化タンタル、炭化タングステンやタングステンなどが電極から容易に離脱し、発光管の内管壁の黒化を早める場合もあった。
【0020】
そこで、本発明は、前述の問題点を解決すべく提案されたもので、陽極の電極や陰極の電極との密着性に優れ、また、電極の温度上昇を適切に抑制でき、さらに、電極表面の保護に優れ、また、放電ランプの内管壁の黒化を少なく、そして、放電ランプの使用寿命を長くすることができる放電ランプ及びその電極構造を提供することを技術的課題とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明では、バルブ中央の膨出する発光空間内に対向して陽極の電極と陰極の電極が設置された放電ランプ及びその電極構造において、前記陽極又は陰極の電極の先端近傍を除く外表面に金属の酸化物を少なくとも1種含む放熱層が形成されるように構成したものである。
【0022】
即ち、本発明によれば、バルブ中央の膨出する発光空間内に対向して陽極の電極と陰極の電極が設置された放電ランプにおいて、前記陽極及び陰極の電極の内の少なくとも一方の電極の先端近傍を除く外表面に金属の酸化物を少なくとも1種含む放熱層が形成されていることを特徴とする放電ランプが得られる。
【0023】
また、本発明によれば、前記放電ランプにおいて、前記放熱層の材料は、典型金属または遷移金属の酸化物を少なくとも1種を含み、前記酸化物としてはアルミナ、酸化チタン、酸化クロム、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化ケイ素、酸化コバルト、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化マグネシウムの単体、もしくはそれらの混合物からなることを特徴とする放電ランプが得られる。
【0024】
また、本発明によれば、前記いずれかの放電ランプにおいて、前記電極の先端近傍を除く外表面を前記酸化物により被覆することにより、点灯動作温度で当該電極側面の波長3μmの分光放射率を0.2以上、点灯動作温度での前記電極側面の波長7μmの分光放射率を0.7以上としたことを特徴とする放電ランプが得られる。
【0025】
また、本発明によれば、前記放電ランプにおいて、前記放熱層が室温で黒色を呈する材料からなり、前記材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはその他の少なくともl種の難溶融性酸化物の添加物とを含む混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプが得られる。ここで、本発明において、難溶融性酸化物としては、例えば、アルミナ、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化ケイ素、酸化コバルト、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化マグネシウム等を用いることができる。
【0026】
また、本発明によれば、前記放電ランプにおいて、前記黒色材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはそれらのアルミナとの混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプが得られる。
【0027】
また、本発明によれば、前記いずれか一つの放電ランプにおいて、前記電極の表面をRmax10μm以上の凹凸面を形成し、その表面を前記放熱層で覆ったことを特徴とする放電ランプが得られる。
【0028】
また、本発明によれば、前記いずれか一つの放電ランプにおいて、前記放熱層の厚みを500μm以下としたことを特徴とする放電ランプが得られる。
【0029】
また、本発明によれば、前記いずれか一つの放電ランプにおいて、前記放熱層は多孔質層であることを特徴とする放電ランプが得られる。
【0030】
また、本発明によれば、バルブ中央の膨出する発光空間内に対向して陽極の電極と陰極の電極が設置された放電ランプの電極構造において、前記陽極及び陰極の電極の内の少なくとも一方の電極の先端近傍を除く外表面に金属の酸化物を少なくとも1種含む放熱層が形成されていることを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0031】
また、本発明によれば、前記放電ランプの電極構造において、前記放熱層の材料は、典型金属または遷移金属の酸化物を少なくとも1種を含み、前記酸化物としてはアルミナ、酸化チタン、酸化クロム、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化ケイ素、酸化コバルト、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化マグネシウムの単体、もしくはそれらの混合物からなることを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0032】
また、本発明によれば、前記いずれかの放電ランプの電極構造において、前記電極の先端近傍を除く外表面を前記酸化物により被覆することにより、点灯動作温度で当該電極側面の波長3μmの分光放射率を0.2以上、点灯動作温度での電極側面の波長7μmの分光放射率を0.7以上としたことを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0033】
また、本発明によれば、前記放電ランプの電極構造において、前記放熱層が室温で黒色を呈する材料からなり、前記材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはその他の少なくともl種の難溶融性酸化物の添加物とを含む混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0034】
また、本発明によれば、前記放電ランプの電極構造において、前記黒色材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはそれらのアルミナとの混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0035】
また、本発明によれば、前記いずれか一つの放電ランプの電極構造において、前記電極の表面をRmax10μm以上の凹凸面を形成し、その表面を前記放熱層で覆ったことを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0036】
また、本発明によれば、前記いずれか一つの放電ランプの電極構造において、前記放熱層の厚みを500μm以下としたことを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0037】
また、本発明によれば、前記いずれか一つの放電ランプの電極構造において、前記放熱層は多孔質であることを特徴とする放電ランプの電極構造が得られる。
【0038】
したがって、本発明の放電ランプ及びその電極構造においては、放熱層が酸化物であることから、放射率が優れるだけでなく、不導体であることからプラズマ中のイオンの授受がなく、管球の黒化を防止する効果が非常に大きい。
【0039】
また、本発明においては、酸化物を中心とした表面層を形成することによって、幅広い波長での分光放射率が向上でき、放熱性にすぐれ、陽極の熱によるダメージを要因とした、ランプ内の黒化の防止を行うことができる。
【0040】
また、前述した特許文献に開示された条件は、陽極の表面を導電体で被覆することを基本にしており、本発明のように、不導体である酸化物の被覆とは異なる。この非導電性被覆により、電流が陽極表面からは流れなくなり、陽極側面の陽イオン、陰イオンともにその授受が無く、ランプ内面の黒化の防止に大幅に役立つ。
【0041】
また、金属材料を基本とした表面のコーティングでは、おのずと放射率に限界があった。これに対して本発明では、酸化物を中心とした表面層を形成することによって、幅広い波長での分光放射率が向上でき、放熱性にすぐれ、陽極の熱によるダメージを要因とした、ランプ内の黒化の防止を行うことかできる。
【0042】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0043】
まず、本発明の第1の実施の形態について説明する。
【0044】
図1は、本発明の第1の実施の形態によるショートアーク型放電ランプの全体の構成を示す正面図、図2は図1の電極部分を示す拡大した正面図である。
【0045】
図1及び図2に示すように、ショートアーク型の放電ランプ1は、石英ガラスで形成されたバルブ2と、このバルブ2内の両端に対向して配置された陽極3および陰極6と、前記両電極3、6のそれぞれの基端側で前記バルブ2に設けた口金部9,10から構成されている。
【0046】
前記バルブ2は、その中央部が膨出して形成された発光管部2aと、この発光管部2aの両側に円管状に延びる封止管部2b、2bとから構成されている。さらに、前記バルブ2内には、所定量の水銀と、常温で所定気圧の不活性ガスとが封入されている。そして、前記バルブ2の発光管部2a内に、前記陽極3および陰極6が所定距離離間した状態で対向して配置されている。
【0047】
前記陽極3は、タングステンなどの部材で所定形状に形成され、その基端側から支持部4を介して金属箔5に接続されている。なお、前記金属箔5は、モリブデン箔で形成され、所定板厚に形成されている。
【0048】
図2を参照すると、前記陽極3は、その先端部を除く外表面の一部に多孔質層よりなる放熱層3cを設けている。この多孔質層よりなる放熱層3cは、酸化物の混合物を焼結して形成される。なお、酸化物粉末の種類によっても陽極3との焼結強度や放射率が異なり、放電ランプ1の種類によっては、混合比率の変更を適宜行うことができる。
【0049】
前記構成の陽極3を形成する場合は、前記した所定量の酸化物粉末の混合物に、溶媒として、例えば、ニトルセルロースおよび酢酸ブチルを混合して加え陽極3の先端部を除く外表面に塗布する。そして、乾燥した後に、減圧雰囲気で高温加熱して焼結している。
【0050】
なお、放熱層の密着強度を向上する為に、陽極3の表面の凹凸を増やすことは効果的で、例えばブラスト処理によって陽極材質であるタングステン表面をRmax10μm以上、好ましくはRmax50μm以上であることが物理的な剥離強度を向上するために有効である。タングステン表面をRmax10μm未満の凸凹を形成しても、密着強度向上の効果が見られなかった。また、Rmax50μm以上の凸凹を形成した場合には、1000℃の繰り返し、昇温、降温試験においては、剥離が生じなかった。
【0051】
次に本発明の第2の実施の形態について説明する。本発明の第2の実施の形態では、放電ランプについては、陽極以外は、図1に示す第1の実施の形態によるものと同様であるので、電極に関するもののみ説明する。
【0052】
図3は本発明の第2の実施の形態による電極部分を示す拡大した正面図である。
【0053】
図3で示すように、放電ランプ1の陽極13の構造は、その先端部13bが、陰極16と対面する部位を平らに形成し、その平らな部位から胴部13aと接続する曲線部分から構成されている。そして、前記酸化物と同様の多孔質層13cは、胴部13aの全体に形成している。
【0054】
さらに、本発明の第3の実施の形態について説明する。本発明の第3の実施の形態では、放電ランプについては、第2の実施の形態と同様に、陽極以外は、図1に示す第1の実施の形態によるものと同様であるので、電極に関するもののみ説明する。
【0055】
図4は本発明の第3の実施の形態による電極部分を示す拡大した正面図である。
【0056】
図4で示すように、放電ランプ1の陽極23の構造は、先端部23bを曲面で形成し、胴部23aに、酸化物の多孔質層よりなる放熱層23cを設けている。
【0057】
なお、前記第1、第2、及び第3の実施の形態による多孔質層よりなる放熱層3c,13c,23cは、その胴部3a,l3a,23aの全体に焼結して形成しているが、輻射熱を効率よく発散できる範囲であれば、その胴部3a,l3a,23aの一部でも構わない。
【0058】
次に本発明の放電ランプの陽極の具体例について説明する。
【0059】
前記第1の実施の形態による構成の陽極3を備える放電ランプ1を実際に点灯してその使用状態を実験した結果を下記表1に示す。なお、前記バルブ2内には、1mg/mlの水銀と、常温で0.7気圧の不活性ガスとしてのアルゴンガスが封入されている。そして、前記バルブ2の発光管部2a内に、前記陽極3および陰極6が4mm離間した状態で対向して配置されている,また、前記金属箔5、8は、モリブデン箔を0.02mm程度の板厚に形成している。
【0060】
さらに、この実験データでは、種々の酸化物を陽極3の外表面に焼結して使用した。
【0061】
【表1】
Figure 2004259639
上記表1でも明らかなように、本発明の試料No.1〜12では、前記放熱層が、バルブ2内に付着する黒化が少なく放電ランプ1の寿命が長い。また、炭化タングステンの割合が0.1である場合は、黒化は一定時間で平均的であった。さらに、放電ランプ1の寿命は1000時間であった。なお、これら本発明の被覆材質の使用温度での分光放射率を測定すると波長3μmで、0.2以上、波長7μmで0.7以上の分光放射率を有し、タングステン金属光沢表面では波長3μmで、0.18、波長7μmで0.1の分光放射率であることに比較すると、放熱に対して非常に大きな効果があることか判った。500μmを越える、例えば、1mmの膜厚を形成した場合には、室温から1000℃の繰り返し昇温・降温試験において、剥離が生じた。
【0062】
被覆の膜厚については、少なくとも表面を覆うだけの放熱層がある方がその放熱効果としては大きいが、放熱層を多くするとその剥離の確率が多くなってしまう。使用酸化物の粒子径により適正値は異なるが、放熱層の厚みは数μmから100μm程度あれば十分であるが、熱サイクルによって表面層を健全に保つ為には、放熱層の厚みを500μm以下にとどめることが望ましい。
【0063】
表面の放熱層の表面粗さは、原料酸化物粉末の粒子径および陽極材質のタングステンの粗さによって異なるが、Rmax2μm〜100μmの表面層が得られた。
【0064】
そして、比較例による試料No.13及び14では、純タングステンやタングステンと炭化タンタルの混合とした場合は、黒化の程度は多く、放電ランプ1の寿命も400時間と著しく短くなった。これは炭化タングステンの融点が低いため、蒸発する割合も増えるためである。したがって、黒化が進むことでさらに放電ランプ1の寿命も短くなった。
【0065】
なお、前記構成の放電ランプでは、陽極および陰極の形状は、特定されるものではなく、また、放電ランプ内に封入される封入ガスや、水銀なとの封入物の量や種類も特定されるものではない。
【0066】
また、酸化物によっては電極材質との熱膨張の差により、温度サイクルによって剥離の要因となる現象が起こり得るが、被覆材質とランプ内雰囲気の選択によっては、放熱層を2層や3層として、密着性の向上と、熱膨張率を段階的な変化をつけることができる。
【0067】
また、これまで述べてきた酸化物の焼結方法としては、1500℃程度の温度での最終焼結によって、放熱層を形成することが可能であるが、プラズマジェットまたは類似の方法により形成することも可能である。これらの製法によれば、通常使用される材料と層の融点以下では反応せず、その蒸気圧も非常に低い。
【0068】
以上の説明においては、具体的にショートアーク型高圧水銀蒸気ランプに関して述べたが、本発明はショートアーク型放電ランプであれば、キセノン放電ランプやキセノン水銀放電ランプ、カドミニウムや亜鉛などを発光管に封入した放電ランプあるいは各種金属ハロゲン化物を封入したメタルハライドランプにも適用できるものであることは当然のことである。
【0069】
そして、更に、本発明においては電極の材料はタングステンに限定されるものではなく、モリブデンやタンタルなどの他の高融点材料の場合であっても、本発明にかかる放熱層を電極の先端近傍を除く外表面に形成することによって、同様な蒸発抑制効果は得られる。
【0070】
また、ここでは、陽極のみに放熱層を形成した例を示したが、陰極及び/又は陰極にも適用できることは勿論である。
【0071】
【発明の効果】
以上に述べたごとく、本発明では、次の優れた効果を発揮する。
【0072】
本発明においては、酸化物の放熱層が放電ランプの陽極の外表面に焼結しているため、陽極の先端部を除く外表面の一部に形成された多孔質からなる放熱層は、その陽極との焼結強度が強くなり、的確に陽極の温度上昇を抑制することができる。そのため、放電ランプの使用寿命を従来の放電ランプより延ばすことが可能となる放電ランプ及びその電極構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態によるショートアーク型放電ランプの全体の構成を示す正面図である。
【図2】図1の電極部分を示す拡大した正面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態による放電ランプの電極部分を拡大した正面図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態による放電ランプの電極部分を拡大した正面図である。
【符号の説明】
1 放電ランプ
2 バルブ
2a 発光管部
2b 封止管部
3,13,23 陽極
3c,13c,23c 放熱層
5,8 金属箔
6,16,26 陰極
9,10 口金部
13a,23a 胴部
13b 先端部

Claims (16)

  1. バルブ中央の膨出する発光空間内に対向して陽極の電極と陰極の電極とが設置された放電ランプにおいて、前記陽極及び陰極の電極の内の少なくとも一方の電極の先端近傍を除く外表面に金属の酸化物を少なくとも1種含む放熱層が形成されていることを特徴とする放電ランプ。
  2. 請求項1載の放電ランプにおいて、前記放熱層の材料は、典型金属または遷移金属の酸化物を少なくとも1種を含み、前記酸化物としてはアルミナ、酸化チタン、酸化クロム、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化ケイ素、酸化コバルト、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化マグネシウムの単体、もしくはそれらの混合物からなることを特徴とする放電ランプ。
  3. 請求項1又は2記載の放電ランプにおいて、前記電極の先端近傍を除く外表面を前記酸化物により被覆することにより、点灯動作温度で当該電極側面の波長3μmの分光放射率を0.2以上、点灯動作温度での電極側面の波長7μmの分光放射率を0.7以上としたことを特徴とする放電ランプ。
  4. 請求項1記載の放電ランプにおいて、前記放熱層が室温で黒色を呈する材料からなり、前記材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはその他の少なくともl種の難溶融性酸化物の添加物とを含む混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプ。
  5. 請求項4記載の放電ランプにおいて、前記黒色材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはそれらのアルミナとの混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプ。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一つに記載の放電ランプにおいて、前記電極の表面をRmax10μm以上の凹凸面を形成し、その表面を前記放熱層で覆ったことを特徴とする放電ランプ。
  7. 請求項1乃至6の内のいずれか一つに記載の放電ランプにおいて、前記放熱層の厚みを500μm以下としたことを特徴とする放電ランプ。
  8. 請求項1乃至7の内のいずれか一つに記載の放電ランプにおいて、前記放熱層は多孔質層であることを特徴とする放電ランプ。
  9. バルブ中央の膨出する発光空間内に対向して陽極の電極と陰極の電極が設置された放電ランプの電極構造において、前記陽極及び陰極の電極の内の少なくとも一方の電極の先端近傍を除く外表面に金属の酸化物を少なくとも1種含む放熱層が形成されていることを特徴とする放電ランプの電極構造。
  10. 請求項9載の放電ランプの電極構造において、前記放熱層の材料は、典型金属または遷移金属の酸化物を少なくとも1種を含み、前記酸化物としてはアルミナ、酸化チタン、酸化クロム、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化ケイ素、酸化コバルト、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化マグネシウムの単体、もしくはそれらの混合物からなることを特徴とする放電ランプの電極構造。
  11. 請求項9又は10記載の放電ランプの電極構造において、前記電極の先端近傍を除く外表面を前記酸化物により被覆することにより、点灯動作温度で当該電極側面の波長3μmの分光放射率を0.2以上、点灯動作温度での電極側面の波長7μmの分光放射率を0.7以上としたことを特徴とする放電ランプの電極構造。
  12. 請求項9記載の放電ランプの電極構造において、前記放熱層が室温で黒色を呈する材料からなり、前記材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはその他の少なくともl種の難溶融性酸化物の添加物とを含む混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプの電極構造。
  13. 請求項12記載の放電ランプの電極構造において、前記黒色材料は、酸化チタン、酸化クロムの単体、もしくはそれらのアルミナとの混合物の熱処理生成物または化合物からなることを特徴とする放電ランプの電極構造。
  14. 請求項9乃至13の内のいずれか一つに記載の放電ランプの電極構造において、前記電極の表面をRmax10μm以上の凹凸面を形成し、その表面を前記放熱層で覆ったことを特徴とする放電ランプの電極構造。
  15. 請求項9乃至14の内のいずれか一つに記載の放電ランプの電極構造において、前記放熱層の厚みを500μm以下としたことを特徴とする放電ランプの電極構造。
  16. 請求項9乃至15の内のいずれか一つに記載の放電ランプの電極構造において、前記放熱層は多孔質であることを特徴とする放電ランプの電極構造。
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