JP2003280193A - アルカリ現像型感光性樹脂組成物及びそれを用いたプリント配線基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 指触乾燥性、密着性、解像性に優れ、加熱硬
化時のガス発生が少なく、かつ冷熱衝撃性やＰＣＴ耐性
に優れた硬化塗膜が得られる高感度のアルカリ現像型感
光性樹脂組成物、及びそれを用いて製造した、部品実装
時のガス発生が低減され、クラック耐性、電気絶縁性等
に優れたソルダーレジスト及び／又は樹脂絶縁層を形成
したプリント配線基板を提供する。 【解決手段】 アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、
（Ａ）１分子中に１個以上のカルボキシル基を有するカ
ルボキシル基含有樹脂、（Ｂ）光重合開始剤として、下
記一般式（Ｉ）で表わされる少なくとも１種の化合物、
（Ｃ）反応性希釈剤、及び（Ｄ）１分子中に２個以上の
エポキシ基を有するエポキシ化合物を含有する。 【化１】

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アルカリ現像型感
光性樹脂組成物及びそれを用いてソルダーレジスト及び
／又は樹脂絶縁層を形成したプリント配線基板に関し、
さらに詳しくは、指触乾燥性、密着性、解像性に優れ、
加熱硬化時に発生するミストが少ない高感度のアルカリ
現像型感光性樹脂組成物と、それを用いて製造した、部
品実装時に発生するガスが低減され、クラック耐性、電
気絶縁性等に優れたソルダーレジスト及び／又は樹脂絶
縁層を形成したプリント配線基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板の製造等に用いら
れるソルダーレジスト材料としては、アルカリ現像型感
光性樹脂組成物が広く用いられている。このアルカリ現
像型感光性樹脂組成物は、例えばプリント配線基板で
は、銅箔等の導体層で回路形成された基板上に塗布乾燥
して塗膜とし、該塗膜をパターン露光し、未露光部を炭
酸水素ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像除去
してレジスト層を形成した後、加熱硬化することによ
り、パターン通りのソルダーレジストが形成される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のアルカリ現像型
感光性樹脂組成物からなるソルダーレジスト材料は、１
０〜５０μｍの膜厚で５０μｍの解像力を有するように
するために大量の光重合開始剤を添加し、感度を上げる
ことで達成してきたが、量産レベルにおいて５０μｍの
解像性を安定して得ることはできず、現像の際に、ソル
ダーレジスト材料と基板との密着不足による欠陥や解像
不足による欠陥が多く発生するようになった。

【０００４】また、レジスト層の加熱硬化時に、膜中に
大量に残留している光重合開始剤がガスとして放出され
（ミスト発生）、乾燥炉やクリーンルームの汚染、さら
には大気汚染といった問題がある。さらに、プリント配
線基板に部品を実装する際の加熱によっても同じような
問題があり、塗膜中に残留した光重合開始剤が大量のガ
スを発生させ、実装信頼性を低下させている。さらに、
物性試験において、冷熱衝撃試験では、残留した光重合
開始剤が徐々に抜け出ることにより、又は光重合開始剤
の再結晶化により塗膜物性を低下させてクラックが発生
したり、電気絶縁性試験においては銅箔回路の電蝕を早
める要因となっている。

【０００５】このように、近年、ソルダーレジスト材料
に要求される特性及び環境問題に対する要望は益々厳し
くなってきており、従来のパターン形成性又はめっき耐
性等では対応が困難になってきている。レジスト膜形成
工程においては、低露光量で感度が高く、硬化深度が大
きく、かつ高精細のパターンを描け、作業スピードを向
上できるものや、加熱硬化時にガス発生を抑え、環境に
悪影響を与えない等の特性改善が望まれている。

【０００６】また、硬化塗膜の面においては、部品実装
時のガス発生を抑え、実装信頼性を低下させないレジス
ト、さらにＢＧＡ、ＣＳＰ、ＴＡＢやプリプレグを使用
しないビルドアップ工法等で作製された基板の樹脂絶縁
層としては、冷熱衝撃試験やプレッシャークッカー試験
（ＰＣＴ）による塗膜のクラック、劣化、物性の変化等
が問題とされてきており、これらの改善が要求されてき
ている。

【０００７】本発明は、上述した従来技術の課題を解決
するためになされたものであり、その主たる目的は、指
触乾燥性、密着性、解像性に優れ、加熱硬化時に発生す
るガス（ミスト）が少なく、かつ冷熱衝撃性やＰＣＴ耐
性に優れた硬化塗膜が得られる高感度のアルカリ現像型
感光性樹脂組成物、及びそれを用いて製造した部品実装
時に発生するガスが低減され、クラック耐性・電気絶縁
性等に優れたソルダーレジスト及び／又は樹脂絶縁層を
形成したプリント配線基板を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明によれば、（Ａ）１分子中に１個以上のカル
ボキシル基を有するカルボキシル基含有樹脂、（Ｂ）光
重合開始剤として、下記一般式（Ｉ）で表わされる少な
くとも１種の化合物、（Ｃ）反応性希釈剤、及び（Ｄ）
１分子中に２個以上のエポキシ基を有する多官能エポキ
シ化合物を含有することを特徴とするアルカリ現像型感
光性樹脂組成物が提供される。

【化３】 さらに本発明によれば、上記アルカリ現像型感光性樹脂
組成物を用いて、ソルダーレジスト及び／又は樹脂絶縁
層を形成したプリント配線基板が提供される。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明者らは、近年、プリント配
線基板のソルダーレジストや樹脂絶縁層に要求されてき
ている特性を有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物を
開発すべく鋭意研究を重ねた結果、（Ａ）１分子中に１
個以上のカルボキシル基を有するカルボキシル基含有樹
脂、（Ｃ）反応性希釈剤、及び（Ｄ）１分子中に２個以
上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物と組み合
わせて、光重合開始剤（Ｂ）として、前記一般式（Ｉ）
で表わされる少なくとも１種の化合物を含有する組成物
によって、露光の際に照射された活性エネルギー線に対
して高感度に反応し、感光性成分（反応性希釈剤及び感
光性のカルボキシル基含有樹脂）の光重合速度が大きく
なり、解像性が向上すると共に、指触乾燥性に優れた塗
膜が得られ、しかも加熱硬化時に発生するガスが少な
く、環境に及ぼす影響が少ないことを見出した。すなわ
ち、本発明で用いる前記一般式（Ｉ）で表わされる光重
合開始剤（Ｂ）は、感度が高いために少量の添加でも充
分な解像性が得られ、また、加熱によって飛散（昇華）
しないためにミスト発生の原因となることがなく、さら
に有機溶剤に溶け難いので指触乾燥性の良好な塗膜が得
られ易くなる。

【００１０】また、硬化塗膜の特性としては、部品実装
時に発生するガスが低減し、実装信頼性が向上すると共
に、ＢＧＡ，ＣＳＰ，ＴＡＢやプリプレグを使用しない
ビルドアップ工法等で作製された基板の樹脂絶縁層とし
ても、冷熱衝撃試験やプレッシャークッカー試験におけ
る塗膜のクラック耐性が向上し、物性の変化が少なく、
劣化し難いプリント配線基板を提供できることを見出
し、本発明を完成するに至ったものである。

【００１１】以下、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂
組成物の各構成成分について詳細に説明する。まず、前
記１分子中に１個以上のカルボキシル基を有するカルボ
キシル基含有樹脂（Ａ）としては、カルボキシル基を有
する樹脂、具体的にはそれ自体に感光性の不飽和二重結
合を２個以上有するカルボキシル基含有樹脂及び感光性
の不飽和二重結合を持たないカルボキシル基含有樹脂の
いずれも使用可能であり、特定のものに限定されるもの
ではないが、特に以下に列挙するような樹脂（オリゴマ
ー及びポリマーのいずれでもよい）を好適に使用でき
る。

【００１２】（１）（ａ）不飽和カルボン酸と（ｂ）不
飽和二重結合を有する化合物の共重合によって得られる
カルボキシル基含有樹脂、（２）（ａ）不飽和カルボン
酸と（ｂ）不飽和二重結合を有する化合物の共重合体
に、エチレン性不飽和基（ｂ’）をペンダントとして付
加させることによって得られる感光性のカルボキシル基
含有樹脂、（３）（ｃ）１分子中にそれぞれ１個のエポ
キシ基と不飽和二重結合を有する化合物と（ｂ）不飽和
二重結合を有する化合物の共重合体に、（ｄ）不飽和モ
ノカルボン酸を反応させ、生成した第２級の水酸基に
（ｅ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得ら
れる感光性のカルボキシル基含有樹脂、（４）（ｆ）不
飽和二重結合を有する酸無水物と（ｂ）不飽和二重結合
を有する化合物の共重合体に、（ｇ）水酸基と不飽和二
重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性のカ
ルボキシル基含有樹脂、（５）（ｈ）１分子中に２個以
上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物と（ｄ）
不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した水酸基に
（ｅ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得ら
れる感光性のカルボキシル基含有樹脂、（６）（ｈ）１
分子中に２個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ
化合物と、（ｄ）不飽和モノカルボン酸と、（ｉ）１分
子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基と、エポキ
シ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性
基を有する化合物との反応生成物に、（ｅ）飽和又は不
飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカル
ボキシル基含有樹脂（７）（ｊ）水酸基含有ポリマーに
（ｅ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、
生成したカルボン酸に（ｃ）１分子中にそれぞれ１個の
エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させ
て得られる感光性の水酸基、カルボキシル基含有樹脂、
及び（８）（ｋ）１分子中に２個以上のオキセタン環を
有する多官能オキセタン化合物に（ｄ）不飽和モノカル
ボン酸を反応させ、得られた変性オキセタン樹脂中の第
１級水酸基に対して（ｅ）飽和又は不飽和多塩基酸無水
物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹
脂。これらの中でも、１分子中に感光性の不飽和二重結
合を２個以上有するカルボキシル基含有樹脂、特に前記
（５）の感光性のカルボキシル基含有樹脂が、耐熱性、
金めっき耐性等の特性面から好ましい。

【００１３】上記のようなカルボキシル基含有樹脂
（Ａ）は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数の遊離
のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液によ
る現像が可能になる。また、上記カルボキシル基含有樹
脂（Ａ）の酸価は、４５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲
にあることが好ましい。カルボキシル基含有樹脂の酸価
が４５ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であるとアルカリ現像が困難
となり、一方、２００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると現像液
による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが
痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別な
く現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパター
ンの描画が困難となるので好ましくない。

【００１４】前記（１）のカルボキシル基含有樹脂は、
（ａ）不飽和カルボン酸と（ｂ）不飽和二重結合を有す
る化合物の共重合によって得られるものであり、カルボ
キシル基を含有するためアルカリ水溶液に対して可溶性
である。前記不飽和カルボン酸（ａ）の具体的な例とし
ては、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロ
トン酸、マレイン酸、フマル酸、又はこれらの酸無水
物、さらには、無水コハク酸、無水ヘキサヒドロフタル
酸、無水ピロメリット酸などの酸無水物と２−ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メ
タ）アクリレート類などの水酸基を有する不飽和化合物
との反応生成物等が挙げられ、これらを単独で又は２種
以上を組み合わせて用いることができる。これらの中で
もアクリル酸及び／又はメタアクリル酸が好ましい。な
お、本明細書において（メタ）アクリレートとは、アク
リレートとメタクリレートを総称する用語であり、他の
類似の表現についても同様である。

【００１５】前記不飽和二重結合を有する化合物（ｂ）
の具体例としては、スチレン、クロロスチレン、α−メ
チルスチレン；置換基としてメチル、エチル、ｎ−プロ
ピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔ−ブ
チル、アミル、２−エチルヘキシル、オクチル、カプリ
ル、ノニル、ドデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、
シクロヘキシル、イソボルニル、メトキシエチル、ブト
キシエチル、２−ヒドロキシエチル、２−ヒドロキシプ
ロピル、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル等を有す
る（メタ）アクリレート；ポリエチレングリコールのモ
ノ（メタ）アクリレート又はポリプロピレングリコール
のモノ（メタ）アクリレート；酢酸ビニル、酪酸ビニ
ル、安息香酸ビニル；アクリルアミド、メタクリルアミ
ド、Ｎ−ヒドロキシメチルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロ
キシメチルメタクリルアミド、Ｎ−メトキシメチルアク
リルアミド、Ｎ−エトキシメチルアクリルアミド、Ｎ−
ブトキシメチルアクリルアミド、アクリロニトリル、モ
ノビニルエーテル類、もしくはイソブチレン等が挙げら
れ、これらを単独で又は２種以上を組み合わせて使用す
ることができる。これらの化合物の中でも、好ましく
は、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル（メ
タ）アクリレート、イソブチレンが用いられる。

【００１６】前記（２）の感光性のカルボキシル基含有
樹脂は、（ａ）不飽和カルボン酸と前記（ｂ）不飽和二
重結合を有する化合物の共重合体のカルボキシル基の一
部に、充分な光硬化深度が得られる程度にまで光硬化性
を向上させる割合で、例えばグリシジル（メタ）アクリ
レートを反応させ、該グリシジル（メタ）アクリレート
の不飽和二重結合を側鎖に導入した樹脂である。上記共
重合体の一方のモノマー成分である不飽和カルボン酸
（ａ）の有するカルボキシル基の一部は未反応のまま残
存するため、得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂
は、アルカリ水溶液に対して可溶性である。そのため、
このような樹脂を含有する感光性樹脂組成物から形成し
た塗膜は、選択的露光後にアルカリ水溶液により安定し
た現像が可能となる。

【００１７】上記ペンダントとして付加するエチレン性
不飽和基（ｂ’）としては、ビニル基、アクリロイル
基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、メタクリル
アミド基などがある。このようなエチレン性不飽和基
（ｂ’）を前記共重合体に付加させる方法としては、共
重合体のカルボキシル基に、エポキシ基を有するエチレ
ン性不飽和化合物を付加反応させる方法が一般的であ
る。ここでいうエポキシ基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、グリシジル（メタ）アクリレート、β−
メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグ
リシジル（メタ）アクリレート、Ｎ−［４−（２，３−
エポキシプロポキシ）−３，５−ジメチルベンジル］ア
クリルアミド、Ｎ−［４−（２，３−エポキシプロポキ
シ）−３，５−ジメチルベンジル］メタクリルアミド、
クロトン酸グリシジルや、下記一般式（１）〜（４）で
示される化合物などが挙げられる。これらの中でもグリ
シジル（メタ）アクリレートが好ましい。

【化４】

【００１８】前記（３）の感光性のカルボキシル基含有
樹脂は、（ｃ）１分子中にそれぞれ１個のエポキシ基と
不飽和二重結合を有する化合物と前記（ｂ）不飽和二重
結合を有する化合物の共重合体のエポキシ基に、充分な
光硬化深度が得られる程度にまで光硬化性を向上させる
割合で、（ｄ）不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基
を反応させ、該不飽和モノカルボン酸の不飽和二重結合
を側鎖に導入すると共に、上記付加反応で生成した第２
級の水酸基に（ｅ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物をエ
ステル化反応させ、側鎖にカルボキシル基を導入した樹
脂である。

【００１９】上記１分子中にそれぞれ１個のエポキシ基
と不飽和二重結合を含有する化合物（ｃ）の具体例とし
ては、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグ
リシジル（メタ）アクリレートや、前記一般式（１）〜
（４）で示される化合物などが挙げられ、これらを単独
で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。上
記不飽和モノカルボン酸（ｄ）の具体例としては、アク
リル酸、メタアクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、α−
シアノケイ皮酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフ
リルアクリル酸、又は無水コハク酸、無水ヘキサヒドロ
フタル酸、無水ピロメリット酸などの酸無水物と２−ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ
プロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル
（メタ）アクリレート類などの水酸基を有する不飽和化
合物との反応生成物等が挙げられ、これらを単独で又は
２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの
中でもアクリル酸及び／又はメタアクリル酸が好まし
い。

【００２０】一方、飽和又は不飽和多塩基酸無水物
（ｅ）の具体例としては、無水コハク酸、無水マレイン
酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサ
ヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル
酸、無水イタコン酸、メチルエンドメチレンテトラヒド
ロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリッ
ト酸等が挙げられ、これらを単独で又は２種以上を組み
合わせて使用することができる。

【００２１】前記（４）の感光性のカルボキシル基含有
樹脂は、（ｆ）不飽和二重結合を有する酸無水物と前記
（ｂ）不飽和二重結合を有する化合物の共重合体の酸無
水物基の一部に、充分な光硬化深度が得られる程度にま
で光硬化性を向上させる割合で、（ｇ）水酸基と不飽和
二重結合を有する化合物の水酸基を反応させてハーフエ
ステルとし、該化合物（ｇ）の不飽和二重結合を側鎖に
導入した樹脂である。

【００２２】前記不飽和二重結合を有する酸無水物
（ｆ）の具体的な例としては、無水マレイン酸、無水イ
タコン酸、さらには無水ピロメリット酸と２−ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メ
タ）アクリレート類などの水酸基を有する不飽和化合物
との部分反応生成物等が挙げられ、これらを単独で又は
２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの
中でも、ポリマーを安定して合成できる無水マレイン酸
が好ましい。

【００２３】水酸基と不飽和二重結合を有する化合物
（ｇ）の具体例としては、２−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレー
ト等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類；ラ
クトン変性ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等が
挙げられ、これらを単独で又は２種以上を組み合わせて
使用することができる。前記したような感光性のカルボ
キシル基含有樹脂（２）〜（４）は、光硬化性に優れる
と共に、共重合モノマーの選択により様々な特徴を持た
せることができる。

【００２４】前記（５）の感光性のカルボキシル基含有
樹脂は、（ｈ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有す
る多官能エポキシ化合物のエポキシ基に、充分な光硬化
深度が得られる程度にまで光硬化性を向上させる割合
で、前記（ｄ）不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基
を反応させ、例えばエポキシアクリレートを生成させる
と共に、上記付加反応で生成した第２級の水酸基に前記
（ｅ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物をエステル化反応
させ、側鎖にカルボキシル基を導入した樹脂である。

【００２５】前記多官能エポキシ化合物（ｈ）として
は、全てのエポキシ樹脂が使用可能であるが、代表的な
例としては、ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノール
Ａ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、フェ
ノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ビスフ
ェノールＡのノボラック型、ビフェノール型、ビキシレ
ノール型、Ｎ−グリシジル型、脂環式等の公知慣用のエ
ポキシ化合物が挙げられ、これらの中で、好ましいもの
としては、多官能でかつ固形であるクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂や、ダイセル社製ＥＨＰＥ−３１５０
等が挙げられ、これらを単独で又は２種以上を組み合わ
せて用いることができる。さらに、多官能エポキシ化合
物（ｈ）としては、ビスフェノールＡ型又はビスフェノ
ールＦ型エポキシ化合物の第２級の水酸基に極性溶媒中
でエピクロルヒドリンを反応させ、多官能化したエポキ
シ樹脂を用いることもできる。

【００２６】前記多官能エポキシ化合物（ｈ）と前記不
飽和モノカルボン酸（ｄ）の反応は、エポキシ基の当量
数／カルボキシル基の当量数が０．８〜１．２、好まし
くは０．９〜１．０５となる割合で行なうことが好まし
い。エポキシ基の当量数／カルボキシル基の当量数が
０．８未満では、不飽和モノカルボン酸が残るため臭気
の問題があり、一方、上記当量数が１．２を越えた場
合、エポキシ基が多く残るため、前記飽和又は不飽和多
塩基酸無水物（ｅ）を反応させる段階でゲル化し易くな
るので好ましくない。また、生成した第２級の水酸基に
対する飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｅ）の反応比率
は、最終的に得られる樹脂の酸価が好ましくは４５〜１
６０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲内となるように調整する。一
般的には、前記多官能エポキシ化合物（ｈ）と前記不飽
和モノカルボン酸（ｄ）の反応で生成する水酸基１当量
に対し、飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｅ）の当量が
０．３以上、好ましくは０．５以上である。

【００２７】また、前記（６）の感光性のカルボキシル
基含有樹脂の合成反応は、前記多官能エポキシ化合物
（ｈ）に前記不飽和モノカルボン酸（ｄ）（又は１分子
中に少なくとも１個のアルコール性水酸基と、エポキシ
基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基
を有する化合物（ｉ））を反応させ、次いで１分子中に
少なくとも１個のアルコール性水酸基と、エポキシ基と
反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有
する化合物（ｉ）（又は不飽和モノカルボン酸（ｄ））
を反応させる第一の方法と、多官能エポキシ化合物
（ｈ）と不飽和モノカルボン酸（ｄ）と１分子中に少な
くとも１個のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応
するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する
化合物（ｉ）を同時に反応させる第二の方法とがある。
どちらの方法でもよいが、第二の方法が好ましい。前記
１分子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基と、エ
ポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反
応性基（例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸
基、第２級アミノ基等）を有する化合物（ｉ）の具体例
としては、例えば、ジメチロールプロピオン酸、ジメチ
ロール酢酸、ジメチロール酪酸、ジメチロール吉草酸、
ジメチロールカプロン酸、ジメチロールカプロン酸、
（ビス）ヒドロキシメチルフェノール、（ビス）ヒドロ
キシメチルクレゾール、ｐ−ヒドロキシフェニル−２−
メタノール、ｐ−ヒドロキシフェニル−３−プロパノー
ル、ｐ−ヒドロキシフェネチルアルコール、ジエタノー
ルアミン、ジイソプロパノールアミン等が挙げられ、好
ましくはジメチロールプロピオン酸やｐ−ヒドロキシフ
ェネチルアルコールが挙げられる。

【００２８】前記（７）の（ｊ）水酸基含有ポリマーに
（ｄ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、
生成したカルボン酸に（ｃ）エポキシ基と不飽和二重結
合を有する化合物を反応させて得られる感光性の水酸
基、カルボキシルキ含有樹脂において、水酸基含有ポリ
マー（ｊ）としてはポリビニルアセタールやセルロース
等が用いられ、飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｄ）の
反応量を調整することにより、組成物の希釈剤に水を用
いることができ、現像液は希アルカリ水溶液以外に水を
使うことが可能である。

【００２９】前記（８）の感光性のカルボキシル基含有
樹脂は、出発原料として、不飽和モノカルボン酸との反
応によって主として第２級の水酸基を生じるエポキシ樹
脂に代えて、オキセタン環を有する化合物を用い、
（ｋ）多官能オキセタン化合物に前記不飽和モノカルボ
ン酸（ｄ）を反応させ、得られた第１級の水酸基に対し
てさらに多塩基酸無水物（ｅ）を反応させることによ
り、結合部位が熱的に切断され難く、熱安定性に優れた
樹脂としたものであり、この感光性のカルボキシル基含
有樹脂を用いることによって耐熱性、熱安定性に優れた
アルカリ現像型の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製
できる。

【００３０】次に、前記一般式（Ｉ）で表わされる光重
合開始剤（Ｂ）は、一般式（II）で表されるオキシム系
のラジカル発生基と、チオキサントン骨格を有する。特
に好ましくは下記構造式（III）で表わされる化合物で
ある。

【化５】 これらの光重合開始剤（Ｂ）は、単独で用いてもよい
し、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、上記
光重合開始剤（Ｂ）の含有量は、前記カルボキシル基含
有樹脂（Ａ）１００質量部当たり、通常０．０１〜２０
質量部、好ましくは０．１〜５質量部の範囲で選ばれ
る。上記光重合開始剤（Ｂ）の配合量が、０．０１質量
部未満の場合、発生するラジカル量が少なくなり、感度
低下が著しくなるので好ましくない。また、２０質量部
を越えた場合、光重合開始剤（Ｂ）の光吸収により、厚
膜硬化性が低下し、塗膜特性も低下するので好ましくな
い。

【００３１】本発明の組成物において、上記光重合開始
剤（Ｂ）と組み合わせて用いることができる他の光重合
開始剤（Ｂ−１）は、ベンゾフェノン系、アセトフェノ
ン系、ベンゾインエーテル系、ケタール系、アシルホス
フィンオキサイド、パーオキサイド系、チタノセン系な
どのラジカル光重合開始剤である。例えば、他の光重合
開始剤（Ｂ−１）の具体例としては、ベンゾイン、ベン
ゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベ
ンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾ
インアルキルエーテル類；アセトフェノン、２，２−ジ
メトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエ
トキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエト
キシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロ
アセトフェノン等のアセトフェノン類；２−メチル−１
−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ
プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミ
ノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１
等のアミノアセトフェノン類；２−メチルアントラキノ
ン、２−エチルアントラキノン、２−ターシャリーブチ
ルアントラキノン、１−クロロアントラキノン等のアン
トラキノン類；２，４−ジメチルチオキサントン、２，
４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサント
ン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピ
ルチオキサントン等のチオキサントン類；アセトフェノ
ンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケ
タール類；ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；又は
キサントン類；（２，６−ジメトキシベンゾイル）−
２，４，４−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス
（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホス
フィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル
ジフェニルホスフィンオキサイド、エチル−２，４，６
−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィネイト等のア
シルホスフィンオキサイド類；１−（４−フェニルスル
ファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン２−オ
キシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルフ
ァニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン２−オ
キシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルフ
ァニル−フェニル）−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ
−アセタート、１−（４−フェニルスルファニル−フェ
ニル）−ブタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、
１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタ
ン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート等
のオキシム類；各種パーオキサイド類などが挙げられ、
これら公知慣用の光重合開始剤を単独で又は２種以上を
組み合わせて用いることができる。これらの光重合開始
剤（Ｂ−１）の配合割合は、前記カルボキシル基含有樹
脂（Ａ）１００質量部当たり、０．１〜５質量部の範囲
が好ましい。

【００３２】また、上記光重合開始剤（Ｂ）と組み合わ
せて用いることができる増感剤（Ｂ−２）としては、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、Ｎ，
Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペン
チル−４−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルア
ミン、トリエタノールアミン等の三級アミン類などが挙
げられ、単独であるいは２種以上を組み合わせて用いる
ことができる。さらに、可視領域でラジカル重合を開始
するチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュ
ア７８４等のチタノセン系光重合開始剤、ロイコ染料等
を硬化助剤として組み合わせて用いることができる。

【００３３】本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
に用いられる反応性希釈剤（Ｃ）は、該組成物の粘度を
調整して作業性を向上させるとともに、架橋密度を上
げ、密着性などを有する塗膜を得るために使用する液状
感光性化合物である。このような反応性希釈剤（Ｃ）と
しては、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物、例えばエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）
アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペ
ンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘ
キサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）ア
クリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリ
レート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレ
ート等；グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カル
ボン酸を付加して得られる化合物、例えばエチレングリ
コールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、
ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシ
ジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリ
シジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポ
リグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート等；そ
の他、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロイルオキシ
ジエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス−（４−
（メタ）アクリロイルオキシポリエトキシフェニル）プ
ロパン、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオ
キシプロピル（メタ）アクリレート、等の多官能モノマ
ーが挙げられ、１種又は２種以上が用いられる。これら
の多官能モノマーと共に、単官能モノマーを適当量併用
することもできる。

【００３４】単官能モノマーの例としては、２−ヒドロ
キシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロ
ピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メ
タ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アク
リレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチル−２
−ヒドロキシプロピルフタレート、３−クロロ−２−ヒ
ドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモ
ノ（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオ
キシエチルアシッドホスフェート、フタル酸誘導体のハ
ーフ（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロール（メタ）ア
クリルアミド等が挙げられる。

【００３５】これらの反応性希釈剤（Ｃ）の配合量は、
前記カルボキシル基含有樹脂（Ａ）１００質量部当たり
２〜５０質量部の範囲が好適である。反応性希釈剤
（Ｃ）の配合量が上記範囲よりも少ない場合、塗膜の硬
化不良、可撓性の低下、現像速度の遅延等を招き、一
方、上記範囲よりも多い場合には、コールドフロー、硬
化レジストの剥離速度低下等を招くので好ましくない。

【００３６】本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
は、基本的には前記した反応性希釈剤（Ｃ）を用いてい
るので有機溶剤を用いる必要はないが、前記目的の一つ
である指触乾燥性が必要な場合（接触露光の場合）、有
機溶剤を添加することもできる。有機溶剤としては、乾
燥が容易で毒性の少ない有機溶剤が選ばれる。例えば、
メタノール、エタノール、プロピルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、ブタノール、イソブタノール、α−
テルピオネール等のアルコール類；シクロヘキサノン、
メチルシクロヘキサノン、２−ブタノン、メチルイソブ
チルケトン、アセトン等のケトン類；セロソルブ、メチ
ルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチレングリコール
ジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテ
ル、エチレングリコールジブチルエーテル、カルビトー
ル、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエ
ーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジ
プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレ
ングリコールジエチルエーテル、トリプロピレングリコ
ールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；酢
酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル、酢酸シクロヘキシ
ル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソ
ルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカル
ビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル
類；及びトルエン、ミネラルスピリットなどを好適に用
いることができる。これらの有機溶剤は、単独で又は２
種以上を混合して前記アルカリ水溶液に可溶なカルボキ
シル基含有樹脂と光重合性不飽和化合物（反応性希釈
剤）を溶解し、他の成分と添加混合されて、アルカリ現
像型感光性樹脂組成物となる。

【００３７】前記１分子中に２個以上のエポキシ基を有
する多官能エポキシ化合物（Ｄ）としては、従来公知の
全ての多官能エポキシ化合物を用いることができ、例え
ば、ジャパンエポキシレジン（株）製のエピコート８２
８、エピコート８３４、エピコート１００１、エピコー
ト１００４、大日本インキ化学工業（株）製のエピクロ
ン８４０、エピクロン８５０、エピクロン１０５０、エ
ピクロン２０５５、東都化成（株）製のエポトートＹＤ
−０１１、ＹＤ−０１３、ＹＤ−１２７、ＹＤ−１２
８、住友化学工業（株）製のスミ−エポキシＥＳＡ−０
１１、ＥＳＡ−０１４、ＥＬＡ−１１５、ＥＬＡ−１２
８（何れも商品名）等のビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂；ジャパンエポキシレジン（株）製のエピコートＹＬ
９０３、大日本インキ化学工業（株）製のエピクロン１
５２、エピクロン１６５、東都化成（株）製のエポトー
トＹＤＢ−４００、ＹＤＢ−５００、住友化学工業
（株）製のスミ−エポキシＥＳＢ−４００、ＥＳＢ−７
００（何れも商品名）等のブロム化エポキシ樹脂；ジャ
パンエポキシレジン（株）製のエピコート１５２、エピ
コート１５４、大日本インキ化学工業（株）製のエピク
ロンＮ−７３０、エピクロンＮ−７７０、エピクロンＮ
−６８０、エピクロンＮ−６９５、エピクロンＮ−８６
５、東都化成（株）製のエポトートＹＤＣＮ−７０１、
ＹＤＣＮ−７０４、日本化薬（株）製のＥＰＰＮ−２０
１、ＥＯＣＮ−１０２５、ＥＯＣＮ―１０２０，ＥＯＣ
Ｎ−１０４Ｓ、ＲＥ−３０６、住友化学工業（株）製の
スミ−エポキシＥＳＣＮ−１９５Ｘ、ＥＳＣＮ−２２０
（何れも商品名）等のノボラック型エポキシ樹脂；大日
本インキ化学工業（株）製のエピクロン８３０、ジャパ
ンエポキシレジン社製のエピコート８０７、東都化成
（株）製のエポトートＹＤＦ−１７０、ＹＤＦ−１７
５、ＹＤＦ−２００４（何れも商品名）等のビスフェノ
ールＦ型エポキシ樹脂；東都化成（株）製のエポトート
ＳＴ−２００４、ＳＴ−２００７、ＳＴ−３０００（何
れも商品名）等の水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂；ジャパンエポキシレジン（株）製のエピコート６０
４、東都化成（株）製のエポトートＹＨ−４３４、住友
化学工業（株）製のスミ−エポキシＥＬＭ−１２０（何
れも商品名）等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂；ダ
イセル化学工業（株）製のセロキサイド２０２１（商品
名）等の脂環式エポキシ樹脂；ジャパンエポキシレジン
（株）製のＹＬ−９３３、日本化薬（株）製のＥＰＰＮ
−５０１、ＥＰＰＮ−５０２（何れも商品名）等のトリ
ヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂；ジャパンエ
ポキシレジン（株）製のＹＬ−６０５６、ＹＸ−４００
０、ＹＬ−６１２１（何れも商品名）等のビキシレノー
ル型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの
混合物；日本化薬（株）製のＥＢＰＳ−２００、旭電化
工業（株）製のＥＰＸ−３０、大日本インキ化学工業
（株）製のＥＸＡ−１５１４（何れも商品名）等のビス
フェノールＳ型エポキシ樹脂；ジャパンエポキシレジン
（株）製のエピコート１５７Ｓ（商品名）等のビスフェ
ノールＡノボラック型エポキシ樹脂；ジャパンエポキシ
レジン（株）製のエピコートＹＬ−９３１（商品名）等
のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂；日産化学
（株）製のＴＥＰＩＣ、高融点タイプのＴＥＰＩＣ−Ｈ
（何れも商品名）等の複素環式エポキシ樹脂；日本油脂
（株）製のブレンマーＤＧＴ（商品名）等のジグリシジ
ルフタレート樹脂；東都化成（株）製のＺＸ−１０６３
（商品名）等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹
脂；新日鉄化学（株）製のＥＳＮ−１９０、ＥＳＮ−３
６０、大日本インキ化学工業（株）製のＨＰ−４０３
２、ＥＸＡ−４７５０、ＥＸＡ−４７００（何れも商品
名）等のナフタレン基含有エポキシ樹脂；大日本インキ
化学工業（株）製のＨＰ−７２００、ＨＰ−７２００Ｈ
（何れも商品名）等のジシクロペンタジエン骨格を有す
るエポキシ樹脂；日本油脂（株）製のＣＰ−５０Ｓ、Ｃ
Ｐ−５０Ｍ（何れも商品名）等のグリシジルメタアクリ
レート共重合系エポキシ樹脂；さらにシクロヘキシルマ
レイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキ
シ樹脂などの１分子中に２個以上のエポキシ基を有する
化合物などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で用
いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてよい。

【００３８】これらの多官能エポキシ化合物（Ｄ）の配
合量は、前記カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基
１当量当たり、エポキシ基が０．６〜２．０当量、好ま
しくは、１．０〜１．８当量である。これらの多官能エ
ポキシ化合物（Ｄ）は、パターン形成された塗膜を熱硬
化させることにより、硬化塗膜の耐熱性、耐薬品性、密
着性、鉛筆硬度などの諸特性を向上させることができ
る。多官能エポキシ化合物の添加量が、０．６当量未満
の場合、カルボキシル基が残り、電気絶縁性、耐熱性が
得られ難くなるので好ましくなく、一方、２．０当量を
越えた場合、現像性の低下、現像ライフの低下が起こり
好ましくない。

【００３９】また、上記カルボキシル基とエポキシ基の
反応促進剤として、アミン類、ジシアンジアミド、尿素
誘導体、メラミン、Ｓ−トリアジン化合物、グアナミン
化合物、２−エチル−４−メチルイミダゾール等のイミ
ダゾール化合物及びその誘導体、フェノール化合物等の
公知のエポキシ硬化促進剤を併用することもできる。

【００４０】さらに本発明の感光性樹脂組成物には、特
性を向上させるために無機及び／又は有機フィラー
（Ｅ）を添加することもできる。無機フィラーとしては
硫酸バリウム、チタン酸バリウム、微粉状酸化ケイ素、
無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、タルク、ク
レー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミ
ニウム、水酸化アルミニウム、雲母粉等の公知慣用の無
機充填剤が使用できる。その使用量は、本発明の感光性
樹脂組成物全体の０〜６０質量％の割合が好ましく、特
に好ましくは５〜４０質量％である。有機フィラーとし
ては、エポキシ系、ゴム系、アクリル系、ウレタン系、
ポリイミド系、ポリアミド系の物が使用でき、１０μｍ
以下の粒径のものが好ましく、またその使用量は本発明
の感光性樹脂組成物全体の０〜３０質量％の割合が好ま
しい。

【００４１】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに必要
に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・
グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、
クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラッ
ク、ナフタレンブラックなどの公知慣用の着色剤、ハイ
ドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｔｅ
ｒｔ−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジ
ン等の公知慣用の重合禁止剤、アスベスト、オルベン、
ベントン、モンモリロナイト等の公知慣用の増粘剤、シ
リコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤及び／又は
レベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリア
ゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤のよ
うな公知慣用の添加剤類を配合することができる。

【００４２】以上のような成分組成を有するアルカリ現
像型感光性樹脂組成物からなるレジスト材料は、必要に
応じて塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディ
ップコート法、フローコート法、ロールコート法、バー
コーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の
方法により塗布し、例えば約６０〜１００℃の温度で感
光性樹脂組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥（仮乾
燥）させることにより、タックフリーの塗膜を形成でき
る。また、上記感光性樹脂組成物をプラスチックフィル
ム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったも
のを基材上に張り合わせることにより、樹脂絶縁層を形
成する。その後、接触方式（又は非接触方式）により、
パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性
光線により露光して硬化させ、未露光部をアルカリ水溶
液（例えば０．３〜３％炭酸ソーダ水溶液）により現像
してレジストパターンが形成される。その後、さらに諸
特性の向上のために、紫外線の照射及び／又は加熱（例
えば、約１２０〜１８０℃で０．５〜１時間程度）によ
って充分な仕上げ硬化を行ない、硬化塗膜を得る。

【００４３】ここで、塗膜を光硬化させるための照射光
源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、キセノンランプ又はメタルハライドランプ
が適当である。その他、レーザー光線なども露光用活性
光源として利用し、直接描画することができる。また、
上記現像に用いられる希アルカリ水溶液としては、水酸
化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸
カリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類な
どのアルカリ水溶液が使用でき、特に、炭酸ナトリウム
が好ましい。

【００４４】

【実施例】以下に合成例、実施例及び比較例を示して本
発明について具体的に説明するが、本発明が以下の実施
例に限定されるものでないことは言うまでもない。な
お、以下において「部」及び「％」とあるのは、特に断
りのない限り全て「質量部」及び「質量％」を表わす。

【００４５】合成例１ 温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えた
三口フラスコに、メチルメタアクリレート２５０部とメ
タアクリル酸４３部とジエチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート３００部を仕込み、触媒としてアゾ
ビスイソブチロニトリルを加え、撹拌しながら８０℃で
１０時間反応させてカルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）の
不揮発分は５０％、固形分の酸価は９５．４ｍｇＫＯＨ
／ｇであった。

【００４６】合成例２ 温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えた
フラスコに、溶媒としてジプロピレングリコールモノメ
チルエーテル３２５．０部を１１０℃まで加熱し、メタ
クリル酸１７４．０部、ε−カプロラクトン変性メタク
リル酸（平均分子量３１４）１７４．０部、メタクリル
酸メチル７７．０部、ジプロピレングリコールモノメチ
ルエーテル２２２．０部、及び重合触媒としてｔ−ブチ
ルパーオキシ２−エチルヘキサノエート（日本油脂
（株）製パーブチルＯ）１２．０部の混合物を３時間か
けて滴下し、さらに１１０℃で３時間攪拌し重合触媒を
失活させて、カルボキシ基含有樹脂を得た。この樹脂溶
液を冷却後、ダイセル化学工業（株）製サイクロマーＡ
２００［前記一般式（２）において、Ｒ⁵がＣＨ₂を表わ
し、Ｒ⁶がＨを表わす化合物］２８９．０部、トリフェ
ニルフォスフィン３．０部、ハイドロキノンモノメチル
エーテル１．３部を加え、１００℃に昇温し、攪拌する
ことによってエポキシ基の開環付加反応を行い、感光性
のカルボキシル基含有樹脂（Ａ−２）を得た。このよう
にして得られた感光性のカルボキシ基含有樹脂（Ａ−
２）は、重量平均分子量（Ｍｗ）が１５，０００で、か
つ、不揮発分が５７％、固形物の酸価が７９．８ｍｇＫ
ＯＨ／ｇであった。なお、得られた感光性のカルボキシ
ル基含有樹脂の重量平均分子量は、（株）島津製作所製
ポンプＬＣ−６ＡＤと昭和電工（株）製カラムＳｈｏｄ
ｅｘ（登録商標）ＫＦ−８０４、ＫＦ−８０３、ＫＦ−
８０２を三本つないだ高速液体クロマトグラフィーによ
り測定した（以下、同様）。

【００４７】合成例３ 温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えた
三口フラスコに、メチルメタアクリレート２００部、グ
リシジルメタアクリレート１４２部、ジエチレングリコ
ールモノエチルエーテルアセテート３００部を仕込み、
触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを加え、撹拌し
ながら８０℃で１０時間反応させた後、メタアクリル酸
８８部、トリフェニルホスフィン２．０部、安定剤とし
てハイドロキノン０．２部を計りとり滴下ロートで滴下
し、８０℃で１６時間反応させ、さらにテトラヒドロ無
水フタル酸１４０部を添加し、８０℃で５時間反応させ
感光性のカルボキシル基含有樹脂（Ａ−３）を得た。得
られ感光性のたカルボキシル基含有樹脂（Ａ−３）の不
揮発分は６５％、固形分の酸価は９１ｍｇＫＯＨ／ｇで
あった。

【００４８】合成例４ 温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えた
三口フラスコに、ＳＭＡ３０００（アーコケミカル社製
の無水マレイン酸とスチレンの共重合体）４１０部をジ
エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート４０
０部に溶解し、２−ヒドロキシエチルメタアクリレート
８０部、触媒としてピリジン３部、安定剤としてハイド
ロキノン０．２部を計りとり滴下ロートで滴下し、１０
０℃で１０時間反応させた。その後、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル４０部を添加し、１００℃で８時
間反応させ感光性のカルボキシル基含有樹脂（Ａ−４）
を得た。得られた感光性のカルボキシル基含有樹脂（Ａ
−４）の不揮発分は５６％、固形分の酸価は１０７ｍｇ
ＫＯＨ／ｇであった。

【００４９】合成例５ クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のエピクロンＮ−
６９５（大日本インキ化学工業（株）製、エポキシ当量
＝２２０）２２０部を攪拌機及び還流冷却器を備えた四
つ口フラスコに入れ、ジエチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート２１４部を加え、加熱溶解した。次
に、重合禁止剤としてハイドロキノン０．１部と、反応
触媒としてトリフェニルホスフィン２．０部を加えた。
この混合溶液を９５〜１０５℃に加熱し、アクリル酸７
２部を徐々に滴下し、反応液の酸価が２ｍｇＫＯＨ／ｇ
以下になるまで、約１８時間反応させた。この反応液
に、テトラヒドロ無水フタル酸１０６部を加え、さらに
８時間反応させ、冷却後、取り出し感光性のカルボキシ
ル基含有樹脂（Ａ−５）を得た。このようにして得られ
た感光性のカルボキシル基含有樹脂（Ａ−５）は、不揮
発分６５％、固形分の酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量
平均分子量（Ｍｗ）３，５００であった。

【００５０】合成例６ 温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えた
三口フラスコに、ヒドロキシプロピルメチルセルロース
ヘキサヒドロフタレート（酸価１３５ｍｇＫＯＨ／ｇ）
２０８部とジエチレングリコールモノエチルエーテルア
セテート４００部を仕込み、撹拌しながら８０℃に加熱
して溶解物を得た。さらに、グリシジルメタアクリレー
ト１７．８部、トリフェニルホスフィン０．５部、安定
剤としてハイドロキノン０．２部を滴下し、５時間反応
させ、感光性の水酸基、カルボキシル基含有樹脂（Ａ−
６）を得た。このようにして得られた感光性の水酸基、
カルボキシル基含有樹脂（Ａ−６）の不揮発分は３５
％、固形分の酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、二重結合等
量は１８００であった。

【００５１】実施例１ 合成例１で得られたカルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
１００部に（Ｂ）成分として前記構造式（III）のオキ
シム系光重合開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカル
ズ社製）１．５部、（Ｃ）成分のジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート２０部、エポキシ化合物（Ｄ）と
してビキシレノール型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシ
レジン（株）製、ＹＸ−４０００）１０部及びフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＲＥ
３０６）３部、エポキシ硬化促進剤（潜在性硬化密着付
与剤）としてジシアンジアミド（ＤＩＣＹ）０．２部及
びメラミン３部、着色剤（フタロシアニングリーン）
１．０部、消泡剤（信越化学工業（株）製：ＫＳ−６
６）１部、沈降性硫酸バリウム８０部を配合し、３本ロ
ールミルで混合分散させることにより、アルカリ現像型
感光性樹脂組成物を調製した。

【００５２】実施例２ 実施例１において、カルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
１００部に代えて、合成例２の感光性のカルボキシル基
含有樹脂（Ａ−２）１００部を用いること以外は、実施
例１と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を
調製した。

【００５３】実施例３ 実施例１において、カルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
１００部に代えて、合成例３の感光性のカルボキシル基
含有樹脂（Ａ−３）１００部を用いること以外は、実施
例１と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を
調製した。

【００５４】実施例４ 実施例１において、カルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
１００部に代えて、合成例４の感光性のカルボキシル基
含有樹脂（Ａ−４）１００部を用いること以外は、実施
例１と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を
調製した。

【００５５】実施例５ 実施例１において、カルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
１００部に代えて、合成例５の感光性のカルボキシル基
含有樹脂（Ａ−５）１００部を用いること以外は、実施
例１と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を
調製した。

【００５６】実施例６ 実施例１において、カルボキシル基含有樹脂（Ａ−１）
１００部に代えて、合成例６の感光性のカルボキシル基
含有樹脂（Ａ−６）１００部を用いること以外は、実施
例１と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を
調製した。

【００５７】実施例７ 実施例３において、（Ｂ−１）成分として２−メチル−
１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリ
ノプロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカ
ルズ（株）製：イルガキュアー９０７、以下イルガキュ
アー９０７と称す。）を３部追加したこと以外は、実施
例３と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を
調製した。

【００５８】実施例８ 実施例３において、（Ｂ−２）成分として４，４´−ビ
スジエチルアミノベンゾフェノンを０．５部追加したこ
と以外は、実施例３と同様にして、アルカリ現像型感光
性樹脂組成物を調製した。

【００５９】実施例９ 実施例５において、（Ｂ−２）成分としてジエチルチオ
キサントンを０．５部追加したこと以外は、実施例５と
同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を調製し
た。

【００６０】実施例１０ 実施例１において、（Ａ）成分のカルボキシル基含有樹
脂（Ａ−１）に代えて、（Ａ−７）日本化薬社製ＺＦＲ
−１１２４（ビスフェノールＦ型エポキ樹脂の第２級の
水酸基に極性溶媒下でエピクロルヒドリンを反応させ多
官能化したエポキシ化合物に、アクリル酸を付加し、生
成した第２級の水酸基に二塩基酸無水物としてテトラヒ
ドロ無水フタル酸を付加したもの、酸価１１０ｍｇＫＯ
Ｈ／ｇ）を用いた以外、実施例１と同様にして、アルカ
リ現像型感光性樹脂組成物を調製した。

【００６１】比較例１ 実施例１において、（Ｂ）成分を用いずに、それに代え
てイルガキュアー９０７を１６部用いること以外は、実
施例１と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物
を調製した。

【００６２】比較例２ 実施例２において、（Ｂ）成分を用いずに、それに代え
てイルガキュアー９０７を１．５部用いること以外は、
実施例２と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成
物を調製した。

【００６３】比較例３ 実施例８において、（Ｂ）成分を用いずに、それに代え
てイルガキュアー９０７を１６部用いること以外は、実
施例８と同様にして、アルカリ現像型感光性樹脂組成物
を調製した。

【００６４】比較例４ 実施例９において、（Ｂ）成分を用いずに、それに代え
てイルガキュアー９０７）を１６部用い、（Ｂ−２）成
分のジエチルチオキサントンの配合量を１．０部に変え
たこと以外は、実施例９と同様にして、アルカリ現像型
感光性樹脂組成物を調製した。上記各実施例及び各比較
例の処方を表１及び表２にまとめて示す。

【表１】

【００６５】

【表２】

【００６６】次に、このようにして調製したアルカリ現
像型感光性樹脂組成物を、スクリーン印刷法により銅ス
ルーホール・プリント配線板の全面に塗布し、その塗膜
を熱風循環炉内において８０℃で２０分間乾燥した後、
フォトマスクを介して波長３６５ｎｍの紫外線をオーク
製作所（株）製積算光量計を用いて２００ｍＪ／ｃｍ ²
の光量で照射し、光硬化させた後、１％炭酸ナトリウム
水溶液の現像液にて２ｋｇ／ｃｍ²のスプレー圧で６０
秒間現像した後、１５０℃に設定した熱風循環式硬化炉
内で６０分間熱硬化させることによりソルダーレジスト
パターンを形成した。但し、実施例６に関しては、光硬
化させた後、０．４％炭酸ナトリウム水溶液で、２ｋｇ
／ｃｍ²のスプレー圧で６０秒間現像した後、１５０℃
に設定した熱風循環式硬化炉内で６０分間熱硬化させる
ことによりソルダーレジストパターンを形成した。

【００６７】こうして得られたアルカリ現像型感光性樹
脂組成物及びそれを用いて形成したソルダーレジストパ
ターンの諸特性について、以下に示す試験を行なった。
その評価結果を表３及び表４に示す。

【表３】

【００６８】

【表４】 上記表３及び表４に示す結果から明らかなように、本発
明に係るアルカリ現像型感光性樹脂組成物は、解像性、
指触乾燥性に優れ、少量の光重合開始剤の配合量（実施
例５と比較例４参照。イルガキュアー９０７の標準量の
約１／１０）で優れた光硬化深度が得られ、高精細なパ
ターンを描け、さらに光重合開始剤量が少なくてすむた
め、加熱硬化時のミストの発生が少なく、従って環境に
悪影響を及ぼすことがなく、さらに部品実装時に発生す
るガスを低減でき、クラック耐性及び電気絶縁性に優れ
た高信頼性のプリント配線基板を提供できることを確認
できた。なお、表３及び表４に示す試験内容と評価方法
は以下のとおりである。

【００６９】乾燥後の指触乾燥性：アルカリ現像型感光
性樹脂組成物を銅スルーエッチング回路基板にスクリー
ン印刷で塗布し、熱風循環式乾燥炉を用いて８０℃で２
０分間乾燥したものをテストピースとし、指で塗布面を
強く押し、粘着性を調査し、塗膜の状態を以下の基準で
判定した。 ◎：全くベタツキや指紋跡が認められないもの。 ○：表面に僅かにベタツキと指紋跡がみられるもの。 △：表面に顕著なベタツキと指紋跡がみられるもの。 ×：表面が完全にベタツク状態のもの。

【００７０】ホットタックフリー性：アルカリ現像型感
光性樹脂組成物を銅スルーエッチング回路基板にスクリ
ーン印刷で塗布し、熱風循環式乾燥炉を用いて８０℃で
１５分間乾燥し、放冷後、さらに印刷面を下にして８０
℃で２０分間水平乾燥したものをテストピースとし、塗
膜の状態を以下の基準で目視判定した。 ◎：全く傷やへこみが認められないもの。 ○：表面に僅かに傷やへこみがみられるもの。 △：表面に顕著な傷やへこみがみられるもの。 ×：表面が完全に傷つく状態のもの。

【００７１】感度測定：アルカリ現像型感光性樹脂組成
物を銅スルーエッチング回路基板にスクリーン印刷で塗
布し、熱風循環式乾燥炉を用いて８０℃で２０分間乾燥
した後、フォトマスクを介して、波長３６５ｎｍの紫外
線をオーク製作所（株）製の積算光量計を用いて２００
ｍＪ／ｃｍ²の光量で照射したものをテストピースと
し、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ²の現像液（炭酸ナトリウ
ム水溶液）にて６０秒間の現像を行なった後、残存塗膜
の段数を目視判定した。フォトマスクはイーストマン・
コダック社製、ステップタブレットＮｏ．２を使用し
た。

【００７２】解像性測定： ＜紫外線露光（ＵＶ）＞アルカリ現像型感光性樹脂組成
物を銅スルーエッチング回路基板にスクリーン印刷で塗
布し、熱風循環式乾燥炉を用いて８０℃で２０分間乾燥
した後、所定のフォトマスク（ライン２０μｍ〜１５０
μｍのもの）を介して、波長３６５ｎｍの紫外線をオー
ク製作所（株）製の積算光量計を用いて２００ｍＪ／ｃ
ｍ²の光量で照射したものをテストピースとし、スプレ
ー圧２ｋｇ／ｃｍ²の現像液（炭酸ナトリウム水溶液）
にて６０秒間の現像を行なった後、露光部のラインの残
存とスペースの抜け性の状態を目視判定した。 ＜レーザーダイレクトイメージング（ＬＤＩ）＞レーザ
ーに関しては、５０ｍＪ／ｃｍ²のエネルギーで１０ミ
クロンずつ幅を広くしていき露光を行なった。その後ス
プレー圧２ｋｇ／ｃｍ²の現像液（炭酸ナトリウム水溶
液）にて６０秒間の現像を行なった後、露光部のライン
の残存とスペースの抜け性の状態を目視判定した。

【００７３】ガス（ミスト）：アルカリ現像型感光性樹
脂組成物を銅スルーエッチング回路基板にスクリーン印
刷で塗布し、熱風循環式乾燥炉を用いて８０℃で２０分
間乾燥した後、波長３６５ｎｍの紫外線をオーク製作所
（株）製の積算光量計を用いて２００ｍＪ／ｃｍ²の光
量で照射し、その後１５０℃で６０分間硬化したものを
測定試料とし、試料１ｍｇをパージ＆トラップにて２４
５℃で5分間加熱し、発生した開始剤成分をガスクロマ
トグラフで定量した。

【００７４】クラック耐性試験：アルカリ現像型感光性
樹脂組成物を銅スルーエッチング回路基板にスクリーン
印刷で塗布し、熱風循環式乾燥炉を用いて８０℃で２０
分間乾燥した後、所定のフォトマスクを介して、波長３
６５ｎｍの紫外線をオーク製作所（株）製の積算光量計
を用いて２００ｍＪ／ｃｍ²の光量で照射した。その
後、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ²の現像液（炭酸ナトリウ
ム水溶液）にて６０秒間の現像を行なったものを１５０
℃で６０分間硬化し、テストピースを作製した。このテ
ストピースに対して、−４０℃で３０分間、及び＋１６
５℃で３０分間の冷熱サイクルを気相中で１０００サイ
クル行ない、塗膜の状態を以下の基準で判定した。 ◎：全くクラックが認められないもの。 ○：０〜５カ所のクラックがみられるもの。 △：６〜１５カ所のクラックがみられるもの。 ×：顕著なクラックがみられるもの。

【００７５】耐電食性試験：ＩＰＣ−Ｂ−２５のくし型
テストパターンＢを用い、クラック耐性試験と同様の手
順でテストピースを作製し、相対温度８５℃、相対湿度
８５％、直流５０Ｖ印加の条件下で５００時間の加湿試
験を行なった後の絶縁抵抗を測定した。

【００７６】ＰＣＴ耐性試験：ＩＰＣ−Ｂ−２５のくし
型テストパターンＢを用い、クラック耐性試験と同様の
手順でテストピースを作製し、１２１℃、相対湿度１０
０％、２気圧で１００時間の加湿試験を行ない、塗膜の
状態を以下の基準で目視判定した。 ◎：全く変化が認められないもの。 ○：ほんの僅か変化しているもの。 △：顕著に変化しているもの。 ×：塗膜にフクレあるいは膨潤脱落があるもの。

【００７７】密着性試験：ガス試験と同様の手順でテス
トピースを作製し、ＪＩＳ Ｄ０２０２の試験方法に従
って碁盤目状のクロスカットを入れ、次いでセロハン粘
着テープによるピーリングテストを行ない、塗膜の剥離
状態を以下の基準で目視判定した。 ◎：１００／１００で全く剥れのないもの。 ○：１００／１００でクロスカット部が少し剥れたも
の。 △：５０／１００〜９０／１００の範囲で剥がれたも
の。 ×：０／１００〜５０／１００の範囲で剥がれたもの。

【００７８】はんだ耐熱性試験：クラック耐性試験と同
じテストピースを用い、それぞれＪＩＳ Ｃ６４８１の
試験方法に従って、２６０℃のはんだ浴に１０秒間浸漬
する操作を２回行なった後、その塗膜の状態を耐無電解
金めっき性試験と同様に評価した。

【００７９】耐無電解金めっき性試験：クラック耐性試
験と同じテストピースをそれぞれ、「オウロレクトロレ
スＵＰ」（メルテックス（株）製金めっき液）を用い、
８５℃の液温で３０分間めっきを行なって０．０５μｍ
の厚さの金を析出させた後の塗膜の状態を評価した。セ
ロハン粘着テープによるピーリングテストを行ない、塗
膜の剥離状態を以下の基準で目視判定した。 ◎：１００／１００で全く剥れのないもの。 ○：１００／１００でエッジ部が少し剥れたもの。 △：５０／１００〜９０／１００の範囲で剥がれたも
の。 ×：０／１００〜５０／１００の範囲で剥がれたもの。

【００８０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のアルカリ
現像型感光性樹脂組成物は、（Ａ）１分子中に１個以上
のカルボキシル基を有するカルボキシル基含有樹脂、
（Ｃ）反応性希釈剤、及び（Ｄ）１分子中に２個以上の
エポキシ基を有するエポキシ化合物と組み合わせて、光
重合開始剤（Ｂ）として、前記一般式（Ｉ）で表わされ
る少なくとも１種の化合物を含有するため、露光の際に
照射された活性エネルギー線に対して高感度に反応し、
感光性成分（反応性希釈剤及び感光性のカルボキシル基
含有樹脂）の光重合速度が大きくなり、解像性が向上す
ると共に、指触乾燥性に優れた塗膜が得られ、しかも加
熱硬化時に発生するミストが少なく、密着性、電気絶縁
性、耐熱性等に優れたソルダーレジストを形成できると
いう効果が得られる。また、硬化塗膜の特性としては、
部品実装時に発生するガスが低減し、実装信頼性が向上
すると共に、ビルドアップ工法等で作製された基板の樹
脂絶縁層としても、冷熱衝撃試験やプレッシャークッカ
ー試験における塗膜のクラック耐性に優れるため、信頼
性の高いプリント配線基板を提供することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 7/033 Ｇ０３Ｆ 7/033 7/038 ５０１ 7/038 ５０１ Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｄ (72)発明者 松本 茂 埼玉県比企郡嵐山町大字大蔵388番地 太 陽インキ製造株式会社嵐山事業所内 Ｆターム(参考） 2H025 AA02 AA14 AA20 AB15 AC01 AC08 AD01 BC14 BC32 BC42 BC51 BC53 BC74 CA01 CA18 CA27 CA39 CA44 CB13 CB14 CB43 CB52 CC08 FA03 FA17 4J036 AA01 CA21 EA01 EA02 EA04 FA01 FB03 FB04 GA29 HA02 JA08 JA10 5E314 AA27 AA41 AA42 BB06 CC01 EE01 FF01 GG03 GG09 GG26

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ）１分子中に１個以上のカルボキシ
   ル基を有するカルボキシル基含有樹脂、（Ｂ）光重合開
   始剤として、下記一般式（Ｉ）で表わされる少なくとも
   １種の化合物、（Ｃ）反応性希釈剤、及び（Ｄ）１分子
   中に２個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合
   物を含有することを特徴とするアルカリ現像型感光性樹
   脂組成物。 【化１】
2. 【請求項２】 前記カルボキシル基含有樹脂（Ａ）が、
   １分子中に感光性の不飽和二重結合を２個以上有するカ
   ルボキシル基含有樹脂であることを特徴とする請求項１
   に記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 前記反応性希釈剤（Ｃ）が、１分子中に
   不飽和二重結合を有する液状感光性化合物であり、その
   含有量が前記カルボキシル基含有樹脂（Ａ）１００質量
   部当たり２〜５０質量部である請求項１又は２に記載の
   アルカリ現像型感光性樹脂組成物。
4. 【請求項４】 さらに無機及び／又は有機フィラー
   （Ｅ）を含有する請求項１乃至３のいずれか一項に記載
   のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
5. 【請求項５】 前記光重合開始剤（Ｂ）が下記構造式
   （III）で表わされる化合物である請求項１乃至４のい
   ずれか一項に記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。 【化２】
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の
   アルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いて、ソルダーレ
   ジスト及び／又は樹脂絶縁層を形成したプリント配線基
   板。