JP2003342071A - 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子 - Google Patents
圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 鉛を含有せず，常圧にて焼成が可能で，かつ
圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高い圧電磁器
組成物及びその製造方法，並びに該圧電磁器組成物を利
用した圧電素子を提供すること。 【解決手段】 一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎ
ｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつ
ｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦
１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲に
あることを特徴とする圧電磁器組成物及びその製造方
法。また，該圧電磁器組成物よりなる圧電体を有するこ
とを特徴とする圧電素子。
圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高い圧電磁器
組成物及びその製造方法，並びに該圧電磁器組成物を利
用した圧電素子を提供すること。 【解決手段】 一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎ
ｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつ
ｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦
１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲に
あることを特徴とする圧電磁器組成物及びその製造方
法。また，該圧電磁器組成物よりなる圧電体を有するこ
とを特徴とする圧電素子。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は，組成物中に鉛を含有しない圧電
磁器組成物及びその製造方法，並びに該圧電磁器組成物
を材料とする圧電素子に関する。
磁器組成物及びその製造方法，並びに該圧電磁器組成物
を材料とする圧電素子に関する。
【０００２】
【従来技術】従来より，圧電磁器組成物としては，鉛を
含んだＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3）成分系磁器
が用いられてきた。上記ＰＺＴは，電気機械結合係数や
圧電定数等の圧電特性に優れており，上記ＰＺＴを利用
した圧電素子は，センサ，アクチュエータ，フィルター
等に広く利用されている。
含んだＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3）成分系磁器
が用いられてきた。上記ＰＺＴは，電気機械結合係数や
圧電定数等の圧電特性に優れており，上記ＰＺＴを利用
した圧電素子は，センサ，アクチュエータ，フィルター
等に広く利用されている。
【０００３】ところが，上記ＰＺＴから成る圧電磁器組
成物は，優れた特性を有する一方で，その構成元素に鉛
を含んでいるため，ＰＺＴを含んだ製品の産業廃棄物か
ら有害な鉛が溶出し，環境汚染を引き起こすおそれがあ
った。そして，近年の環境問題に対する意識の高まり
は，ＰＺＴのように環境汚染の原因となりうる製品の製
造を困難にしてきた。そのため，組成中に鉛を含有しな
い圧電磁器組成物の開発が求められ，一般式（Ｋ1-xＮ
ａx）ＮｂＯ3（但し，０＜ｘ＜１）で表される圧電磁器
組成物（非特許文献１参照）が注目されてきた。
成物は，優れた特性を有する一方で，その構成元素に鉛
を含んでいるため，ＰＺＴを含んだ製品の産業廃棄物か
ら有害な鉛が溶出し，環境汚染を引き起こすおそれがあ
った。そして，近年の環境問題に対する意識の高まり
は，ＰＺＴのように環境汚染の原因となりうる製品の製
造を困難にしてきた。そのため，組成中に鉛を含有しな
い圧電磁器組成物の開発が求められ，一般式（Ｋ1-xＮ
ａx）ＮｂＯ3（但し，０＜ｘ＜１）で表される圧電磁器
組成物（非特許文献１参照）が注目されてきた。
【０００４】
【非特許文献１】“Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ
Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｓｏｃｉｅｔ
ｙ”，米国，１９６２，Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．５，ｐ．
２０９
Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｓｏｃｉｅｔ
ｙ”，米国，１９６２，Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．５，ｐ．
２０９
【０００５】
【解決しようとする課題】しかしながら，上記一般式
（Ｋ1-xＮａx）ＮｂＯ3（但し，０＜ｘ＜１）で表され
る圧電磁器組成物は，焼成が困難であるため，ホットプ
レス焼成を行う必要がある。そのため，製造コストが高
くなるという問題があった。
（Ｋ1-xＮａx）ＮｂＯ3（但し，０＜ｘ＜１）で表され
る圧電磁器組成物は，焼成が困難であるため，ホットプ
レス焼成を行う必要がある。そのため，製造コストが高
くなるという問題があった。
【０００６】また，上記従来の圧電磁器組成物は，圧電
ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが低いため，高い圧
電ｄ31定数及び高い電気機械結合係数Ｋｐを要する圧電
フィルター，圧電振動子，圧電トランス，圧電超音波モ
ータ，圧電ジャイロセンサ，ノックセンサ素子等の圧電
素子への適用が困難であるという問題があった。そのた
め，上記一般式（Ｋ1-xＮａx）ＮｂＯ3（但し，０＜ｘ
＜１）で表される圧電磁器組成物は，ＰＺＴに代わる新
しい圧電磁器組成物として有望視されているものの，ほ
とんど実用化には至っていない。それ故，上記の一般式
で表される圧電磁器組成物が開発された後も，環境汚染
のおそれがあるＰＺＴ等の鉛系圧電磁器組成物が広く利
用されているのが現状である。
ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが低いため，高い圧
電ｄ31定数及び高い電気機械結合係数Ｋｐを要する圧電
フィルター，圧電振動子，圧電トランス，圧電超音波モ
ータ，圧電ジャイロセンサ，ノックセンサ素子等の圧電
素子への適用が困難であるという問題があった。そのた
め，上記一般式（Ｋ1-xＮａx）ＮｂＯ3（但し，０＜ｘ
＜１）で表される圧電磁器組成物は，ＰＺＴに代わる新
しい圧電磁器組成物として有望視されているものの，ほ
とんど実用化には至っていない。それ故，上記の一般式
で表される圧電磁器組成物が開発された後も，環境汚染
のおそれがあるＰＺＴ等の鉛系圧電磁器組成物が広く利
用されているのが現状である。
【０００７】本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので，鉛を含有せず，常圧にて焼成が可能で，
かつ圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高い圧電
磁器組成物及びその製造方法，並びに該圧電磁器組成物
を利用した圧電素子を提供しようとするものである。
されたもので，鉛を含有せず，常圧にて焼成が可能で，
かつ圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高い圧電
磁器組成物及びその製造方法，並びに該圧電磁器組成物
を利用した圧電素子を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】第１の発明は，一般式｛Ｌｉx（Ｋ
1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0. 5Ｗ0.5）n）
Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦
０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦
０．１の組成範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成
物にある（請求項１）。
1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0. 5Ｗ0.5）n）
Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦
０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦
０．１の組成範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成
物にある（請求項１）。
【０００９】次に，本発明の作用効果につき説明する。
本発明の圧電磁器組成物は，上記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-y
Ｎａy）1-x｝（Ｎｂ1- z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3
で表され，組成物中に鉛を含有していない。そのため，
上記圧電磁器組成物は，該圧電磁器組成物の廃棄物等か
ら有害な鉛が自然界に流出することがなく，安全であ
る。
本発明の圧電磁器組成物は，上記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-y
Ｎａy）1-x｝（Ｎｂ1- z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3
で表され，組成物中に鉛を含有していない。そのため，
上記圧電磁器組成物は，該圧電磁器組成物の廃棄物等か
ら有害な鉛が自然界に流出することがなく，安全であ
る。
【００１０】また，上記の一般式において，ｘ，ｙ，
ｚ，及びｎがそれぞれ上記の範囲にある。そのため，後
述する実施例でも明らかとなるように，上記圧電磁器組
成物は，圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高
い。そして，上記圧電磁器組成物は，常圧下での焼成に
よっても充分に緻密化することができる。
ｚ，及びｎがそれぞれ上記の範囲にある。そのため，後
述する実施例でも明らかとなるように，上記圧電磁器組
成物は，圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高
い。そして，上記圧電磁器組成物は，常圧下での焼成に
よっても充分に緻密化することができる。
【００１１】したがって，本発明によれば，鉛を含有せ
ず，常圧にて焼成が可能で，かつ圧電ｄ31定数及び電気
機械結合係数Ｋｐが高い圧電磁器組成物を提供すること
ができる。なお，本発明における圧電磁器組成物は，圧
電特性を有する磁器組成物に限らず，誘電特性を有する
誘電磁器組成物をも含む概念である。
ず，常圧にて焼成が可能で，かつ圧電ｄ31定数及び電気
機械結合係数Ｋｐが高い圧電磁器組成物を提供すること
ができる。なお，本発明における圧電磁器組成物は，圧
電特性を有する磁器組成物に限らず，誘電特性を有する
誘電磁器組成物をも含む概念である。
【００１２】次に，第２の発明は，一般式｛Ｌｉx（Ｋ
1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）
Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦
０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦
０．１の組成範囲にある圧電磁器組成物からなる粉末を
成形し，焼成することを特徴とする圧電磁器組成物の製
造方法にある（請求項６）。
1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）
Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦
０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦
０．１の組成範囲にある圧電磁器組成物からなる粉末を
成形し，焼成することを特徴とする圧電磁器組成物の製
造方法にある（請求項６）。
【００１３】上記圧電磁器組成物よりなる粉末を用いて
成形した成形体は，常圧下にて焼成することができる。
そのため，簡単で，低コストに焼成を行うことができ
る。そして，上記焼成後に得られる圧電磁器組成物は，
鉛を含有せず，圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐ
が高いものとなる。そのため，高性能な圧電素子又は誘
電素子等の材料として利用することができる。
成形した成形体は，常圧下にて焼成することができる。
そのため，簡単で，低コストに焼成を行うことができ
る。そして，上記焼成後に得られる圧電磁器組成物は，
鉛を含有せず，圧電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐ
が高いものとなる。そのため，高性能な圧電素子又は誘
電素子等の材料として利用することができる。
【００１４】第３の発明は，リチウムを含有してなる化
合物と，ナトリウムを含有してなる化合物と，カリウム
を含有してなる化合物と，ニオブを含有してなる化合物
と，タンタルを含有してなる化合物と，マンガンを含有
してなる化合物と，タングステンを含有してなる化合物
とを混合，焼成することを特徴とする圧電磁器組成物の
製造方法にある（請求項７）。
合物と，ナトリウムを含有してなる化合物と，カリウム
を含有してなる化合物と，ニオブを含有してなる化合物
と，タンタルを含有してなる化合物と，マンガンを含有
してなる化合物と，タングステンを含有してなる化合物
とを混合，焼成することを特徴とする圧電磁器組成物の
製造方法にある（請求項７）。
【００１５】本発明においては，上記のごとく，リチウ
ムを含有してなる化合物と，ナトリウムを含有してなる
化合物と，カリウムを含有してなる化合物と，ニオブを
含有してなる化合物と，タンタルを含有してなる化合物
と，マンガンを含有してなる化合物と，タングステンを
含有してなる化合物とを混合，焼成する。これにより上
記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz
（Ｍｎ0. 5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎ
がそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦
０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲にある圧電磁器組成
物を容易に得ることができる。
ムを含有してなる化合物と，ナトリウムを含有してなる
化合物と，カリウムを含有してなる化合物と，ニオブを
含有してなる化合物と，タンタルを含有してなる化合物
と，マンガンを含有してなる化合物と，タングステンを
含有してなる化合物とを混合，焼成する。これにより上
記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz
（Ｍｎ0. 5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎ
がそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦
０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲にある圧電磁器組成
物を容易に得ることができる。
【００１６】また，上記焼成時には，常圧下にて上記圧
電磁器組成物を焼成することができる。そして，上記焼
成後に得られる圧電磁器組成物は，鉛を含有せず，圧電
ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高いものとなる。
電磁器組成物を焼成することができる。そして，上記焼
成後に得られる圧電磁器組成物は，鉛を含有せず，圧電
ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高いものとなる。
【００１７】第４の発明は，第１の発明の圧電磁器組成
物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電素子に
ある（請求項９）。
物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電素子に
ある（請求項９）。
【００１８】本発明の圧電素子においては，一般式｛Ｌ
ｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z- nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ
0.5）n）Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ
０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０
＜ｎ≦０．１の組成範囲にあることを特徴とする圧電磁
器組成物よりなる圧電体を用いている。そのため，上記
圧電素子は，上記圧電磁器組成物の，鉛を含有せず，圧
電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高いという優れ
た特性をそのまま利用することができる。
ｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z- nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ
0.5）n）Ｏ3で表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ
０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０
＜ｎ≦０．１の組成範囲にあることを特徴とする圧電磁
器組成物よりなる圧電体を用いている。そのため，上記
圧電素子は，上記圧電磁器組成物の，鉛を含有せず，圧
電ｄ31定数及び電気機械結合係数Ｋｐが高いという優れ
た特性をそのまま利用することができる。
【００１９】第５の発明は，第２の発明又は第３の発明
の圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器
組成物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電素
子にある（請求項１０）。
の圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器
組成物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電素
子にある（請求項１０）。
【００２０】本発明の圧電素子は，上記第２の発明（請
求項６）又は第３の発明（請求項７）の製造方法により
得られる圧電磁器組成物を圧電体として用いている。そ
のため，上記圧電素子は，上記圧電磁器組成物が有する
優れた特性をそのまま利用することができる。
求項６）又は第３の発明（請求項７）の製造方法により
得られる圧電磁器組成物を圧電体として用いている。そ
のため，上記圧電素子は，上記圧電磁器組成物が有する
優れた特性をそのまま利用することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明において，上記圧電磁器組
成物は，一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ
1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつｘ，
ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．
０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲にあ
る。ここで，ｘ＞０．２，ｚ＞０．４，ｎ＞０．１又
は，ｎ＝０の場合には，上記圧電磁器組成物の圧電ｄ31
定数及び電気機械結合係数Ｋｐが低下し，所望の圧電特
性を有する圧電磁器組成物を得ることができない。
成物は，一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ
1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつｘ，
ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．
０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲にあ
る。ここで，ｘ＞０．２，ｚ＞０．４，ｎ＞０．１又
は，ｎ＝０の場合には，上記圧電磁器組成物の圧電ｄ31
定数及び電気機械結合係数Ｋｐが低下し，所望の圧電特
性を有する圧電磁器組成物を得ることができない。
【００２２】また第１の発明（請求項１）において，上
記圧電磁器組成物は，圧電ｄ31定数が３０ｐｍ／Ｖ以上
であることが好ましい（請求項２）。この場合には，上
記３０ｐｍ／Ｖ以上という高い圧電ｄ31定数を活かし
て，上記圧電磁器組成物を感度の高いセンサ素子及びア
クチュエータ素子等として利用することができる。
記圧電磁器組成物は，圧電ｄ31定数が３０ｐｍ／Ｖ以上
であることが好ましい（請求項２）。この場合には，上
記３０ｐｍ／Ｖ以上という高い圧電ｄ31定数を活かし
て，上記圧電磁器組成物を感度の高いセンサ素子及びア
クチュエータ素子等として利用することができる。
【００２３】次に，上記圧電磁器組成物は，電気機械結
合係数Ｋｐが０．２５以上であることが好ましい（請求
項３）。この場合には，上記０．２５以上という高い電
気機械結合係数Ｋｐを活かして，上記圧電磁器組成物を
機械エネルギーと電気エネルギーの変換効率に優れた圧
電アクチュエータ，圧電振動子等として利用することが
できる。
合係数Ｋｐが０．２５以上であることが好ましい（請求
項３）。この場合には，上記０．２５以上という高い電
気機械結合係数Ｋｐを活かして，上記圧電磁器組成物を
機械エネルギーと電気エネルギーの変換効率に優れた圧
電アクチュエータ，圧電振動子等として利用することが
できる。
【００２４】次に，上記圧電磁器組成物は，誘電損失が
０．０５以下であることが好ましい（請求項４）。この
場合には，０．０５以下という低い誘電損失を活かし
て，上記圧電磁器組成物を誘電損失に起因する誘電損失
ノイズの少ないセンサ素子等として利用することができ
る。
０．０５以下であることが好ましい（請求項４）。この
場合には，０．０５以下という低い誘電損失を活かし
て，上記圧電磁器組成物を誘電損失に起因する誘電損失
ノイズの少ないセンサ素子等として利用することができ
る。
【００２５】次に，上記圧電磁器組成物は，キュリー温
度が２００℃以上であることが好ましい（請求項５）。
この場合には，２００℃以上という高いキュリー温度を
活かして，上記圧電磁器組成物を，例えば自動車のエン
ジン付近等のように高温度の環境下にて利用することが
できる。
度が２００℃以上であることが好ましい（請求項５）。
この場合には，２００℃以上という高いキュリー温度を
活かして，上記圧電磁器組成物を，例えば自動車のエン
ジン付近等のように高温度の環境下にて利用することが
できる。
【００２６】また，第３の発明（請求項７）において，
リチウムを含有してなる化合物はＬｉ2ＣＯ3であり，ナ
トリウムを含有してなる化合物はＮａ2ＣＯ3であり，カ
リウムを含有してなる化合物はＫ2ＣＯ3であり，ニオブ
を含有してなる化合物はＮｂ 2Ｏ5であり，タンタルを含
有してなる化合物はＴａ2Ｏ5であり，マンガンを含有し
てなる化合物はＭｎＯ，ＭｎＯ2またはＭｎＣＯ3であ
り，タングステンを含有してなる化合物はＷＯ3または
ＭｎＷＯ4であることが好ましい（請求項７）。この場
合には，上記圧電磁器組成物を容易に作製することがで
きる。
リチウムを含有してなる化合物はＬｉ2ＣＯ3であり，ナ
トリウムを含有してなる化合物はＮａ2ＣＯ3であり，カ
リウムを含有してなる化合物はＫ2ＣＯ3であり，ニオブ
を含有してなる化合物はＮｂ 2Ｏ5であり，タンタルを含
有してなる化合物はＴａ2Ｏ5であり，マンガンを含有し
てなる化合物はＭｎＯ，ＭｎＯ2またはＭｎＣＯ3であ
り，タングステンを含有してなる化合物はＷＯ3または
ＭｎＷＯ4であることが好ましい（請求項７）。この場
合には，上記圧電磁器組成物を容易に作製することがで
きる。
【００２７】また，第４の発明（請求項９）又は第５の
発明（請求項１０）において，上記圧電素子としては，
例えば圧電振動子，表面波フィルター素子，圧電センサ
素子，アクチュエータ素子，超音波モータ素子，圧電ト
ランス素子，圧電ジャイロセンサ素子，ノックセンサ素
子等がある。
発明（請求項１０）において，上記圧電素子としては，
例えば圧電振動子，表面波フィルター素子，圧電センサ
素子，アクチュエータ素子，超音波モータ素子，圧電ト
ランス素子，圧電ジャイロセンサ素子，ノックセンサ素
子等がある。
【００２８】
【実施例】（実施例１）本例の実施例にかかる圧電磁器
組成物につき説明する。本例では，上記の圧電磁器組成
物を製造し，該圧電磁器組成物の圧電特性を測定した。
本例の圧電磁器組成物は，一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮ
ａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で
表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．
２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１
の組成範囲にある。以下，本例の圧電磁器組成物の製造
方法につき説明する。
組成物につき説明する。本例では，上記の圧電磁器組成
物を製造し，該圧電磁器組成物の圧電特性を測定した。
本例の圧電磁器組成物は，一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮ
ａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で
表され，かつｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．
２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１
の組成範囲にある。以下，本例の圧電磁器組成物の製造
方法につき説明する。
【００２９】まず，圧電磁器組成物の原料として，純度
９９％以上の高純度のＬｉ2ＣＯ3，Ｋ2ＣＯ3，Ｎａ2Ｃ
Ｏ3，Ｎｂ2Ｏ5，Ｔａ2Ｏ5，ＭｎＯ2，ＷＯ3を準備し
た。これらの原料を上記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）
1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3におい
て，ｘ＝０．１，ｙ＝０．５，ｚ＝０．１，ｎ＝０．０
２となるように配合した。配合後の原料をボールミルに
よりアセトン中にて２４時間混合して原料混合物を作製
した。
９９％以上の高純度のＬｉ2ＣＯ3，Ｋ2ＣＯ3，Ｎａ2Ｃ
Ｏ3，Ｎｂ2Ｏ5，Ｔａ2Ｏ5，ＭｎＯ2，ＷＯ3を準備し
た。これらの原料を上記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）
1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3におい
て，ｘ＝０．１，ｙ＝０．５，ｚ＝０．１，ｎ＝０．０
２となるように配合した。配合後の原料をボールミルに
よりアセトン中にて２４時間混合して原料混合物を作製
した。
【００３０】次に，この原料混合物を７５０℃にて５時
間仮焼し，この仮焼後の原料混合物をボールミルにて２
４時間粉砕した。続いて，バインダーとしてポリビニー
ルブチラールを添加し，造粒した。造粒後の粉体を圧力
２ｔｏｎ／ｃｍ2にて，直径１３ｍｍ，厚さ２ｍｍの円
盤状に加圧成形し，成形体を常圧下，１０００〜１３０
０℃にて１時間焼成した。ここで，焼成後の成形体は相
対密度９８％以上に緻密化されていた。
間仮焼し，この仮焼後の原料混合物をボールミルにて２
４時間粉砕した。続いて，バインダーとしてポリビニー
ルブチラールを添加し，造粒した。造粒後の粉体を圧力
２ｔｏｎ／ｃｍ2にて，直径１３ｍｍ，厚さ２ｍｍの円
盤状に加圧成形し，成形体を常圧下，１０００〜１３０
０℃にて１時間焼成した。ここで，焼成後の成形体は相
対密度９８％以上に緻密化されていた。
【００３１】次に，焼成後の各成形体の両面を平行研磨
し，円形研磨した後，この円盤試料の両面にスパッタ法
により金電極を設けた。そして，１００℃のシリコーン
オイル中にて１〜５ｋＶ／ｍｍの直流電圧を１０分間電
極間に印加し，厚み方向に分極を施して本例の圧電磁器
組成物（本発明品）とした。
し，円形研磨した後，この円盤試料の両面にスパッタ法
により金電極を設けた。そして，１００℃のシリコーン
オイル中にて１〜５ｋＶ／ｍｍの直流電圧を１０分間電
極間に印加し，厚み方向に分極を施して本例の圧電磁器
組成物（本発明品）とした。
【００３２】上記のようにして作製した本例の圧電磁器
組成物について，圧電ｄ31定数，電気機械結合係数Ｋ
ｐ，誘電損失，キュリー温度，比誘電率及び径方向の周
波数定数Ｎｐ，及び絶縁抵抗率を測定した。ここで圧電
ｄ31定数，電気機械結合係数Ｋｐ及び周波数定数Ｎｐ
は，インピーダンスアナライザーを用いて共振−反共振
法により測定した。また，誘電損失及び比誘電率は，イ
ンピーダンスアナライザーを用いて，測定周波数１ｋＨ
ｚにて測定し，キュリー温度は，上記圧電磁器組成物の
温度を一分当たり２℃ずつ６００℃まで上げながら比誘
電率を測定し，該比誘電率が最も高いときの温度をもっ
てキュリー温度とした。また，絶縁抵抗率は，超抵抗計
を用いて，印加電圧５Ｖ／ｍｍの条件にて二端子法によ
り測定した。その結果を表１に示す。
組成物について，圧電ｄ31定数，電気機械結合係数Ｋ
ｐ，誘電損失，キュリー温度，比誘電率及び径方向の周
波数定数Ｎｐ，及び絶縁抵抗率を測定した。ここで圧電
ｄ31定数，電気機械結合係数Ｋｐ及び周波数定数Ｎｐ
は，インピーダンスアナライザーを用いて共振−反共振
法により測定した。また，誘電損失及び比誘電率は，イ
ンピーダンスアナライザーを用いて，測定周波数１ｋＨ
ｚにて測定し，キュリー温度は，上記圧電磁器組成物の
温度を一分当たり２℃ずつ６００℃まで上げながら比誘
電率を測定し，該比誘電率が最も高いときの温度をもっ
てキュリー温度とした。また，絶縁抵抗率は，超抵抗計
を用いて，印加電圧５Ｖ／ｍｍの条件にて二端子法によ
り測定した。その結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】また，本例では上記圧電磁器組成物の優れ
た特性を明らかにするために，以下のようにして比較品
を作製した。まず，比較品の原料として，純度９９％以
上の高純度のＬｉ2ＣＯ3，Ｋ2ＣＯ3，Ｎａ2ＣＯ3，Ｎｂ
2Ｏ5及びＴａ2Ｏ5を準備した。これらの原料を上記一般
式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ
0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3において，ｘ＝０．１，ｙ＝０．５，
ｚ＝０．１，ｎ＝０となるように配合した。配合後の原
料をボールミルによりアセトン中にて２４時間混合して
原料混合物を作製した。
た特性を明らかにするために，以下のようにして比較品
を作製した。まず，比較品の原料として，純度９９％以
上の高純度のＬｉ2ＣＯ3，Ｋ2ＣＯ3，Ｎａ2ＣＯ3，Ｎｂ
2Ｏ5及びＴａ2Ｏ5を準備した。これらの原料を上記一般
式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ
0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3において，ｘ＝０．１，ｙ＝０．５，
ｚ＝０．１，ｎ＝０となるように配合した。配合後の原
料をボールミルによりアセトン中にて２４時間混合して
原料混合物を作製した。
【００３５】次に，この原料混合物を７５０℃にて５時
間仮焼し，上記本発明品と同様にして，ボールミルにて
２４時間粉砕，造粒した。造粒後の粉体を圧力２ｔｏｎ
／ｃｍ2にて，直径１３ｍｍ，厚さ２ｍｍの円盤状に加
圧成形し，成形体を常圧下，１０００〜１３００℃にて
１時間焼成した。ここで，焼成後の成形体は相対密度９
８％以上に緻密化されていた。
間仮焼し，上記本発明品と同様にして，ボールミルにて
２４時間粉砕，造粒した。造粒後の粉体を圧力２ｔｏｎ
／ｃｍ2にて，直径１３ｍｍ，厚さ２ｍｍの円盤状に加
圧成形し，成形体を常圧下，１０００〜１３００℃にて
１時間焼成した。ここで，焼成後の成形体は相対密度９
８％以上に緻密化されていた。
【００３６】次に，焼成後の成形体の両面を平行研磨
し，上記本発明品と同様に，金電極を設けた。そして，
１００℃のシリコーンオイル中にて１〜５ｋＶ／ｍｍの
直流電圧を１０分間電極間に印加し，厚み方向に分極を
施して比較品とした。
し，上記本発明品と同様に，金電極を設けた。そして，
１００℃のシリコーンオイル中にて１〜５ｋＶ／ｍｍの
直流電圧を１０分間電極間に印加し，厚み方向に分極を
施して比較品とした。
【００３７】上記のようにして作製した比較品について
も，圧電ｄ31定数，電気機械結合係数Ｋｐ，誘電損失，
キュリー温度，比誘電率及び径方向の周波数定数Ｎｐを
測定した。各測定値の測定方法は，本発明品の場合と同
様とした。その結果を表１に示す。
も，圧電ｄ31定数，電気機械結合係数Ｋｐ，誘電損失，
キュリー温度，比誘電率及び径方向の周波数定数Ｎｐを
測定した。各測定値の測定方法は，本発明品の場合と同
様とした。その結果を表１に示す。
【００３８】表１より知られるごとく，本発明品の圧電
ｄ31定数は，比較品よりも高い値を示した。一般に，上
記圧電ｄ31定数は，電荷検出型回路あるいは電流検出型
回路を用いた場合には，加速度センサ，加重センサ，衝
撃センサ及びノックセンサ等の圧電型センサの出力電圧
に比例する。また，上記圧電ｄ31定数は圧電アクチュエ
ータの変位量にも比例する。その点からみると，圧電ｄ
31定数が高い圧電磁器組成物ほど電荷センサ出力の大き
なセンサ，又は変位量の大きな圧電アクチュエータをを
作ることができる。そして，比較品と同等以上の特性を
有するセンサ又は圧電アクチュエータを作製するには，
少なくとも３０ｐｍ／Ｖ以上の圧電ｄ31定数を有するこ
とが好ましい。
ｄ31定数は，比較品よりも高い値を示した。一般に，上
記圧電ｄ31定数は，電荷検出型回路あるいは電流検出型
回路を用いた場合には，加速度センサ，加重センサ，衝
撃センサ及びノックセンサ等の圧電型センサの出力電圧
に比例する。また，上記圧電ｄ31定数は圧電アクチュエ
ータの変位量にも比例する。その点からみると，圧電ｄ
31定数が高い圧電磁器組成物ほど電荷センサ出力の大き
なセンサ，又は変位量の大きな圧電アクチュエータをを
作ることができる。そして，比較品と同等以上の特性を
有するセンサ又は圧電アクチュエータを作製するには，
少なくとも３０ｐｍ／Ｖ以上の圧電ｄ31定数を有するこ
とが好ましい。
【００３９】また，本発明品の電気機械結合係数Ｋｐ
は，比較品よりも高い値を示した。一般に上記電気機械
結合係数Ｋｐは，圧電トランス素子，超音波モータ素
子，アクチュエータ素子，又は超音波振動子等の電気機
械エネルギー変換効率に比例する。その点からみると，
電気機械結合係数Ｋｐが高い圧電磁器組成物ほど電気変
換効率の高い圧電トランス素子，超音波モータ素子，ア
クチュエータ素子，又は超音波振動子を作ることができ
る。そして，比較品と同等以上の特性を有する圧電トラ
ンス素子，超音波モータ素子，又は超音波振動子を作製
するには，少なくとも０．２５以上の電気機械結合係数
Ｋｐを有することが好ましいといえる。
は，比較品よりも高い値を示した。一般に上記電気機械
結合係数Ｋｐは，圧電トランス素子，超音波モータ素
子，アクチュエータ素子，又は超音波振動子等の電気機
械エネルギー変換効率に比例する。その点からみると，
電気機械結合係数Ｋｐが高い圧電磁器組成物ほど電気変
換効率の高い圧電トランス素子，超音波モータ素子，ア
クチュエータ素子，又は超音波振動子を作ることができ
る。そして，比較品と同等以上の特性を有する圧電トラ
ンス素子，超音波モータ素子，又は超音波振動子を作製
するには，少なくとも０．２５以上の電気機械結合係数
Ｋｐを有することが好ましいといえる。
【００４０】また，本発明品の誘電損失は，比較品に比
べて３分の１以下の値を示した。したがって，本発明品
の圧電磁器組成物は，誘電損失に起因する誘電損失ノイ
ズの少ないセンサ等に利用することができる。なお，こ
のような誘電損失ノイズの少ないセンサ圧電素子として
上記圧電磁器組成物を用いる場合には，上記誘電損失は
０．０３５以下であることが好ましい。
べて３分の１以下の値を示した。したがって，本発明品
の圧電磁器組成物は，誘電損失に起因する誘電損失ノイ
ズの少ないセンサ等に利用することができる。なお，こ
のような誘電損失ノイズの少ないセンサ圧電素子として
上記圧電磁器組成物を用いる場合には，上記誘電損失は
０．０３５以下であることが好ましい。
【００４１】また，本発明品のキュリー温度は，４１５
℃という高い値を示した。そのため，本発明品の圧電磁
器組成物は，自動車のエンジン付近等の高温度部におい
ても長時間安定に使用することができるノックセンサ等
の高温用センサ部品，アクチュエータ部品又は超音波モ
ータ部品等として利用することができる。なお，上記高
温用センサ部品等として長時間安定に使用するために
は，上記キュリー温度は，２００℃以上であることが好
ましい。
℃という高い値を示した。そのため，本発明品の圧電磁
器組成物は，自動車のエンジン付近等の高温度部におい
ても長時間安定に使用することができるノックセンサ等
の高温用センサ部品，アクチュエータ部品又は超音波モ
ータ部品等として利用することができる。なお，上記高
温用センサ部品等として長時間安定に使用するために
は，上記キュリー温度は，２００℃以上であることが好
ましい。
【００４２】また，本発明品の比誘電率は比較品よりも
高く，８０９という高い値を示した。そのため，本発明
品の圧電磁器組成物は，圧電体のみならず誘電体として
も利用することができる。そして，上記比誘電率は，一
般に積層コンデンサ部品等のコンデンサの静電容量に比
例する。その点からみると，上記比誘電率が高い圧電磁
器組成物ほど静電容量の大きなコンデンサを作ることが
できる。本発明品の圧電磁器組成物は，上記のような高
い比誘電率を有しているため，大きな静電容量を有する
コンデンサ等に利用することができる。
高く，８０９という高い値を示した。そのため，本発明
品の圧電磁器組成物は，圧電体のみならず誘電体として
も利用することができる。そして，上記比誘電率は，一
般に積層コンデンサ部品等のコンデンサの静電容量に比
例する。その点からみると，上記比誘電率が高い圧電磁
器組成物ほど静電容量の大きなコンデンサを作ることが
できる。本発明品の圧電磁器組成物は，上記のような高
い比誘電率を有しているため，大きな静電容量を有する
コンデンサ等に利用することができる。
【００４３】また，本発明品の周波数定数Ｎｐは比較品
よりも高い値を示した。そのため，本発明品の圧電磁器
組成物を用いると，周波数が高くかつ小型の圧電振動子
部品を作製することができる。
よりも高い値を示した。そのため，本発明品の圧電磁器
組成物を用いると，周波数が高くかつ小型の圧電振動子
部品を作製することができる。
【００４４】また，本発明品の絶縁抵抗率は，比較品よ
りも非常に高い値を示した。このように高い絶縁抵抗率
を生かして，本発明品は，高電界で使用する圧電アクチ
ュエータに最適なものとなる。
りも非常に高い値を示した。このように高い絶縁抵抗率
を生かして，本発明品は，高電界で使用する圧電アクチ
ュエータに最適なものとなる。
【００４５】なお，上記一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）
1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0 .5）n）Ｏ3の上記
組成範囲内（０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ
≦０．４，０＜ｎ≦０．１）において，上記本発明品と
は異なる組成範囲についても本例と同様に圧電磁器組成
物を作製し圧電特性の測定をおこなったところ，本例と
同様の効果が得られることを確認できた。
1-x｝（Ｎｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ0.5Ｗ0 .5）n）Ｏ3の上記
組成範囲内（０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦１．０，０≦ｚ
≦０．４，０＜ｎ≦０．１）において，上記本発明品と
は異なる組成範囲についても本例と同様に圧電磁器組成
物を作製し圧電特性の測定をおこなったところ，本例と
同様の効果が得られることを確認できた。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 鷹取 一雅
愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番
地の１ 株式会社豊田中央研究所内
(72)発明者 本間 隆彦
愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番
地の１ 株式会社豊田中央研究所内
(72)発明者 高尾 尚史
愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番
地の１ 株式会社豊田中央研究所内
(72)発明者 野々山 龍彦
愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会
社デンソー内
(72)発明者 長屋 年厚
愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会
社デンソー内
Ｆターム(参考） 4G030 AA02 AA03 AA04 AA20 AA21
AA24 AA25 BA10
Claims (10)
- 【請求項１】 一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎ
ｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ 0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつ
ｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦
１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲に
あることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項２】 請求項１において，上記圧電磁器組成物
は，圧電ｄ31定数が３０ｐｍ／Ｖ以上であることを特徴
とする圧電磁器組成物。 - 【請求項３】 請求項１又は２において，上記圧電磁器
組成物は，電気機械結合係数Ｋｐが０．２５以上である
ことを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項において，
上記圧電磁器組成物は，誘電損失が０．０５以下である
ことを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項において，
上記圧電磁器組成物は，キュリー温度が２００℃以上で
あることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 【請求項６】 一般式｛Ｌｉx（Ｋ1-yＮａy）1-x｝（Ｎ
ｂ1-z-nＴａz（Ｍｎ 0.5Ｗ0.5）n）Ｏ3で表され，かつ
ｘ，ｙ，ｚ，ｎがそれぞれ０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ≦
１．０，０≦ｚ≦０．４，０＜ｎ≦０．１の組成範囲に
ある圧電磁器組成物からなる粉末を成形し，焼成するこ
とを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項７】 リチウムを含有してなる化合物と，ナト
リウムを含有してなる化合物と，カリウムを含有してな
る化合物と，ニオブを含有してなる化合物と，タンタル
を含有してなる化合物と，マンガンを含有してなる化合
物と，タングステンを含有してなる化合物とを混合，焼
成することにより請求項１〜５のいずれか一項に記載の
圧電磁器組成物を得ることを特徴とする圧電磁器組成物
の製造方法。 - 【請求項８】 請求項７において，リチウムを含有して
なる化合物はＬｉ2ＣＯ3であり，ナトリウムを含有して
なる化合物はＮａ2ＣＯ3であり，カリウムを含有してな
る化合物はＫ2ＣＯ3であり，ニオブを含有してなる化合
物はＮｂ2Ｏ5であり，タンタルを含有してなる化合物は
Ｔａ2Ｏ5であり，マンガンを含有してなる化合物はＭｎ
Ｏ，ＭｎＯ2またはＭｎＣＯ3であり，タングステンを含
有してなる化合物はＷＯ3またはＭｎＷＯ4であることを
特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項９】 請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧
電磁器組成物よりなる圧電体を有することを特徴とする
圧電素子。 - 【請求項１０】 請求項６〜８のいずれか１項に記載の
圧電磁器組成物の製造方法により製造される圧電磁器組
成物よりなる圧電体を有することを特徴とする圧電素
子。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003026199A JP4598176B2 (ja) | 2002-03-20 | 2003-02-03 | 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子 |
| DE60323704T DE60323704D1 (de) | 2002-03-20 | 2003-03-19 | Piezoelektrische Keramikzusammensetzung, Verfahren zu ihrer Herstellung und piezoelektrische Vorrichtung |
| EP08155445A EP1947071B1 (en) | 2002-03-20 | 2003-03-19 | Piezoelectric ceramic composition, its production method and piezoelectric device |
| US10/391,192 US7150838B2 (en) | 2002-03-20 | 2003-03-19 | Piezoelectric ceramic composition, its production method and piezoelectric device |
| EP03006066A EP1346966B1 (en) | 2002-03-20 | 2003-03-19 | Piezoelectric ceramic composition, its production method and piezoelectric device |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002077592 | 2002-03-20 | ||
| JP2002-77592 | 2002-03-20 | ||
| JP2003026199A JP4598176B2 (ja) | 2002-03-20 | 2003-02-03 | 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003342071A true JP2003342071A (ja) | 2003-12-03 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP4598176B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7150838B2 (en) | 2002-03-20 | 2006-12-19 | Denso Corporation | Piezoelectric ceramic composition, its production method and piezoelectric device |
| US7470390B2 (en) | 2004-10-29 | 2008-12-30 | Denso Corporation | Production method of polycrystalline ceramic body |
| DE102008042955A1 (de) | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Denso Corp., Kariya-shi | Verfahren zum Herstellen einer Keramik mit Kristallorientierung |
| JP2009302382A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電トランス |
| DE102010000783A1 (de) | 2009-01-12 | 2010-09-16 | Denso Corporation, Kariya-City | Piezokeramik, kristallorientierte Keramik, mehrlagiges Piezoelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2010215423A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nagoya Institute Of Technology | 圧電体又は誘電体磁器組成物並びに圧電体デバイス及び誘電体デバイス |
| JPWO2019004425A1 (ja) * | 2017-06-29 | 2019-06-27 | 京セラ株式会社 | 圧電基板および弾性表面波デバイス |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2000313664A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-11-14 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | アルカリ金属含有ニオブ酸化物系圧電材料組成物 |
-
2003
- 2003-02-03 JP JP2003026199A patent/JP4598176B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE102008042955A1 (de) | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Denso Corp., Kariya-shi | Verfahren zum Herstellen einer Keramik mit Kristallorientierung |
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| DE102010000783A1 (de) | 2009-01-12 | 2010-09-16 | Denso Corporation, Kariya-City | Piezokeramik, kristallorientierte Keramik, mehrlagiges Piezoelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2010215423A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nagoya Institute Of Technology | 圧電体又は誘電体磁器組成物並びに圧電体デバイス及び誘電体デバイス |
| JPWO2019004425A1 (ja) * | 2017-06-29 | 2019-06-27 | 京セラ株式会社 | 圧電基板および弾性表面波デバイス |
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