JP2004122112A5 - - Google Patents

Description

【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、ノズル面を平行に対峙させて配設した機能液滴吐出ヘッドと、ワークの表面とノズル面との間のワークギャップを測定するギャップ測定手段と、ギャップ測定手段の測定結果に基づいて、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを上下方向に移動させてワークギャップを調整するギャップ調整手段と、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、ギャップ測定手段の測定結果に基づいて、機能液タンクを昇降させて機能液タンクに対する機能液滴吐出ヘッドの水頭を調整する水頭調整手段と、を備えたことを特徴とする。

【０００７】
この構成によれば、例えば新たにワークが導入されたときに、ギャップ測定手段を駆動してワークギャップを測定し、その測定結果に基づいて、ギャップ調整手段を駆動し、機能液滴吐出ヘッドを上下方向に移動させてワークギャップを微調整する。このとき、固定的に設けた機能液タンクとの間で機能液の水頭が変化し、機能液滴の吐出量が不安定になるが、水頭調整手段により機能液タンクを昇降させることで、機能液タンクに対する機能液滴吐出ヘッドの水頭を適切に維持することができる。このように、ワークギャップを自動で調整することができるため、一連のワーク処理工程にワークギャップの調整工程を含めることができると共に、水頭調整手段により機能液タンクを昇降させることで、機能液タンクに対する機能液滴吐出ヘッドの水頭を適切に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッドを上下させてギャップ調整を行っても、機能液滴の吐出量が不安定になることがない。

【００２２】
これらの場合、機能液タンクは、複数種の機能液滴吐出ヘッドに対応して複数に構成され、複数の機能液タンクと複数種の機能液滴吐出ヘッドとは、それぞれチューブを介して接続されていることが、好ましい。

Claims (11)

1. ワークに対し、ノズル面を平行に対峙させて配設した機能液滴吐出ヘッドと、
   前記ワークの表面と前記ノズル面との間のワークギャップを測定するギャップ測定手段と、
   前記ギャップ測定手段の測定結果に基づいて、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを上下方向に移動させて前記ワークギャップを調整するギャップ調整手段と、
   当該機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、
   前記ギャップ測定手段の測定結果に基づいて、前記機能液タンクを昇降させて前記機能液タンクに対する前記機能液滴吐出ヘッドの水頭を調整する水頭調整手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記機能液滴吐出ヘッドは、キャリッジに搭載されており、
   前記ギャップ調整手段は、前記キャリッジを上下方向にスライド自在に支持するベースと、前記ベースに固定したアクチュエータと、前記アクチュエータにより正逆回転するリードねじと、前記キャリッジに設けられ前記リードねじに螺合する雌ねじ部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記機能液タンクは、タンクホルダに保持されており、
   前記水頭調整手段は、前記タンクホルダを上下方向にスライド自在に支持するタンクベースと、前記タンクベースに固定したアクチュエータと、前記アクチュエータにより正逆回転するリードねじと、前記タンクホルダに設けられ前記リードねじに螺合する雌ねじ部と、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記機能液タンクに機能液を補給する機能液補給手段と、
   前記機能液タンク内の液位を検出する液位センサと、を更に備え、
   前記機能液補給手段は、前記液位センサの検出結果に基づいて、前記機能液タンク内の液位が一定になるように機能液を補給することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
5. 前記機能液滴吐出ヘッドは、キャリッジに搭載されており、
   前記ギャップ測定手段は、前記キャリッジに搭載されると共に上下方向における前記ワークの位置を計測する計測手段と、
   前記計測手段の計測結果に基づいて前記ワークギャップを算出する算出手段と、を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
6. 前記ワークは、ワークテーブル上にセットされており、
   前記ギャップ測定手段は、上下方向における前記ワークの位置および前記ワークテーブルの位置を計測する計測手段と、
   前記計測手段の計測結果に基づいて前記ワークギャップを算出する算出手段と、を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
7. 相互に充填する機能液および／または仕様が異なる前記機能液滴吐出ヘッドの複数種と、
   前記複数種の機能液滴吐出ヘッドを交換可能に搭載するキャリッジと、
   前記複数種の機能液滴吐出ヘッドを交換可能にストックするストッカと、
   前記機能液吐出ヘッドを、前記キャリッジおよび前記ストッカ間で移載するヘッド移載機構と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
8. 前記機能液タンクは、前記複数種の機能液滴吐出ヘッドに対応して複数に構成され、
   前記複数の機能液タンクと前記複数種の機能液滴吐出ヘッドとは、それぞれチューブを介して接続されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
10. 請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて前記ワーク上に前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
11. 請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。