JP2021522144A - 鉛フリー圧電材料の取得方法、対応する鉛フリー圧電材料 - Google Patents
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- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/768—Perovskite structure ABO3
Abstract
【選択図】図1A
Description
本願は、2018年4月21日に中華人民共和国国家知識産権局(CNIPA)に提出された出願番号201810364324.1、名称「鉛フリー圧電材料の取得方法、対応する鉛フリー圧電材料」の先行出願の利益を主張し、引用により上記出願の全内容を本願に組み込んでいる。
第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界を調整し、具体的には、第1鉛フリー圧電材料に対して、その正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をドーピングにより室温付近に調整するステップS100と、
C/T相境界とO/R相境界をさらに調整し、具体的には、さらにドーピングにより、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界を調整して、C/T相境界とO/R相境界をT/O相境界へ接近させるステップS200と、
第2鉛フリー圧電材料を取得し、具体的には、C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界へ接近する過程において、圧電定数d33、キュリー温度Tcの異なる複数種の第2鉛フリー圧電材料を取得するステップS300と、を含む鉛フリー圧電材料の取得方法を提供する。
正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界が室温付近であり、
且つ、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界は、いずれもT/O相境界へ接近する状態にあり、
相境界の接近度合が、鉛フリー圧電材料の圧電定数d33、キュリー温度Tcに関連している、ことを特徴とする鉛フリー圧電材料を提供する。
対応する化学一般式に従って、原料を選択して配合するステップT001と、
従来の固相セラミック焼結プロセスを用いて、前記鉛フリー圧電材料を製造するステップT002と、を含む鉛フリー圧電材料の製造プロセスを提供する。
第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界を調整し、具体的には、
第1鉛フリー圧電材料に対して、その正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をドーピングにより材料使用温度付近に調整するステップS101と、
C/T相境界とO/R相境界をさらに調整し、具体的には、
さらにドーピングにより、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界を調整して、C/T相境界とO/R相境界をT/O相境界へ接近させ、前記相境界の接近は、
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる傾向があるが、この点に集まられない場合、又は
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が明らかに一点に集まることも、暗黙的(延長線上)に一点に集まることもない場合を含む、ステップS201と、
第2鉛フリー圧電材料を取得し、具体的には、
C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界へ接近する過程において、第2鉛フリー圧電材料を取得するステップS301と、を含む、鉛フリー圧電材料の取得方法を提供する。
まず、本開示の前記鉛フリー圧電材料の取得方法によれば、さまざまな特性を有する高圧電定数の鉛フリー圧電材料を大量で取得することができ、このような鉛フリー圧電材料は、さまざまな用途でチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を完全に代替することが期待できる。
次に、本開示は、従来の圧電材料の製造プロセスを利用することができるため、従来の生産ラインをそのまま使用して本開示の前記鉛フリー圧電材料を製造することができ、さらに焼結温度がより低いため、省エネや環境保全効果も得られる。
第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界を調整し、具体的には、
第1鉛フリー圧電材料に対して、その正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をドーピングにより室温付近に調整するステップS100と、
C/T相境界とO/R相境界をさらに調整し、具体的には、
さらにドーピングにより、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界を調整して、C/T相境界とO/R相境界をT/O相境界へ接近させるステップS200と、
第2鉛フリー圧電材料を取得し、具体的には、C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界へ接近する過程において、圧電定数d33、キュリー温度Tcの異なる複数種の第2鉛フリー圧電材料を取得するステップS300と、を含む。
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる傾向を示す場合、又は
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が接近しても、明らかに一点に集まることも、暗黙的に一点に集まることもない場合を含む。
(A)では、NP−xSb/yCZシリーズ、商用PZTシリーズ及びほかの鉛フリー圧電セラミックシリーズの圧電特性(室温圧電係数d33)とキュリー温度(TC)を比較する。ここで、BTはチタン酸バリウム、BNTはチタン酸ナトリウムカリウム、KNNはニオブ酸ナトリウムカリウムを示す。(A)に示すように、商用PZTシリーズは、高d33と高TCの両方を備え、その総合的な特性が従来の鉛フリー圧電セラミックよりも高く、一方、新規鉛フリー圧電材料シリーズNP−xSb/yCZは、総合的な特性がPZTシリーズに匹敵する系である。
(99−y)[(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb1−x/100Sbx/100O3]−1[(Bi0.5K0.5)ZrO3]−yCaZrO3である。
説明の便宜上、以下、NP−xSb/yCZと略し、ここで、NPは鉛フリー、x%とy%はそれぞれ元素Sbと化学組成であるジルコン酸カルシウム(CaZrO3)の含有量を示す。
*が付いたデータはhttp://www.sparklerceramics.com/piezoelectricproperties.htmlから、**が付いたデータはhttp://www.ultrasonic-resonators.org/misc/references/articles/Berlincourt__'Properties_of_Morgan_Electro_Ceramic_Ceramics'_(Morgan_Technical_Publication_TP-226).pdfから入手する。
(A)は、NP−xSb/yCZ系の相図であり、立方相、四方相、斜方晶相及び菱面体晶相が集まっていくことを明らかな特徴とする。
まず、前記述べた「3つ相境界の接近」は、C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる場合を含むが、前記隠し多相点又は隠しMCPの場合も含む。前記のように暗黙的に一点に集まることを参照できる。
(A)は、圧電係数の成分と温度・空間における三次元等高線マップである。圧電係数は、立方相、四方相、斜方晶相及び菱面体晶相が相転換して徐々に近づいて集まるに伴い、T/O相境界に沿って上昇していき、最終的に約670pC/Nの最大値に達する。次に、系はリラクサ強誘電体の領域に入り、それにより強誘電性を失い、この結果、圧電係数が急速に低下する。また、圧電定数の最大値付近の成分−温度領域に亘って、極めて高い圧電定数が見られることが分かった。このことから、該系には比較的良好な成分及び温度安定性を有することが示唆される。
(A)は、明らかなMCPを有するBaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3(BT−xBCS)系の相図である。図には、立方相、四方相、斜方晶相及び菱面体晶相が相転移して徐々に近づいて1つの多相共存点に集まる。
第一には、ステップS100では、第1鉛フリー圧電材料に対して、ドーピングによりその正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をある温度付近に調整し、前記したある温度は−20℃〜40℃という広範な範囲をカバーすることができ、新概念をできるだけ少なくするために、本開示では、−20℃〜40℃を室温付近とし、即ち、室温の範囲を広げることもある。
第二には、さらに、ステップS100では、第1鉛フリー圧電材料に対して、ドーピングによりその正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をある温度付近に調整し、前記したある温度は40℃以上、又は−20℃以下をカバーすることができ、第1鉛フリー圧電材料は、40℃以上又は−20℃以下の使用温度(作動温度ともいう)を満足できればよい。
第三には、本開示で開示された実施例は汎用性を有し、特定の鉛フリー圧電材料系に依存しないだけでなく、前記したある温度により制限されない。したがって、前記したある温度は、室温、又は−20℃〜40℃、又は40℃以上のいずれとしてもよく、この原因としては、一方、第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界ごとに、対応する異なる温度範囲があり、他方、本開示の実施例で最終的に取得される鉛フリー圧電材料がユーズによる使用温度のニーズを満たすようにするためである。
第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界を調整し、具体的には、第1鉛フリー圧電材料に対して、その正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をドーピングにより材料使用温度付近に調整するステップS101と、
C/T相境界とO/R相境界をさらに調整し、具体的には、さらにドーピングにより、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界を調整して、C/T相境界とO/R相境界をT/O相境界へ接近させ、前記相境界の接近は、
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる傾向があるが、この点に集まられない場合、又は
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が明らかに一点に集まることも、暗黙的に一点に集まることもない場合を含む、ステップS201と、
第2鉛フリー圧電材料を取得し、具体的には、C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界へ接近する過程において、第2鉛フリー圧電材料を取得するステップS301と、を含む。
前記使用温度付近は、−20℃〜40℃、40℃以上、−20℃以下のうちの1種を含む。
前記第2鉛フリー圧電材料は、ニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミック、又はチタン酸バリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを含む。
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3(式中、0≦m≦0.02、0≦n≦0.1、0≦x≦0.07、0≦y≦0.1、z=0、1、AはCa、Mg、Baから選ばれる二価金属イオンのうちの1種又はこれらの組み合わせである。)、又は
(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3(式中、0≦x≦0.2、0≦y≦0.1)で示される。
一般式:
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3で示されるニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックの含有量で材料を配合し、
x=0、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0の場合、
処方1は、0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04NbO3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3であり、
x=0.02、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0の場合、
処方2は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.98Sb0.02O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3であり、
x=0.03、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0の場合、
処方3は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.97Sb0.03O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3であり、
x=0.04、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0の場合、
処方4は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.96Sb0.04O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3であり、
x=0.05、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0の場合、
処方5は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.95Sb0.05O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3であり、
x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0の場合、
処方6は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3である。
分析的に純粋な炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、五酸化ニオブ、三酸化アンチモン、酸化ビスマス及びジルコニアを原料とし、各原料を重量百分率で正確に秤量し、
無水エタノールをボールミリング媒体として、遊星ボールミルを用いて、調製した原料を8〜12時間ボールミリングして混合し、次に、乾燥させて混合乾燥粉末を得て、得た混合乾燥粉末を850〜1000℃で3〜6時間保温して合成し、
得た粉体を破砕後、無水エタノールをボールミリング媒体として、さらに遊星ボールミルを用いて6〜10時間ボールミリングし、次に、乾燥させて乾燥粉末を得て、
得た乾燥粉末に5〜10wt%のポリビニルアルコール水溶液を加えて造粒し、
造粒した粉体を金型でプレスして直径8mm、厚さ1〜3mmのピースにして排出し、
排出したピースを1060〜1160℃で3−10時間保温して焼結し、セラミックシートを得て、
焼結して得たセラミックシートに銀電極を被覆し、
銀を被覆したセラミックシートを室温、シリコーンオイルにおいて、電界3−4kV/mmの電圧で30〜60分間分極し、
分極が終了すると、高圧電定数と高キュリー温度を有するニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを得て、空気に24時間静置した後、IEEE基準に従って電気的特性を測定した。
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3鉛フリー圧電セラミックの10kHzでの比誘電率εr
の温度に伴う変化曲線は図5に示される。同図から分かるように、Sbをドーピングすると、系のキュリー温度Tcは徐々に低下し、T/O相転移温度はわずかに低下し、したがって、C/T相境界とT/O相境界は互いに近づく。
一般式:
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3で示されるニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックの含有量で材料を配合し、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.02の場合、
処方1は、
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.02CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.03の場合、
処方2は、
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.03CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.04の場合、
処方3は、
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.04CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.045の場合、
処方4は、
0.945(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.045CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.05の場合、
処方5は、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.05CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.055の場合、
処方6は、
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.055CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.06の場合、
処方7は、
0.93(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.06CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.065の場合、
処方8は、
0.925(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.065CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.07の場合、
処方9は、
0.92(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.07CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.08の場合、
処方10は、
0.91(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.08CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.1の場合、
処方11は、
0.89(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.1CaZrO3であり、
A=Ca、x=0.06、y=0.02、z=0、m=0.01、n=0.15の場合、
処方12は、
0.84(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.15CaZrO3である。
分析的に純粋な炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、五酸化ニオブ、三酸化アンチモン、酸化ビスマス、ジルコニア、及び炭酸カルシウムを原料とし、各原料を重量百分率で正確に秤量し、これ以外、後続の実験の手順はA群の実施例と同様であった。
一般式:
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3で示されるニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックの含有量で材料を配合し、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.00の場合、
処方1は、0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.02の場合、
処方2は、
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.02SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.03の場合、
処方3は、
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.03SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.04の場合、
処方4は、
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.04SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.045の場合、
処方5は、
0.945(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.045SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.05の場合、
処方6は、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.05SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.055の場合、
処方7は、
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.055SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.06の場合、
処方8は、
0.93(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.06SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.065の場合、
処方9は、
0.925(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.065SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.07の場合、
処方10は、
0.92(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.07SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.08の場合、
処方11は、
0.91(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.08SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.1の場合、
処方12は、
0.89(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.1SrZrO3であり、
A=Sr、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.15の場合、
処方13は、
0.84(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.15SrZrO3である。
分析的に純粋な炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、五酸化ニオブ、三酸化アンチモン、酸化ビスマス、ジルコニア、及び炭酸ストロンチウムを原料とし、各原料を重量百分率で正確に秤量し、これ以外、後続の実験の手順は、A群の実施例と同様であった。
一般式:
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3で示されるニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックの含有量で材料を配合し、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.02の場合、
処方1は、
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.02BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.03の場合、
処方2は、
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.03BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.04の場合、
処方3は、
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.04BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.045の場合、
処方4は、
0.945(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.045BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.05の場合、
処方5は、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.05BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.055の場合、
処方6は、
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.055BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.06の場合、
処方7は、
0.93(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.06BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.065の場合、
処方8は、
0.925(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.065BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.07の場合、
処方9は、
0.92(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.07BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.08の場合、
処方10は、
0.91(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.08BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.1の場合、
処方11は、
0.89(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.1BaZrO3であり、
A=Ba、x=0.06、y=0.02、z=1、m=0.01、n=0.12の場合、
処方12は、
0.84(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5Na0.5ZrO3−0.12BaZrO3である。
分析的に純粋な炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、五酸化ニオブ、三酸化アンチモン、酸化ビスマス、ジルコニア、及び炭酸バリウムを原料とし、各原料を重量百分率で正確に秤量し、これ以外、後続の実験の手順は、A群の実施例と同様であった。
一般式(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3で示されるチタン酸バリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックの含有量で材料を配合し、
x=0、y=0の場合、
処方1は、BaTiO3であり、
x=0.03、y=0の場合、
処方2は、0.97BaTiO3−0.03(Ba0.5Ca0.5)SnO3であり、
x=0.06、y=0の場合、
処方3は、0.94BaTiO3−0.06(Ba0.5Ca0.5)SnO3であり、
x=0.09、y=0の場合、
処方4は、0.91BaTiO3−0.09(Ba0.5Ca0.5)SnO3であり、
x=0.11、y=0の場合、
処方5は、0.89BaTiO3−0.11(Ba0.5Ca0.5)SnO3であり、
x=0.12、y=0の場合、
処方6は、0.88BaTiO3−0.12(Ba0.5Ca0.5)SnO3であり、
x=0.16、y=0の場合、
処方7は、0.84BaTiO3−0.16(Ba0.5Ca0.5)SnO3であり、
x=0.20、y=0の場合、
処方8は、0.8BaTiO3−0.2(Ba0.5Ca0.5)SnO3である。
分析的に純粋な炭酸バリウム、炭酸カルシウム、二酸化チタン、及び二酸化スズを原料とし、各原料を重量百分率で正確に秤量し、これ以外、後続の実験の手順は、A群の実施例と同様であった。
一般式(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3で示されるチタン酸バリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックの含有量で材料を配合し、
x=0、y=0.02の場合、
処方1は、0.98BaTiO3−0.02Ba(Mg1/3Nb2/3)O3であり、
x=0、y=0.03の場合、
処方2は、0.97BaTiO3−0.03Ba(Mg1/3Nb2/3)O3であり、
x=0、y=0.04の場合、
処方3は、0.96BaTiO3−0.04 Ba(Mg1/3Nb2/3)O3であり、
x=0、y=0.05の場合、
処方4は、0.95BaTiO3−0.05 Ba(Mg1/3Nb2/3)O3であり、
x=0、y=0.06の場合、
処方5は、0.94BaTiO3−0.06 Ba(Mg1/3Nb2/3)O3であり、
x=0、y=0.07の場合、
処方6は、0.93BaTiO3−0.07 Ba(Mg1/3Nb2/3)O3であり、
x=0、y=0.08の場合、
処方7は、0.92BaTiO3−0.08 Ba(Mg1/3Nb2/3)O3である。
分析的に純粋な炭酸バリウム、酸化マグネシウム、二酸化チタン、及び五酸化ニオブを原料とし、各原料を重量百分率で正確に秤量し、これ以外、後続の実験の手順は、A群の実施例と同様であった。
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3(式中、0≦m≦0.02、0≦n≦0.1、0≦x≦0.07、0≦y≦0.1、z=0、1、AはCa、Mg、Baから選ばれる二価金属イオンのうちの1種又はこれらの組み合わせである。)で示される。
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.97Sb0.03O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、及び
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3のうちの1種である。
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.02CaZrO3、及び
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.03CaZrO3のうちの1種である。
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.04CaZrO3、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.05CaZrO3、及び
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.055CaZrO3のうちの1種である。
(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3(式中、0≦x≦0.2、0≦y≦0.1。)である。
前記鉛フリー圧電材料の正方相Tと斜方晶相OとのT/O相境界は室温付近であり、
前記鉛フリー圧電材料の常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界は、いずれもT/O相境界へ接近する状態にあり、
相境界の接近度合が、前記鉛フリー圧電材料の圧電定数d33、キュリー温度Tcに関連している。
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3(式中、0≦m≦0.02、0≦n≦0.1、0≦x≦0.07、0≦y≦0.1、z=0、1、AはCa、Mg、Baから選ばれる二価金属イオンのうちの1種又はこれらの組み合わせである。)で示される。
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04NbO3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.97Sb0.03O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、及び
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3のうちの1つである。
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.02CaZrO3、及び
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.03CaZrO3のうちの1つである。
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.04CaZrO3、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.05CaZrO3、及び
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.055CaZrO3のうちの1つである。
(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3(式中、0≦x≦0.2、0≦y≦0.1)である。
対応する化学一般式に従って、原料を選択して配合するステップT001と、
従来の固相セラミック焼結プロセスを用いて、前記鉛フリー圧電材料を製造するステップT002と、を含む。
Claims (60)
- 第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界を調整し、具体的には、第1鉛フリー圧電材料に対して、その正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をドーピングにより室温付近に調整するステップS100と、
C/T相境界とO/R相境界をさらに調整し、具体的には、さらにドーピングにより、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界を調整して、C/T相境界とO/R相境界をT/O相境界へ接近させるステップS200と、
第2鉛フリー圧電材料を取得し、具体的には、C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界に接近する過程において、圧電定数d33、キュリー温度Tcの異なる複数種の第2鉛フリー圧電材料を取得するステップS300と、を含む鉛フリー圧電材料の取得方法。 - 前記ステップS200では、前記C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界へ接近することは、さらに、
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる傾向を示す場合、又は
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が互いに接近であれば、明らかに一点に集まることも、暗黙的に一点に集まることもない場合を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記第1鉛フリー圧電材料は、結晶形がペロフスカイト構造の鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料は、ニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記室温付近は20℃〜30℃程度とされている、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記室温付近は10℃〜40℃程度とされている、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分の一般式は、
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3(式中、0≦m≦0.02、0≦n≦0.1、0≦x≦0.07、0≦y≦0.1、z=0、1、AはCa、Mg、Baから選ばれる二価金属イオンの1種又はこれらの組み合わせである。)で示される、ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 圧電定数d33の範囲が、190pC/N〜670pC/Nである、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- キュリー温度Tcの範囲が、130℃〜410℃である、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- キュリー温度Tcの範囲が290℃〜410℃である場合、C/T相境界とT/O相境界との間の温度差が270℃〜350℃であり、そのd33の範囲が、190pC/N〜330pC/Nである、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04NbO3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.97Sb0.03O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、及び
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3のうちの1種である、ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - Tcの範囲が200℃〜290℃である場合、C/T相境界とT/O相境界との間の温度差が180℃〜270℃であり、そのd33の範囲が310pC/N〜460pC/Nである、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分は、
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.02CaZrO3、及び
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.03CaZrO3のうちの1種である、ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - Tcの範囲が130℃〜200℃である場合、C/T相境界とT/O相境界との間の温度差が110℃〜180℃であり、そのd33の範囲が460pC/N〜670pC/Nである、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分は、
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.04CaZrO3、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.05CaZrO3、及び
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.055CaZrO3のうちの1種である、ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 前記室温付近は、−20℃〜40℃程度、−20℃以下、又は40℃以上を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料はチタン酸バリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分の一般式は、(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3(式中、0≦x≦0.2、0≦y≦0.1)である、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 圧電定数d33の範囲が300pC/N〜1120pC/Nである、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- キュリー温度Tcの範囲が0℃〜100℃である、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分は0.89BaTiO3−0.11(Ba0.5Ca0.5)SnO3である、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記鉛フリー圧電材料の正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界が室温付近であり、
且つ、前記鉛フリー圧電材料の常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界は、いずれもT/O相境界へ接近する状態にあり、
相境界の接近度合が、前記鉛フリー圧電材料の圧電定数d33、キュリー温度Tcに関連している、ことを特徴とする請求項1に記載の方法で取得される鉛フリー圧電材料。 - 前記接近は、
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる傾向を示す場合、または
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が互いに接近であれば、明らかに一点に集まることも、暗黙的に一点に集まることもない場合を含む、ことを特徴とする請求項22に記載の鉛フリー圧電材料。 - 前記鉛フリー圧電材料は、結晶形がペロフスカイト構造の鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項22に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料は、ニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項22に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料の成分の一般式は、(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3(式中、0≦m≦0.02、0≦n≦0.1、0≦x≦0.07、0≦y≦0.1、z=0、1、AはCa、Mg、Baから選ばれる二価金属イオンのうちの1種又はこれらの組み合わせである。)で示される、ことを特徴とする請求項25に記載の鉛フリー圧電材料。
- 圧電定数d33の範囲が、190pC/N〜670pC/Nである、ことを特徴とする請求項26に記載の鉛フリー圧電材料。
- キュリー温度Tcの範囲が、130℃〜410℃である、ことを特徴とする請求項26に記載の鉛フリー圧電材料。
- キュリー温度Tcの範囲が290℃〜410℃である場合、C/T相境界とT/O相境界との間の温度差が270℃〜350℃であり、そのd33の範囲が、190pC/N〜330pC/Nである、ことを特徴とする請求項26に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料の成分は、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04NbO3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.97Sb0.03O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3、及び
0.99(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3のうちの1種である、ことを特徴とする請求項25に記載の鉛フリー圧電材料。 - Tcの範囲が200℃〜290℃である場合、C/T相境界とT/O相境界との間の温度差が180℃〜270℃であり、そのd33の範囲が310pC/N〜460pC/Nである、ことを特徴とする請求項26に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料の成分は、
0.97(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.02CaZrO3、及び
0.96(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.03CaZrO3のうちの1種である、ことを特徴とする請求項25に記載の鉛フリー圧電材料。 - Tcの範囲が130℃〜200℃である場合、C/T相境界とT/O相境界との間の温度差が110℃〜180℃であり、そのd33の範囲が460pC/N〜670pC/Nである、ことを特徴とする請求項26に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料の成分は、
0.95(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.04CaZrO3、
0.94(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.05CaZrO3、及び
0.935(K0.48Na0.52)0.96Li0.04Nb0.94Sb0.06O3−0.01Bi0.5K0.5ZrO3−0.055CaZrO3のうちの1種である、ことを特徴とする請求項25に記載の鉛フリー圧電材料。 - 前記鉛フリー圧電材料は、チタン酸バリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項22に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料の成分の一般式は、(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3(式中、0≦x≦0.2、0≦y≦0.1)である、ことを特徴とする請求項35に記載の鉛フリー圧電材料。
- 圧電定数d33の範囲が300pC/N〜1120pC/Nである、ことを特徴とする請求項36に記載の鉛フリー圧電材料。
- キュリー温度Tcの範囲が0℃〜100℃である、ことを特徴とする請求項36に記載の鉛フリー圧電材料。
- 前記鉛フリー圧電材料の成分は、0.89BaTiO3−0.11(Ba0.5Ca0.5)SnO3である、ことを特徴とする請求項37に記載の鉛フリー圧電材料。
- 請求項26〜34、36〜39のいずれか1項に記載の鉛フリー圧電材料を製造するための鉛フリー圧電材料の製造プロセスであって、
対応する化学一般式に従って、原料を選択して配合するステップT001と、
従来の固相セラミック焼結プロセスを用いて前記鉛フリー圧電材料を製造するステップT002と、を含む鉛フリー圧電材料の製造プロセス。 - 前記原料は、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、五酸化ニオブ、三酸化アンチモン、酸化ビスマス、ジルコニア、酸化マグネシウム、酸化スズ、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、及び炭酸バリウムから選ばれる、ことを特徴とする請求項40に記載の製造プロセス。
- 請求項1〜39のいずれか1項に記載の方法で取得される、ことを特徴とする硬質ハード圧電セラミック。
- 請求項42に記載の硬質ハード圧電セラミックを用いる、ことを特徴とする高エネルギー変換器。
- 請求項1〜39のいずれか1項に記載の方法で取得される、ことを特徴とする軟質ソフト圧電セラミック。
- 請求項44に記載の軟質ソフト圧電セラミックを用いる、ことを特徴とするセンサ。
- 請求項44に記載の軟質ソフト圧電セラミックを用いる、ことを特徴とするブレーキアクチュエータ。
- 請求項42に記載の硬質ハード圧電セラミック、及び/又は請求項44に記載の軟質ソフト圧電セラミックのうちの1種を用いる、ことを特徴とする電子素子。
- 請求項42に記載の硬質ハード圧電セラミック、及び/又は請求項44に記載の軟質ソフト圧電セラミックのうちの1種を用いる、ことを特徴とする電子機器。
- 第1鉛フリー圧電材料のT/O相境界を調整し、具体的には、
第1鉛フリー圧電材料に対して、その正方相Tと斜方晶相Oとの間のT/O相境界をドーピングにより材料使用温度付近に調整するステップS101と、
C/T相境界とO/R相境界をさらに調整し、具体的には、さらにドーピングにより、常誘電性立方相Cと正方相Tとの間のC/T相境界、及び斜方晶相Oと菱面体晶相Rとの間のO/R相境界を調整して、C/T相境界とO/R相境界をT/O相境界へ接近させ、前記相境界の接近は、
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が一点に集まる傾向があるが、この点に集まられない場合、または
C/T相境界、O/R相境界、及びT/O相境界が互いに接近であれば、明らかに一点に集まることも、暗黙的に一点に集まることもない場合を含むステップS201と、
第2鉛フリー圧電材料を取得し、具体的には、
C/T相境界とO/R相境界がT/O相境界へ接近する過程において、第2鉛フリー圧電材料を取得するステップS301と、を含む、鉛フリー圧電材料の取得方法。 - 前記使用温度付近は、−20℃〜40℃、40℃以上、−20℃以下のいずれか1つを含む、ことを特徴とする請求項49に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料は、ニオブ酸リチウムカリウムナトリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミック、又はチタン酸バリウムベースの三元系鉛フリー圧電セラミックを含む、ことを特徴とする請求項49に記載の方法。
- 前記第2鉛フリー圧電材料の成分の一般式は、
(1−m−n)[(K0.5−yNa0.5+y)0.96Li0.04Nb1−xSbxO3]−m[(Bi0.5(NazK1−z)0.5ZrO3]−nAZrO3(式中、0≦m≦0.02、0≦n≦0.1、0≦x≦0.07、0≦y≦0.1、z=0、1、AはCa、Mg、Baから選ばれる二価金属イオンのうちの1種又はこれらの組み合わせである。)、又は
(1−x−y)BaTiO3−x(Ba0.5Ca0.5)SnO3−yBa(Mg1/3Nb2/3)O3(式中、0≦x≦0.2、0≦y≦0.1)で示される、ことを特徴とする請求項49に記載の方法。 - 請求項49〜52のいずれか1項に記載の方法で取得される、ことを特徴とする鉛フリー圧電材料。
- 請求項49〜52のいずれか1項に記載の方法で取得される、ことを特徴とする硬質ハード圧電セラミック。
- 請求項54に記載の硬質ハード圧電セラミックを用いる、ことを特徴とする高エネルギー変換器。
- 請求項49〜52のいずれか1項に記載の方法で取得される、ことを特徴とする軟質ソフト圧電セラミック。
- 請求項56に記載の軟質ソフト圧電セラミックを用いる、ことを特徴とするセンサ。
- 請求項56に記載の軟質ソフト圧電セラミックを用いる、ことを特徴とするブレーキアクチュエータ。
- 請求項54に記載の硬質ハード圧電セラミック、及び/又は、請求項56に記載の軟質ソフト圧電セラミックを用いる、ことを特徴とする電子素子。
- 請求項54に記載の硬質ハード圧電セラミック、及び/又は、請求項56に記載の軟質ソフト圧電セラミックを用いる、ことを特徴とする電子機器。
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