JP4837271B2 - 反射防止膜の形成方法 - Google Patents
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請求項2記載の発明は、請求項1記載の反射防止膜の形成方法であって、前記第一、第二の透明膜のうち、前記酸化ケイ素膜以外の透明膜は酸化ニオブ膜で構成され、前記透明基板の移動方向に沿って、Nb材料のターゲットと、前記フェロシリコン材料のターゲットを並べて配置し、酸素を含有する反応ガスを含む減圧雰囲気中で、前記フェロシリコン材料のターゲットと、前記Nb材料のターゲットをスパッタしながら、前記透明基板を移動させて、前記酸化ケイ素膜と前記酸化ニオブ膜とを形成する反射防止膜の形成方法である。
請求項3記載の発明は、透明基板上に第一の透明膜を成膜した後、前記第一の透明膜上に第二の透明膜を成膜し、反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、前記第一、第二の透明膜のうち、いずれか一方の透明膜は他方の透明膜よりも屈折率が高い窒化ケイ素膜で構成され、前記窒化ケイ素膜の成膜は、Crと、Alとを含有するフェロシリコン材料(Fe−Si)の10mm以上の厚さのターゲットを、窒素ガスを含有する反応ガスが含有された減圧雰囲気中で、3W/cm 2 以上60W/cm 2 以下の電力を投入してスパッタリングする反射防止膜の形成方法である。
請求項4記載の発明は、透明基板上に第一の透明膜を成膜し、前記第一の透明膜上に第二の透明膜を成膜した後、前記第二の透明膜上に第三の透明膜を成膜し、反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、前記第三の透明膜は、前記第一、第二の透明膜のうち、いずれか一方の透明膜よりは屈折率が高く、かつ、他方の透明膜よりは屈折率が低い酸化窒化ケイ素膜で構成され、前記酸化窒化ケイ素膜の成膜は、Crと、Alとを含有するフェロシリコン材料(Fe−Si)の10mm以上の厚さのターゲットを、酸素ガスと窒素ガスを含有する反応ガスが含有された減圧雰囲気中で、3W/cm 2 以上60W/cm 2 以下の電力を投入してスパッタリングする反射防止膜の形成方法である。
請求項5記載の発明は、請求項4記載の反射防止膜の形成方法であって、前記酸化窒化ケイ素膜の屈折率は1.7以上1.8以下である反射防止膜の形成方法である。
本発明は上記のように構成されており、屈折率が互いに異なる2種類の透明膜を第一、第二の透明膜とすると、第一、第二の透明膜を積層して、反射防止膜を形成するときに、第一、第二の透明膜のいずれか一方の成膜を、CrとAlとが含有されたフェロシリコン材料のターゲットを、酸素ガスを含有する反応ガス雰囲気でスパッタリングすれば、透明な酸化ケイ素膜が形成される。
図1、2に示すように、ここでは第一のターゲット21a、21bと、第二のターゲット22a、22bは2個ずつ用いられている。
従って、透明基板11が2つの第一のターゲット21a、21bと対向する第一の成膜領域35を通過する時には、透明基板11上にシリコン材料のスパッタ粒子が到達し、2つの第二のターゲット22a、22bと対向する第二の成膜領域36を通過する時には、透明基板11上にNb材料のスパッタ粒子が到達する。
透明基板11はキャリア31と一緒に搬入室3に運ばれると、不図示の搬送ロボットによりキャリア31から持ち上げられて後処理が行われる。
複数の透明基板11の成膜を連続して行う場合には、第一、第二のターゲット21a、21a、22a、22bの厚さを10mm以上と厚くすれば、ターゲットの交換頻度を下がり、生産性が高くなる。
AlとCrとを含有するフェロシリコン材料のターゲットを、図1に示した成膜装置1の第一のターゲット21a、21bとして用い、酸化ケイ素を主成分とする第一の透明膜13の成膜を行った。第二の透明膜の成膜を行わずに、第一の透明膜13が形成された状態の透明基板11を成膜装置1から取り出した。
第一の透明膜13の成膜は、Arガスの圧力が0.4Pa、酸素ガスの供給流量が200sccmの条件で行った。
透明基板11を上述した成膜装置1内で2回往復移動させ、復動時に第一、第二のターゲット21a、21b、22a、22bのスパッタリングを行い、透明基板11表面に、Nb2O5を主成分とする膜厚15nm(150Å)の第一の透明膜と、SiO2を主成分とする膜厚29nm(290Å)の第二の透明膜と、N2O5を主成分とする膜厚109nm(1090Å)の第一の透明膜と、SiO2を主成分とする膜厚87nm(870Å)の第二の透明膜とを記載した順番に積層し、4層構造の反射防止膜を形成し、実施例の光学フィルターを得た。尚、各第一、第二の透明膜の膜厚の制御は、膜厚を厚くするときには搬送速度を遅くし、膜厚を小さくするときには搬送速度を早くする搬送速度の調整によって行った。
CrとAlとを含有するフェロシリコン材料と、反応させる反応ガスの種類も酸素ガスに限定されるものではない。
従って、この光学フィルター50の反射防止膜55も、上述した光学フィルター10の反射防止膜15と同様に、反射防止効果がある。
Claims (5)
- 透明基板上に第一の透明膜を成膜した後、前記第一の透明膜上に第二の透明膜を成膜し、反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、
前記第一、第二の透明膜のうち、いずれか一方の透明膜は他方の透明膜よりも屈折率が低い酸化ケイ素膜で構成され、
前記酸化ケイ素膜の成膜は、Crと、Alとを含有するフェロシリコン材料(Fe−Si)の10mm以上の厚さのターゲットを、酸素ガスを含有する反応ガスが含有された減圧雰囲気中で、3W/cm 2 以上60W/cm 2 以下の電力を投入してスパッタリングする反射防止膜の形成方法。 - 前記第一、第二の透明膜のうち、前記酸化ケイ素膜以外の透明膜は酸化ニオブ膜で構成され、
前記透明基板の移動方向に沿って、Nb材料のターゲットと、前記フェロシリコン材料のターゲットを並べて配置し、
酸素を含有する反応ガスを含む減圧雰囲気中で、前記フェロシリコン材料のターゲットと、前記Nb材料のターゲットをスパッタしながら、前記透明基板を移動させて、前記酸化ケイ素膜と前記酸化ニオブ膜とを形成する請求項1記載の反射防止膜の形成方法。 - 透明基板上に第一の透明膜を成膜した後、前記第一の透明膜上に第二の透明膜を成膜し、反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、
前記第一、第二の透明膜のうち、いずれか一方の透明膜は他方の透明膜よりも屈折率が高い窒化ケイ素膜で構成され、
前記窒化ケイ素膜の成膜は、Crと、Alとを含有するフェロシリコン材料(Fe−Si)の10mm以上の厚さのターゲットを、窒素ガスを含有する反応ガスが含有された減圧雰囲気中で、3W/cm 2 以上60W/cm 2 以下の電力を投入してスパッタリングする反射防止膜の形成方法。 - 透明基板上に第一の透明膜を成膜し、前記第一の透明膜上に第二の透明膜を成膜した後、前記第二の透明膜上に第三の透明膜を成膜し、反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、
前記第三の透明膜は、前記第一、第二の透明膜のうち、いずれか一方の透明膜よりは屈折率が高く、かつ、他方の透明膜よりは屈折率が低い酸化窒化ケイ素膜で構成され、
前記酸化窒化ケイ素膜の成膜は、Crと、Alとを含有するフェロシリコン材料(Fe−Si)の10mm以上の厚さのターゲットを、酸素ガスと窒素ガスを含有する反応ガスが含有された減圧雰囲気中で、3W/cm 2 以上60W/cm 2 以下の電力を投入してスパッタリングする反射防止膜の形成方法。 - 前記酸化窒化ケイ素膜の屈折率は1.7以上1.8以下である請求項4記載の反射防止膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004290979A JP4837271B2 (ja) | 2004-10-04 | 2004-10-04 | 反射防止膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004290979A JP4837271B2 (ja) | 2004-10-04 | 2004-10-04 | 反射防止膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006106239A JP2006106239A (ja) | 2006-04-20 |
JP4837271B2 true JP4837271B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=36376073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004290979A Active JP4837271B2 (ja) | 2004-10-04 | 2004-10-04 | 反射防止膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4837271B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008108185A1 (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-12 | Ulvac, Inc. | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 |
JP5262066B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-08-14 | 凸版印刷株式会社 | 反射防止フィルムの製造方法及びこれを含む偏光板の製造方法 |
JP2010225373A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Sony Corp | 色変換シート、照明装置および表示装置 |
FR2949775B1 (fr) * | 2009-09-10 | 2013-08-09 | Saint Gobain Performance Plast | Substrat de protection pour dispositif collecteur ou emetteur de rayonnement |
FR2949776B1 (fr) | 2009-09-10 | 2013-05-17 | Saint Gobain Performance Plast | Element en couches pour l'encapsulation d'un element sensible |
JP5759148B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2015-08-05 | シャープ株式会社 | レンズの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
FR2973939A1 (fr) | 2011-04-08 | 2012-10-12 | Saint Gobain | Element en couches pour l’encapsulation d’un element sensible |
KR102194623B1 (ko) * | 2020-08-04 | 2020-12-23 | 에스케이씨하이테크앤마케팅(주) | 반사/반사방지 영역을 갖는 무기 다층 필름 및 이의 제조방법 |
CN115142029B (zh) * | 2022-08-25 | 2023-07-28 | 西安稀有金属材料研究院有限公司 | 一种耐蚀Cr基多层结构复合涂层的制备方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6455755A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Seiko Epson Corp | Optical recording medium |
JPH08165565A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Ulvac Japan Ltd | 酸化硅素皮膜付きプラスチックフィルムの製造方法 |
DE69633631T2 (de) * | 1995-08-23 | 2005-10-20 | Asahi Glass Ceramics Co., Ltd. | Target, verfahren zu dessen herstellung und herstellung hochrefraktiver filme |
JPH1096801A (ja) * | 1996-06-12 | 1998-04-14 | Asahi Glass Co Ltd | 光吸収性反射防止体およびその製造方法 |
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JP2005048280A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Jfe Steel Kk | スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
-
2004
- 2004-10-04 JP JP2004290979A patent/JP4837271B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006106239A (ja) | 2006-04-20 |
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