JP4702765B2 - 振動研磨方法およびその装置 - Google Patents
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V=2πrω・sinθ (2)
ここで、ωは回転数、rはポリシャ半径である。
微小な曲面形状を有する工作物表面に非回転工具を押し付けて工作物表面を研磨するとともに前記工作物における表面加工形状を測定し、その測定結果に基づいて非回転工具を制御して、工作物における表面加工形状を修正する研磨方法であって、前記微小な曲面形状に軟質の非回転工具を被加工面に法線方向から一定圧力で押し付けながら加工面に対して平行な方向に前記非回転工具を超音波振動させ、さらに、前記超音波振動をしている非回転工具に円運動又は楕円運動を付与しながら、前記工具と前記加工面との接触部に砥粒を分散させた液体をかけて研磨することを特徴とする振動研磨方法である。
また、前記記載の振動研磨方法に使用する振動研磨装置であって、前記振動研磨装置は、前記工作物の加工面の表面加工形状を測定する測定手段と、該測定手段の測定結果に基づいて、前記非回転工具を制御する制御手段と、前記非回転工具に工作物の加工面と平行に超音波振動を付与する超音波振動付与手段と、前記超音波振動付与手段の振動子の先端に設置した軟質の非回転工具を被加工面に法線方向から一定圧力で押し付ける圧力付与手段と、前記非回転工具に円運動、楕円運動を付与する運動付与手段と、前記非回転工具と工作物の加工面の接触部に砥粒を分散させた液体をかける研磨剤噴射手段とを備えたことを特徴とする振動研磨装置である。
本発明の研磨法を従来の方法と比較して述べる。加工量をδ、加工圧をP、工具と工作物の相対速度をV、研磨時間をtとする、δはPrestonの法則より次式で表される。
δ=k・P・V・t (1)
ここで、kはワーク材料や砥粒などの研磨条件て決まる定数である。従来の微小回転工具研磨法では、前記段落0004にて説明したように、ポリシャ等の軟質の工具を所定の傾斜角(θとする)に傾斜させて回転させ、加工荷重(Wとする)を負荷し、遊離砥粒懸濁液を噴霧しつつ、送り速度を制御しながら形状創成するが、この場合の加工点における回転工具と工作物の相対速度Vは V=2πrω・sinθ(式2:ωは回転数、rはポリシャ半径)で表せる。
V=2λ・ν (3)
ここで、λは超音波の振幅、νは振動数である。
本発明で試作した卓上研磨装置の概略図を図2に、その外観写真を図3に示す。5軸(X,Y,Z,A,C)同時4軸制御のNC制御装置に、超音波付与手段である超音波振動子を搭載した。超音波振動子に棒状のステンレス製アームを取り付け、その先端に微小なポリシャを接着して研磨加工を行った。超音波研磨ヘッドは1点の支点で支えられており、その点を中心にバランスが採られている。研磨荷重は研磨工具上方に圧力付与手段としての錘を固定することにより調整した。各種の錘を取り付けたときの加工点に作用する荷重はあらかじめ電子天秤により校正した。
実験手順ははじめに平面のソーダガラス試料を用いて基礎的研磨特性の評価を行った。最後に工具の滞留時間を制御し、平面サンプルを用いて非球曲創成実験を行い、マイクロ非球面の修正研磨の可能性について検討を行った。実験条件を図12に示す。試料は予め前加工し、熱可塑性のワックスでワークジグに貼り付けて固定し、研磨剤噴射手段として遊離砥粒の懸濁水を噴霧しながら実験した。ポリシャには半導体の研磨に用いられる軟質ポリシャSUBA400(ロデールニッタ製)を□2mmに切断して用いた。図4に示すように、カラス基板の□4mmの領域においてX方向の走査とΔYのピックフィードを繰り返して均等研磨を行った。
t=S/(ΔY・Fx (X,Y)) (4)
ここで、Sは回転工具を工作物に押し付けてできる単一加工痕の面積、Fx (X,Y)は工具のX方向走査速度である。したがって、形状創成する場合に必要加工量分布をδ(X,Y)とすると、各座標(X,Y)において工具に要求される走査速度Fx (X、Y)は次式で与えられる。
Fx (X,Y)=k・W・V/(ΔY・δ(X,Y)) (5)
<平面実験>
はじめに、ソーダガラスを研磨して得られた基礎実験の結果について述べる。研磨時間と加工量の関係を図5に示す。加工圧を29.4〜78.4kPaと変化させて、ダイヤモンド砥粒を用いて図12の研磨条件で加工した。いずれの加工圧においても加工量は時間の経過とともにほぼ比例して増加している。次に、この結果を基に計算した研磨圧力と研磨速度の関係を図6に示す。研磨圧力と研磨速度は比例関係にあることが確認でき、従来の研磨法と同様にPrestonの法則が成り立っていることがわかる。このことから本研磨法においても形状修正研磨を行う上で形状精度が向上しやすいことがわかる。
最後に非球面形状ガラスレンズを創成した結果を示す。ここでは平面形状のソーダガラスサンプルを用い、X方向には一定でY方向に深さ分布をもつ2次元的非球面の創成実験を行った。形状創成実験では図11に示すように□4mmの面積において、滞留時間を制御しながら工具を走査した。研磨条件を図13に示す。目標の非球面形状は約0.5μmのサグ量で、Y方向に分布を持つ非球面形状とした。研磨実験の結果を図14に示す。横軸はY方向の位置で、縦軸は目標の非球面からの偏差量である。形状精度は曲率半径2μmのダイヤモンドスタイラスを有する形状測定器UA3P(松下電器製)を用いて、Y方向の断面を測定し、そのデジタルデータをパーソナルコンピュータに取り込み評価した。図では研磨が行われない両端部の高さ方向位置が一致するように表示した。研磨前に約0.46μmP−Vの形状誤差があったものが、研磨後に約0.1μmP−Vに改善されており、マイクロ非球面の形状修正にも本プロセスが有効であることがわかる。なお、本実験ではサグ量の小さな形状について検討したが、実際の非球面成形型では深い形状になる。その場合は、図2のA軸を用いて工具の法線方向制御を行う必要がある。
本発明では、マイクロレンズの型の仕上げ研磨を行うため、微小なポリシャを被加工面に法線方向から一定荷重で押し付け、遊離砥粒を噴霧しながら超音波を付加することにより、研削加工面を仕上げ加工する新しい方法を提案した。本発明では卓上型のX,Y,Z軸駆動の同時3軸制御の超音波援用マイクロ研磨装置を開発し、ガラス基板と微粒子超硬合金製基板を用いて、本発明の研磨法の基本的研磨特性を調べるとともに、平面形状のガラスサンプルを用いた非球面形状創成実験を行い、本発明の研磨法の可能性検証を行った。その結果、以下のことが明らかとなった。
(1)本研磨法でも、加工圧と加工速度は比例関係にあり、従来の回転工具と同様にPrestonの法則が成立することが確認でき、形状修正に適している。
(2)非回転工具である超音波振動工具を用いれば、ガラス材では表曲粗さが若干劣るが、微粒子超硬合金では約11nmRyと良好に研磨される。
(3)非球面形状の創成実験を行い、工具走査速度を制御することにより、約0.1μmP−Vの形状精度の非球面を創成することができ、本研磨法の非球面創成研磨への有効性が明らかとなった。
Claims (2)
- 微小な曲面形状を有する工作物表面に非回転工具を押し付けて工作物表面を研磨するとともに前記工作物における表面加工形状を測定し、その測定結果に基づいて非回転工具を制御して、工作物における表面加工形状を修正する研磨方法であって、前記微小な曲面形状に軟質の非回転工具を被加工面に法線方向から一定圧力で押し付けながら加工面に対して平行な方向に前記非回転工具を超音波振動させ、さらに、前記超音波振動をしている非回転工具に円運動又は楕円運動を付与しながら、前記工具と前記加工面との接触部に砥粒を分散させた液体をかけて研磨することを特徴とする振動研磨方法。
- 前記請求項1に記載の振動研磨方法に使用する振動研磨装置であって、前記振動研磨装置は、前記工作物の加工面の表面加工形状を測定する測定手段と、該測定手段の測定結果に基づいて、前記非回転工具を制御する制御手段と、前記非回転工具に工作物の加工面と平行に超音波振動を付与する超音波振動付与手段と、前記超音波振動付与手段の振動子の先端に設置した軟質の非回転工具を被加工面に法線方向から一定圧力で押し付ける圧力付与手段と、前記非回転工具に円運動、楕円運動を付与する運動付与手段と、前記非回転工具と工作物の加工面の接触部に砥粒を分散させた液体をかける研磨剤噴射手段とを備えたことを特徴とする振動研磨装置。
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