JP2002358691A - 光情報記録媒体、光情報記録再生方法、光情報記録再生装置、及び光情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

光情報記録媒体、光情報記録再生方法、光情報記録再生装置、及び光情報記録媒体の製造方法

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Katsuhiko Tani
克彦 谷
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Kazunori Ito
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高速記録可能な相変化型光情報記録媒体、並
びに該光情報記録媒体の有する能力を十分に発揮できる
高速記録可能な光情報記録再生方法及び光情報記録再生
装置の提供。 【解決手段】 1)標準記録線速度Vr及び/又は最高
記録線速度Vhを示す情報を有すると共に、転位線速度
Vが、0.85Vr≦V、或いは、0.85Vh≦Vの
条件式を満足する相変化型光情報記録媒体。 2)相変化記録材料は、Ag,In,Sb,Teから成
り、これらの元素の結合配位数が、成膜後の非晶状態
と、初期化後及び情報消去後の結晶状態とで異なる相変
化型光情報記録媒体。 3)記録層がGeGaSbTeからなり、各元素の組成
比α、β、γ、δ(原子%)が、0.1≦α≦7、1≦
β≦9、61≦γ≦75、22≦δ≦30である相変化
型光情報記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光を照射
することにより記録層材料に相変化を生じさせて情報の
記録再生を行なうことができ、かつ書き換えが可能であ
る相変化型光情報記録媒体、特に、DVDの2倍速
(7.0m/s)線速度以上、CDの8倍速(9.6〜
11.2m/s)線速度以上の高線速度領域での記録が
可能な相変化型光情報記録媒体、該光情報記録媒体に対
する光情報記録再生方法及び光情報記録再生装置、並び
に該光情報記録媒体の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザー光の照射による記録、再生及び
消去が可能な光情報記録媒体の一つとして、結晶−非結
晶間又は結晶−結晶間の相転移を利用する、いわゆる相
変化型光情報記録媒体がよく知られている。特に、光磁
気記録では困難な単一ビームによるオーバーライトが容
易であり、記録再生装置側の光学系も単純であることな
どから、相変化型光情報記録媒体の需要が高まってお
り、既にCD−RW、DVD−RW、DVD−RAMな
どが商品化されている。これらの記録媒体では、より多
くの情報をより速く記録することを可能にするために、
更なる高密度化や高線速度化が期待されている。
【0003】同様に、光情報記録装置の記録速度も益々
高速化している。現在、CD系の最高記録線速度は、C
D−RがCD12倍速、CD−RWがCD10倍速とな
っており、これまでのCD−RとCD−RWの記録速度
は、常にCD−Rの方が一歩先に高速化を達成してき
た。例えば、CD−RWがCD4倍速記録のとき、CD
−Rは、CD8倍速、CD10倍速、CD12倍速とよ
り高速化を達成してきている。その結果、光情報記録装
置としては、高速対応のスピンドル、半導体レーザー、
制御系を搭載していながら、CD−RWを低速で記録し
ていた。この原因として、CD−RWディスクは、標準
的な記録線速度或いは最高記録線速度を示す情報を保有
しており、その情報を光情報記録装置が認識してから記
録するため、最高記録線速度以上の高速記録はできなか
った。また、CD−RWディスクは、最低記録線速度を
示す情報も保有しているため、その記録線速度は、最低
記録線速度と最高記録線速度をほぼ同等に満足するよう
に設計されており、光情報記録装置にとっても高速記録
でのマッチングに不安があり、実施できなかった。
【0004】相変化型光情報記録媒体においては、通
常、媒体の転位線速度が記録線速度に適合するように最
適化する必要がある。ここで、転位線速度とは次のよう
な線速度を言う。即ち、図18に示すような装置を用い
て、相変化型光情報記録媒体を種々の線速度で回転さ
せ、半導体レーザー光を相変化型光情報記録媒体の案内
溝にトラッキングしながら、半導体レーザー光照射によ
り、相変化記録層を融点以上に加熱冷却したときの光情
報記録媒体の反射率又は反射光強度を測定すると、図1
9に示すような測定結果が得られる。転位線速度とは、
この図19において、線速度増大に伴う反射率又は反射
光強度が下がり始める線速度(図中に転位線速度として
矢印で示す線速度)のことである。
【0005】特開平11−115313号公報にも詳細
に開示されているように、相変化型光情報記録媒体の転
位線速度を制御することは品質を保持する上で重要であ
る。また、同公報には、CD−RW媒体の2X〜4X
(2.4〜5.6m/s)線速度での最適な転位線速度
が2.5〜5.0m/sであることが開示されている。
しかしながら、高密度化のために、光情報記録媒体の狭
溝化、レーザー光の短波長化、レンズの高NA(開口
数)化を行なうと、光情報記録媒体の熱特性が大きく変
わり、同一の記録層材料や層構成を有する相変化型光情
報記録媒体では、転位線速度は大きく異なってしまう。
そのため、例えばDVDの2X(7.0m/s)線速度
以上、CDの8X(9.6〜11.2m/s)線速度以
上のような高密度、高線速度領域において相変化型光情
報記録媒体への記録を行なうためには、記録層材料、層
構成、プロセス条件などについて再検討し、記録線速
度、案内溝のトラックピッチ、記録装置のレーザー光波
長、NAなどの条件に合致した転位線速度を再設計する
ことが必要になる。このような背景の中で、従来のCD
−RWディスクは、その記録線速度が最低記録線速度と
最高記録線速度をほぼ同等に満足するように設計されて
いるため、その転位線速度は最高記録線速度の0.85
倍未満であって、これ以上の高速では記録できない
【0006】上記光情報記録媒体の記録層を形成するた
めの相変化記録材料としては、GeTe、GeTeS
e、GeTeS、GeSeS、GeSeSb、GeAs
Se、InTe、SeTe、SeAs、GeTe(S
n、Au、Pd)、GeTeSeSb、GeTeSb、
AgInSbTeなどの材料がある。特に、AgInS
bTe材料は、高感度でアモルファス部分の輪郭が明確
な特徴を有し、マークエッジ記録用の記録層として開発
されている(特開平3−231889号公報、特開平4
−191089号公報、特開平4−232779号公
報、特開平4−267192号公報、特開平5−345
478号公報、特開平6−166266号公報等参
照)。
【0007】特開平3−231889号公報には、Iを
I族元素、IIIをIII族元素、VをV族元素、VIをVI族元
素として、I・(III1−r)・VI型の一般組成
式で表される記録層が開示されている。しかし、このよ
うな記録層では、その繰返し記録特性は、必ずしも十分
満足のいくものではない。また、特開平4−19108
9号公報に開示された情報記録媒体に使用されている記
録層の場合、消去比の向上と高速記録とは達成される
が、繰返し記録特性に問題がある。更に、特開平1−3
03643号公報に開示された情報記録媒体に関して
は、新規な結晶構造を採ることにより、高いC/N比と
繰返し特性を有し、保存特性にも優れたものが提供でき
るとされているが、記録感度と繰返し特性が不十分であ
る。
【0008】特開平4−232779号公報に開示され
た情報記録媒体に使用されている記録層の未記録部分
(結晶化部分)の構造は、安定相(AgSbTe
と、この安定相の周囲に存在するアモルファス相とが混
在したものとなっている。このため、繰返し記録特性は
向上するものの、結晶化部に微細な結晶粒界が存在する
ことになり、ノイズ発生の原因となる。これは、記録再
生波長が780nm程度のレーザ光を使用するCD−R
W(Compact Disk−ReWritabl
e)などのように、比較的低い記録密度を有する光情報
記録媒体の記録特性には重大な悪影響を与えないが、波
長680nm以下のレーザ光を使用し、記録密度がCD
−RWの約4倍であるDVD(Digital Ver
satile Disk)−RAMや、更に高密度なD
VD−RW等の高密度記録を実現する上では障害とな
る。更に、繰返し記録特性においても問題が残ってい
る。
【0009】特開平4−267192号公報に開示され
た記録媒体に使用されている記録層の結晶化部分の構造
は、一様なアモルファス相から相分離したAgSbTe
と、その他の相(安定相又はアモルファス相)との混
相状態である。その他の相がアモルファス相である場合
には、前述した特開平4−232779号公報に開示さ
れた情報記録媒体の場合と同様な問題が生じ、その他の
相が安定結晶相である場合には、後述するように、良好
な記録特性が得られないという問題がある。
【0010】特開平5−345478号公報、特開平6
−166268号公報による場合も上記の場合と同様な
問題がある。即ち、AgInSbTe系で、或いはこれ
らを拡張したIb族元素、IIIb族元素、Vb族元素、
及びVIb族元素を有する相変化記録材料を記録層とする
光情報記録媒体については、これらを構成する元素の配
位数を規定する記録媒体に関する知見はなく、従って各
構成元素の記録材料としての機能・役割を明確にした従
来技術はなかった。このため、AgInSbTe記録層
の繰返し特性や、情報の記録及び消去感度等の具体的な
改良を理論に基づいて行なうことはなかった。
【0011】相変化型光情報記録媒体の記録層を形成す
るための相変化記録材料としては、例えば、米国特許第
3530441号明細書に開示されているように、Ge
Te、GeTeSn、GeTeS、GeSeS、GeS
eSb、GeAsSe、InTe、SeTe、SeAs
などのいわゆるカルコゲン系合金材料があげられる。更
に、安定性、高速結晶化などの向上を目的として、Ge
Te系にAu(特開昭61−219692号公報)、S
n及びAu(特開昭61−270190号公報)、Pd
(特開昭62−19490号公報)などを添加した材料
が提案されている。また、記録/消去のくり返し性能向
上を目的として、GeTeSeSb、GeTeSbの組
成比を特定した材料(特開昭62−73438号公報、
特開昭63−228433号公報)の提案などもなされ
ている。しかし、その何れも相変化型記録媒体として要
求される諸特性の全てを満足し得るものとは言えなかっ
た。特に、記録感度、消去感度の向上、オーバーライト
時の消し残りによる消去比低下の防止、及び記録部、未
記録部の長寿命化が解決すべき最重要課題となってい
る。
【0012】特開昭63−251290号公報では、結
晶状態が実質的に3元以上の多元化合物単層からなる記
録層を具備した記録媒体が提案されている。ここで実質
的に三元以上の多元化合物単層とは三元以上の化学量論
組成を持った化合物(例えばInSbTe)を記録
層中に90原子%以上含むものとされている。このよう
な記録層を用いることにより記録、消去特性の向上が図
れるとしている。しかしながら、消去比が小さく、記録
消去に要するレーザーパワーが未だ充分に低減されては
いないなどの欠点を有している。
【0013】特開平1−277338号公報には、(S
Te1−a1−y(ここで、0.4≦a≦
0.7、y≦0.2であり、MはAg、Al、As、A
u、Bi、Cu、Ga、Ge、In、Pb、Pt、S
e、Si、Sn及びZnからなる群より選ばれる少なく
とも1種である)で表される組成の合金からなる記録層
を有する光情報記録媒体が提案されている。なお、この
系の基本はSbTeである。Sbを過剰にすること
によって、高速消去、繰り返し特性を向上させており、
また、Mの添加により高速消去を促進させている。加え
て、DC光による消去比も大きいとしている。しかし、
この文献にはオーバーライト時の消去比は示されておら
ず、記録感度も不十分である。オーバーライト時の消去
比に関しては、本発明者らの検討結果では消し残りが認
められた。
【0014】特開昭60−177446号公報では、記
録層に(In1−xSb1−y(0.55≦x
≦0.80、0≦y≦0.20であり、MはAu、A
g、Cu、Pd、Pt、Al、Si、Ge、Ga、S
n、Te、Se、Biである)なる合金を用い、また、
特開昭63−228433号公報では記録層にGeTe
−SbTe−Sb(過剰)なる合金を用いている
が、何れも感度、消去比等の特性を満足するものではな
かった。
【0015】特開平4−163839号には、記録薄膜
をTeGeSb合金にNを含有させることによって形成
する光情報記録媒体が記載されており、特開平4−52
188号公報には、記録薄膜をTe−Ge−Se合金に
これら成分のうちの少なくとも一つが窒化物となってい
るものを含有させて形成する光情報記録媒体が記載され
ており、特開平4−52189号公報には、記録薄膜を
Te−Ge−Se合金にNを吸着させることによって形
成する光情報記録媒体が記載されている。
【0016】以上のように、従来の光情報記録媒体では
十分な特性を有するものは得られておらず、特に記録感
度、消去感度の向上、オーバーライト時の消し残りによ
る消去比低下の防止、並びに記録部、未記録部の長寿命
化が解決すべき最重要課題となっている。
【0017】一方、近年CD(コンパクトディスク)の
急速な普及に伴ない、一回だけ書き込みが可能な追記型
コンパクトディスク(CD−R)が開発され、市場に普
及し始めている。ところが、CD−Rでは書き込み時に
一度でも失敗すると修正不可能であるため、書き込みを
失敗したディスクは使用不能となってしまい廃棄せざる
を得ない。従って、その欠点を補った書き換え可能なコ
ンパクトディスクの実用化が待望されていた。研究開発
された一つの例として、光磁気ディスクを利用した書き
換え可能なコンパクトディスクがあるが、オーバーライ
トの困難さや、CD−ROM、CD−Rとの互換が取り
難い等といった欠点を有するため、原理的に互換確保に
有利な相変化型光ディスク(相変化型光情報記録媒体)
の実用化開発が活発化してきた。
【0018】相変化型光ディスクを用いた書き換え可能
なコンパクトディスクの研究発表例としては、古谷
(他):第4回相変化記録研究会シンポジウム講演予稿
集,70(1992)、神野(他):第4回相変化記録
研究会シンポジウム講演予稿集,76(1992)、川
西(他):第4回相変化記録研究会シンポジウム講演予
稿集,82(1992)、T.Handa(et a
l):Jpn.J.Appl.Phys.,32(19
93)、米田(他):第5回相変化記録研究会シンポジ
ウム講演予稿集,9(1993)、富永(他):第5回
相変化記録研究会シンポジウム講演予稿集,5(199
3)のようなものがある。ところが、これらは何れもC
D−ROMやCD−Rとの互換性確保、記録消去性能、
記録感度、書き換えの繰り返し可能回数、再生回数、保
存安定性等、総合性能を充分満足させるものではなク、
それらの欠点は、主に記録材料の組成、構造に起因する
消去比の低さによるところが大きかった。
【0019】このような事情から、消去比が大きく、高
感度の記録、消去に適する相変化型記録材料の開発、更
には高性能で書き換え可能な相変化型コンパクトディス
クが望まれていた。本発明者等は、上記のような欠点を
解決する新材料として、AgInSbTe系記録材料を
見出し提案してきた。その代表例としては、特開平4−
78031号公報、特開平4−123551号公報、
H.Iwasaki(et al):Jpn.J.Ap
pl.Phys,31(1992)461、井手
(他):第3回相変化記録研究会シンポジウム講演予稿
集,102(1991)、H.Iwasaki(et
al):Jpn.J.Appl.Phys.,32(1
993)5241等が挙げられる。また、1996年1
0月には、書き換え可能なコンパクトディスク(CD−
RW)の規格として、オレンジブックパートIII(ve
r1.0)が発行された。しかし、オレンジブックパー
トIII(ver1.0)は、2x線速度記録(2.4〜
2.8m/s)のCD−RWに対する規格であるため、
このような低線速度の記録では記録時間が長くかかって
しまう。このため、より高速記録の書き換え可能なコン
パクトディスクが望まれている。
【0020】一方、相変化記録における記録信号の品質
を向上させる方式としては、様々な記録補償方式が開示
されている。例えば、特開昭63−266632号公報
記載のものでは、結晶化速度の大きい記録膜を用いた場
合のPWM記録において、パルス列を用いて長いアモル
ファスマークを記録する方式が有効であるとしている。
また、特開昭63−266633号公報及び米国特許第
5150351号明細書に記載のものでは、パルス列の
先頭及び後尾のレーザーエネルギーを高めたり、照射時
間を長くすることにより、マークエッジの位置揺らぎを
抑えることでジッタの改良を行っている。また、従来、
特公昭63−29336号公報に記載されているよう
に、光ディスク記録装置においてレーザー光などの光ス
ポットを光ディスク上に照射しながら走査し、レーザー
光などの光スポットを情報信号で強弱変調して光ディス
クに情報信号を記録する方法は知られており、また、光
ディスクに記録された情報信号を再生し、その再生信号
の振幅や記録マークの長さをモニターすることにより記
録光パワーや記録光パルスの幅などの記録条件を最適に
調整し、設定する方法も知られている。
【0021】また、特開平9−138946公報、特開
平9−138947号公報、特開平9−219021号
公報には、図15に示すように、情報記録媒体にPWM
記録することにより情報の記録を行う際に、変調後の信
号幅がnT(Tはクロック時間、nは正の整数)である
0信号の記録又は書き換えを行う時の記録波をパワーレ
ベルeの連続電磁波とし、変調後信号幅がnTである1
信号の記録又は書き換えを行う時の記録波パルス列を、
時間幅xとパワーレベルaを持つパルス部fpと、合計
でTの時間幅を持つパワーレベルbの低レベルパルス部
とパワーレベルcの高レベルパルスとが交互にデューテ
ィ比yで計(n−n′)回連続するマルチパルス部mp
と、時間幅zとパワーレベルdを持つパルス部opを有
する電磁波パルス列とし、x、y、zを0.5T≦x≦
2.0T、0.4≦y≦0.6、0.5T≦z≦1.0
Tとし、n′をn′≦nの正の整数とし(a及びc)≧
e≧(b及びd)とすることが開示されている。
【0022】従来の技術により、大幅な、記録信号品質
とオーバーライト繰り返し時の安定性の向上、信頼性、
汎用性の向上は図られた。しかし、近年、書換え型情報
記録媒体、特に相変化型光情報記録媒体においては、一
つの情報記録媒体で、複数の線速度で記録(マルチスピ
ード記録)できる技術が求められている。また、記録速
度の高速化が求められており、高速記録に有利なCAV
記録も要求されるようになってきた。これらの技術的な
要求に対して、上記の特開平9−138946号公報、
特開平9−138947号公報、特開平9−21902
1号公報に記載の技術では対応できなかった。例えば、
CD線速度4xで記録できるfp、mp、opを持つ記
録ストラテジで、8x速度記録、及び10x速度記録し
た場合に、8x速度記録、及び10x速度記録では十分
な信号品質が得られなかった。更には、CD線速度4x
記録した部分への10x速度記録のオーバーライト、或
いはCD線速度10x記録した部分への4x速度記録の
オーバーライトといった異なる記録線速度によるオーバ
ーライトでの信号品質の劣化が問題となっている。ま
た、CLV記録した部分へのCAV記録でのオーバーラ
イト、或いはCAV記録した部分へのCLV記録でのオ
ーバーライトといった異なる記録方式によるオーバーラ
イトでの信号品質の劣化も問題となっている。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点を解決すべくなされたもので、高速記録可能
な相変化型光情報記録媒体、並びに該光情報記録媒体の
有する能力を十分に発揮できる高速記録可能な光情報記
録再生方法及び光情報記録再生装置の提供を第1の目的
とする。また、繰返し特性、記録・消去感度、保存特性
に優れた光情報記録媒体及び該光情報記録媒体の製造方
法の提供を第2の目的とする。更に、上記した総合性能
を完璧に満足し、より高速での記録と高温での保存・使
用信頼性を確保し得る相変化型光ディスクの獲得が従来
の課題であり、加えて、マルチスピードCLV記録及び
CAV記録によるオーバーライト信号品質の安定性が向
上した、汎用的記録ストラテジで記録可能な光情報記録
媒体の獲得が従来の課題であることから、上記従来技術
における問題を全て解消するため、高線速領域で記録・
消去を行うのに最適な光情報記録媒体を提供することを
第3の目的とし、高速記録・消去における信頼性の良好
な光情報記録媒体を提供することを第4の目的とし、こ
の光情報記録媒体において、マルチスピードCLV記録
及びCAV記録が可能な光情報記録媒体を提供すること
を第5の目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】上記課題は、次の1)〜
32)の発明(以下、本発明1〜32という)によって
解決される。 1) 同心円又は螺旋状の案内溝を有する透明基板上に
少なくとも相変化型記録層を有する光情報記録媒体にお
いて、該記録媒体に、標準記録線速度Vr及び/又は最
高記録線速度Vhを示す情報を有すると共に、相変化型
記録層に形成されているランド部及び/又はグルーブ部
に対し、記録層材料を溶融できるエネルギーを照射しつ
つ、線速度を増大させながら走査した際、光情報記録媒
体の反射率が前記エネルギーの照射前に比べて低下する
線速度を転位線速度Vとした場合に、半導体レーザー光
を該案内溝のグルーブ部又はランド部にフォーカスして
DC照射した際の転位線速度Vが、0.85Vr≦V、
或いは、0.85Vh≦Vの条件式を満足することを特
徴とする光情報記録媒体。 2) 前記転位線速度Vが、0.9Vr≦V≦2.0V
r、或いは、0.9Vh≦V≦2.0Vhであることを
特徴とする1)記載の光情報記録媒体。 3) 前記転位線速度Vに係る条件式を満たす光情報記
録媒体であるか否かが判別できるような情報を有する
1)又は2)記載の光情報記録媒体。 4) 前記相変化型記録層を全面結晶化(初期化)する
際、その初期化線速度Viが、0.5Vr≦Vi≦1.
6Vr、或いは、0.5Vh≦Vi≦1.6Vhの条件
式を満足することを特徴とする1)〜3)の何れかに記
載の光情報記録媒体。 5) 前記案内溝のトラックピッチが0.2〜1.4μ
mであり、半導体レーザー光を前記案内溝のグルーブ部
又はランド部にフォーカスしてDC照射した際の転位線
速度Vが6〜24m/sであることを特徴とする1)〜
4)の何れかに記載の光情報記録媒体。 6)前記相変化型記録層は、未記録状態において、主に
立方格子結晶構造であることを特徴とする1)〜5)の
何れかに記載の光情報記録媒体。 7) 前記相変化型記録層は、 SbχTe100−χ(40≦χ≦80、χは原子%) の組成式で表される材料を含むことを特徴とする1)〜
6)の何れかに記載の光情報記録媒体。 8) 前記相変化型記録層は、添加元素として、Ga、
Ge、Ag、In、Bi、C、N、O、Si、Sから選
ばれた少なくとも一種の元素を含むことを特徴とする
7)記載の光情報記録媒体。 9) 前記相変化型記録層は、 (Ag,Ge)α(In,Ga,Bi)βSbγTeδ の組成式で表される材料で構成されており、式中、(A
g,Ge)及び(In,Ga,Bi)は、それぞれ括弧
内の少なくとも一種の元素を含むことを意味し、α、
β、γ、δは原子%であり、0.1≦α≦7、1≦β≦
15、61≦γ≦85、20≦δ≦30であることを特
徴とする1)〜8)の何れかに記載の光情報記録媒体。 10) nを正の整数、Tを信号の変調に用いるクロッ
クの周期に相当するクロック時間とした場合に、変調後
の信号幅がnTである0信号の記録又は書き換えを行な
う時の記録光をパワーレベルeの連続光とし、変調後の
信号幅がnTである1信号の記録又は書き換えを行なう
時の記録光のパルス列を、時間幅xとパワーレベルaを
持つパルス部fpと、合計でTの時間幅を持つパワーレ
ベルbの低レベルパルスとパワーレベルcの高レベルパ
ルスとが交互に出て、デューティ比yで計〔n−n′〕
回(ここで、n′はn′≦nである正の整数)連続する
マルチパルス部mpと、時間幅zとパワーレベルdを持
つパルス部epとからなるレーザー波パルス列とし、更
に、前記x、y、zをそれぞれ0.125T≦x≦2.
0T、0.125≦y≦0.875、0.125T≦z
≦1.0Tとし、(a及びc)>e>(b及びd)とす
る記録条件において、標準記録線速度Vr又は最高記録
線速度Vhより高速で記録できるように、同心円又は螺
旋状の案内溝を有する透明基板上に形成された第一保護
層、相変化型記録層、第二保護層、反射層、樹脂層の各
層の厚さが調整されていることを特徴とする1)〜9)
の何れかに記載の光情報記録媒体。 11) 層構成として、基板上に少なくとも第一保護
層、相変化型記録層、第二保護層、第三保護層、反射
層、樹脂保護層を有することを特徴とする1)〜10)
の何れかに記載の光情報記録媒体。 12) 前記第三保護層の構成材料が、DCスパッタリ
ング法で形成可能なものであることを特徴とする11)
記載の光情報記録媒体。 13) 前記第三保護層の構成材料が、C、Si、Si
C、SiN、SiO、SiOから選ばれた少なくとも
一種の物質を含むことを特徴とする11)又は12)記
載の光情報記録媒体。 14) 前記相変化型記録層は、全面結晶化処理の線速
度が転位線速度Vよりも遅いことを特徴とする1)〜1
3)の何れかに記載の光情報記録媒体。 15) あらかじめ決められた転位線速度Vに係る条件
式を満たす光情報記録媒体であるか否かについての固有
の情報を保有する相変化型光情報記録媒体を光情報記録
再生装置にセットし、該光情報記録媒体から前記固有の
情報を再生し、その情報から前記光情報記録媒体の最高
記録線速度Vhより大きい記録線速度で記録可能である
か否かを判断し、可能である場合に、最高記録線速度V
hより大きい記録線速度で記録再生することを特徴とす
る光情報記録再生方法。 16) あらかじめ決められた転位線速度Vに係る条件
式を満たす光情報記録媒体であるか否かについての固有
の情報を保有する相変化型光情報記録媒体から前記固有
の情報を再生し、その情報から前記光情報記録媒体の最
高記録線速度Vhより大きい記録線速度で記録可能であ
るか否かを判断し、可能である場合に、最高記録線速度
Vhより大きい記録線速度で記録再生するように設定さ
れていることを特徴とする光情報記録再生装置。 17) 電磁波の照射により非晶相と結晶相の間を変化
する相変化記録材料からなる記録層を設けた相変化型光
情報記録媒体において、前記相変化記録材料は、Ag,
In,Sb,Teから成り、これらの元素の結合配位数
が、成膜後の非晶状態と、初期化後及び情報消去後の結
晶状態とで異なることを特徴とする光情報記録媒体。 18) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
Ag及び/又はInのTeに対する結合配位数におい
て、非晶状態での結合配位数より結晶状態での結合配位
数の方が大きいことを特徴とする17)記載の光情報記
録媒体。 19) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
AgのTeに対する結合配位数が、非晶状態の時に1.
5〜2.5の範囲にあり、結晶状態の時に3.5〜4.
5の範囲にあることを特徴とする17)又は18)記載
の光情報記録媒体。 20) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
InのTeに対する結合配位数が、非晶状態の時に3.
0〜3.8の範囲にあり、結晶状態の時に3.4〜4.
2の範囲にあることを特徴とする17)〜19)の何れ
かに記載の光情報記録媒体。 21) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
SbのTeに対する結合配位数において、非晶状態での
結合配位数より、結晶状態での結合配位数の方が小さい
ことを特徴とする17)〜20)の何れかに記載の光情
報記録媒体。 22) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
SbのTeに対する結合配位数が、非晶状態の時に2.
7〜3.5の範囲にあり、結晶状態の時に2.0〜2.
8の範囲にあることを特徴とする17)〜21)の何れ
かに記載の光情報記録媒体。 23) 前記相変化記録材料は、結晶状態での構造がN
aCl型であることを特徴とする17)〜22)の何れ
かに記載の光情報記録媒体。 24) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
Teが占有するNaCl型構造のClサイトには、空孔
が多数存在することを特徴とする23)記載の光情報記
録媒体。 25) 前記相変化記録材料は、その構成元素のうち、
Teが占有するべきNaCl型構造のClサイトに、7
/12〜9/12の範囲の空孔が存在することを特徴と
する24)記載の光情報記録媒体。 26) 記録層の成膜時に、基板を10〜50℃/mi
nの範囲の一定のレートで昇温させながら、250〜8
50Wの範囲のパワーで成膜することを特徴とする1
7)〜25)の何れかに記載の光情報記録媒体の製造方
法。 27) 円盤状の基板上に少なくとも相変化型記録層を
有する光情報記録媒体において、前記相変化型記録層の
構成元素が主にGe、Ga、Sb及びTeであり、それ
ぞれの組成比α、β、γ、δ(原子%)が、α+β+γ
+δ=100としたときに、 0.1≦α≦7 1≦β≦9 61≦γ≦75 22≦δ≦30 の条件式を満足することを特徴とする光情報記録媒体。 28) 前記相変化型記録層に、In、Zn、Sn、S
i、Pb、Co、Cr、Cu、Ag、Au、Pd、P
t、S、Se、Ta、Nb、V、Bi、Zr、Ti、A
l、Mn、Mo、Rh、C、N及びOから選ばれた少な
くとも一種類以上の元素を添加したことを特徴とする2
7)記載の光情報記録媒体。 29) Ge及びGaの組成比が、−8≦α−β≦3で
あることを特徴とする27)又は28)に記載の光情報
記録媒体。 30) Sb及びTeの組成比が、γ+δ≧88である
ことを特徴とする27)〜29)の何れかに記載の光情
報記録媒体。 31) レーザー光を光情報記録媒体に照射することに
より前記光情報記録媒体の記録層に相変化を生じさせ、
前記光情報記録媒体に対する情報の記録、再生を行い、
かつ書き換えが可能である情報記録再生方法が適用され
る光情報記録媒体であり、かつ、信号を変調して情報記
録媒体にPWM記録することにより情報の記録を行う際
に、変調後の信号幅がnT(但し、Tはクロック時間、
nは正の整数)である0信号の記録又は書き換えを行う
時の記録波をパワーレベルeの連続光とし、変調後の信
号幅がnTである1信号の記録或いは書き換えを行う時
の記録波パルス列を、時間幅xとパワーレベルaを持つ
パルス部fpと、合計でTの時間幅を持つパワーレベル
bの低レベルパルスとパワーレベルcの高レベルパルス
とが交互にデューティ比yで計〔n−n′〕回(ここ
で、n′はn′≦nである正の整数)連続するマルチパ
ルス部mpと、時間幅zとパワーレベルdを持つパルス
部opを有するパルス列とし、更に、前記x、y、zを
0.5T≦x≦2.0T、0.125≦y≦0.87
5、0.125T≦z≦1.0Tとし、(a及びc)≧
e≧(b及びd)とする、マルチスピード記録及び/又
はCAV記録が可能なことを特徴とする27)〜30)
の何れかに記載の光情報記録媒体。 32) 前記パルス部mpのデューティ比yが記録線速
度によって増減できることを特徴とする31)記載の光
情報記録媒体。
【0025】以下、上記本発明について、実施の形態1
〜4に分けて、順に添付の図面を参照しつつ詳しく説明
する。
【0026】まず、実施の形態1について説明する。図
1に、実施の形態1の相変化型光情報記録媒体に係る層
構成の一例を示す。基本的な構成は、案内溝を有する透
明基板21上に第一保護層22、記録層23、第二保護
層24、反射層6、オーバーコート層7を有し、好まし
くは、第三保護層25を有する。更に、オーバーコート
層上に印刷層8、基板裏面にハードコート層9を有して
も良い。上記の単板ディスクを、接着層10を介して貼
り合わせ構造としても良い。貼り合わせる反対面のディ
スクは、同様の単板ディスクでも、透明基板のみでも良
い。また、印刷層を設けていない単板ディスクを貼り合
わせた後で反対面側に印刷層8′を形成しても良い。
【0027】基板の材料としては、通常、ガラス、セラ
ミックス又は樹脂であり、成形性、コストの点で樹脂基
板が好適である。樹脂の例としては、ポリカーボネート
樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹
脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂、ポリエ
チレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン系樹脂、
フッ素系樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂などが挙げら
れるが、成形性、光学特性、コストの点で優れたポリカ
ーボネート樹脂やアクリル樹脂が好ましい。但し、実施
の形態1の光情報記録媒体をDVD−ROM互換が可能
な書き換え型ディスクに応用する場合には、使用する基
板に形成される案内溝の幅が0.10〜0.40μm、
好ましくは0.15〜0.30μm、案内溝の深さが1
5〜65nm、好ましくは25〜50nmという条件を
満足することが望ましい。基板の厚さは特に制限される
ものではないが、0.6mmが好適であり、貼り合わせ
後のディスクの厚さについても特に制限されるものでは
ないが、1.1〜1.3mmが好適である。また、実施
の形態1の光情報記録媒体をCD−RWに応用する場合
には、案内溝の幅が0.25〜0.65μm、好ましく
は0.30〜0.55μm、その案内溝の深さが25〜
65nm、好ましくは30〜55nmとなっていること
が望ましい。基板の厚さは特に制限されるものではない
が、1.2mmが好適である。
【0028】記録層としては、結晶−アモルファス相間
の相変化を起こし、それぞれが安定化又は準安定化状態
を取ることができるSb、Teを含み、その組成式がS
χTe100−χ(40≦χ≦80、χは原子%)で
ある相変化型記録材料が、記録(アモルファス化)感度
・速度、消去(結晶化)感度・速度、及び消去比が良好
なため好ましい。このSbTe材料に、Ga、Ge、A
g、In、Bi、C、N、O、Si、Sなどの元素を添
加すると、記録・消去感度や信号特性、信頼性などを改
善することができるため、添加した元素やその組成比に
よって光情報記録媒体の特性を制御することができる。
添加元素の比率は、0.1〜20原子%、好ましくは
0.1〜15原子%である。20原子%以下にすること
により、初期化を良好に行なうことが出来る。また、上
記材料はその組成比によって転位線速度も変わるため、
最適な記録線速度も異なってくる。そのため、目的とす
る記録線速度及び線速度領域によって、該材料の組成比
を調整し、転位線速度を制御する必要がある。これまで
の検討結果から、Teの組成比が転位線速度に高い相関
があることを見出している。
【0029】実施の形態1で用いられる相変化型光情報
記録媒体の品質としては、単に記録・消去できるだけで
なく、高密度、高線速度領域で記録したときの信号の再
生安定性や信号の寿命(信頼性)も同時に要求される。
これらを総合的に満足する記録層として、上記材料系が
優れており、特に次の組成式で表される材料が信号の再
生安定性や信号の寿命が優れており、初期化を良好に行
なうことができるため好適である。 (Ag,Ge)α(In,Ga,Bi)βSbγTeδ 式中、(Ag,Ge)及び(In,Ga,Bi)は、そ
れぞれ、括弧内の少なくとも一種の元素を含むことを意
味し、α、β、γ、δは原子%であり、0.1≦α≦
7、1≦β≦15、61≦γ≦85、20≦δ≦30で
ある。
【0030】更に、初期化後の未記録状態での結晶構造
が等方的な結晶構造である立方格子結晶構造、好ましく
はNaCl型結晶構造を有する材料が、同様に等方性が
高いと考えられるアモルファス相とバラツキの少ない相
変化を起こすことができ、記録(アモルファス化)及び
消去(結晶化)を高速かつ均一に行なうことができるた
め好適である。記録層の膜厚としては10〜50nm、
好ましくは12〜30nmとするのが良い。更にジッタ
ー等の初期特性、オーバーライト特性、量産効率を考慮
すると、14〜25nmとするのがより好ましい。10
nm以上にすると耐熱保護層としての機能が発揮され易
く、かつ記録感度の点で優れたものとなる。また50n
m以下にすると高速でも均一な相変化が起こり易いため
好ましい。このような記録層は、各種気相成長法、例え
ば真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマCVD法、
光CVD法、イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着
法などによって形成できる。中でも、スパッタリング法
が、量産性、膜質等において優れている。
【0031】第一保護層及び第二保護層の材料として
は、SiO、SiO、ZnO、SnO、Al
、TiO、In、MgO、ZrOなど
の金属酸化物、Si、AlN、TiN、BN、Z
rNなどの窒化物、ZnS、In 、TaSなど
の硫化物、SiC、TaC、BC、WC、TiC、Z
rCなどの炭化物やダイヤモンド状カーボンなどが挙げ
られる。これらの材料は、単体で保護層とすることもで
きるが、互いの混合物としても良い。また、必要に応じ
て不純物を含んでも良い。但し、第一保護層及び第二保
護層の融点は記録層よりも高いことが必要である。
【0032】このような第一保護層及び第二保護層は、
各種気相成長法、例えば真空蒸着法、スパッタリング
法、プラズマCVD法、光CVD法、イオンプレーティ
ング法、電子ビーム蒸着法などによって形成できる。中
でも、スパッタリング法が、量産性、膜質等に優れてい
る。第一保護層の膜厚は、反射率、変調度、記録感度に
大きく影響する。良好な信号特性を得るためには第一保
護層を60〜120nmとすることが要求される。第二
保護層の膜厚は、5〜45nm、好ましくは7〜40n
mとするのが良い。5nm以上にすると、耐熱保護層と
しての機能が発揮され易く、また、記録感度の点でも優
れたものとなる。一方、45nm以下にすると、界面剥
離を生じ難くなると共に、繰り返し記録性も良好なもの
となる。
【0033】反射層としては、Al、Au、Ag、C
u、Ta、Ti、Wなどの金属材料、又はこれらの元素
を含む合金などを用いることができる。また、耐腐食性
の向上、熱伝導率の改善などのために、上記材料に対し
てCr、Ti、Si、Cu、Ag、Pd、Taなどの元
素を添加しても良い。添加比率は、0.3〜2原子%と
するのが適している。0.3原子%より少ないと、耐腐
食性の効果に劣る。2原子%より多くなると、熱伝導率
が下がり過ぎ、アモルファス状態を形成し難くなる。こ
のような反射層は、各種気相成長法、例えば真空蒸着
法、スパッタリング法、プラズマCVD法、光CVD
法、イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着法などに
よって形成できる。合金又は金属層の膜厚としては、5
0〜200nm、好ましくは70〜160nmとするの
が良い。また、合金又は金属層を多層化することも可能
である。多層化した場合には、各層の膜厚は少なくとも
10nm以上必要で、多層化膜の合計膜厚は50〜16
0nmとするのが良い。
【0034】反射層の上には、その酸化防止のためにオ
ーバーコート層が形成される。オーバーコート層として
は、スピンコートで作製した紫外線硬化型樹脂が一般的
であり、その厚さは、3〜15μmが適当である。3μ
m以上にすると、オーバーコート層上に印刷層を設けた
場合でも、信号エラーの増加が起こり難くなる。一方、
15μm以下にすると、内部応力の変化が少なく、ディ
スクの機械特性に影響を与え難くなるので好ましい。
【0035】ハードコート層としては、スピンコートで
作製した紫外線硬化型樹脂が一般的であり、その厚さ
は、2〜6μmが適当である。2μm以上にすると、十
分な耐擦傷性が得られるので好ましい。また、6μm以
下にすることにより、内部応力の変化が少なく、ディス
クの機械特性に影響を与え難くなるので好ましい。更
に、その硬度は、布でこすっても大きな傷が付かない鉛
筆硬度H以上とすることが好ましい。必要に応じて、導
電性の材料を混入させ、帯電防止を図って埃等の付着を
防止することも効果的である。
【0036】印刷層は、耐擦傷性の確保、ブランド名な
どのレーベル印刷、インクジェットプリンタに対するイ
ンク受容層の形成などを目的としており、紫外線硬化型
樹脂をスクリーン印刷法により形成するのが一般的であ
る。その厚さは、3〜50μmが適当である。3μm以
上にすると、層形成時にムラが生じ難くなり好ましい。
また、50μm以下にすることにより、内部応力の変化
が少なく、ディスクの機械特性に影響を与え難くなるの
で好ましい。
【0037】接着層としては、紫外線硬化型樹脂、ホッ
トメルト接着剤、シリコーン樹脂などの接着剤を用いる
ことができる。このような接着層の材料は、オーバーコ
ート層又は印刷層上に、材料に応じて、スピンコート、
ロールコート、スクリーン印刷法などの方法により塗布
し、紫外線照射、加熱、加圧等の処理を行なって反対面
のディスクと貼り合わせる。反対面のディスクは、同様
の単板ディスクでも透明基板のみでも良く、反対面ディ
スクの貼り合わせ面については、接着層の材料を塗布し
てもしなくても良い。また、接着層としては、粘着シー
トを用いることもできる。接着層の膜厚は特に制限され
るものではないが、材料の塗布性、硬化性、ディスクの
機械特性の影響を考慮すると5〜100μmが好まし
い。接着面の範囲は特に制限されるものではないが、D
VD及び/又はCD互換性のある書き換え型ディスクに
応用する場合、実施の形態1の高速記録を可能とするた
めには、接着強度を確保するために、接着層の内周端の
位置がΦ15〜40mm、好ましくはΦ15〜30mm
であることが望ましい。
【0038】第三保護層は、透明基板、第一保護層、記
録層、第二保護層、反射層、オーバーコート層、印刷層
又は接着層の層界面に位置し、層間の密着性の向上、化
学反応の防止、光学特性の調整、熱物性の調整などを目
的として形成される。特に第二保護層と反射層との間に
第三保護層を形成する場合においては、C、Si、Si
C、SiN、SiO、SiOのうち、少なくとも一種
の物質を含む材料が望ましい。第三保護層の膜厚として
は、1〜40nm、好ましくは2〜30nmとする。1
nm以上にすると、安定な界面層を形成し易くなる。一
方、40nm以下にすると、界面剥離を生じ難くなり、
層間密着性の向上効果を得ることができる。このような
第三保護層は、各種気相成長法、例えば真空蒸着法、ス
パッタリング法、プラズマCVD法、光CVD法、イオ
ンプレーティング法、電子ビーム蒸着法などによって形
成できる。特に量産性を考慮すると、DCスパッタリン
グ法が汎用のスパッタリング装置を利用できるので望ま
しい。
【0039】実施の形態1の高線速度化に対応した光情
報記録媒体を良好な品質で量産するためには、記録線速
度のマージンを広く取れることが要求されるため、それ
に合わせて転位線速度を調整する必要がある。転位線速
度は、熱物性に影響されるため、光情報記録媒体のトラ
ックピッチ、レーザー光の波長、NA、レーザーパワー
によって異なるが、トラックピッチが0.2〜1.4μ
mである相変化型光情報記録媒体では、半導体レーザー
光を案内溝のグルーブ部又はランド部にフォーカスして
DC照射した際の転位線速度を6〜24m/sとするこ
とが重要であることを見出した。転位線速度が6m/s
以上の場合、DVDの2X(7.0m/s)線速度以
上、CDの8X(9.6〜11.2m/s)線速度以上
のような高線速度領域での記録に対応することができ
る。一方、転位線速度が24m/s以下の場合は、記録
に適する記録線速度の領域での記録感度が低下し難く、
後述するパルスストラテジにより良好な品質での記録を
行うことができる。
【0040】一般に、相変化型光情報記録媒体に重ね書
きをする場合、2回記録時にジッターが増大し、3回記
録以上の重ね書きでジッターが低減し、重ね書き10回
以降はジッターが安定するという現象が見られる。この
現象は、実施の形態1の目的である高速記録時に顕著に
現れる。従って、相変化型光情報記録媒体において実用
上最も重要な品質に、この2回記録時のジッターが挙げ
られる。図2に、最低記録線速度CD4倍速(4.8m
/s)、最高記録線速度CD10倍速(12.0m/
s)という情報を有する基板を用いて作製した種々の転
位線速度の相変化型光情報記録媒体に、2回記録時のジ
ッターが1000回記録時よりも小さくなるような記録
パワー、記録ストラテジで2回記録したときのジッター
を示す。ジッターは、CD1倍速再生時の値であり、3
5ns(ナノセカンド)以下が規格を満足する。図2か
ら、本来CD4倍速とCD10倍速で共にジッターが小
さくなる転位線速度は12m/sであることが分かる。
しかし、市場に出回っている最低記録線速度CD4倍速
(4.8m/s)、最高記録線速度CD10倍速(1
2.0m/s)のCD−RW記録媒体の転位線速度は9
m/sであり、最高記録線速度の0.75倍程度であっ
て、最低記録線速度のCD4倍速にマッチングしてお
り、CD10倍速にはマッチングが不十分である。
【0041】実施の形態1の目的である、より高速での
記録を可能とするため、特にユーザーが高速化を実感す
るためには、最高記録線速度CD10倍速の20%以上
の記録線速度アップ(つまり14.4m/s)を実現す
る必要があり、規格である35ns以下を満足するため
には、図2からみて、9.5m/s以上の転位線速度が
必要であると判断される。即ち、最高記録線速度の0.
8倍以上の転位線速度が必要である。更に、それ以上の
高速記録、例えばCD16倍速(19.2m/s)、C
D20倍速(24m/s)、CD24倍速(28.8m
/s)の記録を達成するためには、12、16、19m
/s以上の転位線速度とする必要がある。一方、最低記
録線速度4.8m/sでの記録もジッター35ns以下
とするためには、転位線速度を25m/sとしなければ
ならないことが分かる。つまり、おおよそ最高記録線速
度の2倍以下が、記録可能な上限記録線速度となる。
【0042】上記説明は、CD−RW記録媒体を例にし
たが、他の相変化型光情報記録媒体でも同様に、より高
速の記録を実現するためには、記録媒体の有する最高記
録線速度の少なくとも0.8倍以上、好ましくは0.8
5倍以上、より好ましくは0.9倍以上の転位線速度と
することが望ましい。なお、図2に記載の各種転位線速
度のCD−RW記録媒体は、記録層の組成、記録層の厚
さ、記録層の不純物、反射層材料、誘電体材料、初期化
プロセス条件等を適宜選択して作製した。
【0043】転位線速度は、上記の各構成層の材料、膜
厚、プロセス条件によって調整することができる。例え
ば、記録層材料のAg、Geの組成比を多くすると転位
線速度を遅くすることができ、In、Gaの組成比を多
くすると転位線速度を速くすることができる。また、記
録層の膜厚を厚くすると転位線速度を遅くすることがで
き、膜厚を薄くすると転位線速度を速くすることができ
る。第二保護層、反射層においては、熱伝導率を大きく
すると転位線速度を遅くすることができ、熱伝導率を小
さくすると転位線速度を速くすることができる。
【0044】プロセス条件に関する例としては、記録
層、第一保護層、第二保護層、第三保護層の形成をスパ
ッタリング法により行なう場合、投入する基板の温度を
低くすると転位線速度を遅くすることができ、基板の温
度を高くすると転位線速度を速くすることができる。ま
た、スパッタリング時の共存ガスとして、Arの他にN
、Oを加えると転位線速度を遅くすることができ
る。このとき、ターゲットライフの初期では転位線速度
が速くなり、ターゲットライフの後半では転位線速度が
遅くなる。その他、初期化の線速度、レーザーパワー等
の条件によっても、転位線速度を調整することができ
る。以上のような種々の条件の組み合わせによって転位
線速度の値を決めることができるので、これらをバラン
スよく調整することにより、転位線速度を所望の値に制
御することができる。
【0045】また、実施の形態1の高線速度化に対応し
た光情報記録媒体においては、初期化の線速度を、転位
線速度よりも遅くすることが望ましい。初期化線速度を
転位線速度よりも速くすると、記録層の温度上昇が不十
分となり、均一に結晶化をすることができないため初期
化ムラを起こし、RF信号の乱れを生じてしまう。更
に、初期化線速度Viは、標準記録線速度Vr及び/又
は最高記録線速度Vhの0.5倍以上、1.6倍以下が
好ましい。0.5倍以上では、初期化が良好に行われ、
オーバーライト性能の点で好ましい。また、1.6倍以
下にすると、記録層の温度上昇が良好に行われて均一に
結晶化することができ、均一な初期化が行われ、RF信
号の乱れを防止することができる。
【0046】図4に、実施の形態1の光情報記録再生方
法又は装置の一例を示す。即ち、相変化型光情報記録媒
体をスピンドルモーターからなる駆動手段により回転駆
動する。一方、レーザー駆動回路により記録再生用ピッ
クアップの半導体レーザーからなる光源を駆動し、光学
系を介して回転している光情報記録媒体に、図3に示し
たようなfp、mp、epを有するパルスストラテジの
レーザー光を照射することにより、該光情報記録媒体の
記録層に相変化を生じさせて記録を行う。記録した情報
の再生は、再生光を照射された光情報記録媒体からの反
射光を記録再生用ピックアップで受光することにより行
なう。
【0047】次に、実施の形態1の光情報記録媒体の記
録層に対してマークの幅として信号を記録する、いわゆ
るPMW記録方式で情報の記録を行なう場合について説
明する。記録を行うには、記録すべき信号を変調部にお
いてクロックを用いて、例えば書き換え型コンパクトデ
ィスクの情報記録に適したEFM(Eight−to−
Fourteen Modulation)変調方式、
或いはその改良変調方式で変調する。PMW記録を行な
う際には、変調後の信号幅がnT(nは正の整数、Tは
クロック時間、即ち、信号の変調に用いるクロックの周
期に相当する時間)である0信号の記録又は書き換えを
行なう時の記録光をパワーレベルeの連続光とし、変調
後の信号幅がnTである1信号の記録又は書き換えを行
なう時の記録光のパルス列を、時間幅xとパワーレベル
aを持つパルス部fpと、合計でTの時間幅を持つパワ
ーレベルbの低レベルパルスとパワーレベルcの高レベ
ルパルスとが交互に出て、デューティ比yで計〔n−
n′〕回(ここで、n′はn′≦nである正の整数)連
続するマルチパルス部mpと、時間幅zとパワーレベル
dを持つパルス部epからなるレーザー波パルス列と
し、x、y、zをそれぞれ0.125T≦x≦2.0
T、0.125≦y≦0.875、0.125T≦z≦
1.0Tとし、(a及びc)>e>(b及びd)として
行う。図3に、n=3、n′=2のときの例を示す。
【0048】実施の形態1の光情報記録再生装置は、セ
ットされるディスクの最高記録線速度を示す情報を読
み、かつその他のディスクの固有情報を読み、最高記録
線速度以上の線速度で記録可能か否かの判断をする手段
を有する。例えばその一例をフローチャート的に示すと
次のようになる。 1.実施の形態1の相変化型光情報記録媒体がドライブ
のトレーにセットされる。 2.ドライブが、実施の形態1の相変化型光情報記録媒
体に入っているID情報又は識別情報を再生する。 3.ドライブにあらかじめ格納された相変化型光情報記
録媒体に入っているのと同じID情報或いは識別情報
と、上記2.で再生したID情報或いは識別情報とを照
合する。 4.ID情報或いは識別情報の照合によって、ドライブ
にセットされた相変化型光情報記録媒体の素性、特性等
を認識する。 5.上記4で認識したディスクにマッチした記録方法
を、あらかじめ格納してある記録方法の一覧から選択
し、相変化型光情報記録媒体への記録動作を開始する。
【0049】次に、実施の形態2について説明する。実
施の形態2の相変化型光情報記録媒体は、Ag、In、
Sb及びTeを主要構成元素とし、更に、周期律表第II
Ib、IVb及びVb族から選ばれた少なくとも1種の特
定の元素が添加されていることを特徴とする。これによ
って、従来の相変化型光情報記録媒体に比べて、高線速
度かつ高密度記録で十分な媒体特性、特に繰り返し記録
特性、初期及び繰り返し記録後の保存信頼性に優れた記
録媒体が得られる。層構成としては、通常、基板上に下
部保護層、記録層、上部保護層、反射層の順に積層した
構成が採用され、各層の製膜後に、記録層を非晶質相か
ら結晶相へ変化させるいわゆる初期化を行って結晶相と
する。
【0050】好ましい記録層の組成は、各元素の原子比
が次の式で表されるものであるが、この記録層は、上記
初期化により結晶相を形成する際、一様にNaCl型構
造を形成する。 (AgαInβSbγ1−δTeδ (式中、0.1<α<10、1≦β<20、90≦γ<
100、α+β+γ=100、0.2≦δ≦0.35で
ある。) そして、このNaCl型結晶相において、Naサイト相
当にAg、In、Sbが、Clサイト相当にTeが位置
し、かつTeがこのサイトに100%占有されていない
で空孔を有している場合に、優れた初期及び繰り返し記
録特性が発揮される傾向にあるため好ましい。これによ
って、非晶質相と結晶相の相変化の繰り返しによる記録
を行っても、組成変化の起こり難い共晶組成となってい
る。また、より高い線速度において高速結晶化させるに
は、このような状態を保ちつつSb及びInを増加さ
せ、Agを減らすことが好適である。
【0051】また、本発明者等は、AgInSbTeか
ら成る相変化記録材料について、その構造、特に各元素
の結合配位数を、X線回折、電子線回折等の結果を基に
検討し、その配位数により記録媒体の特性が大きく変化
することを見出した。一般にTe、Se、S等のVIb族
元素を含む化合物は、カルコゲナイドと呼ばれ、VIb族
元素が2配位で結合するため構造の柔軟性が大きく、液
相凍結によりガラス化し易く、記録媒体の材料としてよ
く使用される。一方、Ib族のAgのTeに対する配位
数は従来明確にされておらず、In、SbのTeに対す
る配位数も単に8−N則等に従い3配位とされているだ
けで、現実の配位数は明確でなかった。また、結晶状態
と非晶状態での各元素の結合配位数に差があるかどうか
も明確でなかった。
【0052】しかしながら、記録媒体の場合、ディスク
特性としての記録感度や、結晶温度が影響すると考えら
れる消去感度や保存特性、更に繰返し特性等には、記録
材料を構成する各元素の結合配位数が大きく影響するも
のと考えられる。即ち、フィリップスのガラス化形成能
の理論〔J.C.Phillips:J.,Non−C
ryst,Solids 34(1979)153〕に
よれば、ガラス化は、構成元素の平均配位数が2.45
の時が最も容易であるとされている。これは、この様な
配位数にすれば、容易にガラス化、即ち記録が可能であ
ることを示し、記録感度を向上させる目安となる。ま
た、結合配位数が大きいことは、結合エネルギーが大き
いことを示し、結晶化温度が上昇し、消去感度の低下、
更にマークの消失を防止するための保存特性の向上につ
ながる。また、結合配位数によっては、単一相でなく混
相に相分離する可能性もあり、これにより繰返し特性が
劣下する場合も考えられる。この様に記録材料を構成す
る各元素の結合配位数を制御できれば、記録媒体の特性
を大きく向上させることが可能になると考えられる。
【0053】そこで、鋭意検討した結果、記録層形成用
の材料としてAgInSbTeを用いた記録媒体におい
て、(イ)AgとInの、Teに対する結合配位数に関
しては、非晶状態での結合配位数と結晶状態での結合配
位数とが異なり、結晶状態における結合配位数の方が大
きい時、(ロ)SbのTeに対する結合配位数はその逆
で、結晶状態における結合配位数の方が小さい時、
(ハ)そして、構造が単層でNaCl型となり、Teが
占有するClサイトに多数の空孔が生じている時に、そ
れぞれディスク特性が極めて良好となることを見出し
た。
【0054】特に、(a)AgのTeに対する結合配位
数が、成膜後の非晶状態で1.5〜2.5の範囲、好ま
しくは1.7〜2.2の範囲にあるとき、(b)Inの
Teに対する結合配位数が、成膜後の非晶状態で3.0
〜3.8の範囲、好ましくは3.4〜3.7の範囲にあ
り、結晶状態で3.4〜4.2の範囲、好ましくは3.
5〜3.8の範囲にあるとき、(c)SbのTeに対す
る結合配位数が、非晶状態で2.7〜3.5の範囲、好
ましくは2.8〜3.2の範囲にあり、結晶状態で2.
0〜2.8の範囲、好ましくは2.4〜2.6の範囲に
あるときに、それぞれ優れたディスク特性を有すること
が分った。
【0055】具体的には、AgのTeに対する結合配位
数が成膜後の非晶状態で1.8、初期結晶化後で4.
0、InのTeに対する結合配位数が成膜後の非晶状態
で3.5、初期結晶化後で3.7、SbのTeに対する
結合配位数が成膜後の非晶状態で3.0、初期結晶化後
で2.5の場合を考え、相変化記録材料(記録層)の組
成をAgInSb60Te28とする。成膜後の非
晶状態ではAgの配位数が1.8であるため、Agはラ
ンダムネットワークを切断する方向に働く結果、結晶化
を促進させる。即ち、初期結晶化を容易にし、均一で微
細な結晶粒を有する多結晶状態となるため、記録後のマ
ークのS/N比が向上する。また、初期結晶化後の平均
配位数Zは、上述の配位数と組成から容易に求まり、Z
=4×0.05+3.7×0.07+2.5×0.6+
2.0×0.28=2.51となり、フィリップスのガ
ラス化形成能力における、最もガラス化が容易な平均配
位数2.45に極めて近い。このことは、初期結晶化後
の記録(ガラス化)が容易に実現すること、即ち記録感
度が良好であることを意味する。
【0056】更に、初期結晶化後の構造は、NaCl型
の立方晶単相であり、記録マークのガラス状態は、その
近距離秩序を保存するため、相分離することなくその状
態を保持するので、繰返し特性も極めて良好である。ま
た記録後の配位数は、初期結晶化後の配位数を保持する
ため、Z=2.51を保ち、かつネットワークを切断す
ると考えられるAgの配位数も、記録後は4の値を保持
すると考えられるので、室温下ではマークの結晶化が極
めて進行し難く、保存特性の向上につながる。また、T
eが占有する、NaCl型構造におけるClサイトの多
数の空孔は、記録材料の組成比に対しNaCl型構造を
保持するために必要であり、これにより記録層は常に単
層を保持し、相分離を生じないので、繰返し特性が良好
で且つ安定した相を保持することができる。
【0057】次に、記録層の結晶化速度に関連して、ま
ず、SbはTeに比べて原子半径が大きく、非晶質相に
おいてTeに対する結合配位数が約3配位であり、結晶
化が起こり易いため結晶化速度が速く、しかも比較的低
い温度でも起きる。そのためSb量が相当多い場合は保
存信頼性が著しく悪い。また、InはSbよりも更に原
子半径が大きく、結合配位数も非晶質相においてSbよ
り高く、約3.5配位であって結晶化速度が速い。な
お、その詳細は不明であるが、高温では結晶化が高速に
起こるものの、室温から70〜80℃では結晶化が起こ
り難い。或いはInがSbによる結晶化を妨げる役割を
しているとも考えられる。同じく、記録層の結晶化速度
に関連して、Agの原子半径はTeよりは大きいが、配
位数が約2配位であることから非晶質相の方が安定なた
め、結晶化速度は比較的遅い。しかし、高速記録におい
て繰り返し記録を行っても組成変化が起き難く、しか
も、高速結晶化と保存信頼性が確保される最適組成範囲
が求めることができる。しかしながら、上記最適組成範
囲にあっても全ての特性を満足させることは限度があ
り、特に保存信頼性は高速記録において確保し難い。
【0058】そこで、上記の事実関係を踏まえて、記録
媒体の信頼性確保の見地から高速記録で繰り返し記録特
性が優れ、しかも、非晶質相の環境安定性を確保するた
め、上述した主構成元素に、周期律表IIIb、IVb及び
Vb族の少なくとも一種の元素を適宜添加することが好
ましい。また、この添加元素としては、構成元素Teに
対する結合エネルギーが200kJ/mol以上のもの
が好ましく、より好ましくは250kJ/mol以上の
ものであるが、あまり大き過ぎると、相変化をする際に
大きなエネルギーを必要とするため、500kJ/mo
l以下のものが好ましい。また結晶化速度を大きくする
には、添加元素の原子半径は0.10〜0.20nmで
あることが好ましい。
【0059】更に、上記添加元素としては、元素周期律
表のIIIb、IVb及びVb族の中で、原子量の少ない元
素ほど添加により結晶化温度が高くなる傾向にあるた
め、保存信頼性の観点から、構成元素のSbやInより
も原子量の小さい元素が好ましい。表1に、添加元素の
一例として、B、Al、Ti、C、Si、Ge、Sn、
Pb、P、As、Biについて、その原子半径及びTe
に対する結合エネルギーを示した。この表から、好まし
い添加元素は、Al、Si、Ge、Sn、Pであり、中
でもGeが好適であることが分る。
【0060】
【表1】
【0061】上記添加元素の添加量は、多過ぎると結晶
化速度を遅くする傾向があり、繰り返し特性が悪くな
る。また、In、Sbより原子半径が小さく結合エネル
ギーが大きい元素ほどその傾向が強い。従って、最適な
添加量の範囲内において、In量に対する添加量は常に
少ない方が好ましい。特にIn量が少ない場合において
は著しく結晶化速度を下げる元素がある。一方、Ti、
Pb及びBiは結晶化速度を高くする効果があるが、多
過ぎると繰り返し記録特性は良いものの、結晶化温度が
著しく低下し保存信頼性を低下させる傾向がある。
【0062】上述した実施の形態2の光情報記録媒体を
得るためには、記録層の製膜法として本発明26の方法
を採用することが望ましい。即ち、製膜時に基板を10
〜50℃/min、好ましくは30〜40℃/minの
範囲内の昇温レートで成膜する。今のところ、この様な
方法により、何故、非晶状態と結晶状態で結合配位数に
差が生じるのかは不明である。また、成膜時の成膜レー
トも、この結合配位数にいくらかの影響を与えているよ
うであるが、明確なことは判明していない。考えられる
ことの一つとして、成膜時の基板温度上昇により、記録
層の構造が近距離秩序から中距離秩序に移行することが
挙げられる。また、RfスパッタよりDCスパッタの方
が好ましい。
【0063】また、上述した組成の記録層を用いた場
合、下部保護層、上部保護層としては、ZnSとSiO
とからなり、モル比が、ZnS:SiO=50:5
0〜90:10の範囲のものが好ましく、特にモル比8
0:20近傍のものが好ましい。また、必要に応じて、
ZnS−SiO系の複合物以外の酸化物、窒化物又は
その混合物でも適宜好適に使用することができる。下部
保護層の膜厚は、記録層の耐環境保護性を保持し、製膜
時の熱による応力緩和によって基板から剥離しないよう
にするため、25〜250nmの範囲とすることが好ま
しい。また上部保護層については、繰り返し記録時に熱
応力の増加による変形や密着性の低下を抑え、記録時の
熱伝導率が記録感度を低下させない程度の膜厚が必要で
あり、5〜25nmの範囲とすることが好ましい。反射
層の材料、形成方法、膜厚等については、前記実施の形
態1の場合と同様である。
【0064】以上説明した実施の形態2の相変化型光情
報記録媒体は、例えば、書き換え可能記録媒体として、
波長が400〜680nmの範囲で適宜記録再生が可能
である。また、その記録密度を上げるには、更に対物レ
ンズの開口率を0.60以上にすることで容易に実現で
きる。このような光情報記録媒体に対する記録は、通
常、基板の溝に記録する方式、溝及び溝と溝の間のトラ
ックに記録する方式の両方が採用されるが、何れの方式
にしろ、密度、容量を上げるためには基板のトラックピ
ッチを狭くすればよい。ピッチとしては0.8μm以下
が好ましい。溝の深さは15nm〜60nmが好まし
く、15nm以上にすることで安定したトラッキングを
行うことができる。
【0065】図5に、実施の形態2の光情報記録媒体を
用いて記録を行った場合の、高速、高密度での記録再生
特性を示した。図5から明らかなように、記録媒体に照
射するレーザー光の発光パルスが、記録、消去、バイア
スの3つのレベルを有し、且つ記録、消去パワーは、再
生パワーより高く、更にバイアスパワーは再生パワー以
下とする。バイアスパワーは、記録パワーを照射した後
のパワーであり、非晶質相を形成させるために必要であ
る。このパルスは、更に、先頭パルス(1パルス)、複
数パルス列、冷却パルス(1パルス)からなり、記録マ
ークのエッジ部をシャープにすると共に、記録される位
置、記録されるマークの長さを正確にするために必要で
ある。このような記録発光パルスが、高速記録に適して
おり、記録層の材料、組成を最適なものにする。その結
果、記録周波数は20〜80MHz程度で、記録パワー
は最大15mWである。記録再生線速度は、CLV或い
はCAVの両方に対応しており、最大線速度は15m/
s程度で、好ましい線速度は、3.0〜12m/sであ
った。
【0066】次に、実施の形態3について説明する。図
6に、実施の形態3の光情報記録媒体に係る層構成の一
例を示す。この例では、基板21上に誘電体からなる下
部耐熱保護層22、記録層23、誘電体からなる上部耐
熱保護層24、反射層25がこの順に設けられている。
耐熱保護層は必ずしも記録層の両側に設ける必要はない
が、基板21がポリカーボネート樹脂のように耐熱性の
低い材料からなる場合には、下部耐熱保護層を設けるこ
とが望ましい。基板21の材料としては、前述した実施
の形態1の場合と同様のものを用いることができる。反
射層の材料、形成方法、膜厚などについても、前述した
実施の形態1の場合と同様である。
【0067】耐熱保護層、即ち誘電体層は(ZnS)
80・(SiO20を用いてスパッタ法により膜形
成を行う。この誘電体層は、耐熱保護層としての機能
と、光干渉層としての機能とを有することから、これら
の機能を最大限に活かすことが必要である。そのために
は、膜厚を20〜300nm、好ましくは35〜200
nmとする。20nm未満の場合には耐熱保護層として
の機能が失われ、また、300nmを超えると界面剥離
が生じ易くなる。記録層は、一般的にはスパッタ法によ
り膜形成が行なわれ、その膜厚は10〜100nm、好
ましくは20〜35nmである。10nmより薄いと光
吸収能が低下し、記録層としての機能を失う。一方、1
00nmより厚いと透過光が少なくなるため、干渉効果
を期待できなくなる。
【0068】次に、実施の形態4について説明する。図
14に、実施の形態4の相変化型光情報記録媒体に係る
層構成の一例を示す。基本的な構成としては、案内溝を
有する基板31上に第1保護層32、記録層33、第2
保護層34、反射層35、オーバーコート層36を設け
る。更に、好ましくは、オーバーコート層上に印刷層3
7を設け、基板鏡面にハードコート層38を設ける。
【0069】基板21の材料としては、前述した実施の
形態1の場合と同様のものを用いることができる。但
し、光情報記録媒体を書き換え可能なコンパクトディス
ク(CD−RW)に応用する場合には、次のような特定
の条件を満たすことが望ましい。その条件とは、使用す
る基板に形成される案内溝(グルーブ)の幅が0.25
〜0.65μm、好適には0.30〜0.55μm、案
内溝の深さが25〜65nm、好適には30〜55nm
となっていることである。基板の厚さは特に制限される
ものではないが、1.2mmや0.6mmが好適であ
る。
【0070】記録層33としては、Ge、Ga、Sb及
びTeを含む4元系の相変化型記録材料を主成分として
含有する材料が、記録(アモルファス化)感度・記録速
度、消去(結晶化)感度・消去速度、及び消去比が極め
て良好なため適している。しかしながら、GeGaSb
Teには、その組成比によって最適な記録線速度が存在
するため、目的とする記録線速度及び線速度領域によっ
て、GeGaSbTeの組成比を調整する必要がある。
これまでの検討の結果、GeGaSbTe記録層のTe
の組成比が記録線速度に高い相関があることを見出し
た。
【0071】光情報記録媒体に要求される品質として
は、単に記録消去できるだけでなく、信号の再生安定性
や信号の寿命も同時に要求される。これらを総合的に満
足できる記録層として、GeGaSbTe系が優れてお
り、各元素の組成比を順にα、β、γ、δ(原子%)と
し、α+β+γ+δ=100としたとき、 0.1≦α≦7.0 1≦β≦9 61≦γ≦75 22≦δ≦30 の条件式を満足する場合に効果的であった。α即ちGe
量が7.0原子%超、β即ちGa量が9原子%超、γ即
ちSb量が75原子%超では、信号の再生安定性や信号
の寿命が不充分であった。Teの含有量は再結晶化線速
度に大きく影響するため、記録層厚や他の層の熱伝導率
によって制御したとしても少なくとも、22〜30原子
%にすることが好ましい。
【0072】また、信号の再生安定性や信号の寿命を向
上させる方法として、記録層にIn、Zn、Sn、S
i、Pb、Co、Cr、Cu、Ag、Au、Pd、P
t、S、Se、Ta、Nb、V、Bi、Zr、Ti、A
l、Mn、Mo、Rh、C、N及びOから選ばれた少な
くとも一種の元素を添加することが効果的であった。信
号の再生劣化や信号の寿命低下は、非晶質マークの結晶
化が原因であった。非晶質マークの結晶化を抑制するた
めには、上記の元素から選ばれた少なくとも一種の元素
を記録層に添加することが効果的であった。そのメカニ
ズムは明確ではないが、これらの元素はGeGaSbT
eの空間的隙間に入ったり、化学結合を形成したりする
ことで、GeGaSbTeと化合物又は合金を形成し、
非晶質マークの結晶化を抑制すると考えられている。依
って、原子半径が小いか、GeGaSbTeとの化学結
合力が大きいか、化学結合手が多い元素が効果的であ
る。特にC、N、O、Si、Sn、Agが効果的であ
る。上記添加元素の量は、記録層の7原子%以下が効果
的である。7原子%以下にすることにより、GeGaS
bTe記録層の本来有する記録消去特性を維持すること
ができ、消し残りを抑制できる。
【0073】また、光情報記録媒体の高線速記録・消去
における保存信頼性は極めて重要な項目である。本発明
者等は、GeとGaの組成の関係において、−8≦α−
β≦3のとき、高線速度対応性と保存信頼性のバランス
が両立することを見出した。即ち、α−βが3超では、
記録・消去時の最適線速度が遅くなる傾向が見られ、α
−βが−8未満では、光情報記録媒体の保存性が不十分
であった。故に、−8≦α−β≦3の場合に、両者の特
性のバランスを取るのに効果的であった。更に線速度が
高速になることにより、光情報記録媒体の反射率、特に
初期化時の反射率確保が重要となるが、SbとTeの組
成の関係において、γ+δ≧88とすることにより、初
期化時に必要な反射率に到達することを見出した。
【0074】記録層の膜厚は、10〜50nm、好適に
は12〜30nmとするのがよい。更に、ジッター等の
初期特性、オーバーライト特性、量産効率を考慮する
と、より好適には14〜25nmとするのがよい。10
nm以上にすると光吸収能が低下せず、良好な記録特性
を得ることができる。また50nm以下にすると、高速
で均一な相変化を行うことができる。このような記録層
は、各種気相成長法、例えば真空蒸着法、スパッタリン
グ法、プラズマCVD法、光CVD法、イオンプレーテ
ィング法、電子ビーム蒸着法などによって形成できる。
中でも、スパッタリング法が、量産性、膜質等に優れて
いる。
【0075】第一保護層及び第二保護層の材料、形成方
法などは、前述した実施の形態1の場合と同様である。
但し、第一保護層の膜厚は反射率に大きく影響するの
で、780nmと650nmの再生波長でCD−RWデ
ィスクの規格である反射率0.15〜0.25を満足す
るためには、その膜厚を65〜130nmとすることが
要求される。この範囲の膜厚に設定することにより、6
50nmであるDVDの再生波長の反射率を満足し、D
VDとの再生互換も得ることができる。また、第二保護
層の膜厚としては、15〜45nm、好適には20〜4
0nmとするのがよい。15nm以上にすることで耐熱
性保護層として有効に機能し、感度の低下を生じ難くな
る。一方、45nm以下にすると、界面剥離を生じ難く
なり、繰り返し記録性能の低下を防止することができ
る。
【0076】反射層の材料、形成方法、膜厚などは、前
述した実施の形態1の場合と同様である。ハードコート
層、オーバーコート層の材料、形成方法、膜厚などにつ
いても、前述した実施の形態1の場合と同様である。
【0077】一般に、マルチスピード記録及びCAV記
録の場合、低線速度では過剰な記録パワーとなり、高線
速度では記録パワー不足となってしまう。従って、記録
線速度と記録パワーのバランスをとることが重要とな
る。具体的な方法としては、高線速度記録の場合ほど高
パワーとすることが、CD−R等に見られるように一般
的である。
【0078】図15は、記録パルス波形を説明するため
の図であるが、実施の形態4では、図15のマルチパル
ス部(以下、mp部と記載する)のデューティ比を、記
録線速度で増減させることが有効であることを見出し
た。ここで言うデューティ比とは、mp部における低レ
ベルパルスのパワーレベルbの時間を、mp部の時間幅
で割ったものである。また、この情報記録方法は、記録
層がGe、Ga、Sb、Teを主成分とする情報記録媒
体に対して特に有効であった。これはGe、Ga、S
b、Teを主成分とする記録層の熱物性が、本記録パル
ス波にマッチングしているためである。
【0079】図16に、一例として、CD−RWを4x
〜10xでマルチスピード記録した場合の記録波形を示
す。この例は、内周4.8m/s、外周12.0m/s
のCAV記録にも対応している。この例では、記録線速
度4.8、9.6、12.0m/sで、それぞれmp部
のデューティ比0.625、0.5、0.375と、記
録線速度の増大に合わせて、mp部のデューティ比を減
少させている。4.8m/sの低線速度記録では、mp
部の記録パルスを細くすることで余分な熱ダメージを軽
減し、かつmp部の冷却時間を長くすることで、エッジ
の位置ずれの少ないマークを記録することができる。一
方、12.0m/sの高線速度記録では、mp部の記録
パルスを太くすることにより、記録膜に相変化し得るだ
けのエネルギーを与えることができるようになる。ま
た、高速であるため、mp部の冷却時間が短くても記録
層の急冷条件が整い、エッジの位置ずれの少ないマーク
を記録することができる。
【0080】記録層の溶融、急冷を伴う相変化型光情報
記録媒体において、記録パルスのmp部のデューティが
0.5近傍である場合に、記録層の溶融、急冷のバラン
スが取れており、種々の信号品質、オーバーライトに有
利である。従って、ドライブ−メディア(媒体)のマッ
チングを考慮する上で、mp部のデューティ比0.5
を、マルチスピード記録における如何なる記録線速度に
おいて設定するかが課題となる。実施の形態4では、m
p部のデューティ比が0.5となる記録線速度を、(最
低記録線速度+最高記録線速度)/2より大きく、最高
記録線速度以下とすることが有効であった。マルチスピ
ード記録可能なドライブにおいてよく利用される記録線
速度は最高記録線速度である。CAV記録では、機械特
性の影響を受け易い外周部で高速記録となる。よってC
AV記録でも高速記録の信号品質がより重要になってく
る。このようなことから、実用上、より信頼性の高い記
録を行うためには、信頼性の高いmp部のデューティ比
0.5の記録パルス波形を高速記録側に設定することが
有効であった。更に、mp部のデューティ比が0.5と
なる記録線速度を、0.55x(最低記録線速度+最高
記録線速度)より大きく、かつ最高記録線速度以下とす
ることが、より効果的であった。
【0081】図17は、実施の形態4の光情報記録媒体
の記録再生装置を説明するための図である。スピンドル
モータからなる駆動手段によって相変化型光情報記録媒
体を回転駆動すると共に、光源駆動手段としてのレーザ
ー駆動回路によって半導体レーザーからなる光源を駆動
し、記録再生用ピックアップによって、前記半導体レー
ザーから図示しない光学系を介して、図16に示したよ
うな記録線速度でmp部のデューティ比を増減させたレ
ーザー光を照射することにより、前記光情報記録媒体の
記録層に相変化を生じさせて情報の記録を行い、該光情
報記録媒体からの反射光を記録再生用ピックアップで受
光して情報の再生を行う。
【0082】なお、記録再生用ピックアップの最適記録
パワーは、記録パワー設定手段としての記録パワー設定
回路により設定される。また、相変化型光情報記録媒体
の記録再生装置は、記録再生用ピックアップでレーザー
光を相変化型光情報記録媒体に照射することにより、該
光情報記録媒体の記録層に相変化を生じさせて情報の記
録を行い、かつ再生及び書換えが可能な光記録再生装置
であり、記録すべき信号を変調部で変調して記録再生用
ピックアップで光情報記録媒体に記録することにより情
報の記録を行う記録手段を備えている。このピックアッ
プを含む記録手段は、光情報記録媒体の記録層に対して
マークの幅として信号を記録する、いわゆるPWM記録
方式で情報の記録を行う。記録手段は記録すべき信号を
変調部にてクロックを用いて、例えば書き換え型コンパ
クトディスクの情報記録に適したEFM(Eight−
to−Fourteen Modulation)変調
方式、又はその改良変調方式で変調する。
【0083】記録手段は、PWM記録を行う際に、変調
後の信号幅がnT(nは正の整数、Tはクロック時間:
信号の変調に用いるクロックの周期に相当する時間)で
ある0信号の記録又は書き換えを行う時の記録光をパワ
ーレベルeの連続光とし、変調後の信号幅がnTである
1信号の記録又は書き換えを行う時の記録光のパルス
列、時間幅xとパワーレベルaを持つパルス部fpと、
合計でTの時間幅を持つパワーレベルbの低レベルパル
スとパワーレベルcの高レベルパルスとが交互に出て、
デューティ比yで計〔n−n′〕回(ここで、n′は
n′≦nである正の整数)連続するマルチパルス部mp
と、時間幅zとパワーレベルdを持つパルス部opとか
らなるレーザー波パルス列とし、更に、前記x、y、z
をそれぞれ0.5T≦x≦2.0T、0.125T≦y
≦0.875T、0.125T≦y≦1.0Tとし、
(a及びc)>e>(b及びd)とする。なお、図16
は、n′=1の場合を示している。
【0084】
【実施例】以下、実施例を示して本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例により限定されるもの
ではない。なお、実施例1〜14(表2)は実施の形態
1の実施例、実施例21〜42及び比較例1〜4(表
3)は実施の形態2の実施例及び比較例、実施例51〜
55及び比較例51〜52(表4〜表17、図7〜図1
3)は、実施の形態3の実施例及び比較例、実施例61
〜66(表18)は実施の形態4の実施例である。
【0085】実施例1 射出成形により溝幅0.55μm、溝深さ30nmの案
内溝を有するポリカーボネート基板を作成し、この基板
上に、第一保護層、記録層、第二保護層、及び反射層を
順次スパッタリング法により積層した。基板温度を55
℃としてスパッタリング装置に投入した。基板には、最
高記録線速度がCD10倍速(12m/s)という情報
を入れた。第一保護層及び第二保護層にはZnS・Si
を用い、膜厚はそれぞれ90nm、30nmとし
た。記録層はGeInSb68Te22を用い、厚
さ16nmとした。反射層にはAlTi(Ti含有量
0.5重量%)を使用し、厚さ140nmとした。その
結果、基板/ZnS・SiO(90nm)/記録層
(16nm)/ZnS・SiO(30nm)/AlT
i(140nm)という層構成の積層物が形成された。
更に、その反射層上に紫外線硬化型樹脂のスピンコート
によるオーバーコート層を形成し、相変化型光情報記録
媒体の単板ディスクを作成した。次に大口径LD(ビー
ム径200×1μm)を有する初期化装置によって、速
度7.0m/s、電力850mW、送り120μmで、
内周から外周に向けて、線速度一定で全面結晶化した。
このようにして得られた光情報記録媒体の転位線速度
を、波長780nmの半導体レーザー光を該案内溝のグ
ルーブ部にフォーカスしてDC照射し測定した。その結
果、転位線速度は、12.8m/sであり、最高記録線
速度の1.1倍であった。
【0086】次に、この光情報記録媒体のリードイン時
間、リードアウト時間、最適記録パワーコード、ディス
クタイプの各コード情報の組合せのコード列が16倍速
記録可能というリストを持たせてある光情報記録装置に
セットした。この光情報記録装置は、まずリードイン時
間、リードアウト時間、最適記録パワーコード、ディス
クタイプをリードした。次いで、光情報記録装置は、こ
れらの組合せにより最高記録線速度以上の記録線速度で
記録可能か否かを判断し、最高記録線速度以上の記録線
速度CD16倍速で記録可能なディスクと判断した。次
に、記録線速度CD16倍速でCD−ROMで再生可能
なフォーマットにより記録した。その結果、記録初期及
びオーバーライト1000回後のジッター特性が良好で
あった。更に、温度80℃、湿度85%環境内で500
時間放置した保存試験後においても、記録層の酸化及び
信号特性の変化は認められず、良好な保存信頼性が得ら
れた。以上のように、最高記録線速度CD10倍速とい
う情報を有する相変化型光情報記録媒体に対し、CD1
6倍速という高速での記録を実現することができた。
【0087】実施例2 射出成形により溝幅0.2μm、溝深さ27nmの案内
溝を有するポリカーボネート基板を作成し、この基板上
に、第一保護層、記録層、第二保護層、第三保護層及び
反射層を順次スパッタリング法により積層した。基板温
度を55℃としてスパッタ装置に投入した。基板には、
最高記録線速度が8.44m/sという情報を入れた。
第一保護層、第二保護層にZnS・SiOを用い、第
三保護層にSiCを用い、膜厚はそれぞれ75nm、1
0nm、3nmとした。記録層はAg0.5Ge1.5
GaSb68Te22を用い、厚さ14nmとした。
反射層にはAlTi(Ti含有量0.5重量%)を使用
し、厚さ140nmとした。その結果、基板/ZnS・
SiO(75nm)/記録層(14nm)/ZnS・
SiO(10nm)/SiC(3nm)Al/Ti
(140nm)という層構成の積層物が形成された。更
に、その反射層上に紫外線硬化型樹脂のスピンコートに
よるオーバーコート層を形成し、相変化型光情報記録媒
体の単板ディスクを作成した。次に大口径LD(ビーム
径200×1μm)を有する初期化装置によって、線速
度10.0m/s、電力850mW、送り120μm
で、内周から外周に向けて、線速度一定で全面結晶化し
た。このようにして得られた光情報記録媒体の転位線速
度を、波長660nmの半導体レーザー光を該案内溝の
グルーブ部にフォーカスしてDC照射し測定した。その
結果、転位線速度は、14.4m/sであり、最高記録
線速度の1.7倍であった。
【0088】次に、この光情報記録媒体のリードイン時
間、リードアウト時間、最適記録パワーコード、ディス
クタイプの各コード情報の組合せのコード列がDVD4
倍速記録可能というリストを持たせてある光記録装置に
セットした。この光記録装置は、まずリードイン時間、
リードアウト時間、最適記録パワーコード、ディスクタ
イプをリードした。次いで、光記録装置は、これらの組
合せによって最高記録線速度以上の記録線速度で記録可
能か否かを判断し、最高記録線速度以上の記録線速度D
VD4倍速で記録可能なディスクと判断した。次に、記
録線速度DVD4倍速でDVD−ROMで再生可能なフ
ォーマットにより記録した。その結果、記録初期及びオ
ーバーライト1000回後のジッター特性が良好であっ
た。更に、温度80℃、湿度85%環境内で500時間
放置した保存試験後においても、記録層の酸化及び信号
特性の変化は認められず、良好な保存信頼性が得られ
た。以上のように、最高記録線速度4.88m/sとい
う情報を有する相変化型光情報記録媒体に、DVD4倍
速という高速での記録を可能とした。
【0089】実施例3〜14 射出成形によりポリカーボネート基板を形成し、この基
板上に、第一保護層、記録層、第二保護層、第三保護層
及び反射層を順次スパッタリング法により積層した。第
一保護層及び第二保護層にはZnS・SiOを、第三
保護層にはSiCを用い、膜厚はそれぞれ80nm、1
0nm、5nmとした。記録層は表2に示す組成を用
い、膜厚は15nmとした。反射層にはAgを使用し、
基板/ZnS・SiO(80nm)/記録層(15n
m)/ZnS・SiO(10nm)/SiC(5n
m)/Ag(140nm)という層構成を形成した。更
に、反射層上に紫外線硬化型樹脂のスピンコートによる
オーバーコート層を形成し、相変化型光情報記録媒体の
単板ディスクを作成した。次に、大口径LD(ビーム径
200×1μm)を有する初期化装置によって、光情報
記録媒体の記録層の初期化を行なった。その後、ポリカ
ーボネート基板厚が0.6mmである単板ディスクにつ
いては、オーバーコート層上に接着層を介してポリカー
ボネート基板を貼り合わせ、ポリカーボネート基板の表
面(貼り合わせ面の反対面)側に印刷層を形成し、貼り
合わせディスクとした。
【0090】表2に、ポリカーボネート基板厚と単板又
は貼り合わせのディスク構成、トラックピッチ、記録層
組成の各作製条件と、得られた媒体を記録・再生するの
に使用した装置のピックアップの波長、転位線速度、記
録線速度と評価結果を纏めて示した。評価結果のジッタ
ー特性は、クロック時間Tで規格化したσ/T(%)と
定義した。表2に示した結果から分かるように、何れの
実施例においても、初期及びオーバーライト1000回
後のジッター特性は良好であった。更に、温度80℃、
湿度85%環境内で500時間放置した保存試験におい
ても、保存後に記録層の酸化及び信号特性の変化は認め
られず、良好な保存信頼性が得られた。
【0091】
【表2】
【0092】実施例21〜42 基板の溝ピッチ0.74μm、溝幅0.3μm、溝深さ
35nm、厚さ0.6mmのポリカーボネート製基板を
用い、この上にスパッタリング法により下部保護層、記
録層、上部保護層及び反射層を順に積層した。下部保護
層には、(ZnS)80・(SiO20を用い、膜
厚を75nmとした。記録層の構成元素及び添加元素の
組成比(原子%)は表2に示した通りであり、膜厚は何
れも20nmとした。上部保護層には、下部保護層と同
じ材料を使用し、膜厚を15nmとした。反射層には、
Al合金を使用し、膜厚120nmとした。更に、反射
層上に紫外線硬化樹脂を塗布し、膜のない基板を用いて
貼り合わせ、厚さ1.2mmの実施の形態2に係る光情
報記録媒体を作製した。次いで、LD(レーザーダイオ
ード)を用いて所定の条件で初期化後、記録層を結晶化
させた。記録再生は、波長655nm、対物レンズNA
0.65のピックアップヘッドを用いて、CLV方式に
より、各記録層に対して表2に示す線速で、記録密度が
0.265μm/bitとなるように記録した。記録デ
ータの変調方式は(8,16)変調とした。記録パワー
は最大15mW、消去パワーは記録パワーの0.45〜
0.55倍、バイアスパワーは0.5mW、再生パワー
は0.8mWとした。このような条件で、一回記録に対
する繰り返し記録10000回後のジッター増加量及び
80℃、85%RH、1000時間後のジッター増加量
を測定した。なお、ジッターはウィンドウ幅で割った値
であり単位は%である。
【0093】
【表3】
【0094】上記表3の結果から明らかなように、実施
例21〜42は、添加元素を含まない従来例(比較例1
〜4)に比べて、繰り返し記録回数を低減することなく
保存信頼性を向上させることができる。また、特に添加
元素Geを2原子%添加した場合において、繰り返し回
数が良く、特に信頼性が大きく向上していることが分か
る。また、Ag、In、Sb及びTeを主構成元素とす
る記録層において、添加元素の添加量を最適にすると、
より高速な記録が可能となり、繰り返し記録特性が向上
し、保存信頼性を向上させることができる。
【0095】以上の結果から分るように、実施の形態2
の相変化型光情報記録媒体における好ましい記録層は、
Ag、In、Sb及びTeを主構成元素とする材料に、
特定の条件を満たす周期律表IIIb、IVb及びVb族か
ら選ばれた添加元素Xを、(AgαInβSbγε
1−δTeδなる組成式を満足するように添加したもの
である。これによって、従来の相変化型光情報記録媒体
に比べて、高密度、高線速度で記録が可能であり、しか
も繰り返し記録を行っても特性が劣化しない、信頼性の
高い相変化型光情報記録媒体を得ることができる。ま
た、このような特性を発揮できる相変化型光情報記録媒
体は、大容量光ファイル、デジタルビデオディスク等へ
の応用が期待される。
【0096】実施例51 トラックピッチ0.7μm、深さ60nmの案内溝を形
成した厚さ0.6mm、直径120μmのポリカーボネ
ート基板上に、図6に示すように、下部耐熱保護層、記
録層、上部耐熱保護層及び反射層を順次スパッタ法によ
り積層し、相変化型光情報記録媒体を作製した。耐熱保
護層には(ZnS)80・(SiO20を用い、反
射層にはAlTi合金を用いた。下部耐熱保護層の膜厚
は120nm、上部耐熱保護層の膜厚は35nm、反射
層の膜厚は80nmとした。記録層の膜厚は21nmと
し、以下のスパッタ条件でDCスパッタした。また、記
録層用のターゲット組成比はAgInSb60Te
28である。 1)投入電力 :0.5kW 2)ガス流量 :Ar、15sccm 3)成膜ガス圧:1.0mTorr 4)基板温度 :25℃でスタートし、30℃/min
レートで昇温
【0097】得られた光情報記録媒体の記録層の構造を
解析するために、別途解析用のガラス基板を用意した。
記録層の初期結晶化は高出力半導体レーザで行った。ま
た、記録層の構造解析、特に相変化記録材料の構成元素
の配位数、結晶構造に関してはX線回折、電子線回折、
EXAPS(広域X線吸収微細構造)等を使用した。そ
の結果を表4に示す。
【0098】
【表4】
【0099】光情報記録媒体の信号特性については、波
長635nmの光源を用いて記録線速度3.5m/s、
EFMランダムパターンでオーバライトの繰返し記録を
行い、その時の3T信号のジッターの記録パワー依存性
により評価した。再生時の線速度は3.5m/sとし
た。その結果を表5に示す。また、図7にX線回折スペ
クトルを示す。
【0100】
【表5】 表5中の「8、9、10、…」は記録パワー(mW)で
あり、「1、1000、3000、…」はオーバライト
回数であり、「8.5、8.3、8.0、…」はジッタ
ー(ns)である。(後述の実施例52〜55及び比較
例51〜52に係る、表7、9、11、13、15、1
7についても同じ)
【0101】実施例52 記録層の成膜条件である基板温度を25℃スタート、1
0℃/minレートで昇温させた点以外は、実施例51
と全く同様にして光情報記録媒体を作製した。その記録
層の構造解析結果を表6に、X線回折スペクトルを図8
に、信号特性を表7にそれぞれ示す。
【0102】
【表6】
【0103】
【表7】
【0104】実施例53 記録層の成膜条件である基板温度を25℃スタート、5
0℃/minレートで昇温させた点以外は、実施例51
と全く同様にして光情報記録媒体を作製した。その記録
層の構造解析結果を表8に、X線回折スペクトルを図9
に、信号特性を表9にそれぞれ示す。
【0105】
【表8】
【0106】
【表9】
【0107】実施例54 記録層のターゲット組成をAgIn10Sb63Te
24とした点以外は、実施例51と全く同様にして光情
報記録媒体を作製した。その記録層の構造解析結果を表
10に、X線回折スペクトルを図10に、信号特性を表
11にそれぞれ示す。
【0108】
【表10】
【0109】
【表11】
【0110】実施例55 記録層のターゲット組成をAgInSb68Te
21とした点以外は、実施例51と全く同様にして光情
報記録媒体を作製した。その記録層の構造解析結果を表
12に、X線回折スペクトルを図11に、信号特性を表
13にそれぞれ示す。
【0111】
【表12】
【0112】
【表13】
【0113】比較例51 成膜時に、基板温度の昇温を行わないでパワー850W
で成膜した点以外は、実施例51と全く同様にして光情
報記録媒体を作製した。その記録層の構造解析結果を表
14に、X線回折スペクトルを図12に、信号特性を表
15にそれぞれ示す。
【0114】
【表14】
【0115】
【表15】
【0116】比較例52 成膜時に、基板温度の昇温を行わないでパワー200W
で成膜した点以外は、実施例51と全く同様にして光情
報記録媒体を作製した。その記録層の構造解析結果を表
16に、X線回折スペクトルを図13に、信号特性を表
17にそれぞれ示す。
【0117】
【表16】
【0118】
【表17】
【0119】以上の表4〜表17と、図7〜図13から
明らかなように、実施例51から実施例55までは、記
録層の構造はNaCl型で、(200)の反射が強いの
が特徴的である。
【0120】また、Ag,In,SbのTeに対する結
合配位数については、以下のとおりである。 (1)Agの場合:非晶質のときには、成膜条件により
結合配位数に差はあるものの、1.5〜2.0の範囲に
ある。また、結晶質のときには3.8〜4.3の範囲に
あり、結晶質のときの結合配位数が、非晶質のときのそ
れよりも大きくなっている。 (2)Inの場合:非晶質のときには3.1〜3.6の
範囲に、結晶質のときには3.6〜4.0の範囲にあ
り、Agと同様に結晶質のときの結合配位数が、非晶質
のときのそれよりも大きくなっている。 (3)Sbの場合:非晶質のときには2.7〜3.1の
範囲に、結晶質のときには2.2〜2.6の範囲にあ
り、非晶質のときの結合配位数が、結晶質のときのそれ
よりも大きくなっている。
【0121】これら実施例51〜55の光情報記録媒体
の信号特性はすべて良好で、8mWから13mWまでの
広い範囲のパワーで記録することができ、しかも高感度
である。また繰返し特性に関しては、2万回程度まで使
用することができる極めて良好なものである。また、保
存特性については、80%RH・80℃の温湿度条件下
に200時間放置した後においても信号特性が劣化する
ことはなく、高い耐候性を有することが確認された。
【0122】一方、比較例51、52では、非晶状態と
結晶状態とでAgの結合配位数に差がなくなっており、
特に結晶状態での結合配位数が小さいことが分る。実施
例との成膜条件の差により、比較例の結果が実施例のそ
れと異なることになった原因については不明であるが、
比較例51、52のX線回折スペクトルと、実施例51
〜55のそれとでは相違点が認められる。即ち比較例5
1がNaCl型であるのは実施例51〜55と同じであ
るが、(220)面が強く、(311)面で成長してい
る。また、比較例52では(220)面が二つに分離し
ているように見える。比較例51、52と実施例51〜
55のそれぞれのX線回折スペクトルの差は、得られた
光情報記録媒体の信号特性にも現れている。即ち、比較
例51、52では、実施例51〜55に比べて感度の低
下が見られる上に、繰返し記録特性が大きく低下してい
る。このことは、記録層(記録膜)の構造、特に結合配
位数が、光情報記録媒体の信号特性に大きく関与してい
ることを示している。
【0123】実施例61〜66 幅0.5μm、深さ35nmの案内溝を有する1.2m
m厚のポリカーボネート基板を成型し、この基板上に第
一保護層、記録層、第二保護層及び反射層を順次スパッ
タ法により積層した。第一保護層及び第二保護層にはZ
nSSiOを用い、膜厚はそれぞれ90nm、30n
mとした。記録層には、表18の実施例61〜66に示
す組成の材料を用い、膜厚は18nmとした。反射層に
はアルミニウム合金を使用した。以上のようにして、基
板/ZnSSiO(90nm)/GeGaSbTe
(18nm)/ZnSSiO(30nm)/Al合金
(140nm)という層構成を形成した。次いで、紫外
線硬化樹脂のスピンコートによるハードコート層、オー
バーコート層を形成し、相変化型光情報記録媒体を作成
した。次に、大口径LDを有する初期化装置によって、
記録層の全面結晶化処理を行った後、オーバーコート層
上に印刷層を形成した。以上の方法で得た相変化型光情
報記録媒体に対し、表18に示した記録線速度、及びm
p部のデューティ比を持つパルス波で記録を行った。本
実施例で用いた光記録装置は図17に示したものと同様
であり、波長780nm、NA0.5のピックアップを
有するものを用いた。記録信号は、EFM変調された入
力信号とした。それぞれの線速度で記録した信号を、
1.2m/sで再生した結果、それぞれ22ns、20
ns、23nsと良好な初期ジッターが得られた。それ
ぞれの記録線速度での、オーバーライト1000回後の
ジッターは、それぞれ32ns、30ns、33nsと
良好であった。また温度80℃、湿度85%環境内で5
00時間保存した後において、記録層の酸化及びディス
ク特性の変化は認められず、良好な保存特性が得られ
た。
【0124】
【表18】
【0125】
【発明の効果】本発明1〜2によれば、最高記録線速度
より大きい線速で記録が可能な光情報記録媒体を提供で
きる。本発明3によれば、従来のディスクと本発明のデ
ィスクを区別できるため、誤って従来のディスクに最高
記録線速度より大きい速度で記録することがない光情報
記録媒体を提供できる。本発明4〜5によれば、更に、
信号品質の良好な光情報記録媒体を、本発明6、7、
9、14によれば、更に、オーバーライト特性に優れた
光情報記録媒体を、本発明8、11によれば信頼性に優
れた光情報記録媒体を、本発明8、12〜14によれば
量産性に優れた光情報記録媒体を、それぞれ提供でき
る。本発明10によれば、現有の汎用性光情報記録装置
の微調整により、最高記録線速度より大きい線速で記録
が可能な光情報記録媒体を提供できる。本発明15、1
6によれば、最高記録線速度より大きい記録線速度で記
録可能か否かを判断し、可能な場合のみ、最高記録線速
度より大きい記録線速度で記録するため、誤記録のない
光情報記録再生方法及び装置を提供できる。
【0126】本発明17〜25によれば、パワーマージ
ンに優れ、繰返し特性、記録・消去感度、保存特性が良
好な相変化型光情報記録媒体を提供できる。本発明26
によれば、上記光情報記録媒体を製造する場合に、上記
特性を有する記録層(記録膜)を能率良く成膜すること
ができる。
【0127】本発明27によれば、記録層の主な構成元
素をGe、Ga、Sb、Teとし、膜厚及び記録層の組
成を特定化することにより、高線速領域(4.8〜48
m/s)での記録・消去が可能で、かつ信号の再生安定
性や信号の寿命等の総合特性に優れた光情報記録媒体を
提供できる。本発明28によれば、高線速領域における
信号の再生安定性や信号の寿命が向上する光情報記録媒
体を提供できる。本発明29によれば、高線速対応性と
保存信頼性のバランスが両立した光情報記録媒体を提供
できる。本発明30によれば、高線速領域において初期
化時や記録・消去時に必要な反射率に到達する光情報記
録媒体を提供できる。本発明31によれば、光情報記録
媒体各層の膜厚及び記録層の組成を特定化し、かつ光情
報記録媒体への情報記録をPWM記録で行う際に、信号
の記録又は書き換えを行う時の記録波パルス列の、fp
とepの時間幅とmpのデューティ比を特定化すること
により、汎用的記録ストラテジによる高線速記録が可能
である光情報記録媒体を提供できる。本発明32によれ
ば、パルス部mpのデューティ比yを記録線速度によっ
て増減させることによって、マルチスピード記録又はC
AV記録が可能な光情報記録媒体を獲得できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の相変化型光情報記録媒体に係る
層構成の一例を示す図である。
【図2】2回記録ジッターの転位線速度依存性を示す図
である。
【図3】実施の形態1の記録パルス波形の一例を示す図
である。 (1) 入力信号を示す図である。 (2) パターンAの記録パルス波形を示す図である。 (3) パターンBの記録パルス波形を示す図である。 (4) パターンCの記録パルス波形を示す図である。
【図4】実施の形態1の記録再生装置の一例を示す図で
ある。
【図5】実施の形態2による記録層を設けた相変化型光
情報記録媒体の記録パルス波形の概念図を示す。
【図6】実施の形態3の光情報記録媒体に係る層構成の
一例を示す図である。
【図7】実施例51で作製した光情報記録媒体の記録層
の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図であ
る。
【図8】実施例52で作製した光情報記録媒体の記録層
の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図であ
る。
【図9】実施例53で作製した光情報記録媒体の記録層
の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図であ
る。
【図10】実施例54で作製した光情報記録媒体の記録
層の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図で
ある。
【図11】実施例55で作製した光情報記録媒体の記録
層の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図で
ある。
【図12】比較例51で作製した光情報記録媒体の記録
層の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図で
ある。
【図13】比較例52で作製した光情報記録媒体の記録
層の構造解析結果を示すX線回折スペクトルの説明図で
ある。
【図14】実施の形態4の相変化型光情報記録媒体に係
る層構成の一例を示す図である。
【図15】本発明の記録パルス波形の例を示す図であ
る。 (1) 入力信号を示す図である。 (2) パターンAの記録パルス波形を示す図である。 (3) パターンBの記録パルス波形を示す図である。 (4) パターンCの記録パルス波形を示す図である。
【図16】実施の形態4の一例であるCD−RWの4x
〜10x記録のマルチスピード記録の記録波形を示す図
である。 (a) 記録線速度4.8m/sの場合の記録波形を示
す図である。 (b) 記録線速度9.6m/sの場合の記録波形を示
す図である。 (c) 記録線速度12.0m/sの場合の記録波形を
示す図である。
【図17】実施の形態4の光情報記録媒体に係る記録再
生装置の一例を示す図である。
【図18】転位線速度の評価系統図である。
【図19】転位線速度の評価結果を示す図である。
【符号の説明】
1 基板 2 第一保護層 3 記録層 4 第二保護層 5 第三保護層 6 反射層 7 オーバーコート層 8 印刷層 8′印刷層 9 ハードコート層 10 接着層 21 基板 22 下部耐熱保護層 23 記録層 24 上部耐熱保護層 25 反射層 31 基板 32 第一保護層 33 記録層 34 第二保護層 35 反射層 36 オーバーコート層 37 印刷層 38 ハードコート層 a パワーレベル b パワーレベル c パワーレベル d パワーレベル e パワーレベル T クロック時間 x パルス部fpの時間幅 z パルス部epの時間幅 y デューティー比 fp パワーレベルaのパルス部 mp パワーレベルbの低レベルパルスとパワーレベル
cの高レベルパルスが交互に出るマルチパルス部 ep パワーレベルdのパルス部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/24 G11B 7/24 534M 561 561N 7/004 7/004 Z 7/0045 7/0045 A 7/26 531 7/26 531 (31)優先権主張番号 特願2001−88516(P2001−88516) (32)優先日 平成13年3月26日(2001.3.26) (33)優先権主張国 日本(JP) (72)発明者 下福 光 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 中村 有希 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 針谷 眞人 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 谷 克彦 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 岩田 周行 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 小名木 伸晃 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 伊藤 和典 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 芝口 孝 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 鈴木 栄子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 譲原 肇 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 田代 浩子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 Fターム(参考) 5D029 HA10 JA01 LA12 LA13 LA14 LA16 WB11 5D090 AA01 BB05 CC01 CC14 FF21 KK03 5D121 AA01 EE30

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同心円又は螺旋状の案内溝を有する透明
    基板上に少なくとも相変化型記録層を有する光情報記録
    媒体において、該記録媒体に、標準記録線速度Vr及び
    /又は最高記録線速度Vhを示す情報を有すると共に、
    相変化型記録層に形成されているランド部及び/又はグ
    ルーブ部に対し、記録層材料を溶融できるエネルギーを
    照射しつつ、線速度を増大させながら走査した際、光情
    報記録媒体の反射率が前記エネルギーの照射前に比べて
    低下する線速度を転位線速度Vとした場合に、半導体レ
    ーザー光を該案内溝のグルーブ部又はランド部にフォー
    カスしてDC照射した際の転位線速度Vが、 0.85Vr≦V、或いは、0.85Vh≦V の条件式を満足することを特徴とする光情報記録媒体。
  2. 【請求項2】 前記転位線速度Vが、0.9Vr≦V≦
    2.0Vr、或いは、0.9Vh≦V≦2.0Vhであ
    ることを特徴とする請求項1記載の光情報記録媒体。
  3. 【請求項3】 前記転位線速度Vに係る条件式を満たす
    光情報記録媒体であるか否かが判別できるような情報を
    有する請求項1又は2記載の光情報記録媒体。
  4. 【請求項4】 前記相変化型記録層を全面結晶化(初期
    化)する際、その初期化線速度Viが、 0.5Vr≦Vi≦1.6Vr、或いは、0.5Vh≦
    Vi≦1.6Vhの条件式を満足することを特徴とする
    請求項1〜3の何れかに記載の光情報記録媒体。
  5. 【請求項5】 前記案内溝のトラックピッチが0.2〜
    1.4μmであり、半導体レーザー光を前記案内溝のグ
    ルーブ部又はランド部にフォーカスしてDC照射した際
    の転位線速度Vが6〜24m/sであることを特徴とす
    る請求項1〜4の何れかに記載の光情報記録媒体。
  6. 【請求項6】 前記相変化型記録層は、未記録状態にお
    いて、主に立方格子結晶構造であることを特徴とする請
    求項1〜5の何れかに記載の光情報記録媒体。
  7. 【請求項7】 前記相変化型記録層は、 SbχTe100−χ(40≦χ≦80、χは原子%) の組成式で表される材料を含むことを特徴とする請求項
    1〜6の何れかに記載の光情報記録媒体。
  8. 【請求項8】 前記相変化型記録層は、添加元素とし
    て、Ga、Ge、Ag、In、Bi、C、N、O、S
    i、Sから選ばれた少なくとも一種の元素を含むことを
    特徴とする請求項7記載の光情報記録媒体。
  9. 【請求項9】 前記相変化型記録層は、 (Ag,Ge)α(In,Ga,Bi)βSbγTeδ の組成式で表される材料で構成されており、式中、(A
    g,Ge)及び(In,Ga,Bi)は、それぞれ括弧
    内の少なくとも一種の元素を含むことを意味し、α、
    β、γ、δは原子%であり、0.1≦α≦7、1≦β≦
    15、61≦γ≦85、20≦δ≦30であることを特
    徴とする請求項1〜8の何れかに記載の光情報記録媒
    体。
  10. 【請求項10】 nを正の整数、Tを信号の変調に用い
    るクロックの周期に相当するクロック時間とした場合
    に、 変調後の信号幅がnTである0信号の記録又は書き換え
    を行なう時の記録光をパワーレベルeの連続光とし、 変調後の信号幅がnTである1信号の記録又は書き換え
    を行なう時の記録光のパルス列を、時間幅xとパワーレ
    ベルaを持つパルス部fpと、合計でTの時間幅を持つ
    パワーレベルbの低レベルパルスとパワーレベルcの高
    レベルパルスとが交互に出て、デューティ比yで計〔n
    −n′〕回(ここで、n′はn′≦nである正の整数)
    連続するマルチパルス部mpと、時間幅zとパワーレベ
    ルdを持つパルス部epとからなるレーザー波パルス列
    とし、 更に、前記x、y、zをそれぞれ0.125T≦x≦
    2.0T、0.125≦y≦0.875、0.125T
    ≦z≦1.0Tとし、(a及びc)>e>(b及びd)
    とする記録条件において、 標準記録線速度Vr又は最高記録線速度Vhより高速で
    記録できるように、同心円又は螺旋状の案内溝を有する
    透明基板上に形成された第一保護層、相変化型記録層、
    第二保護層、反射層、樹脂層の各層の厚さが調整されて
    いることを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の光
    情報記録媒体。
  11. 【請求項11】 層構成として、基板上に少なくとも第
    一保護層、相変化型記録層、第二保護層、第三保護層、
    反射層、樹脂保護層を有することを特徴とする請求項1
    〜10の何れかに記載の光情報記録媒体。
  12. 【請求項12】 前記第三保護層の構成材料が、DCス
    パッタリング法で形成可能なものであることを特徴とす
    る請求項11記載の光情報記録媒体。
  13. 【請求項13】 前記第三保護層の構成材料が、C、S
    i、SiC、SiN、SiO、SiOから選ばれた少
    なくとも一種の物質を含むことを特徴とする請求項11
    又は12記載の光情報記録媒体。
  14. 【請求項14】 前記相変化型記録層は、全面結晶化処
    理の線速度が転位線速度Vよりも遅いことを特徴とする
    請求項1〜13の何れかに記載の光情報記録媒体。
  15. 【請求項15】 あらかじめ決められた転位線速度Vに
    係る条件式を満たす光情報記録媒体であるか否かについ
    ての固有の情報を保有する相変化型光情報記録媒体を光
    情報記録再生装置にセットし、該光情報記録媒体から前
    記固有の情報を再生し、その情報から前記光情報記録媒
    体の最高記録線速度Vhより大きい記録線速度で記録可
    能であるか否かを判断し、可能である場合に、最高記録
    線速度Vhより大きい記録線速度で記録再生することを
    特徴とする光情報記録再生方法。
  16. 【請求項16】 あらかじめ決められた転位線速度Vに
    係る条件式を満たす光情報記録媒体であるか否かについ
    ての固有の情報を保有する相変化型光情報記録媒体から
    前記固有の情報を再生し、その情報から前記光情報記録
    媒体の最高記録線速度Vhより大きい記録線速度で記録
    可能であるか否かを判断し、可能である場合に、最高記
    録線速度Vhより大きい記録線速度で記録再生するよう
    に設定されていることを特徴とする光情報記録再生装
    置。
  17. 【請求項17】 電磁波の照射により非晶相と結晶相の
    間を変化する相変化記録材料からなる記録層を設けた相
    変化型光情報記録媒体において、前記相変化記録材料
    は、Ag,In,Sb,Teから成り、これらの元素の
    結合配位数が、成膜後の非晶状態と、初期化後及び情報
    消去後の結晶状態とで異なることを特徴とする光情報記
    録媒体。
  18. 【請求項18】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、Ag及び/又はInのTeに対する結合配位数
    において、非晶状態での結合配位数より結晶状態での結
    合配位数の方が大きいことを特徴とする請求項17記載
    の光情報記録媒体。
  19. 【請求項19】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、AgのTeに対する結合配位数が、非晶状態の
    時に1.5〜2.5の範囲にあり、結晶状態の時に3.
    5〜4.5の範囲にあることを特徴とする請求項17又
    は18記載の光情報記録媒体。
  20. 【請求項20】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、InのTeに対する結合配位数が、非晶状態の
    時に3.0〜3.8の範囲にあり、結晶状態の時に3.
    4〜4.2の範囲にあることを特徴とする請求項17〜
    19の何れかに記載の光情報記録媒体。
  21. 【請求項21】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、SbのTeに対する結合配位数において、非晶
    状態での結合配位数より結晶状態での結合配位数の方が
    小さいことを特徴とする請求項17〜20の何れかに記
    載の光情報記録媒体。
  22. 【請求項22】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、SbのTeに対する結合配位数が、非晶状態の
    時に2.7〜3.5の範囲にあり、結晶状態の時に2.
    0〜2.8の範囲にあることを特徴とする請求項17〜
    21の何れかに記載の光情報記録媒体。
  23. 【請求項23】 前記相変化記録材料は、結晶状態での
    構造がNaCl型であることを特徴とする請求項17〜
    22の何れかに記載の光情報記録媒体。
  24. 【請求項24】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、Teが占有するNaCl型構造のClサイトに
    は、空孔が多数存在することを特徴とする請求項23記
    載の光情報記録媒体。
  25. 【請求項25】 前記相変化記録材料は、その構成元素
    のうち、Teが占有するべきNaCl型構造のClサイ
    トに、7/12〜9/12の範囲の空孔が存在すること
    を特徴とする請求項24記載の光情報記録媒体。
  26. 【請求項26】 記録層の成膜時に、基板を10〜50
    ℃/minの範囲の一定のレートで昇温させながら、2
    50〜850Wの範囲のパワーで成膜することを特徴と
    する請求項17〜25の何れかに記載の光情報記録媒体
    の製造方法。
  27. 【請求項27】 円盤状の基板上に少なくとも相変化型
    記録層を有する光情報記録媒体において、前記相変化型
    記録層の構成元素が主にGe、Ga、Sb及びTeであ
    り、各元素の組成比を順にα、β、γ、δ(原子%)と
    し、α+β+γ+δ=100としたときに、 0.1≦α≦7 1≦β≦9 61≦γ≦75 22≦δ≦30 の条件式を満足することを特徴とする光情報記録媒体。
  28. 【請求項28】 前記相変化型記録層に、In、Zn、
    Sn、Si、Pb、Co、Cr、Cu、Ag、Au、P
    d、Pt、S、Se、Ta、Nb、V、Bi、Zr、T
    i、Al、Mn、Mo、Rh、C、N及びOから選ばれ
    た少なくとも一種類以上の元素を添加したことを特徴と
    する請求項27記載の光情報記録媒体。
  29. 【請求項29】 Ge及びGaの組成比が、−8≦α−
    β≦3であることを特徴とする請求項27又は28記載
    の光情報記録媒体。
  30. 【請求項30】 Sb及びTeの組成比が、γ+δ≧8
    8であることを特徴とする請求項27〜29の何れかに
    記載の光情報記録媒体。
  31. 【請求項31】 レーザー光を光情報記録媒体に照射す
    ることにより前記光情報記録媒体の記録層に相変化を生
    じさせ、前記光情報記録媒体に対する情報の記録、再生
    を行い、かつ書き換えが可能である情報記録再生方法が
    適用される光情報記録媒体であり、かつ、 信号を変調して情報記録媒体にPWM記録することによ
    り情報の記録を行う際に、変調後の信号幅がnT(但
    し、Tはクロック時間、nは正の整数)である0信号の
    記録又は書き換えを行う時の記録波をパワーレベルeの
    連続光とし、 変調後の信号幅がnTである1信号の記録或いは書き換
    えを行う時の記録波パルス列を、時間幅xとパワーレベ
    ルaを持つパルス部fpと、合計でTの時間幅を持つパ
    ワーレベルbの低レベルパルスとパワーレベルcの高レ
    ベルパルスとが交互にデューティ比yで計〔n−n′〕
    回(ここで、n′はn′≦nである正の整数)連続する
    マルチパルス部mpと、時間幅zとパワーレベルdを持
    つパルス部opを有するパルス列とし、 更に、前記x、y、zを0.5T≦x≦2.0T、0.
    125≦y≦0.875、0.125T≦z≦1.0T
    とし、(a及びc)≧e≧(b及びd)とする、マルチ
    スピード記録及び/又はCAV記録が可能なことを特徴
    とする請求項27〜30の何れかに記載の光情報記録媒
    体。
  32. 【請求項32】 前記パルス部mpのデューティ比yが
    記録線速度によって増減できることを特徴とする請求項
    31記載の光情報記録媒体。
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