JP4054198B2 - ショートアーク型放電灯の電極およびショートアーク型放電灯 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線を照射することでワークに所定パターンを形成するために用いられるショートアーク型放電灯の電極およびショートアーク型放電灯に関するものである。
【0002】
一般に、ワークとしてのウエハーに所定波長の紫外線を照射して所定パターンを形成することで半導体集積回路(IC)等を製造するために用いられる露光装置は、光源としてショートアーク型放電灯が使用されている。
【0003】
このショートアーク型放電灯は、紫外線の中でもi線(中心波長365nm)の照射をワークに対して効率的に行うことができるものが使用されている。そして、IC技術の進歩は極めて早いので、IC製造には設備投資が大きく、かつ、価格競争が極めて激しい。したがって、製造コストの抑制がICメーカの成功には不可欠であり、IC製造工程で使用される消耗品であるショートアーク型放電灯についても、長寿命化によるコスト低減の要求が厳しくなっている。
【0004】
また、技術面では、対象となるICの高集積化に伴って、露光時の解像度の要求も高くなっている。さらに、ワークを構成するウエハーの大口径化もあって、露光面積も大きくなり、あるいは高解像度達成のために利用されている光学系の構造上、光源から照射される紫外線放射量の増加が要求されている。
【0005】
そのため、従来、ショートアーク型放電灯あるいはその電極の構造は、その照射する光線の高安定度、かつ、長寿命となるように様々なものが提案されている。なお、ショートアーク型放電灯を長寿命化、および、高安定度を維持させるためには、その電極形状や電極処理方法を改善することにより電極の消耗を低減させることで、照度維持率の低下抑制に効果が有ることが知られている。
【0006】
例えば、ショートアーク型放電灯の電極形状には、特公昭39−11128号公報に記載されている点灯中の温度低下(放熱効果の向上)を狙ったヒートシンク構造(表面積増加)が提案されている。また、特許第2601435号公報に記載されている電極表面に炭化タンタルとタングステンの混合物からなる多孔質層を形成する方法や、さらに、特許第2915368号公報に記載されている微粒子状タングステン焼結層を形成する方法等が提案されている。
【0007】
また、発光効率が高く、照度安定性の良い光源を得るため、例えば、特開2001−135274号公報に開示されているように、希ガスとして高分子量の希ガスに体積比で約5%〜40%の低分子量の希ガスを混合し、これらの混合ガスの常温における圧力を2気圧以上としたショートアーク型放電灯が提案されている。
【0008】
前記ショートアーク型放電灯は、希ガスを封入するための圧力が2気圧未満のショートアーク型放電灯に比べ、放射輝度が非常に高いため、陽極先端部がえぐれてしまうほど著しく消耗する。そして、ランプ入力の高入力化に伴い、ランプ電流の増大による消耗も著しい。そのため、ショートアーク型放電灯内のガス対流を考慮し電極の温度分布を最適化するための電極形状の設計も近年取り入れられている。
【0009】
また、ショートアーク型放電灯の電極の製造時における処理方法においては、電極表面の酸化膜層の除去を目的とした水素中の熱処理(還元作用)や、また、電極内部のガス出しを目的とした高真空中での熱処理が行われている。特に、高真空中での熱処理はその温度がタングステンの再結晶化(結晶粒成長)の進行に影響し、これまでは1600〜2200℃で行っていた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のショートアーク型放電灯の電極ならびにショートアーク型放電灯は、さらに改良する余地が存在した。すなわち、従来のショートアーク型放電灯およびその電極は、高真空中での熱処理温度がタングステンを主成分とする金属の再結晶化(粒成長)の進行に影響し、これまでは1600〜2200℃で行っていたが、特にアーク領域で最も輝度が高い位置(輝点)となる陰極先端部は、約2400〜2700℃またはそれ以上にも達しているため、製造時の熱処理温度が1600〜2200℃では電極の消耗が促進されてしまった。
【0011】
また、ショートアーク型放電灯の点灯時において、陰極および陽極が約2400〜2700℃に達してしまうと、その陰極および陽極の再結晶化が促進されることにより、結晶間等に存在した不純物が放出されて発光管内の黒化を促進させてしまった。
【0012】
従来のショートアーク型放電灯およびその電極は、陽極の先端部の構造が平坦形状又は膨出形状として形成されていることから、圧力が高くかつ高温状態となっている発光管内において、陰極から放出される電子の衝突により陽極の消耗が激しくなってしまった。
【0013】
本発明は、前記の問題点に鑑み創案されたもので、高圧力及び高温であっても電極の消耗が抑制され、また、電極の再結晶化を抑制し、かつ、照度維持率に優れたショートアーク型放電灯の電極およびショートアーク放電灯を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るショートアーク型放電灯の電極は、発光管内に水銀と希ガスを封入して用いるショートアーク型放電灯における前記発光管内に対向して配置される陰極および陽極からなる電極において、前記電極は、その陰極または陽極の少なくとも一方が30ppmのカリウムを添加したタングステンからなり、かつ、製造時の真空中の熱処理温度をTとし、前記カリウムを添加する陰極または陽極の少なくとも一方として用いられる金属の融点をMPとしたとき、2300℃≦T<MPの温度範囲において真空中で熱処理されたことにより、前記熱処理された陰極または陽極の少なくとも一方の平均金属結晶粒径が0.145mm以上で0.18mm以下である構成とした。
【0015】
このように構成されることにより、ショートアーク型放電灯の電極は、点灯時にアーク領域で最も輝度が高い位置(輝点)となる陰極先端部が、約2400〜2700℃に達しても、陰極または陽極の少なくとも一方が、点灯中に達する温度に対応した温度範囲で製造時に熱処理されているため、再結晶化が最小限に抑制される。
【0016】
また、発光管内に水銀と希ガスを封入して用いるショートアーク型放電灯における前記発光管内に対向して配置される陰極および陽極からなる電極において、前記電極は、その陰極または陽極の少なくとも一方が2質量パーセントのトリウムおよび30ppmのカリウムを添加したタングステンからなり、かつ、製造時の真空中の熱処理温度をTとし、前記トリウムおよび前記カリウムを添加する陰極または陽極の少なくとも一方として用いられる金属の融点をMPとしたとき、2300℃≦T<MPの温度範囲において真空中で熱処理されたことにより、前記熱処理された陰極または陽極の少なくとも一方の平均金属結晶粒径が0.09mm以上で0.14mm以下である構成した。
【0017】
さらに、ショートアーク型放電灯の電極において、前記陽極は、前記陰極に対向する先端部に凹部を設け、前記凹部が陽極と陰極とを結ぶ中心線の周りに形成された回転面として形成されることとした。このように構成されることにより、ショートアーク型放電灯の電極は、陰極から陽極の凹部に向かって放射されたとき、電子に対して消耗することを最小限に抑制することが可能となる。
【0018】
そして、ショートアーク型放電灯の電極において、前記陰極の先端部を点電荷Qとしたとき、陽極の先端部における電界の強さをEとし、電極間の距離をXとし、誘電率ε 0 としたとき、E=Q/(4πε 0 X 2 )で示し、前記陽極の凹部における電界の強さEを均等に近づける前記回転面として形成したこととした。
【0019】
さらに、本発明に係るショートアーク型放電灯として次のように構成した。すなわち、請求項1ないし請求項4のいずれか一項の電極を有するショートアーク型放電灯であって、発光管内に水銀と希ガスを封入して前記発光管内に対向して配置される陰極および陽極からなる前記電極を有するショートアーク型放電灯として構成した。
【0020】
このように構成されることにより、ショートアーク型放電灯は、所定温度範囲により陰極または陽極の少なくとも一方が、真空中において所定温度範囲内で熱処理されているため、点灯中にその陰極または陽極あるいは両極が、アーク放電および希ガスの封入圧力等の影響により再結晶化することに対して最小限となる。
【0021】
また、前記希ガスとして高分子量の希ガスに体積比で5%〜40%の低分子量の希ガスを混合したショートアーク型放電灯として構成した。
【0022】
このように構成されることにより、ショートアーク型放電灯は、比較的低分子量である希ガスの熱伝導率が、高分子量の希ガスに対して高いことにより、複数の希ガスの常温での封入圧力が2気圧以上となったとき、高分子量の希ガスに体積比で5%〜40%の低分子量の希ガスを混合して照度を向上させることが可能となる。
【0023】
なお、前記ショートアーク放電灯において、前記高分子量の希ガスは、キセノン、クリプトン、アルゴンの少なくとも1種又はこれらの混合ガスとし、また、前記低分子量の希ガスは、ヘリウム、ネオンの少なくとも1種又はこれらの混合ガスとすると都合がよい。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
図1(a)はショートアーク型放電灯の形状を断面にして模式的に示す側面図、(b)はショートアーク型放電灯の電極構成を模式的に示す一部破断した側面図、(c)は陽極の凹部の構成を示す側面図である。
【0028】
図1に示すように、ショートアーク型放電灯20は、石英ガラスなどの紫外線透過部材により形成された発光管1の内部に対向して配置させた陰極2および陽極3と、この陰極2および陽極3のそれぞれを支持する内部リード棒4,5と、この内部リード棒4,5の後部側に接続された金属箔8,9と、この金属箔8,9の後部側に接続される外部リード棒10,11とを備えており、内部リード棒4,5、金属箔8,9および外部リード棒10,11の位置を発光管1の封止部6,7および口金(図示せず)により封止して構成されている。
【0029】
また、陰極2と陽極3は、その一方または両方の素材がタングステンの単体で形成される場合や、タングステン合金により形成されている。この陰極2と陽極3の少なくとも一方がタングステン合金で形成される場合は、例えば、タングステン粉末に所定量のカリウム粉末を添加して焼結して製造するものや、また、タングステン粉末に所定量のトリウム粉末を添加して焼結するものや、あるいは、タングステン粉末に所定量のカリウム粉末およびトリウム粉末を添加して焼結するもの等がある。
【0030】
さらに、陰極2と陽極3の少なくとも一方は、製造時に真空中の熱処理温度をTとし、それぞれの金属の融点をMPとしたとき2300℃≦T<MPの温度範囲内において高真空中で熱処理されており、ここでは、一例として、2300〜2900℃としており、好ましくは2400〜2900℃としている。ショートアーク型放電灯20の構成によっては、陰極2または陽極3の熱処理温度が2300℃を超えた場合、あるいは、2400℃を超えた場合であると、点灯中に再結晶化が最小限とすることができる。なお、ここで真空中とは、133×10-3(Pa)〜133×10-6(Pa)の範囲としている。
【0031】
そして、陰極2または陽極3の少なくとも一方の熱処理時間としては、前記温度範囲において適宜選択して決められる。なお、好ましくは、熱処理時間は、5分から180分としている。熱処理時間が5分未満である場合は、熱処理温度が2300℃から2900℃であっても、ショートアーク型放電灯20を点灯させた際に、陰極2あるいは陽極3に使用されている金属が再結晶化(結晶粒成長)する可能性が高く、この再結晶化のときに放出される含有ガスにより発光管1内の黒化が促進されてしまう。また、熱処理時間が180分を超えた場合は、熱処理温度が2300℃から2900℃のとき、その熱処理温度において平均金属結晶粒径の安定性および含有ガスの除去に関して飽和状態となる。
【0032】
ショートアーク型放電灯20は、陰極2および陽極3として選択される金属に対して、目的とする平均金属結晶粒径に応じて、前記温度範囲(2300℃≦T<MP)内において、真空中で熱処理してその陰極2および陽極3を構成している。なお、所定の平均金属結晶粒径を形成するのに十分な時間は、用いられる金属から構成された電極に対して、予備実験等により見出されている所定温度で熱処理した場合、放電灯の点灯時に再結晶されにくい安定した状態を維持できる時間である。
【0033】
例えば、陰極2または陽極3の少なくとも一方の熱処理時間としては、前記温度範囲において適宜選択して決められ、陰極2または陽極3を構成する金属(タングステンまたはその合金)の種類および初期粒径に依存して適宜選択される。ここでは熱処理時間として5分から180分の範囲としている。熱処理時間が5分未満である場合は、熱処理温度が2300℃から2900℃であっても、ショートアーク型放電灯20を点灯させた際に、陰極2あるいは陽極3に使用されている金属が再結晶化(結晶粒成長)する可能性が高く、この再結晶化のときに放出される含有ガスにより発光管1内の黒化が促進されてしまう。また、熱処理時間が180分を超えた場合は、熱処理温度が2300℃から2900℃のとき、その熱処理温度において平均金属結晶粒径の安定性および含有ガスの除去に関して飽和状態となる。
【0034】
そして、ここでは、陰極2または陽極3の少なくとも一方の熱処理時間としては、処理しようとする陰極2または陽極3を構成する金属を用いた予備データ(予備実験)を参酌して定めている。
【0035】
この予備データは、後記するように、図2ないし図5で示す、陰極2または陽極3を構成する金属と、熱処理温度、および平均結晶粒径の関係についての情報を備えていれば良い。なお、熱処理時間についての数値が分かっていればさらに適切な陰極2または陽極3を構成することができる。このような図2ないし図5の予備データがあれば、平均金属結晶粒径の安定している状態の熱処理温度(さらに時間)から適切な陰極2あるいは陽極3を構成することができる。
【0036】
図2ないし図5に示すように、陰極2または陽極3に対して、製造時の真空中での熱処温度が高く、かつ熱処理時間が長い場合は、陰極2および陽極3の平均金属結晶粒径が成長して安定した粒径となると共に、素材が含有している含有ガスを熱処理中に放出する。そのため、ショートアーク型放電灯20として点灯している際には、陰極2および陽極3により予期しなかった含有ガスを放出することがなく、所定の照度維持率を保ちながら所定時間点灯することができる。
【0037】
なお、陰極2および陽極3の素材は、タングステン(W)、タングステンにカリウム(K)をドーピングしたもの、あるいは、タングステンにトリウム(Th)をドーピングした素材、さらに、タングステンにカリウムとトリウムをドーピングした素材とした場合を例に挙げて説明したが、もちろん、タングステンに他の組成がドーピングあるいは焼結または鋳造、鍛造して形成されてても構わず、前記した陰極2または陽極3の少なくとも一方を高真空中で熱処理する工程を行うことで陰極2および陽極3が安定した状態となる。
【0038】
そして、図1(b)、(c)に示すように、陰極2と、陽極3との距離は、ショートアーク型放電灯20において発光管内では、例えば、5.5mmとしており、陰極2と対面する陽極3の所定位置に凹部3Aが形成されている。この陽極3に形成されている凹部3Aは、陰極2の先端からの距離がその凹部3Aの曲面における各ポイントP0、P1…において、等距離X0,X1…となるように形成されている。
【0039】
また、陰極2の先端部を点電荷Qとしたとき、陽極3の先端部における電界の強さをEとし、電極間の距離をXとし、誘電率ε0としたとき、E=Q/(4πε0X2)で示し、前記陽極の凹部における各点での電界の強さEを均等に近づけるように、その陽極3の凹部3Aの曲面を回転面として形成しても構わない。この凹部3Aの回転面形状は、円弧の一部となる形状や、また、楕円の一部となる形状や、さらに、放物線の一部となる形状等であってもよい。
【0040】
このように、陽極3の凹部3Aにおいて、陰極2から電子が送られたときに、電界Eの強さが均等あるいは均等に近いため、凹部3A面での電流密度が均等になり、その陽極3の消耗を最小限に抑えることが可能となる。なお、電界の強さEを均等に近づけるとき、陰極2から陽極3の凹部3A面までの距離Xが等しい状態となる場合もある。
【0041】
さらに、ショートアーク型放電灯20は、発光管1内に水銀および希ガスとして、キセノン、アルゴン、クリプトンのような比較的高分子量の希ガスと、ネオンまたはヘリウムのような比較的低分子量の希ガスを体積比で5〜40%混合して混合希ガスが収納されている。そして、前記混合希ガスは、常温における圧力を2気圧以上で封入されており発光率を高くし、照度安定性を良くしている。この希ガスの種類についての一例は、表1に示す。
【0042】
【表1】
【0043】
また、ここでは、ショートアーク型放電灯20は、陽極3を上にして垂直方向に配置し、ランプ入力電力として3500Wで点灯している。もちろん、ショートアーク型放電灯20の点灯姿勢およびランプ入力電力は、特に限定されるものではない。
【0044】
【実施例】
つぎに、本発明の実施例について説明する。なお、本発明はこの実施例に限定されるものではない。また、予備実験としてここでは、図2ないし図5に示すように、試料1から試料4までのデータを揃えた。
【0045】
予備実験方法としては、試料1(タングステン)、試料2(タングステンにトリウムを2質量パーセント添加)、試料3(タングステンに30ppmのカリウム添加)、試料4(タングステンにトリウムを2質量パーセントと30ppmのカリウム添加)(φ20×30mm)を洗浄(メタノール超音波洗浄15分×2回)、水素処理(1000℃×30分)、および高温真空処理を行った。高温真空処理は、1600℃、1900℃、2200℃、2500℃、2700℃でそれぞれ、15分、60分、180分加熱した。加熱速度は20℃/分とした。なお、真空度は、133×10-3(Pa)〜133×10-6(Pa)の範囲で行った。
【0046】
そして、分析機器として、デジタルマイクロスコープ、VH−6300(株式会社キーエンス製)と、走査電子顕微鏡(SEM)、DX−700(株式会社トプコン製)と、高温真空炉(大亜真空株式会社製)と、ダイヤモンドカッター、MC−122(株式会社マルトー製)を用いた。
【0047】
さらに、高温真空処理後の各試料1〜4について、ダイヤモンドカッターで30mmの中央から切断した横断面と、直径方向に切断した縦断面において、SEMにより観察して横断面での結晶粒径を測定した。なお、平均金属結晶粒径は、その横断面において任意に選択した5つの結晶粒の平均値を取った。
【0048】
つぎに、前記予備データの一具体例として以下に説明する。図2に示すように、試料1の場合では、0.125mm以上で0.185mm以下であること、あるいは下限値が0.13mm以上とする平均金属結晶粒径であると都合がよい。この平均金属結晶粒径は、0.125mm未満であると、点灯中の熱により再結晶化が起こりやすい状態となり、所定の照度維持率を保ちながら所定時間点灯することができなくなる。また、平均金属結晶粒径は、0.185mmを超えて大きくなってもその平均金属結晶粒径が飽和状態に近くなる。なお、平均金属結晶粒径が0.13mm以上である場合は、熱処理温度が2400℃以上となり、点灯中に高温となる両極2,3の再結晶化がさらに起こりにくい状態となる。
【0049】
また、図3に示すように、試料2の場合では、0.035(あるいは0.04)mm以上で0.06mm以下の平均金属結晶粒径であると都合がよい。この平均金属結晶粒径は、0.035mm未満であると、点灯中の熱により再結晶化が起こりやすい状態となり、所定の照度維持率を保ちながら所定時間点灯することができなくなる。また、平均金属結晶粒径は、0.06mmを超えて大きくなった場合、その平均金属結晶粒径が熱に対して安定して飽和状態に近くなる。
【0050】
そして、図4に示すように、試料3の場合では、平均金属結晶粒径は、0.145mm以上で0.18mm以下であると都合がよい。この平均金属結晶粒径は、0.145mm未満であると、点灯中の熱により再結晶化が起こりやすい状態となり、所定の照度維持率を保ちながら所定時間点灯することができなくなる。また、平均金属結晶粒径が、0.18mmを超えて大きくなった場合、その平均金属結晶粒径が熱に対して安定して飽和状態に近くなる。
【0051】
さらに、図5に示すように、試料4の場合では、0.09mm以上で0.14mm以下の平均金属結晶粒径であると都合がよい。この平均金属結晶粒径は、0.09mm未満であると、点灯中の熱により再結晶化が起こりやすい状態となり、所定の照度維持率を保ちながら所定時間点灯することができなくなる。また、平均金属結晶粒径が、0.14mmを超えて大きくなった場合、その平均金属結晶粒径が熱に対して安定して飽和状態に近くなる。
【0052】
つぎに、ショートアーク型放電灯の照度維持率について実験を行った。なお、電極は、陰極および陽極の両者と、陰極と陽極の少なくとも一方について照度維持率を測定した。
【0053】
そして、第1実施例として、ショートアーク型放電灯の構成は、水銀量が、4.5mg/ccとし、また、封入した希ガスとして高分子量のArと、低分子量のNeを体積比で40パーセント混合して封入した。また、陰極および陽極の距離を5.5mmとし、ランプ入力を3500Wで点灯させた。なお、試料4から陰極を構成し、試料3から陽極を構成し、それぞれ2300℃で真空中で熱処理した(試料4は、タングステンに、トリウムを2質量パーセントと、カリウムを30ppm添加、試料3はタングステンにカリウムを30ppm添加)。そして、陽極は、図1(c)に示すように、端面D1の直径は8mmとし、球面状の凹部の直径D2の直径は6mmとし、その凹部の深さ1mmとした。
【0054】
さらに、表2に示すように、高真空中の熱処理温度(℃)と、陽極先端部の凹部と、封入ガスの種類と気圧と、Neの体積比とを特定してショートアーク型放電灯を構成した。
また、図6に示すように、照度維持率と点灯時間(750時間)について測定した。照度は、ショートアーク型放電灯からIC露光装置の露光面となる位置に照度計を配置してi線(中心波長365nm)の紫外線の初期における照度およびその照度安定性を測定した。なお、照度安定度は、「0」に近い数値が安定度について高いといえる。
【0055】
【表2】
【0056】
評価の結果、基準ランプAに対して陽極先端部に凹部を設けたランプA4〜A6は、陽極先端部に凹部が無いランプA1〜A3と比較して、封入ガス圧に対する照度、照度安定性の傾向が同等であることが確認された。また、図6に示すように、ランプA4〜A6は、ランプA1〜A3と比較して、約10%の照度維持率の向上が見られた。
【0057】
また、第2実施例として、基準ランプBは、陽極、陰極の高真空中の熱処理温度を共に2100℃としている。そして、ランプB1〜B6は、陽極、陰極のいずれか一方について高真空中の熱処理温度を2300℃、2500℃、2700℃で熱処理し、陽極の凹部が無い状態としてショートアーク型放電灯を構成した。なお、ランプB1〜B3は、陰極についてのみ高真空中で2300℃、2500℃、2700℃で熱処理し、また、ランプB4〜B6は陽極についてのみ高温真空中で2300℃、2500℃、2700℃で熱処理した。さらに、表3にないショートアーク型放電灯の他の構成(水銀封入量等)は、前記した構成と同じである。
【0058】
【表3】
【0059】
評価の結果、基準ランプBに対してランプB1〜B6は、照度、照度安定性は同等であることが示されている。また、図7に示すように、照度維持率は、基準ランプBに比較して、ランプB1〜B3が約3〜5%向上していることが示されている。さらに、図8に示すように、照度維持率は、基準ランプBに比較して、ランプB4〜B6が約2〜3%向上していることが示されている。
【0060】
第1実施例および第2実施例の結果から、表4に示す構成のランプCとしたもで、図9に示すように、照度維持率を測定した。なお、表4にないショートアーク型放電灯の他の構成(水銀封入量等)は、前記した構成と同じである。
【0061】
【表4】
【0062】
図9に示すように、基準ランプBに対して約16%の照度維持率の向上が確認された。
なお、本実施例では、図6ないし図9に示す電極に対する熱処理時間は60分として行ったが、これに限定されるものではない。また、陰極に対して試料4を用い、陽極に対して試料3を用いたが、他の試料あるいは他のタングステン合金を試料として予備データを揃えて用いても構わない。
【0063】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成しているため以下の優れた効果を奏する。
(1)ショートアーク型放電灯およびその電極は、陽極または陰極の少なくとも一方がカリウムを添加したタングステンからなり、製造時の真空中の熱処理温度を2300℃あるいは2400℃から、用いられる金属の融点までの温度範囲において熱処理して平均金属結晶粒径が0.145mm以上で0.18mm以下である構成としているため、ショートアーク型放電灯に用いた場合、点灯時に電極が高温になっても、再結晶化されることおよび消耗されることを最小限に抑えることができ、所定の照度維持率を所定時間において保つことができる。
【0064】
(2)ショートアーク型放電灯およびその電極は、陽極または陰極の少なくとも一方がトリウムおよびカリウムを添加したタングステンからなり、製造時の真空中の熱処理温度を2300℃あるいは2400℃から、用いられる金属の融点までの温度範囲において熱処理して平均金属結晶粒径が0.09mm以上で0.14mm以下である構成としているため、ショートアーク型放電灯に用いた場合、点灯時に電極が高温になっても、再結晶化されることおよび消耗されることを最小限に抑えることができ、所定の照度維持率を所定時間において保つことができる。
【0065】
(3)ショートアーク型放電灯およびその電極は、その陽極が、前記陰極に対向する先端部に凹部を設けているため、所定の照度維持率を所定時間において保つことが可能となる。
【0066】
(4)ショートアーク型放電灯およびその電極は、その陽極が、前記陰極に対向する先端部に凹部を設け、その凹部面が受ける電解の強さを均等に近づけるようにすることにより、電極の消耗を抑制して、更に発光効率が高く、照度安定性が良く、照度維持率を改善することができる。
(5)ショートアーク型放電灯およびその電極は、高い封入圧力における環境での電極の再結晶化および消耗を最小限に抑えることができ、また、さらに高い照度維持率を保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明に係るショートアーク型放電灯の形状を断面にして模式的に示す側面図、(b)はショートアーク型放電灯の電極構成を模式的に示す一部破断した側面図,(c)は陽極の凹部の構成を示す側面図である。
【図2】本発明に係るショートアーク型放電灯の電極の平均金属結晶粒径と熱処理温度の関係を示すグラフ図である。
【図3】本発明に係るショートアーク型放電灯の電極の平均金属結晶粒径と熱処理温度の関係を示すグラフ図である。
【図4】本発明に係るショートアーク型放電灯の電極の平均金属結晶粒径と熱処理温度の関係を示すグラフ図である。
【図5】本発明に係るショートアーク型放電灯の電極の平均金属結晶粒径と熱処理温度の関係を示すグラフ図である。
【図6】本発明に係るショートアーク型放電灯の照度維持率と点灯時間の関係を示すグラフ図である。
【図7】本発明に係るショートアーク型放電灯の照度維持率と点灯時間の関係を示すグラフ図である。
【図8】本発明に係るショートアーク型放電灯の照度維持率と点灯時間の関係を示すグラフ図である。
【図9】本発明に係るショートアーク型放電灯の照度維持率と点灯時間の関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
1 発光管
2 陰極
3 陽極
4 内部リード棒
5 内部リード棒
6 封止部
7 封止部
8 金属箔
9 金属箔
10 外部リード棒
11 外部リード棒
20 ショートアーク型放電灯
Claims (6)
- 発光管内に水銀と希ガスを封入して用いるショートアーク型放電灯における前記発光管内に対向して配置される陰極および陽極からなる電極において、
前記電極は、その陰極または陽極の少なくとも一方が30ppmのカリウムを添加したタングステンからなり、かつ、
製造時の真空中の熱処理温度をTとし、前記カリウムを添加する陰極または陽極の少なくとも一方として用いられる金属の融点をMPとしたとき、2300℃≦T<MPの温度範囲において真空中で熱処理されたことにより、前記熱処理された陰極または陽極の少なくとも一方の平均金属結晶粒径が0.145mm以上で0.18mm以下であることを特徴とするショートアーク型放電灯の電極。 - 発光管内に水銀と希ガスを封入して用いるショートアーク型放電灯における前記発光管内に対向して配置される陰極および陽極からなる電極において、
前記電極は、その陰極または陽極の少なくとも一方が2質量パーセントのトリウムおよび30ppmのカリウムを添加したタングステンからなり、かつ、
製造時の真空中の熱処理温度をTとし、前記トリウムおよび前記カリウムを添加する陰極または陽極の少なくとも一方として用いられる金属の融点をMPとしたとき、2300℃≦T<MPの温度範囲において真空中で熱処理されたことにより、前記熱処理された陰極または陽極の少なくとも一方の平均金属結晶粒径が0.09mm以上で0.14mm以下であることを特徴とするショートアーク型放電灯の電極。 - 前記陽極は、前記陰極に対向する先端部に凹部を設け、前記凹部が陽極と陰極とを結ぶ中心線の周りに形成された回転面として形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のショートアーク型放電灯の電極。
- 前記陰極の先端部を点電荷Qとしたとき、陽極の先端部における電界の強さをEとし、電極間の距離をXとし、誘電率ε0としたとき、E=Q/(4πε0X2)で示し、前記陽極の凹部における電界の強さEを均等に近づける前記回転面として形成したことを特徴とする請求項3に記載のショートアーク型放電灯の電極。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか一項の電極を有するショートアーク型放電灯であって、発光管内に水銀と希ガスを封入して前記発光管内に対向して配置される陰極および陽極からなる前記電極を有することを特徴とするショートアーク型放電灯。
- 前記希ガスとして高分子量の希ガスに体積比で5%〜40%の低分子量の希ガスを混合したことを特徴とする請求項5に記載のショートアーク型放電灯。
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