JPH0557591A - 研磨方法および装置 - Google Patents
研磨方法および装置Info
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- JPH0557591A JPH0557591A JP24689291A JP24689291A JPH0557591A JP H0557591 A JPH0557591 A JP H0557591A JP 24689291 A JP24689291 A JP 24689291A JP 24689291 A JP24689291 A JP 24689291A JP H0557591 A JPH0557591 A JP H0557591A
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- lens
- polishing
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- tool
- polishing liquid
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］ 上側工具および下側工具より噴射する研磨液
の噴射エネルギーによりレンズを研磨する。これによ
り、従来は工具同士が干渉して研磨加工が困難であった
レンズ形状においても容易にレンズの両面を同時研磨す
る。 ［構成］ 上側工具３ａおよび下側工具３ｂは、内部が
空洞に構成されレンズ中心軸Ｌに対して円周方向に研磨
材４が噴出する貫通孔２を表面に持つ。また、その表面
部の形状は対向したレンズ１の各面の曲率半径にそれぞ
れ近似した形状に形成されている。各上下側工具３ａ、
３ｂの空洞部に研磨液４を供給する供給装置５より構成
されている。
の噴射エネルギーによりレンズを研磨する。これによ
り、従来は工具同士が干渉して研磨加工が困難であった
レンズ形状においても容易にレンズの両面を同時研磨す
る。 ［構成］ 上側工具３ａおよび下側工具３ｂは、内部が
空洞に構成されレンズ中心軸Ｌに対して円周方向に研磨
材４が噴出する貫通孔２を表面に持つ。また、その表面
部の形状は対向したレンズ１の各面の曲率半径にそれぞ
れ近似した形状に形成されている。各上下側工具３ａ、
３ｂの空洞部に研磨液４を供給する供給装置５より構成
されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学素子であるレンズ
の両面を同時に研磨加工する方法および装置に関する。
の両面を同時に研磨加工する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズの両面を同時に研磨する方
法として、例えば特公昭６３ー２０６７３号公報記載の
発明がある。
法として、例えば特公昭６３ー２０６７３号公報記載の
発明がある。
【０００３】上記発明は、上下研磨皿の研磨面がレンズ
両面の曲率とそれぞれ対応する曲面に形成されており、
その研磨面を対向させてレンズを狭圧保持し、回転させ
ることによりレンズの両面を同時に研磨する方法であ
る。
両面の曲率とそれぞれ対応する曲面に形成されており、
その研磨面を対向させてレンズを狭圧保持し、回転させ
ることによりレンズの両面を同時に研磨する方法であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記特公昭
６３ー２０６７３号公報に記載されるレンズの両面を同
時に研磨する方法（以下、両面同時研磨方法という）で
は、研磨加工が行えるレンズ形状が少なく、汎用性が低
い欠点がある。
６３ー２０６７３号公報に記載されるレンズの両面を同
時に研磨する方法（以下、両面同時研磨方法という）で
は、研磨加工が行えるレンズ形状が少なく、汎用性が低
い欠点がある。
【０００５】すなわち、上記両面同時研磨方法では、レ
ンズ片面の加工面に研磨皿を押し当てて研磨皿の回転に
より研磨する一般的なレンズの片面研磨方法と同様の方
法であり、レンズの両面にそれぞれ研磨皿を押し当てて
研磨しているに過ぎない。従って、一般的な研磨と同様
に安定した研磨加工をするためには、工具の径をレンズ
の径に対して１．３〜２．０倍の大きさに設定しなくて
はならない。
ンズ片面の加工面に研磨皿を押し当てて研磨皿の回転に
より研磨する一般的なレンズの片面研磨方法と同様の方
法であり、レンズの両面にそれぞれ研磨皿を押し当てて
研磨しているに過ぎない。従って、一般的な研磨と同様
に安定した研磨加工をするためには、工具の径をレンズ
の径に対して１．３〜２．０倍の大きさに設定しなくて
はならない。
【０００６】このため、片面の研磨加工であれば工具も
１つであるため特に問題はないが、両面を工具により狭
持して同時に研磨する場合は、工具が１．３〜２．０倍
の大きさであると、レンズの形状によっては両者の工具
が干渉するため研磨加工が出来ない。特に凸レンズで曲
率半径が小さい場合は研磨加工が不可能である。
１つであるため特に問題はないが、両面を工具により狭
持して同時に研磨する場合は、工具が１．３〜２．０倍
の大きさであると、レンズの形状によっては両者の工具
が干渉するため研磨加工が出来ない。特に凸レンズで曲
率半径が小さい場合は研磨加工が不可能である。
【０００７】因って、本発明は上記欠点に鑑みて開発さ
れたもので、高い汎用性を有するとともにレンズの両面
を同時に研磨することのできる研磨方法および装置の提
供を目的とする。
れたもので、高い汎用性を有するとともにレンズの両面
を同時に研磨することのできる研磨方法および装置の提
供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、レンズの両面
のそれぞれの曲率半径に近似した形状を有する２つの工
具と、該工具の表面より噴出する研磨液とにより、レン
ズを非接触で挟持しつつレンズの両面を同時に研磨加工
する方法である。
のそれぞれの曲率半径に近似した形状を有する２つの工
具と、該工具の表面より噴出する研磨液とにより、レン
ズを非接触で挟持しつつレンズの両面を同時に研磨加工
する方法である。
【０００９】また、同軸上に対向配設した内部が空洞の
上側工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率
半径にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その
表面に中心より円周方向に向って螺旋状の貫通孔を多数
穿設した各上下側工具と、前記各上下側工具の空洞に研
磨液を供給する供給装置とから構成したものである。
上側工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率
半径にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その
表面に中心より円周方向に向って螺旋状の貫通孔を多数
穿設した各上下側工具と、前記各上下側工具の空洞に研
磨液を供給する供給装置とから構成したものである。
【００１０】さらに、同軸上に対向配設した内部が空洞
の上側工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲
率半径にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、そ
の表面に貫通孔を多数穿設した各上下側工具と、該各上
下側工具をレンズ中心軸の回りに回転させる回転装置
と、前記各上下側工具の空洞に研磨液を供給する供給装
置とから構成したものである。
の上側工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲
率半径にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、そ
の表面に貫通孔を多数穿設した各上下側工具と、該各上
下側工具をレンズ中心軸の回りに回転させる回転装置
と、前記各上下側工具の空洞に研磨液を供給する供給装
置とから構成したものである。
【００１１】また、同軸上に対向配設した内部が空洞の
上側工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率
半径にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その
表面に中心より円周方向に向って螺旋状の貫通孔を多数
穿設した各上下側工具と、前記各上下側工具の空洞に研
磨液を供給する供給装置と、該研磨液に超音波振動を与
える超音波振動子とから構成したものである。
上側工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率
半径にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その
表面に中心より円周方向に向って螺旋状の貫通孔を多数
穿設した各上下側工具と、前記各上下側工具の空洞に研
磨液を供給する供給装置と、該研磨液に超音波振動を与
える超音波振動子とから構成したものである。
【００１２】図１〜図４は本発明に係る研磨方法に用い
る装置を示し、図１は概念図、図２は図１の要部を示す
拡大斜視図、図３および図４は概念図である。
る装置を示し、図１は概念図、図２は図１の要部を示す
拡大斜視図、図３および図４は概念図である。
【００１３】図１および図２に示す様に、内部が空洞に
構成されレンズ中心軸Ｌに対して円周方向に研磨液４が
噴出する貫通孔２を表面に持ち、かつその表面部の形状
が対抗したレンズ１の各面の曲率半径にそれぞれ近似し
た形状を持つ２種類の工具３ａ，３ｂと、その工具３
ａ，３ｂの空洞部に研磨液４を供給する供給装置５より
構成する研磨装置。
構成されレンズ中心軸Ｌに対して円周方向に研磨液４が
噴出する貫通孔２を表面に持ち、かつその表面部の形状
が対抗したレンズ１の各面の曲率半径にそれぞれ近似し
た形状を持つ２種類の工具３ａ，３ｂと、その工具３
ａ，３ｂの空洞部に研磨液４を供給する供給装置５より
構成する研磨装置。
【００１４】また、図３に示す様に、内部が空洞に構成
され表面に研磨液４が噴出する貫通孔２を持ち、かつそ
の表面部の形状が対向したレンズ１の各面の曲率半径に
それぞれ近似した曲率半径を持つ２種類の工具３ａ，３
ｂと、その工具３ａ，３ｂの空洞部に研磨液４を供給す
る供給装置５と、さらにその工具３ａ，３ｂをレンズ中
心軸Ｌの回りに回転させる回転装置６とより構成する研
磨装置。
され表面に研磨液４が噴出する貫通孔２を持ち、かつそ
の表面部の形状が対向したレンズ１の各面の曲率半径に
それぞれ近似した曲率半径を持つ２種類の工具３ａ，３
ｂと、その工具３ａ，３ｂの空洞部に研磨液４を供給す
る供給装置５と、さらにその工具３ａ，３ｂをレンズ中
心軸Ｌの回りに回転させる回転装置６とより構成する研
磨装置。
【００１５】さらに、図４に示す様に、内部が空洞に構
成されレンズ中心軸Ｌに対して円周方向に研磨液４が噴
出する貫通孔２を表面に持ち、かつその表面部の形状が
対向したレンズ１の各面の曲率半径にそれぞれ近似した
形状を持つ２種類の工具３ａ，ｂと、その工具３ａ，３
ｂの空洞部に研磨液４を供給する供給装置５と、研磨液
４に超音波振動を付加する振動子７とにより構成する研
磨装置。
成されレンズ中心軸Ｌに対して円周方向に研磨液４が噴
出する貫通孔２を表面に持ち、かつその表面部の形状が
対向したレンズ１の各面の曲率半径にそれぞれ近似した
形状を持つ２種類の工具３ａ，ｂと、その工具３ａ，３
ｂの空洞部に研磨液４を供給する供給装置５と、研磨液
４に超音波振動を付加する振動子７とにより構成する研
磨装置。
【００１６】
【作用】本発明では、貫通孔２より噴出される研磨液４
の動圧によりレンズ１を浮遊させ、さらに浮遊したレン
ズ１に衝突する研磨液４の衝突エネルギーにより研磨加
工を行うため、従来の一般的な研磨方法とは異なり工具
３ａ，３ｂの径をレンズ１の径に対して同等の径に設定
すれば良い。このため、前記従来技術にて示した様な問
題も無く、レンズ１の両面を同時に研磨加工することが
できる。
の動圧によりレンズ１を浮遊させ、さらに浮遊したレン
ズ１に衝突する研磨液４の衝突エネルギーにより研磨加
工を行うため、従来の一般的な研磨方法とは異なり工具
３ａ，３ｂの径をレンズ１の径に対して同等の径に設定
すれば良い。このため、前記従来技術にて示した様な問
題も無く、レンズ１の両面を同時に研磨加工することが
できる。
【００１７】また、非球面レンズの非球面形状に近似し
た形状の工具を用いることにより、非球面レンズを研磨
することができる。
た形状の工具を用いることにより、非球面レンズを研磨
することができる。
【００１８】
【実施例１】図５および図６は本実施例で用いる装置を
示し、図５は縦断面図、図６は上側工具の斜視図であ
る。
示し、図５は縦断面図、図６は上側工具の斜視図であ
る。
【００１９】１１は両面同時研磨装置で、この両面同時
研磨装置１１はタライ１２の内部に固設された下側工具
１３ｂと、この下側工具１３ｂの同軸上を上下動自在に
対向配設された上側工具１３ａと、タライ１２の近傍に
設置された研磨液１４の供給装置１５とから構成されて
いる。
研磨装置１１はタライ１２の内部に固設された下側工具
１３ｂと、この下側工具１３ｂの同軸上を上下動自在に
対向配設された上側工具１３ａと、タライ１２の近傍に
設置された研磨液１４の供給装置１５とから構成されて
いる。
【００２０】研磨加工の際に飛散する研磨液１４を受け
止めるタライ１２の内部底面には、内部に流通孔１６ａ
を有するベース１６がネジ１７により固定されており、
ベース１６の上部にはＯリング１８を介して内部が空洞
の下側工具１３ｂがネジ１９により取着されている。
止めるタライ１２の内部底面には、内部に流通孔１６ａ
を有するベース１６がネジ１７により固定されており、
ベース１６の上部にはＯリング１８を介して内部が空洞
の下側工具１３ｂがネジ１９により取着されている。
【００２１】内部が空洞の上側工具１３ａは、図示省略
した上下動可能な上軸に固定された内部に流通孔２０ａ
を有するベース２０へＯリング２１を介してネジ２２に
より取着されている。
した上下動可能な上軸に固定された内部に流通孔２０ａ
を有するベース２０へＯリング２１を介してネジ２２に
より取着されている。
【００２２】本実施例で加工されるレンズ２３は凹凸レ
ンズであり、上側工具１３ａの研磨液噴射面はレンズ２
３の凹面に対応させて凸面に、下側工具１３ｂの研磨液
噴射面はレンズ２３の凸面に対応させて凹面にそれぞれ
形成されている。
ンズであり、上側工具１３ａの研磨液噴射面はレンズ２
３の凹面に対応させて凸面に、下側工具１３ｂの研磨液
噴射面はレンズ２３の凸面に対応させて凹面にそれぞれ
形成されている。
【００２３】上側工具１３ａの研磨液噴射面の形状は、
レンズ２３の上面の曲率半径より隙間ｈ0 小さな曲率の
凸球面とすることにより、上側工具１３ａの研磨液噴射
面とレンズ２３の上面との間隔を一定にできる様に形成
されている。また、下側工具１３ｂの研磨液噴射面の形
状はレンズ２３の下面の曲率半径より隙間ｈ1 大きな曲
率の凹球面とすることにより、下側工側１３ｂの研磨液
噴射面とレンズ２３の下面との間隔を一定にできる様に
形成されている。
レンズ２３の上面の曲率半径より隙間ｈ0 小さな曲率の
凸球面とすることにより、上側工具１３ａの研磨液噴射
面とレンズ２３の上面との間隔を一定にできる様に形成
されている。また、下側工具１３ｂの研磨液噴射面の形
状はレンズ２３の下面の曲率半径より隙間ｈ1 大きな曲
率の凹球面とすることにより、下側工側１３ｂの研磨液
噴射面とレンズ２３の下面との間隔を一定にできる様に
形成されている。
【００２４】そして、各上下側工具１３ａ，１３ｂは研
磨液１４の噴射により、上側工具１３ａはレンズ２３の
上面から隙間ｈ0 、下側工具１３ｂはレンズ２３の下面
から隙間ｈ1 離れてレンズ２３を非接触で挟持できると
ともに、レンズ２３に回転を与えることができる様に構
成されている。
磨液１４の噴射により、上側工具１３ａはレンズ２３の
上面から隙間ｈ0 、下側工具１３ｂはレンズ２３の下面
から隙間ｈ1 離れてレンズ２３を非接触で挟持できると
ともに、レンズ２３に回転を与えることができる様に構
成されている。
【００２５】すなわち、図６に示す様に、各上下側工具
１３ａ，１３ｂには研磨液噴射面に対し、傾斜して貫通
する多数の貫通孔２４が穿設されている。この貫通孔２
４の配列は各上下側工具１３ａ，１３ｂの中心より螺旋
状に設けられている。
１３ａ，１３ｂには研磨液噴射面に対し、傾斜して貫通
する多数の貫通孔２４が穿設されている。この貫通孔２
４の配列は各上下側工具１３ａ，１３ｂの中心より螺旋
状に設けられている。
【００２６】研磨液１４の供給装置１５は、研磨液１４
を溜めるタンク２５とタンク２５に設置されたポンプ２
６とにより構成されている。ポンプ２６は管２７および
継ぎ手２８を介してベース１６およびベース２０の各流
通孔１６ａ２，２０ａと接続されている。
を溜めるタンク２５とタンク２５に設置されたポンプ２
６とにより構成されている。ポンプ２６は管２７および
継ぎ手２８を介してベース１６およびベース２０の各流
通孔１６ａ２，２０ａと接続されている。
【００２７】以上の構成から成る装置を用いて研磨方法
は、まずポンプ２６を始動してタンク２５内の研磨液１
４を各上下側工具１３ａ，１３ｂの貫通孔２４より噴射
させる。研磨液１４の噴射により、レンズ２３を非接触
で両面より挟圧保持するとともに、その噴射する研磨液
１４の液体摩擦によりレンズ２３を回転させながら研磨
加工を行う。
は、まずポンプ２６を始動してタンク２５内の研磨液１
４を各上下側工具１３ａ，１３ｂの貫通孔２４より噴射
させる。研磨液１４の噴射により、レンズ２３を非接触
で両面より挟圧保持するとともに、その噴射する研磨液
１４の液体摩擦によりレンズ２３を回転させながら研磨
加工を行う。
【００２８】本実施例によれば、従来のような工具をレ
ンズに押し当てることにより加工を行う方法と異なり、
研磨液１４の噴射エネルギーにより研磨加工を行うた
め、従来のように工具径をレンズ径より大きく設定しり
必要がない。これにより、従来では両凸レンズなどで工
具どうしが干渉して研磨加工が行えなかった様な形状の
レンズでも、両面を同時に上側工具１３ａと下側工具１
３ｂとにより非接触で挟持しつつ研磨することができ
る。さらに本実施例では、研磨液１４をレンズ２３に対
して螺旋状に噴射するため、その噴射力によりレンズ２
３が研磨されると同時に、研磨液による流体摩擦によっ
てレンズ２３に回転運動が生じるため、従来のような回
転運動を与える機構が不要である。
ンズに押し当てることにより加工を行う方法と異なり、
研磨液１４の噴射エネルギーにより研磨加工を行うた
め、従来のように工具径をレンズ径より大きく設定しり
必要がない。これにより、従来では両凸レンズなどで工
具どうしが干渉して研磨加工が行えなかった様な形状の
レンズでも、両面を同時に上側工具１３ａと下側工具１
３ｂとにより非接触で挟持しつつ研磨することができ
る。さらに本実施例では、研磨液１４をレンズ２３に対
して螺旋状に噴射するため、その噴射力によりレンズ２
３が研磨されると同時に、研磨液による流体摩擦によっ
てレンズ２３に回転運動が生じるため、従来のような回
転運動を与える機構が不要である。
【００２９】尚、上側工具１３ａおよび下側工具１３ｂ
へ螺旋状に設けた貫通孔２４に代わり、螺旋状に切られ
た貫通した溝を使用してもよい。
へ螺旋状に設けた貫通孔２４に代わり、螺旋状に切られ
た貫通した溝を使用してもよい。
【００３０】また、上側工具１３ａおよび下側工具１３
ｂの形状は本実施例に限定するものではなく、噴射した
研磨液１４によりレンズ２３を非接触で挟持し、かつレ
ンズ２３に回転を与えることにより研磨可能な構造であ
ればよい。例えば、本実施例で使用した工具３以外に、
研磨液を噴射する部材にパイプ状のものを束ねて使用し
てもよい。
ｂの形状は本実施例に限定するものではなく、噴射した
研磨液１４によりレンズ２３を非接触で挟持し、かつレ
ンズ２３に回転を与えることにより研磨可能な構造であ
ればよい。例えば、本実施例で使用した工具３以外に、
研磨液を噴射する部材にパイプ状のものを束ねて使用し
てもよい。
【００３１】さらに、両凹，両凸などの凹凸レンズ以外
の球面レンズや非球面レンズの研磨を行う場合、レンズ
の光学面に近似した形状の上側工具および下側工具を使
用することにより、本実施例と同様の効果を得ることが
できる。
の球面レンズや非球面レンズの研磨を行う場合、レンズ
の光学面に近似した形状の上側工具および下側工具を使
用することにより、本実施例と同様の効果を得ることが
できる。
【００３２】
【実施例２】図７は本実施例で用いる装置を示す縦断面
図である。
図である。
【００３３】本実施例は、前記実施例１における上軸に
固定されたベース２０に代り、回転自在なベースを上軸
に取着して構成した点が異なり、他の構成は同一構成部
分から成るもので、同一構成部分には同一番号を付して
その説明を省略する。
固定されたベース２０に代り、回転自在なベースを上軸
に取着して構成した点が異なり、他の構成は同一構成部
分から成るもので、同一構成部分には同一番号を付して
その説明を省略する。
【００３４】３１は両面同時研磨装置で、この両面同時
研磨装置３１の上側１３ａを取着するベース３２はスペ
ーサー３３を挟んだベアリング３４を介して図示省略し
た上軸部に回転自在に取り付けられている。さらに、ベ
ース３２の上端にはベルト３５を介してモータ３６と接
続されている。また、研磨液１４は回転自在である回転
継ぎ手３７を介してベース３２に流入する。
研磨装置３１の上側１３ａを取着するベース３２はスペ
ーサー３３を挟んだベアリング３４を介して図示省略し
た上軸部に回転自在に取り付けられている。さらに、ベ
ース３２の上端にはベルト３５を介してモータ３６と接
続されている。また、研磨液１４は回転自在である回転
継ぎ手３７を介してベース３２に流入する。
【００３５】以上の構成から成る装置を用いての研磨方
法は、モータ３６の回転をベルト３５により伝達し、ベ
ース３２およびその下端に取着された上側工具１３ａを
回転させる。そして、噴射する研磨液１４の衝突エネル
ギーは研磨加工にのみ作用させ、面を均一にするための
レンズ２３の回転はベース３２の回転により研磨加工を
行う。
法は、モータ３６の回転をベルト３５により伝達し、ベ
ース３２およびその下端に取着された上側工具１３ａを
回転させる。そして、噴射する研磨液１４の衝突エネル
ギーは研磨加工にのみ作用させ、面を均一にするための
レンズ２３の回転はベース３２の回転により研磨加工を
行う。
【００３６】本実施例によれば、外部の動力により上側
工具１３ａを回転運動させることで、レンズ２３が回転
運動を行うことと同様な効果を得ると同時に、各上下側
工具１３ａ，１３ｂより噴射する研磨液１４の衝突エネ
ルギーがレンズ２３を研磨するためにだけ費やされるた
め、より高い研磨能力を得ることができる。
工具１３ａを回転運動させることで、レンズ２３が回転
運動を行うことと同様な効果を得ると同時に、各上下側
工具１３ａ，１３ｂより噴射する研磨液１４の衝突エネ
ルギーがレンズ２３を研磨するためにだけ費やされるた
め、より高い研磨能力を得ることができる。
【００３７】尚、上側工具１３ａおよび下側工具１３ｂ
の形状は、噴射した研磨液１４によりレンズ２３を非接
触で挟持し、かつモータ３６による上側工具１３ａの回
転のみでレンズ２３に回転を与えることにより研磨加工
が可能であれば、単に貫通孔２４を多数設けて研磨液１
４を噴射するだけの構造でもよい。さらに、本実施例で
は上軸のみを回転させたが、下軸のみあるいは上下軸を
回転させても同様な効果を得られることは言うまでもな
い。
の形状は、噴射した研磨液１４によりレンズ２３を非接
触で挟持し、かつモータ３６による上側工具１３ａの回
転のみでレンズ２３に回転を与えることにより研磨加工
が可能であれば、単に貫通孔２４を多数設けて研磨液１
４を噴射するだけの構造でもよい。さらに、本実施例で
は上軸のみを回転させたが、下軸のみあるいは上下軸を
回転させても同様な効果を得られることは言うまでもな
い。
【００３８】
【実施例３】図８は本実施例で用いる装置を示す縦断面
図である。
図である。
【００３９】本実施例は、前記実施例１における各ベー
ス１６，２０に研磨液１４へ超音波振動を付加する振動
子を内設して構成した点が異なり、他の構成は同一の構
成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号を付
してその説明を省略する。
ス１６，２０に研磨液１４へ超音波振動を付加する振動
子を内設して構成した点が異なり、他の構成は同一の構
成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号を付
してその説明を省略する。
【００４０】４１は両面同時研磨装置で、この両面同時
研磨装置４１の各ベース１６，２０の流通孔１６ａ，２
０ａには、振動数が約１０〜５０KHz の振動を発生する
振動子４２がそれぞれ内設されている。振動子４２はケ
ーブル４３を介して発振器４４に接続されている。
研磨装置４１の各ベース１６，２０の流通孔１６ａ，２
０ａには、振動数が約１０〜５０KHz の振動を発生する
振動子４２がそれぞれ内設されている。振動子４２はケ
ーブル４３を介して発振器４４に接続されている。
【００４１】上記構成の装置は、噴射する研磨液１４に
超音波振動を付加させて高い衝突エネルギーを得ること
で、より高い研磨能力を得るものである。
超音波振動を付加させて高い衝突エネルギーを得ること
で、より高い研磨能力を得るものである。
【００４２】本実施例によれば、前記実施例１と同様に
研磨液の噴射エネルギーにより研磨加工を行うが、その
際に研磨液に１０〜５０KHz の超音波振動が付加される
ため、研磨液にキャビテーションが生じてより高い研磨
加工能力を発揮するものである。
研磨液の噴射エネルギーにより研磨加工を行うが、その
際に研磨液に１０〜５０KHz の超音波振動が付加される
ため、研磨液にキャビテーションが生じてより高い研磨
加工能力を発揮するものである。
【００４３】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る研磨方
法および装置によれば、上側工具および下側工具より噴
出する研磨液の噴出エネルギーによりレンズを研磨する
ため、上，下側工具径をレンズ径より大きく設定する必
要がない。これにより、従来では工具同士が干渉して研
磨加工が困難であったレンズ形状においても容易にレン
ズの両面を同時に研磨加工できる。
法および装置によれば、上側工具および下側工具より噴
出する研磨液の噴出エネルギーによりレンズを研磨する
ため、上，下側工具径をレンズ径より大きく設定する必
要がない。これにより、従来では工具同士が干渉して研
磨加工が困難であったレンズ形状においても容易にレン
ズの両面を同時に研磨加工できる。
【図１】本発明を示す概念図である。
【図２】図１の要部の拡大斜視図である。
【図３】本発明を示す概念図である。
【図４】本発明を示す概念図である。
【図５】実施例１を示す縦断面図である。
【図６】実施例１の上側工具の斜視図である。
【図７】実施例２を示す縦断面図である。
【図８】実施例３を示す縦断面図である。
１ レンズ ２ 貫通孔 ３ａ 上側工具 ３ｂ 下側工具 ４ 研磨液 ５ 供給装置 ６ 回転装置 ７ 振動子
Claims (4)
- 【請求項１】 レンズ両面のそれぞれの曲率半径に近似
した形状を有する２つの工具と、該工具の表面より噴出
する研磨液とにより、レンズを非接触で狭持しつつレン
ズの両面を同時に研磨加工することを特徴とする研磨方
法。 - 【請求項２】 同軸上に対向配設した内部が空洞の上側
工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率半径
にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その表面
に中心より円周方向に向って螺旋状の貫通孔を多数穿設
した各上下側工具と、前記各上下側工具の空洞に研磨液
を供給する供給装置とから構成したことを特徴とする研
磨装置。 - 【請求項３】 同軸上に対向配設した内部が空洞の上側
工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率半径
にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その表面
に貫通孔を多数穿設した各上下側工具と、該各上下側工
具をレンズ中心軸の回りに回転させる回転装置と、前記
各上下側工具の空洞に研磨液を供給する供給装置とから
構成したことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項４】 同軸上に対向配設した内部が空洞の上側
工具と下側工具との表面を対向するレンズ面の曲率半径
にそれぞれ近似した形状に形成するとともに、その表面
に中心より円周方向に向って螺旋状の貫通孔を多数穿設
した各上下側工具と、前記各上下側工具の空洞に研磨液
を供給する供給装置と、該研磨液に超音波振動を与える
超音波振動子とから構成したことを特徴とする研磨装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24689291A JPH0557591A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 研磨方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24689291A JPH0557591A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 研磨方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0557591A true JPH0557591A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=17155297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24689291A Withdrawn JPH0557591A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 研磨方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0557591A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6887125B2 (en) | 2001-04-11 | 2005-05-03 | Olympus Optical Co., Ltd. | Polishing apparatus, polishing method, control program for causing computer to execute polishing, and recording medium |
| CN110125773A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-16 | 昆山合亿兴机电设备有限公司 | 一种pcb研磨抛光机 |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP24689291A patent/JPH0557591A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6887125B2 (en) | 2001-04-11 | 2005-05-03 | Olympus Optical Co., Ltd. | Polishing apparatus, polishing method, control program for causing computer to execute polishing, and recording medium |
| DE10291601B3 (de) * | 2001-04-11 | 2014-04-17 | Olympus Corporation | Poliervorrichtung, Polierverfahren, Steuerprogramm zum Ausführen des Polierverfahrens und Aufzeichnungsmedium |
| CN110125773A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-16 | 昆山合亿兴机电设备有限公司 | 一种pcb研磨抛光机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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