JP2004005973A - 半導体メモリ装置及びその不良セルをスクリーニングする方法並びに半導体メモリ装置の配置方法 - Google Patents
半導体メモリ装置及びその不良セルをスクリーニングする方法並びに半導体メモリ装置の配置方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体メモリ装置の不良セルをスクリーニングする回路、そのスクリーニング方法及びそのスクリーニングのための配置方法が開示される。本発明の半導体メモリ装置はSRAMセルそして第1及び第2ドライバ部を含む。第1ドライバ部は電源電圧とメモリセルとの間に連結され、セルパワー制御信号に応答してメモリセルに電源電圧を供給する。第2ドライバ部は電源電圧とメモリセルとの間に連結され、セルパワーダウン信号に応答してメモリセルに電源電圧を所定電圧降下させた電圧を供給する。本発明の半導体メモリ装置によると、セルパワーダウン信号により電源電圧を所定電圧降下させてメモリセルに直ちに供給するので、従来のテスターで一定電圧降下させた電圧を供給するため電圧を変更した後に安定化のために必要とした時間が不要になる。これにより不良セルをスクリーニングするテスト時間が縮まる。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体メモリ装置に関するものであり、特に不良セルをスクリーニングする回路、そのスクリーニング方法及びそのスクリーニングのための配置方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体メモリ装置の大容量化により、メモリセルの密度(density)が高くなり、デザインルールは小さくなっている。こうした傾向はSRAMにも同様であり、高集積化によりSRAMセル自体の損傷やSRAMセル内の不整合により不良セルが生ずる可能性が高くなっている。ウィークセル(weak cell)は、スタンバイ電流を測定してセルノードの異常な漏れ電流をモニタリングすることによって検出される。ウィークセルを初期にスクリーニングすることにより組立コストとテストコストとを減らす方法が要求されているが、このような方法は、特許文献1に開示されている。
【0003】
特許文献1は、微少リーク電流の存在の有無を感知するSRAMとそのテスト方法に関するものであり、図1にそのテスト方法が示されている。図1を参照すると、電源ラインVddとメモリセル10のトランジスタ16、18の間に半導体スイッチ34が挿入され、半導体スイッチ34はテスト時間中にターンオフされる。データはスイッチ34がターンオンされた時に書き込まれ、スイッチ34がターンオフされ、所定時間経て、再びスイッチ34がターンオンされた後に、データが読み出される。この際、書き込まれたデータが反転されているとメモリセルは不良であると判定される。また、スイッチがOFF状態のままデータを書き込み、所定時間経た後にデータを読み出すが、データ読み出しが不可能なメモリセルも不良であると判定される。
【0004】
ところで、特許文献1は、スタンバイ電流を測定してリーク電流ILをモニタリングして不良セルをスクリーニングする方法である。これとは違って、不良セル又はウィークセルをスクリーニングする方法で、電源電圧を用いてデータ保持力(data retention)をテストする方法(以下、“VDRテスト”という)がある。VDRテストとは、テスターの電源値を変更し、変更された電源値に電源電圧をSRAM内部に供給し、SRAM内部の電源電圧が充分に一定値に維持されることを待ってデータ保持力をテストすることを言う。
【0005】
ところで、こうしたVDRテストを行うとテスターの電源変更、それによる電源の安定化時間、電源電圧のSRAMへの供給時間等により相当に長い時間が必要になるという問題点がある。
【0006】
従って、特許文献1とは違って、VDRテストでテストしてもテスト時間に長時間を要することなく不良セルをスクリーニングすることができる技術が要求される。
【特許文献1】
特開平7−312097号公報
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は不良セルをスクリーニングする回路を有する半導体メモリ装置を提供することである。
【0007】
本発明の他の目的は不良セルをスクリーニングする方法を提供することである。
【0008】
本発明のもう1つの目的は所定ブロック単位に不良セルをスクリーニングするための半導体メモリ装置の配置方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明の半導体メモリ装置はSRAMセルそして第1及び第2ドライバ部を含む。第1ドライバ部は電源電圧とメモリセルとの間に連結され、セルパワー制御信号に応答してメモリセルに電源電圧を供給するPMOSトランジスタから構成される。第2ドライバ部は電源電圧とメモリセルとの間に連結され、セルパワーダウン信号に応答してメモリセルに電源電圧を所定電圧降下させた電圧を供給するNMOSトランジスタから構成される。半導体メモリ装置はセルパワー制御信号を発生するセルパワー信号発生部を更に含む。
【0010】
本発明の一実施形態によるセルパワー信号発生部は第1テストパッドと、第2テストパッドと、第2テストパッドの入力に応答して半導体メモリ装置をテストするテストモードの1つとして所定のセルパワーオフモードを提供するセルパワー制御回路部と、セルパワー制御回路部の出力と第2テストパッドの入力に応答するANDゲートと、ANDゲートの出力と第1テストパッドの入力に応答してセルパワー制御信号を発生するNORゲートとを含む。セルパワー制御回路部はJTAGテストモード回路で具現される。
【0011】
本発明の他の実施形態によるセルパワー信号発生部は第1テストパッドの入力によりセルパワーダウン信号を発生するバッファ部と、第2テストパッドの入力に応答して半導体メモリ装置をテストするテストモードの1つとして所定のセルパワーオフモードを提供するセルパワー制御回路部と、セルパワー制御回路部の出力と第2テストパッドの入力に応答してセルパワー制御信号を発生するNANDゲートと、外部電圧パッドに入力される電圧を半導体メモリ装置の電源電圧に変換する電圧変換部とを含む。
【0012】
前述した他の目的を達成するために、本発明はメモリセルの不良の有無をスクリーニングする方法において、テスト信号が入力されるJTAGテストモード回路を通じてテスト信号によりセルパワー制御信号が発生される段階と、メモリセルにデータを書き込む段階と、所定のクロックサイクル間の期間中において、第1ロジックレベルのセルパワー制御信号に応答してメモリセルに供給される電源電圧を遮断する段階と、所定のクロックサイクル間の期間中において、第2ロジックレベルのセルパワー制御信号に応答してメモリセルに電源電圧を供給し、メモリセルのデータを読み出す段階と、クロックの一サイクル毎に、第1ロジックレベルと第2ロジックレベルのセルパワー制御信号とが交代で印加され、セルパワー制御信号が第1ロジックレベルである時に電源電圧を遮断した状態でメモリセルにデータを書き込み、セルパワー制御信号が第2ロジックレベルである時に電源電圧を供給した状態でメモリセルのデータを読み出す段階とを含む。
【0013】
前述したもう1つの目的を達成するために、本発明の半導体メモリ装置の配置方法において、複数のメモリセルが行及び列で配列される第1及び第2サブメモリセルアレイブロックと、第1及び第2サブメモリセルアレイブロックのビットライン方向における側に配置されるコラムデコーダとビットラインセンスアンプ部と、第1及び第2サブメモリセルアレイブロックのワードライン方向に第1及び第2サブセルアレイブロックの間に配置されるサブローデコーダと、サブローデコーダとビットラインセンスアンプ部との接合部分に配置され、メモリセルに供給される電源電圧を制御するセルパワー制御信号により駆動されるドライバ部とが配列される。そして、第1及び第2サブメモリセルアレイブロック、サブローデコーダ、及びドライバ部を含む単位ブロックが行で配列されるメインセルブロックが行で多数個配列され、サブメモリセルアレイブロックをアドレッシングするメインローデコーダが更に配列される。全体メインメモリセルアレイブロックをスクリーニングするため、セルパワー制御信号はメインローデコーダをイネーブルさせるプリデコーダに入力されて全てのメインメモリセルブロック内のメモリセルに供給される電源電圧を制御する。単位ブロックをスクリーニングするため、セルパワー制御信号はサブローデコーダに入力されて選択されるサブメモリセルブロック内のメモリセルへ供給される電源電圧を制御する。
【0014】
従って、本発明によると、セルパワーダウン信号により電源電圧を所定電圧降下させてメモリセルに供給するので、従来のテスターで一定電圧降下させた電圧を供給するため電圧を変更した後に安定化のために必要とした時間が不要になる。これにより不良セルをスクリーニングするテスト時間が縮まる。そして、半導体メモリ装置のウェーハ状態とパッケージ状態のいずれの場合でも不良セルスクリーニングが可能であり、任意のブロック単位スクリーニングも可能である。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。
【0016】
図2は本発明の第1実施形態によるSRAMセルを示す図面である。図2を参照すると、SRAMセル200はトランジスタM1、M3から構成される第1インバータセル210と、トランジスタM2、M4から構成される第2インバータセル220とが互いに交差連結され、第1インバータセル210の出力はトランジスタM5を通じてビットラインBLに連結され、第2インバータセル220の出力はトランジスタM6を通じて相補ビットライン/BLに連結され、トランジスタM5、M6のゲートはワードラインWLに連結される。トランジスタM1、M2のソースはドライバ部230を通じて第1内部電圧VDDCと連結される。ドライバ部230はセルパワー制御信号CPENBに応答してトランジスタM1、M2のソースに第1内部電圧VDDCを供給するPMOSトランジスタから構成される。
【0017】
SRAMセル200は図1のSRAMセル10と比較してスイッチ34の代わりにセルパワー制御信号CPENBにより駆動されるドライバ部230を使用するという点で差がある。特に、セルパワー制御信号CPENBはウェーハテスト時とパッケージテスト時に各々使用することができ、図3のセルパワー制御信号発生部300により発生される。
【0018】
図3で、セルパワー信号発生部300は第1テストパッド302、第2テストパッド304、セルパワー制御回路部306、ANDゲート308、そしてNORゲート310を含み、セルパワー制御信号CPENBを発生する。第1テストパッド302にはウェーハレベルテストを示す入力信号が、第2テストパッド304には外部で任意に設定される制御信号が入る。セルパワー制御回路部306は第2テストパッド304の入力に応答して半導体メモリ装置をテストするテストソースのために所定のセルパワーオフモードを提供するJTAGテストモード回路として、セルパワーオフ信号cell pzzを発生する。ANDゲート308はセルパワーオフ信号cell pzzと第2テストパッド304の入力に応答してその出力を決定し、NORゲート310はANDゲート308の出力と第1テストパッド302の入力に応答してセルパワー制御信号CPENBを発生する。セルパワー信号発生部300は第1テストパッド302にハイレベルの信号が入力されるか、或いはANDゲート308の出力からハイレベルの信号が発生されるとローレベルのセルパワー制御信号CPENBを発生する。ローレベルのセルパワー制御信号CPENBに応答するドライバ部230(図2)を通じてSRAMセル200のトランジスタM1、M2に第1内部電圧VDDCが供給される。
【0019】
従って、本実施形態のSRAMセル200(図2)の場合、セルパワー制御回路部306を経由せずに外部から第1テストパッド302(図3)に印加されるハイレベルパルスによりSRAMセル200のトランジスタM1、M2に第1内部電圧VDDCが直ちに供給される。これはウェーハ状態のテスト時にSRAMセル200へ電源電圧VDDCが供給されることを意味する。そして、SRAMがパッケージ状態である時は第2テストパッド304の入力を受信するセルパワー制御回路部306のセルパワーオフ信号cell pzzによりSRAMセル200のトランジスタM1、M2に第1内部電圧VDDCが直ちに供給される。
【0020】
図4は本発明の第2実施形態によるSRAMセルを示す図面である。図4で、SRAMセル400は図2のSRAMセル200と比較して第1内部電圧VDDCとトランジスタM1、M2の間に第1及び第2ドライバ部430、440を含むという点で差がある。第1ドライバ部430はセルパワー制御信号CPENBに応答してトランジスタM1、M2のソースに第1内部電圧VDDCを供給するPMOSトランジスタから構成され、第2ドライバ部440はセルパワーダウン信号CPDOWNに応答してトランジスタM1、M2のソースに第1内部電圧VDDCをスレッショルド電圧Vt程降下させた電圧を供給するNMOSトランジスタから構成される。セルパワー制御信号CPENBとセルパワーダウン信号CPDOWNは図5のセルパワー信号発生部500により発生される。
【0021】
図5はセルパワー信号発生部500を示す図面である。図5で、セルパワー信号発生部500は第1テストパッド502と連結されるバッファ部510、第2テストパッド504と連結されるセルパワー制御回路部522と内部電圧トリミング回路部524を含むJTAGテストモード回路520、セルパワー制御回路部522の出力cell pzzと第2テストパッド504の入力に応答するNANDゲート526、そして第1及び第2外部電圧パッド506、508と連結され、内部電圧トリミング回路部524の出力に制御されて第1及び第2外部電圧を第1及び第2内部電圧VDDC、VDDに変換する第1及び第2内部電圧変換部530、540を含む。バッファ部510の出力はセルパワーダウン信号CPDOWNになり、NANDゲート526の出力はセルパワー制御信号CPENBになる。セルパワーダウン信号CPDOWNは第1テストパッド502に入力される信号レベルにより発生する。セルパワー制御信号CPENBはハイレベルの第2テストパッド504の入力とハイレベルのセルパワー制御回路部508の出力cell pzzによりローレベルの信号として発生される。ハイレベルのセルパワーダウン信号CPDOWNは図4の第2ドライバ部440であるNMOSトランジスタをターンオンさせてSRAMセルのトランジスタM1、M2に第1内部電圧VDDCをスレッショルド電圧Vt程降下させた電圧を供給する。ローレベルのセルパワー制御信号CPENBは図4の第1ドライバ部430であるPMOSトランジスタをターンオンさせてSRAMセル400のトランジスタM1、M2に第1内部電圧VDDCを供給する。
【0022】
従って、本発明の第2実施形態のSRAMセル400の場合、JTAGテストモード回路520を経由せずに外部から第1テストパッド502に印加されるハイレベルパルスにより発生されるセルパワーダウン信号CPDOWNによりSRAMセルのトランジスタM1、M2に第1内部電圧VDDCをスレッショルド電圧Vt程降下させた電圧が供給される。これは従来のテスターでメモリセルに一定電圧降下させた電圧を供給するために、電圧値を変更した後に安定化のために必要とした時間が不要であることを意味する。従って、不良セルをスクリーニングする時間を縮めることができる。
【0023】
図6は本発明の好適な実施の形態に係るSRAMセルをスクリーニングするタイミングダイヤグラムを示す図面である。図5のJTAGテストモード520のクロック信号XTCKが周期的に入力され、第2テストパッド504に所定のテスト信号が入力される。第2テストパッド504にはC2クロックからC7クロックまでハイレベルのテスト信号が印加され、C8クロックからC15クロックまでローレベルのテスト信号が印加され、C16クロックからC24クロックまで2クロックサイクル毎にハイレベルのテスト信号が印加される。セルパワー制御回路部522の出力cell pzzは第2テストパッド504にテスト信号が印加されるC2クロック〜C24クロックの間でハイレベルに活性化される。セルパワー制御信号CPENBは第2テストパッド504のテスト信号により発生される。セルパワー制御信号CPENBがハイレベルである区間はSRAMセルに第1内部電圧VDDCが供給されない区間である。
【0024】
C2クロック以前に、ローレベルのセルパワー制御信号CPENBによりSRAMセルに第1内部電圧VDDCが供給され、全てのSRAMセルへの書き込み動作(All cell write)が行われる。C2クロックからC7クロックまでのセルパワー制御信号CPENBがハイレベルである区間はSRAMセルに第1内部電圧VDDCが供給されないので、ウィークセルをスクリーニングすることができる時間的な限界になる区間とする。以後、C8クロックからC15クロックまでセルパワー制御信号CPENBがローレベルである区間中は全てのSRAMセルの読み出し動作(All cell read)になる。
【0025】
C16クロック以後には各SRAMセル毎に書き込み/読み出し動作が成されるが、C16、C18、C20、C22、C24クロックでセルパワー制御信号CPENBがハイレベルである区間中で一つのSRAMセルへの書き込み動作(1 cell write)が各々成される。この際、SRAMセルに第1内部電圧VDDCが供給されない状態でSRAMセルへの書き込み動作が強制される。以後、C17、C19、C21、C23クロックでセルパワー制御信号CPENBがローレベルである区間中でSRAMセル一つの読み出し動作(1 cell read)が各々成される。ここで、読み出されたデータと書き込みデータを比較して相異なると不良セルであると判別される。
【0026】
図7は図2のSRAMセルの半導体メモリ装置内の配置を示す図面である。図7で、半導体メモリ装置には第1〜第4サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、SCB2、SCB3、サブローデコーダSRD、コラムデコーダYPATH、書き込みドライバWDRV、ビットラインセンスアンプ部BSA、ドライバ部710、720、730、740、電源電圧パッド750、そして電源電圧ライン760が配置される。第1〜第4サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、SCB2、SCB3には図2のSRAMセル200のトランジスタM1〜M6が行及び列で配列される。コラムデコーダYPATH、書き込みドライバWDRVそしてビットラインセンスアンプBSAは第1〜第4サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、SCB2、SCB3のビットライン方向の下端部に配置される。サブローデコーダSRDは第1及び第2サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、そして第3及び第4サブセルブロックSCB2、SCB3の間に配置される。第1及び第2サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、サブローデコーダSRD、コラムデコーダYPATH、書き込みドライバWDRV、ビットラインセンスアンプBSAそしてドライバ部710、720は一つの単位ブロック700を成す。電源電圧パッド750は電源電圧ライン760を通じてドライバ部710、720、730、740と連結される。ドライバ部720、740には図2のSRAMセル200内のドライバ部であるPMOSトランジスタが配置されるが、サブローデコーダSRDとビットラインセンスアンプBSAの間の接合(conjunction)部分に配置されて第1〜第4サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、SCB2、SCB3の下端部に配列されるメモリセルに第1内部電圧VDDCを供給する。そして、ドライバ部710、730はサブローデコーダSRDの上端部に配置されて第1〜第4サブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、SCB2、SCB3の上端部に配列されるメモリセルに第1内部電圧VDDCを供給し、図2のSRAMセル200内のドライバ部であるPMOSトランジスタが配置される。
【0027】
図8及び図9はセルパワー制御信号CPENBをメモリセルブロックのデコーディング信号として使用して所定のブロック単位にメモリセルをスクリーニングする方法を示す図面である。図8及び図9には図7の単位ブロック700が行で多数個配列される第1〜第4メインメモリセルアレイブロックMCB0、MCB1、MCB2、MCB3が配置され、第1〜第4メインメモリセルアレイブロックMCB0、MCB1、MCB2、MCB3の各々は内部のサブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、…をデコーディングするメインローデコーダMRDと連結される。
【0028】
図8は全体ブロックをスクリーニングする方法を示す。セルパワー制御信号CPENBがプリデコーダ810に入力され、プリデコーダ810の出力はメインローデコーダMRDに提供される。セルパワー制御信号CPENBがイネーブルされるとメインローデコーダMRDが活性化され、第1〜第4メインメモリセルアレイブロックMCB0、MCB1、MCB2、MCB3に第1内部電圧VDDCが印加される。これに対し、図9はセルパワー制御信号CPENBが各々のブロックデコーダBDCに提供される。セルパワー制御信号CPENBが活性化されると各サブセルブロックSCB0、SCB1、…、に第1内部電圧VDDCが印加されるが、メインローデコーダMRDにより選択されたサブメモリセルアレイブロックSCB0、SCB1、…、に第1内部電圧VDDCが印加される。従って、セルパワー制御信号CPENBがデコーディングされる方法によりメモリセルブロック全体又は単位ブロックで不良セルのスクリーニングが可能となる。
【0029】
以上で、本発明は実施形態を挙げて記述したがこれは例示的なものに過ぎず、本発明の技術的思想及び範囲を制限したり限定したりするものではない。本発明の実施形態では、SRAMセルへの電源供給制御について記述しているが、SRAMセル以外のメモリセルにも適用されることができることは勿論である。したがって、本発明の技術的思想及びその範囲を逸脱しない限度内で多様な変化及び変更が可能なことは勿論である。
【0030】
【発明の効果】
前述した本発明によると、セルパワーダウン信号により電源電圧を所定電圧降下させてメモリセルに供給するので、従来のテスターで一定電圧降下させた電圧を供給するため電圧を変更した後に安定化のために必要とした時間が不要になる。これにより不良セルをスクリーニングするテスト時間が縮まる。そして、テストパッドに入力される信号に応じて不良セルをスクリーニングすることが、ウェーハ状態とパッケージ状態のいずれの場合でも可能である。また、全体のメモリセルアレイブロックに対して又は単位メモリセルアレイブロックに対して不良セルスクリーニングが可能なので、任意のブロック単位でスクリーニングが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的なSRAMメモリセルを示す図面である。
【図2】本発明の第1実施形態によるメモリセルを示す図面である。
【図3】第1実施形態のセルパワー信号発生回路を示す図面である。
【図4】本発明の第2実施形態によるメモリセルを示す図面である。
【図5】第2実施形態のセルパワー信号発生回路を示す図面である。
【図6】本発明の好適な実施の形態に係るメモリセルをスクリーニングするタイミングダイヤグラムを示す図面である。
【図7】図2のメモリセルの半導体メモリ装置内配置を示す図面である。
【図8】セルパワー制御信号を用いて所定ブロック単位にメモリセルをスクリーニングする方法を示す図面である。
【図9】セルパワー制御信号を用いて所定ブロック単位にメモリセルをスクリーニングする方法を示す図面である。
【符号の説明】
200、400 SRAMセル
430、440 第1、第2ドライバ部
CPDOWN セルパワーダウン信号
CPENB セルパワー制御信号
VDDC 第1内部電圧
Vt スレッショルド電圧
Claims (15)
- メモリセルと、
電源電圧と前記メモリセルとの間に連結され、セルパワー制御信号に応答して前記メモリセルに前記電源電圧を供給する第1ドライバ部と、
前記電源電圧と前記メモリセルとの間に連結され、セルパワーダウン信号に応答して前記メモリセルに前記電源電圧を所定電圧降下させた電圧を供給する第2ドライバ部と、
を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。 - 前記第1ドライバ部は、前記セルパワー制御信号に応答するPMOSトランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
- 前記第2ドライバ部は、前記セルパワーダウン信号に応答するNMOSトランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
- 前記メモリセルは、SRAMセルであることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
- 前記半導体メモリ装置は、
前記セルパワー制御信号を発生するセルパワー信号発生部を更に備え、
前記セルパワー信号発生部は、
第1テストパッドと、
第2テストパッドと、
前記第2テストパッドの入力に応答して前記半導体メモリ装置をテストするテストモードの1つとして所定のセルパワーオフモードを提供するセルパワー制御回路部と、
前記セルパワー制御回路部の出力と前記第2テストパッドの入力に応答するANDゲートと、
前記ANDゲートの出力と前記第1テストパッドの入力に応答して前記セルパワー制御信号を発生するNORゲートと、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。 - 前記セルパワー制御回路部は、JTAGテストモード回路で構成されることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装置。
- 前記半導体メモリ装置は、前記セルパワー制御信号と前記セルパワーダウン信号を発生するセルパワー信号発生部を更に備え、
前記セルパワー信号発生部は
第1テストパッドと、
前記第1テストパッドの入力により前記セルパワーダウン信号を発生するバッファ部と、
第2テストパッドと、
前記第2テストパッドの入力に応答して前記半導体メモリ装置をテストするテストモードの1つとして所定のセルパワーオフモードを提供するセルパワー制御回路部と、
前記セルパワー制御回路部の出力と前記第2テストパッドの入力に応答して前記セルパワー制御信号を発生するNANDゲートと、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。 - 前記セルパワー信号発生部は、
外部電圧パッドと、
前記外部電圧パッドに入力される電圧を前記半導体メモリ装置の電源電圧に変換する電圧変換部と、
を更に備えることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。 - 前記セルパワー制御回路部は、JTAGテストモード回路で構成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。
- クロック及びテスト信号により発生されるセルパワー制御信号に応答してメモリセルの不良の有無をスクリーニングする方法において、
前記メモリセルにデータを書き込む段階と、
所定の前記クロックサイクル間の期間中において、第1ロジックレベルの前記セルパワー制御信号に応答して前記メモリセルへの前記電源電圧の供給を遮断する段階と、
所定の前記クロックサイクル間の期間中において、第2ロジックレベルの前記セルパワー制御信号に応答して前記メモリセルに前記電源電圧を供給し、前記メモリセルのデータを読み出す段階と、
前記クロックの一サイクル毎に、前記第1ロジックレベルと前記第2ロジックレベルの前記セルパワー制御信号が交代で印加され、前記セルパワー制御信号が前記第1ロジックレベルである時に前記電源電圧を遮断した状態で前記メモリセルにデータを書き込み、前記セルパワー制御信号が前記第2ロジックレベルである時に前記電源電圧を供給した状態で前記メモリセルのデータを読み出す段階と、
を含むことを特徴とする半導体メモリ装置の不良セルスクリーニング方法。 - 前記不良セルスクリーニング方法は、前記テスト信号が入力されるJTAGテストモード回路を通じて前記テスト信号により前記セルパワー制御信号が発生される段階を更に含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体メモリ装置の不良セルスクリーニング方法。
- 複数のメモリセルが行及び列で配列される第1及び第2サブメモリセルアレイブロックと、
前記第1及び第2サブメモリセルアレイブロックのビットライン方向における側に配置されるコラムデコーダとビットラインセンスアンプ部と、
前記第1及び第2サブメモリセルアレイブロックのワードライン方向に前記第1及び第2サブセルアレイブロックの間に配置されるサブローデコーダと、
前記サブローデコーダと前記ビットラインセンスアンプ部との接合部分に配置され、前記メモリセルに電源電圧供給を制御するセルパワー制御信号により駆動されるドライバ部と、
を備えることを特徴とする半導体メモリ装置の配置方法。 - 前記半導体メモリ装置の配置方法は、前記第1及び第2サブメモリセルアレイブロック、前記サブローデコーダ、及び前記ドライバ部を含む単位ブロックが行で配列されるメインセルブロックが行で多数個配列され、前記サブメモリセルアレイブロックをアドレッシングするメインローデコーダを更に備えることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置の配置方法。
- 前記セルパワー制御信号は前記メインローデコーダをイネーブルさせるプリデコーダに入力されて全ての前記メインメモリセルブロック内の前記メモリセルに供給される電源電圧を制御することを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置の配置方法。
- 前記セルパワー制御信号は前記サブローデコーダに入力されて選択される前記サブメモリセルブロック内の前記メモリセルに供給される電源電圧を制御することを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置の配置方法。
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