JP2009107055A - 研磨工具、研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨効率を低下させることなく、微小な範囲を高精度に研磨加工することが可能な研磨技術を提供する。
【解決手段】ワークWの表面に接する工具軸3の研磨軸3aに有底筒状のガイド部材4を装着し、ガイド部材4の底部の貫通孔4aに研磨軸3aを挿通することで、研磨軸3aの折損や曲がりを防止して、研磨軸3aの折損や曲がりを懸念することなく、比較的大きな研磨荷重を細径の研磨軸3aに作用させることを可能にして効率よくワークWの微小部位の研磨加工を行う。また、研磨軸3aの摩耗による長さの変化に従って、固定ネジ4bによるガイド部材4の工具軸3に対する固定位置をずらして、ガイド部材4からの研磨軸3aの突き出し量を一定に調整する。
【選択図】 図1
【解決手段】ワークWの表面に接する工具軸3の研磨軸3aに有底筒状のガイド部材4を装着し、ガイド部材4の底部の貫通孔4aに研磨軸3aを挿通することで、研磨軸3aの折損や曲がりを防止して、研磨軸3aの折損や曲がりを懸念することなく、比較的大きな研磨荷重を細径の研磨軸3aに作用させることを可能にして効率よくワークWの微小部位の研磨加工を行う。また、研磨軸3aの摩耗による長さの変化に従って、固定ネジ4bによるガイド部材4の工具軸3に対する固定位置をずらして、ガイド部材4からの研磨軸3aの突き出し量を一定に調整する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、研磨技術に関し、たとえば、微小形状の光学素子および光学素子成形用金型等を高精度に研磨加工する研磨技術等に適用して有効な技術に関する。
たとえば、微小な被研磨材を研磨する方法として、特許文献1(特開平4−41177号公報)に開示されるたような微小研磨技術が知られている。
すなわち、この特許文献1の技術では、中央ヨークの先端部に微小な球体を保持するとともに、この中央ヨークと当該中央ヨークを取り囲む対向ヨークとで磁気回路を形成して球体を磁化し、磁性研磨液を保持させて微小な研磨部を構成し、この研磨部を被研磨材に押し当てて研磨を行う微小研磨方法において、中央ヨークをZ方向(中央ヨークの軸方向)に駆動するZ方向アクチュエータの変位を拘束することなく、X方向およびY方向アクチュエータを中央ヨークの側面に当接させる構成として、前記研磨部を被研磨物に対して理想的なリサージュ運動を行わせることで、加工径を大きくしても加工痕が崩れず、平滑で良好な加工面を得ようとする技術が開示されている。
すなわち、この特許文献1の技術では、中央ヨークの先端部に微小な球体を保持するとともに、この中央ヨークと当該中央ヨークを取り囲む対向ヨークとで磁気回路を形成して球体を磁化し、磁性研磨液を保持させて微小な研磨部を構成し、この研磨部を被研磨材に押し当てて研磨を行う微小研磨方法において、中央ヨークをZ方向(中央ヨークの軸方向)に駆動するZ方向アクチュエータの変位を拘束することなく、X方向およびY方向アクチュエータを中央ヨークの側面に当接させる構成として、前記研磨部を被研磨物に対して理想的なリサージュ運動を行わせることで、加工径を大きくしても加工痕が崩れず、平滑で良好な加工面を得ようとする技術が開示されている。
ところが、微小なワークの形状修正など、微小な範囲の研磨を行なう時、上述のような磁性研磨液を用いる従来の研磨方法では、工具加工部(上述の研磨部)とワーク加工面の接触面積が大きくなるため、微小な範囲の選択的な研磨が困難になるという技術的課題がある。
例えば、ワークの加工径が3mm以下の微小な光学素子の形状修正を行なおうとした場合、上述のように磁性研磨液を用いる磁性流体研磨では、研磨工具を構成する球体の先端の磁力により磁性流体を保持して研磨を行なうため、磁性流体が磁力を帯びた工具全体に付着し、磁性流体とワーク加工面との接触面積が大きくなる。そのため、微小な範囲を狙っても、研磨の必要の無い周辺部まで研磨され、高精度に形状創成を行うことが難しい。
そこで、工具径を1mm以下とし、工具とワーク加工面との接触面積を小さくする必要があるが、細径の工具は剛性が低いため折れやすいといった技術的課題が生ずる。また、これを避けるため、細径の工具で、研磨荷重を低くして加工を行なう方法もあるが、研磨加工量は研磨荷重に比例するため、研磨効率が低くなるといった技術的課題が新たに生ずる。
特開平4−41177号公報
本発明の目的は、研磨効率を低下させることなく、微小な範囲を高精度に研磨加工することが可能な研磨技術を提供することにある。
本発明の第1の観点は、太径部の一端に細径部が突設された工具軸と、
前記工具軸の前記細径部が挿通される貫通孔を有し、前記細径部の外周を保持するガイド部材と、
を含む研磨工具を提供する。
前記工具軸の前記細径部が挿通される貫通孔を有し、前記細径部の外周を保持するガイド部材と、
を含む研磨工具を提供する。
本発明の第2の観点は、太径部の一端に細径部が突設された工具軸および前記工具軸の前記細径部が挿通される貫通孔を有し前記細径部の外周を保持するガイド部材を含む研磨工具と、
前記研磨工具を被加工物に相対的に摺動させる工具駆動手段と、
を含む研磨装置を提供する。
前記研磨工具を被加工物に相対的に摺動させる工具駆動手段と、
を含む研磨装置を提供する。
本発明によれば、研磨効率を低下させることなく、微小な範囲を高精度に研磨加工することが可能な研磨技術を提供することができる。
本実施の形態の第1態様では、段付き円柱形状の工具軸の細径部分に、前記工具軸の細径部分の外形と同程度の径の貫通穴を有し、前記工具軸の細径部分の外周を保持するように設けられたガイド部材を取り付ける。
第2態様では、第1態様において、研磨工具に取り付けたガイド部材の工具軸の軸方向における位置を調整可能にした。
第3態様では、第1態様において、研磨工具に取り付けたガイド部材の材質の硬度(JISK6253)が、5°〜65°とする。
第3態様では、第1態様において、研磨工具に取り付けたガイド部材の材質の硬度(JISK6253)が、5°〜65°とする。
本実施の形態の第1態様では、段付き円柱形状の工具軸の細径部分に、細径部分の外形と同程度の大きさの貫通穴を有し、前記工具軸の細径部分の外周を保持するように設けられたガイド部材を取り付けることで、ガイドが工具側面を支えることができるため、加工による振動や、加工抵抗を低減でき、工具軸の細径部分の折れや曲がりを防ぐことができる。
第2態様では、研磨工具を、工具の磨耗による工具長の変化に対して、ガイド部材を工具軸の軸方向の位置をずらすことで、工具の突き出し量を自在に調整することができる。
第3態様では、研磨工具に取り付けるガイド部材の硬度を5°〜65°とし、工具軸を通す貫通穴の径を、工具軸より小さくすることで、ガイド部材の弾性により、ガイド部材を工具軸に固定させることができる。
第3態様では、研磨工具に取り付けるガイド部材の硬度を5°〜65°とし、工具軸を通す貫通穴の径を、工具軸より小さくすることで、ガイド部材の弾性により、ガイド部材を工具軸に固定させることができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の一実施の形態であるの研磨装置Mの構成の一例を示す側面図であり、図2および図3は、その工具軸部の詳細を示した図である。
(実施の形態1)
図1は、本発明の一実施の形態であるの研磨装置Mの構成の一例を示す側面図であり、図2および図3は、その工具軸部の詳細を示した図である。
本実施の形態の研磨装置Mは、工具テーブル1、工具スピンドル2、工具軸3、ガイド部材4、エアシリンダ6、スライド板7、スタンド8、昇降軸9、ワークテーブル21、固定ネジ22を備えている。
工具テーブル1に取り付けられた工具スピンドル2は、図示省略したモータにより回転可能となっている。
工具スピンドル2は、先端に工具軸3を着脱できる把持機構を有している。
工具スピンドル2は、先端に工具軸3を着脱できる把持機構を有している。
本実施の形態の場合、研磨装置Mは、工具軸3、研磨軸3aおよびガイド部材4からなる研磨工具を備えている。
工具軸3はポリイミドからなり、研磨軸3aを構成する細径部分の外径D1が0.2mm〜3mm、太径部3bの部分の外径D0が3mm〜10mmの段付き形状に同軸に削り出し加工されている。
工具軸3はポリイミドからなり、研磨軸3aを構成する細径部分の外径D1が0.2mm〜3mm、太径部3bの部分の外径D0が3mm〜10mmの段付き形状に同軸に削り出し加工されている。
本実施の形態の場合、この工具軸3には、たとえば、プラスチック等で構成され、一端が閉止された筒状のガイド部材4が装着されている。このガイド部材4は、閉止端側の中央部に貫通孔4aが形成されており、開口端を工具軸3に嵌合させることで、貫通孔4aに研磨軸3aが挿通されるように、工具軸3に装着される。
すなわち、工具軸3の細径部分の研磨軸3aに、当該研磨軸3aの外径D1に対して、たとえば、1〜1.3倍の外径の貫通孔4aが底部の中心部に設けられたガイド部材4を被せ、この貫通孔4aより工具軸3の研磨軸3aを、たとえば、突き出し量ΔLが、1mm〜5mmとなるように突き出した状態で、太径部3bにおいて、固定ネジ4bにより固定されている。
また、このガイド部材4は工具軸3の太径部3bにて、軸方向の任意の位置にスライド可能であり、工具軸3の細径部分の研磨軸3aが磨耗により短くなった際には、固定ネジ4bを緩め、位置をずらすことで、工具軸3の研磨軸3aの突き出し量ΔLを調整することができる。
工具スピンドル2が載置される工具テーブル1は、エアシリンダ6に取り付けられている。この、エアシリンダ6は図示省略のエア圧制御装置と連動していて、加工中は指示した所望のスラスト負荷を工具軸3の軸方向(図1の上下方向のZ軸方向)に作用させることが可能になっており、研磨軸3aの先端部をワークWに一定の圧力で押圧しつつ研磨できるようになっている。
さらに、エアシリンダ6はスライド板7に取り付けられている。このスライド板7は、スタンド8に設けられた昇降軸9に沿ってZ軸方向に移動可能であり、ワークWの高さに応じて、工具軸3を支持する工具スピンドル2等の支持構造の全体のZ軸方向の高さを最適位置に調整することが可能となっている。
工具テーブル1の下方にはワークテーブル21が配置されており、このワークテーブル21は、図示省略したサーボモータにより、X軸(図1の左右方向)およびY軸方向(図1の紙面に垂直な方向)、さらにはZ軸方向に移動可能となっている。また、ワークテーブル21は、図示省略した別のモータによりB軸方向(Z−X平面内の揺動)に揺動動作も可能となっている。
ワークテーブル21上には、ワークWを着脱自在に載せることができる凹部21aが設けられ、固定ネジ22によりワークWを固定する。
ワークテーブル21の下方には、図示省略したワークスピンドルと、このスピンドルを回転させる図示省略したモータが取り付けられ、これによりワークWをZ軸の回りに回転させることが可能となっている。
ワークテーブル21の下方には、図示省略したワークスピンドルと、このスピンドルを回転させる図示省略したモータが取り付けられ、これによりワークWをZ軸の回りに回転させることが可能となっている。
以下、上述のような構成の研磨装置MによるワークWの研磨方法について図1、図2、図3を参照して説明する。
図1より、まず、ワークWをワークテーブル21上の凹部21aにのせる。次に、ワークWを必要な振れ精度に調整した上で固定ネジ22によりワークテーブル21に固定する。
図1より、まず、ワークWをワークテーブル21上の凹部21aにのせる。次に、ワークWを必要な振れ精度に調整した上で固定ネジ22によりワークテーブル21に固定する。
続いて、ポリイミドからなる工具軸3を工具スピンドル2に取り付ける。そして、工具軸3(研磨軸3a)にガイド部材4を被せ、中央部の貫通孔4aから、工具軸3の研磨軸3aが1mm〜5mm(=突き出し量ΔL)だけ突き出した状態となる位置で、固定ネジ4bを締めてガイド部材4を固定する。
次に、図示しない研磨剤をワークWに塗布する。研磨剤はペースト状のものを使用し、ワークWの表面に塗布する。また、加工中も適宜、研磨剤をワークWに供給する。
続いてモータにより工具スピンドル2を回転させ、工具軸3を回転させる。また、別のモータによりワークテーブル21を回転させ、ワークWを回転させる。続いて、ワークWの外周の加工開始位置の上方に、工具軸3が位置するようにワークテーブル21を移動する。
続いてモータにより工具スピンドル2を回転させ、工具軸3を回転させる。また、別のモータによりワークテーブル21を回転させ、ワークWを回転させる。続いて、ワークWの外周の加工開始位置の上方に、工具軸3が位置するようにワークテーブル21を移動する。
研磨加工は加工開始位置より、エアシリンダ6によって、工具軸3の軸方向に圧力をかけ、研磨軸3aをワークWの加工面に所望の研磨荷重で押圧した状態で、工具軸3の研磨軸3aをワークWの加工面を走査させて行なう。
加工中は、ワークWの研磨ポイントにおいて、工具軸3の加工部(研磨軸3aの先端部)が常にワークWの輪郭形状の接平面に垂直な方向(すなわち研磨ポイントにおける法線方向)で接触するように、ワークテーブル21のB軸における揺動変位が制御されている。また、研磨ポイントが、ワークWの加工面上を走査するように、ワークテーブル21のX軸、Y軸が制御されつつ研磨される。
加工動作は、ワークWの全面の研磨を行なう際は、ワークWの外周から研磨を開始し、ワークWの中心部を通り、もう一端のワークWの外周まで工具軸3を走査させて行なわれる。この動作を1サイクルとし、挽き目が除去され、所望の鏡面形状が得られるまで研磨を繰り返す。
一方、形状修正を目的とするような、狭い範囲での研磨を行う際は、ワークWの断面形状の測定を行い、この断面形状の測定データより、平滑面にするために除去したい部分を選択し、ここに工具軸3の研磨軸3aを滞留させて研磨を行なう。これを所望の形状が得られるまで測定と研磨加工を繰り返す。
研磨加工を繰り返し行なった場合、工具軸3の細径部分である研磨軸3aの突き出し量ΔLが磨耗して短くなる。この時、ガイド部材4の固定ネジ4bを緩め、ガイド部材4を工具軸3上で上方にスライドさせ、位置をずらすことで研磨軸3aの細径部分の突き出し量ΔLを調整することが可能である。図2は調整前の研磨軸3aの詳細を示した断面図であり、図3は調整後の研磨軸3aの詳細を示した断面図である。
研磨軸3aの摩耗に従って、ガイド部材4の工具軸3に対する取り付け位置を上側にずらすことで、研磨軸3aの突き出し量ΔLを一定に調整している。
ワークWの微小な範囲を研磨する際に、細径の研磨軸3aによって研磨を行う場合に、そのままでは、加工抵抗や振動により研磨軸3aが折損したり、研磨軸3aが曲がって狙った部分を研磨できないといった技術的課題があるが、本実施の形態の場合には、研磨軸3aにガイド部材4を被せることで、細径部分の研磨軸3aの外周がガイド部材4の貫通孔4aにより支えられ、研磨軸3aの折れや、曲がりを防ぐことができる。
ワークWの微小な範囲を研磨する際に、細径の研磨軸3aによって研磨を行う場合に、そのままでは、加工抵抗や振動により研磨軸3aが折損したり、研磨軸3aが曲がって狙った部分を研磨できないといった技術的課題があるが、本実施の形態の場合には、研磨軸3aにガイド部材4を被せることで、細径部分の研磨軸3aの外周がガイド部材4の貫通孔4aにより支えられ、研磨軸3aの折れや、曲がりを防ぐことができる。
従って、研磨軸3aの折れによる工具軸3の交換回数が減少し、効率良くワークWを研磨することが可能となる。また、加工中の研磨軸3aの曲がりを防ぐことができるので、ワークWの正確な位置を研磨できるようになり、加工精度が向上する。
換言すれば、研磨軸3aの曲がりや折損等を懸念することなく、エアシリンダ6から工具テーブル1を介して工具軸3の研磨軸3aに可能な限り大きな研磨荷重を作用させて大きな研磨速度による短時間で効率のよいワークWの研磨加工が可能になる。
また、ガイド部材4の位置を工具軸3の軸方向に自在に移動することができ、研磨軸3aの突き出し量ΔLを任意に調整することが可能なので、磨耗などにより工具軸3の研磨軸3aの全長が短くなった場合でも、工具軸3を交換することなく、固定ネジ4bによるガイド部材4の位置の調整だけで対応できるので、加工効率が向上する。
すなわち、本実施の形態によれば、研磨効率を低下させることなく、ワークWの微小な範囲を高精度に研磨加工することができる。
(実施の形態2)
図4は、本発明の実施の形態2である研磨装置の概略構成を示す側面図であり、図5および図6は、工具軸部の詳細を示した図である。
(実施の形態2)
図4は、本発明の実施の形態2である研磨装置の概略構成を示す側面図であり、図5および図6は、工具軸部の詳細を示した図である。
実施の形態2の構成は上述の実施の形態1の構成と工具軸3の部分を除いて同じであるため、共通の符号を付して重複した説明は省略する。
図4より実施の形態2で使用する研磨工具について説明する。
図4より実施の形態2で使用する研磨工具について説明する。
本実施の形態2では、工具軸3およびガイド部材5からなる研磨工具を使用する。
工具軸3は、たとえばベークライトからなり、工具軸3の細径部分の外径D1が、たとえば0.2mm〜3mm、太径部3bの外径D0が、たとえば3mm〜10mmの段付き形状に削り出し加工されている。
工具軸3は、たとえばベークライトからなり、工具軸3の細径部分の外径D1が、たとえば0.2mm〜3mm、太径部3bの外径D0が、たとえば3mm〜10mmの段付き形状に削り出し加工されている。
この場合、工具軸3の細径部分である研磨軸3aには、たとえば硬度が30°のシリコンゴムからなるガイド部材5が、貫通孔5aに研磨軸3aを圧入することによって取り付けられている。
すなわち、ガイド部材5は、円柱形状で、中心部に工具軸3の研磨軸3aの外径D1に対して、たとえば0.98〜0.8倍の径の貫通孔5aが軸方向に穿設されている。このように、貫通孔5aの径を、工具軸3の研磨軸3aの外径D1よりも小さくすることで、シリコンゴムの弾力を利用して、ガイド部材4を工具軸3の研磨軸3aに密着させ固定できるようになっている。この貫通孔5aに工具軸3の研磨軸3aを圧入して取り付ける。
また、このガイド部材5の軸方向の全長は、ガイド部材5の端面を工具軸3の太径部3bの端面に突き当てた状態で被せた時に、工具軸3の研磨軸3aの突き出し量ΔLが、たとえば1mm〜5mmとなるような長さにあらかじめ切断されている。
以下、上述の構成の研磨装置による研磨方法について図4、図5、図6を参照して説明する。
図4より、まずワークWをワークテーブル21上の凹部21aにのせる。次に、ワークWを加工に必要な振れ精度に調整した上で固定ネジ22で固定する。
図4より、まずワークWをワークテーブル21上の凹部21aにのせる。次に、ワークWを加工に必要な振れ精度に調整した上で固定ネジ22で固定する。
続いて、ベークライトからなる工具軸3を工具スピンドル2に取り付ける。そして、工具軸3の細径部分である研磨軸3aにシリコンゴムからなるガイド部材5の貫通孔5aを挿通させて被せる。
このガイド部材5の長さは、ガイド部材5を研磨軸3aに被せたときに、ガイド部材5の貫通孔5aから工具軸3の細径部分である研磨軸3aが、突き出し量ΔLとして、たとえば1mm〜5mmだけ突き出した状態になるように、あらかじめ切断しておく。
次に、図示しない研磨剤をワークWに塗布する。研磨剤はペースト状のものを使用し、ワークWの加工面上に塗布する。また、加工中も適宜、ワークWの加工部位に供給する。
続いてモータにより工具スピンドル2を回転させ、工具軸3を回転させる。また、別のモータによりワークテーブル21を回転させることで、ワークWを回転する。続いて、ワークWの外周の加工開始位置の上方に、工具軸3が位置するようにワークテーブル21を移動する。
続いてモータにより工具スピンドル2を回転させ、工具軸3を回転させる。また、別のモータによりワークテーブル21を回転させることで、ワークWを回転する。続いて、ワークWの外周の加工開始位置の上方に、工具軸3が位置するようにワークテーブル21を移動する。
研磨加工は加工開始位置より、エアシリンダ6に圧力をかけ、ワークWに表面に研磨軸3aの先端を押圧した状態で工具軸3をワークWの加工面を走査させて行なう。
加工中は、ワークWの研磨ポイントにおいて、工具軸3の加工部が常にワークWの表面の法線方向に接触するように、ワークテーブル21のB軸による揺動変位が制御されている。また、研磨ポイントが、ワークWの加工面上を走査するように、ワークテーブル21のX軸およびY軸が制御されつつ研磨される。
加工中は、ワークWの研磨ポイントにおいて、工具軸3の加工部が常にワークWの表面の法線方向に接触するように、ワークテーブル21のB軸による揺動変位が制御されている。また、研磨ポイントが、ワークWの加工面上を走査するように、ワークテーブル21のX軸およびY軸が制御されつつ研磨される。
加工動作は、ワークWの全面の研磨を行なう際は、ワークWの外周から研磨を開始し、ワークWの中心部を通り、もう一端のワークWの外周まで工具軸3を走査させ研磨が行なわれる。この動作を1サイクルとし、挽き目が除去され、所望の鏡面形状が得られるまで研磨を繰り返す。
一方、形状修正を目的とするような、狭い範囲での研磨を行う際は、ワークWの断面形状の測定を行い、測定データより、平滑面にするために除去したい部分を選択し、ここに工具軸3の研磨軸3aを滞留させて研磨を行なう。これを所望の形状が得られるまで測定と研磨加工を繰り返す。
研磨加工を繰り返し行なった場合、工具軸3の先端部分である研磨軸3aが磨耗して短くなる。この時、ガイド部材5を外し、研磨軸3aの突き出し量ΔLが最適になるようにガイド部材5を切断して短くして長さを調整する。
図5は調整前の研磨軸3aおよびガイド部材5の詳細を示した断面図であり、図6は調整後の研磨軸3aおよびガイド部材5の詳細を示した断面図である。
研磨軸3aの摩耗に従って、ガイド部材5の全長を短くすることにより、研磨軸3aの突き出し量ΔLが一定となるように調整している。
研磨軸3aの摩耗に従って、ガイド部材5の全長を短くすることにより、研磨軸3aの突き出し量ΔLが一定となるように調整している。
微小な範囲の研磨を行なう際、細径の研磨軸3aを使用すると、加工中に研磨軸3aが折れたり、曲がる等の技術的課題があったが、本実施の形態の場合には、工具軸3の研磨軸3aにガイド部材5を被せることで、研磨軸3aの外周がガイド部材5により支えられる状態となり、研磨加工における加工抵抗や振動による研磨軸3aの折れや曲がりを防ぐことができるので、工具軸3の交換回数が減少する。これにより、ワークWの加工効率の向上し、曲がった研磨軸3aで加工することがないので加工精度が向上する等の効果が得られる。
また、本実施の形態2では、ガイド部材5として柱状のシリコンゴムを使用しているので、ガイド部材5の製作が簡単にできる。したがって、研磨軸3aの磨耗などにより研磨軸3aが短くなった場合でも、工具軸3を交換することなく、ガイド部材5を構成するシリコンゴムを切除して長さを調整することで、研磨軸3aの突き出し量ΔLを容易に調整することができる。
更に、ガイド部材5を構成するシリコンゴムは柔らかい材質なので、研磨軸3aの磨耗が進み、ガイド部材5がワークWの加工面に接触したとしてもワークWの加工面を損傷することがない等の効果も得られる。
以上のように本発明の各実施の形態によれば、細径の研磨軸3aは、加工中、振動や、加工抵抗により折損や曲がりが生じやすいが、研磨軸3aにガイド部材4やガイド部材5を被せることで、ガイド部材4やガイド部材5により研磨軸3aの外周を保持することができるので、加工中の研磨軸3aの折れや曲がりを防ぐことができる。
また、ガイド部材4やガイド部材5等のガイド部材の研磨軸3aの軸方向の位置を自在に調整可能としたことで、研磨軸3aの突き出し量を調整することができ、磨耗などにより研磨軸3aが短くなった場合でも、工具軸3を交換することなく、ガイド部材4やガイド部材5の位置の調整だけで対応できるので、効率良く加工できるようになる。
また、ガイド部材5として硬度が5°〜65°である材料を使用し、ガイド部材5の貫通孔5aの径を、研磨軸3aの径より小さくすることで、ガイド部材5の弾力を利用して、研磨軸3aに密着させて固定できるので、安価で簡便にガイド部材5を作製することができる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
1 工具テーブル
2 工具スピンドル
3 工具軸
3a 研磨軸
3b 太径部
4 ガイド部材
4a 貫通孔
4b 固定ネジ
5 ガイド部材
5a 貫通孔
6 エアシリンダ
7 スライド板
8 スタンド
9 昇降軸
21 ワークテーブル
21a 凹部
22 固定ネジ
M 研磨装置
W ワーク
2 工具スピンドル
3 工具軸
3a 研磨軸
3b 太径部
4 ガイド部材
4a 貫通孔
4b 固定ネジ
5 ガイド部材
5a 貫通孔
6 エアシリンダ
7 スライド板
8 スタンド
9 昇降軸
21 ワークテーブル
21a 凹部
22 固定ネジ
M 研磨装置
W ワーク
Claims (10)
- 太径部の一端に細径部が突設された工具軸と、
前記工具軸の前記細径部が挿通される貫通孔を有し、前記細径部の外周を保持するガイド部材と、
を含むことを特徴とする研磨工具。 - 請求項1記載の研磨工具において、
前記ガイド部材は、一端が閉止された筒体からなり、開口端が前記工具軸の前記太径部に嵌合し、閉止端には前記細径部が貫通する前記貫通孔を備えたことを特徴とする研磨工具。 - 請求項2記載の研磨工具において、
前記ガイド部材の側壁部には、前記太径部の軸方向の任意の位置で当該ガイド部材を固定する位置調整手段を備えたことを特徴とする研磨工具。 - 請求項1記載の研磨工具において、
前記ガイド部材は、前記工具軸の前記細径部よりも全長が短く、当該細径部が貫通する前記貫通孔を備えた筒体を呈することを特徴とする研磨工具。 - 請求項4記載の研磨工具において、
前記ガイド部材の硬度が5°から65°であり、当該ガイド部材の前記貫通孔に前記工具軸の前記細径部が圧入されていることを特徴とする研磨工具。 - 太径部の一端に細径部が突設された工具軸および前記工具軸の前記細径部が挿通される貫通孔を有し前記細径部の外周を保持するガイド部材を含む研磨工具と、
前記研磨工具を被加工物に相対的に摺動させる工具駆動手段と、
を含むことを特徴とする研磨装置。 - 請求項6記載の研磨装置において、
前記研磨工具の前記ガイド部材は、一端が閉止された筒体からなり、開口端が前記工具軸の前記太径部に嵌合し、閉止端には前記細径部が貫通する前記貫通孔を備えたことを特徴とする研磨装置。 - 請求項7記載の研磨装置において、
前記研磨工具の前記ガイド部材の側壁部には、前記太径部の軸方向の任意の位置で当該ガイド部材を固定する位置調整手段を備えたことを特徴とする研磨装置。 - 請求項6記載の研磨装置において、
前記研磨工具の前記ガイド部材は、前記工具軸の前記細径部よりも全長が短く、当該細径部が貫通する前記貫通孔を備えた筒体を呈することを特徴とする研磨装置。 - 請求項9記載の研磨装置において、
前記ガイド部材の硬度が5°から65°であり、当該ガイド部材の前記貫通孔に前記工具軸の前記細径部が圧入されていることを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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2007
- 2007-10-30 JP JP2007281104A patent/JP2009107055A/ja not_active Withdrawn
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