JPH03102849A - ウェハアダプタ及び露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 小口径のウェハに適用しうる小口径ウ１ハ用アダプタに
関し、 ウェハの口径の拡大を可能とすることを目的とし、 所定口径のウェハに対応した外径寸法を有し、擬似オリ
エンテーシコンフラットを有する平板状のアダプタ本体
と、上記所定口径より小さい口径のウェハがそのオリエ
ンテーションフラットを上記擬似オリエンテーションフ
ラットと平行に位置決めされて載置されるよう上記アダ
プタ本体の上面に形成された小口径ウェハ載置部とより
構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は小口径のウェハに適用しうる小口径ウェハ用ア
ダプタに関する。

第６図は、ウェハに露光を行う一般的なウェハ露光装置
１を示す。

この露光装置１は例えば５インチウェハ専用のものであ
り、まず、収容部２内の５インチウＩハがベルト式の搬
送機構３により一枚ずつプリアライメント部４に搬送ざ
れ、ここでプリアライメントされる。

この後、ブリアライメントされた５インチウェハは、オ
ートハンド機１５により、ターンテーブル６上のウＩハ
ヂャック７上に移され、ここに位置決めして固定される
。

この後、ターンテーブル６が矢印八方向にｋ回転し、５
インチウェハが露光部８に移され、ここで露光が行われ
る。

露光が完了すると、ターンテーブル６が坏回転し、ウェ
ハチャック７は元の僚置に戻り、オートハンド機構９に
より、ウ１ハチャック１０よりベルト式の搬送機構１０
に移され、これにより、搬送されて収容部１１が収容さ
れる。

各機構部は５インチサイズのウェハに対応した寸法形状
となっている。

例えばプリアライメント部４のステージ１２は５インチ
ウェハに対応した大きさを有する。

ステージ１２の周囲には、ウェハを回動させる駆動ロー
ラ１３，ウＩハを案内するがイドローラ１４，及びウェ
ハのオリエンテーションフラットを検出する光学式のセ
ンサ１５が配設してある。

第７図は５インヂウェハがブリアライメントされた状態
を示す。

５インチウェハ１６がス゛アージ１２上に送り込まれる
と、ステージ１２の空気噴き出し孔１７より空気が噴出
し、５イチンウＩハ１６はス”アージ１２より空気浮上
した状態とされ、周縁を駆動口−ラ１３により駆動され
て、同じく周縁をガイドローラ１４により案内されてス
・アージ１２よりはみ出さないように維持されつつ回動
される。センサ１５がオリテンデーションフラット１６
ａを検出した状態で停止され、プリアライメントが完了
する。この後、５インチウＩハ１６はスアージ１２上に
真空吸着されてステージ１２上に固定される。

上記の露光装酋１では、例えばプリアライメント部４は
５インチウェハのサイズに合わせた構成となっており、
５インチより小さい例えば４インヂのウェハを使用する
ことは出来ない。

〔従来の技術〕

従来、４インチのウェハを上記の既設の５インチ専用の
露光装置１にも適用可能とする装置は無かった。

チウェハ専用の露光装置とは別に４インチウェハ専用の
露光装置を設置する必要があり、設ｉ費がかさむ。

本発明は、ウェハの口径の拡大を可能とする小口径ウェ
ハ用アダプタを提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、所定口径の・クエ八に対応した外径寸法を有
し、擬似オリエンｉ−ションフラットを有する平板状の
アダプタ本体と、 上記所定口径より小さい口径のウェハがそのオリ１ンテ
ーションフラットを上記擬似オリエンテーションフラッ
トと平行に位置決めされてｉｉされるよう上記アダプタ
本体の上面に形成された小口径ウェハａ置部とよりなる
構成である。

〔発明が解決しようとする課題〕

このため、５インチのウェハより小さい４インチのウェ
ハを使用しようとする場合には、５イン〔作用〕 アダプタは、小口径ウェハ叔置部にａ置された小口径ウ
ェハをアダプタ本体の径にまで人口径化す４る。

小口径ウェハはそのオリエンテーションフラットを擬似
オリエンテーションフラットと平行とされて載置される
ため、擬似オリエンテーションフラットの検出により、
小口径ウェハのオリエンテーションフラットを代替的に
検出することが出来、例えばアリアライメントが可能と
なる。

〔実施例〕

第１図及び第２図（Ａ），（Ｂ）は夫々本発明のの第１
実施例になる４インヂウェハ用アダプタ２０を示す。

このアダプタ２０は、４インチウェハを５インチに大口
径化するためのものであり、５インチウェハに対応した
外形寸法を有し、擬似オリエンーアーシコンフラット２
１を有し、平板状のアダプタ本体２２よりなる。

２３は４インチウェハ載置部であり、アダプタ本体２２
の上面２２ａの中央に形成してある。

この４インチウェハ載置部２３は、４インチウェハ２４
と同じ形状であり、４インチウェハ２４の厚さｔと同程
度の深さｄを有する浅い凹部であり、上面２３ａと周側
面２３ｂとを有する。周側面２３ｂは、４インチウェハ
２４のオリエンテーションフラット２４ａに対応する直
線部２３ｃを有する。このＭｍ部２３ｃは、アダプタ本
休２２の擬似オリエンテーションフラット２１と平行と
なっている。

２５は吸着用孔であり、アダプタ本体２２を貝通し、４
インチウェハ載置部２３の上面２３ａに間口して、複数
形成してある。

第６図に示す５インチウェハ用露光装置１を使用して４
インチウＩハ２４を露光するときには、上記の４インチ
ウェハ用アダプタ２０を、以下に説明するように使用す
る。

まず、第１図中、矢印２５で示すように、４インチウェ
ハ２４をアダプタ２０の４インチウＩハＩ！置部２３に
載置する。

４インチウェハ２４は、第２図中に二点１０＄１で示す
ように、直線部２３Ｇにより周方向上位置規制されてオ
リエンテーションフラット２４ａが擬似オリエンテーシ
ョンフラット２１と平行とされ、且つ載置部２３の周側
面２３ｂにより面方向上位置規制されて、載置部２３に
載置される。

この状態で、以後、５インチウェハと同様に取り扱われ
る。即ち、収容部２内に収容され、搬送機構３により搬
送ざれ、プリアライメント部４に送り込まれ、ここで、
第３図に示すようにアリアライメントされる。

即ち、前記の第７図の場合と同様に、アダプタ２０が、
ステージ１２士に空気浮上ざれた状態で、ガイドローラ
１４により案内されつつ駆動ローラ１３により回動され
、センザ１５が擬似オリエンテーション２１を前記の５
インチウェハ１６のオリエンテーションフラット１６ａ
と同様に検出する。

この検出後、アダプタ２０はステージ１２上に一時的に
吸着されて固定され、アリアライメントが完了する。

アダプタ２０に観置されている４インチウェハ２４は、
ステージ１２上でアダプタ２０と共に回動し、吸着用孔
２５を通して載置部２３上に吸着固定され、ブリアライ
メントされる。

この後、オートハンド機構５により、４インチウェハ２
４はアダプタ２０と共にスアージによりウェハチャック
７上に移される。

アダプタ２０はウェハチャック７上に直接に吸着される
。ウェハチャック７の吸引力は、吸着用孔２５を通して
ｌｉ置部２３上にも及び、４インチウェハ２４は載置部
２３上に吸着されて、５インチウェハの場合と同様に、
ウェハチャック７は固定される。

この状態でターンテーブル６が回動し、露光部８で４イ
ンチウェハ２４上に所定のパターンが露光される。

露光後、アダプタ２０はオートハンド機ＭＩＪ９により
ウェハチャック７より搬送機構１０に移され、＠柊的に
は収容部１１内に収容される。

従って、上記のアダプタ２０を使用することにより、５
インチウＩハ専用の露光装置１で、５インチより小さい
サイズである４インチウＩハを露光することが可能とな
る。

第４図は４インチウェハ用アダプタの変形例を示す。

この４インチウＩハ用アダプタ３０では、４インチウェ
ハ載置部２３Ａがアダプタ本休２２の中心より、擬似オ
リエンテーションフラット２１に近づく方向に偏倚した
部位に配設してある。

これ以外は、第１図の４インチウェハ用アダプタ２０と
同一であり、対応する部分には添字Ａを付した同一符号
を付し、その説明は省略する。

第５図は本発明の第２実施例である３インチウェハ用ア
ダプタ４０を示す。

このアダプタ４０は４インチウェハ載置部２３に代えて
３インチウェハのサイズに対応して３インチウェハ載置
部２３Ｂを有する他は、第１図に示すアダプタ２０と同
一であり、第５図中、第１図に示す構成部分と対応する
部分には添字Ｂを付した同一符号を付し、その説明を省
略する。

このアダプタ４０は、前記の５インチウェハ専用の露光
装置１を使用して３インチのウェハに露光を行うときに
使用され、３インチウェハ４１は３インチウェハ載置部
２３Ｂ上にオリエンテーションフラット４１ａを擬似オ
リエンテーションフラット２１Ｂと平行に位置規制され
て載置される。

なお、上記の実施例は、４インチ又は３インチウＬハを
これより大きい５インチに大口径化するアダプタについ
て説明したが、本発明はこれに限らず、例えば４インチ
のウェハを６インチに大口径化する場合にも適用し得る
。

また本発明のアダプタは、露光装置に限らず、検査装置
等にも適用し得る。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明によれば、小口径のウＩハを
大口径化することが出来、大口径ウェハ専用の既設の半
導体製造装置を使用して、小口径ウェハの処理を行うこ
とが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の４インチウェハ用アダプタ
を４インチウェハと併せて示す斜視図、第２図は第１図
の４インチウェハ用アダプタを示す図、 第３図は第１図のアダプタのブリアライメントを説明す
る図、 第４図は第１図のアダプタの変形例を示す図、第５図は
本発明の別の実施例の３インヂウェハ用アダプタの斜視
図、 第６図は本発明のアダプタを適用しうる５インチウェハ
露光装置の概略図、 第７図は第６図中のアリアライメント部における５イン
ヂウェハのブリアライメントを説明する図である。 図において、 １はウェハ露光装置、 ４はブリアライメント部、 １２はステージ、 １３は駆動ローラ、 １４はガイドローラ、 １５はセンサ、 １６は５インチウェハ、 １６ａ，２４ａはオリエンテーションフラット、２０．
３９は４インチウェハ用アダプタ、２１は擬似オリエン
テーションフラット、２２はアダプタ本体、 ２３は４インチウェハ載置部、 ２３ａは上面、 ２３ｂは周側面、 ２３Ｃは直線部、 ２４は４インチウェハ、 ４０は３インチウェハ用アダプタ、 ４１は３インチウェハ を示す。 Ｘ＄Ｈ月の一笑〃吐イケ１の４４ソナワＬハ用ア９”７
’タ！４４：／７’７工Ａ）！：｛ｌｌ汀１す斜視図Ｚ
３ｃ 鳥１　図の了タ７゛２のフ゛リア７４メｙＦ−を１愛８
月する図第３区 甑 も１図のアタ゛゜ノ゜タ０叉形ブグ１を示す図第４図 （Ａ） ク０ も１図中の４４ｙ７クエ八円アタ゛フ゛タをホす図第５
図 １４

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定口径のウェハに対応した外形寸法を有し、擬
   似オリエンテーションフラット（２１）を有する平板状
   のアダプタ本体（２２）と、上記所定口径より小さい口
   径のウェハ（２４）がそのオリエンテーションフラット
   （２４ａ）を上記擬似オリエンテーシヨンフラット（２
   １）と平行に位置決めされて載置されるよう上記アダプ
   タ本体の上面に形成された小口径ウェハ載置部（２３）
   とを有することを特徴とするウェハアダプタ。
2. （２）該小口径ウェハ載置部は、これに載置された小口
   径ウェハに吸引力を及ぼすべく上記小口径ウェハ載置部
   に開口して上記アダプタ本体に形成されている吸着用孔
   （２５）を有することを特徴とする請求項（１）記載の
   小口径ウェハ用アダプタ。
3. （３）請求項（１）又は（２）記載のウェハアダプタが
   位置合せ位置に載置され、該当ウェハアダプタを用いて
   ウェハ（２４）の位置決めが行われることを特徴とする
   露光装置。