TW201730450A - 平板型諧波齒輪裝置 - Google Patents

Abstract

一種平板型諧波齒輪裝置(1)，其限制可撓性外齒齒輪(4)之軸線方向移動的按壓機構(10)，係具有：以浮動狀態安裝在第1凹部(21)的第1按壓構件(11)；以及以浮動狀態安裝在第2凹部(22)的第2按壓構件(12)。可將可撓性外齒齒輪(4)之軸線方向上的移動，限制在實用上無障礙的範圍內。這和使用配置在固定位置的構件來限制可撓性外齒齒輪之移動的情形相較，可降低在可撓性外齒齒輪(4)以及第1、第2按壓構件(11、12)之間所產生的滑動摩損。

Description

平板型諧波齒輪裝置

本發明係關於一種在2個剛性內齒齒輪的內側，配置圓筒狀可撓性外齒齒輪的平板型諧波齒輪裝置。更詳細而言，是有關一種限制可撓性外齒齒輪朝向軸線方向移動的按壓機構。

一種平板型諧波齒輪裝置，其嚙合於2個剛性內齒齒輪的圓筒狀可撓性外齒齒輪，係藉由運轉時所作用的推力而朝向軸線方向移動。因此，須要限制可撓性外齒齒輪之軸線方向移動的零件。在專利文獻1中，係於可撓性外齒齒輪的兩側係配置有用來限制其移動的限制構件。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]特開2013-177938號公報

以往用來限制可撓性外齒齒輪之軸線方向移動的限制零件，是配置在軸線方向的既定位置。在運轉時，當旋轉的可撓性外齒齒輪朝向軸線方向移動時，碰到被配置在既定位置的限制零件，在可撓性外齒齒輪與限制零件之間即產生滑動摩擦。難以充份抑制因為與限制零件之間的滑動所引起之可撓性外齒齒輪端部的摩耗。

本發明的課題鑑於此點，其目的即在於提供一種平板型諧波齒輪裝置，其可將可撓性外齒齒輪之軸線方向上的移動限制在實用上無障礙的範圍內，並且，可充份抑制由限制可撓性外齒齒輪在軸線方向上的移動所引起之該可撓性外齒齒輪端部的摩耗。

為了解決上記課題，本發明的平板型諧波齒輪裝置係具有：第1剛性內齒齒輪：第2剛性內齒齒輪；可嚙合於上記第1、第2剛性內齒齒輪之圓筒狀的可撓性外齒齒輪；諧波產生器，該諧波產生器係用來將上記可撓性外齒齒輪彎折成非圓形，使其局部分別嚙合於上記第1、第2剛性內齒齒輪，並使該嚙合位置朝向圓周方向移動；以及 用來限制上記可撓性外齒齒輪之軸線方向移動的按壓機構。

此外，上記按壓機構係具備：上記按壓機構係具備：用來限制上記可撓性外齒齒輪之軸線方向移動的圓環狀的第1、第2按壓構件；圓環狀的第1凹部；以及圓環狀的第2凹部，上記第1按壓構件，係可在上記軸線方向與半徑方向上只移動預定的量，並且，以可旋轉的浮動狀態安裝在上記第1凹部，上記第2按壓構件，係可在上記軸線方向與上記半徑方向上只移動預定的量，並且，以可旋轉的浮動狀態安裝在上記第2凹部。

並且，上記第1按壓構件係與第1外齒齒輪端面對向，該第1外齒齒輪端面係為上記可撓性外齒齒輪之上記軸線方向之一側的端面，上記第2按壓構件係與第2外齒齒輪端面對向，該第2外齒齒輪端面係為上記可撓性外齒齒輪之上記軸線方向之另一側的端面。

限制可撓性外齒齒輪朝向軸線方向移動的第1、第2按壓構件，係以浮動狀態分別安裝在第1、第2凹部。藉由先適當地設定第1、第2凹部之軸線方向的寬幅，即可將可撓性外齒齒輪在軸線方向上的移動，限制在實用上無障礙的範圍內。再者，這和按壓構件是配置在軸 線方向上固定位置的情形相較，可降低可撓性外齒齒輪與第1、第2按壓構件之間所產生的滑動摩耗。

本發明的平板型諧波齒輪裝置，有時也會具有：安裝有第1剛性內齒齒輪的第1殼體；以及安裝有第2剛性內齒齒輪的第2殼體。此時，若以該第1剛性內齒齒輪之第1外齒齒輪端面側的端面為第1內齒齒輪端面，並以該第2剛性內齒齒輪之第2外齒齒輪端面側的端面為第2內齒齒輪端面時，可在第1殼體與第1內齒齒輪端面之間形成第1凹部，在第2殼體與第2內齒齒輪端面之間形成第2凹部。

又，第1凹部也可形成在第1殼體本身，第2凹部可形成在第2殼體本身。

更進一步，也可以使用其他構件來形成第1、第2凹部。例如：有時是具有第1構件，該第1構件是安裝在第1殼體或第1剛性內齒齒輪的至少其中一方。此時，可在第1構件本身形成第1凹部。也可在第1構件與第1殼體之間形成第1凹部。也可以是在第1構件與第1剛性內齒齒輪之間形成第1凹部。或者是在第1構件、第1殼體與第1剛性內齒齒輪等三構件之間形成第1凹部。

再者，有時也具備第2構件，該第2構件是安裝在第2殼體與第2剛性內齒齒輪的至少其中一方。此時，第2凹部可以是形成在：第2構件本身；或第2構件與第2殼體之間；或第2構件與第2剛性內齒齒輪之間；或者是第2構件、第2殼體與第2剛性內齒齒輪等三構件 之間。

第1凹部可以形成在第1剛性內齒齒輪之內齒形成部分以外的部分。同樣地，第2凹部也可以是形成在第2剛性內齒齒輪之內齒形成部分以外的部分。

在形成第1、第2凹部時，也可以將上記形成方法組合使用。例如：可在剛性內齒齒輪形成第1、第2凹部中的任一方，而在殼體形成另一方的凹部。例如：可在剛性內齒齒輪或殼體形成一方的凹部，在剛性內齒齒輪與殼體之間形成另一方的凹部。

第1、第2凹部是以朝向半徑方向內側開口的凹部為佳。當平板型諧波齒輪裝置在運轉時，安裝有第1、第2按壓構件的第1、第2凹部會因為離心力而成為充份的潤滑狀態。藉由如此，即可減少可撓性外齒齒輪的第1、第2外齒齒輪端面在對第1、第2按壓構件滑動時所產生的摩耗。

第1、第2按壓構件的表面硬度以低於可撓性外齒齒輪之第1、第2外齒齒輪端面的表面硬度為佳。藉由如此，即可降低在接觸到第1、第2按壓構件之第1、第2外齒齒輪端面所產生的滑動摩耗。

例如：可將第1、第2按壓構件的表面硬度設定為可撓性外齒齒輪之第1、第2外齒齒輪端面之表面硬度的90%~99%範圍內的值。

1‧‧‧平板型諧波齒輪裝置

1a‧‧‧軸線

2‧‧‧第1剛性內齒齒輪

2a‧‧‧第1內齒齒輪端面

3‧‧‧第2剛性內齒齒輪

3a‧‧‧第2內齒齒輪端面

4‧‧‧可撓性外齒齒輪

4a‧‧‧第1外齒齒輪端面

4b‧‧‧第2外齒齒輪端面

5‧‧‧諧波產生器

6‧‧‧固定側殼體(第1殼體)

6a‧‧‧圓環狀突部

6b‧‧‧圓形內周面

6c‧‧‧端面部分

6d‧‧‧圓形內周階段面

7‧‧‧旋轉側殼體(第2殼體)

7a‧‧‧圓環狀突部

7b‧‧‧圓形內周面

7c‧‧‧端面部分

7d‧‧‧圓形內周階段面

10‧‧‧按壓機構

11‧‧‧第1按壓構件

11a‧‧‧圓環狀端面

12‧‧‧第2按壓構件

12a‧‧‧圓環狀端面

21‧‧‧第1凹部

22‧‧‧第2凹部

31‧‧‧第1構件

32‧‧‧第2構件

[圖1](a)、(b)為適用本發明之平板型諧波齒輪裝置之一例的縱剖面圖以及橫剖面圖。

[圖2]為限制可撓性外齒齒輪之軸線方向移動的按壓機構的部分放大縱剖面圖。

[圖3](a)~(c)為適用本發明之平板型諧波齒輪裝置之三例的半剖面圖。

茲參照圖面，說明適用本發明之平板型諧波齒輪裝置的實施形態如下。

圖1(a)為平板型諧波齒輪裝置的縱剖面圖，圖1(b)為其橫剖面圖。平板型諧波齒輪裝置1係具備：第1剛性內齒齒輪2；第2剛性內齒齒輪3；同軸地配置在該等內側的圓筒狀可撓性外齒齒輪4；以及嵌入至可撓性外齒齒輪4之內側的橢圓形輪廓的諧波產生器5。可撓性外齒齒輪4係被諧波產生器5彎折成橢圓形，第1、第2剛性內齒齒輪2、3係分別嚙合在其橢圓形之長軸L上的位置。

例如：第1剛性內齒齒輪2以不會旋轉的方式被固定在固定側殼體6(第1殼體)。第2剛性內齒齒輪3則固定在旋轉側殼體7(第2殼體)。旋轉側殼體7透過無圖示的軸承，被固定側殼體6支持成可自由旋轉的狀態。第2剛性內齒齒輪3的齒數相對於第1剛性內齒齒輪 2的齒數，是少了2n齒(n為正整數)。可撓性外齒齒輪4的齒數和第2剛性內齒齒輪3的齒數為相同。諧波產生器5是受馬達等所旋轉驅動。

當諧波產生器5旋轉，第1、第2剛性內齒齒輪2、3與可撓性外齒齒輪4之間的嚙合位置就會朝向圓周方向移動。因為第1剛性內齒齒輪2的齒數比可撓性外齒齒輪4的齒數多2n齒，所以在可撓性外齒齒輪4就會對固定側之第1剛性內齒齒輪2，產生對應於齒數差的相對旋轉。而另一側的第2剛性內齒齒輪3，因為其齒數是和可撓性外齒齒輪4相同，所以是與可撓性外齒齒輪4成為一體而旋轉。該第2剛性內齒齒輪3是連結於驅動對象的負荷側構件(無圖示)，第2剛性內齒齒輪3的輸出旋轉，是從旋轉側殼體7直接或透過無圖示的輸出軸，被負荷側所讀取。

在平板型諧波齒輪裝置1係附設有按壓機構10，該按壓機構10是用來限制在運轉時之可撓性外齒齒輪4朝向軸線1a方向(以下簡稱為「軸線方向」)移動。按壓機構10係具備：圓環狀的第1按壓構件11、以及圓環狀的第2按壓構件12。

圖2為平板型諧波齒輪裝置1之按壓機構10之局部的部分放大縱剖面圖。參照該圖來加以說明，按壓機構10係具備：由圓環狀板材所形成的第1、第2按壓構件11、12；以及第1、第2凹部21、22。第1按壓構件11係以浮動狀態安裝在第1凹部21。第2按壓構件12 是以浮動狀態安裝在第2凹部22。

第1按壓構件11係從軸線方向與第1外齒齒輪端面4a對向，該第1外齒齒輪端面4a係為可撓性外齒齒輪4之軸線1a方向上之一側的端面。第2按壓構件12係從軸線方向與第2外齒齒輪端面4b對向，該第2外齒齒輪端面4b係為可撓性外齒齒輪4之軸線方向上之另一側的端面。

第1凹部21係為朝向半徑方向內側開口的圓環狀凹部，形成在固定側殼體6、以及第1剛性內齒齒輪2之間。在第1剛性內齒齒輪2之軸線方向兩側的端面中，係將第2剛性內齒齒輪3之相反側的端面稱之為第1內齒齒輪端面2a。固定側殼體6係具備：沿著第1內齒齒輪端面2a，朝向半徑方向內側突出的長方形剖面的圓環狀突部6a。圓環狀突部6a的圓形內周面6b係位在：比可撓性外齒齒輪4的第1外齒齒輪端面4a更靠近半徑方向的內側。圓形內周面6b之第1內齒齒輪端面2a側的部分，係以固定寬度，比該圓形內周面6b更加朝向半徑方向外側後退，藉由如此，即形成：與第1外齒齒輪端面4a對向的端面部分6c、以及圓形內周段面6d。呈長方形剖面的圓環狀第1凹部21係由：端面部分6c、圓形內周段面6d、以及第1內齒齒輪端面2a所形成。

安裝在第1凹部21的第1按壓構件11係為長方形剖面的圓環狀板材。第1按壓構件11之一側的圓環狀端面11a，係從軸線方向與可撓性外齒齒輪4的第1 外齒齒輪端面4a對向。第1按壓構件11並沒有被固定在固定側殼體6或者是第1剛性內齒齒輪2。此外，第1按壓構件11的寬度(軸線方向的厚度)係小於第1凹部21的寬度，且其高度也小於第1凹部21的深度。所以，第1按壓構件11是以浮動狀態安裝在第1凹部21。意即，第1按壓構件11在第1凹部21內，是以可朝向軸線方向以及半徑方向僅移動預定量的狀態，被安裝在第1凹部21。此外，第1按壓構件11係以可在軸線1a周圍旋轉的狀態，安裝在第1凹部21。

在此，為了抑制可撓性外齒齒輪4之第1外齒齒輪端面4a的滑動摩耗，第1按壓構件11之圓環狀端面11a的表面硬度係被設定為：該第1外齒齒輪端面4a之表面硬度的90%~99%左右。如此即可選定該第1按壓構件11的材料，以獲得具有在此範圍內之表面硬度的第1按壓構件11。或者，在第1按壓構件11的圓環狀端面11a施以熱處理等的表面處理，以調整其表面硬度。此時，施以表面處理的圓環狀端面11a、12a係為極小的面積，所以可將為了熱處理等表面處理用的成本提高控制在最小的範圍。

另一側的第2按壓構件12以及第2凹部22，係為在軸線方向上與第1按壓構件11、以及第1凹部21呈左右對稱的構造。意即，第2凹部22係為朝向半徑方向內側開口的圓環狀凹部，且是形成在旋轉側殼體7與第2剛性內齒齒輪3之間。旋轉側殼體7係具備長方形剖面 的圓環狀突部7a。圓環狀突部7a係沿著第2內齒齒輪端面3a，朝向半徑方向內側突出，該第2內齒齒輪端面3a係為：與第2剛性內齒齒輪3之第1剛性內齒齒輪2相反側的端面。圓環狀突部7a的圓形內周面7b係位在：比可撓性外齒齒輪4的第2外齒齒輪端面4b，更靠近半徑方向的內側。在該圓形內周面7b之第2內齒齒輪端面3a側的部分，係以固定寬度，比該圓形內周面7b更加朝向半徑方向的外側後退，藉由如此，即形成：與第2外齒齒輪端面4b對向的端面部分7c；以及圓形內周階段面7d。呈長方形剖面的圓環狀第2凹部22係由：端面部分7c、圓形內周階段面7d、以及第2內齒齒輪端面3a所形成。

安裝在第2凹部22的第2按壓構件12，係為長方形剖面的圓環狀板材。第2按壓構件12之一側的圓環狀端面12a，係從軸線方向與可撓性外齒齒輪4的第2外齒齒輪端面4b對向。第2按壓構件12沒有被固定在旋轉側殼體7或第2剛性內齒齒輪3。第2按壓構件12的寬度(軸線方向的厚度)係小於第2凹部22的寬度，且其高度也小於第2凹部22的深度。所以，第2按壓構件12係以浮動狀態被安裝在第2凹部22。意即，第2按壓構件12係在第2凹部22內，是以可朝向軸線方向與半徑方向僅移動預定量的狀態，並且以可在軸線周圍旋轉的狀態，被安裝在該第2凹部22。

再者，為了抑制可撓性外齒齒輪4之第2外齒齒輪端面4b的滑動摩耗，第2按壓構件12之圓環狀端 面12a的表面硬度係設定為：該第2外齒齒輪端面4b之表面硬度的90%~99%左右。如此即可選定該第2按壓構件12的材料，以獲得具有在此範圍內之表面硬度的第2按壓構件12。或者，在第2按壓構件12的圓環狀端面12a施以熱處理等的表面處理，以調整其表面硬度。

當平板型諧波齒輪裝置1運轉時，推力會作用在可撓性外齒齒輪4，該可撓性外齒齒輪4即朝向軸線方向移動。在可撓性外齒齒輪4的兩側係配置有第1、第2按壓構件11、12。例如：當可撓性外齒齒輪4朝向第1剛性內齒齒輪2側移動時，該第1外齒齒輪端面4a就會碰到第1按壓構件11的圓環狀端面11a，限制可撓性外齒齒輪4的移動。

第1按壓構件11係以浮動狀態被安裝在第1凹部21。所以，第1外齒齒輪端面4a會被過多的力量壓向第1按壓構件11，在此狀態下，即可防止雙方的構件滑動。又，第1按壓構件11之圓環狀端面11a的表面硬度，係低於第1外齒齒輪端面4a的表面硬度。所以，可抑制在第1外齒齒輪端面4a側產生滑動摩耗。更進一步地，藉由高速旋轉之諧波產生器5的離心力，潤滑劑會朝向外周側移動，進入朝向半徑方向內側開口的第1、第2凹部21、22。第1、第2凹部21、22即做為潤滑劑儲存部的功能。因此，安裝在第1、第2凹部21、22的第1、第2按壓構件11、12以及其他構件之間的滑動部分，變成充份被潤滑的狀態，故可降低在這些構件所產生的滑動 摩耗。

在本例中，係使用長方形剖面的圓環狀板材來做為第1、第2按壓構件11、12。第1、第2按壓構件11、12的剖面形狀除了長方形以外，例如亦可為圓形、橢圓形等的剖面形狀。再者，第1、第2凹部21、22的剖面形狀除了長方形剖面外，例如亦可為半圓形的剖面形狀。

(其他實施形態)

在上例中，於固定側殼體與第1剛性內齒齒輪之間、以及旋轉側殼體與第2剛性內齒齒輪之間，係分別形成有第1、第2凹部。例如：如圖3(a)所示，可在第1剛性內齒齒輪2之內齒形成部分以外的部位，形成有用來安裝第1按壓構件11的第1凹部21，在第2剛性內齒齒輪3之內齒形成部分以外的部位，形成有用來安裝第2按壓構件12的第2凹部22。

此外，又如圖3(b)所示，可在固定側殼體6形成有用來安裝第1按壓構件11的第1凹部21，在旋轉側殼體7形成用來安裝第2按壓構件12的第2凹部22。

甚至，還可以使用除了剛性內齒齒輪2、3、殼體6、7以外的構件來形成第1、第2凹部21、22。例如，如圖3(c)所示，可將第1構件31安裝在固定側殼體6，在該第1構件31與第1剛性內齒齒輪2的兩構件之間形成第1凹部21。又，可將第2構件32安裝在旋轉側殼 體7，在該第2構件32與第2剛性內齒齒輪3的兩構件之間形成第2凹部22。

另一方面，在上記的平板型諧波齒輪裝置中，雖是將可撓性外齒齒輪彎折成橢圓形，但本發明仍可適用於：將可撓性外齒齒輪彎折成橢圓形以外的非圓形，使其嚙合於剛性內齒齒輪的平板型諧波齒輪裝置。

1‧‧‧平板型諧波齒輪裝置

1a‧‧‧軸線

2‧‧‧第1剛性內齒齒輪

2a‧‧‧第1內齒齒輪端面

3‧‧‧第2剛性內齒齒輪

3a‧‧‧第2內齒齒輪端面

4‧‧‧可撓性外齒齒輪

4a‧‧‧第1外齒齒輪端面

4b‧‧‧第2外齒齒輪端面

5‧‧‧諧波產生器

6‧‧‧固定側殼體(第1殼體)

6a‧‧‧圓環狀突部

6b‧‧‧圓形內周面

6c‧‧‧端面部分

6d‧‧‧圓形內周階段面

7‧‧‧旋轉側殼體(第2殼體)

7a‧‧‧圓環狀突部

7b‧‧‧圓形內周面

7c‧‧‧端面部分

7d‧‧‧圓形內周階段面

10‧‧‧按壓機構

11‧‧‧第1按壓構件

11a‧‧‧圓環狀端面

12‧‧‧第2按壓構件

12a‧‧‧圓環狀端面

21‧‧‧第1凹部

22‧‧‧第2凹部

Claims (9)

1. 一種平板型諧波齒輪裝置，其特徵為：具有：第1剛性內齒齒輪；第2剛性內齒齒輪；可嚙合於上記第1、第2剛性內齒齒輪之圓筒狀的可撓性外齒齒輪；諧波產生器，該諧波產生器係將上記可撓性外齒齒輪彎折成非圓形，使其局部分別嚙合於上記第1、第2剛性內齒齒輪，並使該嚙合位置朝向圓周方向移動；以及用來限制上記可撓性外齒齒輪之軸線方向移動的按壓機構，上記按壓機構係具備：用來限制上記可撓性外齒齒輪之軸線方向移動之圓環狀的第1按壓構件、以及圓環狀的第2按壓構件；圓環狀的第1凹部；圓環狀的第2凹部；形成有上記第1凹部的第1構件；以及形成有上記第2凹部的第2構件，上記第1按壓構件，係可在上記軸線方向與半徑方向上只移動預定的量，並且，以可旋轉的浮動狀態安裝在上記第1凹部，上記第2按壓構件，係可在上記軸線方向與上記半徑方向上只移動預定的量，並且，以可旋轉的浮動狀態安裝 在上記第2凹部，上記第1按壓構件係與第1外齒齒輪端面對向，該第1外齒齒輪端面係為上記可撓性外齒齒輪之上記軸線方向之一側的端面，上記第2按壓構件係與第2外齒齒輪端面對向，該第2外齒齒輪端面係為上記可撓性外齒齒輪之上記軸線方向之另一側的端面。
2. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，具有：安裝有上記第1剛性內齒齒輪的第1殼體；以及安裝有上記第2剛性內齒齒輪的第2殼體，上記第1凹部係形成在：上記第1殼體、以及第1內齒齒輪端面之間，該第1內齒齒輪端面係為上記第1剛性內齒齒輪之上記第1外齒齒輪端面側的端面，上記第2凹部係形成在：上記第2殼體、以及第2內齒齒輪端面之間，該第2內齒齒輪端面是上記第2剛性內齒齒輪之上記第2外齒齒輪端面側的端面。
3. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，具有：安裝有上記第1剛性內齒齒輪的第1殼體；以及安裝有上記第2剛性內齒齒輪的第2殼體，上記第1凹部係形成在上記第1殼體， 上記第2凹部係形成在上記第2殼體。
4. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，具有：安裝有上記第1剛性內齒齒輪的第1殼體；安裝有上記第2剛性內齒齒輪的第2殼體；安裝在上記第1殼體、以及上記第1剛性內齒齒輪中之至少其中任一方的第1構件；以及安裝在上記第2殼體、以及上記第2剛性內齒齒輪中之至少其中任一方的第2構件，上記第1凹部係形成在：上記第1構件、或上記第1構件與上記第1殼體之間、或上記第1構件與上記第1剛性內齒齒輪之間、或者是上記第1構件與第1殼體以及上記第1剛性內齒齒輪等三構件之間，上記第2凹部係形成在：上記第2構件、或上記第2構件與上記第2殼體之間、或上記第2構件與上記第2剛性內齒齒輪之間、或者是上記第2構件與上記第2殼體以及上記第2剛性內齒齒輪等三構件之間。
5. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，上記第1凹部係形成在：上記第1剛性內齒齒輪之內齒形成部分以外的部位，上記第2凹部係形成在：上記第2剛性內齒齒輪之內齒形成部分以外的部位。
6. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝 置，其中，上記第1、第2凹部係朝向半徑方向的內側開口。
7. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，上記第1、第2按壓構件的表面硬度，係小於上記可撓性外齒齒輪之上記第1、第2外齒齒輪端面的表面硬度。
8. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，上記第1、第2按壓構件的表面硬度，係為上記可撓性外齒齒輪之上記第1、第2外齒齒輪端面之表面硬度的90%~99%範圍內的值。
9. 如申請專利範圍第1項所述的平板型諧波齒輪裝置，其中，具有：安裝有上記第1剛性內齒齒輪的第1殼體；以及安裝有上記第2剛性內齒齒輪的第2殼體；上記第1凹部係朝向半徑方向的內側開口，該第1凹部係形成在：上記第1殼體、以及第1內齒齒輪端面之間，該第1內齒齒輪端面是上記第1剛性內齒齒輪之上記第1外齒齒輪端面側的端面，上記第2凹部係朝向半徑方向的內側開口，該第2凹部係形成在：上記第2殼體、以及第2內齒齒輪端面之間，該第2內齒齒輪端面是上記第2剛性內齒齒輪之上記 第2外齒齒輪端面側的端面，上記第1、第2按壓構件的表面硬度，係為上記可撓性外齒齒輪之上記第1、第2外齒齒輪端面之表面硬度的90%~99%範圍內的值。