JP3259678B2 - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JP3259678B2 JP3259678B2 JP03571698A JP3571698A JP3259678B2 JP 3259678 B2 JP3259678 B2 JP 3259678B2 JP 03571698 A JP03571698 A JP 03571698A JP 3571698 A JP3571698 A JP 3571698A JP 3259678 B2 JP3259678 B2 JP 3259678B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、圧電磁器組成物
に関するもので、特に、圧電セラミックフィルタ、圧電
セラミック発振子などの圧電セラミック素子のための材
料として有用な圧電磁器組成物に関するものである。
に関するもので、特に、圧電セラミックフィルタ、圧電
セラミック発振子などの圧電セラミック素子のための材
料として有用な圧電磁器組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミックフィルタなどの圧電セラ
ミック素子に用いられる圧電磁器組成物として、チタン
酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）Ｏ3 ）あるい
はチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電磁器
組成物が広く用いられている。このようなチタン酸ジル
コン酸鉛あるいはチタン酸鉛を主成分とする圧電磁器組
成物は、その製造過程において、一般的に鉛酸化物が用
いられるのであるが、この鉛酸化物の蒸発のため、製品
の均一性が低下する。
ミック素子に用いられる圧電磁器組成物として、チタン
酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｔｉx Ｚｒ1-x ）Ｏ3 ）あるい
はチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電磁器
組成物が広く用いられている。このようなチタン酸ジル
コン酸鉛あるいはチタン酸鉛を主成分とする圧電磁器組
成物は、その製造過程において、一般的に鉛酸化物が用
いられるのであるが、この鉛酸化物の蒸発のため、製品
の均一性が低下する。
【０００３】これに対して、組成式：（Ｋ1-x-y Ｎａx
Ｌｉy ）ＮｂＯ3 等で表されるニオブ酸カリウムナトリ
ウムリチウムを主成分とする圧電磁器組成物は、鉛酸化
物を含有しないため、上述のような問題に遭遇しない。
また、ニオブ酸カリウムナトリウムリチウムを主成分と
する圧電磁器組成物の中には、電気機械結合係数Ｋpが
大きく、圧電セラミックフィルタおよび圧電セラミック
発振子等の材料として有望であると考えられるものが存
在する。
Ｌｉy ）ＮｂＯ3 等で表されるニオブ酸カリウムナトリ
ウムリチウムを主成分とする圧電磁器組成物は、鉛酸化
物を含有しないため、上述のような問題に遭遇しない。
また、ニオブ酸カリウムナトリウムリチウムを主成分と
する圧電磁器組成物の中には、電気機械結合係数Ｋpが
大きく、圧電セラミックフィルタおよび圧電セラミック
発振子等の材料として有望であると考えられるものが存
在する。
【０００４】しかしながら、このようなニオブ酸カリウ
ムナトリウムリチウムを主成分とする圧電磁器組成物
は、チタン酸ジルコン酸鉛あるいはチタン酸鉛に比べ
て、比誘電率が小さいため、圧電セラミックフィルタあ
るいは圧電セラミック発振子等の材料として用いる場
合、これら圧電セラミックフィルタあるいは圧電セラミ
ック発振子等を備える回路とのインピーダンスマッチン
グが良好でなく、回路設計の困難を伴う場合がある。
ムナトリウムリチウムを主成分とする圧電磁器組成物
は、チタン酸ジルコン酸鉛あるいはチタン酸鉛に比べ
て、比誘電率が小さいため、圧電セラミックフィルタあ
るいは圧電セラミック発振子等の材料として用いる場
合、これら圧電セラミックフィルタあるいは圧電セラミ
ック発振子等を備える回路とのインピーダンスマッチン
グが良好でなく、回路設計の困難を伴う場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、ニオブ酸
カリウムナトリウムリチウムを主成分とする圧電磁器組
成物が遭遇する上記課題を解決するためになされたもの
で、比誘電率を１０００以上に増大させ、鉛を含有せ
ず、かつ、実用上十分な電気機械結合係数ＫP （２５％
以上）を示す、圧電磁器組成物を提供しようとすること
を目的としている。
カリウムナトリウムリチウムを主成分とする圧電磁器組
成物が遭遇する上記課題を解決するためになされたもの
で、比誘電率を１０００以上に増大させ、鉛を含有せ
ず、かつ、実用上十分な電気機械結合係数ＫP （２５％
以上）を示す、圧電磁器組成物を提供しようとすること
を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上述した技
術的課題を解決するため、一般式：（１−ｎ）（Ｋ1-
x-y Ｎａx Ｌｉy ）m （Ｎｂ1-z Ｔａz ）Ｏ3 −ｎＭ１
Ｍ２Ｍ３Ｏ3 で表される組成物を主成分とする、圧電磁
器組成物であって、上記一般式において，Ｍ１は３価の
金属元素からなり、Ｍ２は１価の金属元素からなり、Ｍ
３は４価の金属元素からなり、また、ｘ、ｙ、ｚ、ｍ、
およびｎは、それぞれ、 ０．１≦ｘ、 ｙ≦０．３、 ｘ＋ｙ＜０．７５、 ０≦ｚ≦０．３、 ０．９８≦ｍ≦１．０、および ０＜ｎ＜０．１ の条件を満たすことを特徴としている。
術的課題を解決するため、一般式：（１−ｎ）（Ｋ1-
x-y Ｎａx Ｌｉy ）m （Ｎｂ1-z Ｔａz ）Ｏ3 −ｎＭ１
Ｍ２Ｍ３Ｏ3 で表される組成物を主成分とする、圧電磁
器組成物であって、上記一般式において，Ｍ１は３価の
金属元素からなり、Ｍ２は１価の金属元素からなり、Ｍ
３は４価の金属元素からなり、また、ｘ、ｙ、ｚ、ｍ、
およびｎは、それぞれ、 ０．１≦ｘ、 ｙ≦０．３、 ｘ＋ｙ＜０．７５、 ０≦ｚ≦０．３、 ０．９８≦ｍ≦１．０、および ０＜ｎ＜０．１ の条件を満たすことを特徴としている。
【０００７】上述したｘ、ｙ、ｚ、ｍ、およびｎの各範
囲の限定理由は、次のとおりである。ｘおよびｙに関し
て、それぞれ、０．１≦ｘおよびｙ≦０．３と限定する
のは、これらの範囲を外れると、良好な焼結体を得るこ
とができないためである。また、ｘ＋ｙ＜０．７５とす
るのは、０．７５≦ｘ＋ｙでは、電気機械結合係数Ｋ P
が２５％より小さくなり、圧電セラミックフィルタ、圧
電セラミック発振子などの材料としての利用が困難とな
るためである。
囲の限定理由は、次のとおりである。ｘおよびｙに関し
て、それぞれ、０．１≦ｘおよびｙ≦０．３と限定する
のは、これらの範囲を外れると、良好な焼結体を得るこ
とができないためである。また、ｘ＋ｙ＜０．７５とす
るのは、０．７５≦ｘ＋ｙでは、電気機械結合係数Ｋ P
が２５％より小さくなり、圧電セラミックフィルタ、圧
電セラミック発振子などの材料としての利用が困難とな
るためである。
【０００８】また、ｚに関して、０≦ｚ≦０．３とする
のは、この範囲を外れると、キュリー点が２００℃以下
に低下し、当該圧電磁器組成物をもって構成された素子
の温度安定性の点で問題が生じるためである。また、ｍ
に関して、０．９８≦ｍ≦１．０とするのは、この範囲
を外れると、分極処理が困難になるためである。
のは、この範囲を外れると、キュリー点が２００℃以下
に低下し、当該圧電磁器組成物をもって構成された素子
の温度安定性の点で問題が生じるためである。また、ｍ
に関して、０．９８≦ｍ≦１．０とするのは、この範囲
を外れると、分極処理が困難になるためである。
【０００９】また、ｎに関して、０＜ｎ＜０．１とする
のは、ｎが０．１以上の場合には、電気機械結合係数Ｋ
P が２５％より小さくなり、圧電セラミックフィルタ、
圧電セラミック発振子などの材料としての利用が困難と
なるためである。この発明において、好ましくは、上記
一般式中のＭ１は、Ｂｉからなり、Ｍ２は、Ｋ、Ｎａ、
およびＬｉからなる群から選ばれた少なくとも１種から
なり、また、Ｍ３は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、およびＨｆか
らなる群から選ばれた少なくとも１種からなる。
のは、ｎが０．１以上の場合には、電気機械結合係数Ｋ
P が２５％より小さくなり、圧電セラミックフィルタ、
圧電セラミック発振子などの材料としての利用が困難と
なるためである。この発明において、好ましくは、上記
一般式中のＭ１は、Ｂｉからなり、Ｍ２は、Ｋ、Ｎａ、
およびＬｉからなる群から選ばれた少なくとも１種から
なり、また、Ｍ３は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、およびＨｆか
らなる群から選ばれた少なくとも１種からなる。
【００１０】
【実施例】まず、出発原料として、Ｋ2 ＣＯ3 、Ｎａ2
ＣＯ3 、Ｌｉ2 ＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ 5 、Ｔａ2 Ｏ5 、Ｂｉ
2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、およびＺｒＯ2 を用意し、これらの
原料を、一般式：（１−ｎ）（Ｋ1-x-y Ｎａx Ｌｉy ）
m （Ｎｂ1-z Ｔａz ）Ｏ3−ｎＭ１Ｍ２Ｍ３Ｏ3 におい
て表１に示すような組成となるように秤取して、ボール
ミルを用いて約４時間アルコール中で湿式混合し、得ら
れた混合物を乾燥した後、７００℃〜９００℃の温度で
仮焼した。次いで、これら乾燥混合物を粗粉砕した後、
有機バインダを適量加えてボールミルを用いて４時間湿
式粉砕し、４０メッシュのふるいを通して粒度調整を行
なった。
ＣＯ3 、Ｌｉ2 ＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ 5 、Ｔａ2 Ｏ5 、Ｂｉ
2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、およびＺｒＯ2 を用意し、これらの
原料を、一般式：（１−ｎ）（Ｋ1-x-y Ｎａx Ｌｉy ）
m （Ｎｂ1-z Ｔａz ）Ｏ3−ｎＭ１Ｍ２Ｍ３Ｏ3 におい
て表１に示すような組成となるように秤取して、ボール
ミルを用いて約４時間アルコール中で湿式混合し、得ら
れた混合物を乾燥した後、７００℃〜９００℃の温度で
仮焼した。次いで、これら乾燥混合物を粗粉砕した後、
有機バインダを適量加えてボールミルを用いて４時間湿
式粉砕し、４０メッシュのふるいを通して粒度調整を行
なった。
【００１１】次に、粒度調整された粉体を１０００ｋｇ
／ｃｍ2 の圧力で直径１２ｍｍ、厚さ１．２ｍｍの円板
に成形した後、１０５０℃〜１３００℃の温度で、通常
の焼成方法を用いて焼成を行ない、円板状の磁器を得
た。次いで、これら磁器円板の両主面に、通常の方法に
より、銀ペーストを塗布焼付けして銀電極を形成した
後、５０℃〜１５０℃の絶縁オイル中で２〜１０ｋＶ／
ｍｍの直流電圧を１０〜３０分間印加して分極処理を施
し、試料となる圧電磁器円板を得た。
／ｃｍ2 の圧力で直径１２ｍｍ、厚さ１．２ｍｍの円板
に成形した後、１０５０℃〜１３００℃の温度で、通常
の焼成方法を用いて焼成を行ない、円板状の磁器を得
た。次いで、これら磁器円板の両主面に、通常の方法に
より、銀ペーストを塗布焼付けして銀電極を形成した
後、５０℃〜１５０℃の絶縁オイル中で２〜１０ｋＶ／
ｍｍの直流電圧を１０〜３０分間印加して分極処理を施
し、試料となる圧電磁器円板を得た。
【００１２】次いで、各試料について、比誘電率、電気
機械結合係数ＫP 、およびキュリー点を測定した。その
結果も表１に示されている。
機械結合係数ＫP 、およびキュリー点を測定した。その
結果も表１に示されている。
【００１３】
【表１】
【００１４】表１において、試料番号に＊を付したもの
は、この発明の範囲外のものである。表１において、
０．１≦ｘ、ｙ≦０．３、ｘ＋ｙ＜０．７５、０≦ｚ≦
０．３、０．９８≦ｍ≦１．０、０＜ｎ＜０．１の各条
件をすべて満たす試料、すなわち試料番号に＊が付され
ていないこの発明の実施例にかかる試料については、す
べて、比誘電率が１０００以上であり、また、電気機械
結合係数ＫP が２５％以上であり、さらに、キュリー点
が２００℃を超える、というように良好な特性を示して
いる。
は、この発明の範囲外のものである。表１において、
０．１≦ｘ、ｙ≦０．３、ｘ＋ｙ＜０．７５、０≦ｚ≦
０．３、０．９８≦ｍ≦１．０、０＜ｎ＜０．１の各条
件をすべて満たす試料、すなわち試料番号に＊が付され
ていないこの発明の実施例にかかる試料については、す
べて、比誘電率が１０００以上であり、また、電気機械
結合係数ＫP が２５％以上であり、さらに、キュリー点
が２００℃を超える、というように良好な特性を示して
いる。
【００１５】これに対して、０．１≦ｘまたはｙ≦０．
３の条件を満足しない試料１４および１５では、焼結不
良が生じている。また、上述の０．１≦ｘまたはｙ≦
０．３の条件を満足するが、ｘ＋ｙ＜０．７５を満足し
ない試料１では、電気機械結合係数ＫP が２１．０％と
なり、２５％以上の電気機械結合係数ＫP を達成し得な
い。また、この試料１では、比誘電率が９３０となり、
１０００以上の比誘電率を達成していない。
３の条件を満足しない試料１４および１５では、焼結不
良が生じている。また、上述の０．１≦ｘまたはｙ≦
０．３の条件を満足するが、ｘ＋ｙ＜０．７５を満足し
ない試料１では、電気機械結合係数ＫP が２１．０％と
なり、２５％以上の電気機械結合係数ＫP を達成し得な
い。また、この試料１では、比誘電率が９３０となり、
１０００以上の比誘電率を達成していない。
【００１６】また、０≦ｚ≦０．３を満足しない試料３
２では、キュリー点が１８０℃となり、２００℃を超え
るキュリー点を実現し得ない。また、０．９８≦ｍ≦
１．０の条件を満足しない試料３７では、所望の分極を
達成し得ない。また、０＜ｎ＜０．１の条件を満足しな
い試料のうち、ｎが０．１以上の試料５、９、１３、１
９、２３、２７、３１、３６、４０および４３では、電
気機械結合係数ＫP が２５％より小さくなっている。ま
た、ｎが０となる試料２、６、１０、１６、２０、２
４、２８および３３では、１０００以上の比誘電率を達
成していない。
２では、キュリー点が１８０℃となり、２００℃を超え
るキュリー点を実現し得ない。また、０．９８≦ｍ≦
１．０の条件を満足しない試料３７では、所望の分極を
達成し得ない。また、０＜ｎ＜０．１の条件を満足しな
い試料のうち、ｎが０．１以上の試料５、９、１３、１
９、２３、２７、３１、３６、４０および４３では、電
気機械結合係数ＫP が２５％より小さくなっている。ま
た、ｎが０となる試料２、６、１０、１６、２０、２
４、２８および３３では、１０００以上の比誘電率を達
成していない。
【００１７】以上、この発明を実施例に関連して説明し
たが、この発明の範囲内にある圧電磁器組成物は、この
ような実施例に限定されるものではなく、この発明の趣
旨を逸脱しない範囲で、種々に組成を変えることができ
る。たとえば、上述した実施例では、Ｍ１として、Ｂｉ
が用いられ、Ｍ２として、ＮａまたはＬｉが用いられ、
Ｍ３として、ＴｉまたはＺｒが用いられたが、Ｍ２につ
いては、その他、Ｋが用いられても、また、Ｍ３につい
ては、Ｓｎおよび／またはＨｆが用いられても、同等の
効果が得られることが確認されている。また、Ｍ１につ
いては、その他の３価の金属元素が用いられ、Ｍ２につ
いては、その他の１価の金属元素が用いられ、Ｍ３につ
いては、その他の４価の金属元素が用いられてもよい。
たが、この発明の範囲内にある圧電磁器組成物は、この
ような実施例に限定されるものではなく、この発明の趣
旨を逸脱しない範囲で、種々に組成を変えることができ
る。たとえば、上述した実施例では、Ｍ１として、Ｂｉ
が用いられ、Ｍ２として、ＮａまたはＬｉが用いられ、
Ｍ３として、ＴｉまたはＺｒが用いられたが、Ｍ２につ
いては、その他、Ｋが用いられても、また、Ｍ３につい
ては、Ｓｎおよび／またはＨｆが用いられても、同等の
効果が得られることが確認されている。また、Ｍ１につ
いては、その他の３価の金属元素が用いられ、Ｍ２につ
いては、その他の１価の金属元素が用いられ、Ｍ３につ
いては、その他の４価の金属元素が用いられてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、比誘
電率が１０００以上で、電気機械結合係数ＫP が２５％
以上で、また、キュリー点が２００℃を超えるといった
良好な特性を示す、圧電磁器組成物を得ることができ、
この圧電磁器組成物を用いて、圧電セラミックフィル
タ、圧電セラミック発振子などの圧電セラミック素子を
有利に作製することができる。
電率が１０００以上で、電気機械結合係数ＫP が２５％
以上で、また、キュリー点が２００℃を超えるといった
良好な特性を示す、圧電磁器組成物を得ることができ、
この圧電磁器組成物を用いて、圧電セラミックフィル
タ、圧電セラミック発振子などの圧電セラミック素子を
有利に作製することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−82024（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−87557（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−55999（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−33907（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−31213（ＪＰ，Ａ) 特公 昭45−30150（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/495 - 35/499 H01L 41/187
Claims (2)
- 【請求項１】 一般式：（１−ｎ）（Ｋ1-x-y Ｎａx Ｌ
ｉy ）m （Ｎｂ1-zＴａz ）Ｏ3 −ｎＭ１Ｍ２Ｍ３Ｏ3
で表される組成物を主成分とする、圧電磁器組成物。た
だし、Ｍ１は３価の金属元素、Ｍ２は１価の金属元素、
Ｍ３は４価の金属元素、 ０．１≦ｘ ｙ≦０．３ ｘ＋ｙ＜０．７５ ０≦ｚ≦０．３ ０．９８≦ｍ≦１．０ ０＜ｎ＜０．１。 - 【請求項２】 前記Ｍ１は、Ｂｉ、前記Ｍ２は、Ｋ、Ｎ
ａ、およびＬｉからなる群から選ばれた少なくとも１
種、前記Ｍ３は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、およびＨｆからな
る群から選ばれた少なくとも１種である、請求項１に記
載の圧電磁器組成物。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03571698A JP3259678B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | 圧電磁器組成物 |
| TW088102453A TW563265B (en) | 1998-02-18 | 1999-02-12 | Piezoelectric ceramic composition |
| DE19906836A DE19906836C2 (de) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Piezoelektrische keramische Zusammensetzung |
| US09/252,576 US6083415A (en) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Piezoelectric ceramic composition |
| DE19964233A DE19964233C2 (de) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Piezoelektrische keramische Zusammensetzung |
| KR1019990005394A KR100282599B1 (ko) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | 압전 세라믹 조성물 |
| CN99102464A CN1087721C (zh) | 1998-02-18 | 1999-02-23 | 压电陶瓷组合物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03571698A JP3259678B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11228228A JPH11228228A (ja) | 1999-08-24 |
| JP3259678B2 true JP3259678B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=12449596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03571698A Expired - Fee Related JP3259678B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3259678B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008143160A1 (ja) | 2007-05-16 | 2008-11-27 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 圧電セラミックス及びこれを用いた圧電・誘電・焦電素子 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6514427B2 (en) | 1999-10-18 | 2003-02-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric element containing the same |
| JP3750507B2 (ja) * | 2000-08-28 | 2006-03-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子 |
| JP4003920B2 (ja) * | 2001-05-10 | 2007-11-07 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電磁器組成物、圧電磁器焼結体および電子部品 |
| JP4001366B2 (ja) * | 2001-06-15 | 2007-10-31 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電磁器 |
| DE60239464D1 (de) | 2001-06-15 | 2011-04-28 | Tdk Corp | Piezoelektrisches porzellan und verfahren zu seiner herstellung |
| JP4001362B2 (ja) * | 2002-01-31 | 2007-10-31 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電磁器およびその製造方法 |
| JP4631246B2 (ja) | 2002-03-20 | 2011-02-16 | 株式会社豊田中央研究所 | 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子及び誘電素子 |
| EP1382588B9 (en) | 2002-07-16 | 2012-06-27 | Denso Corporation | Piezoelectric ceramic composition and method of production of same |
| JP4995412B2 (ja) * | 2003-05-29 | 2012-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 |
| JP4491537B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2010-06-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ペロブスカイト固溶体組成物およびこのものから得られる圧電セラミックス |
| JP2006310746A (ja) | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | 圧電素子並びに圧電素子を用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| EP1876155B1 (en) * | 2005-04-28 | 2016-03-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric porcelain composition and piezoelectric ceramic electronic component |
| KR100904618B1 (ko) | 2005-04-28 | 2009-06-25 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 압전체 자기 조성물, 및 이 압전체 자기 조성물의제조방법, 및 압전 세라믹 전자부품 |
| US7959823B2 (en) | 2005-10-27 | 2011-06-14 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric ceramic |
| WO2007094115A1 (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電磁器組成物 |
| CN101389580B (zh) * | 2006-02-28 | 2012-02-22 | 柯尼卡美能达控股株式会社 | 压电陶瓷组合物 |
| JP5294441B2 (ja) | 2006-03-30 | 2013-09-18 | 双信電機株式会社 | 電子部品 |
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1998
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