JP2003077983A - ウエハ搬送具及びウエハ搬送システム - Google Patents
ウエハ搬送具及びウエハ搬送システムInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ウエハの検査を行う場合には、カセットＣ内か
らウエハＷを一枚ずつ自動的に取り出して検査している
が、例えば、半導体素子の製造過程で発生した割れウエ
ハは口径が足りずカセットＣ内に収納することができ
ず、ひいては割れウエハの検査を行うことができないた
め、手作業で割れウエハをメインチャック上に載置して
検査を行わざるを得なかった。 【解決手段】ウエハ搬送具１１は、割れウエハを載せた
状態で、真空吸着機構を有するピンセット及びメインチ
ャックを介してアンロードテーブルと検査位置との間で
搬送されるもので、表面中央部に形成された第１の吸着
用溝１１１と、ピンセットの開口部に対応させて形成さ
れ且つ第１の吸着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１
１２と、裏面にメインチャックの吸着用溝に対応させて
形成された第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用溝１
１１と第２の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通孔１
１４とを有する。
らウエハＷを一枚ずつ自動的に取り出して検査している
が、例えば、半導体素子の製造過程で発生した割れウエ
ハは口径が足りずカセットＣ内に収納することができ
ず、ひいては割れウエハの検査を行うことができないた
め、手作業で割れウエハをメインチャック上に載置して
検査を行わざるを得なかった。 【解決手段】ウエハ搬送具１１は、割れウエハを載せた
状態で、真空吸着機構を有するピンセット及びメインチ
ャックを介してアンロードテーブルと検査位置との間で
搬送されるもので、表面中央部に形成された第１の吸着
用溝１１１と、ピンセットの開口部に対応させて形成さ
れ且つ第１の吸着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１
１２と、裏面にメインチャックの吸着用溝に対応させて
形成された第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用溝１
１１と第２の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通孔１
１４とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置等の
検査装置に好適に用いられるウエハ搬送具及びウエハ搬
送システムに関し、更に詳しくは、割れウエハ等の不定
形なウエハを検査する際に用いられるウエハ搬送具及び
ウエハ搬送システムに関する。
検査装置に好適に用いられるウエハ搬送具及びウエハ搬
送システムに関し、更に詳しくは、割れウエハ等の不定
形なウエハを検査する際に用いられるウエハ搬送具及び
ウエハ搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子をウエハ状態のまま検査する
検査装置としてプローブ装置が広く知られている。この
プローブ装置は、例えば図６の（ａ）、（ｂ）に示すよ
うに、定形ウエハＷ’を搬送するローダ室１と、ローダ
室１から引き渡された定形ウエハＷ’の電気的特性検査
を行うプローバ室２とを備えて構成されている。ローダ
室１には、定形ウエハＷ’が収納されたカセットＣを載
置するカセット収納部３と、定形ウエハＷ’をローダ室
１へ搬送する搬送アーム（ピンセット）４と、ピンセッ
ト４を介して定形ウエハＷ’を搬送する過程でそのオリ
フラを基準にしてプリアライメントするサブチャック５
とが配設されている。また、プローバ室２には、ピンセ
ット４からプリアライメント後の定形ウエハＷ’を載置
し且つＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動する検査用の載置台
（メインチャック）６と、メインチャック６上の定形ウ
エハＷ’を正確に位置合わせする位置合わせ機構（アラ
イメント機構）７と、アライメント機構７による位置合
わせ後の定形ウエハＷ’の電極パッドと電気的に接触す
るプローブ８Ａを有するプローブカード８とが配設され
ている。プローブカード８はプローバ室２の上面を形成
するヘッドプレート２Ａに固定されている。
検査装置としてプローブ装置が広く知られている。この
プローブ装置は、例えば図６の（ａ）、（ｂ）に示すよ
うに、定形ウエハＷ’を搬送するローダ室１と、ローダ
室１から引き渡された定形ウエハＷ’の電気的特性検査
を行うプローバ室２とを備えて構成されている。ローダ
室１には、定形ウエハＷ’が収納されたカセットＣを載
置するカセット収納部３と、定形ウエハＷ’をローダ室
１へ搬送する搬送アーム（ピンセット）４と、ピンセッ
ト４を介して定形ウエハＷ’を搬送する過程でそのオリ
フラを基準にしてプリアライメントするサブチャック５
とが配設されている。また、プローバ室２には、ピンセ
ット４からプリアライメント後の定形ウエハＷ’を載置
し且つＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動する検査用の載置台
（メインチャック）６と、メインチャック６上の定形ウ
エハＷ’を正確に位置合わせする位置合わせ機構（アラ
イメント機構）７と、アライメント機構７による位置合
わせ後の定形ウエハＷ’の電極パッドと電気的に接触す
るプローブ８Ａを有するプローブカード８とが配設され
ている。プローブカード８はプローバ室２の上面を形成
するヘッドプレート２Ａに固定されている。
【０００３】上記アライメント機構７は、図６の
（ａ）、（ｂ）に示すように、下ＣＣＤカメラ７Ａ及び
上ＣＣＤカメラ７Ｂとを備え、制御装置の制御下で駆動
する。下ＣＣＤカメラ７Ａはメインチャック６に付設さ
れ、プローブカード８のプローブ８Ａを下方から撮像す
る。上ＣＣＤカメラ７Ｂはアライメントブリッジ７Ｃの
中央に配設され、メインチャック６上の定形ウエハＷ’
を上方から撮像する。撮像されたプローブ８Ａ及び定形
ウエハＷ’は表示装置９のモニタ画面９Ａに表示され
る。また、アライメントブリッジ７Ｃは、プローブ室２
の上方にＹ方向に沿って配設されたガイドレール７Ｄ、
７Ｄに従ってプローブ室２の最奥部（図６の（ｂ）の上
部）からプローブセンタまで移動する。更に、メインチ
ャック６には下ＣＣＤカメラ７Ａの上方まで進退動可能
なターゲット７Ｅが付設され、下ＣＣＤカメラ７Ａでプ
ローブ８Ａの針先を撮像して針先の高さを求めた後、こ
のターゲット７Ｅを介して下ＣＣＤカメラ７Ａと上ＣＣ
Ｄカメラ７Ｂの光軸を一致させ、この時のメインチャッ
ク６の位置を定形ウエハＷ’とプローブ８Ａ間の位置合
わせを行う際の基準位置として使用する。
（ａ）、（ｂ）に示すように、下ＣＣＤカメラ７Ａ及び
上ＣＣＤカメラ７Ｂとを備え、制御装置の制御下で駆動
する。下ＣＣＤカメラ７Ａはメインチャック６に付設さ
れ、プローブカード８のプローブ８Ａを下方から撮像す
る。上ＣＣＤカメラ７Ｂはアライメントブリッジ７Ｃの
中央に配設され、メインチャック６上の定形ウエハＷ’
を上方から撮像する。撮像されたプローブ８Ａ及び定形
ウエハＷ’は表示装置９のモニタ画面９Ａに表示され
る。また、アライメントブリッジ７Ｃは、プローブ室２
の上方にＹ方向に沿って配設されたガイドレール７Ｄ、
７Ｄに従ってプローブ室２の最奥部（図６の（ｂ）の上
部）からプローブセンタまで移動する。更に、メインチ
ャック６には下ＣＣＤカメラ７Ａの上方まで進退動可能
なターゲット７Ｅが付設され、下ＣＣＤカメラ７Ａでプ
ローブ８Ａの針先を撮像して針先の高さを求めた後、こ
のターゲット７Ｅを介して下ＣＣＤカメラ７Ａと上ＣＣ
Ｄカメラ７Ｂの光軸を一致させ、この時のメインチャッ
ク６の位置を定形ウエハＷ’とプローブ８Ａ間の位置合
わせを行う際の基準位置として使用する。
【０００４】また、プローバ室２にはテストヘッドＴが
旋回可能に配設され、このテストヘッドＴがプローブカ
ード８と図示しないインターフェース部を介して電気的
に接続し、テストヘッドＴ及びプローブ８Ａを介してテ
スタからの信号を定形ウエハＷ’の電極パッドへ送信
し、定形ウエハＷ’に形成された複数の半導体素子（チ
ップ）の電気的特性検査を行う。
旋回可能に配設され、このテストヘッドＴがプローブカ
ード８と図示しないインターフェース部を介して電気的
に接続し、テストヘッドＴ及びプローブ８Ａを介してテ
スタからの信号を定形ウエハＷ’の電極パッドへ送信
し、定形ウエハＷ’に形成された複数の半導体素子（チ
ップ）の電気的特性検査を行う。
【０００５】また、ローダ室１にはウエハ収納テーブル
（以下、「アンロードテーブル」と称す。）１０が設け
られ、このアンロードテーブル１０はローダ室１の正面
において出し入れ操作可能になっている。そして、アン
ロードテーブル１０は例えばモニタウエハＷ’’を検査
する場合に用いられる。
（以下、「アンロードテーブル」と称す。）１０が設け
られ、このアンロードテーブル１０はローダ室１の正面
において出し入れ操作可能になっている。そして、アン
ロードテーブル１０は例えばモニタウエハＷ’’を検査
する場合に用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、所定口
径の定形ウエハの検査を行う場合には、カセット載置部
３のカセットＣ内から定形ウエハＷ’を一枚ずつ自動的
に取り出して検査しているが、例えば、半導体素子の製
造過程で発生した割れウエハは口径が足りずカセットＣ
内に収納することができず、ひいては割れウエハの検査
を行うことができないため、プローバ室２を開放して手
作業で割れウエハをメインチャック６上に載置して検査
を行わざるを得なかった。また、検査を行うウエハは例
えば円形状等に限定された定形ウエハＷ’であるため、
定形ウエハＷ’以外の割れウエハやその他の不定形ウエ
ハの検査を行うことができず、上述のように割れウエハ
等の不定形ウエハを手作業でメインチャック６上に載置
して検査を行わざるを得なかった。また、従来のプロー
ブ装置を駆動制御するソフトウエアは手作業に対応して
いないため、メインチャック６から割れウエハ等の不定
形ウエハを手作業で回収する際の安全性も必ずしも十分
なものではなかった。
径の定形ウエハの検査を行う場合には、カセット載置部
３のカセットＣ内から定形ウエハＷ’を一枚ずつ自動的
に取り出して検査しているが、例えば、半導体素子の製
造過程で発生した割れウエハは口径が足りずカセットＣ
内に収納することができず、ひいては割れウエハの検査
を行うことができないため、プローバ室２を開放して手
作業で割れウエハをメインチャック６上に載置して検査
を行わざるを得なかった。また、検査を行うウエハは例
えば円形状等に限定された定形ウエハＷ’であるため、
定形ウエハＷ’以外の割れウエハやその他の不定形ウエ
ハの検査を行うことができず、上述のように割れウエハ
等の不定形ウエハを手作業でメインチャック６上に載置
して検査を行わざるを得なかった。また、従来のプロー
ブ装置を駆動制御するソフトウエアは手作業に対応して
いないため、メインチャック６から割れウエハ等の不定
形ウエハを手作業で回収する際の安全性も必ずしも十分
なものではなかった。
【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、割れウエハ等の不定形ウエハであってもウ
エハ収納テーブルに不定形ウエハを収納するだけでウエ
ハ収納テーブルとメインチャック（検査用の載置台）と
のだ間で不定形ウエハを自動搬送し、安全性に優れたウ
エハ搬送具及びウエハ搬送システムを提供することを目
的としている。
れたもので、割れウエハ等の不定形ウエハであってもウ
エハ収納テーブルに不定形ウエハを収納するだけでウエ
ハ収納テーブルとメインチャック（検査用の載置台）と
のだ間で不定形ウエハを自動搬送し、安全性に優れたウ
エハ搬送具及びウエハ搬送システムを提供することを目
的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のウエハ搬送具は、不定形ウエハを載せた状態で、真空
吸着機構を有する搬送アーム及び検査用載置台を介して
ウエハ収納テーブルと検査位置との間で搬送されるウエ
ハ搬送具であって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に
形成された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸
着部に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開
口する第１の貫通孔と、裏面に上記載置台の真空吸着部
に対応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の
吸着用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔
とを有することを特徴とするものである。
のウエハ搬送具は、不定形ウエハを載せた状態で、真空
吸着機構を有する搬送アーム及び検査用載置台を介して
ウエハ収納テーブルと検査位置との間で搬送されるウエ
ハ搬送具であって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に
形成された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸
着部に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開
口する第１の貫通孔と、裏面に上記載置台の真空吸着部
に対応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の
吸着用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔
とを有することを特徴とするものである。
【０００９】本発明の請求項２に記載のウエハ搬送具
は、請求項１に記載の発明において、上記第１の吸着用
溝は、同心円状に形成された複数の環状溝と、これらの
環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有することを特徴と
するものである。
は、請求項１に記載の発明において、上記第１の吸着用
溝は、同心円状に形成された複数の環状溝と、これらの
環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有することを特徴と
するものである。
【００１０】本発明の請求項３に記載のウエハ搬送具
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記第１の吸着用溝は、上記第２の貫通孔間を連絡する第
２の連絡溝を有することを特徴とするものである。
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記第１の吸着用溝は、上記第２の貫通孔間を連絡する第
２の連絡溝を有することを特徴とするものである。
【００１１】本発明の請求項４に記載のウエハ搬送具
は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明に
おいて、上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウエハの
向きを決める位置決め手段を設けたことを特徴とするも
のである。
は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明に
おいて、上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウエハの
向きを決める位置決め手段を設けたことを特徴とするも
のである。
【００１２】また、本発明の請求項５に記載のウエハ搬
送具は、請求項４に記載の発明において、上記ウエハ収
納テーブルの表面に上記第１の位置決め手段に対応する
第２の位置決め手段を設けたことを特徴とするものであ
る。
送具は、請求項４に記載の発明において、上記ウエハ収
納テーブルの表面に上記第１の位置決め手段に対応する
第２の位置決め手段を設けたことを特徴とするものであ
る。
【００１３】また、本発明の請求項６に記載のウエハ搬
送システムは、進退動可能なウエハ収納テーブルと、こ
のウエハ収納テーブルに収納し且つ不定形ウエハを載せ
るウエハ搬送具と、このウエハ搬送具及び上記不定形ウ
エハを一緒に吸着、保持して搬送する搬送アームと、こ
の搬送アームとの間で受け渡す上記ウエハ搬送具及び上
記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して検査のために搬
送する検査用載置台とを備えたウエハ搬送システムであ
って、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第
１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応さ
せて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の
貫通孔と、裏面に上記載置台の真空吸着部に対応させて
形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上
記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有するこ
とを特徴とするものである。
送システムは、進退動可能なウエハ収納テーブルと、こ
のウエハ収納テーブルに収納し且つ不定形ウエハを載せ
るウエハ搬送具と、このウエハ搬送具及び上記不定形ウ
エハを一緒に吸着、保持して搬送する搬送アームと、こ
の搬送アームとの間で受け渡す上記ウエハ搬送具及び上
記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して検査のために搬
送する検査用載置台とを備えたウエハ搬送システムであ
って、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第
１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応さ
せて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の
貫通孔と、裏面に上記載置台の真空吸着部に対応させて
形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上
記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有するこ
とを特徴とするものである。
【００１４】また、本発明の請求項７に記載のウエハ搬
送システムは、請求項６に記載の発明において、上記第
１の吸着用溝は、同心円状に形成された複数の環状溝
と、これらの環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有する
ことを特徴とするものである。
送システムは、請求項６に記載の発明において、上記第
１の吸着用溝は、同心円状に形成された複数の環状溝
と、これらの環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有する
ことを特徴とするものである。
【００１５】また、本発明の請求項８に記載のウエハ搬
送システムは、請求項６または請求項７に記載の発明に
おいて、上記第１の吸着用溝は上記第２の貫通孔間を連
絡する第２の連絡溝を有することを特徴とするものであ
る。
送システムは、請求項６または請求項７に記載の発明に
おいて、上記第１の吸着用溝は上記第２の貫通孔間を連
絡する第２の連絡溝を有することを特徴とするものであ
る。
【００１６】また、本発明の請求項９に記載のウエハ搬
送システムは、請求項６〜請求項８のいずれか１項に記
載の発明において、上記ウエハ搬送具の表面に上記不定
形ウエハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたこ
とを特徴とするものである。
送システムは、請求項６〜請求項８のいずれか１項に記
載の発明において、上記ウエハ搬送具の表面に上記不定
形ウエハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたこ
とを特徴とするものである。
【００１７】また、本発明の請求項１０に記載のウエハ
搬送システムは、請求項９に記載の発明において、上記
ウエハ収納テーブルの表面に上記第１の位置決め手段に
対応する第２の位置決め手段を設けたことを特徴とする
ものである。
搬送システムは、請求項９に記載の発明において、上記
ウエハ収納テーブルの表面に上記第１の位置決め手段に
対応する第２の位置決め手段を設けたことを特徴とする
ものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図５に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のウエハ搬送
具及びウエハ搬送システムはプローブ装置に好適に用い
られる。このプローブ装置自体は基本的には図６に示す
プローブ装置に準じて構成されている。そこで、以下で
は本実施形態のウエハ搬送具及びウエハ搬送システムを
中心に図６をも参照しながら説明する。
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のウエハ搬送
具及びウエハ搬送システムはプローブ装置に好適に用い
られる。このプローブ装置自体は基本的には図６に示す
プローブ装置に準じて構成されている。そこで、以下で
は本実施形態のウエハ搬送具及びウエハ搬送システムを
中心に図６をも参照しながら説明する。
【００１９】本実施形態のウエハ搬送具１１は、図１に
示すように、例えばセラミック製の平板によって形成さ
れている。このウエハ搬送具１１は、不定形ウエハ（例
えば、同図では破線部分が欠如した割れウエハ）Ｗを載
せた状態で搬送アーム（以下、「ピンセット」と称
す。）４及び検査用載置台（以下、「メインチャック」
と称す。）６を介してアンロードテーブル１０とプロー
ブ８Ａと接触する検査位置との間で搬送される。つま
り、割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せた状態で
アンロードテーブル１０に載置し、ピンセット４を介し
て割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒にメインチャ
ック６上へ移載する。メインチャック６はＸ、Ｙ、Ｚ方
向に移動してウエハ搬送具１１上の割れウエハＷの検査
を行う。検査終了後にはピンセット４を介してメインチ
ャック６からアンロードテーブル１０へ割れウエハＷを
ウエハ搬送具１１と一緒に搬送する。割れウエハＷを載
せたウエハ搬送具１１を搬送する際にはピンセット４ま
たはメインチャック６はそれぞれの真空吸着機構を介し
て割れウエハＷとウエハ搬送具１１の双方を一緒に真空
吸着する。
示すように、例えばセラミック製の平板によって形成さ
れている。このウエハ搬送具１１は、不定形ウエハ（例
えば、同図では破線部分が欠如した割れウエハ）Ｗを載
せた状態で搬送アーム（以下、「ピンセット」と称
す。）４及び検査用載置台（以下、「メインチャック」
と称す。）６を介してアンロードテーブル１０とプロー
ブ８Ａと接触する検査位置との間で搬送される。つま
り、割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せた状態で
アンロードテーブル１０に載置し、ピンセット４を介し
て割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒にメインチャ
ック６上へ移載する。メインチャック６はＸ、Ｙ、Ｚ方
向に移動してウエハ搬送具１１上の割れウエハＷの検査
を行う。検査終了後にはピンセット４を介してメインチ
ャック６からアンロードテーブル１０へ割れウエハＷを
ウエハ搬送具１１と一緒に搬送する。割れウエハＷを載
せたウエハ搬送具１１を搬送する際にはピンセット４ま
たはメインチャック６はそれぞれの真空吸着機構を介し
て割れウエハＷとウエハ搬送具１１の双方を一緒に真空
吸着する。
【００２０】上記ピンセット４の上面には複数の開口部
４Ａが形成され、これらの開口部４Ａは排気通路（図示
せず）を介して排気装置（図示せず）に接続されてい
る。また、メインチャック６の上面には複数の環状の吸
着用溝６Ａが形成され、これらの吸着用溝６Ａは排気通
路（図示せず）を介して排気装置（図示せず）に接続さ
れている。従って、割れウエハＷをピンセット４上また
はメインチャック６上に真空吸着する時には排気装置を
介して開口部４Ａまたは吸着用溝６Ａから真空引きす
る。
４Ａが形成され、これらの開口部４Ａは排気通路（図示
せず）を介して排気装置（図示せず）に接続されてい
る。また、メインチャック６の上面には複数の環状の吸
着用溝６Ａが形成され、これらの吸着用溝６Ａは排気通
路（図示せず）を介して排気装置（図示せず）に接続さ
れている。従って、割れウエハＷをピンセット４上また
はメインチャック６上に真空吸着する時には排気装置を
介して開口部４Ａまたは吸着用溝６Ａから真空引きす
る。
【００２１】上記ウエハ搬送具１１をピンセット４また
はメインチャック６上に真空吸着する際には、ウエハ搬
送具１１に形成された吸着用溝及び貫通孔が利用され
る。そこで、ウエハ搬送具１１の吸着用溝及び貫通孔に
ついて図１〜図３を参照しながら説明する。ウエハ搬送
具１１は割れのないウエハ（破線部分を含む完全なウエ
ハ）よりも大きなウエハ形状にセラミックによって形成
されている。
はメインチャック６上に真空吸着する際には、ウエハ搬
送具１１に形成された吸着用溝及び貫通孔が利用され
る。そこで、ウエハ搬送具１１の吸着用溝及び貫通孔に
ついて図１〜図３を参照しながら説明する。ウエハ搬送
具１１は割れのないウエハ（破線部分を含む完全なウエ
ハ）よりも大きなウエハ形状にセラミックによって形成
されている。
【００２２】上記ウエハ搬送具１１は、図１、図２に示
すように、表面中央部に形成された第１の吸着用溝１１
１と、ピンセット４の開口部４Ａに対応させて形成され
且つ第１の吸着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１１
２と、裏面にメインチャック６の吸着用溝６Ａに対応さ
せて形成された第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用
溝１１１と第２の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通
孔１１４とを有している。
すように、表面中央部に形成された第１の吸着用溝１１
１と、ピンセット４の開口部４Ａに対応させて形成され
且つ第１の吸着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１１
２と、裏面にメインチャック６の吸着用溝６Ａに対応さ
せて形成された第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用
溝１１１と第２の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通
孔１１４とを有している。
【００２３】即ち、第１の吸着用溝１１１は、同心円状
に形成された複数（本実施形態では６個）の環状溝１１
１Ａと、外側の４個の環状溝１１１Ａを互いに連絡する
４本の第１の連絡溝１１１Ｂとを有し、４個の環状溝１
１１Ａは４本の第１の連絡溝１１１Ｂを介して互いに連
結されている。これらの環状溝１１１Ａは欠如部分が最
も広い最小の割れウエハＷであっても確実に被覆される
領域に形成されている。割れウエハＷは最小限の大きさ
が決められており、その大きさは環状溝１１１Ａを被覆
できる大きさである。第１の連絡溝１１１Ｂは、図２の
（ａ）に示すように径方向に延ばして形成されていると
共に周方向等間隔（９０゜）を空けて形成されている。
に形成された複数（本実施形態では６個）の環状溝１１
１Ａと、外側の４個の環状溝１１１Ａを互いに連絡する
４本の第１の連絡溝１１１Ｂとを有し、４個の環状溝１
１１Ａは４本の第１の連絡溝１１１Ｂを介して互いに連
結されている。これらの環状溝１１１Ａは欠如部分が最
も広い最小の割れウエハＷであっても確実に被覆される
領域に形成されている。割れウエハＷは最小限の大きさ
が決められており、その大きさは環状溝１１１Ａを被覆
できる大きさである。第１の連絡溝１１１Ｂは、図２の
（ａ）に示すように径方向に延ばして形成されていると
共に周方向等間隔（９０゜）を空けて形成されている。
【００２４】上記第１の貫通孔１１２は、例えば図２の
（ｂ）に示すように２個ずつ対を成して８個形成され、
４対の貫通孔１１２は外側から３番目の環状溝１１１Ａ
と第１の連絡溝１１１Ｂとの４箇所の交差点を挟むよう
に配置されている。環状溝１１１Ａ、第１の連絡溝１１
１Ｂ及び第１の貫通孔１１２の関係を拡大して示したも
のが図３の（ａ）、（ｂ）である。これらの第１の貫通
孔１１２はピンセット４の開口部４Ａに対応して形成さ
れ、例えば図５に示すようにピンセット４をアンロード
テーブル１０内に挿入した時に第１の貫通孔１１２がピ
ンセット４の開口部４Ａに位置し、第１の貫通孔１１２
を介して第１の吸着用溝１１１内を真空引きするように
なっている。また、第１の吸着用溝１１１は、図２の
（ａ）、（ｂ）に示すように、外側５個の環状溝１１１
Ａを互いに連絡する第２の連絡溝１１１Ｃを有してい
る。図２の（ａ）に示すように第２の連絡溝１１１Ｃは
第１の連絡溝１１１Ｂと重ならない位置に径方向に延ば
して２本形成されている。これらの第２の連絡溝１１１
Ｃは互いに周方向１８０゜空けて一直線上に位置するよ
うに形成されている。
（ｂ）に示すように２個ずつ対を成して８個形成され、
４対の貫通孔１１２は外側から３番目の環状溝１１１Ａ
と第１の連絡溝１１１Ｂとの４箇所の交差点を挟むよう
に配置されている。環状溝１１１Ａ、第１の連絡溝１１
１Ｂ及び第１の貫通孔１１２の関係を拡大して示したも
のが図３の（ａ）、（ｂ）である。これらの第１の貫通
孔１１２はピンセット４の開口部４Ａに対応して形成さ
れ、例えば図５に示すようにピンセット４をアンロード
テーブル１０内に挿入した時に第１の貫通孔１１２がピ
ンセット４の開口部４Ａに位置し、第１の貫通孔１１２
を介して第１の吸着用溝１１１内を真空引きするように
なっている。また、第１の吸着用溝１１１は、図２の
（ａ）、（ｂ）に示すように、外側５個の環状溝１１１
Ａを互いに連絡する第２の連絡溝１１１Ｃを有してい
る。図２の（ａ）に示すように第２の連絡溝１１１Ｃは
第１の連絡溝１１１Ｂと重ならない位置に径方向に延ば
して２本形成されている。これらの第２の連絡溝１１１
Ｃは互いに周方向１８０゜空けて一直線上に位置するよ
うに形成されている。
【００２５】上記第２の吸着用溝１１３は、図２の
（ａ）、（ｂ）に示すように、第２の連絡溝１１１Ｃの
裏側に形成され、図１に示すようにウエハ搬送具１１を
メインチャック６上に載置した時にメインチャック６表
面の複数の環状の吸着用溝６Ａと交差する長さに形成さ
れている。第２の貫通孔１１４は第２の連絡溝１１１Ｃ
と外側５個の環状溝１１１Ａとの交差点にそれぞれ形成
され、メインチャック６上でウエハ搬送具１１を真空吸
着した時に第２の吸着用溝１１３及び第２の貫通孔１１
４を介して第１の吸着用溝１１１を真空引きする。
（ａ）、（ｂ）に示すように、第２の連絡溝１１１Ｃの
裏側に形成され、図１に示すようにウエハ搬送具１１を
メインチャック６上に載置した時にメインチャック６表
面の複数の環状の吸着用溝６Ａと交差する長さに形成さ
れている。第２の貫通孔１１４は第２の連絡溝１１１Ｃ
と外側５個の環状溝１１１Ａとの交差点にそれぞれ形成
され、メインチャック６上でウエハ搬送具１１を真空吸
着した時に第２の吸着用溝１１３及び第２の貫通孔１１
４を介して第１の吸着用溝１１１を真空引きする。
【００２６】また、図２の（ａ）に示すように上記ウエ
ハ搬送具１１の表面には割れウエハＷの向きを決める位
置決めライン１１５が４本形成されている。４本の位置
決めライン１１５はそれぞれ環状溝１１１Ａのやや外側
から放射状にウエハ搬送具１１の外周まで環状溝１１１
Ａの中心で交差する位置関係で延び、そのうちの１本が
オリフラ１１６の中心に直交している。従って、位置決
めライン１１５と割れウエハＷのオリフラＯが直交する
ように割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せる。ま
た、割れウエハＷのオリフラＯが欠如している場合に
は、割れウエハＷのスクラブラインの方向を位置決めラ
イン１１５の方向に合わせて割れウエハＷをウエハ搬送
具１１上に載せる。
ハ搬送具１１の表面には割れウエハＷの向きを決める位
置決めライン１１５が４本形成されている。４本の位置
決めライン１１５はそれぞれ環状溝１１１Ａのやや外側
から放射状にウエハ搬送具１１の外周まで環状溝１１１
Ａの中心で交差する位置関係で延び、そのうちの１本が
オリフラ１１６の中心に直交している。従って、位置決
めライン１１５と割れウエハＷのオリフラＯが直交する
ように割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せる。ま
た、割れウエハＷのオリフラＯが欠如している場合に
は、割れウエハＷのスクラブラインの方向を位置決めラ
イン１１５の方向に合わせて割れウエハＷをウエハ搬送
具１１上に載せる。
【００２７】また、上記ウエハ搬送具１１は上述のよう
にセラミックによってウエハ形状の即して形成され、そ
の全表面は金または金合金等の導電性に優れた材料によ
って被覆されている。この被覆処理には例えば金属蒸着
処理が用いられる。このようにウエハ搬送具１１をセラ
ミックによって形成することにより、割れウエハＷの高
温検査に対応させることができ、また、ウエハ搬送具１
１の全表面を導電性材料によって被覆することにより検
査時に割れウエハＷのグランド電位を確保することがで
きる。
にセラミックによってウエハ形状の即して形成され、そ
の全表面は金または金合金等の導電性に優れた材料によ
って被覆されている。この被覆処理には例えば金属蒸着
処理が用いられる。このようにウエハ搬送具１１をセラ
ミックによって形成することにより、割れウエハＷの高
温検査に対応させることができ、また、ウエハ搬送具１
１の全表面を導電性材料によって被覆することにより検
査時に割れウエハＷのグランド電位を確保することがで
きる。
【００２８】また、上記アンロードテーブル１０は図４
の（ａ）に示すように全体が略矩形状に形成されてい
る。このアンロードテーブル１０の表面にはウエハ搬送
具１１の位置決めライン１１５に対応する位置決め用の
矢印１０１が位置決め手段として周方向１８０゜隔てた
２箇所に刻印されている。従って、サブチャック５（図
６参照）を利用しなくてもウエハ搬送具１１の位置決め
ライン１１５を矢印１０１に位置合わせしてウエハ搬送
具１１をアンロードテーブル１０上に載せるだけで、ウ
エハ搬送具１１の向き、ひいては割れウエハＷの向きを
プリアライメントすることができる。この時、ウエハ搬
送具１１のオリフラ１１６はアンロードテーブル１０に
刻印した「ＦＬＡＴ」の位置と一致する。
の（ａ）に示すように全体が略矩形状に形成されてい
る。このアンロードテーブル１０の表面にはウエハ搬送
具１１の位置決めライン１１５に対応する位置決め用の
矢印１０１が位置決め手段として周方向１８０゜隔てた
２箇所に刻印されている。従って、サブチャック５（図
６参照）を利用しなくてもウエハ搬送具１１の位置決め
ライン１１５を矢印１０１に位置合わせしてウエハ搬送
具１１をアンロードテーブル１０上に載せるだけで、ウ
エハ搬送具１１の向き、ひいては割れウエハＷの向きを
プリアライメントすることができる。この時、ウエハ搬
送具１１のオリフラ１１６はアンロードテーブル１０に
刻印した「ＦＬＡＴ」の位置と一致する。
【００２９】上記アンロードテーブル１０の中央部には
図４の（ａ）に示すように円盤状のウエハ載置部１０２
が形成され、このウエハ載置部１０２には外径を異にす
るウエハ支持部１０２Ａが同図の（ｂ）に示すように階
段状に複数段形成されている。このウエハ載置部１０２
に外径を異にするウエハ搬送具１１または複数種の定形
ウエハ（割れのないウエハ）を載置した時に、それぞれ
のウエハ支持部１０２Ａにおいてウエハ搬送具１１また
は定形ウエハの外周縁部を支持する。また、ウエハ載置
部１０２の左右方向中央にはピンセット４が図４の
（ａ）、（ｂ）で一点鎖線で示すように出入りするアー
ム進入部１０２Ｂが前後方向に形成され、このアーム進
入部１０２Ｂの底面は最も低いウエハ支持部１０２Ａよ
りも低くなっている。尚、図４の（ａ）において、ウエ
ハ搬送具１１は斜線で示したウエハ支持部１０２Ａにお
いて支持される。
図４の（ａ）に示すように円盤状のウエハ載置部１０２
が形成され、このウエハ載置部１０２には外径を異にす
るウエハ支持部１０２Ａが同図の（ｂ）に示すように階
段状に複数段形成されている。このウエハ載置部１０２
に外径を異にするウエハ搬送具１１または複数種の定形
ウエハ（割れのないウエハ）を載置した時に、それぞれ
のウエハ支持部１０２Ａにおいてウエハ搬送具１１また
は定形ウエハの外周縁部を支持する。また、ウエハ載置
部１０２の左右方向中央にはピンセット４が図４の
（ａ）、（ｂ）で一点鎖線で示すように出入りするアー
ム進入部１０２Ｂが前後方向に形成され、このアーム進
入部１０２Ｂの底面は最も低いウエハ支持部１０２Ａよ
りも低くなっている。尚、図４の（ａ）において、ウエ
ハ搬送具１１は斜線で示したウエハ支持部１０２Ａにお
いて支持される。
【００３０】本実施形態のウエハ搬送システムは、ロー
ダ室１において進退動可能なアンロードテーブル１０
と、このアンロードテーブル１０内のウエハ搬送具１１
及び割れウエハＷを同時に吸着、保持して搬送するピン
セット４と、このピンセット４からのウエハ搬送具１１
及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持し且つ検査時に割
れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒に搬送するメイン
チャック６とを備えている。
ダ室１において進退動可能なアンロードテーブル１０
と、このアンロードテーブル１０内のウエハ搬送具１１
及び割れウエハＷを同時に吸着、保持して搬送するピン
セット４と、このピンセット４からのウエハ搬送具１１
及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持し且つ検査時に割
れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒に搬送するメイン
チャック６とを備えている。
【００３１】次に、上記ウエハ搬送システムを用いて割
れウエハＷを搬送する場合について説明する。まず、ア
ンロードテーブル１０をローダ室１正面から引き出し、
ウエハ搬送具１１をウエハ載置部１０２のウエハ支持部
１０２Ａ上に載置する。この際、ウエハ搬送具１１の位
置決めライン１１５をウエハ載置部１０２の矢印１０１
に合わせる。次いで、ウエハ搬送具１１上に割れウエハ
Ｗを載置する。この際、割れウエハＷのオリフラＯをウ
エハ搬送具１１の位置決めライン１１５と直交させる
か、割れウエハＷのスクラブラインを位置決めライン１
１５の向きに合わせて割れウエハＷのプリアライメント
を終える。割れウエハＷ及びウエハ搬送具１１のプリア
ライメントを終えた後、アンロードテーブル１０をロー
ダ室１内に収納する。
れウエハＷを搬送する場合について説明する。まず、ア
ンロードテーブル１０をローダ室１正面から引き出し、
ウエハ搬送具１１をウエハ載置部１０２のウエハ支持部
１０２Ａ上に載置する。この際、ウエハ搬送具１１の位
置決めライン１１５をウエハ載置部１０２の矢印１０１
に合わせる。次いで、ウエハ搬送具１１上に割れウエハ
Ｗを載置する。この際、割れウエハＷのオリフラＯをウ
エハ搬送具１１の位置決めライン１１５と直交させる
か、割れウエハＷのスクラブラインを位置決めライン１
１５の向きに合わせて割れウエハＷのプリアライメント
を終える。割れウエハＷ及びウエハ搬送具１１のプリア
ライメントを終えた後、アンロードテーブル１０をロー
ダ室１内に収納する。
【００３２】次いで、制御装置を介してプローブ装置を
駆動させると、ピンセット４はアンロードテーブル１０
のアーム進入部１０２Ｂ内に図４の（ａ）、（ｂ）に示
すように進入し、やや上昇すると、ウエハ搬送具１１が
ピンセット４上に載る。この状態でピンセット４の開口
部４Ａが例えば図５に示すようにウエハ搬送具１１の第
１の貫通孔１１２と一致する。尚、位置決めライン１１
５は周方向に９０゜ずつずらして形成されているため、
仮に位置決めライン１１５が９０゜（または１８０゜あ
るいは２７０゜）ずらしてプリアライメントしても図５
の一点差線で示すようにピンセット４の開口部４Ａと第
１の貫通孔１１２は一致する。引き続き、制御装置の制
御下で排気装置が駆動するとピンセット４は開口部４Ａ
を真空引きし、第１の貫通孔１１２を介して第１の吸着
溝１１１内を減圧して割れウエハＷ及びウエハ搬送具１
１をピンセット４上に一緒に吸着、固定する。割れウエ
ハＷが真空吸着されると、ピンセット４がアンロードテ
ーブル１０から後退した後、図６に示すようにその向き
を９０゜変え、プローバ室２に進出する。この時、プロ
ーバ室２内ではメインチャック６が割れウエハＷを受け
取る態勢にある。
駆動させると、ピンセット４はアンロードテーブル１０
のアーム進入部１０２Ｂ内に図４の（ａ）、（ｂ）に示
すように進入し、やや上昇すると、ウエハ搬送具１１が
ピンセット４上に載る。この状態でピンセット４の開口
部４Ａが例えば図５に示すようにウエハ搬送具１１の第
１の貫通孔１１２と一致する。尚、位置決めライン１１
５は周方向に９０゜ずつずらして形成されているため、
仮に位置決めライン１１５が９０゜（または１８０゜あ
るいは２７０゜）ずらしてプリアライメントしても図５
の一点差線で示すようにピンセット４の開口部４Ａと第
１の貫通孔１１２は一致する。引き続き、制御装置の制
御下で排気装置が駆動するとピンセット４は開口部４Ａ
を真空引きし、第１の貫通孔１１２を介して第１の吸着
溝１１１内を減圧して割れウエハＷ及びウエハ搬送具１
１をピンセット４上に一緒に吸着、固定する。割れウエ
ハＷが真空吸着されると、ピンセット４がアンロードテ
ーブル１０から後退した後、図６に示すようにその向き
を９０゜変え、プローバ室２に進出する。この時、プロ
ーバ室２内ではメインチャック６が割れウエハＷを受け
取る態勢にある。
【００３３】メインチャック６上にピンセット４が進出
すると、メインチャック６の昇降ピン（図示せず）が上
昇すると共にピンセット４での真空引きを終了してウエ
ハ搬送具１１をピンセット４から持ち上げた後、ピンセ
ット４がプローバ室２から後退すると共に昇降ピンがメ
インチャック６内に退没し、ウエハ搬送具１１がメイン
チャック６上に載り、ウエハ搬送具１１の第２の吸着用
溝１１３がメインチャック６の吸着用溝６Ａを交差す
る。そして、制御装置を介してメインチャック６の排気
装置が作動して吸着用溝６Ａを真空引きすると、ウエハ
搬送具１１の第２の貫通孔１１４を介して第１の吸着用
溝１１１内を減圧して割れウエハＷ及びウエハ搬送具１
１をメインチャック６上に一緒に吸着、固定する。
すると、メインチャック６の昇降ピン（図示せず）が上
昇すると共にピンセット４での真空引きを終了してウエ
ハ搬送具１１をピンセット４から持ち上げた後、ピンセ
ット４がプローバ室２から後退すると共に昇降ピンがメ
インチャック６内に退没し、ウエハ搬送具１１がメイン
チャック６上に載り、ウエハ搬送具１１の第２の吸着用
溝１１３がメインチャック６の吸着用溝６Ａを交差す
る。そして、制御装置を介してメインチャック６の排気
装置が作動して吸着用溝６Ａを真空引きすると、ウエハ
搬送具１１の第２の貫通孔１１４を介して第１の吸着用
溝１１１内を減圧して割れウエハＷ及びウエハ搬送具１
１をメインチャック６上に一緒に吸着、固定する。
【００３４】その後、メインチャック６がプローブセン
タへ移動すると共にアライメント機構７が作動し、アラ
イメントブリッジ７Ｃがプローブセンタへ進出する。そ
して、上ＣＣＤカメラ７Ｂで割れウエハＷを撮像し、割
れウエハＷ内の半導体素子の配列状態を自動認識し、半
導体素子の検査対象を把握した後、メインチャック６が
駆動して割れウエハＷ内の半導体素子を１個ずつあるい
は複数個ずつ検査する。
タへ移動すると共にアライメント機構７が作動し、アラ
イメントブリッジ７Ｃがプローブセンタへ進出する。そ
して、上ＣＣＤカメラ７Ｂで割れウエハＷを撮像し、割
れウエハＷ内の半導体素子の配列状態を自動認識し、半
導体素子の検査対象を把握した後、メインチャック６が
駆動して割れウエハＷ内の半導体素子を１個ずつあるい
は複数個ずつ検査する。
【００３５】割れウエハＷの検査を終えると、メインチ
ャック６は割れウエハＷの引き渡し位置へ移動し、メイ
ンチャック６の排気装置が停止すると共に昇降ピンが上
昇してウエハ搬送具１１をメインチャック６から持ち上
げる。引き続き、ピンセット４がメインチャック６と持
ち上げられたウエハ搬送具１１の間に進出する。そし
て、ピンセット４の排気装置が駆動すると共に昇降ピン
が下降してピンセット４で割れウエハＷをウエハ搬送具
１１と一緒に受け取り、検査開始時とは逆の経路を辿っ
て割れウエハＷとウエハ搬送具１１と一緒にアンロード
テーブル１０内へ戻し、一連の検査を終了する。
ャック６は割れウエハＷの引き渡し位置へ移動し、メイ
ンチャック６の排気装置が停止すると共に昇降ピンが上
昇してウエハ搬送具１１をメインチャック６から持ち上
げる。引き続き、ピンセット４がメインチャック６と持
ち上げられたウエハ搬送具１１の間に進出する。そし
て、ピンセット４の排気装置が駆動すると共に昇降ピン
が下降してピンセット４で割れウエハＷをウエハ搬送具
１１と一緒に受け取り、検査開始時とは逆の経路を辿っ
て割れウエハＷとウエハ搬送具１１と一緒にアンロード
テーブル１０内へ戻し、一連の検査を終了する。
【００３６】以上説明したように本実施形態によれば、
ローダ室１において進退動可能なアンロードテーブル１
０と、このアンロードテーブル１０に収納し且つ割れウ
エハＷを載せるウエハ搬送具１１と、このウエハ搬送具
１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持して搬送する
ピンセット４と、このピンセット４からのウエハ搬送具
１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持し且つ割れウ
エハＷをウエハ搬送具１１と一緒に検査位置まで搬送す
るメインチャック６とを備え、ウエハ搬送具１１は、表
面中央部に形成された第１の吸着用溝１１１と、ピンセ
ット４の真空吸着部に対応させて形成され且つ第１の吸
着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１１２と、裏面に
メインチャック６の真空吸着部に対応させて形成された
第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用溝１１１と第２
の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通孔１１４とを有
するため、従来のようにソフトウエアが手作業に対応し
ていなくても、アンロードテーブル１０にウエハ搬送具
１１を載せ、このウエハ搬送具１１に割れウエハＷを載
せれば、ピンセット４及びメインチャック６を介してア
ンロードテーブル１０内のウエハ搬送具１１と割れウエ
ハＷを一緒に割れウエハＷの検査位置まで自動的に搬送
し、割れウエハＷを検査した後、ピンセット４及びメイ
ンチャック６を介してウエハ搬送具１１と割れウエハＷ
をアンロードテーブル１０内に自動的に戻すことがで
き、従来のようにプローバ室２を開放して割れウエハＷ
を手作業でメインチャック６上に載置したり、メインチ
ャック６から割れウエハＷを回収する必要がなく、検査
の安全性を確保することができる。
ローダ室１において進退動可能なアンロードテーブル１
０と、このアンロードテーブル１０に収納し且つ割れウ
エハＷを載せるウエハ搬送具１１と、このウエハ搬送具
１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持して搬送する
ピンセット４と、このピンセット４からのウエハ搬送具
１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持し且つ割れウ
エハＷをウエハ搬送具１１と一緒に検査位置まで搬送す
るメインチャック６とを備え、ウエハ搬送具１１は、表
面中央部に形成された第１の吸着用溝１１１と、ピンセ
ット４の真空吸着部に対応させて形成され且つ第１の吸
着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１１２と、裏面に
メインチャック６の真空吸着部に対応させて形成された
第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用溝１１１と第２
の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通孔１１４とを有
するため、従来のようにソフトウエアが手作業に対応し
ていなくても、アンロードテーブル１０にウエハ搬送具
１１を載せ、このウエハ搬送具１１に割れウエハＷを載
せれば、ピンセット４及びメインチャック６を介してア
ンロードテーブル１０内のウエハ搬送具１１と割れウエ
ハＷを一緒に割れウエハＷの検査位置まで自動的に搬送
し、割れウエハＷを検査した後、ピンセット４及びメイ
ンチャック６を介してウエハ搬送具１１と割れウエハＷ
をアンロードテーブル１０内に自動的に戻すことがで
き、従来のようにプローバ室２を開放して割れウエハＷ
を手作業でメインチャック６上に載置したり、メインチ
ャック６から割れウエハＷを回収する必要がなく、検査
の安全性を確保することができる。
【００３７】また、本実施形態によれば、第１の吸着用
溝１１１は、同心円状に形成された６個の環状溝１１１
Ａと、これらの環状溝１１１Ａを連絡する第１の連絡溝
１１１Ｂとを有するため、ウエハ搬送アーム１１及び割
れウエハＷをピンセット４を介して搬送する際に、ピン
セット４を介して第１の貫通孔１１２から真空引きする
だけで全ての環状溝１１１Ａ及び第１の連絡溝１１１Ｂ
を確実に真空引きしてウエハ搬送具１１及び割れウエハ
Ｗの双方を確実にピンセット４上に吸着、固定すること
ができる。また、第１の吸着用溝１１１は第２の貫通孔
１１４間を連絡する第２の連絡溝１１１Ｃを有するた
め、ウエハ搬送アーム１１及び割れウエハＷをメインチ
ャック６を介して搬送する際に、メインチャック６を介
して第２の貫通孔１１４から真空引きするだけで全ての
環状溝１１１Ａ及び第１、第２の連絡溝１１１Ｂを確実
に真空引きしてウエハ搬送具１１及び割れウエハＷの双
方を確実にメインチャック６上に吸着、固定することが
できる。更に、ウエハ搬送具１１の表面に割れウエハＷ
の向きを決める位置決めライン１１５を設けると共にア
ンロードテーブル１０の表面に位置決めライン１１５に
対応する矢印１０１を設けたため、アンロードテーブル
１０内にウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを載置する
時に、これら両者１１、Ｗのプリアライメントを行うこ
とができる。
溝１１１は、同心円状に形成された６個の環状溝１１１
Ａと、これらの環状溝１１１Ａを連絡する第１の連絡溝
１１１Ｂとを有するため、ウエハ搬送アーム１１及び割
れウエハＷをピンセット４を介して搬送する際に、ピン
セット４を介して第１の貫通孔１１２から真空引きする
だけで全ての環状溝１１１Ａ及び第１の連絡溝１１１Ｂ
を確実に真空引きしてウエハ搬送具１１及び割れウエハ
Ｗの双方を確実にピンセット４上に吸着、固定すること
ができる。また、第１の吸着用溝１１１は第２の貫通孔
１１４間を連絡する第２の連絡溝１１１Ｃを有するた
め、ウエハ搬送アーム１１及び割れウエハＷをメインチ
ャック６を介して搬送する際に、メインチャック６を介
して第２の貫通孔１１４から真空引きするだけで全ての
環状溝１１１Ａ及び第１、第２の連絡溝１１１Ｂを確実
に真空引きしてウエハ搬送具１１及び割れウエハＷの双
方を確実にメインチャック６上に吸着、固定することが
できる。更に、ウエハ搬送具１１の表面に割れウエハＷ
の向きを決める位置決めライン１１５を設けると共にア
ンロードテーブル１０の表面に位置決めライン１１５に
対応する矢印１０１を設けたため、アンロードテーブル
１０内にウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを載置する
時に、これら両者１１、Ｗのプリアライメントを行うこ
とができる。
【００３８】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、第
１、第２の吸着用溝１１１、１１３及び第１、第２の貫
通孔１１２、１１４は適宜それぞれの形態を変更するこ
とができる。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、第
１、第２の吸着用溝１１１、１１３及び第１、第２の貫
通孔１１２、１１４は適宜それぞれの形態を変更するこ
とができる。
【００３９】
【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項１０に記載の
発明によれば、割れウエハ等の不定形ウエハであっても
ウエハ収納テーブルに不定形ウエハを収納するだけでウ
エハ収納テーブルとメインチャック（検査用の載置台）
とのだ間で不定形ウエハを自動搬送し、不定形ウエハを
確実且つ安全に検査することができるウエハ搬送具及び
ウエハ搬送システムを提供することができる。
発明によれば、割れウエハ等の不定形ウエハであっても
ウエハ収納テーブルに不定形ウエハを収納するだけでウ
エハ収納テーブルとメインチャック（検査用の載置台）
とのだ間で不定形ウエハを自動搬送し、不定形ウエハを
確実且つ安全に検査することができるウエハ搬送具及び
ウエハ搬送システムを提供することができる。
【図１】本発明のウエハ搬送システムの一実施形態の概
念を示す斜視図である。
念を示す斜視図である。
【図２】図１に示すウエハ搬送具を示す図で、（ａ）は
その表面を示す平面図、（ｂ）はその裏面を示す平面図
である。
その表面を示す平面図、（ｂ）はその裏面を示す平面図
である。
【図３】図２に示すウエハ搬送具の環状溝と第１の貫通
孔の関係を示す図で、（ａ）はその要部を示す平面図、
（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。
孔の関係を示す図で、（ａ）はその要部を示す平面図、
（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。
【図４】本発明のウエハ搬送システムのアンロードテー
ブルを示す図で、（ａ）はその表面を示す平面図、
（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。
ブルを示す図で、（ａ）はその表面を示す平面図、
（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。
【図５】図２に示すウエハ搬送具の第１の貫通孔と搬送
アームとの関係を示す平面図である。
アームとの関係を示す平面図である。
【図６】プローブ装置の一例を示す図で、（ａ）はその
正面の一部を破断して示す正面図、（ｂ）はその内部の
構成を示す平面図である。
正面の一部を破断して示す正面図、（ｂ）はその内部の
構成を示す平面図である。
４ 搬送アーム
６ メインチャック（検査用載置台）
１０ アンロードテーブル（ウエハ収納テーブル）
１１ ウエハ搬送具
１１１ 第１の吸着用溝
１１１Ａ 環状溝
１１１Ｂ 第１の連絡溝
１１１Ｃ 第２の連絡溝
１１２ 第１の貫通孔
１１３ 第２の吸着用溝
１１４ 第２の貫通孔
Ｗ 割れウエハ（不定形ウエハ）
Claims (10)
- 【請求項１】 不定形ウエハを載せた状態で、真空吸着
機構を有する搬送アーム及び検査用載置台を介してウエ
ハ収納テーブルと検査位置との間で搬送されるウエハ搬
送具であって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成
された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部
に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口す
る第１の貫通孔と、裏面に上記載置台の真空吸着部に対
応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着
用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを
有することを特徴とするウエハ搬送具。 - 【請求項２】 上記第１の吸着用溝は、同心円状に形成
された複数の環状溝と、これらの環状溝を連絡する第１
の連絡溝とを有することを特徴とする請求項１に記載の
ウエハ搬送具。 - 【請求項３】 上記第１の吸着用溝は、上記第２の貫通
孔間を連絡する第２の連絡溝を有することを特徴とする
請求項１または請求項２に記載のウエハ搬送具。 - 【請求項４】 上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウ
エハの向きを決める位置決め手段を設けたことを特徴と
する請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のウエハ
搬送具。 - 【請求項５】 上記ウエハ収納テーブルの表面に上記第
１の位置決め手段に対応する第２の位置決め手段を設け
たことを特徴とする請求項４に記載のウエハ搬送具。 - 【請求項６】 進退動可能なウエハ収納テーブルと、こ
のウエハ収納テーブルに収納し且つ不定形ウエハを載せ
るウエハ搬送具と、このウエハ搬送具及び上記不定形ウ
エハを一緒に吸着、保持して搬送する搬送アームと、こ
の搬送アームとの間で受け渡す上記ウエハ搬送具及び上
記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して検査のために搬
送する検査用載置台とを備えたウエハ搬送システムであ
って、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第
１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応さ
せて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の
貫通孔と、裏面に上記載置台の真空吸着部に対応させて
形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上
記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有するこ
とを特徴とするウエハ搬送システム。 - 【請求項７】 上記第１の吸着用溝は、同心円状に形成
された複数の環状溝と、これらの環状溝を連絡する第１
の連絡溝とを有することを特徴とする請求項６に記載の
ウエハ搬送システム。 - 【請求項８】 上記第１の吸着用溝は上記第２の貫通孔
間を連絡する第２の連絡溝を有することを特徴とする請
求項６または請求項７に記載のウエハ搬送システム。 - 【請求項９】 上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウ
エハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたことを
特徴とする請求項６〜請求項８のいずれか１項に記載の
ウエハ搬送システム。 - 【請求項１０】 上記ウエハ収納テーブルの表面に上記
第１の位置決め手段に対応する第２の位置決め手段を設
けたことを特徴とする請求項９に記載のウエハ搬送シス
テム。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001271059A JP4846943B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-09-06 | ウエハ搬送具及びウエハ搬送システム |
| PCT/JP2002/008474 WO2003023845A1 (fr) | 2001-09-06 | 2002-08-22 | Porte-specimen, et dispositif de transfert correspondant |
| EP02760707A EP1429379A4 (en) | 2001-09-06 | 2002-08-22 | SPECIMEN HOLDER AND CORRESPONDING TRANSFER DEVICE |
| US10/793,188 US7108471B2 (en) | 2001-09-06 | 2004-03-05 | Transporting tool for object to be tested, and object-to-be-tested transporting system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001271059A JP4846943B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-09-06 | ウエハ搬送具及びウエハ搬送システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003077983A true JP2003077983A (ja) | 2003-03-14 |
| JP4846943B2 JP4846943B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=19096615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001271059A Expired - Lifetime JP4846943B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-09-06 | ウエハ搬送具及びウエハ搬送システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7108471B2 (ja) |
| EP (1) | EP1429379A4 (ja) |
| JP (1) | JP4846943B2 (ja) |
| WO (1) | WO2003023845A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7839477B2 (en) * | 2005-12-29 | 2010-11-23 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display panel |
| KR101324711B1 (ko) | 2013-03-15 | 2013-11-05 | 쿠어스텍아시아 유한회사 | 반경 방향으로 순차적으로 배치되는 진공 공간에 진공 흡입홀이 교번하여 형성되는 웨이퍼 척 장치 |
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|---|---|---|---|---|
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| US8281674B2 (en) * | 2005-08-26 | 2012-10-09 | Camtek Ltd. | Wafer inspection system and a method for translating wafers [PD] |
| US8573077B2 (en) * | 2005-08-26 | 2013-11-05 | Camtek Ltd. | Wafer inspection system and a method for translating wafers |
| DE102005049598B4 (de) * | 2005-10-17 | 2017-10-19 | Att Advanced Temperature Test Systems Gmbh | Hybrid Chuck |
| CN102034732B (zh) * | 2009-09-30 | 2015-01-21 | 京瓷株式会社 | 吸附用构件、使用其的吸附装置及带电粒子线装置 |
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| SG11201400399UA (en) * | 2011-12-07 | 2014-04-28 | Ismeca Semiconductor Holding | A component handling assembly |
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-
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- 2001-09-06 JP JP2001271059A patent/JP4846943B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-08-22 EP EP02760707A patent/EP1429379A4/en not_active Withdrawn
- 2002-08-22 WO PCT/JP2002/008474 patent/WO2003023845A1/ja active Application Filing
-
2004
- 2004-03-05 US US10/793,188 patent/US7108471B2/en not_active Expired - Lifetime
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| US7108471B2 (en) | 2006-09-19 |
| WO2003023845A1 (fr) | 2003-03-20 |
| EP1429379A4 (en) | 2009-07-29 |
| EP1429379A1 (en) | 2004-06-16 |
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