JP2006035347A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents

研磨装置及び研磨方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006035347A
JP2006035347A JP2004216391A JP2004216391A JP2006035347A JP 2006035347 A JP2006035347 A JP 2006035347A JP 2004216391 A JP2004216391 A JP 2004216391A JP 2004216391 A JP2004216391 A JP 2004216391A JP 2006035347 A JP2006035347 A JP 2006035347A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
abrasive
polishing head
polishing
polished
impeller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004216391A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihide Nakamura
吉秀 中村
Hiroaki Yamada
浩章 山田
Satoru Asai
知 浅井
Ryusuke Tsuboi
竜介 坪井
Kenji Kamimura
健司 上村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2004216391A priority Critical patent/JP2006035347A/ja
Publication of JP2006035347A publication Critical patent/JP2006035347A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】 蒸気タービンのような大形で円形又は円弧形の部品に対して、研磨材を的確に噴射することができ、且つ小スペース化を図ることことができる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】 研磨ヘッド14を三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボット61と、このロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブル17と、研磨ヘッドから噴射された研磨材を回収して研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、研磨ヘッドは、研磨材に回転エネルギを与えるインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部を備え、この噴射部を水平軸に対して首振り及び噴射方向の設定が可能な首振り機構を有する。
【選択図】 図7

Description

本発明は、蒸気タービン部品等のように外形が円形又は円弧(円形又は円弧状に部品を配置した場合も含む)状になっている被被研磨部品の表面に合成樹脂等からなる弾性体を核とした研磨粒を噴射、衝突させて研磨する研磨装置及び研磨方法に関する。
蒸気タービン部品は、多くの工程を経て製作されるが、特に静翼の製作工程においては、静翼切削工程から、組立工程、溶接工程、熱処理工程、さらに研磨工程を経て仕上げ加工工程があり、工程間のハンドリングや作業により、表面粗さの低下や小さな損傷の発生を余儀なくされている。
蒸気タービンにおいて、特に動翼(羽根)、静翼(ノズル)などは、表面粗さがタービン性能に大きな影響があり、表面を滑らかにすると熱効率に有利であることから、極力滑らかに研磨することが好ましい。
従来、蒸気タービン部品を研磨するには、蒸気タービン部品が大形で曲面があり、機械化が難しいこともあり、人手で行っていた。
ところで、被研磨部材の表面を研磨する装置としては、一般にショット研磨と呼ばれる装置(特許文献1)があるが、これは対象物が歯科用の小物であり、ワークを手で保持して研磨するものである。
従って、かかる研磨装置において、蒸気タービン部品等のように一体物で数100kgから数1000kgの重量のある大形部品に対しては、作業者が保持できるものではなく、また部品の曲面に合わせて研磨材を噴射できるものでもない。
特開平11−347945号公報
このように一般にショット研磨と呼ばれる装置はあるが、研磨材噴射を大形、特に円形又は円弧形状部品に合わせて、研磨材の噴射方向を任意に定め且つ連続研磨することはできない。
また、ショット研磨に使用する研磨材は、弾性体(合成樹脂など、直径が0.数mm程度)を核としてその周りに研磨紛(SiCなど、直径が数μ〜10数μ程度)を付着させたものが使用され、研磨材を噴射して被研磨部品と当ることによりその部分が研磨される。この場合、蒸気タービンのような大形部品を対象にショット研磨により効果的に研磨を行うには、研磨材の噴射量として1秒当り0.数リットルから数リットルが必要である。
しかし、ノズルや羽根の研磨では、隣り合った動翼や静翼の間隔が接近していることと、研磨材の重量が軽いため、噴射した研磨材の排出が遅れて研磨箇所に蓄積してしまい、次に噴射された研磨材が被研磨部品に当るのを阻害されてしまう。従って、研磨効率を向上させることは困難であった。
本発明の目的は、蒸気タービンのような大形で円形又は円弧形の部品に対して、弾性体を核としてその周りに研磨紛付着させた研磨材を的確に噴射することができ、且つ小スペース化を図ることができる研磨装置及び研磨方法を提供することにある。
本発明は上記の目的を達成するため、次のような装置及び方法により被研磨部品を研磨するものである。
請求項1に対応する発明は、弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする位置決め手段と、この位置決め手段により位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射された研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、前記位置決め手段は、フレーム上をY方向に移動する移動台車、この移動台車上をX方向に移動する移動台、この移動台に前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能に支持する支持機構から構成され、前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部と、この噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成され、前記回転テーブルを回転させ且つ前記噴射部を首振り動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨する。
請求項2に対応する発明は、請求項1に対応する発明の研磨装置において、研磨ヘッドは噴射部を支持する垂直軸を有し、この垂直軸を中心に水平旋回させる水平旋回機構を設ける。
請求項3に対応する発明は、請求項2に対応する発明の研磨装置において、水平旋回機構は首振り機構と一体的に水平旋回する。
請求項4に対応する発明は、請求項2又は請求項3に対応する発明の研磨装置において、インペラの研磨材吐出部の中心は水平旋回機構の旋回中心又はその近傍にある。
請求項5に対応する発明は、弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボットと、この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部と、この噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成され、前記回転テーブルを回転させ且つ前記噴射部を首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨する。
請求項6に対応する発明は、弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めすると共に、前記研磨ヘッドの首振り機能及び水平旋回機能を持たせた多関節ロボットと、この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部とから構成され、前記回転テーブルを回転させ且つ前記多関節ロボットに持たせた首振り機能及び旋回機能により前記噴射部を首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨する。
請求項7に対応する発明は、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部及びこの噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構から構成され、前記噴射部より研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら噴射する研磨ヘッドと、この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボットと、この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被被研磨部品が保持される回転テーブルと、この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、上記回転テーブル、研磨ヘッド及び多関節ロボットをコンテナの中に収納し、このコンテナの中で被研磨部品を研磨する。
請求項8に対応する発明は、水平軸を中心に回転駆動され弾性体を核としてその周りに研磨紛を付着させた研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部及びこの噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成された研磨ヘッドと、フレーム上をY方向に移動する移動台車、この移動台車上をX方向に移動する移動台、この移動台に前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能に支持する支持機構から構成された位置決め手段と、回転テーブルと、この回転テーブルより研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備えてなる研磨装置を用いて円形又は円弧状の被研磨部品を研磨する方法において、前記位置決め手段により前記研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めするステップと、このステップにより位置決めされた基面上に設けられた前記回転テーブルの所定の箇所に円形又は円弧状の被研磨部品を保持させるステップと、前記回転テーブルを回転させるステップと、前記研磨ヘッドのインペラを回転駆動すると共に、前記噴射部を首振り動作させながら研磨材を予め設定された噴射速度で噴射させ、該研磨材を被研磨部品に衝突させるステップと、前記研磨材回収手段により回収された研磨材を前記研磨材供給手段に搬送するステップとからなることを特徴とする。
本発明による研磨装置及び研磨方法は、蒸気タービンのような大形で円形又は円弧形の部品に対して、弾性体を核としてその周りに研磨紛付着させた研磨材を的確に噴射することができ、且つ小スペース化を図ることができる。
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は本発明による研磨装置の第1の実施形態を示す正面図、図2は同実施形態の平面図である。
図1及び図2において、1は予定の間隔を存して対向配置された一対のフレームで、これらのフレーム1の上端面には紙面垂直方向(Y方向)にレール2が設置され、これらのレール2間に跨って移動台車3が配置されている。この移動台車3はギヤードモータ5により駆動される車輪4を有し、レール2に沿ってY方向に移動可能になっている。
また、移動台車3上には紙面左右方向(X方向)に一対の直動ガイド6が適宜の間隔を存して設置され、これらの直動ガイド6上に移動台7が配置されている。この移動台7にはギヤードモータ8により回転駆動されるピニオン9が取付けられ、このピニオン9を一方の直動ガイド6に隣接させて平行に配設されたラック10に噛合させ、移動台7が直動ガイド6に沿ってX方向に移動可能になっている。
さらに、この移動台7のほぼ中央部にはギヤードモータ12により駆動される電動ジャッキ11が紙面垂直方向(Z軸方向)に移動可能に取付けられ、この電動ジャッキ11の先端(図示下端)には支持板13を介して研磨ヘッド14が取付けられている。また、移動台7の四隅にはガイド管15がそれぞれ取付けられ、これらのガイド管15を通して支持板13に取付けられた4本のガイド棒16をそれぞれ挿通させている。
従って、電動ジャッキ11により研磨ヘッド14が上下方向に移動する際に、4本のガイド棒16も同時にガイド管15にガイドされながら上下方向に移動するので、研磨ヘッド14は鉛直に移動させることができる。
これらフレーム1、このフレーム1上をレール2に沿ってY方向に移動し且つギヤードモータ5により駆動される車輪4を有する移動台車3、この移動台車3上を直動ガイド6に沿ってX方向に移動し、且つ直動ガイド6に平行に配設されたラック10にギヤードモータ8により回転するピニオン9を噛合させた移動台7、この移動台7にZ軸方向に移動可能に取付けられ、先端に支持板13を介して取付けられた研磨ヘッド14をガイド棒16により安定な状態を維持しながら鉛直方向に移動させる電動ジャッキ11は、研磨ヘッド14の位置決め機構を構成している。
ここで、研磨ヘッド14の詳細な構成について、図3(a),(b)により説明する。
研磨ヘッド14は、図3(a),(b)に示すように支持板13に軸受50により支承された旋回軸49を鉛直にして支持された旋回ギヤードモータ51からなる水平旋回機構と、旋回ギヤードモータ51の旋回軸49の端部に取付けられた旋回フレーム44と、この旋回フレーム44の一方の外側面下部に取付けられた首振りギヤードモータ45、旋回フレーム44の内側に設けられ、一方の側板の下部が首振りギヤードモータ45の首振り軸46の端部に結合されるとともに、他方の側板の下部が首振り支持軸47に結合された首振りフレーム31からなる首振り機構とを備えている。
一方、首振りフレーム31の両側板間の中央にはベース板32が板面を旋回フレーム44の板面と平行にして設けられ、このベース板32の一方の板面上部にインペラ駆動モータ33が取付けられると共に、このインペラ駆動モータ33の下部に軸受ユニット37、この軸受ユニットを中心にその上部及び下部に各2個ずつ、計4個の軸受ユニット38が対称的にそれぞれ回転自在に取付けられ、さらにインペラ駆動モータ33の回転軸及び軸受ユニット37の回転軸に取付けられたプーリ34,36間にインペラ駆動モータ33の回転を軸受ユニット37の回転軸に伝達するインペラ駆動ベルト35が掛けられている。
また、ベース板32の他方の板面には一方の板面から貫通する上記軸受ユニット37の回転軸にインペラ39が取付けられ、このインペラ39の外周面とベース板32の一方の板面から貫通する前述した4個の軸受ユニット38の軸に取付けられたプーリ41及びテンションローラ52にエンドレスの噴射ベルト40が掛けられている。
これらインペラ39、噴射ベルト40及びプーリ41は研磨材の噴射部を構成し、インペラの吐出し中心を水平機構の旋回中心又はその近傍にしている。
さらに、ベース板32の他方の板面にインペラ39に対応させてシュート固定板42が取付けられ、このシュート固定板42にシュート43がインペラ39の内部に研磨材が挿入可能な位置に固定されている。
一方、図1において、17はフレーム1内の研磨ヘッド14による作業範囲に対応する基面上に複数本の脚部18に水平を維持した状態で回転自在に載置され、かつギヤードモータ19により回転駆動される回転テーブルで、この回転テーブル17の上面に回収タンク付テーブル20が搭載されている。
この回収タンク付テーブル20は、ホッパ21の上面開口部に大型部品が載置可能で、研磨材をホッパ21側へ通過可能な格子状の部品取付板22が設けられ、またホッパ21の底部には研磨材の流出ダクト23が設けられた構成となっている。
また、24は回転テーブル17の下部に存する空間部よりフレーム1の外部に跨って配設された横置きコンベアで、この横置きコンベア24はダクト24a内の一端部(回転テーブル側)に設けられたガイド輪24bと基面に対して予定角度立上げた他端部(フレーム外側)に設けられ、ギヤードモータ25により回転駆動される駆動輪24cとの間を複数個のガイドローラを介して循環移動する無端ベルト24dにより連結したものである。
さらに、26は横置きコンベア24の他端部側と研磨材を落下させる連結管27を介して連結された縦置きコンベアで、この縦置きコンベア26は横置きコンベア24との連結部から所定の高さまで予定角度で立上げた傾斜ダクト26a内の一端部(基面設置側)に設けられたガイド輪26bと傾斜ダクト26a内の上端部に設けられ、ギヤードモータ28により回転駆動される駆動輪26cとの間を複数のガイドローラを介して循環移動する無端ベルト26dを連結したものである。
上記横置きコンベア24の無端ベルト24d及び縦置きコンベア26の無端ベルト26dの表面には、ホッパ21の流出ダクト23を通して落下する研磨材を受け、かつ傾斜ダクト26a内の上昇移動時に研磨材の滑落を防止する図示しない弾性部材からなる複数の受棚が適宜の間隔を存してそれぞれ取付けられたバケットタイプのものである。
さらに、29は傾斜ダクト部26bの上部下面に設けられた口出部に一端部が接続され、他端部が研磨ヘッド14側のシュート43に接続されたホースで、このホース29は縦置きコンベア26の傾斜ダクト26aの上部に存する口出部を通して落下する研磨材を研磨ヘッド14側のシュート43に送込むもので、前述した位置決め機構によるX軸方向、Y軸方向及びZ方向の移動、研磨ヘッド14の水平旋回及び首振り旋回に追従して伸縮や曲げ変形が可能になっている。
他方、30は回収タンク付テーブル20及びその上方の研磨ヘッド14の移動空間部を囲むように設けられた帆布製またはビニールシート等で構成されたカバーフレームである。
次に上記のように構成された大形部品の研磨装置の作用を述べる。
いま、回収タンク付テーブル20の格子状の部品取付板22上に被被研磨部品としてノズルダイアフラム100が図示しない固定金具により水平に維持した状態で固定される。
ここで、研磨ヘッド14のシュート43内には予め弾性体を核としてその周りに研磨紛を付着させた研磨材が収容されているものとする。
このような状態でノズルダイアフラム100の被研磨箇所として静翼101を研磨するには、位置決め機構により研磨ヘッド14を前後、左右方向及び上下方向に移動させてノズルダイアフラム100の上方に位置させる。
すなわち、フレーム1上の移動台車3をギヤードモータ5により駆動してレール2に沿って移動させ、研磨ヘッド14のY方向に対する位置決めを行い、次いで研磨ヘッド14を支持する移動台7をギヤードモータ8によりラック10に噛合させたピニオン9を回転駆動することで、移動台車3上に設置された直動ガイド6に沿って移動させ、研磨ヘッド14のX方向に対する位置決めを行う。続いて、移動台7に上下方向に移動可能に支持された電動ジャッキ11をギヤードモータ12により駆動することで、研磨ヘッド14のZ方向に対する位置決めを行う。
このように研磨ヘッド14をX方向、Y方向、Z方向の位置決めにより、ノズルダイアフラム100の上方に位置させた状態で、図3に示すインペラ駆動モータ33によりインペラ39を高速回転させると研磨材がシュート43からインペラ39の内部に入り、遠心力でインペラ周囲部の噴射ベルト40に押付けられる。
この噴射ベルト40に押付けられた研磨材は噴射ベルト40と共に回転して、ベルトの開口部(図3(b)では下側)から図示矢印方向53にベルトに乗って噴射される。
このとき、旋回ギヤードモータ51の駆動により旋回軸49を中心に旋回フレーム44を回転させる水平旋回機構と、旋回フレーム44の内側に首振り軸46、支持軸47を介して支持された首振りフレーム31を首振りギヤードモータ45の駆動により首振りさせる首振り機構により、研磨ヘッド14全体を水平旋回させると共に、首振り旋回させながらインペラ39の噴射ベルト40の開口部をノズルダイアフラム100の静翼101の研磨部位に向けることで、静翼101の表面に研磨材が予め決められた速度で衝突し、静翼101の表面が研磨される。
この場合、研磨ヘッド14を揺動させるには、水平旋回機構又は首振り機構を用いて旋回又は首振りの上限及び下限を設定することにより、その間を往復させることができる。このときの揺動速度としては1秒当り数cmから数10cm程度が好ましい。一方、被被研磨部品100の回転速度は1秒当り数mm程度が好ましい。
また、上記研磨ヘッド14の動作と同時に回転テーブル17をギヤードモータ19により旋回させることで、回収タンク付テーブル20は水平を維持した状態で旋回する。
一方、静翼101の表面の研磨を終えた研磨材は、回収タンク付きテーブル20の格子状の部品取付板22を通過してホッパ21内に落下し、さらにこのホッパ21の流出ダクト23を通して横置きコンベア24の無端ベルト24d上に回収される。
この横置きコンベア24の無端ベルト24dは、ギヤードモータ25の回転駆動により駆動輪24cとガイド輪24b間を循環移動しており、無端ベルト24d上に回収された研磨材はダクト24a内を一端部側から他端部へ搬送され、連結管27を通して縦置きコンベア26の無端ベルト26dに落下する。この縦置きコンベア26はバケットタイプのコンベアで、ギヤードモータ28の回転駆動により駆動輪26cとガイド輪26b間を無端ベルト26dが急傾斜で循環移動しても無端ベルト26d上に回収された研磨材は、ダクト26a内を一端部側から他端部側に持ち上げられ、傾斜ダクト部26bの上部下面に設けられた口出部よりホース29を通して研磨ヘッド14のシュート43に入り、以下前述同様の作用がサイクリックに行われる。
ここで、被研磨部品として図4(a)に示すノズルダイアフラム100において、図4(b)に示す静翼101を研磨する場合、静翼101が接近しているので、単純な噴射では研磨材が排出し難いが、研磨ヘッド14を揺動することで研磨材を容易に排出することができる。
図4(a)はノズルダイアフラム100を上から見た図であり、内輪102、外輪103及びその間に挟持された静翼101からノズルダイアフラム100が構成され、このノズルダイアフラム100はそのままの状態で格子状の部品取付板22の上に設置される。この場合、静翼101は水平に置いた状態では上側の翼角度と下側の翼角度は大きく異なるため、静翼101の下側はノズルダイアフラム100を反転させれば研磨できるが、反転させると研磨材の最適噴射角度が大きく異なる。そこで、研磨ヘッド14に有する首振り機構によりこの噴射角度を調整すれば、静翼101の下側を容易に研磨することができる。
図5は被研磨部品として治具92に固定された蒸気タービンの動翼91を研磨する場合も、このままの状態で格子状の部品取付板22の上に設置するだけで、ノズルダイアフラム100と同様に蒸気タービンの動翼91を研磨することができる。
このように本実施形態では、フレーム1上に前後方向(Y方向)に移動する移動台車3、この移動台車3上を左右方向(X方向)に移動する移動台7、この移動台7に研磨ヘッド14を上下方向(Z方向)に移動可能に支持する電動ジャッキ11により研磨ヘッド14の位置決め機構を構成し、またフレーム1内の研磨ヘッド14による作業範囲に対応する基面上に上面に回収タンク付テーブル20が搭載された回転テーブル17を設置し、回収タンク付テーブル20のホッパ21の上面開口部にノズルダイアフラム100を載置して、研磨ヘッド14を位置決め機構によりX方向、Y方向、Z方向に移動させ、且つこの研磨ヘッド14全体の旋回と首振り動作をさせながらインペラ39の噴射ベルト40の開口部より研磨材をノズルダイアフラム100の静翼101の表面に向けて噴射するようにしたので、研磨装置全体の設置スペースの縮小化を図ることができると共に、研磨の難しい狭隘部や、嵌合部を含む表面研磨を効率良く、しかも確実に行うことができる。
また、水平を維持した状態で回転する回転テーブル17上に回収タンク付テーブル20を設置し、その上面にノズルダイアフラム100を搭載するようにしたので、回転テーブル17が回転することにより、研摩ヘッド14の位置を変えることなくノズルダイアフラム100の全周上の同一位置が順次研摩粒の噴射位置になるので、ノズルダイアフラム100の全周に亘り均一な研摩が可能となる。さらに、回転テーブル17の回転量を正確に制御することにより、静翼101のように均等間隔で複数個ノズルダイアフラム100に設置されているようなものでは、自動的に各静翼101の全く同じ位置の研摩を略均一に行なうことも可能になる。このように特に3次元形状を有する大形重量物の研磨を機械化することができる。
さらに、部品の研磨後の研磨材は、回収タンク付テーブル20のホッパ21に収集された後、横置きコンベア24及び縦置きコンベア26により所定の高さ位置まで搬送し、この位置からホース29を通して研磨ヘッド6のシュート43へ回収するようにしているので、研磨材の有効利用を図ることができ、経済的に有利になるばかりでなく、研磨材の回収と再投入時間を省略することができる。また、新しい研摩材も、回転テーブル17上の部品取付板22は格子状になっているため、作業中でも適宜投入可能である。
一方、回収タンク付テーブル20及びその上方の研磨ヘッド14の移動空間部を囲むように帆布製またはビニールシート等で構成されたカバーフレーム30が設けられているので、研摩の際に生じる細かい金属紛や研磨材が周囲に飛び散るのを防止することができる。
上記実施形態では、研磨ヘッド14の水平旋回機構及び首振り機構の駆動源としてギヤードモータを用いたが、水平旋回角度を設定したり、首振り角度を設定したりする場合にはサーボモータを使用することによりその設定を容易に行うことができる。しかも、回転テーブル17と研磨ヘッド14の揺動が別々の動作なので、これらの設定及び段取りが容易である。
また、上記実施形態では、研磨ヘッド14より研磨材をインペラ39の下側に有する噴射ベルト40の開口部より噴射させる噴射方向53としたが、翼の角度や方向が変ったときの対応索として噴射ベルト40を掛替えてインペラ39の横方向を研磨材の噴射方向54とすることもできる。
さらに、上記実施形態では、研磨ヘッド14を水平旋回機構及び首振り機構により揺動させる場合について説明したが、移動台車3を前後方向(Y方向)に周期的に移動させても研磨ヘッド14を揺動でき、また移動台7をラック10及びピニオン9により横方向(X方向)に周期的に移動させても研磨ヘッド14を揺動できる。
また、上記実施形態では、被研磨部品を回転テーブル17により回転させる場合について述べたが、位置決め機構の前後方向(Y方向)と横方向(X方向)を同時に移動することで、円運動をさせることができる。そして、円運動の中に揺動を組込むことができる。この場合、前後方向(Y方向)と横方向(X方向)のモータとしてサーボモータを用いると容易であるが、事前にプログラムの準備が必要になる。
図6(a),(b)は本発明の第2の実施形態における研磨ヘッドの構成を示し、(a)は正面図、(b)は(a)の左側面の断面図であり、図3(a),(b)と同一部品には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる点について述べる。
第2の実施形態では、図6に示すように回転軸がベース板32の板面に対して直交し且つ首振りフレーム31の首振り軸と同一線上になるようにインペラ駆動モータ33を設けると共に、首振りフレーム31の上部に支持部材を介して支持させ、このインペラ駆動モータ33の回転軸をベース板32の他方の板面に軸受ユニット37を介して貫通させ、この他方の板面に貫通する回転軸にインペラ39の回転軸を直接連結する構成とする以外は図3と同様である。
このような構成の研磨ヘッド14とすれば、第1の実施形態と同様の作用効果が得られることに加え、首振り軸は首振り機構の質量中心近辺にあるので、僅かなトルクで首振り動作を行わせることができる。
図7は本発明による研磨装置の第3の実施形態を示す正面図で、図1と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる点についてのみ述べる。
第3の実施形態では、図1で説明した研磨ヘッドの位置決め機構に代えて、図7に示すような各種多関節(例えば6軸)ロボット61を台座62上に設置し、ロボットのハンド先端に研磨ヘッド14を位置決め及び移動操作可能に取付ける構成とするものである。
また、図1では回転テーブル17の上面に回収タンク付テーブル20を搭載し、ホッパ21を旋回可能にしたが、本実施形態ではロボット61のハンド先端部が円運動又は円弧移動するので、回転テーブル17は不要である。
さらに、横置きコンベア24及び縦置きコンベア26は、図1とほぼ同様の構成のものであるが、これら両コンベアは通称エアロコンベアと呼ばれるもので、ダクトの中に駒と駒を結合するワイヤが入っており、これらがスプロケットにより循環して研磨材を回収・供給するものである。
このような構成の研磨装置において、研磨ヘッド14から噴射された研磨材は被研磨部品(ノズルダイアフラム)100に当った後、落下してホッパ21に集められ、横置きコンベア24で研磨材を横方向に移動し、次いで縦置きコンベア26により研磨材を上方へ持ち上げ、ホース29を通して研磨ヘッド14のシュート43に入り、以下同様の作用が繰り返される。
ここで、研磨ヘッド14はロボット61により揺動又は被研磨部品に対して径方向に動きながら、ノズルダイアフラム100の静翼101に沿って円弧移動しながら研磨する。
このような構成としても第1の実施形態と同様の研磨を実現することが可能である。また、多関節ロボット、ここでは6軸ロボット61を位置決め機構として使用しているので、図1のものと比較してさらに研磨装置全体の設置スペースの縮小化を図ることができる。
上記実施形態では、研磨ヘッド14として図1と同様に首振り機構と、水平旋回機構を組込んでいるが、これらの機構の動作をロボットで行わせることで、研磨ヘッドの小型化を図ることができる。
さらに、上記実施形態では水平を維持した状態で回転する回転テーブル17の上に回収タンク付テーブル20を配設する場合について述べたが、回転テーブル17としては水平型ではなく、少し傾斜角度を持たせた回転テーブルとして、その上に配設される回収タンク付テーブルを研磨ヘッドから噴射される研磨粒が回収可能な構成にしてもよい。
図8乃至図10は本発明による研磨装置の第4の実施形態を示し、図8は正面図、図9は平面図、図10は側面図である。なお、図7と同一部分には同一符号を付して説明する。
図8乃至図10において、71はコンテナ、例えばオープン形の海上コンテナで、この海上コンテナ71内のほぼ中央部にギヤードモータ19により回転駆動される回転テーブル17が載置され、その上面に回収タンク付テーブル20が搭載される。
この回収タンク付テーブル20は、ホッパ21の上面開口部に大型部品が載置可能で、研磨材をホッパ21側へ通過可能な格子状の部品取付板22が設けられ、またホッパ21の底部には研磨材の流出ダクト23が設けられた構成となっている。
また、海上コンテナ71内の回転テーブル17を挟む両側に台座72a,72bがそれぞれ設置され、これら両台座72a,72b上に研磨ヘッドの移動手段として多関節ロボット(6軸ロボット)61a,61bをそれぞれ設置し、このロボットのハンド先端に研磨ヘッド14が位置決め及び移動操作可能に取付けられる。
一方、海上コンテナ71の上面にはフレーム73が取付けられ、このフレーム73上に台車74が横方向(X方向)に移動可能に設けられる。この台車74のフレームには被研磨部品100の移動に使用されるチェーンブロック75が掛かっている。
また、横置きコンベア24及び縦置きコンベア26は、図1とほぼ同様の構成のものであるが、これら両コンベアは通称エアロコンベアと呼ばれるもので、ダクトの中に駒と駒を結合するワイヤが入っており、これらがスプロケットにより循環して研磨材を回収・供給するものである。
さらに、回収タンク付テーブル20及びその上方の研磨ヘッド14の移動空間部を囲むように帆布製またはビニールシート等で構成されたカバーフレーム30が設けられ、研磨材の飛散を防止している。
なお、図9及び図10において、76はコンテナ71の外周側部に設置された足場であり、段取り祖業及び監視用に用いられるものである。
このように第4の実施形態では、多関節ロボット、ここでは6軸ロボット61を研磨ヘッド14の位置決め及び移動手段として使用することで、研磨装置全体が作業スースを含めて小形になるので、回転テーブル20、ホッパ21、研磨ヘッド14、多関節ロボット61を例えばオープン形の海上コンテナに収納することが可能となり、コンテナの中で被被研磨部品の研磨作業を行うことができる。
本発明による研磨装置の第1の実施形態を示す正面図。 同実施形態を示す平面図。 同実施形態における研磨ヘッドの構成を示すもので、(a)は正面図、(b)は噴射部の側面図。 (a)は被被研磨部品の一例を示す平面図、(b)は同被研磨部品の静翼を示す図。 同被研磨部品の動翼を示す正面図。 本発明による研磨装置の第2の実施形態における研磨ヘッドの構成を示すもので、(a)は正面図、(b)は噴射部の側面図。 本発明による研磨装置の第3の実施形態を示す正面図。 本発明による研磨装置の第4の実施形態を示す正面図。 同実施形態を示す平面図。 同実施形態を示す側面図。
符号の説明
1…フレーム、2…レール、3…移動台車、4…車輪、5,8,12,19,25,28.45…ギヤードモータ、6…直動ガイド、7…移動台、9…ピニオン、10…ラック、11…電動ジャッキ、13…支持板、14…研磨ヘッド、15…ガイド管、16…ガイド棒、17…回転テーブル、18…脚部、20…回収タンク付きテーブル、21…ホッパ、22…部品取付板、23…流出ダクト、24…横置きコンベア、24a…ダクト、24b…ガイド輪、24c…駆動輪、24d…無端ベルト、26…縦置きコンベア、26a…傾斜ダクト、26b…ガイド輪、26c…駆動輪、26d…無端ベルト、27…連結管、29…ホース、30…カバーフレーム、31…首振りフレーム、32…ベース板、33…インペラ駆動モータ、34,36,41…プーリ、35…インペラ駆動モータ、37,38…軸受ユニット、39…インペラ、40…噴射ベルト、42…固定板、43…シュート、44…旋回フレーム、45…首振りギヤードモータ、46…首振り軸、47…支持軸、49…旋回軸、50…軸受、51…旋回ギヤードモータ、52…テンションローラ、61,61a,61b…多関節ロボット、62…台座、71…コンテナ、72a,72b…台座、73…フレーム、74…台車、75…チェーンブロック、76…足場、100…ノズルダイアフラム、101…静翼

Claims (8)

  1. 弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、
    この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする位置決め手段と、
    この位置決め手段により位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、
    この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射された研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
    前記位置決め手段は、フレーム上をY方向に移動する移動台車、この移動台車上をX方向に移動する移動台、この移動台に前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能に支持する支持機構から構成され、
    前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部と、この噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成され、
    前記回転テーブルを回転させ且つ前記噴射部を首振り動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨することを特徴とする研磨装置。
  2. 請求項1記載の研磨装置において、研磨ヘッドは噴射部を支持する垂直軸を有し、この垂直軸を中心に水平旋回させる水平旋回機構を設けたことを特徴とする研磨装置。
  3. 請求項2記載の研磨装置において、水平旋回機構は首振り機構と一体的に水平旋回することを特徴とする研磨装置。
  4. 請求項2又は請求項3記載の研磨装置において、インペラの研磨材吐出部の中心は水平旋回機構の旋回中心又はその近傍にあることを特徴とする研磨装置。
  5. 弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、
    この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボットと、
    この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、
    この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
    前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部と、この噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成され、
    前記回転テーブルを回転させ且つ前記噴射部を首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨することを特徴とする研磨装置。
  6. 弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、
    この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めすると共に、前記研磨ヘッドの首振り機能及び水平旋回機能を持たせた多関節ロボットと、
    この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、
    この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
    前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部とから構成され、
    前記回転テーブルを回転させ且つ前記多関節ロボットに持たせた首振り機能及び旋回機能により前記噴射部を首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨することを特徴とする研磨装置。
  7. 水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部及びこの噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構から構成され、前記噴射部より研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら噴射する研磨ヘッドと、
    この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボットと、
    この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被被研磨部品が保持される回転テーブルと、
    この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
    上記回転テーブル、研磨ヘッド及び多関節ロボットをコンテナの中に収納し、このコンテナの中で被研磨部品を研磨することを特徴とする研磨装置。
  8. 水平軸を中心に回転駆動され弾性体を核としてその周りに研磨紛を付着させた研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部及びこの噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成された研磨ヘッドと、フレーム上をY方向に移動する移動台車、この移動台車上をX方向に移動する移動台、この移動台に前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能に支持する支持機構から構成された位置決め手段と、回転テーブルと、この回転テーブルより研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備えてなる研磨装置を用いて円形又は円弧状の被研磨部品を研磨する方法において、
    前記位置決め手段により前記研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めするステップと、
    このステップにより位置決めされた基面上に設けられた前記回転テーブルの所定の箇所に円形又は円弧状の被研磨部品を保持させるステップと、
    前記回転テーブルを回転させるステップと、
    前記研磨ヘッドのインペラを回転駆動すると共に、前記噴射部を首振り動作させながら研磨材を予め設定された噴射速度で噴射させ、該研磨材を被研磨部品に衝突させるステップと、
    前記研磨材回収手段により回収された研磨材を前記研磨材供給手段に搬送するステップと、
    からなることを特徴とする研磨方法。
JP2004216391A 2004-07-23 2004-07-23 研磨装置及び研磨方法 Pending JP2006035347A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004216391A JP2006035347A (ja) 2004-07-23 2004-07-23 研磨装置及び研磨方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004216391A JP2006035347A (ja) 2004-07-23 2004-07-23 研磨装置及び研磨方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006035347A true JP2006035347A (ja) 2006-02-09

Family

ID=35900879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004216391A Pending JP2006035347A (ja) 2004-07-23 2004-07-23 研磨装置及び研磨方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006035347A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100861214B1 (ko) 2007-05-04 2008-09-30 한국브라스트 주식회사 디스플레이장치용 강화유리 단차 가공 및 절단방법
CN102152242A (zh) * 2010-12-28 2011-08-17 北京理工大学 复合运动姿态磁射流体喷射抛光装置
CN106064351A (zh) * 2016-06-29 2016-11-02 安徽涌诚机械有限公司 全自动机器人喷砂作业的喷砂房及使用其喷砂的工艺方法
CN107756261A (zh) * 2017-11-24 2018-03-06 无锡市日升机械厂 外部操控式箱型精密零件喷砂机
WO2020144609A1 (en) * 2019-01-09 2020-07-16 Sciteex Sp. Z O. O. The device for abrasive blast treatment of dimensional surfaces of workpieces and the method for treatment of dimensional surfaces of workpieces using this device
WO2020144613A3 (en) * 2019-01-09 2020-12-17 Sciteex Sp. Z O. O. Abrasive blast treatment machine for surfaces of large-scale workpieces

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS532788U (ja) * 1976-06-28 1978-01-11
JPH11347945A (ja) * 1999-05-19 1999-12-21 Kamei Tekkosho:Kk ワ―ク表面の研削装置
JP2000141226A (ja) * 1998-11-06 2000-05-23 Kawasaki Heavy Ind Ltd 自動ブラスト装置
JP2002307312A (ja) * 2001-04-11 2002-10-23 Olympus Optical Co Ltd 研磨加工装置、研磨加工方法、研磨加工をコンピュータに実行させる制御プログラムおよび記録媒体
JP2003025226A (ja) * 2001-07-18 2003-01-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd サンドブラスト装置
JP2003508238A (ja) * 1999-09-01 2003-03-04 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 部品の表面処理方法とその装置
JP2004001231A (ja) * 2003-08-19 2004-01-08 Kamei Tekkosho:Kk 砥材

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS532788U (ja) * 1976-06-28 1978-01-11
JP2000141226A (ja) * 1998-11-06 2000-05-23 Kawasaki Heavy Ind Ltd 自動ブラスト装置
JPH11347945A (ja) * 1999-05-19 1999-12-21 Kamei Tekkosho:Kk ワ―ク表面の研削装置
JP2003508238A (ja) * 1999-09-01 2003-03-04 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 部品の表面処理方法とその装置
JP2002307312A (ja) * 2001-04-11 2002-10-23 Olympus Optical Co Ltd 研磨加工装置、研磨加工方法、研磨加工をコンピュータに実行させる制御プログラムおよび記録媒体
JP2003025226A (ja) * 2001-07-18 2003-01-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd サンドブラスト装置
JP2004001231A (ja) * 2003-08-19 2004-01-08 Kamei Tekkosho:Kk 砥材

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100861214B1 (ko) 2007-05-04 2008-09-30 한국브라스트 주식회사 디스플레이장치용 강화유리 단차 가공 및 절단방법
CN102152242A (zh) * 2010-12-28 2011-08-17 北京理工大学 复合运动姿态磁射流体喷射抛光装置
CN106064351A (zh) * 2016-06-29 2016-11-02 安徽涌诚机械有限公司 全自动机器人喷砂作业的喷砂房及使用其喷砂的工艺方法
CN107756261A (zh) * 2017-11-24 2018-03-06 无锡市日升机械厂 外部操控式箱型精密零件喷砂机
WO2020144609A1 (en) * 2019-01-09 2020-07-16 Sciteex Sp. Z O. O. The device for abrasive blast treatment of dimensional surfaces of workpieces and the method for treatment of dimensional surfaces of workpieces using this device
WO2020144613A3 (en) * 2019-01-09 2020-12-17 Sciteex Sp. Z O. O. Abrasive blast treatment machine for surfaces of large-scale workpieces

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2005105375A1 (ja) 大型部品の研磨装置および研磨方法
JP2006035347A (ja) 研磨装置及び研磨方法
CN209986793U (zh) 一种机械加工用金属工件喷砂装置
CN2726803Y (zh) 自动喷砂机
CN209394450U (zh) 一种宽带砂光机
CN111055172B (zh) 一种外圆磨床
CN104174530A (zh) 自动喷漆系统
CN102229115B (zh) 圆柱形零件专用喷砂机
CN105710746B (zh) 一种光纤准直器球面透镜全自动研磨设备
TWI290878B (en) Device and method for polishing large part
JP2014088712A (ja) 路面用噴水型除去装置
JP2014088713A (ja) 路面用噴水型除去装置
JP2006308389A (ja) 放射性廃棄物の除染装置及び除染方法
CN112496452A (zh) 一种锯片加工用磨齿装置
CN206455553U (zh) 喷砂工具、容器装置及喷砂系统
KR101772289B1 (ko) 선박 작업용 스위핑 머신
JP5437143B2 (ja) 研磨材吹付加工装置のびん体保持機構
KR101670250B1 (ko) 정교한 표면을 얻기 위한 샌드 블라스트 장치
JPH09314469A (ja) 中子砂除去装置及び除去方法
CN214445617U (zh) 一种家具制造用新型喷砂机
CN104308710B (zh) 旋转式多角度自动抛光系统及其抛光方法
CN209158002U (zh) 一种炉筒抛光机构
CN212887075U (zh) 一种刀具湿法喷砂机
CN211073212U (zh) 一种用于锯片加工的喷砂与激光处理一体化装置
CN209158001U (zh) 一种炉筒全自动抛光机

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070110

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090423

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090908

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091022

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20100302

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100426

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100810

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101214