JPH09100139A - 居住性を高めたガラス板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な膜構成等で、透明性とミラー性並びに
断熱性を効果的にバランスよく持たせて同時に満足し、
人や環境に優しくかつ居住性に優れ、濃いグリーン色系
ガラス面反射色調を呈しかつ電波透過性を有するガラス
板を得る。 【解決手段】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
ス面側から第１層目として膜厚が10nm以上200nm 以下で
あるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚
が１nm以上15nm以下でかつその表面抵抗率が１ｋΩ／口
以上であるTi、SUS 、NiCrの金属ならびにこれらを主成
分とする窒化物の群から選ばれた少なくとも一つの薄
膜、さらに第２層の上に膜厚が30nm以上200nm 以下であ
るSnの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜からなり、かつ
第１層目と第３層目のうちどちらか一方の膜厚が70nm〜
200nm であり、しかもガラス面側からの反射光の可視光
線波長域での刺激純度が10％以上である高彩度のグリ−
ン色系のガラス面反射色調を呈する居住性を高めたガラ
ス板。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、簡単な３層の積層
膜を被膜し、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断
熱性をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとす
ることで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観
を発現せしめ、透視色がニュートラルで濃いグリーン系
のガラス面反射色調を呈し、さらに電波透過性を有する
居住性を高めたガラス板に関し、建築用窓材としてはも
ちろん、ビルディング等各種の用途においてその機能を
活かすことができる居住性や環境性に優れたガラス板を
提供するものである。

【０００２】

【従来技術】一般に反射率を高くした高性能熱線反射ガ
ラスは数多く提案されかつ商品化されており、そのなか
で高透過率を有する赤外線反射ガラスがあり、またさら
に無反射ガラス等が知られている。

【０００３】例えば、特開昭63-190742 号公報には、熱
線反射ガラスの製法が記載されており、ガラス基板上に
第１層として酸素含有雰囲気中で10〜200 Åの厚さを有
する酸化チタン（TiO₂）層を物理蒸着法により形成し、
次いで第２層として純窒素雰囲気中で窒化チタン（TiN
x,x≧1.0 ）層、又は希ガス及び窒素からなる混合ガス
雰囲気中で窒化チタン（TiN ）層を物理蒸着法により形
成し、更に第３層として10〜200 Åの厚さを有する酸化
チタン（TiO₂）層を物理蒸着法により形成して、可視ス
ペクトル帯域で40％以下の透過率及び熱線に対する高い
反射能を有するものが開示されている。

【０００４】その中で，第１層のTiO₂層の厚みが140 〜
180 Å、第２層のTiNx層の厚みが375 〜425 Å、第３層
のTiO₂層の厚みが85〜155 Åであり、そのガラス基板側
からの反射色調がグリ−ン色を呈すること、ならびに第
１層のTiO₂層の厚みが90〜130 Å、第２層のTiNx層の厚
みが380 〜420 Å、第３層のTiO₂層の厚みが155 〜200
Åであり、そのガラス基板側からの反射色調がグリ−ン
色を呈することが開示されている。

【０００５】また例えば、特開昭63-252944 号公報に
は、透明熱線反射板が記載されており、透明基板表面に
5〜350nm の範囲の光学的厚さで透明誘電体層を形成
し、この透明誘電体層の表面に30〜100nm の範囲の幾何
学的厚さでチッ化チタン層を形成したものが開示されて
いる。具体的には例えば、透明基板／TiO₂(22nm)／TiNx
(80nm)／TiO₂(84nm)の膜構成で反射光が緑〜黄緑色、可
視光透過率が13.2％となることが開示されている。

【０００６】さらに例えば、特開平2-44046 号公報に
は、青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製
造方法が記載されており、透明な基体の一方の表面に窒
化チタン膜が形成され、該窒化チタン膜上に透明な金属
酸化物からなる被膜が形成された、該透明基体の他方の
面に於いる反射光が青色乃至緑色を呈する透明体が開示
され、金属酸化物が酸化チタン、酸化錫、酸化タンタル
等のいずれかからなることが記載されている。

【０００７】そのなかで具体的には例えば、透明基体／
TiN(30nm) ／TiO₂(25nm)の膜構成で可視光透過率が40
％、また透明基体／TiN(15nm) ／TiO₂(45nm)の膜構成で
可視光透過率が51％、いずれも被膜面と異なる面の反射
色が緑色であることが開示されている。

【０００８】また例えば、実公平4-30039 号公報には、
透明熱線反射板が記載されており、透明基板表面に１〜
500nm の範囲の光学的厚さで透明誘電体層を形成し、こ
の透明誘電体層の表面に５〜30nmの範囲の幾何学的厚さ
でクロム層を形成し、さらにこのクロム層の表面に５〜
300nm の範囲の光学的厚さで透明誘電体層を形成したこ
とが記載されている。

【０００９】そのなかで具体的には例えば、透明基板／
SnOx(19nm)／Cr(8nm) ／SnOx(132nm) の膜構成で可視光
透過率が30.1％、また透明基体／SnOx(79nm)／Cr(12nm)
／SnOx(105nm) の膜構成で可視光透過率が26.2％、反射
色が緑色であることが開示されている。

【００１０】また例えば、特開平6-305774号公報には、
熱線反射ガラスが記載されており、ガラス基板上に第１
層として窒化物、第２層として酸化物、第３層として窒
化物を順次形成し、かつ可視スペクトル帯域で40％以下
の透過率を有するものが開示されている。

【００１１】そのなかで具体的には例えば、ブル−色フ
ロ−トガラス板／TiN(14nm) ／TiO₂(55nm)／TiN(14nm)
の膜構成により、ガラス面側がグリ−ン色の反射色調で
その反射率が19％、膜面側がニュ−トラル色の反射色調
でその反射率が29％であり、透過色調がニュ−トラル色
で透過率が31％となることが開示されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の各公報
に開示されている、例えば特開昭63-190742 号公報に記
載の熱線反射ガラスの製法では、可視スペクトル帯域で
の透過率が40％以下であり、また特開昭63-252944 号公
報に記載の透明熱線反射板では、例えば前記したように
可視光透過率が13.2％となる等、到底可視光透過率が例
えば30％程度を超えるようなものとはならないものであ
り、いずれも本発明がめざす居住性を高めたガラス板に
するために必要な条件を満たすようなものとは到底成し
難いものである。

【００１３】また例えば、特開平2-44046 号公報に記載
の青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造
方法では、前記した具体例でも明らかなように、TiN(15
nm)／TiO₂(45nm)の膜構成で可視光透過率が51.2％であ
っても必ずしも本発明がめざす居住性を高めたガラス板
に採用できるようなものではなく、熱線遮蔽性を確保す
るためには窒化チタンの膜厚は５nm以上必要であり、ま
た反射色のあざやかさを得るためには金属酸化物の膜厚
は５nm以上が有用であることが記載され、金属酸化物と
して一つに酸化錫が挙げてあるものの通常550nm の波長
における屈折率が1.9 〜2.6 であるものが好んで用いら
れることが開示されているのみであって、本発明がめざ
す居住性を高めたガラス板にするために必要な条件をみ
たしているものとは到底言い難いものである。

【００１４】また例えば、実公平4-30039 号公報に記載
の透明熱線反射板では、前記した具体例でも明らかなよ
うに、可視光透過率が40％を超えないものであって、到
底本発明がめざす居住性を高めたガラス板に採用できる
ような値には及ばないものであり、低くなり過ぎて暗い
色調で透視性を高めることができないものである。

【００１５】さらに例えば、特開平6-305774号公報に記
載の熱線反射ガラスでは、可視光透過率が40％を超えな
いものであって、到底本発明がめざす居住性を高めたガ
ラス板に採用できるような値には及ばないものであり、
低くなり過ぎて暗い色調で透視性を高めることができな
いものであり、しかも例えばガラス基板としてブル−系
の熱線吸収ガラスを用い、グリ−ン系のガラス面反射色
を呈するようにできるというものであって、本発明がめ
ざす居住性を高めたガラス板にするために必要な条件を
みたしているものとは到底言い難いものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来のかかる
問題点に鑑みてなしたものであって、特定した簡単な３
層の膜構成とその膜厚の組み合わせでなり、ガラス面側
からの反射光の可視光線波長域での主波長ならびに刺激
純度を特定し、濃いグリ−ン系のガラス面反射色調を呈
しせしめ、ニュ−トラル系の透過色調を有するものとし
たことで、ガラスらしさを充分発揮してアピールし、透
明感と存在観、意匠性ならびに透視性とミラー性および
断熱性を発現するなかで、バランスよい光学特性を有
し、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性を備
え、しかも濃いグリーン色系ガラス面反射色調を呈し、
人や環境に優しく、さらに電波透過性を有する居住性を
高めたガラス板を安価に提供することができるものであ
る。

【００１７】すなわち本発明は、透明なガラス基板の一
方の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が10nm
以上200nm 以下であるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第
２層目として膜厚が１nm以上15nm以下でかつその表面抵
抗率が１ｋΩ／口以上であるTi、SUS 、NiCrの金属なら
びにこれらを主成分とする窒化物の群から選ばれた少な
くとも一つの薄膜、さらに第２層の上に膜厚が30nm以上
200nm 以下であるSnの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜
からなり、かつ第１層目と第３層目のうちどちらか一方
の膜厚が70nm〜200nm であり、しかもガラス面側からの
反射光の可視光線波長域での刺激純度が10％以上である
高彩度のグリ−ン色系のガラス面反射色調を呈すること
を特徴とする居住性を高めたガラス板。

【００１８】ならびに、前記積層膜の表面抵抗率が、１
ｋΩ／口以上であることを特徴とする上述した居住性を
高めたガラス板。また、前記居住性を高めたガラス板に
おいて、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での
主波長が485 〜510nm であることを特徴とする上述した
居住性を高めたガラス板。

【００１９】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスのガラス面側からの可視光線反射率が28
％以下であることを特徴とする上述した居住性を高めた
ガラス板。

【００２０】また、前記居住性を高めたガラス板におい
て、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が25％以下
であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラス
板。さらに、前記居住性を高めたガラス板において、該
ガラスの透過色調がニュ−トラル系色調であるととも
に、可視光透過率が50〜70％であることを特徴とする上
述した居住性を高めたガラス板。

【００２１】さらにまた、前記居住性を高めたガラス板
において、該ガラスの日射透過率が65％以下であること
を特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。さらに
また、前記居住性を高めたガラス板が、電波透過性を有
することを特徴とする上述した居住性を高めたガラス板
をそれぞれ提供するものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】ここで、透明なガラス基板の一方
の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が10nm以
上200nm 以下であるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２
層目として膜厚が１nm以上15nm以下でかつその表面抵抗
率が１ｋΩ／口以上であるTi、SUS 、NiCrの金属ならび
にこれらを主成分とする窒化物の群から選ばれた少なく
とも一つの薄膜、さらに第２層の上に膜厚が30nm以上20
0nm 以下であるSnの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜か
らなり、かつ第１層目と第３層目のうちどちらか一方の
膜厚が70nm〜200nm であり、しかもガラス面側からの反
射光の可視光線波長域での刺激純度が10％以上である高
彩度のグリ−ン色系のガラス面反射色調を呈する居住性
を高めたガラス板を実施するにあたっては次のようにす
る。

【００２３】先ず、透明なガラス基板としては、例えば
建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種のガ
ラス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラスで
ある無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最適
であり、またはポリカーボネートやアクリルなどである
有機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、ク
リアガラスが最もよいことはもちろんグリ−ンガラス等
の着色、紫外線や熱線吸収性ガラスでもよく、平板状あ
るいは曲げ板ガラス、さらに強化ガラス、合わせガラ
ス、複層ガラスならびに表面処理ガラス等各種加工処理
ガラスまたは各種用途ガラスであってもよい。また、該
ガラス板の形状としては、とくに限定するものではない
が、長辺と短辺でなる略四辺形でなるものが最も好まし
く採用できるものである。なお、前記透明ガラス基板の
板厚については特に限定するものではない。

【００２４】また、前記表面に薄膜層を形成したガラス
基板において、薄膜層がガラス面側から第１層目として
膜厚が10nm以上200nm 以下であるSnの酸化物薄膜、第１
層の上に第２層目として膜厚が１nm以上15nm以下でかつ
その表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であるTi、SUS 、NiCr
の金属ならびにこれらを主成分とする窒化物の群から選
ばれた少なくとも一つの薄膜、さらに第２層の上に膜厚
が30nm以上200nm 以下であるSnの酸化物薄膜を被覆積層
した積層膜からなり、かつ第１層目と第３層目のうちど
ちらか一方の膜厚が70nm〜200nm であるものとしたの
は、Snの酸化物薄膜としてのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜に
ついては、Ti、SUS 、NiCrの金属薄膜やTiNx、SUSNx 、
NiCrNxの窒化物薄膜の下地膜ならびに保護膜となってガ
ラス面との密着力を高め、積層膜の膜強度を増大して耐
久性を高めしかも干渉現象によりグリ−ン系色を発現す
るために有用であって、居住性の一つとしてガラス面側
からの可視光反射率が28％以下という低反射性能が必要
なため、断熱薄膜／酸化物薄膜の構成のなかでTiOx薄膜
やTaOx薄膜と比較してガラス面側からの可視光反射率に
影響が少なく、しかも他の酸化物薄膜に比べて成膜速度
が速く生産性に優れる等のため、第１層目ならびに第３
層目に選んだ。

【００２５】特に、第１層目のSnOx薄膜については、干
渉膜として機能するためより好ましくは130 〜160nm 程
度の膜厚である。130nm 程度未満であると膜面反射率が
高くなり室内側のギラツキ感が増し、160nm 程度を超え
ると第３層目のSnOx薄膜の膜厚を薄い方向にする必要が
あって充分な耐久性とは言い難くなり、場合によっては
採用する場所等に限定が伴うこともあり得るものであ
る。また特に、第１層目のSnOx薄膜については、30nm未
満では保護膜として充分な効果が得られないし、膜全体
の耐久性が劣ることとなり、アルカリに対する耐久性が
弱くなる。またさらに第１層目と第３層目のうちどちら
か一方の膜厚が70nm〜200nm であることが、高透過率か
つ高彩度の上品で優しいグリ−ン色系色調でしかも膜面
反射率の低減上必要である。

【００２６】また、膜厚が１nm以上15nm以下でかつその
表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であるTiNx（x は、スパッ
タ時のArガスとN₂ガスの流量比で決まる。例えば x＝0.
5 〜1.0 ）、Ti、SUS 、SUSNx 、NiCrNx等のTi、SUS 、
NiCrの金属ならびにこれらを主成分とする窒化物の群か
ら選ばれた少なくとも一つの薄膜については、ガラス面
側からの反射色調がグリ−ン系色を最も効果的に発現さ
せることが可能な耐久性に優れる膜であり、可視光透過
率を確保するなかで、熱線吸収ガラス程度の熱的性能で
ある日射透過率65％以下、好ましくは62％以下を確保し
つつ、他の光学特性についても例えば熱線反射ガラスの
可視光反射率ほどは高くまでには到らないものとでき、
断熱性能等を有する機能性膜として量産に適しておりか
つガラスとの密着性もよく、しかも表面抵抗率が１ｋΩ
／口以上で電波透過性を有するものであるため、第２層
目に選んだ。特にTiまたはNiCrの窒化物を選択すること
が、グリ−ン色波長域における複素屈折率が比較的高い
こと、耐久性と膜密着性に優れること等から好ましい。

【００２７】また、上述した各薄膜の成膜については、
大きさ300mm ×300mm 、厚さ６mmのフロートクリアガラ
ス(Fl6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコー
ルで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッタ
リング装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのターゲ
ットに対向して上方を往復できるようセットし、次に前
記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまでに脱気した
後、該真空槽内にO₂ガスとArガス〔但し、ArガスとO₂ガ
スのガス流量比はO₂／(Ar+O₂) の値が0.5 〜1.0（な
お、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲で
あればよい。〕、あるいはN₂ガスとArガス〔但し、Arガ
スとN₂ガスのガス流量比はN₂／(Ar+N₂) の値が0.5 〜1.
0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の
範囲であればよい。〕を導入し、真空度を約２×10^-3To
rrに保持し、前記SnあるいはTiのターゲットに約1.0kw
の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記SnあるいはTiのターゲット上方
において必要膜厚に応じたスピードで前記板ガラスを搬
送することによって必要厚さのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜
あるいはTiNx（例えば、x が0.8 程度）を上述したよう
に順次成膜した。

【００２８】また、TiまたはSUS の金属薄膜について
は、TiまたはSUS のタ−ゲットを用い、Arガスを導入
し、印加電力0.12kwで上記と同様に行った。さらに、SU
SNx 薄膜については、SUS のタ−ゲットを用い、上記と
同様のN₂ガスとArガスを導入し、印加電力0.5kw で上記
と同様に行った。さらにまた、NiCrNx薄膜については、
NiCrのタ−ゲットを用い、上記と同様のN₂ガスとArガス
を導入し、印加電力0.5kwで上記と同様に行った。

【００２９】なお、成膜法としては、スパッタ法が最適
であるが、常用されている他の成膜法、例えば CVD法、
蒸着法、印刷法、スプレ−法、各種ロ−ルコ−ト法、フ
ロ−コ─ト法あるいはフレキソ法等も適宜採用しうるも
のである。

【００３０】さらに、前記薄膜の積層膜が特定した膜厚
でTiNxの薄膜をSnOxの薄膜で挟み込むよう組み合わせ、
ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度
を10％以上としたのは、その主波長を485 〜510nm とす
ると人間の目の比視感度が比較的低く美観を損ねること
もなく、目に優しい高彩度のグリ−ン色を発現せしめる
ことになり、濃い上品なグリーン色がかった色合いを呈
するためであり、例えば主波長が485nm 未満では濃いグ
リ−ン色系ガラス面反射色調が発現し難く、例えば主波
長510nm を超えると比視感度が敏感になるため目に優し
い高彩度の上品なグリ−ン色系ガラス面反射色調を発現
し難くなるためであって、該刺激純度が10％未満では上
記比視感度との深い関係のなかで所期のグリ−ン色の濃
い（高彩度）上品なガラス面反射色調を得ることが困難
である。

【００３１】また３層でデザイン的にも所期の可視光反
射性を有してミラー効果を適当にもたらすようにでき、
ギラツキ感が発現し難く、違和感が生じ難く、人や環境
に優しいものとなるためである。特にSnOx薄膜の膜厚を
比較的薄くできて生産性の向上にも繋がる。

【００３２】さらに、下地とする前記SnOx薄膜層の膜厚
を10nm以上200nm 以下とし、中間となるTiNx等の上記薄
膜層の膜厚を１nm以上15nm以下とし、被覆する前記SnOx
薄膜層の膜厚を30nm以上200nm 以下としたのは、下地の
薄膜層の膜厚が10nm未満で中間の薄膜層の膜厚が１nm未
満かつ被覆する保護の薄膜層の膜厚が30nm未満であれ
ば、例えば可視光透過率が70％を超え透視性が強くなっ
てしまい、かつ下地膜や保護膜としての機能が充分では
なくなり、熱的性能である日射透過率が65％を超えて断
熱性を満足するものでなくなり、また前記下地の薄膜層
の膜厚が200nm を超え中間の薄膜層の膜厚が15nmを超え
かつ被覆保護の薄膜層の膜厚が200nm を超えれば、例え
ばことに可視光透過率が50％より低くなり透視性が弱く
なってしまい、可視光反射率も高くなり過ぎ、ガラス面
と膜面の可視光反射率が28％あるいは25％を大きく超え
ることとなって到底居住性を高めたガラス板とは言えな
いものとなるためである。

【００３３】さらに、ガラス面の可視光反射率を28％以
下であるものとしたまたは／および膜面の可視光反射率
を25％以下であるものとしたのは、該両者の値を超える
とミラ−効果が発現し過ぎ、室内側でガラス面への写り
込みによるギラツキ感を低減させることができ難く、建
築意匠性の観点からも高彩度のグリ−ン色系色調を心地
よく見せることができず、環境や人に優しいものとは言
い難く、不快感をもたらすようになるためである。好ま
しくはガラス面の可視光反射率が20〜27％程度であって
20％未満では清涼感が損なわれがちで、ビル等の外装材
としての意匠性によいとは言い難くなるからである。ま
た、膜面の可視光反射率としては20％程度以下とするこ
とがより好ましく、室内側でガラス面への写り込みによ
るギラギラ感を低減させることができる。

【００３４】さらにまた、可視光透過率を50〜70％の範
囲であるものとしたのは、この範囲内の値にある場合に
おいて、最も適度の透視性や視認性を有するものとなる
ためであり、さらにまた、日射透過率を65％以下である
ものとしたのは、充分な断熱性を併せて付与することで
より多機能性を有するものとすることができるためであ
る。

【００３５】一般に光学的特性は透過率、反射率、吸収
率の組み合わせであり、そのバランスにより異なる面も
あるが、上述の範囲内にあれば、透過性と反射性すなわ
ちミラー性ならびに断熱性が同時にバランスよく、人や
環境に優しいものとなってより居住性を満足せしめるこ
とができる。

【００３６】またさらに、電波透過性を有するガラス基
板としたのは、積層膜の表面抵抗率がことに１ｋΩ／口
以上であればビル用等では充分電波透過性を有し、仮に
電波反射型であると周辺の住民のＴＶにゴースト現象等
の所謂電波障害を発生させ、環境に優しいものとは言い
難く、結局居住性を高めたガラス板でなくなるためであ
る。

【００３７】前述したように、本発明の居住性を高めた
ガラス板によれば、積層薄膜付きガラスでありながら、
例えばクリアガラスの優れた特性と熱線反射ガラスの特
性とを活かしつつ、熱線吸収ガラスに匹敵する特性を発
現せしめるようにし、ガラスらしさを充分発揮して意匠
性をアピールし、透明感と存在観ならびに透視性とミラ
ー性を発現するなかで、断熱性をも含めバランスよい光
学特性を有し同時に満足しうるものとなし、耐薬品性、
耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性を備え、しかも高透視
性かつ高彩度の濃いグリーン色系のガラス面反射色調を
呈しかつ透過色調もニュ−トラルとなり、膜面反射率も
例えば20％程度と減じさらに電波透過性を有する居住性
を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安価に提供するこ
とができ、例えば中庭において、ビルディング内の中庭
を大きく見せることができるミラー性、室内から外の景
色をよく見えるようにする透視性を同時に達成でき、さ
らに例えば省エネルギー効果を持ちながらホテル等での
室内からの夜景を楽しむという、人や環境に快適でかつ
最適なるものとすることができる。

【００３８】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。

【００３９】実施例１ 大きさ300 ×300mm²、厚さ６mmのフロートクリアガラス
(Fl6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコール
で順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッタリ
ング装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのターゲッ
トに対向して上方を往復できるようセットし、次に前記
槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまでに脱気した後、
該真空槽内にO₂ガスとArガス〔但し、ArガスとO₂ガスの
ガス流量比はO₂／(Ar+O₂) の値が0.5 〜1.0 （なお、該
1.0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲であれば
よい。〕を導入して真空度を約２×10^-3Torrに保持し、
前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を印加し、前記混
合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記
Snのターゲット上方においてスピード約145mm ／min で
前記板ガラスを搬送することによって約30nm厚さのSnOx
（１＜ｘ≦２）薄膜を第１層として成膜した。成膜が完
了した後、Snターゲットへの印加を停止した。

【００４０】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にN₂ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとN₂ガスのガス流量比はN₂／(Ar+N₂) の値が0.5 〜
1.0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約２×10 ^-3
Torrに保持し、前記Tiのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Tiのターゲット上方においてスピード約
151mm ／min で前記板ガラスを搬送することによって前
記板ガラスのSnOx薄膜表面上に約９nm厚さのTiNx（例え
ば、x が0.8 程度）薄膜を第２層として積層成膜した。
成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止した。

【００４１】続いて、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO₂ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO₂ガスのガス流量比はO₂／(Ar+O₂) の値が0.5 〜
1.0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約２×10 ^-3
Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Snのターゲット上方においてスピード約
25mm／min で前記板ガラスを搬送することによって約17
5nm 厚さのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜を第３層として成膜
した。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止
した。

【００４２】得られた３層でなる積層薄膜付き板ガラス
について、可視光透過率（Tv：380〜780nm ）、可視光
反射率（Rv：380 〜780nm ）、刺激純度（Pv：380 〜78
0nm）ならびに日射透過率（Ts：340 〜1800nm）と日射
反射率（Rs：340 〜1800nm）等については340 型自記分
光光度計（日立製作所製）により測定し、所定の波長毎
の透過率、反射率の各データとJIS Z 8722、JIS R 3106
によってそれぞれその光学的特性（光源：D₆₅ 2°視
野）を求め、その一部を表１、２および３に可視光透過
率、可視光反射率、日射透過率および主波長、刺激純度
等について示した。

【００４３】また、耐久性としては、JIS R 3221に基づ
いて、耐薬品性テストについては、酸とアルカリの各１
規定、25℃溶液に約６時間浸漬後の可視光透過率の変化
量（△Tv, ％）で評価し、例えば△Tvが4.0 ％以下であ
れば合格とした。さらに、テーバーテストについては、
摩耗輪（CS-10F）、荷重 500ｇ、100 回回転後の可視光
透過率の変化量（△Tv, ％）で評価し、例えば△Tvが約
4.0 ％以下であれば合格とした。

【００４４】また、表面抵抗率については、10⁵ Ω／口
以下のものは四探針抵抗測定装置RT-8（NAPSON社製）、
10⁵ Ω／口〜10⁵ ＭΩ／口のものは表面高抵抗計HIREST
A HT-210（三菱油化社製）によって測定し、1.0 ｋΩ／
口以上、好ましくは1.2 ｋΩ／口以上であるものを電波
透過性を有するものとして○印をした。

【００４５】さらに、生産性等を加味したコスト上良好
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の居住性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価をした。

【００４６】その結果、G(ガラス) ／SnOx（30nm）／Ti
Nx（９nm）／SnOx（175nm ）と３層膜の構成でなる積層
薄膜付き板ガラスは、表１、表２および表３に示すよう
に、可視光透過率（Tv）が56.7％、ガラス面側からの可
視光反射率（Rg）が21.2％、膜面側からの可視光反射率
（Rf）が24.8％、可視光透過の主波長が424.3nm 、可視
光透過の刺激純度も4.0 ％でかつガラス面からの可視光
反射の主波長が506.4nm 、ガラス面側からの可視光反射
の刺激純度も10.8％であり、透明性とミラー効果をバラ
ンスよく持ち、人や環境に対して優しく、しかも日射透
過率（Ts）が54.9％である等断熱性を持ち、例えば冷房
負荷軽減効果も大きく発揮するものである。

【００４７】さらに、耐久性も例えば耐薬品性およびテ
ーバーのテストでの可視光透過率の変化量（△Tv）も約
3.0 ％以下と合格するものであり、ガラス面側からの反
射色調が淡いグリ−ン色系であって優れた電波透過性も
あり、所期の居住性を高めたガラス板であった。

【００４８】実施例２〜９ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(Fl
6) を用い、実施例２〜５は実施例１と同様の膜構成、
実施例６〜９は第２層目のみ、Ti、SUS 、SUSNx、NiCrN
x薄膜にそれぞれ変え他は実施例１と同様の膜構成であ
って、各膜厚は表１に示すような値に変化させ、積層薄
膜付き板ガラスを得た。

【００４９】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１、２
および３に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、主波長、刺激純度等の各光学特性
はもちろん、日射透過率による熱的性能、色調や電波透
過性も含めいずれもめざす範囲内にあり、めざす所期の
居住性を高めたガラス板であった。

【００５０】なお、Ti薄膜については、Tiのタ−ゲット
を用い、Arガスを導入し、印加電力0.12kwで搬送速度約
132mm ／min により膜厚約6nm 。SUS 薄膜については、
SUSのタ−ゲットを用い、Arガスを導入し、印加電力0.1
2kwで搬送速度約365mm ／min により膜厚約4nm 。SUSNx
薄膜については、SUS のタ−ゲットを用い、上記と同
様のN₂ガスとArガスを導入し、印加電力0.5kw で搬送速
度約412mm ／min により膜厚約5nm 。NiCrNx薄膜につい
ては、NiCrのタ−ゲットを用い、上記と同様のN₂ガスと
Arガスを導入し、印加電力0.5kw で搬送速度約589mm ／
min により膜厚約5nm をそれぞれ得た。

【００５１】

【表１】

【００５２】

【表２】

【００５３】

【表３】

【００５４】比較例１〜３ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(Fl
6) を用い、実施例１と同様の膜構成で膜厚のみ表４に
示すように変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。

【００５５】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、比較例１ではガラス面側の
可視光反射の主波長が480.7nm と485nm より小さく、ガ
ラス面側の反射色調がブル−系色であって透過の色調が
イエロ−系色であり、めざすグリ−ン色調ではなく、可
視光透過率が71.6％と70％を超えており、比較例２では
第２層目のTiNx薄膜の膜厚が25nmと15nmを超えた場合で
あり、表面抵抗率が0.3kΩ／口と1kΩ／口未満で電波透
過性に劣りかつ可視光透過率が42.9％と50％未満であ
り、比較例３では、第３層目のSnOx薄膜の膜厚が10nmと
30nm未満の場合であり、ガラス面側の反射光の可視光線
波長域での主波長が471.7nmと485nm より小さく、ガラ
ス面側の反射色調がブル−系色であって透過の色調がイ
エロ−系色であり、めざすグリ−ン色調ではなく、しか
も耐アルカリ性ならびに耐摩耗性に劣るものである等、
いずれもめざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い
難いものであった。

【００５６】比較例４ 第２層目の膜をTaNx薄膜に変え、他は各実施例ならびに
比較例１〜３と同様にして、表４に示すように、G(ガラ
ス) ／SnOx（140nm ）／TaNx（15nm）／SnOx（65nm）と
３層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスを得た。

【００５７】なお、TaNx薄膜については、Taのタ−ゲッ
トを用い、上記と同様のN₂ガスとArガスを導入し、印加
電力1.5kw で搬送速度約76mm／min により膜厚約15nmを
得た。

【００５８】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた単層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、各実施例と膜構成の相異に
よって、ガラス面側から可視光反射率が29.5％であって
28％を超えめざす値より高くかつガラス面側からの反射
光の可視光線波長域での主波長が546.3nm とめざす値で
ある510nm より高くなり、到底めざす所期の居住性を高
めたガラス板とは言い難いものであった。

【００５９】比較例５〜６ 第１および３層目の膜をTiOx薄膜に変え、他は各実施例
と同様にして、表４に示すように、G(ガラス) ／TiOx
（60,100nm）／TiNx（10nm）／TiOx（50,150nm）と３層
膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスを得た。

【００６０】なお例えば、TiOx薄膜については、Tiタ−
ゲットを用い、前記O₂ガスとArガス、印加電力3.0kw 、
膜厚約90nmを板ガラスの搬送スピード約15.6mm／min 、
膜厚約100nm で板ガラスの搬送スピード約14mm／min で
成膜を行った。

【００６１】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と膜構成及び膜厚
の相異によって、比較例５ではガラス面側からの反射光
の可視光線波長域での主波長が520.5nm とめざす値510n
m より高く、膜面側から可視光反射率が35.0％であって
25％を超えめざす値より高く、また比較例６では膜面側
からの可視光反射率が31.0％であって25％を超えめざす
値より高くなる等、それぞれ到底めざす所期の居住性を
高めたガラス板とは言い難いものであった。

【００６２】

【表４】

【００６３】

【表５】

【００６４】

【表６】

【００６５】

【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
３層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板の膜構
成ならびにその膜厚、ガラス面側反射光の可視光線波長
域での刺激純度を特定し、ガラス面反射色調を高透過率
かつ高彩度の上品な濃いグリ−ン系色、ガラスの透過色
調をニュ−トラル系色としたことにより、ガラスらしさ
を充分発揮して意匠性をアッピールし、充分な透明感と
透視性ならびに比較的低い反射で適度な存在観とミラー
性を発現させて断熱性とともにバランスよく同時に満足
しうるものとでき、耐久性を備え、しかも最も優しい濃
いグリーン色系色調のガラス面反射色でニュートラル色
系の透過色調を呈しかつ電波透過性を有する等、人や環
境に優しく居住性を高めたガラス板を簡単な膜構成等で
安価に提供することができ、建築用窓材としてはもちろ
ん、ビルディング等各種の用途にその機能を発揮する、
居住性と環境性に優れたガラス板を提供するものであ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/08 Ｃ２３Ｃ 14/08 Ｎ Ｅ０６Ｂ 5/00 Ｅ０６Ｂ 5/00 Ｂ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
   ス面側から第１層目として膜厚が10nm以上200nm 以下で
   あるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚
   が１nm以上15nm以下でかつその表面抵抗率が１ｋΩ／口
   以上であるTi、SUS 、NiCrの金属ならびにこれらを主成
   分とする窒化物の群から選ばれた少なくとも一つの薄
   膜、さらに第２層の上に膜厚が30nm以上200nm 以下であ
   るSnの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜からなり、かつ
   第１層目と第３層目のうちどちらか一方の膜厚が70nm〜
   200nm であり、しかもガラス面側からの反射光の可視光
   線波長域での刺激純度が10％以上である高彩度のグリ−
   ン色系のガラス面反射色調を呈することを特徴とする居
   住性を高めたガラス板。
2. 【請求項２】 前記積層膜の表面抵抗率が、１ｋΩ／口
   以上であることを特徴とする請求項１記載の居住性を高
   めたガラス板。
3. 【請求項３】 前記居住性を高めたガラス板において、
   ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での主波長が
   485 〜510nm であることを特徴とする請求項１乃至２記
   載の居住性を高めたガラス板。
4. 【請求項４】 前記居住性を高めたガラス板において、
   該ガラスのガラス面側からの可視光線反射率が28％以下
   であることを特徴とする請求項１乃至３記載の居住性を
   高めたガラス板。
5. 【請求項５】 前記居住性を高めたガラス板において、
   該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が25％以下であ
   ることを特徴とする請求項１乃至４記載の居住性を高め
   たガラス板。
6. 【請求項６】 前記居住性を高めたガラス板において、
   該ガラスの透過色調がニュ−トラル系色調であるととも
   に、可視光透過率が50〜70％であることを特徴とする請
   求項１乃至５記載の居住性を高めたガラス板。
7. 【請求項７】 前記居住性を高めたガラス板において、
   該ガラスの日射透過率が65％以下であることを特徴とす
   る請求項１乃至６記載の居住性を高めたガラス板。
8. 【請求項８】 前記居住性を高めたガラス板が、電波透
   過性を有することを特徴とする請求項１乃至７記載の居
   住性を高めたガラス板。