JP2003500249A - 反射防止、低放射率もしくは太陽光保護被覆を有する透明基体 - Google Patents

反射防止、低放射率もしくは太陽光保護被覆を有する透明基体

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Abstract

(57)【要約】 本発明の主題は、特に絶縁材料にもとづき、交互に高および低屈折率の薄層からなる多層積み重ねでつくられる反射防止被覆を面の少なくとも一面に有してなる透明基体である。少なくとも１つの薄い高屈折率層は。その屈折率を高々２．４０、の値まで、特に高々２．３５の値まで減少するように改質される酸化チタンを含む。本発明は、さらに低放射率および太陽光保護被覆に使用される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、反射防止被覆を備えた、有機ポリマーにもとづくか、もしくはガラ
スでつくられる透明基体、ならびにその製造方法に関する。さらに、それはその
使用、特に窓ガラスとして、に関する。反射防止被覆は、通常高および低屈折率
を有する交互層である干渉薄層を含む多層積み重ねからなるのが通常である。透
明な基体に堆積されるとき、このような被覆は、その光反射を低下させ、したが
ってその光透過を増大させる機能を有する。したがって、このように被覆された
基体は、透過光／反射光比を増加させ、それによりその後ろに置かれる物体の視
界を改善ずる。
【０００２】 したがって、本発明は多くの用途、たとえば観察者の後ろに置かれた光により
照される塗装を保護するために、もしくは商店の飾り窓の１部を構成もしくは形
成するために、使用されるので、窓に展示される物品は、内部照明が外部照明よ
りも低いときでさえも、もっとはっきりと目立ちうる。 反射防止被覆の光学的性能は、種々の基準により評価される。反射防止被覆は
、もしそれが標準透明ガラスでつくられる基体の光反射を所定値、たとえば２％
、もしくは１％未満さえも、に低下させることができれば、有効であると考えら
れる。
【０００３】 このように得られる窓ガラスの測色も、また重要である：被覆がむき出しの基
体の反射の色外観を変えないこと、そして一般に、この外観はできるかぎり中性
であること、を確保するための試みがなされることが非常に多い。 さらに、第２の基準は期待される用途に依存して考慮され、特に被覆の化学的
および／または機械的耐久性、または劣化しないで熱処理を受けることのできる
能力である。もう１つの重要な点は、このような被覆の工業生産の実施可能性で
あり、それは使用される堆積法、多層積み重ねの構成成分のコストおよび性質、
被覆を製造するのに必要なサイクル時間、基体の大きさと形状、等に依存する。
【０００４】 少くとも光学的観点から、厚さ、および反射防止被覆層の屈折率の最適化は、
多くの用途の主題を形成した。製品の望ましい反射防止効果とその製造コストが
調和する４層反射防止被覆に関して、たとえば、（ＺｒＯ2 ／ＭｇＦ2 ）2 型の
多層積み重ねを記述する米国特許第３，４３２，２２５号明細書、（ＣｅＯ2 ／
ＭｇＦ2 ）もしくは（ＣｅＯ2 ／ＳｉＯ2 ）2 型の多層積み重ねを記述する米国
特許第３，５６５，５０９号明細書、さもなければ、（ＴｉＯ2 ／ＳｉＯ2 ）2
を記述する、Ｍ．Ｂｕｅｈｌｅｒらの「Ａｌｌ−ｏｘｉｄｅ ｂｒｏａｄｂａｎ
ｄ ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ…」（１９９８年８月１５
日、Ａｐｐｌｉｅｄ Ｏｐｔｉｃｓ ２７巻１６号）が参照されうる。
【０００５】 この後者の型の多層積み重ねは、屈折率約２．４５を有効に有する酸化チタン
の高屈折率層を、構成物質として使用するので、有利である。この物質は、商業
的に入手しうる低コストチタンターゲットを用いて、酸化性雰囲気中で、磁気的
に高められた反応性スパッタによる公知の方法で堆積されうるので有利である。
しかしながら、その使用は弱点を欠いてはいない：反射防止被覆へのその配合は
、実際に非常に低いレベルの反射を実際にもたらすが、反射における被覆基体の
外観の「安定性」に関して、それは最良ではない。このことにより、次の２つの
点が意味される： ・第1に、入射角の関数としての安定性。これは、入射角が窓ガラスに垂直から
もっと多く通過する入射角まで通るとき（またはもっと一般的には、窓ガラスが
観察されうるもっとありそうな角度に対応する所定の入射角から、そこから遠い
入射角まで）に、反射強度および反射色調の改質はできるかぎり小さいのが好ま
しいからである； ・第2に、一定の入射角で、層の厚さ変動の関数としての安定性。使用しうる製
造機械に依存して、実際に堆積される層の厚さおよび／または屈折率についてあ
る許容量があることを認容しなければならないとしても、反射の外観がほとんど
変わらないままであることも重要である。
【０００６】 したがって本発明の目的は、上述の用語の許容範囲内で反射の外観において比
較的大きな「安定性」を被覆物質に特に与えることによって、光学的性能を増加
させるのに、これらの弱点を緩和する新規な型の反射防止被覆を創り出すことで
ある。 本発明の主題は、第1に、交互に高および低屈折率の薄層からなる多層の積み
重ねでつくられ、そして好ましくは絶縁材料にもとづく反射防止被覆を、面の少
なくとも一面に有してなる透明基体である。この多層の積み重ねの内部で、高屈
折率を有する少なくとも1つの薄層は、その屈折率を、５８０nmの波長で、高々
２．４０の値まで、特に高々２．３８もしくは高々２．３５の値まで、好ましく
は２．２５〜２．３５もしくは２．２５〜２．３８の値まで減少させるために改
質される酸化チタンを含む。
【０００７】 さらに本発明の主題は、改質酸化チタンにもとづくが、低放射率もしくは太陽
光保護（「太陽光抑制」（ｓｏｌａｒ ｃｏｎｔｒｏｌ）ともいわれる）型の多
層積み重ねを組み入れられる、同一型の層を有する透明基体である。 このように酸化チタンを改質することは非常に有利であることがわかった：屈
折率を低下させることにより、反射における被覆基体の外観の「安定性」は、上
述のとおり、有意に改善され得たことがわかった。さて、入射角についての安定
性は、あらゆる種類の用途のため、特に、たとえば乗物のフロントガラスもしく
はディスプレイスクリーンの場合に、ますます要件となっている。厚さの許容量
についての安定性に関して、標準的な製造機械で、光学的な仕様に適合しない基
体の廃棄率（ｓｃｒａｐ ｒａｔｅ）を低下させるのに、生産性を増大すること
をこれは可能にする。さらに、いかなる他の物質に代えるよりもむしろ酸化チタ
ンを保持することは、この型の物質の場合によく知られている堆積技術の利点を
維持することを可能にする。この改質を得るために本発明は、非制限的な態様で
、本発明を実施する４つの異なる方法を提案する。
【０００８】 本発明を実施する第１の方法は、窒素の混入により酸化チタンを化学的に改質
することにある。このように、オキシ窒化チタンは１〜２０ｗｔ％で変動しうる
窒化含量で得られ、それは屈折率の所望の低下を得るために調節されうる。この
窒化は、適切な定められる割合の、Ｏ2およびＮ2の両方を含む反応性雰囲気中で
チタンターゲットを使用して、スパッタ堆積法、特に磁気的に高められたスパッ
タを選択することにより制御されうる。このように、堆積チャンバーにおいて約
１７ｖｏｌ％のＮ2／（Ｎ2＋Ｏ2＋Ａｒ）比について（ｖｏｌ％で測定される、
堆積チャンバーにおけるＮ2／Ｏ2比は０．２〜１．８を変動し、屈折率は約２．
３１〜２．４１の値に調節される）、５５０ｎｍで約２．３５の屈折率を有する
窒化された酸化チタンを得ることが可能である。本発明を実施するこの方法の補
助的な利点は、ＴｉＯxＮyがＴｉＯ2よりも実質的に大きな速度で反応性スパッ
タにより堆積されうることである。形成されるＴｉＯxＮyは、実質的には非吸収
性であり、ＴｉＮと異なり、光吸収が２％未満である。
【０００９】 さらに本発明を実施する第２の方法も、酸化チタンの化学的改質にあり、その
酸化物が酸化チタンよりも低い屈折率、特に高々２，３、好ましくは１．９０〜
２．２の屈折率、を有する少なくとも１つの「ドーパント」金属Ｍｅを混合する
ことによる。ここで「ドーパント」という用語は、半導体分野で有する意味を有
さない。ここではそれは、それとともに混合酸化物を形成するチタンと比べて少
量、そして非常に少量でさえも、存在する金属であることを強調するために使用
されているにすぎない。
【００１０】 このドーパント金属Ｍｅは、好ましくは次の金属の少なくとも１つから選ばれ
る：Ｔａ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｉｎ，ＺｎおよびＡｌ． 有利にはΣＭｅ／Ｔｉにおけるチタンに関してドーパント金属の原子％は高々
４０％、特に高々３５もしくは３０％、たとえば０．１〜２０％そして好適には
２〜１０％である。実際に,酸化チタン中のＭｅ量は、ちょうど本発明を実施す
る前述の方法における窒化含量のように、所望の最終反射率を得るために変動さ
れる。もし堆積法もスパッタによるように選ばれると、たとえば、ドーパント金
属すなわち金属Ｍｅを適切な割合（これらの割合は層中にみられる割合に近い）
で合金化されたチタンターゲットを用いて酸素の存在下で反応性スパッタを実施
することが可能である。もう１つの可能性は金属形態の「ドーパント」金属で部
分的に被覆された純チタンターゲットを用いることにある。
【００１１】 酸化チタン中のドーパント金属の存在はその屈折率を改質するばかりでなく、
付加的な機能性をも付与することが、本発明を実施するこの方法で注目されうる
。このように、セリウムの存在は、層に、したがって被覆丸ごとに、ＵＶろ過特
性を付与しうる。窒化の場合のように、このような酸化チタンの「ドーピング」
も、スパッタ堆積法が選ばれるときに、層の堆積速度を増加させる。「ドーパン
ト」金属のスパッタ効率が高ければ高いほど、堆積の増加は多くなる。たとえば
、堆積速度の増加は、増加する順に、Ｚｒ，ついでＴａ，ついでＺｎそして次に
Ｓｎである。
【００１２】 本発明を実施する第３の方法は、酸化チタンを特にその密度を減少させ、そし
て気孔率を増加させることにより、構造上、物理的に改質することにある。層を
製造するための堆積パラメーター、特にたとえば、そこで酸化チタンが反応性ス
パッタにより堆積される圧力、は、その密度が酸化チタンの標準的屈折率、すな
わち約２．４５に対応する、理論密度の８０〜９５％にすぎない層を得るために
、調節されうる。この解決は、標準的なチタンターゲットを使用させるので技術
的に有利である。
【００１３】 本発明を実施する第４の方法は、酸化チタン層を高屈折率多層に混入すること
にあり、該多層の「全体」もしくは「平均」屈折率を低下させるために、屈折率
が高々２．３である少なくとも１つの他の高屈折率層に酸化チタン層を結合させ
ることによる。したがって、この状況で、高屈折率層を異なる物質の重層に変え
ることにより、２．３５より大きい屈折率を有する標準的なＴｉＯ2層を使用し
続けるのは可能である。高屈折率多層は、したがって、その全体の屈折率が標準
的ＴｉＯ2のそれより小さく得られ、多層の部分を形成する層すべての光学的厚
さ合計のそれらの物理的厚さの合計に対する比を出すことによりこれを計算する
ことが可能である。所望の「全体の」屈折率を得るために、この場合、各層の物
理的厚さおよび各層の屈折率を、ＴｉＯ2にもとづくものとは別に、選定するこ
とが可能である。この高屈折率多層が通常の単層により果たされるものと同等の
光学的機能を有するために、後者は、同一の全体の光学的厚さを与えるのが好ま
しい。これは、これらの多層において、ＴｉＯ2層は単層として用いられるとき
に要求される厚さよりも薄いＴｉＯ2層を用いる必要があることを意味する。酸
化チタンのスパッタ堆積速度はかなり低いので、このことは工業的観点からは有
利である。
【００１４】 特に、本発明を実施する第２および第４の方法において、多層積み重ねは、曲
げ／強じん化され得、光学的にかなりの損傷なしに５００℃を超える熱処理に耐
えうることがさらに観察される。これは、このように熱の効果で改質されたＴｉ
Ｏ2の比較的低い結晶化による。 多層の他の層は、１．９〜２．２の屈折率を有するのが好ましい。それらは、
酸化タンタルＴａ2Ｏ5，酸化ジルコニウムＺｒＯ2，酸化スズＳｎＯ2，酸化イン
ジウムＩｎ2Ｏ3もしくは酸化亜鉛ＺｎＯ型の金属酸化物にもとづくように、また
は窒化ケイ素Ｓｉ3Ｎ4もしくは窒化アルミニウムＡｌＮにもとづくように特に選
ばれる。
【００１５】 上述のとおり、これらの物質の１つもしくは他の選択は、それらの性質によっ
て、および／またはＴｉＯ2のものより大きいスパッタ堆積速度によって指示さ
れうる。さらに、本発明を実施する第２の方法のように、これ、もしくはこれら
の付加層は、多層積み重ねに付加的機能を付与しうる。 本発明を実施するこの第４の方法の範囲内で、ある配列が反射の外観の安定性
に好ましいことがわかった：これは多層が２つの隣接する層を含み、その１つは
酸化チタンを含み、これらの２つの層は、それらが基体から数えられるとき負の
屈折率差Δｉを有する。これは、もし層の１つが基体から数えられたｎ番目の層
であり次の層が（ｎ＋１）番目の層であると、（ｎ＋１）番目の層の屈折率を減
じたｎ番目の屈折率に等しい屈折率差Δｉは負であり、したがってもっと簡単に
いえば、それは基体からさらに遠いもっと高い屈折率を有する層（この場合Ｔｉ
Ｏ2層）である。
【００１６】 同様に、上述の配列と結合されうる好適な配列は、絶対値で、これら２つの隣
接層が、０．１〜０．６、特に０．４〜０．５、好適には０．４より大きい屈折
率差Δｉを有する配列である。これは、屈折率が実質的にＴｉＯ2のとは異なる
ＴｉＯ2層と組み合わせるように物質を選ぶことにより多層の全体屈折率を低下
させるのが、実際上ますますもっと容易になる。
【００１７】 本発明によれば、反射防止被覆の低屈折率層は、１．３０〜１．６５の屈折率
を有する。有利には、これらは、酸化ケイ素ＳｉＯ2，酸化アルミニウムＡｌ2Ｏ 3 ，オキシフッ化アルミニウムＡｌＯxＦy，フッ化アルミニウムもしくはフッ化
マグネシウム、またはそれらの混合物でつくられていてもよく、これらはおそら
く酸化物に関してハロゲン化される（すなわちフッ素化酸化物）。
【００１８】 このように、反射防止多層積み重ねの少なくとも１つの低屈折率層が酸化ケイ
素および酸化アルミニウムの混合物（任意にフッ素化混合物）にもとづき、特に
多層積み重ねの最後の層であることを確保するために測定がなされうる：これは
、このような「混合物」酸化物層が純ＳｉＯ2層よりも良好な耐久性、特に化学
的耐久性を有するからである。層におけるアルミニウムの最適量は、光学的な反
射防止特性に影響しないように純シリカのものについて層の屈折率を過度に増加
させることなく、この比較的良好な耐久性を得るために選択され、酸化アルミニ
ウムは実際上、約１．４５であるＳｉＯ2のものより大きい約１．６０〜１．６
５の屈折率を有する。Ｓｉについて好適なＡｌの原子％は、たとえば５〜２０％
、特に約８〜１２％、特別に約１０％である。
【００１９】 上述の本発明を実施する第４の方法の高屈折率「多層」と類似の態様で、多層
積み重ねの層の少なくとも１つ、すなわち低屈折率層が実際上、低屈折「多層」
であることを除外されない。 本発明によれば、反射防止被覆は（高屈折率層／低屈折率層）n 型（ｎ＝２
もしくは３）の多層積み重ねの形態でありうる。
【００２０】 このように、ｎが２である場合は、４層反射被覆に担当する。有利には、光学
的厚さ（層は基体から数えられる）は： ・高屈折率第１層について：λ＝５８０ｎｍで約λ／１５、したがって約１８ 〜２２ｎｍ（たとえば、約２．００の屈折率を有する）； ・低屈折率第２層について：λ＝５８０ｎｍで約λ／１１、したがって約３２ 〜３８ｎｍ（たとえば、約１．４８の屈折率を有する）； ・高屈折率第３層について：λ＝５８０ｎｍで約λ／２、したがって約１０５ 〜１２５ｎｍ（たとえば２．４５の屈折率を有する）； ・低屈折率第４層について：λ＝５８０ｎｍで、約λ／４したがって約８０〜 ９０ｎｍ（たとえば１．４８の屈折率を有する）。（ここで、そして本文の 残りを通じて、「層」という用語は多層を意味することができ、後者の場合 、その光学的厚さは構成される層の光学的厚さの合計であることが明瞭に理 解されるべきである。）。
【００２１】 もう１つの可能性は、上述の多層積み重ねにおいて、（高屈折率層／低屈折率
層）配列の1つを、単１の「中間」屈折率層に代えることにあり、たとえば、そ
れは１．６５〜１．８５、好ましくは約１．７５〜１．８０の屈折率を有する。
好適には、このように代えられうるのは基体から数えて第１の配列であり、中間
屈折率層の光学的厚さは多分約８０〜１２０ｎｍである。
【００２２】 このような中間屈折率層は高屈折率層／低屈折率層配列のものに非常に類似し
た光学的効果を有し、多層積み重ねにおける層の全体の数を減少させる利点を有
する。有利には、それは酸化ケイ素と酸化スズ、酸化ケイ素と酸化亜鉛、もしく
は酸化ケイ素と酸化チタンの混合物にもとづくか、そうでなければオキシ窒化ケ
イ素もしくはオキシ窒化アルミニウムにもとづく。これらの物質の種々の成分間
の相対割合は層の屈折率を調節させる。
【００２３】 混合酸化物層の場合に、酸素および任意に窒素の存在下に所望の合金に基づく
ターゲット、およびＡｌＯxＮy層のＳｉＯxＮyの場合に、適切な割合のＯ2／Ｎ2 混合物の存在下でケイ素もしくはアルミニウムターゲット、をそれぞれ用いる反
応性スッパタ法を用いることが可能である。堆積条件を適合させることにより、
１．４６〜２．１の範囲内でＳｉＯxＮy層の屈折率、ならびに１．６５〜２．１
の範囲内でＡｌＯxＮyの屈折率を実際上変動させることが可能である。
【００２４】 所望の屈折率範囲と両立しうる、そして反応性スパッタで堆積されうる単1酸
化物、たとえばある希土酸化物（Ｌａ2Ｏ3）もしくは同様のもの（Ｙ2Ｏ3）、も
あるが、ターゲットのコストは高い。 本発明による改質ＴｉＯ2にもとづくものとは別に、層が被覆の1部を形成しう
る高屈折率層に関して、これらは好適には少なくとも１．９〜２．０、好ましく
は１．９〜２．２の屈折率を有する。それらは、ＺｎＯ，Ｔａ2Ｏ5，ＳｎＯ2，
Ｎｂ2Ｏ5，ＺｒＯ2型の上述の酸化物でありうる。それらは、窒化ケイ素もしく
は窒化アルミニウムでつくられていてもよい。後者の窒化物にもとづく物質は付
加的な利点を有する：それらは、基体がガラス型であるときに、ガラスから移し
やすいアルカリ型の種の移行に対する有効なバリアを形成し、そしてそれらは参
加に対して有効なバリアをも形成する：適切な配列で用いられるとき、被覆の必
須部分を形成するこれらの物質は、キャリア基体がガラスでつくられているとき
、損傷を生じることなく、熱処理、特にアニ−リング、強化、もしくは曲げ型の
熱処理に耐える能力をもそれに付与する。別な方法で、ひとたび熱処理を受ける
と、すなわちアニ−リング、強じん化および／または曲げ処理を受けると、ガラ
ス基体上に被覆を堆積することができる。
【００２５】 しかし、本発明は、ポリカーボネートもしくはポリメチルメタクリレートにも
とづく硬質（ｒｉｇｉｄ）基体のような、１つもしくはそれより多い有機ポリマ
ーにもとづくいわゆるプラスチック基体にも適用される。それらは、いったん反
射防止被覆により1面に機能化されると、ついでたとえばガラス型の硬質基体に
適用される「軟質」プラスチック基体であってもよい。
【００２６】 さらに、本発明により種々の方法で改質される酸化チタンは、反射防止被覆以
外の多層被覆において有利に使用されうる。特に、それは、絶縁物質で作られた
層と結合された,Ａｇ型の金属でつくられた、またはＴｉＮ，ＺｒＮもしくはＮ
ｂＮ型の金属窒化物でつくられた１つもしくはそれより多い機能性層を用いて、
低放射率もしくは太陽光保護の多層積み重ねの絶縁層として組み入れられ得る。
これらの型の多層積み重ねは、たとえば、特許ＥＰ７１８，２５０、ＥＰ６３８
，５２８、ＥＰ６３８，５２７およびＥＰ６５０，９３８に記載されており、そ
して低放射率多層積み重ねについては、Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｖｉｔｒａ
ｇｅ社により「Ｐｌａｎｉｔｈｅｒｍ」の商標で販売されている。機能性層は、
Ｎｉ、ＮｉＣｒ、ステンレス鋼もしくはインコネルでつくられていてもよい。
【００２７】 好ましくは、処理される基体の各面は、最大の反射防止効果を得るために本発
明による反射防止被覆を有する。上述のように、反射防止被覆に含まれる物質は
、絶縁物質であるのが通常である。しかし、たとえば、多層積み重ねに公知の方
法で金属酸化物をドーピングすることにより（たとえば、フッ素ドープもしくは
アンチモンドープＳｎＯ2またはアルミニウムドープＺｎＯ）、それらが少なく
ともわずかに導電性であることは可能であり、それによりおそらく被覆全体に付
加的な帯電防止機能を付与する。
【００２８】 さらに、本発明の主題は、被覆基体を組み込む窓ガラスであり、窓ガラスは一
体窓ガラス、積層窓ガラスまたは1つもしくはそれより多い中間のガス充填キャ
ビティを有する複式窓ガラスであってもよい。この窓ガラスは建物の内外の窓ガ
ラスとして、そして塗装型の物体の保護ガラスとして、商店カウンターもしくは
冷蔵ディスプレイキャビネットのようなガラス家具のような商店窓として、なら
びに、積層フロントガラス型の自動車の窓ガラス、鏡、コンピューターのための
まぶしさ防止スクリーン、装飾ガラスおよびすべての型のディスプレイスクリー
ン、として使用されうる。
【００２９】 本発明により反射防止被覆を有する基体を組み入れた窓ガラスは付加的な有用
な特性を有しうる。このように、それは、Ｓａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｖｉｔｒ
ａｇｅ社により「Ｓｔａｄｉｐ」の商標で販売される積層窓ガラス、またはＳａ
ｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｖｉｔｒａｇｅ社により「Ｓｅｋｕｒｉｔ」の商標で販
売されている強化ガラス（ｔｏｕｇｈｅｎｅｄ ｇｌａｓｓ）のような強化窓ガ
ラス、のような安定機能を有する窓ガラスであってもよい。さらに、それはＳａ
ｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｖｉｔｒａｇｅ社により「Ｃｏｎｔｒａｓｏｎｏｒ」（
二重窓ガラス）もしくは「Ｐｈｏｎｉｐ」（積層窓ガラス）の商標で販売されて
いるような侵入防止（ａｎｔｉ−ｂｒｅａｋ−ｉｎ）窓ガラス、または火災保護
窓ガラス（炎バリアもしくは火災バリア）であってもよい。
【００３０】 窓ガラスは、特定の機能を有する層（もしくは多層積み重ね）が反射防止多層
積み重ねをすでに備える基体上に、または窓ガラスを構成する他の基体の１面上
に堆積されるように選ばれ、たとえば、窒化チタン層（前述の特許に記載されて
いる）のような太陽光保護もしくは熱吸収層、もしくはＳａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉ
ｎ Ｖｉｔｒａｇｅ社により「Ｃｏｏｌ−ｌｉｔｅ」もしくは「Ａｎｔｅｌｉｏ
」もしくは「Ｃｏｏｌ−ｌｉｔｅ Ｋ」の商標で販売されているような層、もし
くはＵＶ保護もしくは帯電防止機能（すこし導電性のドープされた金属酸化物層
型）、もしくは「Ｐｌａｎｉｔｈｅｒｍ」型の銀にもとづく層のような低放射率
機能（たとえば前述の特許に記載されている）もしくはＳａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉ
ｎ Ｖｉｔｒａｇｅ社で販売されているＥＫＯ−型のドープされた酸化スズ層、
を有する層が挙げられる。帯電防止機能を有する層の場合、それは反射防止多層
積み重ねを備える基体の面に置かれるのが好ましい。層は、冷蔵ディスプレイキ
ャビネットの場合に、その表面の曇りを防止するために特に有利である何かに熱
（適切な電流導線を有する金属層を含む型の）を与えるように設計されていても
よい。それは、ＴｉＯ2の非常に薄い層（たとえば特許ＷＯ９７／１０１８６お
よびＷＯ９７／１０１８５に記載されている）のような汚れ防止特性を有する層
、または耐雨機能を有する疎水性有機層もしくは防曇機能を有する親水性有機層
であってもよい。疎水性層の例として、米国特許第５，３６８，８９２号および
５，３８９，４２７号明細書に記載されているフッ素化オルガノシランにもとづ
く層について参照されうる。これらの層は、反射防止被覆上に、または、もし他
の面が反射防止被覆で処理されていなければ、基体に直接に堆積されうる。それ
は鏡機能を有する銀めっき層であってもよい。すべての配列が可能である。この
ように、鏡機能を有する一体型窓ガラスの場合は、反射防止被覆を第1面（すな
わち観客者と同一側）および銀層を第２面（すなわち鏡が壁に付着される側）に
堆積するのが有利であり、本発明の反射防止多層積み重ねは反射像の重複を防止
する。
【００３１】 二重窓ガラスの場合には（そこでは、ガラス基体の面は通常最も外側の面から
開始して番号付けされる）、このように反射防止多層積み重ねを通常第１面に、
そして他の機能性層を、ＵＶ保護もしくは太陽光保護層の場合に第２面に、また
は低反射率層の場合に第３面に置くことができる。二重窓ガラスにおいて、少な
くとも１つの反射防止多層積み重ねを基体の面の１つに、ならびに付加的機能性
を備える少なくとも1つの多層積み重ね、を有することができる。二重窓ガラス
は、さらにいくつかの反射防止被覆を、特に第２もしくは第３面に、有していて
もよい。
【００３２】 一体型窓ガラスの場合、第２の反射防止多層積み重ねとともに帯電防止機能を
有する層が堆積されうる。 同様に、本発明による多層積み重ねで被覆される基体のため、もしくは窓ガラ
スアセンブリを形成するためにそれと結合される他の基体のために、選ばれるガ
ラスは、特殊ガラスであってもよく、たとえばＳａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ Ｖｉ
ｔｒａｇｅ社より「Ｄｉａｍａｎｔ」の商標で販売されている型の非常に透明な
ガラス、または「Ｐｌａｎｉｌｕｘ」型の透明ガラスもしくは「Ｐａｒｓｏｌ」
型の色を帯びたガラスであり、これら２つの製品はＳａｉｎｔ−Ｇｏｂａｉｎ
Ｖｉｔｒａｇｅ社により販売されている。ガラス自体は紫外線型放射をろ過して
もよい。基体は熱処理、すなわち強化、曲げ、すなわち非常に小さい曲率半径へ
の屈曲、に供されうる。非常に透明なガラス上へ堆積された反射防止被覆は窓ガ
ラスに特別な透明度を付与することがわかった。
【００３３】 基体は表面処理、特にエッチングもしくは、つや消し処理を受けてもよく、反
射防止多層積み重ねはおそらく、エッチングされた面もしくは反射面上に堆積さ
れる。 基体、もしくは組合された基体の１つは、装飾的な、印刷されたもしくはスク
リーン印刷されたガラス型であってもよい。本発明による反射防止被覆を有する
基体を組み入れた特に有用な窓ガラスは次のとおりである：これは、ポリビニル
ブチラール型のポリマーシートにより組合された２つのガラス基体を有する積層
構造を有するガラスである。少なくとも基体の１つ、好ましくは両方は、好まし
くは外部面に本発明による反射防止被覆を特に配列：反射防止被覆／ガラス／Ｐ
ＶＢ／ガラス／反射防止被覆を備える。
【００３４】 特に２つの屈曲および／または強化基体を有する、この基体は、非常に有利な
自動車窓ガラス、特にフロントガラス、を得ることを可能にする。なぜなら自動
車の規格はフロントガラスが垂直入射で少なくとも７５％の高い光透過を有する
ことを要求するからである。標準的な積層フロントガラス構造に反射防止被覆を
組み入れることにより、窓ガラスの光透過はそれより増加し、代ってエネルギー
伝達をわずかに減少させるが、光透過により規格に適合する。このように、たと
えばガラス基体による吸収によりフロントガラスの太陽光保護効果を増加するこ
とが可能である。特に、このように標準的な積層フロントガラスの光反射値を８
％から１％未満にさせることが可能であり、一方エネルギー伝達を１〜１０％減
少させ、たとえば８５％〜８１％にする。比較的濃い彩色ガラスは、したがって
比較的大きな太陽光保護を示すが、このように使用され、反射防止被覆のために
生じる光透過の低下を補う。
【００３５】 本発明の主題は、反射防止被覆を有するガラス基体の製造法でもある。１つの
方法は真空法によって、特に磁気的に高められたスパッタによってすべての層を
堆積することにある。このように、酸素の存在下に当該金属の反応性スパッタに
より酸化物層を、窒素の存在下に窒化物層を、そして窒素および酸素の存在下に
オキシ窒化物、を堆積することが可能である。
【００３６】 あるいは、適切な前駆体を用いる化学蒸着法により、多層積み重ねの層のすべ
てもしくはいくつか、特に第１の層を堆積することが選択されうる。 選ばれる実施の態様がどうであっても、本発明は、いったん上述の反射防止多
層積み重ねで機能化されると、垂直入射で高々２、そして高々１％の光反射Ｒｌ
を有する基体を製造することを可能にする（もちろん、多層積み重ねにおける層
の光学的厚さを適切に改質することにより、たとえば、約６５°で垂直に傾くフ
ロントガラスへ使用する場合に有利な、垂直から離れた入射角で光反射を最小に
するように選択することも可能である。）。
【００３７】 同様に、反射の測光は公知の反射防止被覆、特に高屈折物質として標準的なＴ
ｉＯ2を用いるもの、に比べて特に安定である。このように、光反射の最小化が
垂直入射で最適化されるときでさえ、反射値および反射における色調は、基体が
垂直から実質的に離れている入射角で観察されるときでさえほとんど改質されて
いない。特に、（Ｌ*、ａ*、ｂ*）測色系におけるａ*およびｂ*の記号は、不都
合な入射：特に窓ガラス入射でさえも変えられないままである。ａ*およびｂ*の
記号が変化しないという事実は、１つの色調、特に好適な青もしくは青緑の色調
（ａ*およびｂ*はともに負）からより少なく好適な色調（そこでａ*および／ま
たはｂ*は正になり、黄、紫もしくは赤の色調に対応する）に、「スイッチング
」がないことを意味する。 飽和
【００３８】
【数１】
【００３９】 すなわち、色の強度を考慮に入れる特徴、における増加も制限される。 さらに、本発明の反射防止被覆は、再びａ*およびｂ*の記号を保って反射の外
観をかなり改質することなく、たとえば±２％オーダーからなる層厚さについて
の許容量を許す（大きさのオーダーを与えるためにａ*およびｂ*値における差を
もってΔａ*およびΔｂ*で示され、絶対値で高々２である。）。
【００４０】 本発明の詳細および有利な特徴は、図１〜４の助けを得て、 次の非制限的な
実施例から明らかになる。 高度に模式的な図１〜４は、断面で、本発明による反射防止多層積み重ねで被
覆された基体を示す（基体の厚さと層の厚さとの間の割合は図を調べるのをもっ
と容易にするために考慮されていない。）。実際に、基体の各面は同一の多層積
み重ねを備えるが、単一の多層積み重ねのみが明快にするために示されている。
基体の各面上への被覆は続くすべての実施例で使用され、建物に備えられるよう
に意図される窓ガラスに関する。
【００４１】 これらの実施例において、薄層は磁気的に高められた反応性スパッタにより連
続的に堆積されるが、層の厚さを良好に制御する他のいかなる真空もしくは化学
蒸着型の方法によっても堆積されうることが参照されるべきである。 反射防止被覆が堆積される基体はＰｌａｎｉｌｕｘ型の４ｍｍ厚さの透明シリ
カーソーダ−石灰ガラス基体である。 実施例１ この実施例は図１に対応する：それは、２つの高屈折率薄層２、４および２つ
の低屈折率薄層３、５からなる本発明による反射防止被覆６で被覆されたガラス
１を含む： ・低屈折率層３はＳｉＯ2でつくられる； ・低屈折率層５はケイ素およびアルミニウムの酸化物ＳｉＡｌxＯyの混合物で ある（Ｓｉに対しＡｌ約１０ａｔ％）； ・高屈折率層２はＳｎＯ2でつくられる； ・高屈折率層４は本発明により部分窒化により改質された酸化チタンであり、 式ＴｉＯxＮyに相当する該物質および窒化のレベルは５８０ｎｍで約２．３ ５の屈折率を得るために調節され、すなわち堆積チャンバーにおいて窒素比 （ｖｏｌ％）Ｎ2／（Ｎ2＋Ｏ2＋Ａｒ）が約１５〜２０ｖｏｌ％である。
【００４２】 下の表１は多層積み重ねにおける層の屈折率ならびに物理的および光学的厚さ
を示す。
【００４３】
【表１】
【００４４】 実施例２ この実施例は実施例１の多層積み重ねをくり返すが、図２に示されるように、
層２および３をオキシ窒化ケイ素ＳｉＯxＮyでつくられる単一の中間屈折率層７
で代え、その窒素含量は屈折率を約１．７８の値に調節するために変えられる。 この３層被覆の実施例について、表２は再び先の表で言及されたデータを示す
。
【００４５】
【表２】
【００４６】 実施例３ この実施例は実施例２の３層積み重ね配列を繰り返すが、もう１つの型の改質
酸化チタン層を用いている：ＴｉＯxＮyの層４の代りに、ここでは層中にＴａ／
Ｔｉのａｔ％割合が約１０〜１５％、特に１３％（適切な割合のＴｉ−Ｔａ合金
ターゲットが使用される）であるタンタル含有酸化チタンの層４であるので、層
の屈折率は約２．３３〜２．４０、特に２．３５である（光学的厚さは実施例２
と同一である。）。
【００４７】 したがって、次の多層積み重ねが、得られる： ガラス／ ＳｉＯxＮy／Ｔｉ−ＴａxＯy／ＳｉＡｌxＯy （１） （７） （４） （５） タンタルで改質された酸化チタンはＴｉＯ2で達成される速度よりも４０％大
きい堆積速度をもたらしたことが確認された。 実施例４ この実施例は実施例３と同様であるがここでは酸化チタンはタンタルではなく
ジルコニウムで改質される：ここでは式ＴｉＺｒxＯyの層４が使用され、約２．
２４〜２．３９、特に２．３０の屈折率、層中のＺｒのａｔ％値は約２５〜３０
％、特に２７％を得ることをめざす。このようにジルコニウムにより改質された
酸化チタンはＴｉＯ2より２０％高い堆積速度を有することが確認された。 実施例５ この実施例は表３に示される:この場合、層２、３および５が実施例１のそれ
と同一の型である。この実施例との差異は高屈折率層４がここでは配列ＳｎＯ2
／ＴｉＯ2からなる２層に代えられるという事実にある：これは、本発明による
変形からであり、そこでは酸化チタン層（４ｂ）の屈折率は、それを、なお高屈
折率の定義の範囲内（少なくとも１．９）にあるが標準的ＴｉＯ2のそれより小
さい屈折率を有する物質の層（４ａ）に結合することにより改質される。２層（
４ａ＋４ｂ）は、実施例１の層４のそれに類似した光学的厚さを与えられる。
【００４８】 下の表３はこの多層積み重ねについてのデータを示す。
【００４９】
【表３】
【００５０】 実施例６ この実施例は実施例５におけるデータを繰り返すが、２層４ａ−４ｂを図４に
よる３層４ｃ−４ｄ−４ｅで代えている。 この３層は次の配列からなる： ＴｉＯ2／ＳｎＯ2／ＴｉＯ2 （４ｃ） （４ｄ） （４ｅ） したがってここでは、１つの低屈折率ＳｎＯ2層の側面を守る２つの「標準的
」ＴｉＯ2層がある。再び、３層４ｃ−４ｂ−４ｅは実施例５の２層もしくは実
施例１の単層のそれにおおよそ近い全体の光学的厚さを与えられる（実際上、λ
＝５８０ｎｍで、おおよそλ／２オーダーの値）。
【００５１】 下の表４はこの多層積み重ねについてのデータを示す。
【００５２】
【表４】
【００５３】 先のすべての実施例においてＳｉＡｌxＯy層５をＳｉＯ2層に単純に置換する
ことが可能であり、アルミニウムの存在は層、したがって多層積み重ね丸ごとの
耐久性を本質的に増加させることが可能であることを留意すべきである。 同様に、実施例３でなされたように、第１の多層配列を中間層で置換すること
も他の実施例でもなされうる。
【００５４】 光学的厚さは垂直入射で反射を最小化するように選択された。 比較のために、比較例５ａも製造されたが、そこではＳｉＯ2／ＴｉＯ2の２層
は２層のそれと同等な光学的厚さ（光学的厚さ：２６２ｎｍ；物理的厚さ：１０
７ｎｍ）を有する標準的ＴｉＯ2（屈折率２．４５）単層で置換される。 この実施例は、したがって次の型である：ガラス／ＳｎＯ2／ＳｉＯ2／標準的
ＴｉＯ2／ＳｉＡｌxＯy 実施例５および実施例５ａにより被覆された基体のＲL値（％）および（Ｌ*，
ａ*，ｂ*）測色系におけるａ*およびｂ*が、ついで種々の入射角α（α＝０は垂
直入射に相当する）で測定された。 けっかは下の表5に示される。
【００５５】
【表５】
【００５６】 この表から推論されうることは、実施例５は２つの観点から実施例５ａよりも
測色の観点からもっと好適であることである： ・第1に、非常に不利な入射角（α＝６０°もしくは７０°）でさえも本発明
による実施例はａ*およびｂ*の記号を代えないで保持し、これらはともに負であ
り、青みの外観が保持される。一方、比較例の場合にはａ＊は正となることがみ
られ、それは色がもう１つの色調に変わることを意味する； ・第２に、垂直入射から離れるや否や、本発明による実施例について、減少す
る（飽和ｃ*が減少する）ａ*およびｂ*（絶対値で）を有する一般的な傾向があ
るーしたがって、ＲL自体の値が増加しやすいので、αが好適であるものを増加
させるときに、反射を中立に移動させる傾向があり、反射の全体に増加するレベ
ルは比較的不利にすることが少なく中間色の増加により補われる。 実施例７ この実施例は実施例５におけるデータをくりかえすが、層４ａおよび４ｂの順
序を逆にするものである。
【００５７】 次の多層積み重ねが、このように得られる：
【００５８】
【化１】
【００５９】 当該各層について実施例５と同一型の層厚さに保持する。 実施例８ この実施例は、２つのＳｎＯ2層２および４ａをＳｉ3Ｎ4層（同一の厚さを有
し、これら２つの物質の屈折率はほとんど同一で約２）で置換して、実施例７の
データをくりかえす。
【００６０】 次の多層積み重ねがこのように得られる：
【００６１】
【化２】
【００６２】 実施例９ この実施例は実施例７におけるデータをくりかえすが、SnO2層４ａを窒化ケイ
素で置換する。 次の多層積み重ねはこのように得られる：
【００６３】
【化３】
【００６４】 実施例７は光学的観点から良好な結果を与える： 比較的低い屈折率を有する物質の層がＴｉＯ2に結合されている本発明の変形に
おいて、該層の上もしくは下にＴｉＯ2を置くように選ぶことができることを確
認することを可能にする。 実施例８および９はＳｉ3Ｎ4を使用する：この物質は、多層積み重ね全体にも
っと良好な耐久性、特に機械的耐久性を与えるために使用される。最適の態様で
この改良を得るために、それは実施例９の場合のように、Ｓｉ3Ｎ4でつくられる
必要のある最終の低屈折率層のちょうど下に置かれる層である。第２のＳｉ3Ｎ4 層は、実施例８のように、耐久性のこの改良をさらに増加させる。
【００６５】 特に実施例５、７、８および９における基体は、屈曲／強化されうる被覆基体
である：ガラス基体は、層が堆積された後に、有意の光学的変質なしに、約５０
０〜５５０℃で熱処理を受ける。この著しい性質の１つの説明は、もう１つの層
とＴｉＯ2層を結合することはＴｉＯ2比較的小さい厚さに使用されるようにする
ことである。比較的薄いＴｉＯ2層はある厚さ、たとえば１００ｎｍを超えるＴ
ｉＯ2層よりも熱の効果により結晶化し、光学的に変質される能力が小さい。
【００６６】 この結晶化の不存在、もしくは熱の効果によるこのわずかな結晶化も、金属「
ドーパント」がＴｉＯ2に混入される本発明の変形でＴｉＯ2が化学的に改質され
るとき、みられる。 結論として、本発明による反射防止被覆は、光学的見地から非常に有効である
。さらに、本発明の少なくともある変形において、それらは機械的見地から非常
に耐久性があり、屈曲／強化されうる。それらは建物を装備し、塗装を保護する
ために使用されうる。それらは、さらに、あらゆる種類のスクリーン、特にコン
ピュータースクリーンを装備しうる。後者の場合、「使用者の側」で、反射防止
被覆、そして他の側で、帯電防止でもあるもう１つの反射防止被覆（たとえば、
多層積み重ねの高屈折率層のある部分をスズドープ酸化インジウムＩＴＯ型の導
電層で置換することにより）を有するスクリーンガラスシートがあるのが通常で
ある。多層積み重ねは、このように１０ｎｍのＩＴＯで開始されうる：したがっ
て基体上に備えられ２つの反射防止被覆の間に構造的対称があってもよく、２つ
の被覆は本発明の教示に多分従い、またはそれらの１つが従う。本発明の反射防
止被覆は他の特性、特に紫外線ろ過を、たとえば少なくともその層の1つに酸化
セリウムを混入することにより、有していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による反射防止多層積み重ねで被覆された基体の断面を模式的に示す図
である。
【図２】 本発明による反射防止多層積み重ねで被覆された基体の断面を模式的に示す図
である。
【図３】 本発明による反射防止多層積み重ねで被覆された基体の断面を模式的に示す図
である。
【図４】 本発明による反射防止多層積み重ねで被覆された基体の断面を模式的に示す図
である。
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Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 特に絶縁材料もしくは低放射率もしくは太陽光保護の多層被
    覆にもとづき、交互に高および低屈折率の薄層からなる多層の積み重ねでつくら
    れる反射防止被覆を、面の少くとも一面に有してなる透明基体であり、該反射防
    止、低放射率もしくは太陽光保護の、少くとも１つの薄層、特に高屈折率層は、
    その屈折率を高々２．４０の値まで、特に高々２．３８の値まで、そして好適に
    は２．２５〜２．３８の値まで減少させるために改質される酸化チタンを含むこ
    とを特徴とする透明基体。
  2. 【請求項２】 酸化チタンが窒素の混入により化学的に改質されることを特
    徴とする請求項１記載の基体。
  3. 【請求項３】 酸化チタンが少くとも１つの「ドーパント」金属Ｍｅの混入
    により化学的に改質され、その酸化物は酸化チタンよりも低い屈折率、特に高々
    ２．３、好適には１．９〜２．２の屈折率を有することを特徴とする請求項１記
    載の基体。
  4. 【請求項４】 「ドーパント」金属Ｍｅが、Ｔａ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｚｎ
    およびＡｌから選ばれることを特徴とする請求項３記載の基体。
  5. 【請求項５】 改質酸化チタンにもとづく層中のチタンに対する「ドーパン
    ト」金属の原子％、ΣＭｅ／Ｔｉが、高々４０％、特に高々３０％、そして好適
    には０．１〜２０％であることを特徴とする請求項３もしくは４記載の基体。
  6. 【請求項６】 酸化チタンがその密度を低下／気孔率を増加することにより
    物理的に改質されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の基体。
  7. 【請求項７】 酸化チタンを含む薄層が、酸化チタン層を少くとも１つの他
    の高屈折率層と組合わせることにより高屈折率多層の１部を形成するが、該多層
    「全体」の屈折率を低下させるために、それは高々２．３の屈折率を有すること
    を特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基体。
  8. 【請求項８】 他の高屈折率層もしくは多層の層が１．９〜２．２の屈折率
    を有し、そしてタンタル、ジルコニウム、スズ、インジウムもしくは亜鉛の酸化
    物から選ばれる金属酸化物にもとづくか、または窒化ケイ素Ｓｉ3 Ｎ4 もしくは
    窒化アルミニウムＡｌＮにもとづくように特に選ばれることを特徴とする請求項
    ７記載の基体。
  9. 【請求項９】 多層はその１つが酸化チタンを含む２つの隣接する層を含み
    、これらの２つの層は、基体から数えられるときに、負の屈折率差Δｉを有する
    、ことを特徴とする請求項７もしくは８記載の基体。
  10. 【請求項１０】 多層はその１つが酸化チタンを含む２つの隣接する層を含
    み、これらの２つの層は、絶対値で、０．１〜０．６、特に０．４〜０．５そし
    て好適には０．４より大きい屈折率差を有することを特徴とする請求項７〜９の
    いずれかに記載の基体。
  11. 【請求項１１】 低屈折率層は１．３０〜１．６５の屈折率を有し、そして
    酸化ケイ素ＳｉＯ2 、酸化アルミニウムＡｌ2 Ｏ3 、オキシフッ化アルミニウム
    ＡｌＯx Ｆy 、フッ化アルミニウムＡｌＦ、フッ化マグネシウムもしくはそれら
    の混合物にもとづくように特に選ばれ、これらはハロゲン化されていてもよく、
    反射防止被覆における最終層についてＳｉＯ2 −Ａｌ2 Ｏ3 混合物に特にもとづ
    くことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の基体。
  12. 【請求項１２】 反射防止被覆が、多層（高屈折率層／低屈折率層）n の積
    み重ね（ｎ＝２もしくは３）の形態であることを特徴とする請求項１〜１１のい
    ずれかに記載の基体。
  13. 【請求項１３】 反射防止被覆の少くとも１つの配列（高屈折率層／低屈折
    率層）、特に基体から数えて第１の配列が、中間の屈折率、特に１．６５〜１．
    ８５の屈折率、を有する層に代えられていることを特徴とする請求項１〜１２の
    いずれかに記載の基体。
  14. 【請求項１４】 中間の屈折率を有する層が、オキシ窒化ケイ素および／ま
    たはオキシ炭化ケイ素にもとづくか、または酸化ケイ素と酸化スズ、亜鉛、チタ
    ンもしくはタンタルとの混合物にもとづくことを特徴とする請求項１３記載の基
    体。
  15. 【請求項１５】 請求項１〜１４のいずれかに記載の反射防止被覆を有する
    基体を組み入れることを特徴とする一体型、積層もしくは多数の窓ガラスであり
    、後者は１つもしくはそれより多いガス充填キャビティを有する窓ガラス。
  16. 【請求項１６】 太陽光保護、吸収、ＵＶ保護、帯電防止、低放射率、加熱
    もしくは汚れ防止機能を有する層（もしくは多層積み重ね）、および／または耐
    雨機能を有する疎水性有機層、もしくは防曇機能を有する親水性有機層、さもな
    いと鏡機能を有する銀めっき層が、反射防止被覆（６）を備える基体（１）上に
    、または該窓ガラスを構成する少くとも１つの他の基体上に堆積されることを特
    徴とする請求項１５記載の窓ガラス。
  17. 【請求項１７】 反射防止被覆（６）を備える基体（１）、もしくは該窓ガ
    ラスを構成する少くとも１つの他の基体が、非常に透明なガラス、もしくは一様
    な色を帯びたガラスでつくられており、それは強化、もしくは補強されており、
    または曲がっており、そして紫外線放射をろ過しうることを特徴とする請求項１
    ５もしくは１６記載の窓ガラス。
  18. 【請求項１８】 反射防止被覆を備える基体、もしくは該窓ガラスを構成す
    る少くとも１つの可能な基体が、透明ポリマー物質、特にＰＭＭＡのようなポリ
    アクリレートであることを特徴とする窓ガラス。
  19. 【請求項１９】 請求項１〜１５のいずれかに記載の反射防止被覆（６）を
    有する基体（１）の、もしくは建物の内外部窓ガラスの製造への請求項１６〜１
    ８のいずれかに記載の窓ガラスの、もしくは塗装型物体の保護のためのガラスの
    、積層フロントガラス型の自動車の窓の、鏡の、コンピュータのためのまぶしさ
    防止スクリーンのようなすべての型のディスプレイスクリーンの、装飾ガラスの
    、商店の飾り窓の、または商店のカウンターもしくは冷蔵ディスプレーキャビネ
    ット型のガラス家具の、使用。
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