JPH11333702A - 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 - Google Patents
球面創成加工装置及び球面創成加工方法Info
- Publication number
- JPH11333702A JPH11333702A JP14546398A JP14546398A JPH11333702A JP H11333702 A JPH11333702 A JP H11333702A JP 14546398 A JP14546398 A JP 14546398A JP 14546398 A JP14546398 A JP 14546398A JP H11333702 A JPH11333702 A JP H11333702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- spherical
- spherical tool
- workpiece
- horn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
く、しかも工具の摩耗を押させて高精度な凹球面に加工
する。 【解決手段】 被加工物5に凹球面を加工する球状の工
具4と、球状の工具4を転動自在に保持する凹み状の保
持部を一端に有すると共に、保持部内に保持された球状
の工具を超音波発振器1からの超音波によって超音波振
動させるホーン3と、ホーン3に保持された球状の工具
4と対向するように被加工物5を固定する載置台6と、
球状の工具4と被加工物5とを所定の荷重を有して当接
させる加圧手段7と、球状の工具4の加工によって生じ
る載置台6又は球状の工具4の変位量を測定する測定手
段8と、砥粒が分散した加工液9を球状の工具4の加工
時に被加工物5と球状の工具4との界面に対して供給す
る加工液供給手段10とを備える。砥粒の粒径を変える
だけで微小曲率の段取りができ、工具の摩擦も少なくな
り、高精度に加工できる。
Description
などに対し、微小な凹球面を所望の深さに精度良く創成
加工する球面創成加工装置及び球面創成加工方法に関す
る。
る凹球面の創成加工はカーブジェネレータ(CG機)に
より行われている。図8は加工の原理を示し、被加工物
110を回転軸Aに沿って回転させると共に、カップ状
の砥石120を回転軸Aと角度θをなす回転軸Bに沿っ
て回転させながら、砥石120の被加工物110側の最
接近部分121を回転軸A上に配置させる。
加工部位に噴きかけながら被加工物110が回転軸Aに
沿って砥石120側に切り込むことによって凹球面の創
成が行われる。このとき、角度θ、創成曲率半径R及び
砥石の径Dとの間には、θ=sin-1(D/2R)の関
係があり、この関係式に従った設定が必要である。
示された超音波を用いた形状創成加工である。この加工
は、排出口251を有した加工容器250内に被加工物
220をセットし、所望の形状に形成した超音波加工工
具210を被加工物220に当接させると共に、超音波
加工工具210と被加工物220との界面に磁性砥粒を
分散させた流体230を介在させる。そして、超音波加
工工具210によって荷重をかけながら振動させて加工
を行う。この場合、超音波加工工具210に電極240
を取り付けることにより、磁性砥粒を効率的に加工部位
に集中させている。
示された研磨加工装置である。この装置では、中央ヨー
ク350にX方向アクチュエータ361,Y方向アクチ
ュエータ362及びZ方向アクチュエータ363が連結
されており、アクチュエータ361,362,363に
電圧を印加することにより、中央ヨーク350が上下、
前後及び左右方向に微小振動する。又、中央ヨーク35
0の周囲には、対向ヨーク370が対向するように配置
されており、これらのヨーク350,370の間に磁気
が発生するようになっている。さらに、ノズル380か
らは研磨剤となる磁性流体340が供給される。
び対向ヨーク370によって与えられた磁気により、中
央ヨーク350の先端部分に保持され、この磁性流体3
40の粘性によって、球状工具330が中央ヨーク35
0の先端部に保持される。
置されることにより、球状工具330に下から臨んでお
り、アクチュエータ363が発生する上下方向の微小振
動によって、被加工物310は磁性流体340を介して
圧力を受ける。
330と被加工物310との間に研磨剤となる磁性流体
340を保持した状態で、アクチュエータ361,36
2,363により研磨面と平行な方向と垂直な方向に微
小運動させることにより、研磨加工を行うものである。
ネレータを用いた加工では、創成する凹球面の曲率半径
が小さくなるほど加工に使用する砥石120の径Dを小
さくする必要がある。例えば、曲率半径0.5mmの微
小凹球面を創成する場合、砥石120の径Dはおよそ
0.7mm以下でなくてはならない。
0の強度が低下するため、加工負荷により撓みが生じた
り、場合によっては破損する問題がある。
と、メタルボンドやレジンボンドによって成形されるダ
イヤモンド砥石の場合、所望の形状に製造及び成形する
ことが困難となる。さらに、砥石120の小径化に伴
い、加工時に被加工物110の回転軸A上に砥石120
の最近接部121を合致させることが困難となる。従っ
て、これらにより所望の形状に加工するための条件設定
に多大な時間を費やす問題を有している。
加工では、超音波加工工具210を被加工物220の所
望の形状に対応した転写形状に成形するところから、凹
球面を創成する場合には、凹球面に対応した凸球面を有
する超音波加工工具を用いる必要がある。このような超
音波加工工具210を用いた加工では、被加工物220
に最初に当接する先端部の摩耗が非常に激しくなり、こ
れに伴って創成する形状に大きな乱れが発生する。この
創成形状の乱れは超音波加工工具を交換することによっ
て解消するが、超音波加工工具を製作する手間や費用を
費やす問題がある。
0が微振動研磨を行うために、転動自在となっている必
要がある。ところが球状工具330が粘性の高い磁性流
体340に囲まれているため、加工中に転動することが
難しい。又、球状工具330として鋼球等の磁性体を用
いると、ヨーク350等の磁気機構の影響を受けて球状
工具330自体が磁化され、磁化された工具330が粘
性の高い磁性流体と組み合わせられるため、加工中の転
動が困難となる。従って、図9と同様に球状工具330
の部分的な摩耗が大きくなり、創成される形状の精度が
低下する問題が発生する。
63により与えられる微小運動を球状工具330から磁
性流体340に与え、磁性流体340に与えられた微小
運動の力により被加工物310を加工するところから、
加工の際の荷重は被加工物310の方向に与えられるア
クチュエータの微小振動の力だけである。ところが、磁
性流体340中に存在する粉体状の研磨砥粒にアクチュ
エータから発せられる微小運動の力を与える程度では、
加工の効率が悪いものとなる。
大きくなるのに対し、砥粒が均一が分散された磁性流体
340とするには、100nm以下程度の粒径であるこ
とが好ましい。このような粒径では磁性流体340の特
徴を十分に発揮することができず、加工能率が悪く、深
さ0.1mm以上の凹球面を創成するには多大な時間を
要する問題を有している。
させるためにヨーク350等の磁気機構を設けたり、3
方向に微小振動させるためのアクチュエータ361,3
62,363を設ける必要があり、装置が複雑で、その
制御が面倒であると共に、高価となる問題も有してい
る。
慮してなされたものであり、球状からなる工具の形状を
転写させて凹球面を創成するのに際し、微小曲率の形状
でも段取りの手間をかけずに加工でき、しかも球状の工
具が容易に転動しながら加工を行うことができ、これに
より、工具の偏摩耗を抑えて高精度な凹球面を創成する
球面創成加工装置及び球面創成加工方法を提供すること
を目的とする。
め、請求項1の発明の球面創成加工装置は、被加工物に
凹球面を加工する球状の工具と、この球状工具を転動自
在に保持する凹み状の保持部を一端に有すると共に、こ
の保持部内に保持された球状の工具を超音波発振器から
の超音波によって超音波振動させるホーンと、このホー
ンに保持された球状の工具と対向するように前記被加工
物を固定する載置台と、前記球状の工具と被加工物とを
所定の荷重を有して当接させる加圧手段と、前記球状の
工具の加工によって生じる載置台又は球状の工具の変位
量を測定する測定手段と、砥粒が分散した加工液を、球
状の工具の加工時に前記被加工物と球状の工具との界面
に対して供給する加工液供給手段と、を備えていること
を特徴とする。
れている球状の工具及び載置台に固定されている被加工
物に対し、加圧手段が荷重を作用させながら当接状態と
し、この状態に対し加工液供給手段が砥粒分散状態の加
工液を供給する。そして、ホーンを介して球状の工具が
超音波振動することにより、被加工物に凹球面を加工す
る。測定手段は加工に伴う変位量を測定し、この変位量
が目的の凹球面の値に達した時点で加工が終了する。こ
のような発明では、球状の工具が転動しながら加工を行
うため、工具の偏摩耗が少なくなる。従って、形状精度
の良い加工ができると共に、安定した曲率の凹球面を創
成することができる。
あって、前記ホーンの外形が前記球状の工具に向かって
細くなるテーパ状となっていると共に、前記保持部が凹
球面又は窪んだテーパ状となっていることを特徴とす
る。
め、超音波振動を増幅して球状の工具に伝達させること
ができ、球状の工具は効率の良い超音波振動を行うこと
ができる。又、凹球面又は窪んだテーパ状となった保持
部によって球状の工具を保持するため、球状の工具の曲
率中心とホーンの軸心とが一致し、精度の良い加工が可
能となる。
音波発振器に接続されたホーンの保持部に球状の工具を
転動自在に保持した状態で、載置台に固定されている被
加工物と球状の工具とを所定の荷重で当接させ、砥粒を
分散した加工液を前記球状の工具と被加工物との当接部
位に供給しながら前記ホーンを介して球状の工具を超音
波振動させて被加工物に凹球面を創成すると共に、この
凹球面の創成に伴って生じる前記載置台又は球状の工具
の変位量により凹球面の深さを測定することを特徴とす
る。
加工物とが所定の荷重で当接した状態に対し、加工液を
供給しながら球状の工具を超音波振動させて加工を行う
ため、工具の偏摩耗が少なく、精度の良い加工を行うこ
とができる。
あって、前記球状の工具の曲率半径と前記砥粒の直径と
の和が目的の凹球面の曲率半径と等しくなるように創成
することを特徴とする。
砥粒の直径の和により、目的の凹球面とするため、球状
の工具又は/及び砥粒を組み合わせることにより、任意
の曲率半径を創成することができ、創成の自由度が増大
する。又、目的の曲率に調整することが容易となる。
あって、前記球状の工具の硬さよりも大きな硬さの砥粒
を用いることを特徴とする。
さが小さいため、工具が砥粒を保持することができ、工
具が確実に被加工物を加工することができる。
あって、前記砥粒は、最大粒径から10%の粒径と最小
粒径から10%の粒径との差が5μm以内の分布領域の
粒径であることを特徴とする。
用いることにより、曲率のばらつきの少ない凹球面を創
成することができる。
実施の形態1の加工装置であり、加工を行う側の工具軸
部40が上方に、加工が施される側のワーク軸部41が
下方に配置されている。
取り付けたガイド21に沿って上下方向に移動可能とな
っていると共に、この移動が定位置で固定されるように
なっている。加工軸部40はコントローラ20によって
出力が制御された超音波発振器1と、超音波発振器1の
下端部に一体的に設けられた軸体2と、軸体2の下端部
に固定されたホーン3とを備えており、ホーン3の下端
には、鋼球からなる球状の工具4が取り付けられてい
る。
部分を示し、ホーン3の下端面には、球状の工具4と同
じ形状及び曲率となっている凹み状の保持部3aが形成
されており、この保持部3a内に工具4が挿入されるこ
とにより、工具4は転動自在な状態で保持部3aに保持
される。このホーン3は被加工物であるレンズ5に向か
って先細りするテーパ状の外形に成形されている。従っ
て、超音波発振器1からの超音波を増幅して球状の工具
4に伝達することができる。又、保持部3aが球状の工
具4の同じ形状及び曲率のため、球状の工具4の曲率中
心とホーン3の軸心とが一致し、精度の良い加工が可能
となる。
が接着によって固定される載置台6と、載置台6を支持
するシリンダー7とを有している。シリンダー7は球状
の工具4とレンズ5とが当接した状態の載置台6を上方
に押圧して、工具軸部40方向へ荷重をかける加圧手段
として作用するものである。
当接しており、被加工物5への球面の創成に伴う載置台
6の上下方向の変位量を測定するようになっている。こ
のマイクロメータ8はレンズ5への凹球面5bの創成に
伴って載置台6が変位する変位量を測定する測定手段と
なっている。この場合、載置台6の変位量を測定するの
に替えて、載置台6側を定位置に固定し、球状の工具4
の上下方向の変位量を測定しても良い。
部に、砥粒11としてのダイヤモンドパウダーを水に分
散させた加工液9を滴下して供給するディスペンサー1
0が設けられている。このディスペンサー10は加工液
を供給する加工液供給手段として作用する。
mm、凹部深さ0.300mmの凹球面5bを被加工物
5の加工面5aに創成する加工を手順に沿って説明す
る。
0.399mmの球状の工具4を保持した状態でガイド
21によって下降させ、球状の工具4と載置台6に固定
されたレンズ5とを当接させ、この当接状態で工具軸部
40を固定する。
設けられた保持部3aは、球状の工具4と同じ曲率を有
する形状で、球状の工具4を保持部3a内に納めたとき
に球状の工具4の半球以上が突出するように0.15m
mの深さに創成されている。又、載置台6は上方に向け
た0.3kgfの荷重をシリンダー7によって付勢され
ており、球状の工具4とレンズ5とを当接させると、球
状の工具4は0.3kgfの荷重をレンズ5に作用させ
ることができる。かかる当接部位に対し、水10cm3
に粒径1μmのダイヤモンドパウンダーからなる砥粒
0.1gを分散させた加工液9をディスペンサー10に
よって滴下する。このような加工液9は水を媒体とする
と共に分散の濃度が低いため、粘度の低いものとなって
いる。
ーラー20によって15KHzで制御される超音波出力
を与えて加工が行われる。この超音波振動により、球状
の工具4は微視的にホーン3やレンズ5と離脱する瞬間
を有する。又、球状の工具4はホーン3に転動自在に保
持されていると共に、水を媒体とした粘度の低い加工液
9が用いらているため、加工中はホーン3先端の保持部
3a内で良好に転動することができる。
成されるに従い、シリンダー7により所定の荷重を負荷
されている載置台6は上方へ変位する。この変位量はマ
イクロメーター8により読み取ることができる。かかる
変位量はレンズ5に創成される凹球面5bの深さと砥粒
11の径の和に準じるので、目的の深さである0.30
0mmから砥粒径の0.001mmを引いた値0.29
9mmがマイクロメーター8で読み取れた時点で、超音
波発振を停止して加工を終了する。
0mm、深さ0.300mmの凹球面5bを5個のレン
ズに順に創成した場合の各レンズの曲率半径及び形状精
度(PV値)である。同表では、比較のために、球状の
工具4が転動自在な場合と、固定した場合との結果を示
してある。転動自在の場合は、球状の工具4の摩耗に従
って創成される曲率半径の若干の減少があるが、形状精
度(PV値)の低下はほとんどない。又、加工後の球状
の工具4の径を測定すると、短径と長径の差は2μm程
度しか生じていない。
は、レンズとの当接点が常に同一であるため、当接点近
傍の曲率が摩耗により大きくなる。このため、創成する
曲率半径が増加すると共に、形状精度も大きく低下す
る。又、加工後の工具4の径を測定すると、短径と長径
の差が35μmと大きくなる。
在に保持したときの凹部深さの測定値を示す。測定値の
幅が2μmであり、凹部深さを高精度に制御可能なこと
が確認できる。
1μmのダイヤモンドパウダーを用いるが、水への分散
の濃度を小さくしてある。このように砥粒11の分散濃
度を薄くした加工液を用いることにより、図3に示すよ
うに球状の工具4とレンズ5との界面に、多層の砥粒層
が形成されないようにすることができる。
(バラツキ)が大きくない砥粒を用いることが望まし
く、このため、粒度分布においては、度数のバラツキが
小さい方が望ましい。一方、レンズなどの光学素子の加
工では球面創成後に精研削と研磨とを行うが、これらの
加工時にも所望の曲率半径をレンズに維持するために、
前段の加工である球面創成におけるレンズの曲率半径の
バラツキが5μm以下であることが必要であり、砥粒の
径のバラツキ(粒度分布の幅)もこれに準じる必要があ
る。
幅について説明する。表3は砥粒の粒度分布において、
最大径側と最小径側の粒度を有した砥粒の存在の大小が
レンズの加工曲率半径のバラツキ((最大値)−(最小
値))に与える影響を示し、図4は表3を表示したガウ
ス分布図である。ガウス分布では、加工に用いる加工液
中の砥粒の粒度分布粒径(粒度)を横軸に、比率(度
数)を縦軸にプロットしている。
ると、表3で示すように、径が5μm以外の砥粒の量の
大小に対応して各レンズの曲率半径のバラツキ幅が大き
くなっている。なお、バラツキ幅は20個のレンズを加
工したときの各レンズの曲率半径を測定し、その中の最
大値と最小値との差である。表3から5μmの粒度分布
領域以外の比率が10%を超えないレベルであれば、上
述した5m以下を満足でき、このレベルであれば目的の
曲率を得ることができることがわかる。
ヤモンドパウダーを、球状の工具4として鋼球を用いて
おり、砥粒11が球状の工具4よりも硬くなっている。
これに対し、砥粒11の硬さが球状の工具4の硬さより
も小さい場合、砥粒11が加工界面に溜まることができ
ず、排出される。これにより、球状の工具4と被加工物
であるレンズ5とが直接に当接して、加工進行が極めて
遅くなるだけでなく、形状精度も低下する。
(99%以上)である緑色炭化珪素質砥粒であるGCと
球状の工具4として超硬合金とを用いた場合、砥粒11
としてダイヤモンドパウダー、球状の工具4として鋼球
を用いた場合における同一形状を同一条件での創成を行
った形状精度(PV値)と加工時間を示す。同表から砥
粒11の硬さと球状の工具4の硬さの組み合わせによっ
て加工結果が大きく異なることがわかる。
てダイヤモンド、c−BN、SiC、炭化セリウム、ア
ルミナ、ジルコニア、GC等を、球状の工具4の材質と
して、鋼球、アルミナ、ジルコニア等のセラミックス、
非鉄金属類を使用することができるが、上述したよう
に、砥粒11の硬さの方が工具4の硬さを下回らないよ
うに適宜、選択することにより良好な加工を行うことが
できる。さらに、粒径が小さく、砥粒の硬さが小さいほ
うが加工される凹球面の粗さが小さくなる一方、この逆
の場合に高い加工能力が得られる。従って、これらの特
性を加工の目的に応じて適宜、組み合わせて選択すれば
良い。
装置と、高精度にも関わらず比較的安価で容易に入手で
きる工具とにより、微小な凹球面及びその深さを高精度
に創成することができる。また、球状の工具4と、この
工具4の保持部材であるホーン3とを交換することによ
り、別の曲率創成を行う段取り替えを容易に行うことが
できる。
1に示す装置を用い、加工液9中に分散させる砥粒11
の径と、球状の工具4の径を組み合わせによって創成す
る凹球面の曲率を制御するものである。本実施の形態で
は、粒径が1μm、3μm、5μmのc−BN砥粒11
(共に粒径のバラツキは±0.3μm以内)と、直径
0.399mmの鋼球からなる球状の工具4を用いてい
る。そして、加工による球状の工具4の摩耗に関わら
ず、多数の光学ガラスに曲率半径0.200mm、0.
2mmの一定深さの凹球面を創成している。
に、砥粒11の硬さよりも球状の工具4の硬さが小さい
ため、加工に伴って球状の工具4に僅かではあるが摩耗
が発生する。これに対し、球状の工具4の曲率半径に砥
粒11の直径を加えた値が創成曲率となるため、球状の
工具4に発生する摩耗分だけ砥粒11の径を大きくする
ことにより創成曲率を一定とすることができる。
Hzの条件で光学ガラスの加工を行い、創成曲率半径が
2μm変化する毎に砥粒11の径を2μm変更して加工
した場合に変化する曲率半径の特性図を示す。
と、球状の工具4の摩耗に伴って創成曲率が小さくな
る。光学ガラスに創成される曲率半径が目的の0.20
0mmよりも2μm小さくなったとき(図5では11個
目)にc−BN砥粒の径を当初の1μmから3μmに変
更する。これにより、球状の工具4の摩耗量分をc−B
N砥粒11の径によって補うため、光学ガラスに創成さ
れる曲率半径は所望の0.200mmとなる。その後の
加工では、再び2μm小さくなったとき(図5では17
個目)、砥粒11の径を5μmとする。これにより創成
する曲率半径を一定に保つことができる。
11の直径との和を創成する凹球面の曲率半径に一致さ
せるように直径の異なる砥粒11に交換することによ
り、この実施の形態では、26個目までの光学ガラスに
対して球状の工具4を交換することなく、所定の曲率半
径を加工することができた。
の曲率半径と、砥粒11の径との組み合わせにより、所
望の曲率半径を創成することができる。従って、ある曲
率半径を有した球状の工具4を連続的に用いながら、砥
粒11の径だけを変えることにより、選択的に所望の創
成曲率を得ることができる。
状の工具4の曲率半径を0.200mmに固定し、砥粒
11の径だけを変更して加工を行うことにより、工具4
の曲率半径と砥粒11の径との和に等しい曲率半径を創
成した結果を示す。創成する曲率半径は目標値±1μm
の精度となっていることが確認できる。
高精度に曲率精度維持を行う必要がある場合には、径の
異なる砥粒を交換することなく、加工毎に球状の工具4
を交換することにより可能である。
ーン3の別の形態を示し、図6は球状の工具4を受けて
保持する保持部3aが円錐形状あるいは三角錐以上の多
角錐形状などのテーパ形状となっている。図7は保持部
3aが球状の工具4と同じ径となっているが、保持部3
aに続く保持軸部3bが保持部3aと同一の径となって
いる。これにより、ホーン3が摩耗しても球状の工具4
を受ける部分の径が変化することがなく、長期の使用が
可能となる。
状の工具4を被加工物と当接させる際にホーン先端の保
持部3aに挿入するだけでなく、ホーン3の中心部に微
孔を設けて吸引しても良く、球状の工具4が磁性体の場
合には磁力により保持しても良く、球状の工具4の径が
微細な場合には、加工液の張力により保持しても良い。
なお、これらの場合においても、加工時には吸引や磁力
等の加工に不要な力は排除し、球状の工具4を転動自在
にする必要がある。
工物の材質等により異なるが、10〜50KHz程度に
することにより、球状の工具4と被加工物の界面の振動
に対する追従性が良くなると共に、加工を行う砥粒11
の運動を活発にすることができる。これにより、高精度
且つ高能率な加工を行うことができる。
するものである。 (1) 球状の工具と、この球状の工具を転動自在に保
持する保持部を一端に設けたホーンと、このホーンを一
端に固定する軸体と、この軸体が固定状態で接続される
超音波発振器とからなる工具軸部と、被加工物を載置状
態で固定する載置台と、この載置台の工具軸方向の変位
量を測定する測定機構と、前記載置台を工具軸方向へ印
荷する加圧機構とからなるワーク軸部と、加工時に前記
球状の工具と被加工物の界面に砥粒を液体に分散させた
加工液を供給する加工液供給部とからなることを特徴と
する球面創成加工装置。
り、被加工物と工具軸部の球状の工具とに荷重をかけ、
加工液を供給しながら超音波振動させることにより、球
状の工具が被加工物に対して球面を創成することができ
る。
転動しながら加工を行うため、工具の偏摩耗が少なくな
り、形状精度の良い加工ができると共に、安定した曲率
の凹球面を創成することができる。
幅して球状の工具に伝達させることができると共に、球
状の工具の曲率中心とホーンの軸心とが一致するため、
精度の良い加工が可能となる。
の工具と被加工物とが所定の荷重で当接した状態に対
し、加工液を供給しながら球状の工具を超音波振動させ
て加工を行うため、工具の偏摩耗が少なく、精度の良い
加工を行うことができる。
/及び砥粒を組み合わせることにより、任意の曲率半径
を創成することができ、創成の自由度が増大すると共
に、目的の曲率に調整することが容易となる。
持することができるため、確実に被加工物を加工するこ
とができる。
な粒径の砥粒を用いるため、曲率のばらつきの少ない凹
球面を創成することができる。
る。
る。
ある。
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 被加工物に凹球面を加工する球状の工具
と、 この球状工具を転動自在に保持する凹み状の保持部を一
端に有すると共に、この保持部内に保持された球状の工
具を超音波発振器からの超音波によって超音波振動させ
るホーンと、 このホーンに保持された球状の工具と対向するように前
記被加工物を固定する載置台と、 前記球状の工具と被加工物とを所定の荷重を有して当接
させる加圧手段と、 前記球状の工具の加工によって生じる載置台又は球状の
工具の変位量を測定する測定手段と、 砥粒が分散した加工液を、球状による工具の加工時に前
記被加工物と球状の工具との界面に対して供給する加工
液供給手段と、を備えていることを特徴とする球面創成
加工装置。 - 【請求項2】 前記ホーンの外形が前記球状の工具に向
かって細くなるテーパ状となっていると共に、前記保持
部が凹球面又は窪んだテーパ状となっていることを特徴
とする請求項1記載の球面創成加工装置。 - 【請求項3】 超音波発振器に接続されたホーンの保持
部に球状の工具を転動自在に保持した状態で、載置台に
固定されている被加工物と球状の工具とを所定の荷重で
当接させ、 砥粒を分散した加工液を前記球状の工具と被加工物との
当接部位に供給しながら前記ホーンを介して球状の工具
を超音波振動させて被加工物に凹球面を創成すると共
に、 この凹球面の創成に伴って生じる前記載置台又は球状の
工具の変位量により凹球面の深さを測定することを特徴
とする球面創成加工方法。 - 【請求項4】 前記球状の工具の曲率半径と前記砥粒の
直径との和が目的の凹球面の曲率半径と等しくなるよう
に創成することを特徴とする請求項3記載の球面創成加
工方法。 - 【請求項5】 前記球状の工具の硬さよりも大きな硬さ
の砥粒を用いることを特徴とする請求項3記載の球面創
成加工方法。 - 【請求項6】 前記砥粒は、最大粒径から10%の粒径
と最小粒径から10%の粒径との差が5μm以内の分布
領域の粒径であることを特徴とする請求項3記載の球面
創成加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14546398A JP3813737B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14546398A JP3813737B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11333702A true JPH11333702A (ja) | 1999-12-07 |
JP3813737B2 JP3813737B2 (ja) | 2006-08-23 |
Family
ID=15385829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14546398A Expired - Lifetime JP3813737B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3813737B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005177874A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Olympus Corp | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 |
JP2008087122A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Olympus Corp | ラップ皿 |
US8197508B2 (en) | 1997-08-28 | 2012-06-12 | Tornier, Inc. | Fused loop of filamentous material and apparatus for making same |
CN102990304A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-03-27 | 武汉船用机械有限责任公司 | 一种球面加工方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113334236B (zh) * | 2021-08-09 | 2021-10-01 | 海门市力岚轴承科技有限公司 | 一种用于轴承滚珠加工滚圆装置 |
-
1998
- 1998-05-27 JP JP14546398A patent/JP3813737B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8197508B2 (en) | 1997-08-28 | 2012-06-12 | Tornier, Inc. | Fused loop of filamentous material and apparatus for making same |
JP2005177874A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Olympus Corp | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 |
JP4524097B2 (ja) * | 2003-12-16 | 2010-08-11 | オリンパス株式会社 | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 |
JP2008087122A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Olympus Corp | ラップ皿 |
JP4576366B2 (ja) * | 2006-10-03 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | ラップ皿 |
CN102990304A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-03-27 | 武汉船用机械有限责任公司 | 一种球面加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3813737B2 (ja) | 2006-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107398783B (zh) | 一种金属材料表面纳米级形貌加工方法及装置 | |
EP1072357B1 (en) | Elid centerless grinding apparatus | |
JP5061296B2 (ja) | 平面両面研磨方法及び平面両面研磨装置 | |
US5573447A (en) | Method and apparatus for grinding brittle materials | |
JP4512737B2 (ja) | 超音波振動加工装置 | |
JP2682260B2 (ja) | 微小研磨方法及び微小研磨工具 | |
JP2006224227A (ja) | 磁気研磨方法 | |
JP4468606B2 (ja) | 凹球面の加工装置 | |
JP3813737B2 (ja) | 球面創成加工装置及び球面創成加工方法 | |
JPH0761604B2 (ja) | 非接触型球面加工方法 | |
JPH08192348A (ja) | 研削研磨方法および装置 | |
JP4702765B2 (ja) | 振動研磨方法およびその装置 | |
JP4341801B2 (ja) | 微細形状加工用elid研削装置 | |
JP3077994B2 (ja) | 電解ドレッシング研削装置 | |
JP4009376B2 (ja) | 超音波球面創成装置及び超音波球面創成方法 | |
CN108453634B (zh) | 一种流体切割抛光一体装置 | |
Ohmori et al. | Microspherical lens fabrication by cup grinding wheels applying ELID grinding | |
JPH09248750A (ja) | 光ファイバーコネクタ端面加工方法及び装置 | |
JP2005169556A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
JP2005246497A (ja) | ラッピング装置及びラッピング方法 | |
JP2004255549A (ja) | 球面の研削・研磨工具および球面の研削・研磨加工方法 | |
JPH08229814A (ja) | 砥石の加工方法及び装置 | |
JPH0441176A (ja) | 微小研磨方法 | |
JPH0441173A (ja) | 微小研磨方法および微小研磨工具 | |
JP2000237943A (ja) | 研磨工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050816 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050930 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060601 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090609 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |