JP2015025781A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、第1の回路(111)と、前記第1の回路の電源電位端子と電源電位ノードとの間又は前記第1の回路の基準電位端子と基準電位ノードとの間に設けられる第1の電源スイッチ(141)と、前記第1の電源スイッチの制御端子の電圧を制御する電源スイッチ制御回路(121)と、試験端子(PD)と、前記試験端子及び前記第1の電源スイッチの制御端子間の接続を制御する第1の試験制御回路(151)とを有する。
【選択図】図1
Description
図1(A)は、第1の実施形態による試験システムの構成例を示す図である。試験システムは、試験装置(テスタ)100及び半導体装置(半導体チップ)110を有する。試験装置100は、スイッチ101,104と、電流検出部102,103とを有する。半導体装置110は、第1の回路111、第2の回路112、電源スイッチ制御回路121、第1のバッファ131、第2のバッファ132、第1の電源スイッチ141、第2の電源スイッチ142、第1の試験制御回路151、第2の試験制御回路152、試験端子(試験パッド)PD、基準電位ノードVSS、第1の電源電位ノードVDD1及び第2の電源電位ノードVDD2を有する。
図2(A)は、第2の実施形態による半導体装置の構成例を示す図である。半導体装置は、図1(A)の半導体装置110に対応する。以下、本実施形態が第1の実施形態と異なる点を説明する。本実施形態は、第1の実施形態に対して、2個の回路111及び112の代わりにn個の回路111〜11nが設けられ、2個のバッファ131及び132の代わりにn個のバッファ131〜13nが設けられ、2個の電源スイッチ141及び142の代わりにn個の電源スイッチ141〜14nが設けられる。電源スイッチ141〜14nのソースは、電源電位ノードVDDに接続される。
図3(A)は、第3の実施形態による半導体装置の構成例を示す図である。半導体装置は、図1(A)の半導体装置110に対応する。以下、本実施形態が第2の実施形態と異なる点を説明する。
図4(A)は、第4の実施形態による半導体装置の構成例を示す図である。半導体装置は、図1(A)の半導体装置110に対応する。以下、本実施形態が第2の実施形態と異なる点を説明する。本実施形態(図4(A))は、第2の実施形態(図2(A))に対して、電源スイッチ141〜14nがpチャネル電界効果トランジスタの代わりにnチャネル電界効果トランジスタにより構成されている点が異なる。
図5(A)は、第5の実施形態による半導体装置の構成例を示す図である。半導体装置は、図1(A)の半導体装置110に対応する。以下、本実施形態が第4の実施形態と異なる点を説明する。本実施形態(図5(A))は、第4の実施形態(図4(A))に対して、試験制御回路151〜15nがnチャネル電界効果トランジスタの代わりにpチャネル電界効果トランジスタで構成される。
101,104 スイッチ
102,103 電流検出部
110 半導体装置
111 第1の回路
112 第2の回路
121 電源スイッチ制御回路
131 第1のバッファ
132 第2のバッファ
141 第1の電源スイッチ
142 第2の電源スイッチ
151 第1の試験制御回路
152 第2の試験制御回路
PD 試験端子
Claims (11)
- 第1の回路と、
前記第1の回路の電源電位端子と電源電位ノードとの間又は前記第1の回路の基準電位端子と基準電位ノードとの間に設けられる第1の電源スイッチと、
前記第1の電源スイッチの制御端子の電圧を制御する電源スイッチ制御回路と、
試験端子と、
前記試験端子及び前記第1の電源スイッチの制御端子間の接続を制御する第1の試験制御回路と
を有することを特徴とする半導体装置。 - 試験モードでは、前記試験端子に前記第1の電源スイッチをオンするための電圧が印加され、前記第1の試験制御回路は前記試験端子及び前記第1の電源スイッチの制御端子間を接続し、前記第1の電源スイッチがオンし、
通常動作モードでは、前記第1の試験制御回路は前記試験端子及び前記第1の電源スイッチの制御端子間を切断することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - さらに、第2の回路と、
前記第2の回路の電源電位端子と電源電位ノードとの間又は前記第2の回路の基準電位端子と基準電位ノードとの間に設けられる第2の電源スイッチと、
前記試験端子及び前記第2の電源スイッチの制御端子間の接続を制御する第2の試験制御回路とを有し、
前記電源スイッチ制御回路は、前記第2の電源スイッチの制御端子の電圧を制御することを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置。 - 前記第1の電源スイッチは、前記第1の回路の電源電位端子と電源電位ノードとの間に設けられる第1のpチャネル電界効果トランジスタを有し、
前記第1の試験制御回路は、ゲート及びドレインが前記試験端子に接続され、ソースが前記第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲートに接続される第2のpチャネル電界効果トランジスタを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の電源スイッチは、前記第1の回路の電源電位端子と電源電位ノードとの間に設けられる第1のpチャネル電界効果トランジスタを有し、
前記第1の試験制御回路は、ゲートが基準電位ノードに接続され、ソースが前記試験端子に接続され、ドレインが前記第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲートに接続される第1のnチャネル電界効果トランジスタを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の電源スイッチは、前記第1の回路の基準電位端子と基準電位ノードとの間に設けられる第1のnチャネル電界効果トランジスタを有し、
前記第1の試験制御回路は、ゲート及びドレインが前記試験端子に接続され、ソースが前記第1のnチャネル電界効果トランジスタのゲートに接続される第2のnチャネル電界効果トランジスタを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の電源スイッチは、前記第1の回路の基準電位端子と基準電位ノードとの間に設けられる第1のnチャネル電界効果トランジスタを有し、
前記第1の試験制御回路は、ゲートが電源電位ノードに接続され、ソースが前記試験端子に接続され、ドレインが前記第1のnチャネル電界効果トランジスタのゲートに接続される第1のpチャネル電界効果トランジスタを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - さらに、前記試験端子及び前記電源電位ノード間に接続される抵抗を有することを特徴とする請求項4又は7記載の半導体装置。
- さらに、前記試験端子及び前記基準電位ノード間に接続される抵抗を有することを特徴とする請求項5又は6記載の半導体装置。
- さらに、前記試験端子及び前記電源電位ノード間に接続される静電気放電保護素子を有することを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- さらに、前記試験端子及び前記基準電位ノード間に接続される静電気放電保護素子を有することを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105548781A (zh) * | 2016-02-15 | 2016-05-04 | 新疆金风科技股份有限公司 | 母线短路容量测试方法、装置及系统 |
CN105911396B (zh) * | 2016-05-26 | 2019-04-09 | 国网山东省电力公司临朐县供电公司 | 分界开关模拟试验诊断装置 |
CN108226750B (zh) * | 2017-12-13 | 2020-11-24 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 防止探针卡烧针的方法 |
US11204384B1 (en) | 2018-09-21 | 2021-12-21 | Apple Inc. | Methods and systems for switchable logic to recover integrated circuits with short circuits |
JP2023015658A (ja) * | 2021-07-20 | 2023-02-01 | 株式会社東芝 | 多チャネルスイッチic |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63231278A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Nec Corp | 相補型mosトランジスタよりなるテスト回路 |
JPH03120859A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-23 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
JPH1038981A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-02-13 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 発振回路 |
WO2000011486A1 (fr) * | 1998-08-24 | 2000-03-02 | Hitachi, Ltd. | Circuit integre a semi-conducteur |
JP2001320021A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Yaskawa Electric Corp | Asicテスト回路 |
JP2004005973A (ja) * | 2002-05-27 | 2004-01-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体メモリ装置及びその不良セルをスクリーニングする方法並びに半導体メモリ装置の配置方法 |
JP2009047557A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2009047473A (ja) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2009523229A (ja) * | 2006-01-09 | 2009-06-18 | エヌエックスピー ビー ヴィ | テスト可能な集積回路およびicテスト法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3053012B2 (ja) * | 1998-03-02 | 2000-06-19 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の試験回路および試験方法 |
JP2003016800A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP4278325B2 (ja) * | 2001-12-19 | 2009-06-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置 |
JP2006158067A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Renesas Technology Corp | 電源ドライバ回路 |
JP2007256264A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-10-04 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP4880436B2 (ja) * | 2006-12-06 | 2012-02-22 | ローム株式会社 | 半導体集積回路および電源装置 |
JP5141337B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-02-13 | 富士通株式会社 | 半導体装置および半導体装置の試験方法 |
JP5374120B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-12-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置 |
JP5805380B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2015-11-04 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体集積装置における遅延回路及びインバータ |
JP5435081B2 (ja) | 2012-05-25 | 2014-03-05 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63231278A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Nec Corp | 相補型mosトランジスタよりなるテスト回路 |
JPH03120859A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-23 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
JPH1038981A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-02-13 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 発振回路 |
WO2000011486A1 (fr) * | 1998-08-24 | 2000-03-02 | Hitachi, Ltd. | Circuit integre a semi-conducteur |
US20040150419A1 (en) * | 1998-08-24 | 2004-08-05 | Hidehiro Okada | Semiconductor integrated circuit |
JP2001320021A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Yaskawa Electric Corp | Asicテスト回路 |
JP2004005973A (ja) * | 2002-05-27 | 2004-01-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体メモリ装置及びその不良セルをスクリーニングする方法並びに半導体メモリ装置の配置方法 |
JP2009523229A (ja) * | 2006-01-09 | 2009-06-18 | エヌエックスピー ビー ヴィ | テスト可能な集積回路およびicテスト法 |
JP2009047473A (ja) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2009047557A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210096992A (ko) * | 2020-01-29 | 2021-08-06 | 주식회사 아도반테스토 | 전원 모듈 |
KR102292231B1 (ko) | 2020-01-29 | 2021-08-20 | 주식회사 아도반테스토 | 전원 모듈 |
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