JP2004200227A - プリントインダクタ - Google Patents
プリントインダクタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004200227A JP2004200227A JP2002363905A JP2002363905A JP2004200227A JP 2004200227 A JP2004200227 A JP 2004200227A JP 2002363905 A JP2002363905 A JP 2002363905A JP 2002363905 A JP2002363905 A JP 2002363905A JP 2004200227 A JP2004200227 A JP 2004200227A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed
- insulating substrate
- cavity
- magnetic material
- printed inductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 20
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 13
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F5/00—Coils
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0033—Printed inductances with the coil helically wound around a magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/165—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0272—Adaptations for fluid transport, e.g. channels, holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/08—Magnetic details
- H05K2201/083—Magnetic materials
- H05K2201/086—Magnetic materials for inductive purposes, e.g. printed inductor with ferrite core
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09145—Edge details
- H05K2201/09163—Slotted edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
【課題】Q値を高めることができるプリントインダクタを提供すること。
【解決手段】絶縁性基板3にその板厚方向と直交する方向へ延びる空洞部2を設け、この空洞部2を介して対向する互いに独立する複数のプリント配線4を絶縁性基板3の上下両面にそれぞれ形成すると共に、これら上下両面の各プリント配線4の端末同士を複数のスルーホール5を介して順次連続的に接続することにより、空洞部2の外側に渦巻き状コイルを形成してプリントインダクタ1を構成した。
【選択図】 図4
【解決手段】絶縁性基板3にその板厚方向と直交する方向へ延びる空洞部2を設け、この空洞部2を介して対向する互いに独立する複数のプリント配線4を絶縁性基板3の上下両面にそれぞれ形成すると共に、これら上下両面の各プリント配線4の端末同士を複数のスルーホール5を介して順次連続的に接続することにより、空洞部2の外側に渦巻き状コイルを形成してプリントインダクタ1を構成した。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁性基板にスルーホールを介して立体的に形成したプリントインダクタに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に知られているプリントインダクタは、絶縁性基板の同一面上に導体パターンを渦巻き形状やミアンダ形状(蛇行形状)に形成して構成されているが、このようなインダクタは絶縁性基板に占める導体パターンの割合が大きくなり、絶縁性基板上の限られた領域に有効に形成しにくいという難点がある。そこで従来より、絶縁性基板にスルーホールを介して立体的なプリントインダクタを形成し、絶縁性基板の限られた領域を有効利用するという技術が提案されており、その一例が特許文献1に開示されている。
【0003】
図7は上記特許文献1に開示された従来例に係るプリントインダクタの斜視図である。同図に示すように、絶縁性基板10の上面と下面には互いに独立する複数のプリント配線11が形成されており、上面側に形成された各プリント配線11の両端は接続用の端子部11aとなっている。これらプリント配線11はそれぞれ斜め方向に並列配置されており、上面側と下面側の各プリント配線11の端末同士を複数のスルーホール12を介して順次連続的に接続することにより、絶縁性基板10をあたかも軸心に見たてた渦巻き状コイルからなるプリントインダクタ13が構成される。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−272932号公報(第3頁、図3)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前述した図7に示す従来技術によれば、絶縁性基板の限られた占有面積上で比較的大きなインダクンス値(L値)を有するプリントインダクタを形成できるが、各プリント配線とスルーホールが絶縁性基板を軸心に見たてて渦巻き状に形成されているため、絶縁性基板の上面側と下面側のプリント配線とが軸心位置に存在する絶縁材を介して誘電結合しやすくなる。その結果、このようなプリントインダクタとコンデンサとによってローパスフィルタ等の共振回路を構成した場合、共振回路のQ値を高めることが難しいという問題があった。
【0006】
また、前述した従来技術では、プリントインダクタのインダクンス値を高める場合、絶縁性基板の面上にプリント配線を覆うように磁性体膜を塗布したり、絶縁性基板の内部に磁性体膜をサンドイッチ状に形成するという手法をとっているが、いずれの手法も磁性体膜の膜厚を充分に確保することができないため、大きなインダクンス値を得ることが難しいという問題があった。
【0007】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、Q値を高めることができるプリントインダクタを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明のプリントインダクタでは、絶縁性基板にその板厚方向と直交する方向へ延びる空洞部を設け、この空洞部を介して対向する前記絶縁性基板の上下両面に互いに独立する複数のプリント配線を形成すると共に、これら上下両面の各プリント配線の端末同士を複数のスルーホールを介して順次連続的に接続することにより、前記空洞部の外側に渦巻き状コイルを形成した。
【0009】
このように構成されたプリントインダクタによれば、互いに独立する複数のプリント配線と複数のスルーホールによって構成される渦巻き状コイルが絶縁性基板の内部に設けられた空洞部の外側に形成されるため、絶縁性基板の上下両面に形成されたプリント配線間の誘電結合度が小さくなってQ値を高めることができる。
【0010】
上記の構成において、空洞部の内部にフェライト等の磁性材料を充填すると、インダクンス値を大きくすることができると共に、磁性材料の材料を選択したり充填量を変えることにより、インダクンス値を調整することも可能になる。
【0011】
また、上記の構成において、空洞部の内壁面に磁性材料を付着してもインダクンス値を大きくすることができ、この場合、絶縁性基板として低温焼成多層セラミック基板(LTCC=Low Tempurature Co-fired Ceramics)を使用することが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図1は本発明の第1実施形態例に係るプリントインダクタの平面図、図2は該プリントインダクタの裏面図、図3は図1のIII−III線に沿う断面図、図4は該プリントインダクタの斜視図である。
【0013】
これらの図に示すように、本実施形態例に係るプリントインダクタ1は、空洞部2を有する絶縁性基板3と、この絶縁性基板3の上面と下面にそれぞれ形成された互いに独立する複数のプリント配線4と、これら上面側と下面側の各プリント配線4の端末同士を順次連続的に接続する複数のスルーホール5とで構成されており、各プリント配線4とスルーホール5は空洞部2を軸心に見たてて渦巻き状コイルに形成されている。
【0014】
絶縁性基板3は例えばセラミックに結晶化ガラスを混入した低温焼成セラミック基板からなり、これらの材料を混練して得られるグリーンシートを900℃前後で焼成することにより形成される。空洞部2は絶縁性基板3の内部にその板厚方向と直交する方向へ延びており、図3からも明らかなように、その断面形状は矩形状に形成されている。この空洞部2は焼成後の絶縁性基板3に機械加工によって形成することも可能であるが、本実施形態例の場合は、熱収縮が少ないという低温焼成セラミック基板の利点を生かして焼成前のグリーンシートに形成してある。
【0015】
各プリント配線4は絶縁性基板3の上下両面にCrやCu等の導体膜を周知の成膜手段を用いて形成したものであり、上面側に形成された各プリント配線4の両端は接続用の端子部4aとなっている。本実施形態例の場合、空洞部2を介して対向する上面側と下面側の各プリント配線4のうち、上面側のプリント配線4が真っ直ぐに並列配置されると共に、下面側のプリント配線4が斜め方向に並列配置されているが、前述した従来例(図7参照)と同様に、上下両面のプリント配線4が向きを変えてそれぞれ斜め方向に並列配置されていても良い。
【0016】
各スルーホール5は空洞部2の外側で絶縁性基板3を板厚方向に貫通するように延びており、上面側と下面側の各プリント配線4の端末同士はこれらスルーホール5を介して順次連続的に接続されている。スルーホール5は絶縁性基板3に形成されたビアホール内にAgやAg/Pd等の導電材を充填したものや、ビアホールの内壁面に導電材をメッキ等で形成したものであり、本実施形態例の場合は、グリーンシートにあけられた複数のビアホール内にAgペーストを充填し、このAgペーストをグリーンシートと同時に焼成することでスルーホール5を形成している。このように、低温焼成セラミック基板は、グリーンシートの焼成時に空洞部2とスルーホール5を同時に形成できるという利点を有している。
【0017】
上記の如く構成されたプリントインダクタ1は、例えば絶縁性基板3上に形成された図示せぬコンデンサに端子部4aを介して接続され、ローパスフィルタ等の共振回路を構成するようになっている。この場合において、絶縁性基板3の上下両面のプリント配線4と複数のスルーホール5とによって空洞部2の外側に渦巻き状コイルが形成され、すなわち、内部が空気層(誘電率ε≒1)となっている空洞部2を軸心に見たてた渦巻き状コイルが形成されるため、この空洞部2を介して対向する上下両面のプリント配線4間の誘電結合度が小さくなり、共振回路のQ値を高めることができる。
【0018】
図5は本発明の第2実施形態例に係るプリントインダクタの断面図であり、図1〜図4に対応する部分には同一符号を付してある。
【0019】
本実施形態例が前述した第1実施形態例と相違する点は、空洞部2の内部に磁性材料6を充填したことにあり、それ以外の構成は基本的に同じである。磁性材料6は高透磁率を有するフェライト等からなり、絶縁性基板3の焼成後に空洞部2の端面から挿入しても良いし、グリーンシートに埋め込んで空洞部2の内部に埋設することもできる。
【0020】
このように構成された第2実施形態例に係るプリントインダクタによれば、空洞部2の内部の広い空間を利用して磁性材料6を充填できるため、第1実施形態例と同様の効果に加えて、インダクンス値を大きくできるという効果も奏する。また、透磁率が異なる磁性材料6を選択したり、空洞部2の内部空間に対する磁性材料6の充填量を変えることにより、インダクンス値を調整することも可能になる。
【0021】
図6は本発明の第3実施形態例に係るプリントインダクタの断面図であり、図1〜図4に対応する部分には同一符号を付してある。
【0022】
本実施形態例が前述した第1実施形態例と相違する点は、絶縁性基板として低温焼成多層セラミック基板(LTCC)7を用い、この低温焼成多層セラミック基板7に設けられた空洞部8の内壁面にフェライト等からなる磁性材料9を付着したことにあり、それ以外の構成は基本的に同じである。低温焼成多層セラミック基板7は少なくとも2枚以上の低温焼成セラミック7A,7Bを必要枚数重ねたもので、これら低温焼成セラミック7A,7Bの凹部8a,8bを対向させることにより断面矩形状の空洞部8が形成されている。磁性材料9はフェライト等の磁性粉末を混入した磁性体ペーストを焼成することによって形成され、本実施形態例の場合は、2枚のグリーンシートに形成された凹部8a,8bの内壁面に磁性体ペーストを塗布し、この磁性体ペーストを各グリーンシートと同時に焼成することにより、空洞部8の内壁面に磁性材料9を付着するようになっている。
【0023】
このように構成された第3実施形態例に係るプリントインダクタによれば、空洞部8の広い内壁面に磁性材料9を付着できるため、第1実施形態例と同様の効果に加えて、インダクンス値を大きくできるという効果も奏する。また、絶縁性基板として低温焼成多層セラミック基板7を用いたため、グリーンシートの焼成時に空洞部8と内部の磁性材料8を同時に形成することができ、しかも、2枚のグリーンシートの凹部8a,8bによって空洞部8が形成されるため、空洞部8の開口端が露出しない低温焼成多層セラミック基板7を実現することも可能となる。
【0024】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0025】
互いに独立する複数のプリント配線と複数のスルーホールによって空洞部の外側に渦巻き状コイルが形成されるため、空洞部を介して絶縁性基板の上下両面に形成されたプリント配線間の誘電結合度が小さくなり、Q値を高めることができる。また、空洞部の内部に磁性材料を充填したり、空洞部の内壁面に磁性材料を付着すると、インダクンス値を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態例に係るプリントインダクタの平面図である。
【図2】該プリントインダクタの裏面図である。
【図3】図1のIII−III線に沿う断面図である。
【図4】該プリントインダクタの斜視図である。
【図5】本発明の第2実施形態例に係るプリントインダクタの断面図である。
【図6】本発明の第3実施形態例に係るプリントインダクタの断面図である。
【図7】従来例に係るプリントインダクタの斜視図である。
【符号の説明】
1 プリントインダクタ
2 空洞部
3 絶縁性基板
4 プリント配線
4a 端子部
5 スルーホール
6 磁性材料
7 低温焼成多層セラミック基板(絶縁性基板)
8 空洞部
8a,8b 凹部
9 磁性材料
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁性基板にスルーホールを介して立体的に形成したプリントインダクタに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に知られているプリントインダクタは、絶縁性基板の同一面上に導体パターンを渦巻き形状やミアンダ形状(蛇行形状)に形成して構成されているが、このようなインダクタは絶縁性基板に占める導体パターンの割合が大きくなり、絶縁性基板上の限られた領域に有効に形成しにくいという難点がある。そこで従来より、絶縁性基板にスルーホールを介して立体的なプリントインダクタを形成し、絶縁性基板の限られた領域を有効利用するという技術が提案されており、その一例が特許文献1に開示されている。
【0003】
図7は上記特許文献1に開示された従来例に係るプリントインダクタの斜視図である。同図に示すように、絶縁性基板10の上面と下面には互いに独立する複数のプリント配線11が形成されており、上面側に形成された各プリント配線11の両端は接続用の端子部11aとなっている。これらプリント配線11はそれぞれ斜め方向に並列配置されており、上面側と下面側の各プリント配線11の端末同士を複数のスルーホール12を介して順次連続的に接続することにより、絶縁性基板10をあたかも軸心に見たてた渦巻き状コイルからなるプリントインダクタ13が構成される。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−272932号公報(第3頁、図3)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前述した図7に示す従来技術によれば、絶縁性基板の限られた占有面積上で比較的大きなインダクンス値(L値)を有するプリントインダクタを形成できるが、各プリント配線とスルーホールが絶縁性基板を軸心に見たてて渦巻き状に形成されているため、絶縁性基板の上面側と下面側のプリント配線とが軸心位置に存在する絶縁材を介して誘電結合しやすくなる。その結果、このようなプリントインダクタとコンデンサとによってローパスフィルタ等の共振回路を構成した場合、共振回路のQ値を高めることが難しいという問題があった。
【0006】
また、前述した従来技術では、プリントインダクタのインダクンス値を高める場合、絶縁性基板の面上にプリント配線を覆うように磁性体膜を塗布したり、絶縁性基板の内部に磁性体膜をサンドイッチ状に形成するという手法をとっているが、いずれの手法も磁性体膜の膜厚を充分に確保することができないため、大きなインダクンス値を得ることが難しいという問題があった。
【0007】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、Q値を高めることができるプリントインダクタを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明のプリントインダクタでは、絶縁性基板にその板厚方向と直交する方向へ延びる空洞部を設け、この空洞部を介して対向する前記絶縁性基板の上下両面に互いに独立する複数のプリント配線を形成すると共に、これら上下両面の各プリント配線の端末同士を複数のスルーホールを介して順次連続的に接続することにより、前記空洞部の外側に渦巻き状コイルを形成した。
【0009】
このように構成されたプリントインダクタによれば、互いに独立する複数のプリント配線と複数のスルーホールによって構成される渦巻き状コイルが絶縁性基板の内部に設けられた空洞部の外側に形成されるため、絶縁性基板の上下両面に形成されたプリント配線間の誘電結合度が小さくなってQ値を高めることができる。
【0010】
上記の構成において、空洞部の内部にフェライト等の磁性材料を充填すると、インダクンス値を大きくすることができると共に、磁性材料の材料を選択したり充填量を変えることにより、インダクンス値を調整することも可能になる。
【0011】
また、上記の構成において、空洞部の内壁面に磁性材料を付着してもインダクンス値を大きくすることができ、この場合、絶縁性基板として低温焼成多層セラミック基板(LTCC=Low Tempurature Co-fired Ceramics)を使用することが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図1は本発明の第1実施形態例に係るプリントインダクタの平面図、図2は該プリントインダクタの裏面図、図3は図1のIII−III線に沿う断面図、図4は該プリントインダクタの斜視図である。
【0013】
これらの図に示すように、本実施形態例に係るプリントインダクタ1は、空洞部2を有する絶縁性基板3と、この絶縁性基板3の上面と下面にそれぞれ形成された互いに独立する複数のプリント配線4と、これら上面側と下面側の各プリント配線4の端末同士を順次連続的に接続する複数のスルーホール5とで構成されており、各プリント配線4とスルーホール5は空洞部2を軸心に見たてて渦巻き状コイルに形成されている。
【0014】
絶縁性基板3は例えばセラミックに結晶化ガラスを混入した低温焼成セラミック基板からなり、これらの材料を混練して得られるグリーンシートを900℃前後で焼成することにより形成される。空洞部2は絶縁性基板3の内部にその板厚方向と直交する方向へ延びており、図3からも明らかなように、その断面形状は矩形状に形成されている。この空洞部2は焼成後の絶縁性基板3に機械加工によって形成することも可能であるが、本実施形態例の場合は、熱収縮が少ないという低温焼成セラミック基板の利点を生かして焼成前のグリーンシートに形成してある。
【0015】
各プリント配線4は絶縁性基板3の上下両面にCrやCu等の導体膜を周知の成膜手段を用いて形成したものであり、上面側に形成された各プリント配線4の両端は接続用の端子部4aとなっている。本実施形態例の場合、空洞部2を介して対向する上面側と下面側の各プリント配線4のうち、上面側のプリント配線4が真っ直ぐに並列配置されると共に、下面側のプリント配線4が斜め方向に並列配置されているが、前述した従来例(図7参照)と同様に、上下両面のプリント配線4が向きを変えてそれぞれ斜め方向に並列配置されていても良い。
【0016】
各スルーホール5は空洞部2の外側で絶縁性基板3を板厚方向に貫通するように延びており、上面側と下面側の各プリント配線4の端末同士はこれらスルーホール5を介して順次連続的に接続されている。スルーホール5は絶縁性基板3に形成されたビアホール内にAgやAg/Pd等の導電材を充填したものや、ビアホールの内壁面に導電材をメッキ等で形成したものであり、本実施形態例の場合は、グリーンシートにあけられた複数のビアホール内にAgペーストを充填し、このAgペーストをグリーンシートと同時に焼成することでスルーホール5を形成している。このように、低温焼成セラミック基板は、グリーンシートの焼成時に空洞部2とスルーホール5を同時に形成できるという利点を有している。
【0017】
上記の如く構成されたプリントインダクタ1は、例えば絶縁性基板3上に形成された図示せぬコンデンサに端子部4aを介して接続され、ローパスフィルタ等の共振回路を構成するようになっている。この場合において、絶縁性基板3の上下両面のプリント配線4と複数のスルーホール5とによって空洞部2の外側に渦巻き状コイルが形成され、すなわち、内部が空気層(誘電率ε≒1)となっている空洞部2を軸心に見たてた渦巻き状コイルが形成されるため、この空洞部2を介して対向する上下両面のプリント配線4間の誘電結合度が小さくなり、共振回路のQ値を高めることができる。
【0018】
図5は本発明の第2実施形態例に係るプリントインダクタの断面図であり、図1〜図4に対応する部分には同一符号を付してある。
【0019】
本実施形態例が前述した第1実施形態例と相違する点は、空洞部2の内部に磁性材料6を充填したことにあり、それ以外の構成は基本的に同じである。磁性材料6は高透磁率を有するフェライト等からなり、絶縁性基板3の焼成後に空洞部2の端面から挿入しても良いし、グリーンシートに埋め込んで空洞部2の内部に埋設することもできる。
【0020】
このように構成された第2実施形態例に係るプリントインダクタによれば、空洞部2の内部の広い空間を利用して磁性材料6を充填できるため、第1実施形態例と同様の効果に加えて、インダクンス値を大きくできるという効果も奏する。また、透磁率が異なる磁性材料6を選択したり、空洞部2の内部空間に対する磁性材料6の充填量を変えることにより、インダクンス値を調整することも可能になる。
【0021】
図6は本発明の第3実施形態例に係るプリントインダクタの断面図であり、図1〜図4に対応する部分には同一符号を付してある。
【0022】
本実施形態例が前述した第1実施形態例と相違する点は、絶縁性基板として低温焼成多層セラミック基板(LTCC)7を用い、この低温焼成多層セラミック基板7に設けられた空洞部8の内壁面にフェライト等からなる磁性材料9を付着したことにあり、それ以外の構成は基本的に同じである。低温焼成多層セラミック基板7は少なくとも2枚以上の低温焼成セラミック7A,7Bを必要枚数重ねたもので、これら低温焼成セラミック7A,7Bの凹部8a,8bを対向させることにより断面矩形状の空洞部8が形成されている。磁性材料9はフェライト等の磁性粉末を混入した磁性体ペーストを焼成することによって形成され、本実施形態例の場合は、2枚のグリーンシートに形成された凹部8a,8bの内壁面に磁性体ペーストを塗布し、この磁性体ペーストを各グリーンシートと同時に焼成することにより、空洞部8の内壁面に磁性材料9を付着するようになっている。
【0023】
このように構成された第3実施形態例に係るプリントインダクタによれば、空洞部8の広い内壁面に磁性材料9を付着できるため、第1実施形態例と同様の効果に加えて、インダクンス値を大きくできるという効果も奏する。また、絶縁性基板として低温焼成多層セラミック基板7を用いたため、グリーンシートの焼成時に空洞部8と内部の磁性材料8を同時に形成することができ、しかも、2枚のグリーンシートの凹部8a,8bによって空洞部8が形成されるため、空洞部8の開口端が露出しない低温焼成多層セラミック基板7を実現することも可能となる。
【0024】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0025】
互いに独立する複数のプリント配線と複数のスルーホールによって空洞部の外側に渦巻き状コイルが形成されるため、空洞部を介して絶縁性基板の上下両面に形成されたプリント配線間の誘電結合度が小さくなり、Q値を高めることができる。また、空洞部の内部に磁性材料を充填したり、空洞部の内壁面に磁性材料を付着すると、インダクンス値を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態例に係るプリントインダクタの平面図である。
【図2】該プリントインダクタの裏面図である。
【図3】図1のIII−III線に沿う断面図である。
【図4】該プリントインダクタの斜視図である。
【図5】本発明の第2実施形態例に係るプリントインダクタの断面図である。
【図6】本発明の第3実施形態例に係るプリントインダクタの断面図である。
【図7】従来例に係るプリントインダクタの斜視図である。
【符号の説明】
1 プリントインダクタ
2 空洞部
3 絶縁性基板
4 プリント配線
4a 端子部
5 スルーホール
6 磁性材料
7 低温焼成多層セラミック基板(絶縁性基板)
8 空洞部
8a,8b 凹部
9 磁性材料
Claims (3)
- 絶縁性基板にその板厚方向と直交する方向へ延びる空洞部を設け、この空洞部を介して対向する前記絶縁性基板の上下両面に互いに独立する複数のプリント配線を形成すると共に、これら上下両面の各プリント配線の端末同士を複数のスルーホールを介して順次連続的に接続することにより、前記空洞部の外側に渦巻き状コイルを形成したことを特徴とするプリントインダクタ。
- 請求項1の記載において、前記空洞部の内部に磁性材料を充填したことを特徴とするプリントインダクタ。
- 請求項1の記載において、前記空洞部の内壁面に磁性材料を付着したことを特徴とするプリントインダクタ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002363905A JP2004200227A (ja) | 2002-12-16 | 2002-12-16 | プリントインダクタ |
US10/737,633 US6992557B2 (en) | 2002-12-16 | 2003-12-15 | Printed inductor capable of raising Q value |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002363905A JP2004200227A (ja) | 2002-12-16 | 2002-12-16 | プリントインダクタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004200227A true JP2004200227A (ja) | 2004-07-15 |
Family
ID=32652597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002363905A Pending JP2004200227A (ja) | 2002-12-16 | 2002-12-16 | プリントインダクタ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6992557B2 (ja) |
JP (1) | JP2004200227A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100688858B1 (ko) | 2004-12-30 | 2007-03-02 | 삼성전기주식회사 | 스파이럴 3차원 인덕터를 내장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
JP2012010025A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Tdk Corp | コイル部品 |
JP2012009553A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Tdk Corp | コイル部品 |
JP2013008895A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Ibiden Co Ltd | 配線板及び配線板の製造方法 |
JP2013527620A (ja) * | 2010-05-26 | 2013-06-27 | タイコ・エレクトロニクス・コーポレイション | 平面インダクタデバイス |
JP2015513820A (ja) * | 2012-02-13 | 2015-05-14 | クアルコム,インコーポレイテッド | スルーガラスビアを使用する3drfl−cフィルタ |
JP2016502261A (ja) * | 2012-10-16 | 2016-01-21 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 基板を貫通するビアによって設けられたインダクタ |
JP2016508356A (ja) * | 2013-01-11 | 2016-03-17 | クアルコム,インコーポレイテッド | ガラス貫通ビア技術を使用するダイプレクサ構成 |
WO2016047654A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品およびその製造方法 |
WO2019244658A1 (ja) * | 2018-06-23 | 2019-12-26 | 株式会社村田製作所 | 電子モジュールおよびスイッチング電源 |
JP2020174169A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-22 | 株式会社村田製作所 | 電子部品、電子部品実装基板及び電子部品の製造方法 |
WO2022139483A1 (en) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | Point Engineering Co., Ltd. | Inductor and body part for inductor |
Families Citing this family (56)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI238513B (en) | 2003-03-04 | 2005-08-21 | Rohm & Haas Elect Mat | Coaxial waveguide microstructures and methods of formation thereof |
US7196607B2 (en) * | 2004-03-26 | 2007-03-27 | Harris Corporation | Embedded toroidal transformers in ceramic substrates |
WO2007000031A1 (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-04 | Poly Systems Pty Ltd | A hand-held power tool |
JP4797549B2 (ja) * | 2005-10-05 | 2011-10-19 | Tdk株式会社 | コモンモードチョークコイル及びその製造方法 |
DE102006025098B4 (de) * | 2006-05-19 | 2008-06-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor zur Ermittlung der elektrischen Leitfähigkeit flüssiger Medien und ein Verfahren zu seiner Herstellung |
FR2906962B1 (fr) * | 2006-10-06 | 2010-11-12 | Thales Sa | Self integree dans un circuit imprime |
FR2909482A1 (fr) * | 2006-12-01 | 2008-06-06 | Commissariat Energie Atomique | Bobinage solenoide optimise |
JP2008188755A (ja) | 2006-12-30 | 2008-08-21 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 三次元微細構造体およびその形成方法 |
EP3104450A3 (en) | 2007-03-20 | 2016-12-28 | Nuvotronics, LLC | Integrated electronic components and methods of formation thereof |
US7898356B2 (en) | 2007-03-20 | 2011-03-01 | Nuvotronics, Llc | Coaxial transmission line microstructures and methods of formation thereof |
JP5170087B2 (ja) * | 2007-04-13 | 2013-03-27 | 株式会社村田製作所 | 携帯電子機器 |
DE102007028239A1 (de) * | 2007-06-20 | 2009-01-02 | Siemens Ag | Monolithisches induktives Bauelement, Verfahren zum Herstellen des Bauelements und Verwendung des Bauelements |
TWI345243B (en) * | 2007-08-14 | 2011-07-11 | Ind Tech Res Inst | Inter-helix inductor devices |
TWI384739B (zh) * | 2008-01-03 | 2013-02-01 | Delta Electronics Inc | 組合式電路及電子元件 |
US20090236134A1 (en) * | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Knecht Thomas A | Low frequency ball grid array resonator |
US7955942B2 (en) * | 2009-05-18 | 2011-06-07 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming a 3D inductor from prefabricated pillar frame |
CN101998756A (zh) * | 2009-08-11 | 2011-03-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 印刷电路板 |
CN102065636A (zh) * | 2009-11-12 | 2011-05-18 | 群康科技(深圳)有限公司 | 电路板及应用该电路板的电子装置及液晶显示器 |
US20110123783A1 (en) * | 2009-11-23 | 2011-05-26 | David Sherrer | Multilayer build processses and devices thereof |
US8325002B2 (en) * | 2010-05-27 | 2012-12-04 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Power inductor structure |
US8405482B2 (en) * | 2011-02-23 | 2013-03-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Integrated circuits including inductors |
DE102011100487A1 (de) * | 2011-05-04 | 2012-11-08 | Micronas Gmbh | Integriertes passives Bauelement |
US8866300B1 (en) | 2011-06-05 | 2014-10-21 | Nuvotronics, Llc | Devices and methods for solder flow control in three-dimensional microstructures |
US8814601B1 (en) | 2011-06-06 | 2014-08-26 | Nuvotronics, Llc | Batch fabricated microconnectors |
US8347490B1 (en) * | 2011-06-30 | 2013-01-08 | Chipbond Technology Corporation | Method for fabricating a carrier with a three dimensional inductor |
US9993982B2 (en) | 2011-07-13 | 2018-06-12 | Nuvotronics, Inc. | Methods of fabricating electronic and mechanical structures |
US9105627B2 (en) * | 2011-11-04 | 2015-08-11 | International Business Machines Corporation | Coil inductor for on-chip or on-chip stack |
US8803648B2 (en) * | 2012-05-03 | 2014-08-12 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Three-dimensional multilayer solenoid transformer |
JP5967028B2 (ja) | 2012-08-09 | 2016-08-10 | 株式会社村田製作所 | アンテナ装置、無線通信装置およびアンテナ装置の製造方法 |
US9343442B2 (en) | 2012-09-20 | 2016-05-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Passive devices in package-on-package structures and methods for forming the same |
US9761553B2 (en) * | 2012-10-19 | 2017-09-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Inductor with conductive trace |
US20140203902A1 (en) * | 2013-01-18 | 2014-07-24 | Geoffrey D. Shippee | Cards, devices, electromagnetic field generators and methods of manufacturing electromagnetic field generators |
US9325044B2 (en) | 2013-01-26 | 2016-04-26 | Nuvotronics, Inc. | Multi-layer digital elliptic filter and method |
US9101068B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-08-04 | Qualcomm Incorporated | Two-stage power delivery architecture |
US9306254B1 (en) | 2013-03-15 | 2016-04-05 | Nuvotronics, Inc. | Substrate-free mechanical interconnection of electronic sub-systems using a spring configuration |
US9306255B1 (en) | 2013-03-15 | 2016-04-05 | Nuvotronics, Inc. | Microstructure including microstructural waveguide elements and/or IC chips that are mechanically interconnected to each other |
US9935166B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-03 | Qualcomm Incorporated | Capacitor with a dielectric between a via and a plate of the capacitor |
US9634640B2 (en) | 2013-05-06 | 2017-04-25 | Qualcomm Incorporated | Tunable diplexers in three-dimensional (3D) integrated circuits (IC) (3DIC) and related components and methods |
US9425761B2 (en) | 2013-05-31 | 2016-08-23 | Qualcomm Incorporated | High pass filters and low pass filters using through glass via technology |
US9264013B2 (en) | 2013-06-04 | 2016-02-16 | Qualcomm Incorporated | Systems for reducing magnetic coupling in integrated circuits (ICS), and related components and methods |
JP6535347B2 (ja) | 2014-01-17 | 2019-06-26 | ヌボトロニクス、インク. | ウエハースケールのテスト・インターフェース・ユニット:高速および高密度の混合信号インターコネクトおよびコンタクタのための低損失および高絶縁性の装置および方法 |
US9368564B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-06-14 | Qualcomm Incorporated | 3D pillar inductor |
US9704739B2 (en) | 2014-07-30 | 2017-07-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device packages, packaging methods, and packaged semiconductor devices |
US10847469B2 (en) | 2016-04-26 | 2020-11-24 | Cubic Corporation | CTE compensation for wafer-level and chip-scale packages and assemblies |
US10511073B2 (en) | 2014-12-03 | 2019-12-17 | Cubic Corporation | Systems and methods for manufacturing stacked circuits and transmission lines |
KR101642643B1 (ko) * | 2015-01-27 | 2016-07-29 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 이의 제조 방법 |
US10290414B2 (en) * | 2015-08-31 | 2019-05-14 | Qualcomm Incorporated | Substrate comprising an embedded inductor and a thin film magnetic core |
US10163557B2 (en) * | 2015-12-17 | 2018-12-25 | Intel Corporation | Helical plated through-hole package inductor |
EP3944271A1 (en) * | 2016-12-22 | 2022-01-26 | AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Inductor made of component carrier material comprising electrically conductive plate structures |
KR102667536B1 (ko) * | 2017-01-10 | 2024-05-20 | 삼성전기주식회사 | 하이브리드 인덕터 |
DE102017108437B4 (de) * | 2017-04-20 | 2020-07-09 | Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover | Elektrische Schaltungsstruktur und Verfahren zu deren Herstellung |
US10923417B2 (en) | 2017-04-26 | 2021-02-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Integrated fan-out package with 3D magnetic core inductor |
US10395811B2 (en) * | 2017-05-18 | 2019-08-27 | Simmonds Precision Products, Inc. | Inductive sensor tuning using a permeable paste mixture |
US10319654B1 (en) | 2017-12-01 | 2019-06-11 | Cubic Corporation | Integrated chip scale packages |
CN110783686B (zh) * | 2018-07-31 | 2021-01-12 | 华为技术有限公司 | 一种移动终端 |
CN108695040B (zh) * | 2018-08-13 | 2021-10-08 | 西南应用磁学研究所 | 一种带有空气腔体的ltcf器件及其制作方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3988764A (en) * | 1973-10-30 | 1976-10-26 | General Electric Company | Deep diode solid state inductor coil |
US4729510A (en) * | 1984-11-14 | 1988-03-08 | Itt Corporation | Coaxial shielded helical delay line and process |
JPH07272932A (ja) | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Canon Inc | プリントインダクタ |
US5767563A (en) * | 1995-12-22 | 1998-06-16 | Micron Technology, Inc. | Inductor formed at least partially in a substrate |
US6249039B1 (en) * | 1998-09-10 | 2001-06-19 | Bourns, Inc. | Integrated inductive components and method of fabricating such components |
US6531945B1 (en) * | 2000-03-10 | 2003-03-11 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit inductor with a magnetic core |
US6459352B1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-10-01 | Skyworks Solutions, Inc. | On-chip transformers |
-
2002
- 2002-12-16 JP JP2002363905A patent/JP2004200227A/ja active Pending
-
2003
- 2003-12-15 US US10/737,633 patent/US6992557B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100688858B1 (ko) | 2004-12-30 | 2007-03-02 | 삼성전기주식회사 | 스파이럴 3차원 인덕터를 내장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
JP2013527620A (ja) * | 2010-05-26 | 2013-06-27 | タイコ・エレクトロニクス・コーポレイション | 平面インダクタデバイス |
JP2012010025A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Tdk Corp | コイル部品 |
JP2012009553A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Tdk Corp | コイル部品 |
JP2013008895A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Ibiden Co Ltd | 配線板及び配線板の製造方法 |
JP2015513820A (ja) * | 2012-02-13 | 2015-05-14 | クアルコム,インコーポレイテッド | スルーガラスビアを使用する3drfl−cフィルタ |
JP2016502261A (ja) * | 2012-10-16 | 2016-01-21 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 基板を貫通するビアによって設けられたインダクタ |
JP2016508356A (ja) * | 2013-01-11 | 2016-03-17 | クアルコム,インコーポレイテッド | ガラス貫通ビア技術を使用するダイプレクサ構成 |
WO2016047654A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品およびその製造方法 |
JPWO2016047654A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2017-06-29 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品およびその製造方法 |
WO2019244658A1 (ja) * | 2018-06-23 | 2019-12-26 | 株式会社村田製作所 | 電子モジュールおよびスイッチング電源 |
JP6677363B1 (ja) * | 2018-06-23 | 2020-04-08 | 株式会社村田製作所 | 電子モジュールおよびスイッチング電源 |
JP2020174169A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-22 | 株式会社村田製作所 | 電子部品、電子部品実装基板及び電子部品の製造方法 |
JP7287185B2 (ja) | 2019-04-05 | 2023-06-06 | 株式会社村田製作所 | 電子部品、電子部品実装基板及び電子部品の製造方法 |
WO2022139483A1 (en) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | Point Engineering Co., Ltd. | Inductor and body part for inductor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6992557B2 (en) | 2006-01-31 |
US20040124961A1 (en) | 2004-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004200227A (ja) | プリントインダクタ | |
US6560860B2 (en) | Low temperature co-fired ceramic with improved registration | |
US6778058B1 (en) | Embedded 3D coil inductors in a low temperature, co-fired ceramic substrate | |
JPH11195873A (ja) | 多層セラミック基板およびその製造方法 | |
JP2004172561A (ja) | セラミック多層基板及びその製造方法 | |
US6727795B2 (en) | Laminated electronic component and manufacturing method | |
KR101057567B1 (ko) | 트랜스포머 및 액정 폴리머(lcp) 물질을 사용한 관련 제조 방법 | |
EP1003216A2 (en) | Multilayered ceramic structure | |
JP2003158381A (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
TWI301336B (en) | High frequency filter | |
JP2005322743A (ja) | 積層コイル部品の製造方法 | |
JPH10294565A (ja) | 多層回路基板 | |
JP3669404B2 (ja) | 多層セラミック基板の製造方法 | |
JPH06252612A (ja) | ストリップ線路内蔵回路基板 | |
JPH0680964B2 (ja) | ストリップラインを有する回路装置 | |
JP2010016141A (ja) | 部品内蔵セラミックス基板およびその製造方法 | |
JPH01298796A (ja) | 混成集積回路 | |
JP2003204161A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JPH0714110B2 (ja) | 多層セラミック基板 | |
JP2003198221A (ja) | チップ型積層バラン素子 | |
JPH11288832A (ja) | 積層インダクタ部品及びその製造方法 | |
JPH05166672A (ja) | 複合部品 | |
JP2004336623A (ja) | 積層型チップバラン素子 | |
JPH1065342A (ja) | 多層回路基板およびその製造方法 | |
JP2007143019A (ja) | 積層ストリップラインフィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050509 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080325 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080507 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090407 |