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Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】 交互に高および低屈折率の薄層を含む多層の積み重ねでつくられる反射防止被覆を、面の少くとも一面に有してなる透明基体であり、該反射防止被覆でできた、少くとも1つの薄層は、その屈折率を高々2.40の値まで減少させるために改質される酸化チタンを含むことを特徴とする透明基体。
【請求項2】 反射防止被覆が、誘電性材料もしくは低放射率もしくは太陽光保護の多層被覆にもとづく、請求項1に記載の基体。
【請求項3】 反射防止、低放射率もしくは太陽光保護被覆でできた、少くとも1つの薄層が高屈折率層であることを特徴とする請求項1または2に記載の基体。
【請求項4】 屈折率を高々2.38の値まで減少させるために、酸化チタンが改質されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基体。
【請求項5】 屈折率を2.25〜2.38の値まで減少させるために、酸化チタンが改質されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基体。
【請求項6】 酸化チタンが窒素の混入により化学的に改質されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基体。
【請求項7】 酸化チタンが少くとも1つの「ドーパント」金属Meの混入により化学的に改質され、その酸化物は酸化チタンよりも低い屈折率を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基体。
【請求項8】 「ドーパント」金属Meの酸化物の屈折率が高々2.3であることを特徴とする請求項7に記載の基体。
【請求項9】 「ドーパント」金属Meの酸化物の屈折率が1.9〜2.2であることを特徴とする請求項7または8に記載の基体。
【請求項10】 「ドーパント」金属Meが、Ta,Zr,Sn,In,ZnおよびAlから選ばれることを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載の基体。
【請求項11】 改質酸化チタンにもとづく層中のチタンに対する「ドーパント」金属の原子%、ΣMe/Tiが、高々40%であることを特徴とする請求項7〜10のいずれかに記載の基体。
【請求項12】 ΣMe/Tiが高々30%であることを特徴とする請求項11に記載の基体。
【請求項13】 ΣMe/Tiが0.1〜20%であることを特徴とする請求項11または12に記載の基体。
【請求項14】 酸化チタンがその密度を低下/気孔率を増加することにより物理的に改質されることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の基体。
【請求項15】 酸化チタンを含む薄層が、酸化チタン層を少くとも1つの他の高屈折率層と組合わせることにより高屈折率多層の1部を形成するが、該多層「全体」の屈折率を低下させるために、該他の高屈折率層は高々2.3の屈折率を有することを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載の基体。
【請求項16】 該他の高屈折率層もしくは多層の層が1.9〜2.2の屈折率を有することを特徴とする請求項15に記載の基体。
【請求項17】 該他の高屈折率層もしくは多層の層が、タンタル、ジルコニウム、スズ、インジウムもしくは亜鉛の酸化物から選ばれる金属酸化物にもとづくか、または窒化ケイ素Si 3 N 4 もしくは窒化アルミニウムAlNにもとづくように選ばれることを特徴とする請求項16に記載の基体。
【請求項18】 多層は2つの隣接する層(その1つが酸化チタンを含む)を含み、これらの2つの層は負の屈折率差Δiを有する(これら2つの層が基体から何番目か数えられるとき)、ことを特徴とする請求項15〜17のいずれかに記載の基体。
【請求項19】 多層は2つの隣接する層(その1つが酸化チタンを含む)を含み、これらの2つの層は、絶対値で、0.1〜0.6の屈折率差を有することを特徴とする請求項15〜18のいずれかに記載の基体。
【請求項20】 屈折率差が、絶対値で、0.4〜0.5であることを特徴とする請求項19に記載の基体。
【請求項21】 屈折率差が、絶対値で、0.4より大きいことを特徴とする請求項19または20に記載の基体。
【請求項22】 低屈折率層は1.30〜1.65の屈折率を有することを特徴とする請求項1〜21のいずれかに記載の基体。
【請求項23】 低屈折率層は、酸化ケイ素SiO 2 、酸化アルミニウムAl 2 O 3 、オキシフッ化アルミニウムAlO x F y 、フッ化アルミニウムAlF、フッ化マグネシウムMgF 2 もしくはそれらの混合物にもとづくように選ばれることを特徴とする請求項22に記載の基体。
【請求項24】 低屈折率層は、ハロゲン化されていることを特徴とする請求項22または23に記載の基体。
【請求項25】 低屈折率層は、反射防止被覆における最終層についてSiO 2 −Al 2 O 3 混合物にもとづくことを特徴とする請求項22〜24のいずれかに記載の基体。
【請求項26】 反射防止被覆が、多層(高屈折率層/低屈折率層)n の積み重ね(n=2もしくは3)の形態であることを特徴とする請求項1〜25のいずれかに記載の基体。
【請求項27】 反射防止被覆の少くとも1つの配列(高屈折率層/低屈折率層)が中間の屈折率を有する層に代えられていることを特徴とする請求項1〜26のいずれかに記載の基体。
【請求項28】 配列が基体から数えて第1番目であることを特徴とする請求項27に記載の基体。
【請求項29】 中間の屈折率は1.65〜1.85の屈折率であることを特徴とする請求項27または28に記載の基体。
【請求項30】 中間の屈折率を有する層が、オキシ窒化ケイ素および/またはオキシ炭化ケイ素にもとづくか、または酸化ケイ素と酸化スズ、酸化亜鉛、酸化チタンもしくは酸化タンタルとの混合物にもとづくことを特徴とする請求項27〜29のいずれかに記載の基体。
【請求項31】 請求項1〜30のいずれかに記載の反射防止被覆を有する基体を組み入れることを特徴とする一体型、積層型もしくは複合型(multiple)の窓ガラスであり、後者は1つもしくはそれより多いガス充填キャビティを有する窓ガラス。
【請求項32】 太陽光保護、吸収、UV保護、帯電防止、低放射率、加熱もしくは汚れ防止機能を有する層(もしくは多層積み重ね)、および/または耐雨機能を有する疎水性有機層、または防曇機能を有する親水性有機層、または鏡機能を有する銀めっき層が、反射防止被覆(6)を備える基体(1)上に、または該窓ガラスを構成する少くとも1つの他の基体上に堆積されることを特徴とする請求項31に記載の窓ガラス。
【請求項33】 反射防止被覆(6)を備える基体(1)、もしくは該窓ガラスを構成する少くとも1つの他の基体が、非常に透明なガラスもしくは一様な色を帯びたガラスでつくられており、それは強化もしくは補強されており、または湾曲もしくは曲がっており、そして紫外線放射をろ過しうることを特徴とする請求項31もしくは32に記載の窓ガラス。
【請求項34】 反射防止被覆を備える基体、もしくは該窓ガラスを構成する少くとも1つの候補となり得る(possible)基体が、透明ポリマー物質であることを特徴とする請求項31〜33のいずれかに記載の窓ガラス。
【請求項35】 窓ガラスがポリアクリレートであることを特徴とする請求項34に記載の窓ガラス。
【請求項36】 ポリアクリレートがPMMAであることを特徴とする請求項35に記載の窓ガラス。
【請求項37】 請求項1〜30のいずれかに記載の反射防止被覆(6)を有する基体(1)または請求項31〜36のいずれかに記載の窓ガラスを、建物の内外部窓ガラスの、または塗装型物体の保護のためのガラスの、積層フロントガラス型の自動車の窓の、鏡の、コンピュータのためのまぶしさ防止スクリーンのようなすべての型のディスプレイスクリーンの、装飾ガラスの、商店の飾り窓の、または商店のカウンターもしくは冷蔵ディスプレーキャビネット型のガラス家具の、製造に向けて使用する方法。
【請求項1】 交互に高および低屈折率の薄層を含む多層の積み重ねでつくられる反射防止被覆を、面の少くとも一面に有してなる透明基体であり、該反射防止被覆でできた、少くとも1つの薄層は、その屈折率を高々2.40の値まで減少させるために改質される酸化チタンを含むことを特徴とする透明基体。
【請求項2】 反射防止被覆が、誘電性材料もしくは低放射率もしくは太陽光保護の多層被覆にもとづく、請求項1に記載の基体。
【請求項3】 反射防止、低放射率もしくは太陽光保護被覆でできた、少くとも1つの薄層が高屈折率層であることを特徴とする請求項1または2に記載の基体。
【請求項4】 屈折率を高々2.38の値まで減少させるために、酸化チタンが改質されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基体。
【請求項5】 屈折率を2.25〜2.38の値まで減少させるために、酸化チタンが改質されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基体。
【請求項6】 酸化チタンが窒素の混入により化学的に改質されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基体。
【請求項7】 酸化チタンが少くとも1つの「ドーパント」金属Meの混入により化学的に改質され、その酸化物は酸化チタンよりも低い屈折率を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基体。
【請求項8】 「ドーパント」金属Meの酸化物の屈折率が高々2.3であることを特徴とする請求項7に記載の基体。
【請求項9】 「ドーパント」金属Meの酸化物の屈折率が1.9〜2.2であることを特徴とする請求項7または8に記載の基体。
【請求項10】 「ドーパント」金属Meが、Ta,Zr,Sn,In,ZnおよびAlから選ばれることを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載の基体。
【請求項11】 改質酸化チタンにもとづく層中のチタンに対する「ドーパント」金属の原子%、ΣMe/Tiが、高々40%であることを特徴とする請求項7〜10のいずれかに記載の基体。
【請求項12】 ΣMe/Tiが高々30%であることを特徴とする請求項11に記載の基体。
【請求項13】 ΣMe/Tiが0.1〜20%であることを特徴とする請求項11または12に記載の基体。
【請求項14】 酸化チタンがその密度を低下/気孔率を増加することにより物理的に改質されることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の基体。
【請求項15】 酸化チタンを含む薄層が、酸化チタン層を少くとも1つの他の高屈折率層と組合わせることにより高屈折率多層の1部を形成するが、該多層「全体」の屈折率を低下させるために、該他の高屈折率層は高々2.3の屈折率を有することを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載の基体。
【請求項16】 該他の高屈折率層もしくは多層の層が1.9〜2.2の屈折率を有することを特徴とする請求項15に記載の基体。
【請求項17】 該他の高屈折率層もしくは多層の層が、タンタル、ジルコニウム、スズ、インジウムもしくは亜鉛の酸化物から選ばれる金属酸化物にもとづくか、または窒化ケイ素Si 3 N 4 もしくは窒化アルミニウムAlNにもとづくように選ばれることを特徴とする請求項16に記載の基体。
【請求項18】 多層は2つの隣接する層(その1つが酸化チタンを含む)を含み、これらの2つの層は負の屈折率差Δiを有する(これら2つの層が基体から何番目か数えられるとき)、ことを特徴とする請求項15〜17のいずれかに記載の基体。
【請求項19】 多層は2つの隣接する層(その1つが酸化チタンを含む)を含み、これらの2つの層は、絶対値で、0.1〜0.6の屈折率差を有することを特徴とする請求項15〜18のいずれかに記載の基体。
【請求項20】 屈折率差が、絶対値で、0.4〜0.5であることを特徴とする請求項19に記載の基体。
【請求項21】 屈折率差が、絶対値で、0.4より大きいことを特徴とする請求項19または20に記載の基体。
【請求項22】 低屈折率層は1.30〜1.65の屈折率を有することを特徴とする請求項1〜21のいずれかに記載の基体。
【請求項23】 低屈折率層は、酸化ケイ素SiO 2 、酸化アルミニウムAl 2 O 3 、オキシフッ化アルミニウムAlO x F y 、フッ化アルミニウムAlF、フッ化マグネシウムMgF 2 もしくはそれらの混合物にもとづくように選ばれることを特徴とする請求項22に記載の基体。
【請求項24】 低屈折率層は、ハロゲン化されていることを特徴とする請求項22または23に記載の基体。
【請求項25】 低屈折率層は、反射防止被覆における最終層についてSiO 2 −Al 2 O 3 混合物にもとづくことを特徴とする請求項22〜24のいずれかに記載の基体。
【請求項26】 反射防止被覆が、多層(高屈折率層/低屈折率層)n の積み重ね(n=2もしくは3)の形態であることを特徴とする請求項1〜25のいずれかに記載の基体。
【請求項27】 反射防止被覆の少くとも1つの配列(高屈折率層/低屈折率層)が中間の屈折率を有する層に代えられていることを特徴とする請求項1〜26のいずれかに記載の基体。
【請求項28】 配列が基体から数えて第1番目であることを特徴とする請求項27に記載の基体。
【請求項29】 中間の屈折率は1.65〜1.85の屈折率であることを特徴とする請求項27または28に記載の基体。
【請求項30】 中間の屈折率を有する層が、オキシ窒化ケイ素および/またはオキシ炭化ケイ素にもとづくか、または酸化ケイ素と酸化スズ、酸化亜鉛、酸化チタンもしくは酸化タンタルとの混合物にもとづくことを特徴とする請求項27〜29のいずれかに記載の基体。
【請求項31】 請求項1〜30のいずれかに記載の反射防止被覆を有する基体を組み入れることを特徴とする一体型、積層型もしくは複合型(multiple)の窓ガラスであり、後者は1つもしくはそれより多いガス充填キャビティを有する窓ガラス。
【請求項32】 太陽光保護、吸収、UV保護、帯電防止、低放射率、加熱もしくは汚れ防止機能を有する層(もしくは多層積み重ね)、および/または耐雨機能を有する疎水性有機層、または防曇機能を有する親水性有機層、または鏡機能を有する銀めっき層が、反射防止被覆(6)を備える基体(1)上に、または該窓ガラスを構成する少くとも1つの他の基体上に堆積されることを特徴とする請求項31に記載の窓ガラス。
【請求項33】 反射防止被覆(6)を備える基体(1)、もしくは該窓ガラスを構成する少くとも1つの他の基体が、非常に透明なガラスもしくは一様な色を帯びたガラスでつくられており、それは強化もしくは補強されており、または湾曲もしくは曲がっており、そして紫外線放射をろ過しうることを特徴とする請求項31もしくは32に記載の窓ガラス。
【請求項34】 反射防止被覆を備える基体、もしくは該窓ガラスを構成する少くとも1つの候補となり得る(possible)基体が、透明ポリマー物質であることを特徴とする請求項31〜33のいずれかに記載の窓ガラス。
【請求項35】 窓ガラスがポリアクリレートであることを特徴とする請求項34に記載の窓ガラス。
【請求項36】 ポリアクリレートがPMMAであることを特徴とする請求項35に記載の窓ガラス。
【請求項37】 請求項1〜30のいずれかに記載の反射防止被覆(6)を有する基体(1)または請求項31〜36のいずれかに記載の窓ガラスを、建物の内外部窓ガラスの、または塗装型物体の保護のためのガラスの、積層フロントガラス型の自動車の窓の、鏡の、コンピュータのためのまぶしさ防止スクリーンのようなすべての型のディスプレイスクリーンの、装飾ガラスの、商店の飾り窓の、または商店のカウンターもしくは冷蔵ディスプレーキャビネット型のガラス家具の、製造に向けて使用する方法。
したがって本発明の目的は、上述の用語の許容範囲内で反射の外観において比較的大きな「安定性」を被覆物質に特に与えることによって、光学的性能を増加させるのに、これらの弱点を緩和する新規な型の反射防止被覆を創り出すことである。
本発明の主題は、第1に、交互に高および低屈折率の薄層からなる多層の積み重ねでつくられ、そして好ましくは誘電性材料にもとづく反射防止被覆を、面の少なくとも一面に有してなる透明基体である。この多層の積み重ねの内部で、高屈折率を有する少なくとも1つの薄層は、その屈折率を、580nmの波長で、高々2.40の値まで、特に高々2.38もしくは高々2.35の値まで、好ましくは2.25〜2.35もしくは2.25〜2.38の値まで減少させるために改質される酸化チタンを含む。
本発明の主題は、第1に、交互に高および低屈折率の薄層からなる多層の積み重ねでつくられ、そして好ましくは誘電性材料にもとづく反射防止被覆を、面の少なくとも一面に有してなる透明基体である。この多層の積み重ねの内部で、高屈折率を有する少なくとも1つの薄層は、その屈折率を、580nmの波長で、高々2.40の値まで、特に高々2.38もしくは高々2.35の値まで、好ましくは2.25〜2.35もしくは2.25〜2.38の値まで減少させるために改質される酸化チタンを含む。
さらに、本発明により種々の方法で改質される酸化チタンは、反射防止被覆以外の多層被覆において有利に使用されうる。特に、それは、誘電性物質で作られた層と結合された,Ag型の金属でつくられた、またはTiN,ZrNもしくはNbN型の金属窒化物でつくられた1つもしくはそれより多い機能性層を用いて、低放射率もしくは太陽光保護の多層積み重ねの誘電性層として組み入れられ得る。これらの型の多層積み重ねは、たとえば、特許EP718,250、EP638,528、EP638,527およびEP650,938に記載されており、そして低放射率多層積み重ねについては、Saint−Gobain Vitrage社により「Planitherm」の商標で販売されている。機能性層は、Ni、NiCr、ステンレス鋼もしくはインコネルでつくられていてもよい。
好ましくは、処理される基体の各面は、最大の反射防止効果を得るために本発明による反射防止被覆を有する。上述のように、反射防止被覆に含まれる物質は、誘電性物質であるのが通常である。しかし、たとえば、多層積み重ねに公知の方法で金属酸化物をドーピングすることにより(たとえば、フッ素ドープもしくはアンチモンドープSnO2またはアルミニウムドープZnO)、それらが少なくともわずかに導電性であることは可能であり、それによりおそらく被覆全体に付加的な帯電防止機能を付与する。
さらに、本発明の主題は、被覆基体を組み込む窓ガラスであり、窓ガラスは一体窓ガラス、積層窓ガラスまたは1つもしくはそれより多い中間のガス充填キャビティを有する複合(multiple)窓ガラスであってもよい。この窓ガラスは建物の内外の窓ガラスとして、そして塗装型の物体の保護ガラスとして、商店カウンターもしくは冷蔵ディスプレイキャビネットのようなガラス家具のような商店窓として、ならびに、積層フロントガラス型の自動車の窓ガラス、鏡、コンピューターのためのまぶしさ防止スクリーン、装飾ガラスおよびすべての型のディスプレイスクリーン、として使用されうる。
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