JPH0441173A - 微小研磨方法および微小研磨工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、微小研磨方法および微小研磨工具に関し、
詳しくは、レンズや光学素子等の製造分野において、超
高精度な加工を行うために、微小な領域を精密に研磨す
る方法、および、上記方法の実施に用いる研磨工具に関
するものである。

〔従来の技術〕

各種の電子機器や光学機器に組み込まれて使用される非
球面レンズやＸ線光学素子等は、研磨加工によって製造
されているが、製品の形状精度が０．０１μｍ以下とい
う極めて高精度な加工を要求されており、このような超
高精度な研磨加工を行える加至方法が求められている。

そのためには、研磨面に対して、微小な領域に限定して
精密に研磨できる研磨方法が必要となる。

従来、高精度な研磨方法としては、ポリッシング加工や
ラッピング加工等が採用されていたが、前記した０、０
１μｍ以下の超高精度加工は全く不可能であったため、
近年、より高精度な加工を行える方法として、研磨材と
して磁性研磨流体を用いる磁気研磨法が注目されている
。ここに、磁性ｆ層流体とは、磁性流体単体またはこれ
に微粒状の研磨材を懸濁分散させてなるものを言う。

磁気研磨法では、研磨工具先端の研磨部と被研磨材の間
に、磁性研磨流体を供給するとともに磁界を印加するよ
うにする。そうすると、磁性研磨流体は、磁気的作用で
、被研磨材の研磨面を加圧した状態で研磨部と被研磨材
の間に保持される。

この状態で、研磨工具を高速回転させると、磁性研磨流
体は研磨工具の回転に引きずられて高速回転運動させら
れて、被研磨材に対し研磨加工を行う。この際に、印加
する磁界の方向や強さを変動させることによって、磁性
研磨流体による研磨面の加圧力を変動させたり、磁性研
磨流体の運動を制御したりして、研磨性能を向上させる
ことも行われている。この磁気研磨法の具体例について
は、例えば、特開昭６０−１１８４６６号公報、特開昭
６１−２４４４５７号公報、特公昭１−１６６２３号公
報等に開示されている。

この磁気研磨法によれば、磁気的な保持力によって研磨
面の微小な領域に研磨材を集中的に作用させることがで
きるので、従来の研磨法に比べて、高精度な研磨加工が
できるという利点がある。

しかし、この磁気研磨法によってでも、０．０１μｍ以
下の超高精度加工には未だ充分に対応することが出来な
かった。

すなわち、この方法では、磁性研磨流体を研磨工具の高
速回転によって高速回転させるようにするので、研磨面
の仕上がりは研磨工具の回転の状態に直接影響を受ける
ことになる。ところが、研磨工具の回転にはどうしても
回転数の変動や軸ぶれ等が起き易いため、この方法では
、研磨面の仕上がりに、研磨量の変動や局部的な研磨の
偏り、研磨領域の変動が生じてしまうと言う問題があっ
たのである０回転機構等の機械的な動作機構には、各部
材がスムーズに運動できるだけの空間的余裕が必要であ
り、そのために研磨部の運動に若干のガタッキが生じる
のもやむを得ないことであり、その結果、研磨面の仕上
がりにムラや変動が生じると言う問題もあった。要する
に、研磨部を高速回転する限り、これらの問題を完全に
防止することは不可能であった。

従来の高速回転磁気研磨法では、磁性研磨流体を研磨面
に押し付けるための加圧力は、研磨工具の回転自体によ
っては生じず、前述のように磁気の印加によって生じさ
せているので、印加する磁気を強くしないと充分な研磨
力が生じず、磁気の強さが変動すると研磨量が変わって
しまう。そのため、この高速回転磁気研磨法では、電磁
石等の磁気発生手段が大掛かりになるとともに、磁気力
の制御を厳密に行う必要があると言う問題もあった。さ
らに、この加圧力を得るための磁気回路は、被研嚇材自
体がその一部を構成する必要があるため、被研磨材が磁
気的な導体すなわち磁性体でなければならないという制
約があった。もっとも、被研磨材が非磁性体であっても
、薄いものであれば、この非磁性被研磨材を通して磁気
回路を構成することもできる。しかし、この場合でも、
被研磨材の厚みの僅かな変動や磁気的性質の変動によっ
て磁性研磨流体の＠磨面加圧力が変わるので、研磨量や
研磨精度等の管理が難しいという問題があった。なお、
前記したレンズや光学素子等は、非磁性体であるととも
にかなりの厚みがあるので、上記高速回転磁気ｇｆ磨法
を適用することが出来ない。

そこで、上記従来の高速回転磁気研磨法の問題点を解消
し、より高精度な加工が可能であるとともに、被研磨材
の磁気的性質に影響を受けず、非磁性体からなる被研磨
材にも良好に通用することのできる微小研磨方法を提供
するべく、発明者らは、先に、研磨部を電歪素子すなわ
ちピエゾ素子からなるアクチュエータで研磨面に平行な
ＸＹ方向と研鯵面に垂直なＺ方向に微小運動させ、この
研磨部の微小運動を磁性研磨流体に伝達して被研磨材の
研磨面を研磨させるようにする微小研磨方法および微小
研磨工具を開発した。

この電歪素子からなるアクチュエータを用いる新規な微
小研磨方法および微小研磨工具は、研磨部を高速回転す
る必要がないため、また、被研磨材自体を磁性研磨流体
保持と磁性研磨流体加圧のための磁気回路の一部にする
必要がないため、前述した従来の高速回転微小研磨法の
諸問題を完全に解消することが出来る。

すなわち、この新規な駆動方式による微小研磨法では、
電歪素子の働きで磁性研磨流体を被研磨材に押し付ける
とともに研磨部を研磨面に沿って微小運動させるように
し、これによって被研磨材を研磨加工するようにしてい
る。つまり、研磨部に対し電歪素子を利用するＸＹ方向
アクチュエータまたはＺ方向アクチュエータによる微小
運動を与えて、磁性研磨流体を被研磨材の研磨面に対し
て水平方向または垂直方向に微小運動させるようにし、
磁性研磨流体に対し、研磨面に対する水平方向の微小運
動によって研磨面に沿う微小の研磨運動を行わせ、研磨
面に対する垂直方向の微小運動によって研磨面に対する
加圧力を得させるようにしたものである。

このように、この新規な駆動方式による微小研磨法では
、研磨部の回転を必要としない結果、回転ムラや軸ぶれ
等による研磨のバラツキや表面粗さムラ等が生じない。

電歪素子によるアクチュエータは、機械的な摺動部分や
作動機構が全くなく、印加電圧にしたがって極めて正確
に駆動するので、磁性研磨流体の運動も安定している。

このような点でも、研磨のバラツキやムラを生じさせな
い。アクチュエータによる磁性研磨流体のＸＹ方向運動
は、従来のような回転運動に比べて遥かに微小であるた
め、被研磨材をきめ細かく研磨加工して、表面粗さの極
めて小さな超高精度な鏡面加工を可能とする。

また、この新規な駆動方式による微小研磨法では、磁性
研磨流体を被研磨材に押し付ける加圧力は電歪素子によ
るＺ方向アクチュエータで加えるので、研磨工具の研磨
部から被研磨材につながる磁気回路を設けておく必要が
なくなり、その結果、被研磨材が非磁性体であっても何
ら差し支えなく研磨加工ができるし、被研磨材の材質や
厚みによる磁気的性質の違いに関係なく、アクチュエー
タへの印加電圧だけで被研磨材への加圧力が設定制御で
きるので、被研磨材の材質や形状による研磨能率や研磨
精度への影響を住じさせないのである。被研磨材は、従
来の高速回転磁気研磨法でも研磨できる鋼等の磁性体材
料のほか、従来の高速回転磁気研磨法では研磨出来なか
ったガラスやセラミック等の非磁性体材料も使用できる
。非研磨材の形状も、薄いものから分厚いものまで幅広
く適用でき、研磨面は平面や球面あるいは自由曲面等も
加工できる。

この新規な駆動方法による微小磁気研磨方法によれば、
上述のように、研磨部の微小運動は、電歪素子に電圧を
印加することによって得られる極めて微小な運動である
ので、磁性研磨流体は、研磨部周辺の極めて微小な領域
のみで被研磨材を高精度に研磨することができ、被研磨
材の表面をきめ細かく均一に研磨することができる。従
来の高速回転研磨法に比べて、はるかに均一な研磨加工
が施されるので、超高精度な鏡面加工も可能になり、形
状精度０．０１μｍ以下の超高精度研磨加工を容易かつ
確実に実現できるのである。

なお、この新規な駆動方法による微小研磨方法および微
小研磨工具は、研磨材として磁性研磨流体を用いない方
法にも利用することが出来る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、その後の研究により、この新規な微小研磨方法
および微小研磨工具には、つぎのような新たな問題のあ
ることが分かった。

すなわち、この新規な駆動方式による微小研磨では、研
磨材の加圧はＺ方向のアクチュエータで加えるようにし
ているため、１個所の加工痕で見るとき、第３図の破線
にみるように研磨深さが進むに従い、すなわち、研磨時
間（１）が経過するに従い、加圧力（ｐ）が次第に低下
し、加工時間に比しそ加工が進まないと言う現象が起き
ることである。そこで、加工時間を短縮するために、後
半の加工を適当に切り上げて次の加工に移るようにする
ことが考えられるが、そうすると、加工の仕上げ精度が
悪くなる。

さらに、研磨加工では、一般に、加工過程の初期には荒
研磨、中期には中研磨、終期には仕上研磨をそれぞれ行
うが、上記新規な駆動方式による微小研磨法でも、この
ような多段階研磨過程を経ることが望まれる。

そこで、この発明は、加工荷重の制御が可能で多段階研
磨を可能とする新規な駆動方式による微小研磨法および
微小研磨工具を提供することを課題とする。

〔課題を解決するための手段〕 上記課題を解決するための、この発明にかかる微小研磨
方法および微小研磨工具の主要構成は、以下のとおりで
ある。

まず、この発明にかかる微小研磨方法は、研磨工具先端
の研磨部と被研磨材の間に研磨材を保持した状態で、前
記研磨部を電歪素子からなるアクチュエータで研磨面と
平行なＸＹ方向および／または研磨面と垂直なＺ方向に
微小運動させ、かつ、Ｚ方向の微小運動については被研
磨材に加わる加工荷重値を検出し検出された加工荷重値
をアクチュエータの制御にフィードバックすることによ
り前記加工荷重値を所定の値に保つようにして、被研磨
材を研磨するようにする。

つぎに、この発明にかかる微小研磨工具は、被研磨材の
研磨面に対面する研磨部と、電歪素子からなり前記研磨
部を研磨面と平行なＸＹ方向に微小運動させるＸＹ方向
アクチュエータと、電歪素子からなりその伸縮作用によ
り前記研磨部を研磨面と垂直なＺ方向に微小運動させる
Ｚ方向アクチュエータとを備えるとともに、Ｚ方向の微
小運動について被研磨材に加わる加工荷重値を検出する
荷重検出手段を備えていて、この手段で検出された加工
荷重値をＺ方向アクチュエータの制御にフィードバック
することにより前記加工荷重値を所定の値に保つよう制
御するようになっている。

この発明において、研磨工具は、従来の高速回転磁気研
磨法の場合と同様、適当な支持部材に支持された状態で
、先端の研磨部を被研磨材に沿って移動させられるが、
この支持手段や移動手段は、各種の工作機械等で用いら
れている手段が採用される。

研磨工具は、後述の微小駆動手段により、被研磨材の形
状や目的に応して、その研磨部を、研磨面に水平な方向
すなわちＸＹ方向へ微小運動させ、また、研磨面に垂直
な方向すなわちＺ方向へ微小運動させる。さらに、軸を
傾ける等の動作を行わせるようにすれば、複雑な曲面形
状等の研磨加工を行うことが出来る。

被研磨材は研磨部の表面性状に対応する性状に加工され
る。この研磨部は、Ｓｎメツキ層やポリウレタン層等で
構成することが出来る。研磨部の形状は平面でも良いが
、球面にすると、研磨部の隅角が研磨面に当たることが
容易に避けられる。

球面にすると、平面に比べ、同じ幅でも実質的幅が大き
くなり、加工痕１個当たりの幅を大きく出来る。ｖｒｉ
部をポリウレタンで構成する場合には、研磨部のｘｙ方
向の微小運動の振幅がポリウレタンの気孔径よりも大き
くなるようにすると、研磨切れによる部分的研磨が生じ
ず、所望形状の加工痕を容易に得ることで出来る。

球面の研磨部は、研磨工具先端に転勤自在に保持された
球体で構成すると良い。この転勤により、研磨部の偏摩
耗が防止されるからである。球体は、軸受機構の球体の
ように、機械的に保持されても良く、磁力で保持されて
も良い。また、研磨材の粘性により保持されても良い。

この発明に用いる研磨材は、いわゆる磁性研磨流体に限
らず、非磁性研磨流体も用いることが出来る。

磁性研磨流体は、いわゆる磁性流体としての性質と、研
磨材としての機能を備えているものであり、通常の磁気
研磨法に用いられているものと同様のものを用いること
ができる。−船釣な磁性流体は、Ｆｅ！ｏｔ等からなり
粒径１０ｎｍ以下程度の微細な磁性粉粒を水や油等にコ
ロイド状に分散させたものであるが、この磁性流体を構
成する磁性粉粒が、被研磨材に対する研磨性を有してい
れば、このような磁性粉粒からなる磁性流体をそのまま
用いることもできる。磁性研磨剤粉粒の具体例としては
、α−１”ｅ、０４　（ベンガラ）等が挙げられる。ま
た、研磨性を有さない磁性粉粒からなる磁性流体に、磁
性を有さない通常の研磨材粉粒を懸濁分散させたもので
もよい。この場合の研磨材粉粒としては、Ａ１．Ｏ，や
５ｉＯ−等が用いられ、粒径１１００ｎ以下程度のもの
が好ましく使用される。

研磨材として磁性研磨流体を用いる場合において、研磨
工具先端の研磨部と被研磨材の間に磁性研磨流体を磁気
的に保持するには、例えば、研磨工具先端のｉｉ部に近
接させるように磁気ヨークを設けて磁気回路を構成すれ
ば、その磁気的作用によって研磨部の近傍に容易に磁性
研磨流体を保持しておくことができる。

研磨部を微小運動させるアクチュエータは、電圧を印加
することによって伸縮する、ピエゾ素子とも呼ばれる電
歪素子を用いる。研磨部をこのアクチュエータに連結し
て周期的に変動する電圧をアクチュエータに印加すれば
、研磨部を微小運動させることができる。印加電圧の周
波数によってアクチュエータの微小運動の周波数が変わ
り、印加電圧の大きさによってアクチュエータの微小運
動の振幅が変わる。研磨部のこの微小運動が研磨材に伝
達されて、研磨材が研磨部と同じような微小運動を行い
、研磨材のこの微小運動で被研磨材を研磨する。

Ｘ方向アクチュエータは研磨部を研磨面に水平なＸ方向
に微小運動させて、また、Ｘ方向アクチュエータは研磨
部を研磨面に水平で上記Ｘ方向に垂直なＸ方向に微小運
動させて、研磨材を被研磨材の研磨面と平行な方向に微
小運動させ被研磨材を研磨加工する。ＸＸ方向アクチュ
エータによる研磨部の動きは、Ｘ方向またはＸ方向への
単独の動きであってもよいし、Ｘ方向の動きとＸ方向の
動きを関連させて同時に動かせる動きであってもよい。

例えば、Ｘ方向とＸ方向の運動の位相を制御することに
よって、リサージュ運動をさせることができる。

Ｘ方向アクチュエータとＸ方向アクチュエータは、積層
型の電歪素子を用いて構成すると、大きな変位が得られ
、制御も容易であり、外圧の影響で変位量が変動しない
。しかし、棒状の屈曲型ピエゾ素子を用いると一つで兼
ねさせることが出来る。

Ｘ方向アクチュエータは、研磨面に対して垂直な方向に
研磨部を動かし、研磨材を被研磨材に垂直方向から衝突
するように運動させ、被研磨材に加圧力を与える。した
がって、Ｘ方向アクチュエータに加える電圧の大きさで
、被研磨材に加わる加圧力を制御することができる。ま
た、このＸ方向アクチュエータの微小運動によるボンピ
ング作用で、研磨材が研磨面に順次供給されることにな
る。

ＸＸ方向アクチュエータとＸ方向アクチュエータは、各
方向別々に電圧印加配線をしておくことにより、Ｘ方向
とＸ方向の場合は印加電圧の掛は方を適宜に制御するこ
とによっても、それぞれの先端をｘ、ｙ、ｚ方向に微小
運動させる。各アクチュエータに電圧を印加する駆動配
線は、駆動アンプやファンクションジェネレータ等に接
続される。これらの駆動回路もしくは駆動機構は、通常
の機械装置における電歪素子を用いたアクチュエータの
場合と同様の構造が採用できる。ＸＸ方向アクチュエー
タの場合、Ｘ方向とＸ方向の印加電圧の位相を適当に制
御することによって、ＸＹ方向アクチュエータの先端す
なわち研磨部の運動軌跡を単純な直線的動きからりサー
ジュ運動のような複雑な動きまで自白に変更することが
できるのである。

ピエゾ素子として屈曲型のものを用いれば、屈曲でＸＹ
力方向微小運動を行い、積層型のものを用いれば伸縮で
Ｘ方向またはＹ方向の微小運動を行う。Ｚ方向アクチュ
エータとしては、積層型ピエゾ素子を利用するのが良い
。屈曲型ピエゾ素子は、その棒体周面に対向状に２対の
電極を設けて制御電圧を各対ごとに印加して屈曲させる
。積層型ピエゾ素子は、その両端に電圧を印加して伸縮
させるのである。

ＸＹ方向アクチュエータおよびＺ方向アクチュエータは
、通常は直接に研磨部を駆動せず、先端を研磨部とする
研磨軸に水平方向や垂直方向の微小駆動を加えるように
する等して、研磨部を駆動する。

この場合に、Ｚ方向のアクチュエータによる加圧力を研
磨部に確実に伝えるとともに、かつ、研磨部のＸＹ力方
向動きを自在とさせるためには、Ｚ方向のアクチュエー
タと研磨部の間に研磨部のＸＹ力方向微小運動を自在と
する球対隅状の連結部を設けて、ＸＹ力方向アクチュエ
ータの作用点をこの連結部と前記研磨部の間に設けるよ
うにするのが良い。

研磨部の微小運動は、上記したＺ方向の微小運動とＸＹ
力方向微小運動を同時に行わせることが最も好ましいが
、Ｚ方向もしくはＸＹ力方向何れか一方のみでも研磨加
工は可能である。

研磨材が被研磨材に加ねえる加圧力は、上述のように、
Ｚ方向アクチュエータによる加圧力で決まり、磁気的な
保持力を併用する場合はこの保持力の影響も受ける。し
かし、この加圧力は加工の進行とともに減少する。そこ
で、被研磨材に加わる加圧荷重の値を検出して、これを
Ｚ方向アクチュエータの制御にフィードバックして加圧
力制御を行うようにすることが好ましい。加圧荷重値を
検出する荷重検出手段は、被研磨材に加わる垂直方向の
荷重を検知できさえするものであれば、通常の各種機械
装置に組み込まれているものと同様の圧力センサが使用
できる。例えば、被研磨材をロードセルの上に載置した
状態で研磨加工を行えば、被研磨材に加わる加圧荷重の
大きさをロードセルで検出して、電気信号として取り出
すことが出来る。

荷重検出手段で検出された加圧荷重値は、電機信号に変
換されて、アクチュエータの駆動を制御する。具体的に
は、検出信号が適当な電気回路で処理されて、アクチュ
エータに電圧を印加する駆動回路に入力され、ここで予
め設定された加圧荷重値と検出された加圧荷重値とを比
較して、Ｚ方向アクチュエータに印加する電圧を増やし
たり減らしたりする。すなわち、Ｚ方向アクチュエータ
による加圧力をフィードバック制御するようにするので
ある。このフィードバック制御は、たとえば、Ｚ方向ア
クチュエータによる加圧力（検出した加圧荷重値）ｐを
、第３図の実線に見るように常に所定の大きさに保った
り、第４図に見るように、加工過程の初期（時間１＋）
はｐ、と大き（（荒研磨）、中期（時間ｔｚ）はｐ２と
中程度に（中研磨）、そして終期（時間ｔ□）はｐ、と
小さく　（仕上研磨）なるようにして行う。なお、この
多段階研磨の場合でも、各過程での加圧力は一定である
ように制御するのが好ましい。

このように、Ｚ方向の加圧力を一定に保持する場合にお
いて、第５図および第６図にみるように、Ｚ方向アクチ
ュエータによる加圧力に振動が加わるように制御すれば
、この振動によるボンピング作用で、研磨材が研磨面に
順次供給され、がっ、順次排除されるような現象が起き
るようになる加圧力の設定値は、被＠磨材の材質や研磨
精度等の条件にしたがって、適当に決められる。

研磨材として磁気研磨流体を用いる場合は、研磨軸は、
その磁気保持のための磁気回路の一部としての中央ヨー
クとなるので、研磨軸は磁性体で形成される。これに対
向する対向ヨークは、中央ヨークの先端の研磨部との間
に磁気ギャップとなる隙間をあけるようにして配置され
る。例えば、断面円形の中央ヨークの周囲に間隔をあけ
て円環状の対向ヨークが囲むように配置しておく。この
ようにしておけば、中央ヨークの研磨部周辺に磁気研磨
流体を良好に保持しておける。なお、棒状あるいは板状
等の対向ヨークを、中央ヨークと並べて配置しておくこ
ともできる。対向ヨークも磁気回路の一部を構成するの
で、磁性体で形成されていることは宣うまでもない。対
向ヨークのうち、中央ヨークと対向する先端部が、先細
り形状になっていれば、対向ヨークの先端部分に磁界を
集中させることができて好ましい。

中央台−りと対向ヨークを磁性発生手段で連結すること
によって、磁気回路が構成される。磁気発生手段として
は、永久磁石あるいは電磁石の何れも採用できるが、こ
の発明では、磁界の向きや大きさを変える必要がないの
で、永久磁石の方が構造が簡単で好ましい。永久磁石と
しては、Ｓｍ−Ｃｏ磁石等からなるものが使用できる。

〔作　　用〕

研磨部のＸ方向の微小運動について、被研磨材に加わる
加工荷重値を検出し検出された加工荷重値をアクチュエ
ータの制御にフィードバックして前記加工荷重値を所定
の値に保つようにすると、加工仕上精度を低下させずに
加工痕１個当たりの研磨時間を短縮できる。

Ｘ方向の加工荷重値を、加工過程の初期は大きく、中期
は中程度に、そして終期は小さくなるようにすると、研
磨仕上げを大いに良くすることが出来る。

Ｘ方向の加圧力に振動を加えるようにすると、研磨材の
研Ｆｆｉ部への供給・排除が容易に行われる〔実　施　
例〕 ついで、この発明の実施例を、図を参照しながら、以下
に詳しく説明する。

第１図はこの発明にかかる微小研磨方法の実施に用いる
研磨装置の主要部たる研磨工具を示している。この研磨
工具１は、その本体部１０が研磨装置本体（図示せず）
に支持軸１１で支持固定されている。この支持軸１１は
、水平方向および垂直方向に自由に移動できるとともに
、任意の角度で傾くことができるようにもなっている。

支持軸１１の作動機構は、通常の工作機械における加工
軸等の作動機構と同様のものである。

工具本体部１０の下面中心には図で見て鉛直方向たるＸ
方向のアクチュエータ２０が設けられ、その下端部から
は、球対隅状の連結作用を有する連結部２１を介して、
ブロック２２が吊り下げられている。ここに、球対隅状
の連結作用とは、ブロック２２をＸ方向アクチュエータ
２０に対して、Ｘ方向に対して垂直のＸＹＸ方向図で見
て垂直方向）に微小運動を自在とさせなからＸ方向アク
チュエータ２０のＸ方向の微小運動を確実にブロック２
２に伝える連結作用を言う。そして、このブロック２２
の下端には研磨軸たる中央ヨーク２３が一体的に連結さ
れて垂下している。前記ブロック２２の上部には、図で
見て水平のＸ方向側面にＸ方向アクチュエータ２４ｘの
先端が当接接続されミ図で見て水平で上記Ｘ方向に対し
垂直のＹ方向側面（図の向側側面）にＹ方向アクチュエ
ータ２４ｙの先端が当接接続されている。この実施例で
は、Ｘ方向アクチュエータ２０とＸ方向アクチュエータ
２４ＸとＹ方向アクチュエータ２４ｙは、いずれも、多
数の薄型エビゾ素子を積層してなり電圧を印加すること
によってＸ方向（中央ヨーク２３の軸方向）、Ｘ方向、
Ｙ方向に伸縮し、Ｘ方向の微小運動で研磨材を被研磨材
に押しつけ、Ｘ方向とＹ方向の微小運動の組み合わせで
研磨材を被研磨材の研磨面内で自由に運動させることが
できるようになっている。

ＸＹＺ方向アクチュエータの諸元としては、下記第１表
のようなものが使用できる。

第１表 中央ヨーク２３の先端部は次第に細くなり、先端面は球
面になっている。この球面部分が研磨部２６である。こ
の研磨部２６は、Ｓｎメツキ層等からなっていても良い
が、ポリウレタン層からなっているときには、このポリ
ウレタン層に含浸保持された磁性研磨流体Ｍが被研磨材
Ｗの研磨面を研磨するようにする。

この実施例では、研磨部２６は、第２図にみるように、
中央ヨーク２３の先端に転勤自在に保持された球体２５
からなり、表面がＳｎメツキ層で表面仕上げされている
。この球体２５は、この実施例では、磁性研磨流体Ｍの
粘性で中央ヨーク２３の先端に保持されている。しかし
、このような球体２５は、中央ヨーク２３の先端内部に
嵌合されて機械的に保持されても良く、永久磁石４ｏの
磁力で中央ヨーク２３先端に磁気的に保持されても良い
。

各アクチュエータ２０，２４ｘ、２４ｙの駆動配線５０
は、３ＣＨピエゾドライバアンプからなる駆動アンプ５
１に電気的接続されている。３ｃＨピエゾドライバアン
プの具体的な仕様としては、例えば、３５０■、１００
ｍＡ、３０ｋＨｚである。駆動アンプ５１には、Ｚ方向
用の信号発生器５２とＸＹ方向用の可変位相２出力信号
発生器５３が接続されている。これらの信号発生器５２
５３から、駆動アンプ５１を介して各アクチュエータ２
０，２４ｘ、２４ｙに所定の周波数からなる電圧を印加
して、各アクチュエータ２０．２４ｘ、２４ｙ２２ｘ、
２２ｙの駆動を制御する。

工具本体１０の下面には、非磁性体からなる筒状体３０
が取りつけられている。筒状体３０の中間部（第１図の
右側側面部）には、アクチュエータ２４Ｘ、２４）’や
各アクチュエータの駆動配線５０等を挿入する開口３１
が個形成されている。

筒状部３０の下部には、リング状の磁性体からなる接続
体３２がねじ込み接続されている。接続体３２の内周部
分の一部は、中央ヨーク２３の外周面に近接する位置ま
で延びている。接続体３２には、その外周側面から内周
下面に向けて貫通する流体供給路３３が形成され、流体
供給路３３の外周端には流体供給パイプ３４が接続され
でいる。

この流体供給パイプ３４に磁性研磨流体を供給すると、
磁性研磨流体が流体供給路３３から中央ヨーク２３の先
端外周付近に滴下し供給される。接続体３２の下端には
リング状のＳｍ−Ｃｏ磁石からなる永久磁石４０が取り
付けられている。永久磁石４０の磁力の強さは、例えば
５にガウス程度である。永久磁石４０の下端には磁性体
からなる対向ヨーク３５が取り付けられている。対向ヨ
ーク３５は、下端に向けて円錐状に狭まっており、先端
内周部分が先細り状に尖っていて、この先端内周部分が
、中央ヨーク２３の先端との間に一定の隙間をあけて対
向配置されている。その結果、永久磁石４０から接続体
３２、中央ヨーク２３を経て対向ヨーク３５から永久磁
石４０へと戻る磁気回路が構成されるとともに、中央ヨ
ーク２３と対向ヨーク３５の間にはドーナツツ状の磁気
ギヤツブが構成されることになる。

中央ヨーク２３および対向ヨーク３５の下方には、荷重
検出手段となるロードセル６０が設置されており、被研
磨材Ｗはこのロードセル６０の上に載せられた状態で研
磨加工が行われる。ロードセル６０の検出出力は、コン
トローラ６１を経て駆動アンプ５１へと入力されるよう
になっており、Ｚ方向アクチュエータ２０から被ｇｆ磨
材Ｗに加わる加圧力がフィードバック制御されるように
なっている。

駆動アンプ５１にはまた、Ｚ方向アクチュエータ２０の
加圧力に振動を付与するために、ＦＧゼネレータ７０か
ら振動付与信号が入力されるようになっている。

このような構造の研磨装置を用いて行なう、この発明の
磁気微小Ｆｉ！Ｆ磨方法を、以下に具体的に説明する。

被研磨材Ｗをロードセル６０の上に載せた状態で研磨工
具１を被研磨材Ｗの上に配置する。流体供給パイプ３４
から中央ヨーク２３の先＃Ａ部分に磁性研磨流体Ｍを供
給すると、磁性ｖｒ磨流体Ｍは中央ヨーク２３と対向ヨ
ーク３５の間の磁気ギャップ付近に磁気的に保持される
。この状態では、第２図に模式的に示すように、磁性研
磨流体Ｍが中央ヨーク２３の先端下面部分まで覆って保
持されることになるので、磁気的な作用で磁性研磨流体
Ｍが被研磨材Ｗの表面に押し付けられた状態になる。

つぎに、Ｚ方向アクチュエータ２０に周期的な電圧を印
加すると、Ｚ方向アクチュエータ２０が被研磨材Ｗの研
磨面に垂直方向（第１図で見て上下方向）に微小の伸縮
運動を起こす。それに伴って、中央ヨーク２３の先端た
る研磨部２６が第２図で見て上下方向（直線矢印方向）
に微小運動を行い、磁性研磨流体Ｍを被研磨材Ｗの表面
（研磨面）に押しつけ加圧する。また、ＸＹ方向アクチ
ュエータ２４ｘ、２４．ｙにも周期的な電圧が印加され
、ｘｙ方向アクチュエータ２４ｘ、２４ｙの各先端が当
接されたブロック２２が水平方向（図で見て左右方向）
に揺動する。その結果、研磨部２６が球対隅状の連結部
２１を中心にして第２図に円孤形矢印で示すように大き
く揺動する。この揺動は、被研磨材Ｗの表面（研磨面）
に対して水平方向（ＸＹ方向）の微小運動となる。この
ＸＹ方向の微小運動と前記Ｚ方向の微小運動が磁性研磨
流体Ｍに伝達されて、磁性研磨流体Ｍが被研磨材Ｗの表
面（研磨面）を研磨加工する。磁性研磨流体Ｍは、中央
ヨーク２３の先端と被研磨材Ｗの間に挟まれた部分付近
のみで被研磨材Ｗを加圧して研磨作用を行うので、被研
磨材Ｗには、はぼ中央ヨーク２３の先端形状に相当する
大きさの加工痕Ｈが形成される。

このような研磨作用を行わせながら、研磨工具１全体を
所定の研磨面形状に従って水平方向あるいは三次元方向
に移動させて、上記加工痕Ｈを被研磨材Ｗの研磨面全体
に広げ終えると、平面や球面あるいは自由曲面等の所望
の研磨面を自由に得ることが出来る。

この間、被研磨材Ｗを載置したロードセル６０では、研
磨工具１の研磨部２６が磁性研磨流体Ｍを介して被研磨
材Ｗに加える加圧力が加圧荷重値として検出されており
、この加圧荷重信号がコントローラ６１を経て駆動アン
プ５１にフィードバックされている。そのため、例えば
、被研磨材Ｗに加わる加圧力が規定の値以上になれば、
駆動アンプ５１でＺ方向アクチュエータ２０への印加電
圧を下げる等して加圧力が小さくなるように制御され、
逆に、被研磨材Ｗに加わる加圧力が規定の値以下になれ
ば、駆動アンプ５１でＺ方向アクチュエータ２０への印
加電圧を上げる等して加圧力が大きくなるように制御さ
れる。他方、加工痕１個の加工を行う過程においては、
加圧力が時間の経過とともに減少する傾向があるので、
ロードセル６０は、この傾向も検出して検出結果を駆動
アンプ５゛ｉにフィードバックすることにより、加圧力
が第３図の実線にみるように常に一定となるようにする
。また、Ｚ方向用の信号発生器５２は、加工痕１個の加
工を行う過程において、第４図にみるように、初期は加
圧力が大きく、中期は加圧力が中程度に、そして終期は
加圧力が小さくなるように、駆動アンプ５１に対して制
御信号を発する。その間、ＦＧゼネレータ７０は、駆動
アンプ５１に対してＺ方向アクチュエータ２０の加圧力
に振動を付与するための振動付与信号を発し続ける。

〔発明の効果〕

この発明は、以上のように加工荷重値の検出結果をＺ方
向アクチュエータの制御にフィードバックしているため
、この発明によれば、加工仕上精度を低下させずに加工
痕１個当たりの研磨時間を短縮でき、また、研磨仕上げ
を大いに良くすることも出来るのである。さらに、この
発明によれば、Ｚ方向の加圧力に振動を加えることによ
り、研磨材の研磨部への供給・排除が容易に行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる微小研磨方法の実施に用いる
研磨装置の主要部たる研磨工具の断面図、第２図はこの
発明の研磨作用の説明図、第３図ないし第６図は研磨時
間と加圧力の関係を表すグラフである。 １・・・研磨工具　２０・・・Ｚ方向アクチュエータ２
３・・・中央ヨーク　２４Ｘ・・・Ｘ方向アクチュエー
タ　２４ｙ・・・Ｙ方向アクチュエータ　２６・・・研
磨部 ５・・・対向ヨーク ６０・・・ロードセル ・・・ＦＣゼネレータ Ｍ・・・磁性研磨流体 Ｗ・・・被研 磨材

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　研磨工具先端の研磨部と被研磨材の間に研磨材を保
   持した状態で、前記研磨部を電歪素子からなるアクチュ
   エータで研磨面と平行なＸＹ方向および／または研磨面
   と垂直なＺ方向に微小運動させ、かつ、Ｚ方向の微小運
   動については被研磨材に加わる加工荷重値を検出し検出
   された加工荷重値をアクチュエータの制御にフィードバ
   ックすることにより前記加工荷重値を所定の値に保つよ
   うにして、被研磨材を研磨するようにする微小研磨方法
   。 ２　Ｚ方向の加工荷重値を、加工過程の初期は大きく、
   中期は中程度に、そして終期は小さくなるようにする請
   求項１記載の微小研磨方法。 ３　Ｚ方向の加圧力に振動を加えるようにする請求項１
   または２記載の微小研磨方法。 ４　研磨材が磁性研磨流体であってその保持を磁力で行
   うようにする請求項１から３までのいずれかに記載の微
   小研磨方法。 ５　被研磨材の研磨面に対面する研磨部と、電歪素子か
   らなり前記研磨部を研磨面と平行なＸＹ方向に微小運動
   させるＸＹ方向アクチュエータと、電歪素子からなりそ
   の伸縮作用により前記研磨部を研磨面と垂直なＺ方向に
   微小運動させるＺ方向アクチュエータとを備えるととも
   に、Ｚ方向の微小運動について被研磨材に加わる加工荷
   重値を検出する荷重検出手段を備えていて、この手段で
   検出された加工荷重値をＺ方向アクチュエータの制御に
   フィードバックすることにより前記加工荷重値を所定の
   値に保つよう制御するようになっている微小研磨工具。 ６　先端に研磨部を有する中央ヨークと、前記研磨部の
   周囲に磁気ギャップを作るための対向ヨークと、これら
   のヨークに磁気を流す磁気発生手段とを備えた請求項５
   記載の微小研磨工具。