JP2004255549A - 球面の研削・研磨工具および球面の研削・研磨加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削・研磨工具1は、金属からなる台皿2の貼付面2aに略円柱状の砥石体3が接着固定され、構成されている。砥石体3の加工面3aには、その中心点(頂部)を通らない十字状に溝21が形成される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、球面の研削・研磨工具と、球面の研削・研磨加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に、研削・研磨加工に使用される砥石の加工を行う面(以下、加工面と称する)には、加工液の供給を円滑にし、加工時に生じる熱の除去や加工肩の排出を促進するため、溝が設けられている。
【0003】
光学素子に研削・研磨加工を行う工具の溝に関する従来技術としては、実開昭50−148695号公報が開示されている。
【0004】
図18、図19は、従来技術の工具である砥石130を示す。図19は図18のC−C線略断面図である。砥石130には、加工面131の中心から外縁に向けて放射状に伸びる溝132が形成されている。
【0005】
この溝132は、フライスや切断機などの機械加工によって形成したり、メタルボンドを使用した砥石においては、放電加工によって形成することもある。
【0006】
微小な砥石、例えば、外径1mm、曲率半径1mm程度の砥石では、加工面130に対する溝132の大きさを相対的に小さくするため、溝幅を0.1mm程度とする。
【0007】
さらに、微小な凸球面砥石では、溝132の深さを直線的(砥石の加工面が凸球面の場合、中心部の溝は深く、外緑部の溝は浅くなる)に形成すると、中心部の過大な溝深さのため、砥石130の強度が低下し、たわみを生じたり、折損したりすることで、加工される光学素子面の面精度を低下させる問題が発生する。
【0008】
したがって、加工面131の曲面に沿って均一な深さ(例えば0.3mm程度)の溝132を形成させることも行われる。
【0009】
一方、数値制御による研削・研磨加工機を用いる場合、砥石130の高さ寸法を正確に測定し、加工機に入力する必要がある。図20に示すように、砥石130の高さ寸法の測定は、例えば、砥石130の底面と加工面131の面頂とをマイクロメータ221の端子221aと端子221bとで挟んで行う。
【0010】
【特許文献1】
実開昭50−148695号公報
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、溝132は、加工面131の中心から外縁に向けて放射状に伸びている。さらに、加工面131の中心に、溝132の底部を貫通する中心孔133が形成される。砥石130で光学素子球面を加工する際には、外部からのほか、中心孔133からも加工液を供給し、加工面131全体に加工液が行き渡るようにしている。
【0012】
微小な光学素子201を加工する微小な砥石130では、加工面131に対する相対的な溝132の幅と中心孔133の径が大きくなる。
【0013】
砥石130を回転、揺動させながら光学素子201に当接し、加工を行う際、図21及び図22で示す範囲で砥石130を揺動させる場合、光学素子201の球面中心には加工面131が当接しないので、光学素子201の球面中心の面精度が悪化する(いわゆる「中心クセ」が発生する)問題がある。この光学素子201の球面を干渉計で測定すると、図23のようになる。
【0014】
溝132の幅をごく細く(0.1mm未満程度)に形成すれば、上記の問題をある程度解決することができる。
【0015】
しかし、光学素子を加工中に砥石130が摩耗し、溝132が消滅するので、光学素子の製造現場において、頻繁に溝132を形成し直す必要があるので、溝132の形成は、容易、かつ、安価に行える必要がある。
【0016】
該条件(溝132の形成を容易、かつ、安価に行う条件)を満たす機械加工では、ごく細い溝を形成させることが困難であるという問題がある。また、放電加工では、砥石130にごく細い溝を形成させることが可能であるが、砥石130の材料が金属系などに限定されることと、形成加工が比較的高価になることが問題となる。
【0017】
一方、図20に示したように、砥石130の高さ寸法をマイクロメータ221で測定する際、溝132が加工面131の面頂に形成されている場合、図24に示すように、加工面131の面頂は仮想の点となるので、所望の高さ寸法(砥石130の底面から加工面131の仮想上の面頂までの寸法)を正確に測定することができないという問題がある。
【0018】
また、このとき、マイクロメータ221の端子221aが加工面131と溝132との縁に当接するので、この部分が破損し、加工される光学素子201の球面の面精度が悪化することがあるという問題がある。
【0019】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、微小な砥石によって、微小な工作物球面の研削・研磨加工を行う場合に、準備が容易かつ安価であって、工作物球面を高い面精度に仕上げることのできる球面の研削・研磨工具を提供することを目的としている。
【0020】
また、上記球面の研削・研磨工具を用いて、微小な工作物球面を容易に、かつ、高い面精度に研削・研磨する球面の研削・研磨加工方法を提供することを目的としている。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明の球面の研削・研磨工具は、工作物の球面に倣わせる球面の加工面を有する研削・研磨工具において、前記工作物の球面と当接する前記加工面上で、前記加工面の中心から外れた位置に溝が形成され構成される。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について述べる。
【0023】
第1の実施の形態:
図1ないし図5は本発明の第1の実施の形態に係わり、図1は研削・研磨工具の構成を示す斜視図、図2は図1の研削・研磨工具で加工されるレンズの断面を示す断面図、図3は図1の砥石体の加工面を示す上面図、図4は図1の砥石体の加工面に形成された溝を示す略断面図、図5は加工装置での図1の研削・研磨工具と図2のレンズとの取り付け状態を示す略断面図である。
【0024】
(構成)
図1に示すように、本第実施の形態の研削・研磨工具1は、金属からなる台皿2の貼付面2aに略円柱状の砥石体3が接着固定され、構成されている。
【0025】
一方、図2に示すように、研削・研磨工具1により加工されるレンズ4は、例えば加工直径が1mm程度、曲率半径が1mm程度の略凹球面形状のレンズ面4aを有する。
【0026】
図1に戻り、研削・研磨工具1の砥石体3は、ダイヤモンド砥粒を樹脂ボンドで固めたものであり、砥石体3の上面には、工作物であるレンズ4の凹球面状のレンズ面4aを反転した凸球面状の加工面3aが形成されている。
【0027】
図3に示すように、砥石体3の加工面3aには、その中心点(頂部)を通らない十字状に溝21が形成される。それぞれの溝21は、例えば、その幅が0.15mm程度で、中心点から距離0,1mm程度だけ離れた位置に形成されている。図4は図3のA−A線断面であって溝21の深さを示す断面図であり、溝21の深さは、例えば0.3mm程度とする。
【0028】
そして、研削・研磨工具1とレンズ4を加工機(全体の図示は省略)に取り付け、レンズ4の研削・研磨加工を行う。
【0029】
図5に示すように、レンズ4は駆動回転自在の下軸31に取り付け、研削・研磨工具1は駆動回転自在で駆動揺動自在の上軸32に保持させる。
【0030】
なお、上軸32の揺動中心は、研削・研磨工具1の加工面3aの曲率中心に一致するように、調節する。加工機には、加工液供給装置(図示省略)に連通する加工液ノズル33が設置されており、加工液ノズル33から研削・研磨工具1とレンズ4との当接部に加工液を射出することができる。
【0031】
(作用)
レンズ4のレンズ面4aに研削・研磨加工を行う手順を説明する。
最初、下軸31と上軸32は同一軸心上で直立しており、下軸31に取り付けられたレンズ4のレンズ面4aと上軸32に取り付けられた研削・研磨工具1の加工面3aとは、対向して離れて配置されている。
【0032】
次に、上軸32を軸に沿って下向きに移動させ、研削・研磨工具1の加工面3aとレンズ面4aとを当接させる。次に、加工液をこの当接部に射出しながら、下軸31と上軸32をそれぞれ軸まわりに回転させ、加工面3aの曲率中心まわりで上軸32を揺動させる。
【0033】
上軸32の揺動は、レンズ面4aの中心点を境に±9°程度以上とする。レンズ面4aをできるだけ均一に加工するため、揺動はなるべく大きめにするのが望ましいが、一方で、揺動が大きすぎて、加工面3aがレンズ面4aから脱落しないようにする。
【0034】
下軸31と上軸32の回転、揺動動作によって、加工面3aに存在する砥粒がレンズ面4aを微視的に除去していき、レンズ面4aの表面粗さを小さくしていく。このとき、発生する加工屑と熱は、介在する加工液によって、外部へ放出される。
【0035】
加工の終了時は、上軸32の揺動を停止し、上軸32を軸に沿って上昇させ、研削・研磨工具1の加工面3aとレンズ面4aとを離脱させ、下軸31と上軸32のそれぞれの回転を停止させる。上軸32からレンズ4を取り外し、研削・研磨加工が施されたレンズ4を得る。
【0036】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、研削・研磨工具の加工面に、その中心点(頂部)を通らない十字状に溝を形成することによって、レンズ面の中心点(底部)に加工面が当接する機会が多くあり、レンズ面中心点の面精度の悪化(いわゆる中心クセの発生)を防ぐ効果がある。
【0037】
特に、レンズが微小径(例えば加工直径1mm程度)の場合、研削・研磨工具の加工面も同程度の大きさとなり、加工面に対する溝の幅が相対的に大きくなる傾向にあるので、上記の効果が顕著である。
【0038】
第2の実施の形態:
図6は本発明の第2の実施の形態に係るマイクロメータで研削・研磨工具の高さ寸法を測定する様子を示す側面図である。
【0039】
第2の実施の形態は、第1の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0040】
(構成)
研削・研磨工具1の構成は第1の実施の形態と同じであり、砥石体3の加工面3aには、その中心点(頂部)を通らない十字状に溝21が形成される。
【0041】
研削・研磨工具1でレンズ4を加工する前に、図6に示すように、研削・研磨工具1をマイクロメータ41の端子41aと端子41bに挾んで、研削・研磨工具1の高さ寸法を測定する。
【0042】
図5に示したように加工装置の下軸31に研削・研磨工具1を取り付ける際、本実施の形態では、測定した研削・研磨工具1の高さ寸法値によって下軸31の軸方向位置を変化させ、加工時の上軸32の揺動中心点と加工面3aの曲率中心点とを一致させる。
【0043】
その他の構成は第1の実施の形態と同じである。
【0044】
(作用)
研削・研磨工具1をマイクロメータ41の端子41aと端子41bに挾んで、研削・研磨工具1の高さ寸法を測定する際、端子41aは加工面3aの中心点(頂部)に当接する。
【0045】
下軸31の軸方向位置は、研削・研磨工具1の高さ寸法測定値に基づいて設定するので、加工時の上軸32の揺動中心点と加工面3aの曲率中心点とを一致させる設定にできる。
【0046】
よって、加工時、加工面3aはレンズ面4aに沿って滑らかに移動する。
その他の作用は第1の実施の形態と同じである。
【0047】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第1の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工面の中心点(頂部)に溝や孔が存在しないので、マイクロメータで研削・研磨工具の高さを測定する際、測定端子が加工面の中心点(頂部)に確実に当接し、研削・研磨工具の高さ寸法が正確に測定される効果がある。
【0048】
また、研削・研磨工具の高さを測定する際、測定端子が砥石面の溝や孔の縁部に当接し、この部分を破損することがない効果がある。
【0049】
また、加工装置に正確な研削・研磨工具の高さ寸法を入力できるので、研削・研磨工具の加工面に沿った正確な軌跡で、揺動させることが可能となり、直精度の悪化が防止される効果がある。
【0050】
第3の実施の形態:
図7は本発明の第3の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図である。
第3の実施の形態は、第1または第2の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0051】
(構成)
図7に示すように、研削・研磨工具1の砥石体3の加工面3aに、中心線に対して対称かつ平行に見える2本の溝22を形成する。
その他の構成は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0052】
(作用)
研削・研磨工具1でレンズ4を加工する際、加工面3aの溝22が線対称に構成されているので、加工液が対称的に行き渡りやすい。
その他の作用は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0053】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第1または第2の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工面に2本の溝が線対称に構成されているので、加工中に加工液が対称的に行き渡り、加工面の摩耗が対称的に生じ、加工面の形状が崩れることを防止する効果がある。また、それに伴い、加工されたれレンズ面の面精度の対称性が高まる効果がある。
【0054】
第4の実施の形態:
図8は本発明の第4の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図である。
第4の実施の形態は、第1または第2の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0055】
(構成)
図8に示すように、研削・研磨工具1の砥石体3の加工面3aに、中心線に対して対称かつ平行に見える2本の溝23aを形成し、さらに、溝23aと直交し、中心線に対して対称かつ平行に見える2本の溝23bを形成する。
その他の構成は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0056】
(作用)
研削・研磨工具1でレンズ4を加工する際、加工面3aの溝(溝23aおよび溝23b)が点対称に構成されているので、加工液が対称的に行き渡りやすい。
その他の作用は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0057】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第1または第2の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工面に4本の溝が点対称に構成されているので、加工中に加工液が対称的に行き渡り、加工面の摩耗が対称的に生じ、加工面の形状が崩れることを防止する効果がある。また、それに伴い、加工されたレンズ面の面精度の対称性が高まる効果がある。
【0058】
第5の実施の形態:
図9は本発明の第5の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図である。
第5の実施の形態は、第1または第2の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0059】
(構成)
図9に示すように、研削・研磨工具1の砥石体3の加工面3aに、中心点付近から外縁へ放射状に伸び、中心点に対し点対称に見えるように、複数の溝24を形成する。ただし、加工面3aの中心点において、溝幅と同程度の領域には、溝が形成されていない。
その他の構成は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0060】
(作用)
研削・研磨工具1でレンズ4を加工する際、加工面3aの溝24が点対称に構成されているので、加工液が対称的に行き渡りやすい。特に、加工面3aの中心点に加工液が行き渡りやすい。
その他の作用は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0061】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第1または第2の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工面に複数の溝が点対称に構成されているので、加工中に加工液が対称的に行き渡り、加工面の摩耗が対称的に生じ、加工面の形状が崩れることを防止する効果がある。
【0062】
また、研削・研磨工具の加工面に複数の溝が加工面の中心点付近まで達しているので、加工面の中心点に加工液が行き渡り、レンズ面中心点の面精度の悪化(いわゆる中心クセの発生)を防ぐ効果がある。
【0063】
また、上記の効果に伴い、加工されたれレンズ面の面精度の対称性が高まる効果がある。
【0064】
第6の実施の形態:
図10は本発明の第6の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図である。
第6の実施の形態は、第1または第2の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0065】
(構成)
図10に示すように、研削・研磨工具1の砥石体3の加工面3aに、中心点に対して点対称に、かつ、格子状に見えるように、偶数本の溝25を形成する。ただし、加工面3aの中心点においては、溝が形成されていない。
その他の構成は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0066】
(作用)
研削・研磨工具1でレンズ4を加工する際、加工面3aの溝25が点対称に、かつ、高密度に構成されているので、加工液が対称的に行き渡りやすい。
その他の作用は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0067】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第1または第2の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工直に複数の溝が点対称に構成されていて、かつ、加工面に高密度に溝が形成されているので、加工中に加工液が対称的に行き渡り、加工面の摩耗が対称的に生じ、加工面の形状が崩れることを防止する効果がある。また、上記の効果に伴い、加工されたれレンズ面の面精度の対称性が高まる効果がある。
【0068】
第7の実施の形態:
図11は本発明の第7の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図である。
第7の実施の形態は、第1または第2の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0069】
(構成)
図11に示すように、研削・研磨工具1の砥石体3の加工面3aに、中心点付近から螺旋状に見えるように、2本の溝26を形成する。ただし、加工面3aの中心点においては、溝が形成されていない。
その他の構成は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0070】
(作用)
研削・研磨工具1でレンズ4を加工する際、加工面3aの溝26が螺旋状に形成されているので、加工面の回転周方向と溝26が伸びる方向とが直交することがない。
その他の作用は第1または第2の実施の形態と同じである。
【0071】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第1または第2の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工面に溝が螺旋状に形成されているので、加工面の回転周方向と溝が伸びる方向とが直交することがなく、レンズ面と溝の縁部との接触抵抗が小さくなる効果がある。これに伴い、溝が接触抵抗によって崩壊するおそれが少なくなる効果がある。
【0072】
第8の実施の形態:
図12ないし図16は本発明の第8の実施の形態に係わり、図12は研削・研磨工具の構成を示す斜視図、図13は図12の研削・研磨工具で加工されるレンズの断面を示す断面図、図14は図12の砥石体の加工面を示す上面図、図15は図12の砥石体の加工面に形成された溝を示す略断面図、図16は加工装置での図12の研削・研磨工具と図13のレンズとの取り付け状態を示す略断面図である。
【0073】
(構成)
図12に示すように、本実施の形態の研削・研磨工具51は、金属からなる台皿52の貼付面52aに略円柱状の砥石体53が接着固定されて構成される。
【0074】
一方、図13に示すように、研削・研磨工具51により加工されるレンズ54は、レンズ54は、例えば加工直径が1mm程度、曲率半径が1mm程度の略凸球面形状のレンズ面54aを有し、逆側は平面状の貼付面54bとなっている。さらに、レンズ54の貼付面54bと台皿55の貼付面55aが接着されている。
【0075】
図12に戻り、研削・研磨工具51の砥石体53は、研磨剤を樹脂ボンドで固めたものであり、砥石体53の上面には、工作物であるレンズ54の凸球面状のレンズ面54aを反転した凹球面状の加工面53aが形成されている。
【0076】
図14に示すように、砥石体53の加工面53aには、その中心点(底部)を通らない十字状に溝71が形成される。それぞれの溝71は、例えばその幅が0.15mm程度で、中心点から距離0.1mm程度だけ離れた位置に形成されている。図15は図14のB−B線断面であって、溝71の深さを示す断面図であり、溝71の深さは例えば0.3mm程度とする。
【0077】
そして、研削・研磨工具51とレンズ54は加工機(全体の図示は省略)に取り付け、研削・研磨加工を行う。
【0078】
図16に示すように、研削・研磨工具51は、駆動回転自在、駆動揺動自在、軸方向駆動直動自在の下軸81に螺着され、レンズ54を貼り付けた台皿55は駆動回転自在、軸方向駆動直動自在、軸方向荷重付加自在の上軸82に把持される。
【0079】
加工機には、加工液供給装置(図示省略)に連通する加工液ノズル33が設置されており、加工液ノズル33から研削・研磨工具51とレンズ54との当接部に加工液を射出することができる。
【0080】
加工機には、下軸81の駆動回転、駆動揺動、軸方向駆動直動と、上軸82の駆動回転を制御する制御装置(図示省略)が設置されている。制御装置は、レンズ54のレンズ面54aの曲率半径と研削・研磨工具51の高さ寸法が入力されると、下軸81の揺動中心と研削・研磨工具51の加工面53aの曲率中心が一致するような、下軸81の軸方向位置を算出する。
【0081】
(作用)
レンズ54のレンズ面54aに研削・研磨加工を行う手順を説明する。
最初、下軸81と上軸82は同一軸心上で直立しており、下軸81に取り付けられた研削・研磨工具51の加工面53aと上軸82に取り付けられたレンズ54のレンズ面54aとは、対向して離れて配置されている。
【0082】
あらかじめ制御装置(図示省略)には、レンズ面53aの曲率半径、研削・研磨工具51の高さ寸法、各軸の回転速度、揺動速度、揺動角度など、加工に必要な条件を入力しておく。
【0083】
次に、制御装置によって、下軸81を軸に沿って上向きに、上軸82を軸に沿って下向きにそれぞれ直動させ、研削・研磨工具51の加工面53aとレンズ面54aとを当接させ、上軸82から荷重を下向きに付加する。
【0084】
なお、このときの直動距離は、制御装置の計算によって、下軸81の揺動中心と研削・研磨工具51の加工面53aの曲率中心が一致するように決定されている。
【0085】
次に、加工液を加工液ノズル33からこの当接部に射出しながら、下軸81と上軸82をそれぞれ軸まわりに回転させ、加工面53aの曲率中心まわりで下軸81を揺動させる。
【0086】
下軸81の揺動は、レンズ面54aの中心点を境に例えば±9°程度以上に設定する。レンズ面54aをできるだけ均一に加工するため、揺動はなるべく大きめにするのが望ましいが、一方で、揺動が大きすぎて、加工面53aがレンズ面54aから脱落しないようにする。
【0087】
下軸81と上軸82の回転、揺動動作によって、加工面53aに存在する砥粒がレンズ面54aを微視的に除去していき、レンズ面54aの表面粗さを小さくしていく。このとき、発生する加工屑と熱は、介在する加工液によって、外部へ放出される。
【0088】
加工の終了時は、下軸81の揺動を停止し、上軸82を軸に沿って上向きに直動させ、研削・研磨工具51の加工面53aとレンズ面54aとを離脱させ、下軸81と上軸82のそれぞれの回転を停止させる。
【0089】
上軸82からレンズ54を貼り付けた台皿55を取り外し、さらに、台皿55から剥離することで、研削・研磨加工が施されたレンズ54を得る。
【0090】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、荷重機構を上軸に、揺動機構を下軸に分担させることで、100gf程度の微小荷重を発生させる機構が容易になる効果がある。
【0091】
また、荷重機構を持たないことで重量を低減した揺動機構は、その所要の駆動力を低減できる効果がある。
【0092】
また、研削・研磨工具の加工面に、その中心点(頂部)を通らない十字状に溝を形成することによって、レンズ面の中心点(頂部)に加工面が当接する機会が多くあり、レンズ面中心点の面精度の悪化(いわゆる中心クセの発生)を防ぐ効果がある。
【0093】
第9の実施の形態:
図17は本発明の第9の実施の形態に係るマイクロメータで研削・研磨工具の高さ寸法を測定する様子を示す側面図である。
【0094】
第9の実施の形態は、第8の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0095】
研削・研磨工具51の構成は第8の実施の形態と同じであり、砥石体53の加工面53aには、その中心点(底部)を通らない十字状に溝71が形成される。
【0096】
研削・研磨工具51でレンズ54を加工する前に、図17に示すように、研削・研磨工具51をマイクロメータ41の端子41cと端子41dに挟んで、研削・研磨工具51の高さ寸法を測定する。
【0097】
なお、加工面53aに当撲する端子41cの先端は、加工面53aより小さい曲率の凸球面形状とする。また、台皿52の底部に当接する端子41dの先端は、平面形状とする。
【0098】
加工の際、加工機の制御装置(図示省略)に研削・研磨工具51の高さ寸法値を入力する。制御装置は、砥石面53aの曲率半径などからの計算に基づき、下軸81を直動させ、図16に示すように、下軸81の揺動中心点と加工面53aの曲率中心点とを一致させる。
【0099】
その他の構成は第8の実施の形態と同じである。
【0100】
(作用)
研削・研磨工具51をマイクロメータ41の端子41cと端子41dで挟んで、研削・研磨工具51の高さ寸法を測定する際、端子41cは加工面53aの中心点(底部)に当接する。
【0101】
下軸81の軸方向位置は、研削・研磨工具51の高さ寸法測定値に基づいて設定するので、加工時の下軸81の揺動中心点と加工面53aの曲率中心点とを一致させる設定にできる。よって、加工時、加工面53aはレンズ面54aに沿って滑らかに移動する。
【0102】
その他の作用は第8の実施の形態と同じである。
【0103】
(効果)
以上のように、本実施の形態では、第8の実施の形態の効果に加え、研削・研磨工具の加工面の中心点(底部)に溝や孔が存在しないので、マイクロメータで研削・研磨工具の高さを測定する際、測定端子が加工面の中心点(底部)に確実に当接し、研削・研磨工具の高さ寸法が正確に測定される効果がある。
【0104】
また、研削・研磨工具の高さを測定する際、測定端子が砥石面の溝や孔の縁部に当接しないので、この部分を破損することがない効果がある。
【0105】
また、加工装置に正確な研削・研磨工具の高さ寸法を入力できるので、研削・研磨工具の加工面に沿った正確な軌跡で、揺動させることが可能となり、面精度の悪化が防止される効果がある。
【0106】
本発明の第1〜第7の実施の形態において、加工機の上軸が揺動し、下軸が揺動しない構成としたが、下軸が揺動し、上軸が揺動しない構成としても構わない。
【0107】
本発明の第8及び第9の実施の形態において、加工機の下軸が揺動し、上軸が揺動しない構成としたが、上軸が揺動し、下軸が揺動しない構成としても構わない。
【0108】
本発明の第1〜第9の実施の形態において、加工機の上軸、下軸の片方を球心揺動させる構成としたが、両方の軸が動作し、相対的に球心揺動と同様になる構成としても構わない。
【0109】
本発明の第1〜第7の実施の形態において、加工機でレンズ単体を保持する構成としたが、レンズを台皿に貼り付け、台皿を保持する構成としても構わない。
【0110】
本発明の第8及び第9の実施の形態において、レンズを台皿に貼り付け、加工機で台皿を保持する構成としたが、レンズ単体を保持する構成としても構わない。
【0111】
本発明の第1〜第9の実施の形態において、レンズの裏面は平面としたが、凹面、凸面など他の形状としても構わない。なお、レンズを台皿に貼り付ける場合、台皿の貼付面はレンズの裏面を転写した形状とする。
【0112】
本発明の第1〜第9の実施の形態において、工作物をガラス製のレンズとしたが、セラミックスなど他の材料からなる光学素子、または、凹球面や凸球面形状を有する他の工作物としても構わない。
【0113】
本発明の第1〜第4の実施の形態において、ダイヤモンド砥粒を樹脂ボンド中に分散して焼結させた砥石体を用いたが、窒化ホウ素、酸化セリウムなどほかの粒子を砥粒として用いたり、メタルボンドなどほかの物質をボンドとして用いても構わない。
【0114】
本発明の第8及び第9の実施の形態において、研磨剤を樹脂ボンド中に分散して焼結させた砥石体を用いたが、ダイヤモンド、窒化ホウ素などほかの砥粒として用いたり、メタルボンドなどほかの物質をボンドとして用いても構わない。
【0115】
本発明の第1〜第9の実施の形態において、研削・研磨工具としで、砥粒をボンド中に分散して固定した固定砥粒砥石を用い、水などの加工液を加工部に供給する固定砥粒加工としたが、研削・研磨工具として、その加工面がピッチやフェルト・シートからなるポリシャを用い、研磨剤などの遊離砥粒を加工部に供給する遊離砥粒加工としても構わない。
【0116】
本発明の第2及び第9の実施の形態において、研削・研磨工具の高さ寸法を測定するのにマイクロメータを用いたが、ほかの接触式の測長方法や、レーザー測長器などを用いた非接触式の測長方法によっても構わない。
【0117】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。
【0118】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、微小な工作物球面の研削・研磨加工を行う場合に、準備が容易かつ安価であって、工作物球面を高い面精度に仕上げることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る研削・研磨工具の構成を示す斜視図
【図2】図1の研削・研磨工具で加工されるレンズの断面を示す断面図
【図3】図1の砥石体の加工面を示す上面図
【図4】図1の砥石体の加工面に形成された溝を示す略断面図
【図5】加工装置での図1の研削・研磨工具と図2のレンズとの取り付け状態を示す略断面図
【図6】本発明の第2の実施の形態に係るマイクロメータで研削・研磨工具の高さ寸法を測定する様子を示す側面図
【図7】本発明の第3の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図
【図8】本発明の第4の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図
【図9】本発明の第5の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図
【図10】本発明の第6の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図
【図11】本発明の第7の実施の形態に係る砥石体の加工面を示す上面図
【図12】本発明の第8の実施の形態に係る研削・研磨工具の構成を示す斜視図
【図13】図12の研削・研磨工具で加工されるレンズの断面を示す断面図
【図14】図12の砥石体の加工面を示す上面図
【図15】図12の砥石体の加工面に形成された溝を示す略断面図
【図16】加工装置での図12の研削・研磨工具と図13のレンズとの取り付け状態を示す略断面図
【図17】本発明の第9の実施の形態に係るマイクロメータで研削・研磨工具の高さ寸法を測定する様子を示す側面図
【図18】従来技術における砥石を示す上面図
【図19】従来技術における砥石を示す側面略断面図
【図20】従来技術における砥石の高さ寸法をマイクロメータで測定する様子を示す側面図
【図21】従来技術における砥石による光学素子の加工を示す第1の略断面図
【図22】従来技術における砥石による光学素子の加工を示す第2の略断面図
【図23】従来技術における光学素子の干渉縞を示す図
【図24】従来技術における砥石の加工面とマイクロメータの端子との当接状態を示す略断面図
【符号の説明】
1…研削・研磨工具
2…台皿
2a…貼付面
3…砥石体
3a…加工面
4…レンズ
4a…レンズ面
21…溝
31…下軸
32…上軸
33…加工液ノズル
Claims (5)
- 工作物の球面に倣わせる球面の加工面を有する研削・研磨工具において、
前記工作物の球面と当接する前記加工面上で、前記加工面の中心から外れた位置に溝が形成されている
ことを特徴とする球面の研削・研磨工具。 - 工作物の凸球面に倣わせる凹球面状の球面の加工面を有する研削・研磨工具において、
前記工作物の凸球面と当接する前記加工面上で、前記加工面の底部から外れた位置に溝が形成されている
ことを特徴とする球面の研削・研磨工具。 - 工作物の凹球面に倣わせる凸球面状の球面の加工面を有する研削・研磨工具において、
前記工作物の凹球面と当接する前記加工面上で、前記加工面の頂部から外れた位置に溝が形成されている
ことを特徴とする球面の研削・研磨工具。 - 工作物の球面に球面の研削・研磨工具を倣わせ、これらを相対的に揺動、回転させる研削・研磨加工方法において、
請求項1、2または3のいずれか1つに記載の球面の研削・研磨工具を用い、該球面の研削・研磨工具と前記工作物とを相対的な揺動させることによって、前記工作物の球面中心に前記工具の加工面が当接する状態が必ず存在する
ことを特徴とする球面の研削・研磨加工方法。 - 前記工作物は、略球面状の被加工面を有するレンズである
ことを特徴とする請求項4に記載の球面の研削・研磨加工方法。
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JP2008168402A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Fujinon Corp | 光学素子の研削装置及び研削方法 |
CN102717343A (zh) * | 2012-06-11 | 2012-10-10 | 哈尔滨工业大学 | 一种带有容屑槽的球头铣磨工具 |
JP2013043255A (ja) * | 2011-08-25 | 2013-03-04 | Yasuda Kogyo Kk | 仕上加工用工具及びその工具を用いた加工方法 |
JP2013111688A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Olympus Corp | 光学素子加工用工具、光学素子加工用工具の製造方法、及び光学素子の製造方法 |
-
2003
- 2003-02-27 JP JP2003051852A patent/JP2004255549A/ja active Pending
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