JP2002349645A - 無潤滑型波動歯車装置 - Google Patents
無潤滑型波動歯車装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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Abstract
動発生器4のウェーブベアリング42の内輪43および
ボール45はセラミックからなり、外輪44はSUJ
2、ステンレス鋼からなり、外輪44の内周面に形成さ
れている転動面48にはDLCコーティング処理による
DLC皮膜302が形成され、内輪43の外周面に形成
されている転動面47にはDLCコーティング処理によ
るDLC皮膜303が形成され、ボール45の表面には
DLCコーティング処理によるDLC皮膜304が形成
されている。この構成により、ウェーブベアリング42
の無潤滑化を実現できる。また、ウェーブベアリングの
部分における潤滑剤の攪拌抵抗を無くすことができるの
で、動力損失率を大幅に低減できる。
Description
車装置に関するものである。
剛性の内歯歯車と、この内側に配置されている円環状を
した可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車の内側に嵌め込
まれた波動発生器から構成されている。波動発生器は、
楕円形輪郭をした剛性のウェーブプラグと、このウェー
ブプラグの外周に嵌めたウェーブベアリングから構成さ
れており、外歯歯車を楕円形に撓めて、その長軸方向の
両端に位置している外歯部分を剛性内歯歯車の内歯部分
に噛み合わせている。波動発生器をモータ等によって回
転すると、両歯車の噛合位置が円周方向に移動する。こ
の結果、両歯車の歯数差に起因して両歯車に相対回転が
発生する。一般には両歯車の歯数差は2枚とされ、内歯
歯車が装置ハウジング等に固定されているので、歯数差
に基づき大幅に減速された回転出力が外歯歯車から取出
される。
部噛合い部分、外歯歯車と波動発生器の間の摩擦摺動部
分、波動発生器のウェーブベアリングにおける摩擦摺動
部分に、潤滑剤を供給するようにしている。例えば、特
開平9−250609号公報、同9−250610号公
報、同9−250611号公報等には、これらの部分へ
の潤滑機構が提案されている。
車装置の使用場所によっては潤滑剤を使用できない場合
がある。
環境汚染を回避する必要のある場合や真空中での使用の
場合には潤滑剤が外部に漏れ出ないようにシール機構を
取り付ける等の対策が必要になる。
合には、特に、外歯歯車と波動発生器の間の接触面に対
する潤滑が不充分になり易い。この接触面の潤滑が不充
分になると、この接触面に作用する大きなスラスト力に
起因して発熱および摩耗が増加し、焼き付き等の弊害が
発生する。
転自在とするために波動発生器の外周に取り付けられて
いるウェーブベアリングにおける摩擦摺動部分では、こ
の部分を潤滑している潤滑剤の攪拌抵抗が大きく、これ
が波動歯車装置の動力損失の大きな割合を占めている。
潤滑剤の使用が好ましくない環境下で用いるのに適した
波動歯車装置を提案することにある。
生器の間の摩擦面に対する潤滑を充分に行なうことので
きる波動歯車装置を提案することにある。
ェーブベアリングを潤滑している潤滑剤の攪拌抵抗によ
る動力損失を回避可能な波動歯車装置を提案することに
ある。
剛性の内歯歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、
この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して
部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周
方向に移動させる波動発生器とを有する波動歯車装置に
おいて:前記内歯歯車は高強度アルミニウム合金または
銅合金からなり;前記外歯歯車は構造用鋼あるいはステ
ンレス鋼からなり;前記内歯歯車の歯面には、硬質無電
解メッキ処理により形成されたメッキ皮膜と、このメッ
キ皮膜の表面をDLCコーティング処理することにより
形成されたDLC皮膜が積層されており;前記外歯歯車
の歯面には、低温処理DLCコーティングによるDLC
皮膜が形成されていることを特徴としている。
のウェーブプラグと、このウェーブプラグの外周面およ
び前記外歯歯車の内周面の間に嵌め込まれているウェー
ブベアリングとを備え、このウェーブベアリングは、外
周面が前記外歯歯車の内周面に接触している可撓性の外
輪と、内周面が前記ウェーブプラグの外周面に接触して
いる内輪と、これら外輪および内輪の間に転動自在に挿
入されている複数個の転動体とを備えている。
は、SUJ2、ステンレス鋼あるいはベリリウム銅から
なり、前記外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形
成した酸化皮膜、DLCコーティング処理により形成し
たDLC皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あ
るいは窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄
皮膜が形成されており、前記外輪の外周面にはDLCコ
ーティング処理により形成したDLC皮膜が形成されて
いることが望ましい。
ラミック、ステンレス鋼あるいはSUJ2からなり、前
記波動発生器の内輪は、SUJ2、ステンレス鋼、ベリ
リウム銅、あるいはセラミックからなり、前記外輪の内
周面に形成されている転動面にはDLCコーティング処
理によるDLC皮膜が形成されており、前記内輪の外周
面に形成されている転動面にはDLCコーティング処理
によるDLC皮膜が形成されており、前記転動体の表面
にはDLCコーティング処理によるDLC皮膜が形成さ
れていることが望ましい。
ム合金あるいは銅合金からなることが望ましい。
歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯
車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛
み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動
させる波動発生器とを有する波動歯車装置において:前
記外歯歯車は構造用鋼あるいはステンレス鋼からなり;
前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェ
ーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に
嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウ
ェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に
接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプ
ラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および
内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体と
を備えており;前記波動発生器の前記外輪は、SUJ
2、ステンレス鋼あるいはベリリウム銅からなり;前記
外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した酸化
皮膜、DLCコーティング処理により形成したDLC皮
膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは窒化
処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が形成
されており;前記外輪の外周面にはDLCコーティング
処理により形成したDLC皮膜が形成されていることを
特徴としている。
歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯
車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛
み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動
させる波動発生器とを有する波動歯車装置において:前
記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェー
ブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に嵌
め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウェ
ーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に接
触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプラ
グの外周面に接触している内輪と、これら外輪および内
輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体とを
備えており;前記波動発生器の前記外輪は、SUJ2、
ステンレス鋼あるいはベリリウム銅からなり;前記波動
発生器の前記転動体は、セラミック、ステンレス鋼ある
いはSUJ2からなり;前記波動発生器の内輪は、SU
J2、ステンレス鋼、ベリリウム銅、あるいはセラミッ
クからなり;前記外輪の内周面に形成されている転動面
にはDLCコーティング処理によるDLC皮膜が形成さ
れており;前記内輪の外周面に形成されている転動面に
はDLCコーティング処理によるDLC皮膜が形成され
ており;前記転動体の表面にはDLCコーティング処理
によるDLC皮膜が形成されていることを特徴としてい
る。
ム合金あるいは銅合金からなることが望ましい。
を適用した無潤滑型の波動歯車装置を説明する。
ップ型の波動歯車装置の一例を示す縦断面図および正面
図である。これらの図に示すように、コップ型の波動歯
車装置1は、円環状をした剛性の内歯歯車2と、この内
側に配置されているコップ状の可撓性の外歯歯車3と、
この外歯歯車3の内側に嵌め込まれた楕円形輪郭の波動
発生器4から構成されている。
と、この胴部31の一端開口縁から半径方向の内方に伸
びている円環状のダイヤフラム32と、このダイヤフラ
ム32の内周縁に一体形成された円環状のボス33と、
胴部31の他端側開口の外周部分に形成された外歯34
を備えている。外歯34は、内歯歯車2の内歯21に噛
合い可能となっている。
ウェーブプラグ41と、このウェーブプラグ5の外周に
嵌めたウェーブベアリング42から構成されている。ウ
ェーブベアリング42は、ウェーブプラグ41の外周面
に嵌めた内輪43と、外歯歯車3の胴部内周面35に嵌
め込まれた外輪44と、これらの間に転動自在の状態で
挿入されているボール45を備えている。更に詳しく
は、外輪44の外周面46は外歯歯車3の胴部内周面3
5に摩擦接触している。また、内輪43の外周面には円
弧状断面のボール転動面47が形成され、外輪44の内
周面にも円弧状のボール転動面48が形成されている。
分を楕円形に撓めて、その長軸方向の両端に位置してい
る外歯34の部分を内歯歯車2の内歯21の部分に噛み
合わせている。波動発生器をモータ等によって回転する
と、両歯車2、3の噛合位置が円周方向に移動する。こ
の結果、両歯車2、3の歯数差に起因して両歯車に相対
回転が発生する。一般には両歯車の歯数差は2枚とさ
れ、内歯歯車2が装置ハウジング等に固定されているの
で、歯数差に基づき大幅に減速された回転出力が外歯歯
車3から取出される。
動歯車装置1において、次のようにして、発熱源である
両歯車2、3の歯面部分、外歯歯車3と波動発生器4の
摩擦接触部分、波動発生器4の摩擦接触部分を、油潤滑
の場合と同程度の摩擦係数(μ=0.1)に抑えた。ま
た、これらの部分から発生した熱を、熱伝導性の良い材
質からなる内歯歯車2およびウェーブプラグ41を介し
て効率良く放出可能とした。この結果、実用的な無潤滑
型の波動歯車装置を得ることができた。
歯歯車2を高強度アルミニウム合金あるいは銅合金から
形成し、その表面に硬質無電解メッキ処理によるメッキ
皮膜101を形成した。また、内歯歯車2の内歯21の
表面(歯面部分)にはメッキ皮膜101の上からDLC
コーティング処理を施して、DLC皮膜102を形成し
た。
レス鋼から形成し、その外歯34の表面(歯面部分)に
は低温処理DLCコーティングによるDLC皮膜103
を形成した。外歯歯車3の胴部内周面35のうち、ウェ
ーブベアリング外輪44に接触する内周面部分104に
は、水蒸気処理による酸化皮膜、浸硫処理による硫化鉄
皮膜、あるいはDLCコーティング処理によるDLC皮
膜を形成した。
グの外輪44をSUJ2、ステンレス鋼あるいはベリリ
ウム銅から形成し、その内周面(ボール転動面)48お
よび外周面46にDLCコーティング処理によるDLC
皮膜105、106を形成した。内輪43もSUJ2、
ステンレス鋼、あるいはベリリウム銅から形成し、その
外周面(ボール転動面)47にはDLCコーティング処
理によるDLC皮膜107を形成した。ボール45をセ
ラミック(Si3N4)から形成した。また、ウェーブプ
ラグ41を低線膨張係数のアルミニウム合金あるいは、
銅合金から形成した。
て、特に潤滑性が要求される外歯歯車の胴部内周面と波
動発生器外周面(ウェーブベアリング外輪の外周面)と
の摩擦接触部分の発熱、摩耗を抑制するために次のよう
にした。この結果、油潤滑時の摩擦係数(μ=0.1)
と同様な状態が得られ、実用的な無潤滑型の波動歯車装
置が得られた。
おけるウェーブベアリング外輪44と接触する部分に、
水蒸気処理を施すことにより自己潤滑性の高い酸化鉄皮
膜201を形成した。また、ウェーブベアリング外輪4
4の外周面46には、DLCコーティングを施すことに
よりDLC皮膜202を形成した。この結果、外歯歯車
3とウェーブベアリング外輪44との間には低摩擦係数
の皮膜が介在し、金属同士の直接接触状態を回避でき
る。よって、この摩擦接触部分の発熱、摩耗を、油潤滑
と同様に抑制できる。
場合には、その胴部内周面35に、窒化処理(軟窒化処
理、あるいは酸窒化処理)を施した後に、水蒸気処理を
施して酸化的皮膜を形成することが望ましい。
理による硫化皮膜を形成しても、同様の作用効果が得ら
れる。
グ外輪44の材料としては、第1の実施例で述べたもの
を用いることができる。
て、波動発生器4のウェーブベアリング42の摩擦接触
部分、およびウェーブベアリング外輪44と外歯歯車3
の摩擦接触部分の無潤滑化を次のようにして実現した。
UJ2あるいはステンレス鋼から形成し、内輪43をS
UJ2、ステンレス鋼あるいはセラミック(Si3N4)
から形成し、ボール45も内輪43と同様にSUJ2、
ステンレス鋼あるいはセラミック(Si3N4)から形成
した。また、ウェーブプラグ41を、ウェーブベアリン
グ転動面47、48の発熱を効率良く放出できるように
するために、熱伝導性の良い銅系、あるいはアルミニウ
ム系の材料から形成した。
ル転動面)48には、それぞれDLCコーティング処理
によるDLC皮膜301、302を形成した。内輪43
の外周面(ボール転動面)47にもDCLコーティング
処理によるDLC皮膜303を形成した。また、ボール
45の外周面にもDLCコーティング処理によるDLC
皮膜304を形成した。
焼き戻し温度が低いので、DLCコーティング処理温度
を摂氏100度以下とすることが望ましい。また、通常
のDLC皮膜は、硬度がHv1000ないし1500程
度のものが多い。これ以上の硬度、例えば、Hv200
0ないし8000程度のDLC皮膜を形成する場合に
は、コーティング対象の部材の表面を軟窒化処理するこ
とにより、その表層部分を硬度的に傾斜材としておくこ
とが望ましい。
輪内外周面46、48、ボール45、内輪外周面47に
低摩擦係数のDLCコーティングを施してあるので、ウ
ェーブベアリング42の部分の無潤滑化、およびウェー
ブベアリング外輪44と外歯歯車内周面35の接触部分
の無潤滑化を実現できる。また、ボール45および内輪
43をセラミックから形成した場合には特に良好な結果
が得られる。
験によれば、波動歯車装置の各部分に要求される特性は
次の通りである。
定の剛性、熱伝導性、加工精度および締結強度が要求さ
れ、剛性内歯歯車の内歯部分には、所定の耐摩耗性が要
求されると共に低摩擦係数を有することが要求され、ま
た、密着性も備えていることが望ましい。
強度、加工精度、耐摩耗性および締結強度が要求され、
可撓性外歯歯車の外歯部分には、所定の耐摩耗性が要求
されると共に低摩擦係数であることが要求され、また、
密着性も備えていることが望ましい。さらに、可撓性内
歯歯車の内周面は、低摩擦係数であること、耐摩耗性が
あることが要求され、密着性も備えていることが望まし
い。
と、転動疲労強度が大きく、耐摩耗性があることが要求
される。
型波動歯車装置を製造したところ、良好な結果が得られ
た。
全面に10μmの無電解めっき皮膜を形成し、内歯部分
の表面には1μm以下のDLC皮膜を形成した。このD
LC皮膜は、めっき皮膜との密着性、硬度の傾斜を考慮
して、処理温度を350ないし450℃として形成し
た。
し、その外歯部分の表面に1μm以下のDLC皮膜を形
成し、その内周面を拡散焼きなましにより均質化した。
DLC皮膜は、残留応力低下を目的として、100℃以
下の処理温度により形成した。
のウェーブベアリングの外輪はステンレス鋼とし、その
外周面と内周の軌道面部分に1μm以下のDLC皮膜を
形成した。ボールはセラミック製とした。また、内輪を
ステンレス鋼とし、その軌道面部分に1μm以下のDL
C皮膜を形成した。外輪外周面と、外輪および内輪の軌
道面部分に形成したDLC皮膜は、材料の戻し温度以下
である200℃以下の処理温度で形成した。
装置では、内歯歯車は高強度アルミニウム合金または銅
合金からなり、外歯歯車は構造用鋼あるいはステンレス
鋼からなり、内歯歯車の歯面には、硬質無電解メッキ処
理により形成されたメッキ皮膜と、このメッキ皮膜の表
面をDLCコーティング処理することにより形成された
DLC皮膜が積層されており、外歯歯車の歯面には、低
温処理DLCコーティングによるDLC皮膜が形成され
ている。本発明によれば、内歯歯車と外歯歯車の歯面噛
合い部分の無潤滑化を実現できる。
動発生器の外輪は、SUJ2、ステンレス鋼あるいはベ
リリウム銅からなり、外歯歯車の内周面には、水蒸気処
理により形成した酸化皮膜、DLCコーティング処理に
より形成したDLC皮膜、浸硫処理により形成した硫化
鉄皮膜、あるいは窒化処理および水蒸気処理により形成
した酸化鉄皮膜が形成されており、外輪の外周面にはD
LCコーティング処理により形成したDLC皮膜が形成
されている。この構成によれば、外歯歯車と波動発生器
の摩擦接触部分の無潤滑化を実現できる。
波動発生器のウェーブベアリングの転動体は、セラミッ
ク、ステンレス鋼あるいはSUJ2からなり、その内輪
は、SUJ2、ステンレス鋼、ベリリウム銅、あるいは
セラミックからなり、その外輪の内周面に形成されてい
る転動面にはDLCコーティング処理によるDLC皮膜
が形成されており、内輪の外周面に形成されている転動
面にはDLCコーティング処理によるDLC皮膜が形成
されており、転動体の表面にはDLCコーティング処理
によるDLC皮膜が形成されている。この構成によれ
ば、ウェーブベアリングの無潤滑化を実現できる。ま
た、このウェーブベアリングの部分を油潤滑する場合に
は、潤滑剤の攪拌抵抗が波動歯車装置の動力損失率の大
半を占めることになるので、この部分を無潤滑化すれ
ば、損失率を大幅に低減できるという利点が得られる。
ルミニウム合金あるいは銅合金から形成すれば、ウェー
ブベアリング転動面での発熱を効率良く外部に放出でき
る。
示す縦断面図である。
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状
をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に
撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共
に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生
器とを有する波動歯車装置において、 前記内歯歯車は高強度アルミニウム合金または銅合金か
らなり、 前記外歯歯車は構造用鋼あるいはステンレス鋼からな
り、 前記内歯歯車の歯面には、硬質無電解メッキ処理により
形成されたメッキ皮膜と、このメッキ皮膜の表面をDL
Cコーティング処理することにより形成されたDLC皮
膜が積層されており、 前記外歯歯車の歯面には、低温処理DLCコーティング
によるDLC皮膜が形成されていることを特徴とする波
動歯車装置。 - 【請求項2】 円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状
をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に
撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共
に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生
器とを有する波動歯車装置において、 前記外歯歯車は構造用鋼あるいはステンレス鋼からな
り、 前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェ
ーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に
嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウ
ェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に
接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプ
ラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および
内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体と
を備えており、 前記波動発生器の前記外輪は、SUJ2、ステンレス鋼
あるいはベリリウム銅からなり、 前記外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した
酸化皮膜、DLCコーティング処理により形成したDL
C皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは
窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が
形成されており、 前記外輪の外周面にはDLCコーティング処理により形
成したDLC皮膜が形成されていることを特徴とする波
動歯車装置。 - 【請求項3】 円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状
をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に
撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共
に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生
器とを有する波動歯車装置において、 前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェ
ーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に
嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウ
ェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に
接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプ
ラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および
内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体と
を備えており、 前記波動発生器の前記外輪は、SUJ2、ステンレス鋼
あるいはベリリウム銅からなり、 前記波動発生器の前記転動体は、セラミック、ステンレ
ス鋼あるいはSUJ2からなり、 前記波動発生器の内輪は、SUJ2、ステンレス鋼、ベ
リリウム銅、あるいはセラミックからなり、 前記外輪の内周面に形成されている転動面にはDLCコ
ーティング処理によるDLC皮膜が形成されており、 前記内輪の外周面に形成されている転動面にはDLCコ
ーティング処理によるDLC皮膜が形成されており、 前記転動体の表面にはDLCコーティング処理によるD
LC皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装
置。 - 【請求項4】 請求項3において、 前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金
からなることを特徴とする波動歯車装置。 - 【請求項5】 請求項1において、 前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェ
ーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に
嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウ
ェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に
接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプ
ラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および
内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体と
を備えており、 前記波動発生器の前記外輪は、SUJ2、ステンレス鋼
あるいはベリリウム銅からなり、 前記外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した
酸化皮膜、DLCコーティング処理により形成したDL
C皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは
窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が
形成されており、 前記外輪の外周面にはDLCコーティング処理により形
成したDLC皮膜が形成されていることを特徴とする波
動歯車装置。 - 【請求項6】 請求項5において、 前記波動発生器の前記転動体は、セラミック、ステンレ
ス鋼あるいはSUJ2からなり、 前記波動発生器の内輪は、SUJ2、ステンレス鋼、ベ
リリウム銅、あるいはセラミックからなり、 前記外輪の内周面に形成されている転動面にはDLCコ
ーティング処理によるDLC皮膜が形成されており、 前記内輪の外周面に形成されている転動面にはDLCコ
ーティング処理によるDLC皮膜が形成されており、 前記転動体の表面にはDLCコーティング処理によるD
LC皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装
置。 - 【請求項7】 請求項6において、 前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金
からなることを特徴とする波動歯車装置。 - 【請求項8】 請求項1において、 前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェ
ーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に
嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウ
ェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に
接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプ
ラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および
内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体と
を備えており、 前記波動発生器の前記外輪は、SUJ2、ステンレス鋼
あるいはベリリウム銅からなり、 前記波動発生器の前記転動体は、セラミック、ステンレ
ス鋼あるいはSUJ2からなり、 前記波動発生器の内輪は、SUJ2、ステンレス鋼、ベ
リリウム銅、あるいはセラミックからなり、 前記外輪の内周面に形成されている転動面にはDLCコ
ーティング処理によるDLC皮膜が形成されており、 前記内輪の外周面に形成されている転動面にはDLCコ
ーティング処理によるDLC皮膜が形成されており、 前記転動体の表面にはDLCコーティング処理によるD
LC皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装
置。 - 【請求項9】 請求項8において、 前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金
からなることを特徴とする波動歯車装置。
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