JP2003342069A - 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子及び誘電素子 - Google Patents
圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子及び誘電素子Info
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Abstract
つ圧電定数,電気機械結合係数,誘電損失,比誘電率,
及びキュリー温度のうちいずれか1つ以上の特性に優れ
た圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに該圧電磁器
組成物を利用した圧電素子及び誘電素子を提供するこ
と。 【解決手段】 一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(N
b1-zSbz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ
0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.2(但
し,x=z=0を除く)の組成範囲にあることを特徴と
する圧電磁器組成物及びその製造方法。また,上記圧電
磁器組成物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧
電素子。また,上記圧電磁器組成物よりなる誘電体を有
することを特徴とする誘電素子。
Description
磁器組成物及びその製造方法,並びに該圧電磁器組成物
を材料とする圧電素子及び誘電素子に関する。
含んだPZT(PbTiO3−PbZrO3)成分系磁器
が用いられてきた。上記PZTは,電気機械結合係数や
圧電定数等の圧電特性に優れており,上記PZTを利用
した圧電素子は,センサ,アクチュエーター,フィルタ
ー等に広く利用されている。また,上記PZTは高い比
誘電率を有するため,コンデンサ等の誘電素子としても
利用されている。
成物は,優れた特性を有する一方で,その構成元素に鉛
を含んでいるため,PZTを含んだ製品の産業廃棄物か
ら有害な鉛が溶出し,環境汚染を引き起こすおそれがあ
った。そして,近年の環境問題に対する意識の高まり
は,PZTのように環境汚染の原因となりうる製品の製
造を困難にしてきた。そのため,組成中に鉛を含有しな
い圧電磁器組成物の開発が求められ,一般式(K1-xN
ax)NbO3(但し,0<x<1)で表される圧電磁器
組成物(非特許文献1参照)が注目されてきた。
American Ceramic Societ
y”,米国,1962,Vol.45,No.5,p.
209
(K1-xNax)NbO3(但し,0<x<1)で表され
る圧電磁器組成物は焼成が困難であるため,ホットプレ
ス焼成を行う必要がある。そのため,製造コストが高く
なるという問題があった。さらに,上記一般式で表され
る圧電磁器組成物には,圧電d31定数及び圧電g31定数
等の圧電定数及び電気機械結合係数Kpが低いこと,誘
電損失が大きいこと,また比誘電率が小さいことなどの
問題があった。そのため,上記一般式(K1-xNax)N
bO3(但し,0<x<1)で表される圧電磁器組成物
は,PZTに代わる新しい圧電磁器組成物として有望視
されているものの,ほとんど実用化には至っていない。
それ故,上記の一般式で表される圧電磁器組成物が開発
された後も,環境汚染のおそれがあるPZT等の鉛系圧
電磁器組成物が広く利用されているのが現状である。
されたもので,鉛を含まず,常圧にて焼成が可能であ
り,かつ圧電定数,電気機械結合係数,誘電損失,比誘
電率,及びキュリー温度のうちいずれか1つ以上の特性
に優れた圧電磁器組成物及びその製造方法,並びに該圧
電磁器組成物を利用した圧電素子及び誘電素子を提供し
ようとするものである。
1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3で表され,かつ
x,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.
0,0≦z≦0.2(但し,x=z=0を除く)の組成
範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成物にある(請
求項1)。
{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1- zSbz)O3で表
され,組成物中に鉛を含有していない。そのため,上記
圧電磁器組成物は,該圧電磁器組成物の廃棄物等から有
害な鉛が自然界に流出することがなく,安全である。ま
た,上記の一般式において,x,y,zがそれぞれ上記
の範囲にある。そのため,上記圧電磁器組成物は,圧電
d31定数及び圧電g31定数等の圧電定数及び電気機械結
合係数Kp,誘電損失,比誘電率,及びキュリー温度の
いずれか一つ以上の特性に優れたものとなる。そして,
上記圧電磁器組成物は,常圧下での焼成によっても充分
に緻密化することができる。したがって,上記圧電磁器
組成物は,環境に対して安全で,常圧にて焼成が可能で
あり,かつ高性能な圧電素子又は誘電素子等の材料とし
て利用することができる。なお,本発明における圧電磁
器組成物は,圧電特性を有する磁器組成物に限らず,誘
電特性を有する誘電磁器組成物をも含む概念である。
1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O 3で表され,かつ
x,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.
0,0≦z≦0.2(但し,x=z=0を除く)の組成
範囲にある圧電磁器組成物よりなる粉末を成形し,焼成
することを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法にある
(請求項10)。
成形した成形体は,常圧下にて焼成することができる。
そのため,簡単で,低コストに焼成を行うことができ
る。そして,上記焼成後に得られる圧電磁器組成物は,
鉛を含有せず,圧電d31定数及び圧電g31定数等の圧電
定数,電気機械結合係数Kp,誘電損失,比誘電率,及
びキュリー温度のうちいずれか一つ以上の特性に優れた
ものとなる。そのため,高性能な圧電素子又は誘電素子
等の材料として利用することができる。
なる化合物と,ナトリウムを含有してなる化合物と,カ
リウムを含有してなる化合物と,ニオブを含有してなる
化合物と,アンチモンを含有してなる化合物とを混合,
焼成することを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法に
ある(請求項11)。
ムを含有してなる化合物と,ナトリウムを含有してなる
化合物と,カリウムを含有してなる化合物と,ニオブを
含有してなる化合物と,アンチモンを含有してなる化合
物とを混合,焼成する。これにより上記一般式{Lix
(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3で表される圧
電磁器組成物を容易に得ることができる。
電磁器組成物を焼成することができる。そして,上記焼
成後に得られる圧電磁器組成物は,鉛を含有せず,圧電
d31定数及び圧電g31定数等の圧電定数,電気機械結合
係数Kp,誘電損失,比誘電率,及びキュリー温度のう
ちいずれか一つ以上の特性に優れたものとなる。
器組成物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電
素子にある(請求項13)。
の圧電磁器組成物よりなる圧電体を有している。そのた
め,上記圧電素子は,鉛を含有せず,環境に対して安全
である。また,上記圧電素子は,上記圧電磁器組成物が
有する,圧電定数及び電気機械結合係数等が高いという
性質をそのまま利用することができる。そのため,上記
圧電素子は,感度の高い圧電センサ素子,高い電気機械
エネルギー変換効率を有する圧電振動子及びアクチュエ
ータ素子等の優れた圧電素子として利用することができ
る。
物よりなる誘電体を有することを特徴とする誘電素子に
ある(請求項14)。
の圧電磁器組成物よりなる誘電体を有している。そのた
め,上記誘電素子は,鉛を含有せず,環境に対して安全
である。また,上記誘電素子は,上記圧電磁器組成物が
有する,誘電損失が低く比誘電率が高いという性質をそ
のまま利用することができる。そのため,静電容量の大
きいコンデンサ等の優れた誘電素子として利用すること
ができる。
圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器組
成物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電素子
にある(請求項15)。
求項10)又は第3の発明(請求項11)の製造方法に
より得られる圧電磁器組成物を圧電体として用いてい
る。そのため,上記圧電素子は,上記圧電磁器組成物が
有する優れた特性をそのまま利用することができる。そ
れ故,上記圧電素子は,感度の高い圧電センサ素子,高
い電気機械エネルギー変換効率を有する圧電振動子及び
アクチュエータ素子等の優れた圧電素子として利用する
ことができる。
圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器組
成物よりなる誘電体を有することを特徴とする誘電素子
にある(請求項15)。
求項10)又は第3の発明(請求項11)の製造方法に
より得られる圧電磁器組成物を誘電体として用いてい
る。そのため,上記誘電素子は,上記圧電磁器組成物が
有する優れた特性をそのまま利用することができる。そ
れ故,静電容量の大きいコンデンサ等の優れた誘電素子
として利用することができる。
成物は,一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-z
Sbz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ0≦x
≦0.2,0≦y≦0.8,0≦z≦0.2(但し,x
=z=0を除く)の組成範囲にある。ここで,x>0.
2,y>1.0,z>0.2又は,xとzとが同時に0
(x=z=0)の場合には,上記圧電磁器組成物の圧電
定数,電気機械結合係数,及び比誘電率が低下し,又は
誘電損失が大きくなり,所望の圧電及び誘電特性を有す
る圧電磁器組成物を得ることができない。
有し,圧電体としても誘電体としても用いることができ
る。具体的には,例えば圧電振動子,表面波フィルター
素子,圧電センサ素子,アクチュエータ素子,超音波モ
ータ素子,圧電トランス素子,コンデンサ等として用い
ることができる。
て,上記圧電磁器組成物は,圧電d 31定数が30pm/
V以上であることが好ましい(請求項2)。この場合に
は,上記30pm/V以上という高い圧電d31定数を活
かして,上記圧電磁器組成物を感度の高いセンサ素子,
超音波モータ素子,アクチュエータ素子,圧電トランス
素子,圧電振動子等として利用することができる。ま
た,さらに感度の優れたものを得るためには,上記圧電
d31定数は50pm/Vであることが特に好ましい。
数が7×10-3Vm/N以上であることが好ましい(請
求項3)。この場合には,上記7×10-3Vm/N以上
という高い圧電g31定数を活かして,上記圧電磁器組成
物を昇圧比の優れた圧電トランス,超音波モータ素子,
センサ素子等として利用することができる。また,さら
に昇圧比の優れたものを得るためには,上記圧電g31定
数は10×10-3Vm/N以上であることが特に好まし
い。
合係数Kpが0.3以上であることが好ましい(請求項
4)。この場合には,上記0.3以上という高い電気機
械結合係数Kpを活かして,上記圧電磁器組成物を機械
エネルギーと電気エネルギーの変換効率に優れた圧電ア
クチュエータ素子,圧電振動子,センサ素子,圧電トラ
ンス素子,超音波モータ素子等として利用することがで
きる。また,機械エネルギーと電気エネルギーの変換効
率に特に優れたものを得るためには,上記電気機械結合
係数Kpは0.35以上であることが特に好ましい。
器組成物は,誘電損失が0.09以下であることが好ま
しい(請求項5)。この場合には,0.09以下という
低い誘電損失を活かして,上記圧電磁器組成物をコンデ
ンサ等の誘電素子,圧電トランス素子,超音波モータ素
子等として利用することができる。尚,上記誘電損失は
0.035以下であることが特に好ましい。
400以上であることが好ましい(請求項6)。この場
合には,上記400以上という高い比誘電率を活かし
て,上記圧電磁器組成物を静電容量の大きなコンデンサ
等の誘電素子等として利用することができる。
度が200℃以上であることが好ましい(請求項7)。
この場合には,200℃以上という高いキューリー温度
を活かして,上記圧電磁器組成物を,例えば自動車のエ
ンジン付近等のように高温度の環境下にて利用すること
ができる。尚,上記キュリー温度は250℃以上である
ことが特に好ましい。
数が30pm/V以上であり,かつ電気機械結合係数K
pが0.3以上であり,かつキュリー温度が200℃以
上であることが好ましい(請求項8)。この場合には,
上記圧電磁器組成物を,自動車のエンジン付近等のよう
に高温度の環境下にて利用することができ,かつ感度及
び機械エネルギーと電気エネルギーの変換効率に優れた
センサ素子,圧電アクチュエータ素子,圧電トランス素
子,超音波モータ素子等として利用することができる。
数が30pm/V以上であり,かつ誘電損失が0.09
以下であり,かつキュリー温度が200℃以上であるこ
とが好ましい(請求項9)。この場合には,上記圧電磁
器組成物を,自動車のエンジン付近等のように高温度の
環境下にて利用することができ,かつ感度及び誘電損失
に優れた圧電トランス素子,超音波モータ素子等として
利用することができる。
いて,リチウムを含有してなる化合物はLi2CO3であ
り,ナトリウムを含有してなる化合物はNa2CO3であ
り,カリウムを含有してなる化合物はK2CO3であり,
ニオブを含有してなる化合物はNb2O5であり,アンチ
モンを含有してなる化合物はSb2O5またはSb2O3で
あることが好ましい(請求項12)。この場合には,容
易に上記圧電磁器組成物を作製することができる。
の発明(請求項15)において,上記圧電素子として
は,例えば圧電振動子,表面波フィルター素子,圧電セ
ンサ素子,アクチュエータ素子,超音波モータ素子,圧
電トランス素子,圧電ジャイロセンサ素子,ノックセン
サ素子等がある。
の発明(請求項16)において,上記誘電素子として
は,例えばコンデンサ,積層コンデンサ等がある。
器組成物につき説明する。本例では,上記の圧電磁器組
成物を製造し,該圧電磁器組成物の圧電特性及び誘電特
性等の緒特性を測定した。本例の圧電磁器組成物は,一
般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3
で表され,かつx,y,zがそれぞれ0≦x≦0.2,
0≦y≦1.0,0≦z≦0.2(但し,x=z=0を
除く)の組成範囲にある。以下,本例の圧電磁器組成物
の製造方法につき説明する。
99%以上の高純度のLi2CO3,K2CO3,Na2C
O3,Nb2O5,Sb2O5を準備した。これらの原料を
上記一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zS
bz)O3において,yを0.5に固定し,xとzを変更
した複数の材料を作製した。ここで,xとしては,x=
0,0.02,0.04,0.06,0.08,0.1
0,0.12,0.15,0.20となるようにした。
一方,zとしては,z=0,0.02,0.04,0.
06,0.08,0.10,0.12,0.15,0.
20となるようにした。そして,各化学量論組成になる
ように配合した原料をボールミルによりアセトン中で2
4時間混合して各化学量論組成の混合物を作製した。
焼し,この仮焼後の混合物をボールミルにて24時間粉
砕した。続いて,バインダーとしてポリビニールブチラ
ールを添加し,造粒した。造粒後の粉体を圧力2ton
/cm2にて,直径18mm,厚さ1mmの円盤状に加
圧成形し,成形体を1000〜1300℃にて1時間焼
成した。なお,このときの焼成温度は,1000℃〜1
300℃の間で最大密度になる温度を選定した。また,
焼成後の各成形体は,すべて相対密度98%以上に緻密
化されていた。
し,円形研磨した後,この円盤試料の両面にスパッタ法
により金電極を設けた。そして,100℃のシリコーン
オイル中にて1〜5kV/mmの直流電圧を10分間電
極間に印加し,厚み方向に分極を施して本例の圧電磁器
組成物とした。
組成物について,圧電d31定数,圧電g31定数,電気機
械結合係数Kp,キュリー温度,誘電損失,及び比誘電
率を測定した。ここで圧電d31定数,圧電g31定数及び
電気機械結合係数Kpは,インピーダンスアナライザー
を用いて共振−反共振法により測定した。また,誘電損
失及び比誘電率は,インピーダンスアナライザーを用い
て,測定周波数1kHzにて測定した。また,キュリー
温度は,比誘電率が最も高いときの温度をもってキュリ
ー温度とした。その結果を表1〜6に示す。
た特性を明らかにするために,以下のようにして比較品
を作製した。まず,比較品の原料として,純度99%以
上の高純度のK2CO3,Na2CO3,Nb2O5を準備し
た。この原料を(K1-xNax)NbO3(但し,x=
0.5)の化学量論組成に配合し,ボールミルによりア
セトン中で24時間混合して混合物を作製した。
焼し,この仮焼後の混合物をボールミルにて24時間粉
砕した。続いて,バインダーとしてポリビニールブチラ
ールを添加し,造粒した。造粒後の粉体を圧力2ton
/cm2にて,直径18mm,厚さ1mmの円盤状に加
圧成形し,成形体を1100℃にて1時間焼成した。な
お,焼成後の相対密度は96.2%であった。
し,円形研磨した後,この円盤試料の両面にスパッタ法
により金電極を設けた。そして,100℃のシリコーン
オイル中にて1〜5kV/mmの直流電圧を10分間電
極間に印加し,厚み方向に分極を施して比較品とした。
も,圧電d31定数,圧電g31定数,電気機械結合係数K
p,キュリー温度,誘電損失,及び比誘電率を測定し
た。各測定値の測定方法は,本発明品の場合と同様とし
た。その結果を表1〜6に示す。なお,各表におけるマ
トリックスのうち,x=0,z=0の欄が上記比較品の
測定結果である。
ix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3におい
て,0≦x≦0.10,y=0.5,0≦z≦0.10
の組成領域においては,本例の圧電磁器組成物の圧電d
31定数のほとんどが,上記比較品の圧電d31定数よりも
高くなっている。このうち,x=0.06,y=0.
5,z=0.04のとき,上記圧電d31定数は,10
2.9pm/Vという最も高い値を示した。
路を用いた場合には,一般に上記圧電d31定数は,加速
度センサ,加重センサ,衝撃センサ及びノックセンサ等
の圧電型センサの出力電圧に比例する。その点からみる
と,圧電d31定数が高い圧電磁器組成物ほど電荷センサ
出力の大きなセンサ素子を作ることができる。そして,
比較品と同等以上の特性を有するセンサ素子を作製する
には,少なくとも30pm/V以上の圧電d31定数を有
することが好ましいといえる。さらに信号雑音比(SN
比)及び出力電圧を高めて高感度なセンサ素子を作製す
るためには,上記圧電d31定数は50pm/V以上のも
のがよい。
式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3に
おいて,0≦x≦0.10,y=0.5,0≦z≦0.
10の組成領域においては,本例の圧電磁器組成物の電
気機械結合係数Kpのほとんどが,上記比較品の電気機
械結合係数Kpよりも高くなっている。このうち,x=
0.06,y=0.5,z=0.04のとき,上記電気
機械結合係数Kpは,0.506という最も高い値を示
した。
は,圧電トランス素子,超音波モータ素子,アクチュエ
ータ素子,又は超音波振動子等の電気機械エネルギー変
換効率に比例する。その点からみると,電気機械結合係
数Kpが高い圧電磁器組成物ほど電気機械エネルギー変
換効率の高い圧電トランス素子,超音波モータ素子,ア
クチュエータ素子,又は超音波振動子を作ることができ
る。そして,比較品と同等以上の特性を有する圧電トラ
ンス素子,超音波モータ素子,アクチュエータ素子,又
は超音波振動子を作製するには,少なくとも0.3以上
の電気機械結合係数Kpを有することが好ましいといえ
る。さらに好ましくは,0.35以上のものがよい。
式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3に
おいて,0≦x≦0.04,y=0.5,0≦z≦0.
06の組成領域においては,本例の圧電磁器組成物の圧
電g31定数のほとんどが,上記比較品の圧電g31定数よ
りも高くなっている。このうち,x=0.02,y=
0.5,z=0のとき,上記圧電g31定数は,14.5
×10-3Vm/Nという最も高い値を示した。
と同様に,圧電型センサ,圧電トランス素子,超音波モ
ータ素子の出力電圧に比例する。そのため,圧電g31定
数が高い圧電磁器組成物ほど電荷センサ出力の大きなセ
ンサを作ることができる。そして,比較品と同等以上の
特性を有するセンサを作製するには,少なくとも7×1
0-3Vm/N以上の圧電g31定数を有することが好まし
いといえる。さらに好ましくは,10×10-3Vm/N
以上のものがよい。
式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3に
おいて,0≦x≦0.20,y=0.5,0≦z≦0.
10の組成領域における本例の圧電磁器組成物のキュリ
ー温度は,193℃以上という高い値をとっている。そ
のため,上記組成領域にある本例の圧電磁器組成物は,
自動車のエンジン付近等の高温度部においても長時間安
定に使用することができるノックセンサ等の高温用のセ
ンサ部品,アクチュエータ部品,超音波モータ部品等と
して利用することができる。また,上記高温用のセンサ
部品,アクチュエータ部品,超音波モータ部品等として
さらに長時間安定に使用するためには,上記キュリー温
度は,200℃以上であることが好ましい。さらに好ま
しくは,250℃以上のものがよい。
式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3に
おいて,0≦x≦0.20,y=0.5,0≦z≦0.
20の組成領域においては,本例の圧電磁器組成物の比
誘電率のほとんどが,上記比較品の比誘電率よりも高く
なっている。このうち,x=0.10,y=0.5,z
=0.15のとき,上記比誘電率は,2023という最
も高い値を示した。
ンサ部品等のコンデンサの静電容量に比例する。その点
からみると,上記比誘電率が高い圧電磁器組成物ほど静
電容量の大きなコンデンサを作ることができる。そし
て,比較品と同等以上の特性を有するコンデンサを作製
するためには,少なくとも400以上の比誘電率を有す
ることが好ましいといえる。さらに好ましくは,600
以上のものがよい。
式{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3に
おいて,0≦x≦0.20,y=0.5,0≦z≦0.
20の組成領域においては,本例の圧電磁器組成物の誘
電損失のほとんどが,上記比較品の誘電損失よりも高く
なっている。このうち,x=0.02,y=0.5,z
=0のとき,上記誘電損失は,0.003という最も低
い値を示した。
品等のコンデンサに交流電圧を印加した際に該コンデン
サが損失する熱エネルギーに比例する。その点からみる
と,上記誘電損失が小さい圧電磁器組成物ほどエネルギ
ー損失の少ないコンデンサを作製することができる。そ
して,比較品と同等以上の特性を有するコンデンサを作
製するためには,0.09以下の誘電損失を有すること
が好ましい。さらに好ましくは,0.035以下のもの
がよい。
{Lix(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O 3で表
される圧電磁器組成物中に含まれる,K及びNaの含有
量を変えて圧電磁器組成物を作製し,その圧電特性及び
誘電特性を調べた。具体的には,上記一般式{Li
x(K1-yNay)1-x}(Nb1-zSbz)O3において,
xとzとをそれぞれx=0.06及びz=0.04に固
定して,yがそれぞれ0.60,0.50,0.40と
なるような圧電磁器組成物を作製した。したがって,こ
のときNaの含有量は,上記一般式で表される化合物1
molに対して,それぞれ0.564mol,0.47
mol,0.376molとなる。
つき説明する。まず,実施例1と同様に,圧電磁器組成
物の原料として,純度99%以上の高純度のLi2C
O3,K2CO3,Na2CO3,Nb2O5,Sb2O5を準
備した。これらの原料を,上記一般式{Lix(K1-yN
ay)1-x}(Nb1-zSbz)O3において,xとzとが
それぞれx=0.06,z=0.04で,yがそれぞれ
y=0.60,0.50,0.40となるように配合
し,3種類の材料を作製した。そして,この3種類の材
料を,実施例1と同様に,ボールミルによりアセトン中
で24時間混合して各化学量論組成の混合物を作製し
た。
焼し,粉砕し,バインダーを添加して造粒した。さら
に,実施例1と同様にして,造粒後の粉体を圧力2to
n/cm2にて,直径18mm,厚さ1mmの円盤状に
加圧成形し,成形体を1000〜1300℃にて1時間
焼成した。なお,このときの焼成温度は,1000℃〜
1300℃の間で最大密度になる温度を選定した。ま
た,焼成後の各成形体は,すべて相対密度98%以上に
緻密化されていた。
し,円形研磨した後,この円盤試料の両面にスパッタ法
により金電極を設けた。そして,100℃のシリコーン
オイル中にて1〜5kV/mmの直流電圧を10分間電
極間に印加し,厚み方向に分極を施して3種類の圧電磁
器組成物とした。これらをそれぞれ試料E1〜試料E3
とした。
0.06(K0.4Na0.6)0.94(Nb0.96Sb0.04)O3で
表され,上記試料E2の圧電磁器組成物は,Li
0.06(K0.5Na0.5)0.94(Nb0.96Sb0.04)O3で
表され,上記試料E3の圧電磁器組成物は,Li
0.06(K0.6Na0.4)0.94(Nb0.96Sb0.04)O3で
表される。
器組成物(試料E1〜E3)について,圧電d31定数,
圧電g31定数,電気機械結合係数Kp,誘電損失,及び
比誘電率を測定した。ここで圧電d31定数,圧電g31定
数及び電気機械結合係数Kpは,インピーダンスアナラ
イザーを用いて共振−反共振法により測定した。また,
誘電損失及び比誘電率は,インピーダンスアナライザー
を用いて,測定周波数1kHzにて測定した。その結果
を表7に示す。
圧電磁器組成物は,優れた圧電特性及び誘電特性を示
し,特に,比誘電率が優れていた。このように,本例に
よれば,上記一般式Lix(K1-yNay)1-x}(Nb
1-zSbz)O3において,yの値を変えて圧電磁器組成
物を作製しても,圧電特性及び誘電特性に優れた圧電磁
器組成物を得られることがわかる。
Claims (16)
- 【請求項1】 一般式{Lix(K1-yNay)1-x}(N
b1-zSbz)O3で表され,かつx,y,zがそれぞれ
0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.2(但
し,x=z=0を除く)の組成範囲にあることを特徴と
する圧電磁器組成物。 - 【請求項2】 請求項1において,上記圧電磁器組成物
は,圧電d31定数が30pm/V以上であることを特徴
とする圧電磁器組成物。 - 【請求項3】 請求項1又は2において,上記圧電磁器
組成物は,圧電g31定数が7×10-3Vm/N以上であ
ることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項において,
上記圧電磁器組成物は,電気機械結合係数Kpが0.3
以上であることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項において,
上記圧電磁器組成物は,誘電損失が0.09以下である
ことを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1項において,
上記圧電磁器組成物は,比誘電率が400以上であるこ
とを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか1項において,
上記圧電磁器組成物は,キュリー温度が200℃以上で
あることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項8】 請求項1において,上記圧電磁器組成物
は,圧電d31定数が30pm/V以上であり,かつ電気
機械結合係数Kpが0.3以上であり,かつキュリー温
度が200℃以上であることを特徴とする圧電磁器組成
物。 - 【請求項9】 請求項1において,上記圧電磁器組成物
は,圧電d31定数が30pm/V以上であり,かつ誘電
損失が0.09以下であり,かつキュリー温度が200
℃以上であることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項10】 一般式{Lix(K1-yNay)1-x}
(Nb1-zSbz)O3で表され,かつx,y,zがそれ
ぞれ0≦x≦0.2,0≦y≦1.0,0≦z≦0.2
(但し,x=z=0を除く)の組成範囲にある圧電磁器
組成物よりなる粉末を成形し,焼成することを特徴とす
る圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項11】 リチウムを含有してなる化合物と,ナ
トリウムを含有してなる化合物と,カリウムを含有して
なる化合物と,ニオブを含有してなる化合物と,アンチ
モンを含有してなる化合物とを混合,焼成することによ
り請求項1〜9のいずれか1項に記載の圧電磁器組成物
を得ることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項12】 請求項11において,リチウムを含有
してなる化合物はLi2CO3であり,ナトリウムを含有
してなる化合物はNa2CO3であり,カリウムを含有し
てなる化合物はK2CO3であり,ニオブを含有してなる
化合物はNb 2O5であり,アンチモンを含有してなる化
合物はSb2O5またはSb2O3であることを特徴とする
圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項13】 請求項1〜9のいずれか1項に記載の
圧電磁器組成物よりなる圧電体を有することを特徴とす
る圧電素子。 - 【請求項14】 請求項1〜9のいずれか1項に記載の
圧電磁器組成物よりなる誘電体を有することを特徴とす
る誘電素子。 - 【請求項15】 請求項10〜12に記載の圧電磁器組
成物の製造方法により製造される圧電磁器組成物よりな
る圧電体を有することを特徴とする圧電素子。 - 【請求項16】 請求項10〜12に記載の圧電磁器組
成物の製造方法により製造される圧電磁器組成物よりな
る誘電体を有することを特徴とする誘電素子。
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