CN111684176B - 波动齿轮装置 - Google Patents

Abstract

一种波动齿轮装置(1)具有：呈圆环状且具有刚性的内齿齿轮(11)；呈圆环状且具有可挠性、配置于内齿齿轮内的外齿齿轮(17)；以及波动发生器(31)，该波动发生器配置于外齿齿轮内，使外齿齿轮沿径向挠曲而相对于内齿齿轮部分地啮合，并且使内齿齿轮与外齿齿轮啮合的位置沿周向移动。外齿齿轮的内周面的维氏硬度相对于波动发生器的外周面的维氏硬度的比率为1.2以上1.7以下。

Description

波动齿轮装置

技术领域

本发明涉及波动齿轮装置。

本申请基于2018年2月7日在日本申请的特愿2018-020532号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

以往，作为减速器之一，使用波动齿轮装置(例如，参照专利文献1、2以及非专利文献1)。典型的波动齿轮装置具备内齿齿轮(Circular Spline)、外齿齿轮(Flex spline)、波动发生器(Wave Generator)。

内齿齿轮呈圆环状并具有刚性。外齿齿轮呈圆环状并具有可挠性，配置于内齿齿轮内。波动发生器由具有椭圆形轮廓的刚性较高的波动插塞和嵌入该波动插塞的外周的波动轴承构成。外齿齿轮挠曲成椭圆形，使位于其长轴方向的两端的外齿与内齿齿轮的内齿啮合。若利用马达等使波动发生器旋转，则两齿轮的啮合位置沿周向移动。其结果是，因两齿轮的齿数差而在两齿轮产生周向的相对旋转。

一般而言，两齿轮的齿数差被设为2片，内齿齿轮被固定于波动齿轮装置的壳体等。因此，因齿数差而大幅减速的旋转输出从外齿齿轮向外部输出。

在该结构的波动齿轮装置中，在工作中，在波动发生器的外周面与外齿齿轮的内周面之间，伴随着微小滑动而产生间隙的开闭(挤压运动)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本国特许第4165679号公报

专利文献2日本国特许第4807689号公报

非专利文献

非专利文献1间庭和聪、小原新吾、「宇宙用波動歯車装置の潤滑機構に関する研究」、[online]、平成19年3月、宇宙航空研究开发机构研究开发报告，[平成29年11月27日检索]、网络〈URL：https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/41002〉

发明内容

发明所要解决的课题

然而，根据波动齿轮装置的使用场所的不同，有时在波动发生器的外周面与外齿齿轮的内周面之间无法使用润滑剂，或者只能使用少量的润滑剂。

并且，在波动齿轮装置的运转条件严格的情况下，对波动发生器与外齿齿轮之间的接触面的润滑容易变得不充分。若该接触面的润滑不充分，则会产生烧粘等弊害。

本发明是鉴于这样的问题点而完成的，其目的在于提供一种提高了外齿齿轮的内周面的耐磨损性的波动齿轮装置。

用于解决课题的手段

本发明的波动齿轮装置具有：呈圆环状且具有刚性的内齿齿轮；呈圆环状并具有可挠性，配置于所述内齿齿轮内的外齿齿轮；以及波动发生器，所述波动发生器配置于所述外齿齿轮内，使所述外齿齿轮沿径向挠曲而相对于所述内齿齿轮部分地啮合，并且使所述内齿齿轮与外齿齿轮的啮合位置沿周向移动，其中，所述外齿齿轮的内周面的维氏硬度相对于所述波动发生器的外周面的维氏硬度的比率为1.2以上1.7以下。

根据本发明，外齿齿轮的内周面相对于波动发生器的外周面的维氏硬度的比率为1.2以上1.7以下。因此，在波动发生器的外周面与外齿齿轮的内周面发生滑动时，表面硬度比较低的波动发生器的外周面容易磨损。因此，能够提高外齿齿轮的内周面的耐磨损性。

另外，在上述波动齿轮装置中，所述外齿齿轮的内周面的算术平均粗糙度可以为0.05μm以上0.1μm以下。

根据本发明，在外齿齿轮的内周面形成平滑的面，能够抑制初期磨损粉的产生。

另外，在上述波动齿轮装置中，所述外齿齿轮的内周面的JIS B0601：2013中规定的偏度可以是-2以上-0.3以下。

根据本发明，在外齿齿轮的内周面形成有作为储油部(dimple)发挥功能的凹部。积存于凹部的润滑剂难以从凹部流出到外部。通过凹部内的润滑剂，能够降低波动发生器的外周面与外齿齿轮的内周面之间的磨损。

另外，在上述的波动齿轮装置中，所述外齿齿轮具有呈圆环状且具有可挠性的外齿齿轮本体、设置于所述外齿齿轮本体的外周面的外齿、以及设置于所述外齿齿轮本体的内周面的第一硬化层，所述第一硬化层的厚度可以为50μm以下，且为所述外齿齿轮本体中的所述外齿的齿根与所述外齿齿轮本体的内周面之间的距离的10％以下。

一般而言，硬度高的材料容易变脆。根据本发明，由于第一硬化层相对于外齿齿轮本体变薄，因此通过在外齿齿轮本体的内周面设置第一硬化层，能够抑制外齿的齿根的疲劳强度降低。

另外，在上述的波动齿轮装置中，所述外齿齿轮具有呈圆环状且具有可挠性的外齿齿轮本体、设置于所述外齿齿轮本体的外周面的外齿、以及沿周向分别设置于所述外齿的径向外侧的外表面以及侧面、所述外齿齿轮本体中的所述外齿的齿根的第二硬化层，所述第二硬化层的厚度可以为50μm以下，且为所述外齿齿轮本体中的所述外齿的齿根与所述外齿齿轮本体的内周面之间的距离的10％以下。

根据本发明，由于第二硬化层相对于外齿齿轮本体变薄，因此通过在外齿齿轮本体设置第二硬化层，能够抑制外齿的齿根的疲劳强度降低。

发明效果

根据本发明的波动齿轮装置，能够提高外齿齿轮的内周面的耐磨损性。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的波动齿轮装置的剖视图。

图2是相当于图1中的II-II线的剖视图。

图3是图2中的A部放大图。

图4是表示在实施例的波动齿轮装置的外齿齿轮中，基于距表面的距离的硬度换算值的测定结果的图。

图5是表示在实施例的波动齿轮装置的外齿齿轮中，内周面的周向的表面粗糙度的概率密度函数的图。

图6是表示实施例的波动齿轮装置中的输入扭矩相对于输出轴的累积转数的变化的图。

图7是表示在比较例的波动齿轮装置的外齿齿轮中，内周面的周向的表面粗糙度的概率密度函数的图。

图8是表示比较例的波动齿轮装置中的输入扭矩相对于输出轴的累积转数的变化的图。

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，参照图1至图3对本发明所涉及的波动齿轮装置的第一实施方式进行说明。

如图1以及图2所示，本实施方式的波动齿轮装置1是所谓的杯状的波动齿轮装置。波动齿轮装置1具备内齿齿轮部(内齿齿轮)11、外齿齿轮部16以及波动发生器31。另外，在图2中没有标注表示截面的剖面线。

内齿齿轮部11呈圆环状并具有刚性。如图2和图3所示，内齿齿轮11具有内齿齿轮本体12、多个内齿13和内齿硬化层(第三硬化层)14。

内齿齿轮本体12呈圆环状并具有刚性。多个内齿13在内齿齿轮本体12的内周面沿着内齿齿轮本体12的周向(以下，简称为周向)排列设置。例如，内齿齿轮本体12和多个内齿13由不锈钢等一体地形成。

如图3所示，内齿硬化层14沿周向分别设置于多个内齿13中的内齿齿轮本体12的径向(以下简称为径向)内侧的外表面13a及侧面13b、内齿齿轮本体12的内齿13的齿根12a。内齿硬化层14的维氏硬度Hv分别大于内齿齿轮本体12及内齿13的维氏硬度Hv。

例如，通过对内齿齿轮本体12及多个内齿13进行渗碳处理或氮化处理等而形成内齿硬化层14。

如图1及图2所示，外齿齿轮部16具备外齿齿轮17、隔膜18及轮毂19。

外齿齿轮17呈圆环状并具有可挠性。外齿齿轮17配置于内齿齿轮部11内。如图2及图3所示，外齿齿轮17具有外齿齿轮本体21、多个外齿22、外齿内硬化层(第一硬化层)23、以及外齿外硬化层(第二硬化层)24。

外齿齿轮本体21呈圆环状并具有可挠性。多个外齿22在外齿齿轮本体21的第一端部的外周面沿周向排列设置。多个外齿22与内齿齿轮部11的多个内齿13啮合。例如，外齿齿轮本体21和多个外齿22由不锈钢等一体地形成。

外齿内硬化层23设置于外齿齿轮本体21的第一端部的内周面。

外齿内硬化层23的厚度(径向的长度)为50μm(微米)以下，且为外齿齿轮本体21的外齿22的齿根21a与外齿齿轮本体21的内周面之间的距离L1的10％以下。距离L1与外齿齿轮本体21的厚度彼此相等。

外齿内硬化层23(外齿齿轮17的内周面)的维氏硬度Hv优选为900以上1200以下。

如图3所示，外齿外硬化层24沿周向分别设置于多个外齿22的径向外侧的外表面22a及侧面22b、外齿齿轮本体21的外齿22的齿根21a。

硬化层23、24各自的维氏硬度Hv分别大于外齿齿轮本体21及外齿22的维氏硬度Hv。

例如，通过对外齿齿轮本体21及多个外齿22进行渗碳处理或氮化处理等而形成硬化层23、24。

如图1所示，隔膜18形成为圆环状。隔膜18从外齿齿轮本体21的第二端部的开口缘部向径向内侧延伸。轮毂19形成为圆环状，与隔膜18的内周缘一体形成。

如图1及图2所示，波动发生器31配置于外齿齿轮17内。波动发生器31具备波动插塞32和波动轴承33。

波动插塞32的外形呈椭圆形状的轮廓，且具有刚性。

波动轴承33具有内圈35、外圈36以及多个滚珠37。内圈35嵌于波动插塞32的外周面。在内圈35的外周面形成有与周向正交的截面为圆弧状的滚珠转动面35a。

外圈36嵌入于外齿齿轮本体21的第一端部的内周面。更详细而言，外圈36的外周面与外齿齿轮本体21的内周面摩擦接触。在外圈36的内周面形成有与周向正交的截面为圆弧状的滚珠转动面36a。

例如，外圈36的外周面的维氏硬度Hv为700左右。

多个滚珠37以转动自如的状态插入内圈35的滚珠转动面35a及外圈36的滚珠转动面36a之间。

在波动发生器31中，外齿齿轮本体21中的形成有多个外齿22的第一端部以成为椭圆形的方式在径向上挠曲。位于外齿齿轮本体21的第一端部的长轴方向的两端的外齿22相对于内齿齿轮部11的多个内齿13部分地啮合。

外齿齿轮17的外齿内硬化层23的维氏硬度相对于波动发生器31的外圈36的外周面的维氏硬度的比率为1.2以上1.7以下。该比率更优选为1.3以上1.5以下，进一步优选为1.4。

外齿内硬化层23的内周面的JIS B0601：2013中规定的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以上0.1μm以下。该算术平均粗糙度Ra更优选为0.07μm以上0.08μm以下。算术平均粗糙度Ra优选为外齿内硬化层23的内周面中的内齿齿轮本体12的轴线方向(以下，简称为轴线方向)及周向各自的算术平均粗糙度Ra。通过这样调节算术平均粗糙度Ra，外齿内硬化层23的内周面成为平滑且不易磨损的面。

外齿齿轮17的外齿内硬化层23的内周面的JIS B0601：2013中规定的偏度Rsk为-2以上-0.3以下。该偏度Rsk更优选为-1.2以上-0.7以下。偏度Rsk优选为轴线方向及周向各自的偏度Rsk。

这样构成的外齿齿轮17的外齿内硬化层23的内周面与波动发生器31的外圈36的外周面相比，成为形成有较硬且平坦、不具有粗糙度方向性的储油部(dimple)发挥功能的凹部的面。在该凹部中积存有未图示的润滑剂。

若利用马达等使波动齿轮装置1的波动发生器31旋转，则波动发生器31的外圈36的外周面与外齿齿轮部16的外齿内硬化层23的内周面发生滑动。但是，通过形成于外齿内硬化层23的凹部中积存的润滑剂，能够抑制外圈36的外周面与外齿内硬化层23的内周面的磨损。另外，由于外圈36及外齿内硬化层23的维氏硬度的比率如上述那样被调节，因此表面硬度比较低的波动发生器31的外圈36的外周面容易磨损，表面硬度比较高的外齿内硬化层23的磨损少，储油部的形状得以保持。

由于外齿齿轮17的外齿内硬化层23的内周面的偏度如上述那样被调节，因此在外齿内硬化层23的内周面作为储油部而发挥功能的粗糙度较细的谷部变多。因此，外圈36的外周面与外齿内硬化层23的内周面之间的润滑性能提高。

内齿齿轮部11的多个内齿13与外齿齿轮部16的多个外齿22啮合的位置沿周向移动。其结果是，由于内齿齿轮部11与外齿齿轮部16的齿数差，在两齿轮部11、16沿周向产生相对旋转。

一般来说，两齿轮部11、16的齿数差为2片，内齿齿轮部11固定于波动齿轮装置1的壳体等。因此，基于两齿轮部11、16的齿数差而大幅减速的旋转输出从外齿齿轮部16的输出轴被输出到外部。

如以往的波动齿轮装置那样，若波动发生器的外周面与外齿齿轮的内周面的摩擦状态恶化，则使作用于波动发生器与外齿齿轮之间的推力增大。因此，产生外齿齿轮与内齿齿轮的轴线方向的相对位移，结果外齿齿轮的外齿与内齿齿轮的内齿的磨损也被促进。

与此相对，根据本实施方式的波动齿轮装置1，外齿齿轮17的外齿内硬化层23相对于波动发生器31的外圈36的外周面的维氏硬度Hv的比率为1.2以上1.7以下。因此，在外圈36的外周面与外齿内硬化层23的内周面发生滑动时，表面硬度比较低的外圈36的外周面磨损。因此，能够提高外齿内硬化层23的内周面的耐磨损性。

外齿齿轮17的外齿内硬化层23的内周面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以上0.1μm以下。因此，在外齿齿轮17的内周面形成平滑的面，能够抑制初期磨损粉的产生。

由于形成有凹部的外齿内硬化层23的内周面较硬，因此储油部长期维持在接触面。其结果，润滑剂长期维持在接触面之间，能够提高边界润滑状态下的耐磨损性。

若波动发生器31的外周面与外齿齿轮17的内周面之间的摩擦、磨损减少，则作用于波动发生器31与外齿齿轮17之间的推力降低，其结果是，能够抑制外齿齿轮17的外齿22与内齿齿轮部11的内齿13之间的磨损。

外齿齿轮17的外齿内硬化层23的内周面的偏度Rsk为-2以上-0.3以下。在外齿齿轮17的内周面形成有作为储油部发挥功能的凹部。积存于凹部的润滑剂难以从凹部流出到外部。通过凹部内的润滑剂，能够减少波动发生器31的外周面与外齿齿轮17的内周面之间的磨损。

外齿内硬化层23的厚度为50μm以下，且为外齿齿轮本体21的外齿22的齿根21a与内周面之间的距离L1的10％以下。一般而言，硬度高的材料容易变脆。由于外齿内硬化层23相对于外齿齿轮本体21变薄，因此通过在外齿齿轮本体21的内周面设置外齿内硬化层23，能够抑制外齿22的齿根的疲劳强度降低。

(第二实施方式)

接着，参照图3对本发明的第二实施方式进行说明，对与上述实施方式相同的部位标注相同的附图标记并省略其说明，仅对不同点进行说明。

图3所示的本实施方式的波动齿轮装置2与第一实施方式的波动齿轮装置1相比，以下的结构不同。

内齿硬化层14及外齿外硬化层24的维氏硬度Hv分别为900以上1200以下。内齿硬化层14的内周面及外齿外硬化层24的外周面的算术平均粗糙度Ra分别为0.3μm以下。

内齿硬化层14的厚度为50μm以下。

外齿外硬化层24的厚度为50μm以下，且为上述外齿齿轮本体21中的距离L1的10％以下。

根据这样构成的本实施方式的波动齿轮装置2，能够提高外齿齿轮17的内周面的耐磨损性。

并且，外齿外硬化层24的厚度为50μm以下且为外齿齿轮本体21中的距离L1的10％以下。由于外齿外硬化层24相对于外齿齿轮本体21变薄，因此通过在外齿齿轮本体21设置外齿外硬化层24，能够抑制外齿22的齿根21a的疲劳强度降低。

内齿硬化层14的厚度为50μm以下。

由于内齿硬化层14及外齿外硬化层24的维氏硬度Hv分别为900以上1200以下，因此能够降低内齿齿轮部11的多个内齿13与外齿齿轮部16的多个外齿22之间的磨损。

内齿硬化层14的内周面及外齿外硬化层24的外周面的算术平均粗糙度Ra分别为0.3μm以下。通过减小内齿硬化层14的内周面及外齿外硬化层24的外周面的表面粗糙度，能够降低内齿齿轮部11的多个内齿13与外齿齿轮部16的多个外齿22之间的磨损。

一般来说，若波动齿轮装置的输出轴负载的扭矩变大，则齿面的磨损增大。本实施方式的波动齿轮装置2在施加额定扭矩的10％以上的负载扭矩的情况下是有效的。通过波动齿轮装置2的结构，能够抑制波动齿轮装置2的齿面的磨损。

以上，参照附图对本发明的第一实施方式以及第二实施方式进行了详述，但具体的结构并不限定于该实施方式，也包括不脱离本发明的主旨的范围的结构的变更、组合、删除等。进而，当然也可以将各实施方式所示的构成分别适当组合而加以利用。

例如，在所述第一实施方式以及第二实施方式中，若外齿齿轮17的外齿内硬化层23的维氏硬度相对于波动发生器31的外圈36的外周面的维氏硬度的比率为1.2以上1.7以下，则外齿内硬化层23的内周面的算术平均粗糙度Ra可以小于0.05μm，也可以超过0.1μm。

外齿齿轮17的外齿内硬化层23的内周面的偏度Rsk可以小于-2，也可以超过-0.3。

硬化层23、24的厚度也可以超过50μm，或者超过外齿齿轮本体21的厚度的10％。内齿硬化层14的厚度也可以超过50μm。

隔膜18的形状不限于图1的形状。

(实验结果)

以下，对使用实施例和比较例的实验的结果进行说明。

实施例的波动齿轮装置，在第一实施方式的波动齿轮装置中，按照以下的规格制作各结构。

·内齿齿轮部使用析出硬化系不锈钢的SUS630制作。

·外齿齿轮部使用析出硬化系不锈钢的15-5PH制作。

·波动发生器的内圈、外圈及滚珠使用马氏体系不锈钢的SUS440C制作。

·对外齿齿轮的内周面和外齿、内齿齿轮部的内齿进行等离子体渗碳处理，形成外齿内硬化层、外齿外硬化层及内齿硬化层。通过该处理，使内齿齿轮本体及外齿齿轮本体的表面的硬度上升。另外，表面硬度的调节也可以通过氮化处理或DLC(Diamond LikeCarbon)膜等来进行。

·对外齿齿轮的内周面和外齿、内齿齿轮部的内齿进行两阶段喷丸处理，调节各表面的算术平均粗糙度Ra。通过该处理，赋予压缩残余应力，另外，对表面进行研磨。需要说明的是，也可以通过机械加工进行算术平均粗糙度Ra的调节。

图4中示出了实施例的波动齿轮装置的外齿齿轮中，根据距表面的距离而变化的硬度的测定结果。在图4中，横轴表示距外齿齿轮的表面的距离(μm)，纵轴表示维氏硬度Hv的换算值。图中的○标记是外齿齿轮的外齿的测定结果，图中的□标记是外齿齿轮的内周面的测定结果。

硬度的测定通过纳米压痕法进行。所使用的压头是三棱锥形的Berkovich压头。将利用纳米压痕法测定的硬度换算成维氏硬度Hv。

作为母材的外齿齿轮本体中的维氏硬度Hv的换算值大约为420。

例如，外齿外硬化层是在外齿齿轮的外齿中表面的硬度上升了的部分的维氏硬度Hv的换算值为900以上的范围R1。外齿内硬化层是在外齿齿轮的内周面中表面的硬度上升了的部分的维氏硬度Hv的换算值为900以上的范围R2。

在该实施例中，外齿外硬化层的厚度为约15μm，外齿内硬化层的厚度为约10μm。例如，外齿齿轮本体的厚度为200μm-300μm。两硬化层的厚度满足50μm以下且为外齿齿轮本体的厚度的10％以下的条件。

图5中示出了在实施例的波动齿轮装置的外齿齿轮中的内周面的周向的表面粗糙度的概率密度函数。在图5中，横轴表示概率密度(％)，纵轴表示横截程度(cut level)。

表面粗糙度通过触针式表面粗糙度测定机进行测定。使由金刚石形成的2μmR的触针以0.03mm/s(毫米每秒)的速度移动，测定表面粗糙度。此时，偏度Rsk为-1.1。

图6是表示使用了实施例的波动齿轮装置的、输入扭矩相对于输出轴的累积转数的变化的图。横轴表示外齿齿轮部的输出轴的转数(次，相当于时间)。纵轴表示波动发生器的输入扭矩(N·m(牛顿·米)、相当于摩擦)。实验中使用的波动齿轮装置的型号为20(外齿齿轮的内径约为50mm)，减速比为1/160。

在该实验中规定，与初期的输入扭矩相比，在输入扭矩增加了50％时，波动齿轮装置变得难以旋转，波动齿轮装置达到寿命。

另外，使用实施例的波动齿轮装置的实验在真空中进行。一般而言，在真空中，与大气中相比，波动齿轮装置的润滑寿命降低至几十分之一以下。在真空中，滑动部分较快磨损，因此产生波动齿轮装置的传递效率的降低、角度传递精度的恶化、以及弹性常数的降低。

由实验的结果可知，即使输出轴的转数达到51.6万次，输入扭矩也是与初期的输入扭矩同等的低等级。可知该寿命相对于后述的比较例的波动齿轮装置为14.7倍(＝51.6/3.5)以上。

在实验结束后观察波动齿轮装置，在波动发生器的外周面及内齿齿轮的内周面仅观察到极微小的磨损。在外齿齿轮部的外齿和内齿齿轮部的内齿上确认到轻微的磨损，但外齿齿轮部和内齿齿轮部处于能够相互旋转的状态。实验后角度传递误差增加量为20％。

与此相对，图7示出了比较例的以往的波动齿轮装置的外齿齿轮中，将内周面的周向的表面粗糙度的概率密度函数。在图7中，横轴表示概率密度(％)，纵轴表示横截程度。表面粗糙度与上述实施例的波动齿轮装置同样地进行测定。此时，偏度Rsk为-0.03。

图8是表示使用了比较例的波动齿轮装置的、输入扭矩相对于输出轴的累积转数的变化的图。横轴表示外齿齿轮部的输出轴的转数(次)，纵轴表示波动发生器的输入扭矩(N·m)。其中，该结果是从Keiji Ueura,et al.,“DEVELOPMENT OF STRAIN WAVE GEARINGFOR SPACE APPLICATIONS”,Proc.‘12th Euro.Space Mechanisms&Tribology Symp.(ESMATS)’,Liverpool,UK,19-21September 2007(ESA SP-653,August 2007)摘录的。

使由润滑脂润滑的波动齿轮装置在真空中旋转，检查寿命。其结果是，在转数达到约3.5万转时输入扭矩增加，波动齿轮装置达到润滑寿命。

在实验结束后，观察波动齿轮装置，在波动发生器的外周面、外齿齿轮部的内周面、外齿齿轮部的外齿、以及内齿齿轮部的内齿确认到严重的磨损。实验后角度传递误差增加量为2倍以上。

产业上的可利用性

根据上述波动齿轮装置，能够提高外齿齿轮的内周面的耐磨损性。

符号说明

1，2 波动齿轮装置

11 内齿齿轮部(内齿齿轮)

17 外齿齿轮

21 外齿齿轮本体

21a 齿根

22 外齿

22a 外表面

22b 侧面

23 外齿内硬化层(第一硬化层)

24 外齿外硬化层(第二硬化层)

31 波动发生器

L1，L2 距离

Claims (5)

1.一种波动齿轮装置，具有：

呈圆环状且具有刚性的内齿齿轮，

呈圆环状且具有可挠性、配置于所述内齿齿轮内的外齿齿轮，以及

波动发生器，所述波动发生器配置于所述外齿齿轮内，使所述外齿齿轮沿径向挠曲而相对于所述内齿齿轮部分地啮合，并且使所述内齿齿轮与所述外齿齿轮啮合的位置沿周向移动，

其特征在于，所述外齿齿轮的内周面的维氏硬度相对于所述波动发生器的外周面的维氏硬度的比率为1.2以上1.7以下。

2.根据权利要求1所述的波动齿轮装置，其特征在于，所述外齿齿轮的内周面的算术平均粗糙度为0.05μm以上0.1μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的波动齿轮装置，其特征在于，所述外齿齿轮的内周面的JISB0601：2013所规定的偏度为-2以上-0.3以下。

4.根据权利要求1或2所述的波动齿轮装置，其特征在于，

所述外齿齿轮具有：

呈圆环状且具有可挠性的外齿齿轮本体，

设置于所述外齿齿轮本体的外周面的外齿，以及

设置于所述外齿齿轮本体的内周面的第一硬化层，

所述第一硬化层的厚度为50μm以下，且为所述外齿齿轮本体中的所述外齿的齿根与所述外齿齿轮本体的内周面之间的距离的10％以下。

5.根据权利要求1或2所述的波动齿轮装置，其特征在于，

所述外齿齿轮具有：

呈圆环状且具有可挠性的外齿齿轮本体，

设置于所述外齿齿轮本体的外周面的外齿，以及

第二硬化层，所述第二硬化层沿着周向分别设置于所述外齿的径向外侧的外表面及侧面、所述外齿齿轮本体中的所述外齿的齿根，

所述第二硬化层的厚度为50μm以下，且为所述外齿齿轮本体中的所述外齿的齿根与所述外齿齿轮本体的内周面之间的距离的10％以下。

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