JP2003243733A - p型熱電変換材料の製造方法 - Google Patents

p型熱電変換材料の製造方法

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徳彦 宮下
Tomoyasu Yano
智泰 矢野
Ryuma Fuda
龍馬 附田
Isamu Yashima
勇 八島
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 粉砕した合金粉末に吸着する酸素量を抑えて
比抵抗を低くして、性能指数を大幅に向上させたp型熱
電変換材料の製造方法を得ること。 【解決手段】 ビスマス、テルル、セレン、アンチモン
および硫黄の元素からなる群より選択される少なくとも
2種以上の元素と必要に応じてドーパントとを混合、溶
融し、次いで得られた合金塊を粉砕後、該合金の粉砕粉
末をホットプレスするp型熱電変換材料の製造方法であ
って、少なくとも前記ホットプレスをヘキサン、Cn
2n+1OHまたはCn2n+2CO(nは1、2または3)
で示される溶媒の存在下で行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペルチェ効果また
はゼーベック効果を利用した熱電変換素子の原料となる
熱電変換材料の製造方法に関し、特に、粉砕およびホッ
トプレス時に特定の溶媒を存在させることにより、性能
指数を大幅に向上させたp型熱電変換材料の製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】ペル
チェ効果を利用した熱電変換素子は、加熱冷却用や温度
制御用の素子、熱電発電等の広範な用途に使用可能であ
る。
【0003】この熱電変換素子の原料となる熱電変換材
料の性能は、ゼーベック係数α[μV/K]、熱伝導率
κ[mW/cm・K]および比抵抗ρ[mΩ・cm]に
より導かれる性能指数Z[1/K]を用いて次式で評価
される。
【0004】Z=α2 /(ρ・κ)
【0005】この式により求められる性能指数Zが大き
いほど、熱電変換材料は高性能である。したがって、こ
の式より、熱電変換材料の高性能化の(すなわち性能指
数Zを大きくする)ためには、ゼーベック係数αを高く
し、かつ比抵抗ρおよび熱伝導率κを共に小さくするこ
とが必要である。
【0006】ところで、ビスマス(Bi)、テルル(T
e)、セレン(Se)、アンチモン(Sb)および硫黄
(S)元素からなる群より選択された少なくとも2種以
上の元素を含有する合金に適当なドーパントを添加した
p型およびn型熱電変換材料は、高い性能指数を有する
熱電変換材料として知られている。
【0007】この熱電変換材料の製造方法の一つとし
て、Bi、Te、Se、SbおよびS粉末とドーパント
を所定量秤量した粉末を混合、溶融して合金塊を得、該
合金塊を粉砕して合金粉末とした後、焼結させるものが
ある。
【0008】この焼結方法として、ホットプレス焼結、
常圧焼結、真空焼結、ガス圧焼結、プラズマ焼結、熱間
等方加圧(HIP)等が採用されるが、中でもへき開に
よるクラックが入りにくく、機械的強度に優れた焼結体
が得られるホットプレス焼結が有効である。
【0009】ホットプレス焼結により製造されたp型熱
電変換材料の性能指数Zとして3.0×10-3-1程度
のものが得られている。一般的に、熱電変換材料の性能
指数Zは高ければ高いほどよい。例えば、電子クーラへ
の使用やパーソナルコンピュータのCPU(Central Pr
ocessing Unit)冷却用への使用については、p型熱電
変換材料の場合、3.0×10-3-1程度の値を有する
ものであれば、実用上問題なく使用することが可能であ
る。
【0010】しかしながら、発振波長を一定に制御する
ために0.01℃以下の精度で温度制御を必要とする光
通信用半導体レーザへの使用、フォトレジスト液、メッ
キ液、各種表面処理液などの半導体製造工程における液
温度管理、各種材料や部品の恒温保持や温度試験、およ
び遺伝子や微生物培養における培養液温度管理に必要な
電子恒温槽への使用、そして、半導体製造工程での超精
密空気温湿制御装置における精密な温度制御用への使用
にp型熱電変換材料を用いる場合には、その性能指数Z
が3.0×10-3-1では十分とはいえず、さらなる性
能指数Zの改善が望まれていた。
【0011】ところが、上述した従来のホットプレス焼
結を用いたp型熱電変換材料の製造方法では、性能指数
Zが3.0×10-3-1を有するp型熱電変換材料を得
ることはできたが、さらにそれ以上の性能指数Zを有す
るp型熱電変換材料を得ることは困難であった。すなわ
ち、ホットプレス焼結を用いたp型熱電変換材料の製造
方法のさらなる改良が必要である。
【0012】本発明は上述した事情より成されたもので
あり、粉砕した合金粉末に吸着する酸素量を抑えること
により比抵抗を低くして、性能指数を大幅に向上させた
p型熱電変換材料の製造方法を提供することを目的とす
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、検討の結
果、混合、溶融して得られた合金塊を粉砕してからホッ
トプレスするまでの間の処理に、特定の溶媒を存在させ
ることによって、上記目的が達成し得ることを知見し
た。
【0014】本発明は、上記知見に基づきなされたもの
で、ビスマス、テルル、セレン、アンチモンおよび硫黄
の元素からなる群より選択される少なくとも2種以上の
元素と必要に応じてドーパントとを混合、溶融し、次い
で得られた合金塊を粉砕後、該合金の粉砕粉末をホット
プレスするp型熱電変換材料の製造方法であって、少な
くとも前記ホットプレスはヘキサン、Cn2n+1OHま
たはCn2n+2CO(nは1、2または3)で示される
溶媒の存在下で行うことを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明のp型熱電変換材料
の製造方法を詳細に説明する。本発明では、熱電変換材
料の構成元素としてビスマス(Bi)、テルル(T
e)、セレン(Se)、アンチモン(Sb)および硫黄
(S)の少なくとも2種以上の元素が用いられる。
【0016】また、p型熱電変換材料のキャリア濃度の
制御や安定化のために、必要に応じてドーパントを用い
てもよい。このようなドーパントとしては、Seおよび
Teを挙げることができる。
【0017】これら熱電変換材料の構成元素および必要
に応じてドーパントを所定量秤量したものを配合する。
この配合物をアルゴンやアルゴンと水素との混合ガスな
どの非酸化性ガス雰囲気下で、原料の融点よりも高い温
度に加熱して溶融させる。例えば、原料にSbが含まれ
る場合には、670℃〜720℃の温度範囲で、0.5
〜2時間溶融する。この溶融させた状態で混合した後、
冷却して合金塊を得る。
【0018】次に、得られた合金塊をヘキサン、Cn
2n+1OHまたはCn2n+2CO(nは1、2または3)
で示される溶媒中で粗砕きを行う。さらに、振動ミル等
を用いる粉砕方法において上記溶媒の存在下で機械粉砕
を行い、平均粒径1〜20μm、好ましくは1〜10μ
mの合金粉末とする。
【0019】ここで、上記Cn2n+1OHまたはCn
2n+2CO(nは1、2または3)で示される溶媒とは、
メタノール、エタノール、プロパノール、アセトアルデ
ヒド、アセトン、メチルエチルケトンである。
【0020】その後、得られた粉砕粉末を粉砕時に用い
た溶媒に浸しながら、ステンレス製の篩(ふるい)で、
粉末ができる限り空気に触れないように分級を行い、粗
粒粉末や微粒粉末を除去し、粉末の粒度を揃える。
【0021】次に、粒度を揃えられた合金粉末を上記溶
媒の存在下でホットプレスする。ホットプレスは、アル
ゴンやアルゴンと水素との混合ガスなどの非酸化性ガス
雰囲気で行うことが望ましい。また、ホットプレスを行
う温度範囲は500〜600℃、圧力範囲は20〜40
MPa、そして時間は0.3〜5時間の間の条件で実施
されることが望ましい。
【0022】以上、説明してきたように、溶融した合金
塊の粉砕からホットプレスまでの処理をヘキサン、Cn
2n+1OHまたはCn2n+2CO(nは1、2または
3)で示される溶媒中で行うことにより、合金粉末に酸
素が吸着することを抑制し、焼成により得られるp型熱
電変換材料中に酸素が固溶することを防止することがで
きる。その結果、p型熱電変換材料中のキャリア濃度が
高くなり、比抵抗が小さくなるので、性能指数Zの高い
p型熱電変換材料を得ることができる。
【0023】このようにして得られたp型熱電変換材料
の焼結体は、具体的にはテルル化ビスマス(Bi2
3)、セレン化ビスマス(Bi2Se3)、テルル化ア
ンチモン(Sb2Te3)、セレン化アンチモン(Sb2
Se3)、イオウ化ビスマス(Bi 23)、イオウ化ア
ンチモン(Sb23)等、またはこれらを複数組み合わ
せた固溶体である。
【0024】これらのp型熱電変換材料は、n型熱電変
換材料と組み合わされて、冷却や発熱、発電を行う熱電
変換素子として用いられる。そして、この熱電変換素子
は、金属電極と接合して熱電変換モジュールとされる。
この熱電変換モジュールは、ペルチェ効果を利用して各
種熱機関や工場の廃熱からの電力変換回収、小型の発電
機、構造が簡易な冷暖房システム、冷蔵庫などへの利用
に対して有効であるが、特に、本発明の方法によって製
造された高い性能指数Zを有するp型熱電変換材料を用
いた熱電変換モジュールは、光通信用半導体レーザ、半
導体製造工程における液温度管理、電子恒温槽への使
用、そして半導体製造工程での超精密空気温湿制御装置
における精密な温度制御用への使用に有用である。
【0025】
【実施例】以下、実施例等に基づき本発明を具体的に説
明する。
【0026】〔実施例1および比較例1〕テルル化ビス
マス(Bi2 Te3 )とテルル化アンチモン(Sb2
3 )とを20:80(モル比)の合金比となるよう
に、Te、Bi、Sbのフレーク(いずれも純度が4N
(99.99%)の高純度試薬)を秤量した。これら秤
量した材料は黒鉛ルツボにて、アルゴンガス(99%)
と水素ガス(1%)の混合ガス雰囲気中において、69
0℃で1時間溶融、混合する。その後、室温付近まで自
然冷却し、目的組成の合金塊を作製した。
【0027】この合金塊をn−ヘキサンの溶媒中で粗砕
きした後に、振動ミルにてn−ヘキサン中で10時間粉
砕し、粉砕粉末を篩によって調製した。ここで、粉砕粉
末の平均粒子径は約6μmであった。その後、上述した
n−ヘキサンの溶媒の存在下、アルゴンガス(97%)
と水素ガス(3%)の混合ガス雰囲気中において、27
MPaの圧力下、530℃で1時間ホットプレス処理を
行った。
【0028】一方、比較例の試料は、上記の室温付近ま
で自然冷却した上記組成の合金塊を、上記の実施例と同
様にn−ヘキサンの溶媒中で、粗砕きした後に、振動ミ
ルにてn−ヘキサン中で10時間粉砕し、該粉砕粉末を
篩によって調製した。その後、該粉砕粉末を乾燥機で乾
燥させて、溶媒を用いずにアルゴンガス(97%)と水
素ガス(3%)の混合ガス雰囲気中において、27MP
aの圧力下、530℃で1時間ホットプレス処理を行っ
て製造された。
【0029】以上のようにして得られたp型熱電変換材
料の焼結体試料を任意の形状に加工した後に、酸素濃
度、比抵抗、ゼーベック係数、出力因子、キャリア密
度、熱伝導率の測定、および性能指数の導出を行った。
その結果を表1に示す。なお、表1における酸素濃度
は、Niカプセル中に試料を所定量秤量し、ヘリウムガ
ス流通下、カーボンルツボ中で試料を溶融し、溶融時に
試料内から放出される酸素ガスを炭素触媒層に通して一
酸化炭素とし、該一酸化炭素量を赤外線吸収法により測
定した。
【0030】
【表1】
【0031】この表1に示されるように、比較例1の方
法で作製したp型熱電変換材料は、平均粒子径が6.4
3μmと小さく、合金粉末に吸着する酸素濃度が高くな
ってしまうためにキャリア密度が低くなっている。その
ために比抵抗が高くなり、比抵抗に反比例する出力因子
(α2/ρ)が低くなる。その結果、性能指数Zが2.
99×10-3-1程度の値となってしまう。
【0032】これに対して、実施例1の方法で作製した
p型熱電変換材料は、平均粒子径(5.67μm)が比
較例1のもの(6.43μm)よりもさらに小さいにも
かかわらず、n−ヘキサンの溶媒中で処理を行ったため
に合金粉末に吸着する酸素濃度を低く抑えることができ
たために、キャリア密度が高くなっている。そのために
比抵抗が低く、出力因子が高くなり、その結果、性能指
数Zは3.56×10 -3-1と非常に高い値となる。す
なわち、粉砕およびホットプレスを溶媒中で行う本発明
の製造方法により、製造工程中における合金粉末の大気
中の酸素との接触が避けられるために、溶媒を用いない
従来の方法によって得られた比較例1と比較して、性能
指数Zが約19%も改善される。なお、性能指数は0.
1(×10-3-1)の相違で1.5℃程度の冷却能力の
差を有する。
【0033】また、ヘキサン以外の他の溶媒Cn2n+1
OHまたはCn2n+2CO(nは1、2または3)で
も、同様に性能指数Zが向上した。さらに、(Bi2
3 20(Sb2Te3 80以外の組成の合金を、粉砕
およびホットプレス時にヘキサン、Cn2n+1OHまた
はCn2n+2CO(nは1、2または3)の溶媒中で行
った場合にも同様に性能指数Zが向上した。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明ではp型熱
電変換材料の製造において、ヘキサンやCn2n+1OH
またはCn2n+2CO(nは1、2または3)の溶媒の
存在下で粉砕およびホットプレスを行うので、材料への
酸素の吸着および固溶が抑制されることによりキャリア
密度が高くなり、その結果、良好な性能指数を有するp
型熱電変換材料を得ることができる。そして、本発明の
製造方法により得られたp型熱電変換材料は、高い性能
指数を有するので、熱電変換素子としてそのペルチェ効
果を利用して、より精密な温度制御を必要とする分野に
適用することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 附田 龍馬 埼玉県上尾市原市1333−2 三井金属鉱業 株式会社総合研究所内 (72)発明者 八島 勇 埼玉県上尾市原市1333−2 三井金属鉱業 株式会社総合研究所内 Fターム(参考) 4K018 AA40 BA20 BB04 EA02 KA32

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ビスマス、テルル、セレン、アンチモン
    および硫黄の元素からなる群より選択される少なくとも
    2種以上の元素と必要に応じてドーパントとを混合、溶
    融し、次いで得られた合金塊を粉砕後、該合金の粉砕粉
    末をホットプレスするp型熱電変換材料の製造方法であ
    って、 少なくとも前記ホットプレスはヘキサン、Cn2n+1
    HまたはCn2n+2CO(nは1、2または3)で示さ
    れる溶媒の存在下で行うことを特徴とするp型熱電変換
    材料の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記ホットプレスは、非酸化性ガス雰囲
    気で行うことを特徴とする請求項1に記載のp型熱電変
    換材料の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記合金の粉砕粉末の平均粒子径は、1
    〜20μmであることを特徴とする請求項1または2に
    記載のp型熱電変換材料の製造方法。
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