JP2002307312A

JP2002307312A - 研磨加工装置、研磨加工方法、研磨加工をコンピュータに実行させる制御プログラムおよび記録媒体

Info

Publication number: JP2002307312A
Application number: JP2001112709A
Authority: JP
Inventors: Toshio Kurokochi; 敏夫黒河内
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-04-11
Filing date: 2001-04-11
Publication date: 2002-10-23
Also published as: WO2002083363A1; DE10291601B3; US20030096562A1; US6887125B2; DE10291601T1

Abstract

(57)【要約】【課題】精度の高い研磨加工を実現できる研磨加工装
置、研磨加工方法、研磨加工をコンピュータに実行させ
るプログラムおよび記録媒体を提供する。【解決手段】被研磨材５をワークテーブル２に載置
し、少なくとも１つのノズル１０から研磨液を吹付ける
ことにより被研磨材５の表面を成形研磨加工するもので
あって、ノズル１０と被研磨材５は相対的に移動し、ノ
ズル１０の角度が可変である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体や研磨材懸濁
液を吹付けることにより光学部材や基板の表面研磨を行
う研磨加工装置、研磨加工方法、研磨加工をコンピュー
タに実行させる制御プログラムおよび記録媒体に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、光学部材や基板の表面を流体や研
磨材懸濁液の吹付けにより研磨する研磨手段として、特
開平５−５７５９１号公報には、上下の工具の多数の穴
から噴出される研磨液の圧力によりレンズを保持すると
ともに、研磨液の噴出口とレンズを相対回転させながら
レンズ両面全体を同時に研磨するようにしたものが開示
され、特開平５−２０１７３７号公報には、水に懸濁し
た研磨剤のジェット液を用いてガラス板を切断するとと
もに、切断したガラス縁部の研磨加工を行うようにした
ものが開示され、ＵＳＰ５，９５１，３６９号公報に
は、磁性研磨粒子を懸濁した研磨液をフランジに付着さ
せて回転し、研磨部での磁場の強さを変化して磁性研磨
粒子の濃度を変化させることで研磨量を制御するものが
開示され、ＵＳＰ５，９７１，８５３号公報には、回転
するワークピースに磁性研磨粒子を懸濁した流体を吹付
けながらその吹付け方向をソレノイドで制御することで
研磨位置を調整するものが開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平５−
５７５９１号公報に開示されたものは、上下に位置され
る工具でレンズを挟み、工具とレンズとの間に研磨液を
流すとともに、工具とレンズを相対的に回転させレンズ
研磨を行うようにしているので、レンズ両面全体を研磨
するようになり、レンズの一部のみを選択してその部分
のみを研磨するようなことができない。

【０００４】また、特開平５−２０１７３７号公報に開
示されたものは、研磨剤を懸濁したジェット液をガラス
板に噴射して切断するとともに、切断面を研削するよう
にしているので、ジェット液を噴出する工具は、ガラス
板面に平行に移動しながら、ガラス面に垂直にジェット
を噴出するようになる。このため、光学レンズのように
凹凸を有する面の研磨を行うことができず、また、ジェ
ットの噴出方向を変化させるような手段の開示もない。

【０００５】さらに、ＵＳＰ５，９５１，３６９号公報
に開示されるものは、磁性研磨粒子を懸濁した研磨液を
フランジ周囲に付着させ、このフランジを研磨部位に接
触させることで接触部位に限定した研磨を可能にしてい
る。しかし、この方法では、磁場の強さによって研磨量
の変化が可能であるが、研磨部位に対するフランジの押
し付け力によっも研磨量が大きく変化し、この押し付け
力と研磨量調整の関係が開示されないことから、研磨部
位の研磨量を微細に調整することが困難である。

【０００６】さらにまた、ＵＳＰ５，９７１，８５３号
公報に開示されるものは、ワークピースに対して流体の
吹付け方向を変化させることができる研磨方法が開示さ
れるが、その方向変化量は僅かであるため、ワーク表面
の法線方向に大きな変化がある凹凸面に対して垂直また
は一定の角度を持って液体を吹付けるのが難しい。

【０００７】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、精度の高い研磨加工を実現できる研磨加工装置、研
磨加工方法、研磨加工をコンピュータに実行させるプロ
グラムおよび記録媒体を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被研磨材をテーブルに載置し、少なくとも１つのノズル
から研磨液を吹付けることにより前記被研磨材の表面を
成形研磨加工する研磨加工装置において、前記ノズルと
前記被研磨材は、相対的に移動し、前記ノズルの角度が
可変であることを特徴としている。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記被研磨材は、回転可能にテーブルに載
置されることを特徴としている。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記研磨液を吹付ける時間を制御すること
を特徴としている。

【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記ノズルは、取り外し可能に取り付けら
れることを特徴としている。

【００１２】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記ノズルは、その向きと軸回りの回転方
向の位置を一定にするように取り付けられることを特徴
としている。

【００１３】請求項６記載の発明は、被研磨材をテーブ
ルに載置し、少なくとも１つのノズルから研磨液を吹付
けることにより前記被研磨材の表面を成形研磨加工する
方法であって、前記ノズルと前記被研磨材は、相対的に
移動し、前記ノズルの角度が可変であることを特徴とし
ている。

【００１４】請求項７記載の発明は、被研磨材をテーブ
ルに載置し、少なくとも１つのノズルから研磨液を吹付
けることにより前記被研磨材の表面を成形研磨加工し、
前記ノズルと前記被研磨材は、相対的に移動し、前記ノ
ズルの角度が可変であることを特徴とする研磨加工方法
に用いられるコンピュータに実行させるための制御プロ
グラムであって、前記加工前の前記被研磨材の形状デー
タを表示し、前記形状データに基づいて設定された加工
条件を記録し表示させることを特徴としている。

【００１５】請求項８記載の発明は、被研磨材をテーブ
ルに載置し、少なくとも１つのノズルから研磨液を吹付
けることにより前記被研磨材の表面を成形研磨加工し、
前記ノズルと前記被研磨材は、相対的に移動し、前記ノ
ズルの角度が可変であることを特徴とする研磨加工方法
に用いられる制御プログラムを記録する記録媒体であっ
て、前記加工前の前記被研磨材の形状データを表示し、
前記形状データに基づいて設定された加工条件を記録し
表示させる制御プログラムを記録したことを特徴として
いる。

【００１６】この結果、本発明によれば、被研磨材の表
面形状に応じて、ノズルからの研磨液の吹付け条件とし
て、距離、角度、吹付け時間などを自由に制御すること
ができ、また、研磨液を吹付けるノズルは、交換可能と
するとともに、複数個設けることもでき、被研磨材に対
し最適な条件の下で、精度の高い研磨加工を実現でき
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。

【００１８】(第１の実施の形態)図１は、本発明が適用
される研磨加工装置の概略構成を示している。図におい
て、１装置本体で、この装置本体１は、ベース部１ａ
と、このベース部１ａに対して直立して設けられる胴部
１ｂを有している。

【００１９】装置本体１のベース部１ａには、ワークテ
ーブル２が設けられ、このワークテーブル２上には、ワ
ーク回転テーブル３が設けられている。ワークテーブル
２は、ワーク回転テーブル３を保持するとともに、この
ワーク回転テーブル３をＸ、Ｙ方向に移動可能にしてい
る。また、ワーク回転テーブル３は、ワークテーブル２
上でＺ軸を中心に回転可能になっている。

【００２０】ワーク回転テーブル３上には、チャック４
が設けられている。このチャック４は、被研磨材５を固
定するためのものである。ここで、被研磨材５が、例え
ばレンズのように中心位置を求める形状のものである場
合は、ワーク回転テーブル３とチャック４は、芯出し機
構を備えている。この芯出し機構は、ワーク回転テーブ
ル３の回転中心と被研磨材５の求める中心とを合致させ
るもので、例えば、チャック４をワーク回転テーブル３
上でＸ、Ｙ方向に微動調整可能にすることにより実現で
きる。また、被研磨材５の研磨面が平面であるなどの理
由で中心位置を求めない場合は、チャック４は、固定チ
ャックが使用される。このようにチャック４は、被研磨
材５の形状や研磨条件などにより交換して使用される。

【００２１】この場合、ワーク回転テーブル３とチャッ
ク４との間にＺ軸ステージを設け、被研磨材５をＺ軸方
向に移動可能としてもよい。また、ワークテーブル２
は、被研磨材５を複数個載置する構成としてもよい。

【００２２】一方、装置本体１の胴部１ｂには、支持腕
６が図示矢印Ａ方向に上下動可能に設けられている。ま
た、この支持腕６の先端には、回転台７が設けられてい
る。この支持腕６の先端に図示矢印Ｂ方向に回転可能に
支持されている。回転台７には、ノズルテーブル８が設
けられている。このノズルテーブル８は、回転台７上に
図示矢印Ｃ方向に直線移動可能に設けられている。

【００２３】そして、ノズルテーブル８には、回転台９
を介して研磨液を噴出するノズル１０が設けられてい
る。この回転台９は、ノズルテーブル８側の半球状の受
け溝８ａに嵌め込まれる半球状をした、いわゆる自在継
手の構造をしたもので、被研磨材５に対するノズル１０
の向きを自在に可変できるようになっている。

【００２４】この場合、ノズル１０を駆動する構成は、
ノズル１０をＸ方向、Ｙ方向に平行移動可能としてもよ
い。また、回転台９とノズル１０との間に圧電素子を介
在させて、この圧電素子の変形を利用してノズル１０を
微動駆動するようにしてもよい。また、ノズル１０は、
１個と限らず、複数個設けることができる。この場合、
図２(ａ)に示すように回転台９上に複数個のノズル１０
を一列に並べ、これらを図示矢印方向に直線移動させる
ことで、所望のノズル１０を被研磨材５に対向させるよ
うな構成や、同図(ｂ)に示すように回転台９上に複数個
のノズル１０を円周方向に並べて配置し、これらを図示
矢印方向に回転移動させることで、所望のノズル１０を
被研磨材５に対向させるターレットやレボルバのような
回転式の構成が考えられる。また、装置本体１の胴部１
ｂに支持腕６、回転台７、ノズルテーブル８および回転
台９を複数組設けるようにしてもよい。このような構成
では、被研磨材５の同一、または近傍の部位に対し、複
数のノズル１０から同時に吹付けが可能になる。例え
ば、研磨工程において、先の加工部位と後の加工部位が
回転台９やノズルテーブル８が邪魔になって、複数のノ
ズルは互いに角度を持って配置されることを余儀なくさ
れる場合も同時加工が可能になる。さらに、ノズル１０
を保持して移動、回転するための手段として、特開平５
−０７７１５１号公報や特開平５−２７７９７５号公報
に開示されるような多軸ロボットアームを用いてもよ
い。この場合、アームには、研磨剤が直接付着しないよ
うに防護カバーなどを具備することが望ましい。

【００２５】このような構成において、被研磨材５の求
める中心に対しノズル１０から研磨液を吹付ける部位の
位置合わせについて説明する。

【００２６】まず、被研磨材５の被研磨部位の面方向と
ノズル１０からの噴出方向がＺ方向に一致している場合
は、チャック４の微調整により被研磨材５の中心とワー
ク回転テーブル３の回転中心が一致しているので、ワー
クテーブル２のＸ、Ｙ座標とノズル１０のＸ、Ｙ座標と
を一致させるだけで、目的とする被研磨部位への位置合
わせを行うことができる。

【００２７】また、被研磨部位の面方向とノズル１０か
らの噴出方向がＺ方向と一致していない場合、つまり、
例えば被研磨材５の被研磨部位の上方からノズル１０の
研磨液を吹付けるような場合は、被研磨材５の被研磨部
位のＺ方向の座標、つまり高さ位置を決定する必要があ
る。このためには、予め被研磨材５の被研磨部位の表面
形状を測定し、この測定データに基づいてＺ方向の座標
を決定し、このＺ座標を加味した曲座標から目的とする
被研磨部位への位置合わせを行うようになる。

【００２８】これら被研磨材５の表面形状や部位の座標
の測定には、光学焦点合わせによる方法、共焦点走査に
よる方法、干渉縞による方法、接触センサによる３次元
測定による方法、表面粗さ計による方法などが用いられ
る。

【００２９】なお、上述した複数の被研磨材５をワーク
テーブル２に載置する場合は、研磨加工の前に、各被研
磨材５について表面形状や部位の座標を測定し、これら
データに基づいてＺ方向の座標を決定するようになる。
この場合、前の位置で被研磨材５の表面形状を測定し、
被研磨材５が研磨加工位置に移動したときに、測定デー
タに基づいて所定被研磨部位へのノズル１０の位置や角
度を決定するようにできるので、被研磨材５を外すこと
なく研磨作業を連続して行うことができ、作業能率を高
めることができる。なお、研磨の条件に用いられる様々
な表面形状データなどは、図示しない記憶部に記憶さ
れ、研磨部位や研磨条件の決定の際に使用される。

【００３０】このような状態から、図３に示すように被
研磨材５に対してノズル１０から研磨液を噴出して噴流
１１を発生し、被研磨部位に研磨液を吹付けることによ
り研磨加工が行われる。この場合、研磨液の吹付け条件
によって単位当たりの研磨率は異なるが、０．０１μｍ
／分程度の制御が実験で確かめられた。また、研磨液に
懸濁する研磨粒子を硬さや弾性・非弾性を選んだり、吹
付け速度、時間を成業することによって、さらに精度を
向上させることが可能である。一方、硬い研磨粒子を用
い、吹付け時間を長くすることによって深い研磨も可能
になる。

【００３１】この場合、被研磨材５とノズル１０の噴出
端との距離Ｄを可変することで、噴流１１の広がりや吹
付け部位での流速を変化させることができ、また、被研
磨部位の面法線方向と噴出方向の角度θを可変とするこ
とで吹付け後の噴流１１の流れを変化させることができ
る。なお、Ｄとθの設定値は、研磨条件や研磨する深
さ、広さなどを考慮して決定される。

【００３２】(第２の実施の形態)次に、第２の実施の形
態について説明する。なお、研磨加工装置の概略構成に
ついては、第１の実施の形態で述べた図１と同様なの
で、同図を援用するものとする。

【００３３】図１では、ノズル１０として、図４(ａ)に
示すように１種類の研磨液を噴出する単層ノズルについ
て述べたが、この第２の実施の形態では、同図（ｂ）に
示すように複数の噴出口１２ａ、１２ｂ、１２ｃを有す
る多重構造のノズル１２を用いている。このようなノズ
ル１２を使用すると、各噴出口１２ａ、１２ｂ、１２ｃ
よりそれぞれ異なる研磨液を噴出させることができるの
で、簡単に研磨条件の選択を行うことができる。

【００３４】また、図５（ａ）（ｂ）に示すように噴出
口部の形状の異なるノズル１３、１４を使用することも
できる。同図（ａ）に示すノズル１３は、噴出口部１３
ａで流れの断面が小さくなっており、また、同図(ｃ)に
示すノズル１４は、噴出口部１４ａで流れの断面が大き
くなっている。このようなノズル１３、１４を研磨条件
に合わせて選択的に使用すれば、精度の高い研磨を行う
ことができる。

【００３５】なお、この場合、これらノズル１０、１
２、１３、１４は、図１に示すノズルテーブル８に設け
られた回転台９に取り外し可能に取り付けられる。ま
た、ノズル１０、１２、１３、１４の向きや軸回りの回
転方向を一定にするため、嵌合によるガイドや位置決め
ピンなどが設けられている。また、ノズル１０を含むノ
ズル１２、１３、１４の材質は、超硬合金、ルビー、ダ
イヤモンド、炭化シリコン、窒化シリコン、炭化タング
ステン、窒化チタンなどの高い硬度を有する材料が用い
られる。または、これらの材料を表面にコーティングし
ている。

【００３６】(第３の実施の形態)次に、第３の実施の形
態について説明する。

【００３７】この場合、図６は、図１で述べた研磨加工
装置に適用される研磨液供給装置の概略構成を示してい
る。

【００３８】図において、２１は、調合された研磨液２
２を貯えたタンクで、このタンク２１には、沈殿を防止
するとともに、成分濃度を均一に保つための攪拌器２３
が設けられている。タンク２１の研磨液２２は、ポンプ
２４により供給パイプ２５を通って、図１で述べた吹付
け研磨装置のノズル１０に送られ、被研磨材５に吹付け
られる。この場合、ノズル１０に送られる研磨液の圧力
は、圧力計２６で測定されており、研磨液の圧力が高す
ぎる場合は、リリーフ弁２７が作動して研磨液をタンク
２１に戻してポンプ２４を停止させる。また、研磨液の
圧力が所定時間内に所定の範囲までしか上昇しない場合
や一定時間所定の範囲より低い場合にもポンプ２４を停
止させる。この場合のポンプ２４の停止信号は、後述す
る図７に示す制御装置を経由して、または、ポンプ２４
が制御機能を有する場合は、直接ポンプ２４に送られ
る。ポンプ２４は、作業者が手動で停止スイッチを操作
してもよい。

【００３９】また、ノズル１０から研磨液を噴出する
と、供給パイプ２５内の研磨液の流れと噴出の条件によ
っては、流れに振動が発生し、研磨加工に支障をきたす
ことがある。これを防止するため、アキュームレータ２
８が設けられている。この場合、異なる太さの管や出入
り口のあるアキュームレータを併用して切換えるように
してもよい。実際に振動が検出された時、または振動が
予測される流れ、噴出条件などの時に、これらが選択的
に使用され振動を回避する。

【００４０】ノズル１０の研磨液の供給側には、切換え
弁２９が接続されている。この切換え弁２９は、ノズル
１０の交換を円滑にするためのもので、ノズル交換時に
リリースバイパス３０を介して研磨液をバケット３１に
流す。また、切換え弁２９は、装置を使用しない時や始
動時にもリリースバイパス３０側を設定し、研磨液の流
れの点検などを行うことができるようにしている。

【００４１】ノズル１０から噴出して研磨加工に使用さ
れた研磨液は、バケット３１に受けられ、ドレインパイ
プ３２を介してタンク２１に戻される。ドレインパイプ
３２の途中には、フィルタ３３が配置されている。この
フィルタ３３は、粒子の大きさ、比重、磁性などの性質
の差を利用して被研磨材５から離れた研磨屑を除去す
る。

【００４２】ノズル１０、被研磨材５およびバケット３
１は、閉空間を形成するチャンバ３４に収容され、研磨
液が摺動部などの他の部位に入り込むのを防止してい
る。その他に、チャンバ３４を設けることで、研磨液の
飛散防止や作業者の安全性の確保にも効果がある。ま
た、ノズル１０を複数個設けるような場合は、各ノズル
１０毎にチャンバ３４を設けることで、研磨液の混入を
防止して、研磨加工の品質を維持することもできる。

【００４３】このような装置に用いられる研磨液は、被
研磨材５の材質や研磨条件、寿命、溶媒の種類などによ
って、成分、その成分の濃度が決定されている。勿論、
研磨液は、水や溶媒、、油性液などの単一性分である場
合もある。

【００４４】また、研磨液に含まれる研磨粒子は、被研
磨材５の材質が代表的なレンズ材料であるＢＫ７である
場合、同じＢＫ７を用いてもよいし、レジン以外の研磨
に一般的に研磨粒子として用いられる酸化アルミニウム
やダイヤモンドでもよい。また、研磨粒子の他に、粘性
や比重を調整したり、酸化などの化学変化を防止するた
めの充填剤添加してもよい。

【００４５】そして、このような研磨液により、被研磨
材５として、レンズやプリズムなどのガラス、基材にコ
ーティングされた膜、例えば金属膜、酸化膜、窒化膜な
ど、さらには、ウェハやディスクなどの基板、光干渉用
参照面などを研磨加工する。

【００４６】次に、図７は、このような研磨液供給装置
を制御する制御装置の概略構成を示している。図におい
て、４１は制御部で、この制御部４１には、図１で述べ
た吹付け研磨装置のワークテーブル２、ワーク回転テー
ブル３、支持腕６、回転台７、ノズルテーブル８および
回転台９などを駆動する駆動部４２、ワークテーブル２
やノズル１０などの位置座標を検出する座標検出部４
３、図６で述べた研磨液供給装置の配管系の研磨液の圧
力やポンプ２４、リリーフ弁２７などの動作状態の信号
の入出力を制御する信号入出力部４４、メモリ４５およ
びモニタ４６が接続されている。そして、制御部４１自
身は、制御プログラム、研磨加工条件や被研磨材５の形
状データの入出力、作成、保存、選択、ファイリングを
実行し、これら処理の結果をモニタ４６に表示するとと
もに、メモリ４５に保存するようにしている。

【００４７】次に、実際に研磨加工を行う場合の手順を
図８に示すフローチャートにより説明する。

【００４８】この場合、まず、干渉計パソコン操作とし
て、被研磨材５の表面に対し光学干渉計で形状測定を行
い(ステップ８０１)、この測定結果を制御部４１に入力
し、メモリ４５に保存すると同時に、モニタ４６に表示
する(ステップ８０２)。

【００４９】次に、制御用パソコン操作として、測定デ
ータを研磨加工に使用できる形状データに変換する(ス
テップ８０４)。この場合、不要データを削除したり、
新たにＩＤや付帯情報が追加される。

【００５０】ここで、レンズ研磨加工では、その中心の
回りにレンズ回転させながら研磨する方法が取られるの
で、まず、レンズ面の全体形状から中心座標を求め(ス
テップ８０５)、次いで、形状データを直交座標系から
曲座標系に変換する(ステップ８０６)。

【００５１】次に、被研磨材５の材質を指定し、所望す
る形式の研磨量(テーブル)を用意する(ステップ８０
７)。そして、このテーブルの情報と形状データに基づ
いて、各部位の研磨量を求める(ステップ８０８)。そし
て、狙った形状を確認した後(ステップ８０９)、被研磨
材５の材質、研磨液の種類、ノズル１０の形状、配管系
の条件などを合わせて各部位での研磨加工データおよび
研磨液を吹付ける時間などを含む加工データ一覧表を作
成して(ステップ８１０)、モニタ４６に表示し(ステッ
プ８１１)、決定した加工データを研磨加工装置に転送
して被研磨材５の研磨加工を実行する(ステップ８１
２)。

【００５２】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない
範囲で種々変形することが可能である。

【００５３】さらに、上記実施の形態には、種々の段階
の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件
における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から
幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようと
する課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄
で述べられている効果が得られる場合には、この構成要
件が削除された構成が発明として抽出できる。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、被研
磨材の表面形状に応じて研磨液の吹付け条件として、距
離、角度などのを自由に制御でき、精度の高い研磨加工
を実現できる研磨加工装置、研磨加工方法、研磨加工を
コンピュータに実行させるプログラムおよび記録媒体を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に適用される研磨加
工装置の概略構成を示す図。

【図２】第１の実施の形態で複数のノズルを有する場合
の例を説明する図。

【図３】第１の実施の形態の被研磨材に対する研磨液の
噴流の状態を説明する図。

【図４】本発明の第２の実施の形態に適用されるノズル
の概略構成を示す図。

【図５】第２の実施の形態に適用される他のノズルの概
略構成を示す図。

【図６】本発明の第３の実施の形態に適用される研磨液
供給装置の概略構成を示す図。

【図７】第３の実施の形態に適用される研磨液供給装置
の制御装置の概略構成を示す図。

【図８】第３の実施の形態の研磨加工を説明するための
フローチャート。

【符号の説明】

１…装置本体１ａ…ベース部１ｂ…胴部２…ワークテーブル３…ワーク回転テーブル４…チャック５…被研磨材６…支持腕７…回転台８…ノズルテーブル８ａ…受け溝９…回転台１０…ノズル１１…噴流１２…ノズル１２ａ．１２ｂ、１２ｃ…噴出口１３、１４…ノズル１３ａ、１４ａ…噴出口部２１…タンク２２…研磨液２３…攪拌器２４…ポンプ２５…供給パイプ２６…圧力計２７…リリーフ弁２８…アキュームレータ２９…切換え弁３０…リリースバイパス３１…バケット３２…ドレインパイプ３３…フィルタ３４…チャンバ４１…制御部４２…駆動部４３…座標検出部４４…信号入出力部４５…メモリ４６…モニタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被研磨材をテーブルに載置し、少なくと
も１つのノズルから研磨液を吹付けることにより前記被
研磨材の表面を成形研磨加工する研磨加工装置におい
て、前記ノズルと前記被研磨材は、相対的に移動し、前記ノ
ズルの角度が可変であることを特徴とする研磨加工装
置。
【請求項２】前記被研磨材は、回転可能にテーブルに
載置されることを特徴とする請求項１記載の研磨加工装
置。
【請求項３】前記研磨液を吹付ける時間を制御するこ
とを特徴とする請求項１記載の研磨加工装置。
【請求項４】前記ノズルは、取り外し可能に取り付け
られることを特徴とする請求項１記載の研磨加工装置。
【請求項５】前記ノズルは、その向きと軸回りの回転
方向の位置を一定にするように取り付けられることを特
徴とする請求項１記載の研磨加工装置。
【請求項６】被研磨材をテーブルに載置し、少なくと
も１つのノズルから研磨液を吹付けることにより前記被
研磨材の表面を成形研磨加工する方法であって、前記ノズルと前記被研磨材は、相対的に移動し、前記ノ
ズルの角度が可変であることを特徴とする研磨加工方
法。
【請求項７】被研磨材をテーブルに載置し、少なくと
も１つのノズルから研磨液を吹付けることにより前記被
研磨材の表面を成形研磨加工し、前記ノズルと前記被研
磨材は、相対的に移動し、前記ノズルの角度が可変であ
ることを特徴とする研磨加工方法に用いられるコンピュ
ータに実行させるための制御プログラムであって、前記加工前の前記被研磨材の形状データを表示し、前記
形状データに基づいて設定された加工条件を記録し表示
させることを特徴とするコンピュータに実行させるため
の制御プログラム。
【請求項８】被研磨材をテーブルに載置し、少なくと
も１つのノズルから研磨液を吹付けることにより前記被
研磨材の表面を成形研磨加工し、前記ノズルと前記被研
磨材は、相対的に移動し、前記ノズルの角度が可変であ
ることを特徴とする研磨加工方法に用いられる制御プロ
グラムを記録する記録媒体であって、前記加工前の前記被研磨材の形状データを表示し、前記
形状データに基づいて設定された加工条件を記録し表示
させる制御プログラムを記録した記録媒体。