JPH01298796A - 混成集積回路 - Google Patents
混成集積回路Info
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- JPH01298796A JPH01298796A JP63129372A JP12937288A JPH01298796A JP H01298796 A JPH01298796 A JP H01298796A JP 63129372 A JP63129372 A JP 63129372A JP 12937288 A JP12937288 A JP 12937288A JP H01298796 A JPH01298796 A JP H01298796A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 16
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
-
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4626—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
- H05K3/4629—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials laminating inorganic sheets comprising printed circuits, e.g. green ceramic sheets
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は混成集積回路に関するものである。
[従来技術及び課題]
従来の多層混成集積回路(多層ハイブリッドIC)にお
いては、第4図に示すように受動素子である厚膜抵抗体
1は多層よりなる基板2の表面においてターミナルとな
る導体3,4間に形成される。ところが、この厚膜抵抗
体1の占有面積は導体3,4を含めて少なくとも1.6
mmロ程度必要となっている。従って、このような厚膜
抵抗体1を使用する場合において抵抗体の数が多いとき
には基板サイズの小型化(高密度化)に対応できないと
いう問題があった。
いては、第4図に示すように受動素子である厚膜抵抗体
1は多層よりなる基板2の表面においてターミナルとな
る導体3,4間に形成される。ところが、この厚膜抵抗
体1の占有面積は導体3,4を含めて少なくとも1.6
mmロ程度必要となっている。従って、このような厚膜
抵抗体1を使用する場合において抵抗体の数が多いとき
には基板サイズの小型化(高密度化)に対応できないと
いう問題があった。
この発明の目的は、上記課題に鑑み抵抗体等の受動素子
の占有面積を少なくし基板の小型化を図ることができる
混成集積回路を提供することにある。
の占有面積を少なくし基板の小型化を図ることができる
混成集積回路を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
この発明は、多層よりなる回路基板の層間の配線接続を
施すために開けられたホール部に抵抗体若しくは誘電体
を組込んだ混成集積回路をその要旨とするものである。
施すために開けられたホール部に抵抗体若しくは誘電体
を組込んだ混成集積回路をその要旨とするものである。
[作用]
層間の配線接続を行なうためのホール部に抵抗体若しく
は誘電体が組込まれ、層の表面においてはその抵抗体等
の占有面積は′0″となる。
は誘電体が組込まれ、層の表面においてはその抵抗体等
の占有面積は′0″となる。
[実施例]
以下、この発明を具体化した一実施例を図面に従って説
明する。
明する。
第2図(a)〜(d)はその製造工程を示す基板の断面
図であり、この実施例では3層構造とし最も上層に抵抗
体を配置する場合について以下述ぺる。
図であり、この実施例では3層構造とし最も上層に抵抗
体を配置する場合について以下述ぺる。
まず、第2図(a)に示すように、3枚のアルミナのグ
リーンシー、ト11.12.13を用意し、最も上層に
位置させるグリーンシート11の所定の位置にピアホー
ル(穴>14.15.16を形成する。そし”C1第2
図(b)に示すようにスクリーン印刷にてピアホール1
5に周知の手法により導体ペースト17を充填する。次
いで、ピアホール14.16に抵抗体ペースト18.1
9をスクリーン印刷法にて充填する。
リーンシー、ト11.12.13を用意し、最も上層に
位置させるグリーンシート11の所定の位置にピアホー
ル(穴>14.15.16を形成する。そし”C1第2
図(b)に示すようにスクリーン印刷にてピアホール1
5に周知の手法により導体ペースト17を充填する。次
いで、ピアホール14.16に抵抗体ペースト18.1
9をスクリーン印刷法にて充填する。
次に、第2図(C)に示すように、同じくスクリーン印
刷にて各グリーンシート11,12.13の表面に所定
の導体ペースト20.21のパターンを印刷する。そし
て、第2図(d)に示すように、各グリーンシート11
,12.13を重ねた状態で加圧し圧着する。その後、
圧着した各グリーンシート11,12.13を焼成する
。
刷にて各グリーンシート11,12.13の表面に所定
の導体ペースト20.21のパターンを印刷する。そし
て、第2図(d)に示すように、各グリーンシート11
,12.13を重ねた状態で加圧し圧着する。その後、
圧着した各グリーンシート11,12.13を焼成する
。
その結果、第1図に示すような多層よりなるアルミナ基
板22.23.24の層間に配線接続を施すためのピア
ホール部(14,16)に抵抗体(18,19>を組込
んだ混成集積回路が形成される。この混成集積回路にお
いては、通常の居間配線接続を行なうピアホール部(1
4,16)に抵抗体(18,19)が組込まれ、基板2
2の表面においてはその抵抗体の占有面積は“0″とな
り、抵抗体の数が多くてもその占有面積を少なくし基板
の小型化を図ることができることとなる。
板22.23.24の層間に配線接続を施すためのピア
ホール部(14,16)に抵抗体(18,19>を組込
んだ混成集積回路が形成される。この混成集積回路にお
いては、通常の居間配線接続を行なうピアホール部(1
4,16)に抵抗体(18,19)が組込まれ、基板2
2の表面においてはその抵抗体の占有面積は“0″とな
り、抵抗体の数が多くてもその占有面積を少なくし基板
の小型化を図ることができることとなる。
即ち、従来では厚膜抵抗体1の占有面積は導体3゜4を
含めて少なくとも1.5rnm口程度必要となっていた
が、その低抗体の占有領域をなくすことができることと
なる。
含めて少なくとも1.5rnm口程度必要となっていた
が、その低抗体の占有領域をなくすことができることと
なる。
又、ピアホール部の抵抗体形成プロセスは従来のピアホ
ール部への導体充填工程を抵抗体充填工程に置換えるだ
けでよいので、従来の工程に特別の工程を付加づること
なく容易に行なうことができる。
ール部への導体充填工程を抵抗体充填工程に置換えるだ
けでよいので、従来の工程に特別の工程を付加づること
なく容易に行なうことができる。
尚、この発明は上記実施例に限定されるものでなく、上
記実施例ではピアホール部に受動素子として抵抗体を組
込んだが誘電体をスクリーン印刷法で組込んでもよい。
記実施例ではピアホール部に受動素子として抵抗体を組
込んだが誘電体をスクリーン印刷法で組込んでもよい。
又、上記実施例では各グリーンシート11,12.13
を重ねることにより多層化したが、第3図に示すように
、導体ペーストと絶縁ペーストを交互に印刷する方法に
より多層化しそのピアホール部に抵抗体等を組込んでも
よい。即ち、1枚の焼成したアルミナ基板25上に導体
ペースト26のパターンを形成し、次に、そのアルミナ
基板25上に導体ペースト26に連通ずるピアホール2
7を有する絶縁ペースト(ガラスペーストあるいはガラ
スセラミックペースト)28を印刷する。
を重ねることにより多層化したが、第3図に示すように
、導体ペーストと絶縁ペーストを交互に印刷する方法に
より多層化しそのピアホール部に抵抗体等を組込んでも
よい。即ち、1枚の焼成したアルミナ基板25上に導体
ペースト26のパターンを形成し、次に、そのアルミナ
基板25上に導体ペースト26に連通ずるピアホール2
7を有する絶縁ペースト(ガラスペーストあるいはガラ
スセラミックペースト)28を印刷する。
その後、ピアホール27に導体ペースト29や抵抗体ペ
ースト30をスクリーン印刷法により充填する。さらに
、同様に絶縁ペースト31により多層化し、その後焼成
することにより製造するようにしてもよい。
ースト30をスクリーン印刷法により充填する。さらに
、同様に絶縁ペースト31により多層化し、その後焼成
することにより製造するようにしてもよい。
さらに、基板材料もアルミナに限定されるものではなく
、例えばガラスセラミックや1、あるいはガラスエポキ
シ等の樹脂材料であってもよい。
、例えばガラスセラミックや1、あるいはガラスエポキ
シ等の樹脂材料であってもよい。
又、この発明の構造は両面スルーホール基板におけるス
ルーホール部にも適用できる。
ルーホール部にも適用できる。
[発明の効果]
以上詳述したようにこの発明によれば、層上の抵抗体等
の受動素子の占有面積を少なくし基板の小型化を図るこ
とができる優れた効果を発揮する。
の受動素子の占有面積を少なくし基板の小型化を図るこ
とができる優れた効果を発揮する。
第1図はこの発明を具体化した混成集積回路の断面図、
第2図(a)〜(d)は混成集積回路の製造工程を説明
するための断面図、第3図は別個の混成集積回路の断面
図、第4図は従来の混成集積回路の断面図である。 14はピアホール、16はピアホール、18は抵抗体(
抵抗体ペースト)、19は抵抗体(抵抗体ペースト)、
22はアルミナ基板、23はアルミナ基板、24はアル
ミナ基板、27はピアホール、28は絶縁ペースト、3
0は抵抗体ペースト、31は絶縁ペースト。 特許出願人 日本電装 株式会社代 理 人
弁理士 恩1)n宣ピアホール 第2 \ \ 13図
第2図(a)〜(d)は混成集積回路の製造工程を説明
するための断面図、第3図は別個の混成集積回路の断面
図、第4図は従来の混成集積回路の断面図である。 14はピアホール、16はピアホール、18は抵抗体(
抵抗体ペースト)、19は抵抗体(抵抗体ペースト)、
22はアルミナ基板、23はアルミナ基板、24はアル
ミナ基板、27はピアホール、28は絶縁ペースト、3
0は抵抗体ペースト、31は絶縁ペースト。 特許出願人 日本電装 株式会社代 理 人
弁理士 恩1)n宣ピアホール 第2 \ \ 13図
Claims (1)
- 1.多層よりなる回路基板の層間の配線接続を施すため
に開けられたホール部に抵抗体若しくは誘電体を組込ん
だことを特徴とする混成集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63129372A JP2712295B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 混成集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63129372A JP2712295B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 混成集積回路 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9193475A Division JPH1065342A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 多層回路基板およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01298796A true JPH01298796A (ja) | 1989-12-01 |
JP2712295B2 JP2712295B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=15007953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63129372A Expired - Lifetime JP2712295B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 混成集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2712295B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04313297A (ja) * | 1990-12-17 | 1992-11-05 | Hughes Aircraft Co | 複数の絶縁層を有するユニット化された多層回路構造体における抵抗構造体 |
US5500278A (en) * | 1991-07-17 | 1996-03-19 | Nippondenso Co., Ltd. | Multilayer substrate |
US5731067A (en) * | 1995-06-07 | 1998-03-24 | Denso Corporation | Multi-layered substrate |
US6201286B1 (en) | 1997-08-05 | 2001-03-13 | Denso Corporation | Multilayer wiring substrate for hybrid integrated circuit and method for manufacturing the same |
US6622374B1 (en) * | 2000-09-22 | 2003-09-23 | Gould Electronics Inc. | Resistor component with multiple layers of resistive material |
JP2007251216A (ja) * | 2007-07-05 | 2007-09-27 | Denso Corp | 配線基板 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821390A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | 株式会社日立製作所 | セラミツク基板の製造方法 |
JPS58213890A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 電気泳動電荷を持つ繊維性物質の積層成形物の製造方法及び装置 |
JPS6464394A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | Fujitsu Ltd | Hybrid integrated circuit substrate |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP63129372A patent/JP2712295B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6458670B2 (en) | 1997-08-05 | 2002-10-01 | Denso Corporation | Method of manufacturing a circuit substrate |
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US6771160B2 (en) | 2000-09-22 | 2004-08-03 | Nikko Materials Usa, Inc. | Resistor component with multiple layers of resistive material |
JP2007251216A (ja) * | 2007-07-05 | 2007-09-27 | Denso Corp | 配線基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2712295B2 (ja) | 1998-02-10 |
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Legal Events
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