JP2004111963A - プログラム及び消去特性が改善されたsonoseeprom及びその製造方法 - Google Patents
プログラム及び消去特性が改善されたsonoseeprom及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004111963A JP2004111963A JP2003315354A JP2003315354A JP2004111963A JP 2004111963 A JP2004111963 A JP 2004111963A JP 2003315354 A JP2003315354 A JP 2003315354A JP 2003315354 A JP2003315354 A JP 2003315354A JP 2004111963 A JP2004111963 A JP 2004111963A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charge trapping
- layer
- trapping layer
- oxide film
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 22
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 20
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 15
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 15
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019044 CoSix Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005689 Fowler Nordheim tunneling Effects 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N [B].[P] Chemical compound [B].[P] GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66833—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a charge trapping gate insulator, e.g. MNOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
- H01L29/7923—Programmable transistors with more than two possible different levels of programmation
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Abstract
【解決手段】 メモリ場所である電荷トラッピング層140aをセルのゲート両端、すなわちソース190及びドレーン195接合領域に形成させるが、接合隣接部位を局部的に厚く形成することによって電子充電領域及びホール充電領域を一致させてセル効率を向上させたSONOS EEPROMである。また、ゲート両端の電荷トラッピング層を誤整列なしに形成し、ゲート形成マスクなしにゲートを製造することであって、均一性に優れる構造のセルが製造でき、写真工程を使用せず、それによる限界を克服しうるSONOSEEPROMの製造方法である。
【選択図】 図2
Description
110a 下部酸化膜
135 電圧調節用イオン注入層
140a 電荷トラッピング層
145a 上部酸化膜
150a コントロールゲート
190 ソース
195 ドレーン
Claims (21)
- 基板から下部酸化膜、電荷トラッピング層、上部酸化膜及びコントロールゲートが順次に積層された積層体の両側にソース/ドレーン接合領域が形成されているSONOS EEPROMにおいて、
前記電荷トラッピング層の前記ソース/ドレーン接合隣接部位の高さを局部的に高く形成したことを特徴とするSONOS EEPROM。 - 前記電荷トラッピング層は、前記下部酸化膜上の両側に面する二つのスペーサよりなり、前記上部酸化膜とコントロールゲートとは前記二つのスペーサ間に自己整列されていることを特徴とする請求項1に記載のSONOS EEPROM。
- 前記電荷トラッピング層の上面、上部酸化膜の上面及びコントロールゲートの上面が相互に並んで形成されていることを特徴とする請求項2に記載のSONOS EEPROM。
- 前記下部酸化膜下の前記基板内部にはスレショルド電圧調節用イオン注入層がさらに形成されていることを特徴とする請求項1に記載のSONOS EEPROM。
- 前記電荷トラッピング層は、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ポリシリコンドットを含む膜、および窒化物ドットを含む膜のうち、いずれか一つの膜であることを特徴とする請求項1に記載のSONOS EEPROM。
- 基板内部に形成されたスレショルド電圧調節用イオン注入層と、
前記イオン注入層上部に形成された下部酸化膜と、
前記下部酸化膜上の両側に面して外側が高い二つのスペーサ形態の電荷トラッピング層と、
前記電荷トラッピング層及び下部酸化膜に沿って形成された上部酸化膜と、
前記上部酸化膜上に自己整列され、上面が平坦なコントロールゲートと、
前記イオン注入層の両側に前記基板内に形成されたソース/ドレーン接合領域と、を含むことを特徴とするSONOS EEPROM。 - 前記電荷トラッピング層の上面、上部酸化膜の上面及びコントロールゲートの上面が相互に並んで形成されていることを特徴とする請求項6に記載のSONOS EEPROM。
- 前記電荷トラッピング層はシリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ポリシリコンドットを含む膜、および窒化物ドットを含む膜のうち、いずれか一つの膜であることを特徴とする請求項6に記載のSONOS EEPROM。
- 前記コントロールゲートの中央部分がオープンされて基板が露出され、露出された基板内部に共通ソース/ドレーン接合領域がさらに形成されていることを特徴とする請求項6に記載のSONOS EEPROM。
- 基板上に下部酸化膜を形成する段階と、
前記下部酸化膜上に犠牲層を形成した後、前記犠牲層をパターニングして開口部を形成する段階と、
前記開口部の内壁にスペーサ形態の電荷トラッピング層を形成する段階と、
前記開口部が埋め立てられない程度の厚さに前記犠牲層と電荷トラッピング層とを覆う上部酸化膜を形成する段階と、
前記上部酸化膜上に前記開口部を完全に埋め立てるポリシリコン層を形成する段階と、
前記犠牲層が現れるまで前記ポリシリコン層の上面を平坦化して前記開口部内に自己整列されたコントロールゲートを形成する段階と、
前記犠牲層とその下の下部酸化膜とを除去する段階と、
前記コントロールゲートの両側に前記基板内にソース/ドレーン接合領域を形成する段階と、を含むことを特徴とするSONOS EEPROMの製造方法。 - 前記犠牲層は、前記電荷トラッピング層及びエッチング選択比のある膜質よりなることを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記犠牲層は、酸化膜よりなることを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記電荷トラッピング層は、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ポリシリコンドットを含む膜、および窒化物ドットを含む膜のうち、いずれか一つの膜よりなることを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記開口部の底の基板内部にスレショルド電圧調節用イオン注入を実施する段階をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記電荷トラッピング層を形成する段階は、
前記開口部が埋め立てられない程度の厚さに電荷トラッピング層用膜質を蒸着する段階と、
前記犠牲層の上面が現れるまでエッチバックして前記開口部の内壁に前記電荷トラッピング層用膜質よりなるスペーサを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。 - 前記電荷トラッピング層を形成する段階は、
前記開口部が埋め立てられない程度の厚さに前記電荷トラッピング層用膜質を形成する段階と、
前記犠牲層の上面が現れるまで傾斜エッチングして前記開口部の内壁に前記電荷トラッピング層用膜質よりなるスペーサを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。 - 前記スペーサをエッチバックして前記開口部より内側に押し入れる段階をさらに含むことを特徴とする請求項15または16に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記ポリシリコン層の上面を平坦化して前記開口部内に自己整列されたコントロールゲートを形成する段階は、化学機械的研磨によって行うことを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記ポリシリコン層の上面を平坦化して前記開口部内に自己整列されたコントロールゲートを形成する段階は、前記電荷トラッピング層が現れるまで行うことを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記コントロールゲートをシリサイド化する段階をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
- 前記コントロールゲートの中央部分をオープンして前記基板を露出させる段階をさらに含み、前記露出された基板内部にも共通ソース/ドレーン接合領域を形成することを特徴とする請求項10に記載のSONOS EEPROMの製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0056624A KR100480619B1 (ko) | 2002-09-17 | 2002-09-17 | 프로그램 및 소거 특성이 개선된 sonos eeprom및 그 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004111963A true JP2004111963A (ja) | 2004-04-08 |
JP4226419B2 JP4226419B2 (ja) | 2009-02-18 |
Family
ID=32291669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003315354A Expired - Fee Related JP4226419B2 (ja) | 2002-09-17 | 2003-09-08 | プログラム及び消去特性が改善されたsonoseeprom及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6844587B2 (ja) |
JP (1) | JP4226419B2 (ja) |
KR (1) | KR100480619B1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005086209A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Samsung Electronics Co Ltd | ローカルsonos型メモリ素子及びその製造方法 |
JP2007250610A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7349262B2 (en) | 2005-05-12 | 2008-03-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of programming silicon oxide nitride oxide semiconductor (SONOS) memory devices |
JP2013051436A (ja) * | 2012-11-09 | 2013-03-14 | Spansion Llc | 半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101110177B1 (ko) * | 2004-03-26 | 2012-02-29 | 매그나칩 반도체 유한회사 | Eeprom 셀 및 그 제조 방법 |
TWI233666B (en) * | 2004-04-13 | 2005-06-01 | Powerchip Semiconductor Corp | Method of manufacturing non-volatile memory cell |
US7133316B2 (en) * | 2004-06-02 | 2006-11-07 | Macronix International Co., Ltd. | Program/erase method for P-channel charge trapping memory device |
CN100382282C (zh) * | 2004-10-20 | 2008-04-16 | 力晶半导体股份有限公司 | 非挥发性存储单元的制作方法 |
KR100613289B1 (ko) * | 2004-12-30 | 2006-08-21 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 소노스 소자 및 제조 방법 |
DE102005002739B4 (de) * | 2005-01-20 | 2010-11-25 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Herstellen eines Feldeffekttransistors, Tunnel-Feldeffekttransistor und integrierte Schaltungsanordnung mit mindestens einem Feldeffekttransistor |
US7414888B2 (en) * | 2005-09-22 | 2008-08-19 | Macronix International Co., Ltd. | Program method and circuit of non-volatile memory |
US7511333B2 (en) * | 2005-10-06 | 2009-03-31 | Promos Technologies Inc. | Nonvolatile memory cell with multiple floating gates and a connection region in the channel |
KR100660285B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2006-12-20 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 스플리트 게이트형 비휘발성 기억 장치의 제조방법 |
US7697344B2 (en) * | 2006-11-03 | 2010-04-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Memory device and method of operating and fabricating the same |
KR101005638B1 (ko) * | 2006-12-04 | 2011-01-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 소자 및 제조방법 |
KR20090055836A (ko) * | 2007-11-29 | 2009-06-03 | 주식회사 동부하이텍 | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 |
DE102010002455B4 (de) | 2010-02-26 | 2017-06-01 | Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg | Nichtflüchtiger Speichertransistor und Verfahren zu dessen Herstellung |
KR101147527B1 (ko) * | 2010-06-08 | 2012-05-21 | 서울대학교산학협력단 | 일함수 차이를 이용한 단전자 트랜지스터 및 그 제조방법 |
KR20170000890U (ko) | 2016-06-07 | 2017-03-08 | 변재선 | 약음용기 |
CN113871487B (zh) * | 2021-09-02 | 2024-01-19 | 北京大学 | 一种凹型电荷俘获层突触晶体管及其制备方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3060272B2 (ja) * | 1993-11-01 | 2000-07-10 | 日本電気株式会社 | 半導体記憶装置の製造方法 |
KR0150048B1 (ko) * | 1994-12-23 | 1998-10-01 | 김주용 | 플래쉬 이이피롬 셀 및 그 제조방법 |
US5838041A (en) * | 1995-10-02 | 1998-11-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device having memory cell transistor provided with offset region acting as a charge carrier injecting region |
US5768192A (en) | 1996-07-23 | 1998-06-16 | Saifun Semiconductors, Ltd. | Non-volatile semiconductor memory cell utilizing asymmetrical charge trapping |
US6093945A (en) * | 1998-07-09 | 2000-07-25 | Windbond Electronics Corp. | Split gate flash memory with minimum over-erase problem |
JP3973819B2 (ja) * | 1999-03-08 | 2007-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP4899241B2 (ja) * | 1999-12-06 | 2012-03-21 | ソニー株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置およびその動作方法 |
JP3930256B2 (ja) * | 2001-02-07 | 2007-06-13 | スパンション エルエルシー | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2002
- 2002-09-17 KR KR10-2002-0056624A patent/KR100480619B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-07-24 US US10/626,113 patent/US6844587B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-08 JP JP2003315354A patent/JP4226419B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-10-27 US US10/974,331 patent/US7190021B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005086209A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Samsung Electronics Co Ltd | ローカルsonos型メモリ素子及びその製造方法 |
US7349262B2 (en) | 2005-05-12 | 2008-03-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of programming silicon oxide nitride oxide semiconductor (SONOS) memory devices |
JP2007250610A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4667279B2 (ja) * | 2006-03-14 | 2011-04-06 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2013051436A (ja) * | 2012-11-09 | 2013-03-14 | Spansion Llc | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4226419B2 (ja) | 2009-02-18 |
KR20040024896A (ko) | 2004-03-24 |
US7190021B2 (en) | 2007-03-13 |
KR100480619B1 (ko) | 2005-03-31 |
US6844587B2 (en) | 2005-01-18 |
US20050087798A1 (en) | 2005-04-28 |
US20040119109A1 (en) | 2004-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4939738B2 (ja) | ローカルsonos型メモリ素子及びその製造方法 | |
JP4226419B2 (ja) | プログラム及び消去特性が改善されたsonoseeprom及びその製造方法 | |
US7098109B2 (en) | Multi-level memory cell and fabricating method thereof | |
US7345336B2 (en) | Semiconductor memory device having self-aligned charge trapping layer | |
US7517757B2 (en) | Non-volatile memory device having dual gate and method of forming the same | |
JP4629400B2 (ja) | スプリットゲート型半導体メモリ素子の製造方法 | |
JPH10335497A (ja) | 半導体不揮発性記憶装置およびその製造方法 | |
JP3399186B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 | |
KR100731058B1 (ko) | 이중 터널 산화막을 포함하는 플래시 메모리 셀 및 그 제조방법 | |
US6977200B2 (en) | Method of manufacturing split-gate memory | |
JP3544308B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 | |
JP4384616B2 (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
US6897115B2 (en) | Method of fabricating non-volatile memory device | |
KR100606928B1 (ko) | 비휘발성 메모리 장치 및 그 제조방법 | |
US20090179256A1 (en) | Memory having separated charge trap spacers and method of forming the same | |
JP2005536039A (ja) | Nromメモリセルアレイの製造方法 | |
JP2005136426A (ja) | Sonos素子及びその製造方法 | |
JP4558420B2 (ja) | スペーサー酸化工程を利用する分離ゲートフラッシュメモリセル製造方法 | |
JP2004056071A (ja) | 半導体素子の製造方法及びその素子 | |
KR100559523B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 셀 제조 방법 | |
KR100685893B1 (ko) | 플래시 메모리 소자 및 그 제조방법 | |
JP2006012871A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
KR100692800B1 (ko) | 플래시 메모리 장치의 제조방법 | |
JP2007506275A (ja) | 不揮発性メモリ装置を製造する方法及びそれによって得られるメモリ装置 | |
KR100542497B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050414 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080715 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081009 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081126 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111205 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121205 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131205 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |