JP2005136426A - Sonos素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1表面、第1表面に比べて低い高さを有する第2表面、ならびに第1表面と第2表面間にトレンチ側壁をなす第3表面を有する半導体基板と、半導体基板上に導入されるトンネル誘電層と、第3表面上のトンネル誘電層上にスペーサ形態で導入される電荷捕獲層と、電荷捕獲層を覆ってトンネル誘電層上に導入される電荷遮断層と、電荷遮断層上に第1表面上から第3表面上を通って第2表面上に拡張されるように導入されるゲートと、ゲートに隣接する第1表面下に導入される第1不純物領域と、第1不純物領域に対向するように第2表面下に導入される第2不純物領域とを備えることを特徴とするSONOS素子。
【選択図】 図7
Description
このようなSONOS素子は、MONOS(Metal−oxide−nitride−oxide−semiconductor)素子などと呼ばれている。また、特許文献1に開示されたように2ビット動作の具現に応用されている。特許文献1では、1つのゲート下に2つの分離された窒化物スペーサを導入して2ビット動作が具現できる技術を開示しており、この時に窒化物スペーサを導入するためにトレンチを形成すること、及びこのようなトレンチ下にチャンネルを具現するためにトレンチをゲートで埋めることが開示されている。
図1A及び図2Bは、典型的なSONOS素子のセル構成を説明するために概略的に示す図面である。
典型的なSONOS素子のセル構成は図1Aに示したように、シリコン半導体基板10上に第1シリコン酸化物層21、シリコン窒化物層23、第2シリコン酸化物層25からなるONO層(Oxide−Nitride−Oxidelayer)20を形成し、その上にゲート30を形成し、ゲート30の近傍にドレインまたはソース領域として不純物領域41及び45を形成する構成でなる。
ところが、このように図1A及び図1Bに示されたような典型的なSONOS素子では素子の動作において相対的に高い動作電圧が要求され、消耗電流が多少大きくなることが改善されなければならない要素として認識されている。
このようなプログラム及び消去動作時に高い電圧の印加が要求される傾向は、図1Bに示されたようなローカルSONOS素子で多少緩和されうるが、図1Bに示されたようなローカルSONOS素子であってもこのような問題は完全に解決され難い。また、ローカルSONOS素子ではシリコン窒化物層53をソース領域41に隣接する部分にのみローカル化して形成する過程でONO誤整列が発生しうる。
前記トンネル誘電層はシリコン酸化物層を含んで構成されうる。
前記電荷捕獲層はシリコン窒化物またはアルミニウム酸化物を含んで構成しうる。
前記第1不純物領域はドレイン領域であり、前記第2不純物領域はソース領域でありうる。
前記課題を達成するための本発明の他の一態様によるSONOS素子は、表面にトレンチを有する半導体基板と、前記半導体基板上に前記トレンチの側壁及び底表面上に延びるように導入されるトンネル誘電層と、前記トレンチの側壁上の前記トンネル誘電層上にスペーサ形態で導入される電荷捕獲層と、前記電荷捕獲層を覆って前記トンネル誘電層上に導入される電荷遮断層と、前記電荷遮断層上に前記半導体基板の表面上から前記トレンチの側壁上を通って前記トレンチの底面の一部上に拡張されるように導入されるゲートと、前記ゲートに隣接する前記半導体基板の表面下に導入される第1不純物領域と、前記トレンチの底面下に導入される第2不純物領域とを備えて構成されうる。
前記課題を達成するための本発明の一態様によるSONOS素子の製造方法は、第1表面、前記第1表面に比べて低い高さを有する第2表面、及び前記第1表面と前記第2表面間に側壁をなす第3表面を有する半導体基板を導入する段階と、前記半導体基板上にトンネル誘電層を形成する段階と、前記第3表面上の前記トンネル誘電層上にスペーサ形態で電荷捕獲層を形成する段階と、前記電荷捕獲層を覆うように前記トンネル誘電層上に電荷遮断層を形成する段階と、前記電荷遮断層上に前記第1表面上から前記第3表面上を通って前記第2表面上に拡張されたゲートを形成する段階と、前記ゲートに隣接する前記第1表面下に第1不純物領域を形成する段階と、前記第1不純物領域に対向するように前記第2表面下に第2不純物領域を形成する段階とを含む。
前記電荷捕獲層を形成する段階は、前記トンネル誘電層上に化学気相蒸着(Chemical Vapor Deposition:以下、CVD)によって電荷捕獲層を形成する段階と、前記電荷捕獲層を異方性エッチングしてスペーサ形態で形成する段階とを含んでもよい。
本発明によれば、セル面積の縮少が可能であり、ONO誤整列発生を排除するローカルSONOS素子の構造を提示しうる。このような本発明によるSONOS素子は、電荷捕獲層がトレンチ側壁に位置することによってホット電子の注入及びホットホールの注入時に注入効率を大きく増加させられる。これにより、SONOS素子のプログラム及び消去時に非常に高い効率を具現しうる。
本発明の実施例では1ビット動作のためのローカルSONOS素子のセル構造を新たに提示する。本発明の実施例によるSONOS素子のセル構造は電荷捕獲層をスペーサ形態で具現することを提示する。具体的に、SONOS素子のセル構造は電荷捕獲層に隣接するドレインまたはソース領域としての第1不純物領域と、それと対向するソースまたはドレイン領域としての第2不純物領域とを含み、電荷捕獲層は第2不純物領域と対向してトレンチにスペーサ形態で具現される。
このように構成されるSONOS素子のプログラム動作時に、ゲート下のチャンネル領域にゲートへの電圧印加によって生成される反転領域に沿ってドレイン領域からソース領域まで電子が流れるときに多くのホット電子がスペーサ形態の電荷捕獲層に到達するようになる。これは電子が流れる方向の対向面に直接的にスペーサ形態の電荷捕獲層が位置することで、ホット電子がトンネル誘電層をトンネルリングする確率をさらに高めることができ、また、ゲートの下方向に生成される垂直電界だけでなくドレイン領域からソース領域または電荷捕獲層に生成される水平電界がホット電子の電荷捕獲層への注入に役立つためである。これは図1A及び図1Bに示されたように、従来のSONOS素子の構造ではホット電子の注入に垂直電界が決定的に影響を及ぼすこととは相異なる。
一方、本発明の実施例では電荷捕獲層をトレンチを利用したスペーサ形態で形成するので、電荷捕獲層の長さがセル間で実質的に対等な長さで形成されるように自然に誘導しうる。スペーサの幅は結局スペーサのために導入される層の厚さに依存するようになるので、セル毎に形成される電荷捕獲層の幅は実質的に一定になり、その高さもまたトレンチの深さに依存して実質的に一定になる。従って、セル間でのSONOS素子の特性変化を防止でき、各セルが均一な特性を持ちうる。すなわち、従来の場合での誤整列によるセル間特性の不均一を効果的に克服しうる。
図2は本発明の実施例によるSONOS素子を具現するために半導体基板100にトレンチ110を形成する段階を概略的に示す。図2に示すように、スペーサ形態で導入される電荷捕獲層が望ましくはドレイン領域としての第1不純物領域に水平方向に対向する位置または高さレベルに導入されるようにトレンチ110を半導体基板100表面に形成する。
図6は電荷遮断層250上にゲート300を形成する段階を概略的に示す。図6に示すように、ONO層200上に導電層、例えば、導電性多結晶シリコン層を形成し、写真エッチング工程などでパターニングしてゲート300を形成する。ゲート300は半導体基板100の第1表面121上からトレンチ110の側壁である第3表面125上を通ってトレンチ110の底面である第2表面123上に延びて拡張されるように形成される。すなわち、トレンチ110を一部のみ満たし、トレンチ110の底部位を一部満たさないように形成する。
図7はゲート300の近傍にドレインまたはソース領域である第1及び第2不純物領域450及び410を形成する段階を概略的に示す。図7に示すように、ゲート300に隣接する半導体基板100にイオン注入過程を利用して不純物をドーピングし、ドレインまたはソース領域である第1及び第2不純物領域450及び410を形成する。このような第1不純物領域450及び第2不純物領域410を形成するイオン注入工程は、同時または順に進みうる。またジャンクションの構造は単一ドレイン、LDD(Lightly Doped Drain)、DDD(Double Doped Drain)、PLDD(Pocket Lightly Doped Drain)などの構造で形成しうる。
一方、このような工程の順序によって本実施例のSONOS素子を形成する際、図1Aまたは図1Bに示されたように従来のSONOS素子を形成する場合に比べて総マスクの増加を防止できる。
図8は本発明の実施例によるSONOS素子のプログラム及び消去動作を説明するために概略的に示した図面である。
(産業上の利用可能性)
本発明は半導体メモリ素子、特に、リフレッシュの反復なしにデータを保存できる不揮発性メモリ素子、例えば、SONOS素子の製造に利用されうる。
Claims (17)
- 第1表面、前記第1表面に比べて低い高さを有する第2表面、ならびに前記第1表面と前記第2表面との間に垂直な側壁をなす第3表面を有する半導体基板と、
前記半導体基板上に導入されるトンネル誘電層と、
前記第3表面上の前記トンネル誘電層上にスペーサ形態で導入される電荷捕獲層と、
前記電荷捕獲層を覆って前記トンネル誘電層上に導入される電荷遮断層と、
前記電荷遮断層上に前記第1表面上から前記第3表面上を通って前記第2表面上に拡張されるように導入されるゲートと、
前記ゲートに隣接する前記第1表面の下に導入される第1不純物領域と、
前記第1不純物領域に対向するように前記第2表面の下に導入される第2不純物領域と、
を備えることを特徴とするSONOS素子。 - 前記第1不純物領域は、前記第3表面と一定の間隔で離隔するように導入されて前記第3表面上の前記電荷捕獲層と対向することを特徴とする請求項1に記載のSONOS素子。
- 前記トンネル誘電層は、シリコン酸化物層を含むことを特徴とする請求項1に記載のSONOS素子。
- 前記電荷捕獲層は、シリコン窒化物またはアルミニウム酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載のSONOS素子。
- 前記電荷遮断層は、シリコン酸化物層を含むことを特徴とする請求項1に記載のSONOS素子。
- 前記第1不純物領域はドレイン領域であり、前記第2不純物領域はソース領域であることを特徴とする請求項1に記載のSONOS素子。
- 表面にトレンチを有する半導体基板と、
前記半導体基板上に前記トレンチの側壁及び底表面上に延びるように導入されるトンネル誘電層と、
前記トレンチの側壁上の前記トンネル誘電層上にスペーサ形態で導入される電荷捕獲層と、
前記電荷捕獲層を覆って前記トンネル誘電層上に導入される電荷遮断層と、
前記電荷遮断層上に前記半導体基板の表面上から前記トレンチの側壁上を通って前記トレンチの底の一部上に拡張されるように導入されるゲートと、
前記ゲートに隣接する前記半導体基板の表面下に導入される第1不純物領域と、
前記トレンチの底下に導入される第2不純物領域と、
を備えることを特徴とするSONOS素子。 - 前記第1不純物領域は、前記トレンチの側壁と一定の間隔で離隔するように導入されて前記側壁上の前記電荷捕獲層と対向することを特徴とする請求項7に記載のSONOS素子。
- 前記第1不純物領域はドレイン領域であり、前記第2不純物領域はソース領域であることを特徴とする請求項7に記載のSONOS素子。
- 第1表面、前記第1表面に比べて低い高さを有する第2表面、ならびに前記第1表面と前記第2表面との間に側壁をなす第3表面を有する半導体基板を導入する段階と、
前記半導体基板上にトンネル誘電層を形成する段階と、
前記第3表面上の前記トンネル誘電層上にスペーサ形態で電荷捕獲層を形成する段階と、
前記電荷捕獲層を覆うように前記トンネル誘電層上に電荷遮断層を形成する段階と、
前記電荷遮断層上に前記第1表面上から前記第3表面上を通って前記第2表面上に拡張されるゲートを形成する段階と、
前記ゲートに隣接する前記第1表面下に第1不純物領域を形成する段階と、
前記第1不純物領域に対向するように前記第2表面下に第2不純物領域を形成する段階と、
を含むことを特徴とするSONOS素子の製造方法。 - 半導体基板上にトレンチを形成する段階と、
前記半導体基板上に前記トレンチの側壁及び底表面上に延びるようにトンネル誘電層を形成する段階と、
前記トレンチの側壁上の前記トンネル誘電層上にスペーサ形態で電荷捕獲層を形成する段階と、
前記電荷捕獲層を覆うように前記トンネル誘電層上に電荷遮断層を形成する段階と、
前記電荷遮断層上に前記半導体基板の表面上から前記トレンチの側壁上を通って前記トレンチの底面の一部上に拡張されるゲートを形成する段階と、
前記ゲートに隣接する前記半導体基板の表面下に第1不純物領域を形成する段階と、
前記トレンチの底下に第2不純物領域を形成する段階と、
を含むことを特徴とするSONOS素子の製造方法。 - 前記電荷捕獲層を形成する段階は、
前記トンネル誘電層を窒化させて電荷捕獲層を形成する段階と、
前記電荷捕獲層を異方性エッチングしてスペーサ形態に形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項10に記載のSONOS素子の製造方法。 - 前記電荷捕獲層を形成する段階は、
前記トンネル誘電層上に化学気相蒸着で電荷捕獲層を形成する段階と、
前記電荷捕獲層を異方性エッチングしてスペーサ形態に形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項10に記載のSONOS素子の製造方法。 - トレンチを有する半導体基板と、
前記半導体基板上に導入されるトンネル誘電層と、
前記トンネル誘電層上に前記トレンチの側壁に隣接するようにスペーサ形態で導入される電荷捕獲層と、
前記電荷捕獲層を覆って前記トンネル誘電層上に導入される電荷遮断層と、
前記電荷遮断層上に前記半導体基板上から前記トレンチの側壁上を通って前記トレンチの底上に達するように拡張されて前記トレンチを埋めるように導入されるゲートと、
を備えることを特徴とするSONOS素子。 - 前記ゲートに隣接する前記半導体基板の表面の下に導入される第1不純物領域と、
前記第1不純物領域に対向するように前記トレンチの底下に導入される第2不純物領域と、
を備えることを特徴とする請求項14に記載のSONOS素子。 - 前記第1不純物領域は、前記トレンチから一定の間隔で離隔して形成されることを特徴とする請求項15に記載のSONOS素子。
- 前記第1不純物領域はドレイン領域であり、前記第2不純物領域はソース領域であることを特徴とする請求項15に記載のSONOS素子。
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