JP2002176056A - 外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、長期使用における信頼性を向上させ
た外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその
製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】ガラス基板上に形成されたドレインバスラ
イン端部３２と、ドレインバスライン端部３２上に形成
され、ドレインバスライン端部３２と電気的に接続され
ている保護導電膜３４とを有するドレインバスライン端
子３０であって、ドレインバスライン端部３２はドレイ
ンバスライン１２から分岐した冗長領域を有するように
構成する。
た外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその
製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】ガラス基板上に形成されたドレインバスラ
イン端部３２と、ドレインバスライン端部３２上に形成
され、ドレインバスライン端部３２と電気的に接続され
ている保護導電膜３４とを有するドレインバスライン端
子３０であって、ドレインバスライン端部３２はドレイ
ンバスライン１２から分岐した冗長領域を有するように
構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に用
いる外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びそ
の製造方法に関する。
いる外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びそ
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液晶表示装置のアレイ基板は、ほ
ぼ直交する複数のドレインバスライン及び複数のゲート
バスラインを有している。これら複数のバスラインによ
り画素領域が画定されている。そして、各バスラインの
交差位置近傍に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成され
ている。また、画素領域ほぼ中央を左右に延びる蓄積容
量バスラインが形成されている。
ぼ直交する複数のドレインバスライン及び複数のゲート
バスラインを有している。これら複数のバスラインによ
り画素領域が画定されている。そして、各バスラインの
交差位置近傍に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成され
ている。また、画素領域ほぼ中央を左右に延びる蓄積容
量バスラインが形成されている。
【０００３】ドレインバスラインの配線端部には、外部
の素子と電気的な接続を行う外部接続端子であるドレイ
ンバスライン端子が形成されている。同様に、ゲートバ
スラインの配線端部には、外部接続端子であるゲートバ
スライン端子が形成されている。また、蓄積容量バスラ
インの配線端部には、外部接続端子である蓄積容量バス
ライン端子が形成されている。
の素子と電気的な接続を行う外部接続端子であるドレイ
ンバスライン端子が形成されている。同様に、ゲートバ
スラインの配線端部には、外部接続端子であるゲートバ
スライン端子が形成されている。また、蓄積容量バスラ
インの配線端部には、外部接続端子である蓄積容量バス
ライン端子が形成されている。
【０００４】図１０は、ゲートバスライン端子１４４を
示す断面図である。ガラス基板１２６上にはゲートバス
ライン端部１２２が形成されている。ゲートバスライン
端部１２２上には透明電極からなる保護導電膜１４８
が、絶縁膜１２８を開口したコンタクトホール１３６を
介してゲートバスライン端部１２２と接続して形成され
ている。
示す断面図である。ガラス基板１２６上にはゲートバス
ライン端部１２２が形成されている。ゲートバスライン
端部１２２上には透明電極からなる保護導電膜１４８
が、絶縁膜１２８を開口したコンタクトホール１３６を
介してゲートバスライン端部１２２と接続して形成され
ている。
【０００５】図１１は、ドレインバスライン端子１４２
を示す断面図である。ガラス基板１２６上に形成された
絶縁膜１２８上には動作半導体層の形成層１３０、ｎ型
不純物半導体層の形成層１３２、及びドレインバスライ
ン形成金属層の積層構造を一括エッチングしてパターニ
ングしたドレインバスラインのバスライン端部１２０が
形成されている。ドレインバスライン端部１２０上には
透明電極からなる保護導電膜１４８が、絶縁膜１２８を
開口したコンタクトホール１３６を介して、ドレインバ
スライン端部１２０と接続して形成されている。
を示す断面図である。ガラス基板１２６上に形成された
絶縁膜１２８上には動作半導体層の形成層１３０、ｎ型
不純物半導体層の形成層１３２、及びドレインバスライ
ン形成金属層の積層構造を一括エッチングしてパターニ
ングしたドレインバスラインのバスライン端部１２０が
形成されている。ドレインバスライン端部１２０上には
透明電極からなる保護導電膜１４８が、絶縁膜１２８を
開口したコンタクトホール１３６を介して、ドレインバ
スライン端部１２０と接続して形成されている。
【０００６】図１２は、従来のゲートバスライン端子１
４４の他の構成を示している。図１３は、図１２のＣ−
Ｃ線で切断したゲートバスライン端子１４４を示す断面
図である。また図１４は、図１２に示したゲートバスラ
イン端子１４４と同様の構成を有するドレインバスライ
ン端子１４２の断面図である。図１２乃至図１４に示す
ゲートバスライン端子１４４及びドレインバスライン端
子１４２は、ゲートバスライン端部１２２及びドレイン
バスライン端部１２０上での保護導電膜１４８の剥がれ
を防止するために設けた複数のコンタクトホール１４０
を有している。
４４の他の構成を示している。図１３は、図１２のＣ−
Ｃ線で切断したゲートバスライン端子１４４を示す断面
図である。また図１４は、図１２に示したゲートバスラ
イン端子１４４と同様の構成を有するドレインバスライ
ン端子１４２の断面図である。図１２乃至図１４に示す
ゲートバスライン端子１４４及びドレインバスライン端
子１４２は、ゲートバスライン端部１２２及びドレイン
バスライン端部１２０上での保護導電膜１４８の剥がれ
を防止するために設けた複数のコンタクトホール１４０
を有している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図１５は、従来のゲー
トバスライン端子１４４において検査機のプローブ１５
０を用いてＴＦＴの特性やバスラインの断線の有無等を
検査する際のプローブ１５０の接触状態を示している。
検査機のプローブ１５０は、ゲートバスライン端部１２
２上で開口されているコンタクトホール１４０上で保護
導電膜１４８に接触している。図１６は、図１５のＤ−
Ｄ線で切断したゲートバスライン端子１４４の検査後の
状態を示す断面図である。プローブ１５０との接触によ
る傷１５２は、保護導電膜１４８のみならずゲートバス
ライン端部１２２の金属層にまで達している。
トバスライン端子１４４において検査機のプローブ１５
０を用いてＴＦＴの特性やバスラインの断線の有無等を
検査する際のプローブ１５０の接触状態を示している。
検査機のプローブ１５０は、ゲートバスライン端部１２
２上で開口されているコンタクトホール１４０上で保護
導電膜１４８に接触している。図１６は、図１５のＤ−
Ｄ線で切断したゲートバスライン端子１４４の検査後の
状態を示す断面図である。プローブ１５０との接触によ
る傷１５２は、保護導電膜１４８のみならずゲートバス
ライン端部１２２の金属層にまで達している。
【０００８】図１７は、ドレインバスライン端子１４２
の検査後の状態を示す断面図である。図１６と同様に、
プロ−ブ１５０との接触による傷１５２は、ドレインバ
スライン端部１２０の金属層まで達している。また図１
８は、図１２に示した構造のゲートバスライン端子１４
４において、図１５に示したのと同様のプローブによる
検査をする際のプローブの接触状態を示している。図示
は省略するが、図１６に示したのと同様にプローブ１５
０との接触による傷１５２はゲートバスライン端部１２
２まで達する。
の検査後の状態を示す断面図である。図１６と同様に、
プロ−ブ１５０との接触による傷１５２は、ドレインバ
スライン端部１２０の金属層まで達している。また図１
８は、図１２に示した構造のゲートバスライン端子１４
４において、図１５に示したのと同様のプローブによる
検査をする際のプローブの接触状態を示している。図示
は省略するが、図１６に示したのと同様にプローブ１５
０との接触による傷１５２はゲートバスライン端部１２
２まで達する。
【０００９】プローブ１５０による傷１５２は、その後
のパネル工程において洗浄液等がバスライン端部１２
０、１２２に直接触れてしまうため、バスライン端部１
２０、１２２が腐食する原因となっている。そのため、
バスライン及びその端部をＴｉ、Ｃｒの単膜、又はＴ
ｉ、ＣｒをＡｌ等の上層に成膜した積層構造に形成して
腐食に対する耐性を向上させている。
のパネル工程において洗浄液等がバスライン端部１２
０、１２２に直接触れてしまうため、バスライン端部１
２０、１２２が腐食する原因となっている。そのため、
バスライン及びその端部をＴｉ、Ｃｒの単膜、又はＴ
ｉ、ＣｒをＡｌ等の上層に成膜した積層構造に形成して
腐食に対する耐性を向上させている。
【００１０】従来のＡｌ、Ｍｏ等の低抵抗金属の単膜、
又は２層、３層の積層により形成された外部接続端子で
は、バスライン端部１２０、１２２の傷１５２に洗浄液
等が触れて腐食等が生じる。また、保護導電膜１４８に
はピンホールが生じることもあるため、洗浄液等がバス
ライン端部１２０、１２２に触れて腐食等が生じる。バ
スライン端部１２０、１２２に生じる腐食は、剥がれや
接触不良等の原因となる。そのため、従来の外部接続端
子は、長期使用における信頼性に欠けるという問題を有
している。
又は２層、３層の積層により形成された外部接続端子で
は、バスライン端部１２０、１２２の傷１５２に洗浄液
等が触れて腐食等が生じる。また、保護導電膜１４８に
はピンホールが生じることもあるため、洗浄液等がバス
ライン端部１２０、１２２に触れて腐食等が生じる。バ
スライン端部１２０、１２２に生じる腐食は、剥がれや
接触不良等の原因となる。そのため、従来の外部接続端
子は、長期使用における信頼性に欠けるという問題を有
している。
【００１１】本発明の目的は、長期使用における信頼性
を向上させた外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装
置及びその製造方法を提供することにある。
を向上させた外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装
置及びその製造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的は、絶縁性基板
上に形成された配線の配線端部と、前記配線端部上に形
成され、前記配線端部と電気的に接続されている保護導
電膜とを有する外部接続端子であって、前記配線端部
は、前記配線から分岐して形成された冗長領域を有して
いることを特徴とする外部接続端子によって達成され
る。
上に形成された配線の配線端部と、前記配線端部上に形
成され、前記配線端部と電気的に接続されている保護導
電膜とを有する外部接続端子であって、前記配線端部
は、前記配線から分岐して形成された冗長領域を有して
いることを特徴とする外部接続端子によって達成され
る。
【００１３】また、上記目的は、絶縁性基板上に形成さ
れた配線の配線端部と、前記配線端部上の絶縁膜を開口
して形成された複数のコンタクトホールを介して前記配
線端部と電気的に接続されている保護導電膜とを有する
外部接続端子であって、前記複数のコンタクトホール
は、異なる間隔で形成されていることを特徴とする外部
接続端子によって達成される。
れた配線の配線端部と、前記配線端部上の絶縁膜を開口
して形成された複数のコンタクトホールを介して前記配
線端部と電気的に接続されている保護導電膜とを有する
外部接続端子であって、前記複数のコンタクトホール
は、異なる間隔で形成されていることを特徴とする外部
接続端子によって達成される。
【００１４】さらに、上記目的は、外部接続端子が形成
された第１の基板と、前記第１の基板と対向して配置さ
れた第２の基板と、前記第１の基板及び前記第２の基板
間に封入された液晶とを有する液晶表示装置であって、
前記外部接続端子として、上記本発明の外部接続端子を
用いることを特徴とする液晶表示装置によって達成され
る。
された第１の基板と、前記第１の基板と対向して配置さ
れた第２の基板と、前記第１の基板及び前記第２の基板
間に封入された液晶とを有する液晶表示装置であって、
前記外部接続端子として、上記本発明の外部接続端子を
用いることを特徴とする液晶表示装置によって達成され
る。
【００１５】また、上記目的は、絶縁性基板上に配線及
びその配線端部を形成し、前記配線端部上に前記配線端
部と電気的に接続する保護導電膜を形成し、前記保護導
電膜上に異方性導電テープを貼付して前記配線端部及び
前記保護導電膜を保護することを特徴とする液晶表示装
置の製造方法によって達成される。
びその配線端部を形成し、前記配線端部上に前記配線端
部と電気的に接続する保護導電膜を形成し、前記保護導
電膜上に異方性導電テープを貼付して前記配線端部及び
前記保護導電膜を保護することを特徴とする液晶表示装
置の製造方法によって達成される。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態による
外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置について図
１及び図２を用いて説明する。図１は、本実施の形態に
よる液晶表示装置のアレイ基板の構成を示している。図
１に示すように、本実施の形態による液晶表示装置のア
レイ基板には、図中上下方向に延びる複数のドレインバ
スライン１２（図１では２本のみ図示している）が例え
ば幅１０μｍのＡｌ等の導電体で形成されている。また
基板上には、ドレインバスライン１２に直交して図中左
右方向に延びる破線で示された複数のゲートバスライン
１４（図１では１本のみ図示している）が例えば幅１０
μｍのＡｌ等の導電体で形成されている。これら基板上
に所定の配置で形成された配線である複数のドレインバ
スライン１２とゲートバスライン１４とで画素領域が画
定されている。そして、各ドレインバスライン１２と各
ゲートバスライン１４との交差位置近傍にＴＦＴが形成
されている。
外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置について図
１及び図２を用いて説明する。図１は、本実施の形態に
よる液晶表示装置のアレイ基板の構成を示している。図
１に示すように、本実施の形態による液晶表示装置のア
レイ基板には、図中上下方向に延びる複数のドレインバ
スライン１２（図１では２本のみ図示している）が例え
ば幅１０μｍのＡｌ等の導電体で形成されている。また
基板上には、ドレインバスライン１２に直交して図中左
右方向に延びる破線で示された複数のゲートバスライン
１４（図１では１本のみ図示している）が例えば幅１０
μｍのＡｌ等の導電体で形成されている。これら基板上
に所定の配置で形成された配線である複数のドレインバ
スライン１２とゲートバスライン１４とで画素領域が画
定されている。そして、各ドレインバスライン１２と各
ゲートバスライン１４との交差位置近傍にＴＦＴが形成
されている。
【００１７】ＴＦＴのドレイン電極１６は、図中左側の
ドレインバスライン１２から引き出されて、その配線端
部がゲートバスライン１４上に形成されたチャネル保護
膜上の一端辺側に位置するように形成されている。ソー
ス電極１８は、ドレイン電極１６に対向するようにチャ
ネル保護膜上の他端辺側に形成されている。このような
構成においてチャネル保護膜直下のゲートバスライン１
４領域が当該ＴＦＴのゲート電極として機能するように
なっている。図示は省略しているが、ゲートバスライン
１４上には、例えばＳｉＯ、ＳｉＮ等でゲート絶縁膜が
形成され、ゲート絶縁膜と上層のチャネル保護膜との間
にはチャネルを構成する動作半導体層が形成されてい
る。
ドレインバスライン１２から引き出されて、その配線端
部がゲートバスライン１４上に形成されたチャネル保護
膜上の一端辺側に位置するように形成されている。ソー
ス電極１８は、ドレイン電極１６に対向するようにチャ
ネル保護膜上の他端辺側に形成されている。このような
構成においてチャネル保護膜直下のゲートバスライン１
４領域が当該ＴＦＴのゲート電極として機能するように
なっている。図示は省略しているが、ゲートバスライン
１４上には、例えばＳｉＯ、ＳｉＮ等でゲート絶縁膜が
形成され、ゲート絶縁膜と上層のチャネル保護膜との間
にはチャネルを構成する動作半導体層が形成されてい
る。
【００１８】また、画素領域ほぼ中央を左右に延びる破
線で示された領域に、例えばＡｌ等の導電体で蓄積容量
バスライン２０が形成されている。画素領域内の蓄積容
量バスライン２０の上層には絶縁膜（図示せず）を介し
て蓄積容量電極２２が形成されている。ソース電極１８
及び蓄積容量電極２２の上層には例えばＩＴＯ（Ｉｎｄ
ｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）等の透明電極からなる画
素電極２４が形成されている。画素電極２４は、その下
層に形成した絶縁膜（図示せず）に形成されたコンタク
トホール２６を介してソース電極１８と電気的に接続さ
れている。また画素電極２４は、コンタクトホール２８
を介して蓄積容量電極２２と電気的に接続されている。
線で示された領域に、例えばＡｌ等の導電体で蓄積容量
バスライン２０が形成されている。画素領域内の蓄積容
量バスライン２０の上層には絶縁膜（図示せず）を介し
て蓄積容量電極２２が形成されている。ソース電極１８
及び蓄積容量電極２２の上層には例えばＩＴＯ（Ｉｎｄ
ｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）等の透明電極からなる画
素電極２４が形成されている。画素電極２４は、その下
層に形成した絶縁膜（図示せず）に形成されたコンタク
トホール２６を介してソース電極１８と電気的に接続さ
れている。また画素電極２４は、コンタクトホール２８
を介して蓄積容量電極２２と電気的に接続されている。
【００１９】ドレインバスライン１２の端部には、外部
の素子と電気的な接続を行う外部接続端子であるドレイ
ンバスライン端子３０が形成されている。ドレインバス
ライン端子３０は、例えば２０〜３０μｍの幅で形成さ
れたドレインバスライン端部３２と、ドレインバスライ
ン端部３２上に形成され、不図示の絶縁膜を開口して形
成されたコンタクトホール３６を介してドレインバスラ
イン端部３２と電気的に接続されている透明電極からな
る保護導電膜３４とで形成されている。また、ドレイン
バスライン端部３２は、電気的に同等な冗長領域を有し
ている。ドレインバスライン１２から分岐して、ドレイ
ンバスライン１２の延びる方向の図中上部と下部に分割
して形成された２つの領域のうち、一方が冗長領域とし
ての機能を有している。
の素子と電気的な接続を行う外部接続端子であるドレイ
ンバスライン端子３０が形成されている。ドレインバス
ライン端子３０は、例えば２０〜３０μｍの幅で形成さ
れたドレインバスライン端部３２と、ドレインバスライ
ン端部３２上に形成され、不図示の絶縁膜を開口して形
成されたコンタクトホール３６を介してドレインバスラ
イン端部３２と電気的に接続されている透明電極からな
る保護導電膜３４とで形成されている。また、ドレイン
バスライン端部３２は、電気的に同等な冗長領域を有し
ている。ドレインバスライン１２から分岐して、ドレイ
ンバスライン１２の延びる方向の図中上部と下部に分割
して形成された２つの領域のうち、一方が冗長領域とし
ての機能を有している。
【００２０】ゲートバスライン１４の端部には、外部接
続端子であるゲートバスライン端子３８が形成されてい
る。ゲートバスライン端子３８は、ドレインバスライン
端子３０と同様に、電気的に同等な冗長領域を有してい
るゲートバスライン端部４０と、保護導電膜３４とを有
している。また、蓄積容量バスライン２０の端部には、
外部接続端子である蓄積容量バスライン端子４２が設け
られている。蓄積容量バスライン端子４２も、ドレイン
バスライン端子３０と同様に、電気的に同等な冗長領域
を有している蓄積容量バスライン端部４４と、保護導電
膜３４とを有している。
続端子であるゲートバスライン端子３８が形成されてい
る。ゲートバスライン端子３８は、ドレインバスライン
端子３０と同様に、電気的に同等な冗長領域を有してい
るゲートバスライン端部４０と、保護導電膜３４とを有
している。また、蓄積容量バスライン２０の端部には、
外部接続端子である蓄積容量バスライン端子４２が設け
られている。蓄積容量バスライン端子４２も、ドレイン
バスライン端子３０と同様に、電気的に同等な冗長領域
を有している蓄積容量バスライン端部４４と、保護導電
膜３４とを有している。
【００２１】本実施の形態によれば、外部接続端子を構
成する配線端部は、電気的に同等な２つの領域に分割し
て形成され、一方が冗長領域としての機能を有してい
る。検査する際に一方の配線端部のみにプローブを接触
させるようにすれば、傷に起因する腐食は一方の配線端
部のみに生じる。腐食はある程度の範囲まで進行すると
停止するため他方の配線端部は腐食しない。したがっ
て、一方の配線端部に腐食により剥がれや接触不良等の
現象が生じても、他方の配線端部を外部接続端子として
十分機能させることができる。その結果、長期使用にお
ける信頼性を向上させた外部接続端子及びそれを備えた
液晶表示装置を実現できる。
成する配線端部は、電気的に同等な２つの領域に分割し
て形成され、一方が冗長領域としての機能を有してい
る。検査する際に一方の配線端部のみにプローブを接触
させるようにすれば、傷に起因する腐食は一方の配線端
部のみに生じる。腐食はある程度の範囲まで進行すると
停止するため他方の配線端部は腐食しない。したがっ
て、一方の配線端部に腐食により剥がれや接触不良等の
現象が生じても、他方の配線端部を外部接続端子として
十分機能させることができる。その結果、長期使用にお
ける信頼性を向上させた外部接続端子及びそれを備えた
液晶表示装置を実現できる。
【００２２】図２は、本実施の形態による外部接続端子
の変形例についてドレインバスライン端子３０を例にと
って示している。本変形例において、図２（ａ）に示す
ドレインバスライン端子３０は、図１に示したドレイン
バスライン端子３０と同様の形状のドレインバスライン
端部３２を有し、１つのドレインバスライン端部３２が
複数（図では１６個）の円形状のコンタクトホール３６
を有していることを特徴としている。
の変形例についてドレインバスライン端子３０を例にと
って示している。本変形例において、図２（ａ）に示す
ドレインバスライン端子３０は、図１に示したドレイン
バスライン端子３０と同様の形状のドレインバスライン
端部３２を有し、１つのドレインバスライン端部３２が
複数（図では１６個）の円形状のコンタクトホール３６
を有していることを特徴としている。
【００２３】図２（ｂ）、（ｃ）に示すドレインバスラ
イン端子３０は、ドレインバスライン１２から分岐せ
ず、ドレインバスライン端部３２で左右対称の形状を有
する２つの領域に分割されていることを特徴としてい
る。図２（ｂ）に示すドレインバスライン端子３０の１
つのドレインバスライン端部３２は、２つの長方形のコ
ンタクトホール３６を有している。図２（ｃ）に示すド
レインバスライン端子３０の１つのドレインバスライン
端部３２は、１５個の円形状のコンタクトホール３６を
有している。本変形例によっても、２つの領域の一方が
冗長領域として機能するので、プローブ検査の際に一方
の配線端部のみにプローブを接触させるようにすれば、
傷に起因する腐食は一方の配線端部だけに抑えることが
できるので、本実施の形態と同様の効果を得ることがで
きる。
イン端子３０は、ドレインバスライン１２から分岐せ
ず、ドレインバスライン端部３２で左右対称の形状を有
する２つの領域に分割されていることを特徴としてい
る。図２（ｂ）に示すドレインバスライン端子３０の１
つのドレインバスライン端部３２は、２つの長方形のコ
ンタクトホール３６を有している。図２（ｃ）に示すド
レインバスライン端子３０の１つのドレインバスライン
端部３２は、１５個の円形状のコンタクトホール３６を
有している。本変形例によっても、２つの領域の一方が
冗長領域として機能するので、プローブ検査の際に一方
の配線端部のみにプローブを接触させるようにすれば、
傷に起因する腐食は一方の配線端部だけに抑えることが
できるので、本実施の形態と同様の効果を得ることがで
きる。
【００２４】なお、本実施の形態及びその変形例の外部
接続端子は２つの領域に分割して形成されているが、本
発明はこれに限らず、３つ以上の領域に分割して形成さ
れていてもよい。
接続端子は２つの領域に分割して形成されているが、本
発明はこれに限らず、３つ以上の領域に分割して形成さ
れていてもよい。
【００２５】次に、本発明の第２の実施の形態による外
部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置について図３
乃至図９を用いて説明する。図３は、本実施の形態によ
るドレインバスライン端子３０を示している。ドレイン
バスライン１２の端部であるドレインバスライン端部３
２には、例えば、８個の円形状のコンタクトホール３６
が形成されている。８個のコンタクトホール３６は、配
線端部３２の図中右側の領域のみに一列に配置され、互
いに異なる間隔（例えばａ＞ｂ）で形成されている。
部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置について図３
乃至図９を用いて説明する。図３は、本実施の形態によ
るドレインバスライン端子３０を示している。ドレイン
バスライン１２の端部であるドレインバスライン端部３
２には、例えば、８個の円形状のコンタクトホール３６
が形成されている。８個のコンタクトホール３６は、配
線端部３２の図中右側の領域のみに一列に配置され、互
いに異なる間隔（例えばａ＞ｂ）で形成されている。
【００２６】図４は、図３に示したドレインバスライン
端子３０と同様の冗長構成を持たせたゲートバスライン
端子３８において、検査機のプローブ５０を用いてＴＦ
Ｔの特性やバスラインの断線の有無等を検査する際のプ
ローブ５０の接触状態を示している。検査機のプローブ
５０は、ゲートバスライン端部４０上であって８つのコ
ンタクトホール３６の形成されていない図中左側の領域
上で保護導電膜３４と接触している。
端子３０と同様の冗長構成を持たせたゲートバスライン
端子３８において、検査機のプローブ５０を用いてＴＦ
Ｔの特性やバスラインの断線の有無等を検査する際のプ
ローブ５０の接触状態を示している。検査機のプローブ
５０は、ゲートバスライン端部４０上であって８つのコ
ンタクトホール３６の形成されていない図中左側の領域
上で保護導電膜３４と接触している。
【００２７】図５は、図４のＡ−Ａ線で切断したゲート
バスライン端子３８の検査後の状態を示す断面図であ
る。絶縁性基板であるガラス基板５２上には、ゲートバ
スライン端部４０が形成されている。ゲートバスライン
端部４０上全面には絶縁膜５４が形成されている。ゲー
トバスライン端部４０の図中右側の領域上の絶縁膜５４
を開口して形成されたコンタクトホール３６を介して保
護導電膜３４が接続して形成されている。図４に示した
プローブ５０が保護導電膜３４と接触した領域に生じた
傷５６は保護導電膜３４の下層の絶縁膜５４まで達して
いるが、図１６に示した従来のゲートバスライン端子１
４４と異なりコンタクトホール３６が局所的に形成され
ているので、ゲートバスライン端部４０には傷５６が生
じていない。
バスライン端子３８の検査後の状態を示す断面図であ
る。絶縁性基板であるガラス基板５２上には、ゲートバ
スライン端部４０が形成されている。ゲートバスライン
端部４０上全面には絶縁膜５４が形成されている。ゲー
トバスライン端部４０の図中右側の領域上の絶縁膜５４
を開口して形成されたコンタクトホール３６を介して保
護導電膜３４が接続して形成されている。図４に示した
プローブ５０が保護導電膜３４と接触した領域に生じた
傷５６は保護導電膜３４の下層の絶縁膜５４まで達して
いるが、図１６に示した従来のゲートバスライン端子１
４４と異なりコンタクトホール３６が局所的に形成され
ているので、ゲートバスライン端部４０には傷５６が生
じていない。
【００２８】図６は、図３に示した本実施の形態による
ドレインバスライン端子３０のプローブによる検査後の
状態を示す断面図である。ガラス基板５２上には絶縁膜
５４が形成されている。絶縁膜５４上には、ＴＦＴの動
作半導体層となる例えばａ−Ｓｉ層５８、ＴＦＴのｎ型
不純物半導体層となる例えばｎ+ａ−Ｓｉ層６０、及び
ドレインバスライン形成金属層の積層構造を一括エッチ
ングしてパターニングしたドレインバスライン端部３２
が形成されている。ドレインバスライン端部３２上には
透明電極からなる保護導電膜３４が、絶縁膜５４を開口
したコンタクトホール３６を介して、ドレインバスライ
ン端部３２と接続して形成されている。図５に示したゲ
ートバスライン端子３８と同様に、ドレインバスライン
端部３２には傷５６が生じていない。
ドレインバスライン端子３０のプローブによる検査後の
状態を示す断面図である。ガラス基板５２上には絶縁膜
５４が形成されている。絶縁膜５４上には、ＴＦＴの動
作半導体層となる例えばａ−Ｓｉ層５８、ＴＦＴのｎ型
不純物半導体層となる例えばｎ+ａ−Ｓｉ層６０、及び
ドレインバスライン形成金属層の積層構造を一括エッチ
ングしてパターニングしたドレインバスライン端部３２
が形成されている。ドレインバスライン端部３２上には
透明電極からなる保護導電膜３４が、絶縁膜５４を開口
したコンタクトホール３６を介して、ドレインバスライ
ン端部３２と接続して形成されている。図５に示したゲ
ートバスライン端子３８と同様に、ドレインバスライン
端部３２には傷５６が生じていない。
【００２９】本実施の形態によれば、検査機のプローブ
５０は、配線の端部上であって複数のコンタクトホール
３６の形成されていない領域上で保護導電膜３４と接触
しているため、配線の端部には傷５６が生じない。ま
た、複数のコンタクトホール３６が異なる間隔で形成さ
れているため、間隔ｂと比較して広い間隔ａを有する領
域であれば、プローブ５０が図４中右側にずれて接触し
ても配線の端部には傷５６が生じない。そのため、傷５
６に起因する腐食を防止できる。その結果、長期使用に
おける信頼性を向上させた外部接続端子及びそれを備え
た液晶表示装置を実現できる。
５０は、配線の端部上であって複数のコンタクトホール
３６の形成されていない領域上で保護導電膜３４と接触
しているため、配線の端部には傷５６が生じない。ま
た、複数のコンタクトホール３６が異なる間隔で形成さ
れているため、間隔ｂと比較して広い間隔ａを有する領
域であれば、プローブ５０が図４中右側にずれて接触し
ても配線の端部には傷５６が生じない。そのため、傷５
６に起因する腐食を防止できる。その結果、長期使用に
おける信頼性を向上させた外部接続端子及びそれを備え
た液晶表示装置を実現できる。
【００３０】図７は、上記実施の形態の変形例を示して
いる。本変形例において、ゲートバスライン端部３８
は、複数の円形状のコンタクトホール３６が図中右側の
領域のみに一列に配置され、互いに異なる間隔で形成さ
れているとともに、ゲートバスライン１４から分岐して
形成される２つの領域に分割されていることを特徴とし
ている。２つの領域は電気的に同等であり、一方が冗長
領域としての機能を有している。
いる。本変形例において、ゲートバスライン端部３８
は、複数の円形状のコンタクトホール３６が図中右側の
領域のみに一列に配置され、互いに異なる間隔で形成さ
れているとともに、ゲートバスライン１４から分岐して
形成される２つの領域に分割されていることを特徴とし
ている。２つの領域は電気的に同等であり、一方が冗長
領域としての機能を有している。
【００３１】図８は、本変形例によるゲートバスライン
端子３８において検査機のプローブ５０を用いてＴＦＴ
の特性やバスラインの断線の有無等を検査する際の状態
を示している。検査機のプローブ５０は、一方のゲート
バスライン端部４０上であって複数のコンタクトホール
３６の形成されていない図中左側の領域を接触領域とし
て保護導電膜３４と接触している。
端子３８において検査機のプローブ５０を用いてＴＦＴ
の特性やバスラインの断線の有無等を検査する際の状態
を示している。検査機のプローブ５０は、一方のゲート
バスライン端部４０上であって複数のコンタクトホール
３６の形成されていない図中左側の領域を接触領域とし
て保護導電膜３４と接触している。
【００３２】本変形例によれば、上記実施の形態と同様
の効果を得ることができるとともに、一方の配線端部に
腐食により剥がれや接触不良等の現象が生じても、他方
の配線端部が外部接続端子として機能する。その結果、
長期使用における信頼性をさらに向上させた外部接続端
子及びそれを備えた液晶表示装置を実現できる。
の効果を得ることができるとともに、一方の配線端部に
腐食により剥がれや接触不良等の現象が生じても、他方
の配線端部が外部接続端子として機能する。その結果、
長期使用における信頼性をさらに向上させた外部接続端
子及びそれを備えた液晶表示装置を実現できる。
【００３３】図９は、上記実施の形態の他の変形例を示
している。図９（ａ）に示すゲートバスライン端子３８
は、ゲートバスライン１４からは分岐せず、ゲートバス
ライン端部４０において図中左右方向に長い５つの長方
形領域に分割されている。また、長方形状のコンタクト
ホール３６は全ての領域には形成されておらず、図中上
から２番目及び５番目に位置する領域に形成されてい
る。図９（ｂ）に示すゲートバスライン端子３８は、図
９（ａ）に示したゲートバスライン端子３８と同様の形
状を有し、図中上から１番目、３番目及び５番目に位置
する領域に円形状の複数のコンタクトホール３６を有し
ている。
している。図９（ａ）に示すゲートバスライン端子３８
は、ゲートバスライン１４からは分岐せず、ゲートバス
ライン端部４０において図中左右方向に長い５つの長方
形領域に分割されている。また、長方形状のコンタクト
ホール３６は全ての領域には形成されておらず、図中上
から２番目及び５番目に位置する領域に形成されてい
る。図９（ｂ）に示すゲートバスライン端子３８は、図
９（ａ）に示したゲートバスライン端子３８と同様の形
状を有し、図中上から１番目、３番目及び５番目に位置
する領域に円形状の複数のコンタクトホール３６を有し
ている。
【００３４】図９（ｃ）に示すゲートバスライン端子３
８は、ゲートバスライン端部４０において、左右対称の
２つの領域に分割されている。長方形状の２つのコンタ
クトホール３６は、右側の領域に形成されている。図９
（ｄ）に示すゲートバスライン端子３８は、図９（ｃ）
に示したゲートバスライン端子３８と同様の形状を有
し、右側の領域に円形状の複数のコンタクトホール３６
を有している。これらの変形例によっても、上記変形例
と同様の効果を得ることができる。
８は、ゲートバスライン端部４０において、左右対称の
２つの領域に分割されている。長方形状の２つのコンタ
クトホール３６は、右側の領域に形成されている。図９
（ｄ）に示すゲートバスライン端子３８は、図９（ｃ）
に示したゲートバスライン端子３８と同様の形状を有
し、右側の領域に円形状の複数のコンタクトホール３６
を有している。これらの変形例によっても、上記変形例
と同様の効果を得ることができる。
【００３５】次に、第３の実施の形態による液晶表示装
置の製造方法について図１を参照しつつ説明する。ま
ず、絶縁性基板であるガラス基板上に、例えばＡｌ等の
導電体により複数のバスライン１２、１４、２０及びそ
の配線端部３２、４０、４４を所定の配置で形成する。
次に、バスライン１２、１４、２０及びその端部３２、
４０、４４上に、例えばＳｉＯ、ＳｉＮ等で絶縁膜を形
成する。次いで、バスライン端部３２、４０、４４上の
絶縁膜を開口して形成されたコンタクトホール３６を介
して電気的に接続する保護導電膜３４を例えばＩＴＯ等
の透明電極により形成して外部接続端子３０、３８、４
２が完成する。
置の製造方法について図１を参照しつつ説明する。ま
ず、絶縁性基板であるガラス基板上に、例えばＡｌ等の
導電体により複数のバスライン１２、１４、２０及びそ
の配線端部３２、４０、４４を所定の配置で形成する。
次に、バスライン１２、１４、２０及びその端部３２、
４０、４４上に、例えばＳｉＯ、ＳｉＮ等で絶縁膜を形
成する。次いで、バスライン端部３２、４０、４４上の
絶縁膜を開口して形成されたコンタクトホール３６を介
して電気的に接続する保護導電膜３４を例えばＩＴＯ等
の透明電極により形成して外部接続端子３０、３８、４
２が完成する。
【００３６】その後、外部接続端子３０、３８、４２に
傷や腐食を生じさせる可能性のあるプローブ検査工程等
の前に、外部接続端子３０、３８、４２の保護導電膜３
４上に不図示の異方性導電テープ（ＡＣＦ；Ａｎｉｓｏ
ｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を貼
付し、外部接続端子３０、３８、４２における傷や腐食
の発生を防止する。ＴＦＴの特性やバスラインの断線の
有無等の検査は、検査機のプローブを外部接続端子上の
ＡＣＦに接触させることで可能である。その後、ＴＡＢ
（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）貼
り付け工程においてＡＣＦを取り去ってもよいし、その
まま利用してもよい。
傷や腐食を生じさせる可能性のあるプローブ検査工程等
の前に、外部接続端子３０、３８、４２の保護導電膜３
４上に不図示の異方性導電テープ（ＡＣＦ；Ａｎｉｓｏ
ｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を貼
付し、外部接続端子３０、３８、４２における傷や腐食
の発生を防止する。ＴＦＴの特性やバスラインの断線の
有無等の検査は、検査機のプローブを外部接続端子上の
ＡＣＦに接触させることで可能である。その後、ＴＡＢ
（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）貼
り付け工程においてＡＣＦを取り去ってもよいし、その
まま利用してもよい。
【００３７】本実施の形態によれば、外部接続端子３
０、３８、４２の保護導電膜３４はＡＣＦで保護されて
いるため、検査機のプローブが接触することによる傷は
生じない。そのため、傷に起因する腐食を防止すること
ができる。また、保護導電膜３４にピンホールが生じて
いても、洗浄液等がバスライン端部３２、４０、４４に
直接触れることはないため、腐食を防止することができ
る。
０、３８、４２の保護導電膜３４はＡＣＦで保護されて
いるため、検査機のプローブが接触することによる傷は
生じない。そのため、傷に起因する腐食を防止すること
ができる。また、保護導電膜３４にピンホールが生じて
いても、洗浄液等がバスライン端部３２、４０、４４に
直接触れることはないため、腐食を防止することができ
る。
【００３８】なお、上記実施の形態では主としてドレイ
ンバスライン端子３０とゲートバスライン端子３８を例
にとって説明しているが、蓄積容量バスライン端子４２
についても本発明はもちろん適用可能である。蓄積容量
バスライン端子４２をゲートバスライン端子３８と同様
の冗長構成にすることにより蓄積容量バスライン端部４
４についても上記効果を得ることができるようになる。
さらに、本発明はこれらに限らず、種々の基板上に形成
される配線の外部接続端子に適用することが可能であ
る。
ンバスライン端子３０とゲートバスライン端子３８を例
にとって説明しているが、蓄積容量バスライン端子４２
についても本発明はもちろん適用可能である。蓄積容量
バスライン端子４２をゲートバスライン端子３８と同様
の冗長構成にすることにより蓄積容量バスライン端部４
４についても上記効果を得ることができるようになる。
さらに、本発明はこれらに限らず、種々の基板上に形成
される配線の外部接続端子に適用することが可能であ
る。
【００３９】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、長期使用
における信頼性を向上させた外部接続端子及びそれを備
えた液晶表示装置を実現できる。
における信頼性を向上させた外部接続端子及びそれを備
えた液晶表示装置を実現できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態による液晶表示装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態による外部接続端子
の変形例の構成を示す図である。
の変形例の構成を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
を検査する際の状態を示す図である。
を検査する際の状態を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
の検査後の状態を示す断面図である。
の検査後の状態を示す断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
の検査後の状態を示す断面図である。
の検査後の状態を示す断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
の変形例の構成を示す図である。
の変形例の構成を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
の変形例を検査する際の状態を示す図である。
の変形例を検査する際の状態を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態による外部接続端子
の他の変形例の構成を示す図である。
の他の変形例の構成を示す図である。
【図１０】従来の外部接続端子の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図１１】従来の外部接続端子の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図１２】従来の外部接続端子の構成を示す図である。
【図１３】従来の外部接続端子の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図１４】従来の外部接続端子の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図１５】従来の外部接続端子を検査する際の状態を示
す図である。
す図である。
【図１６】従来の外部接続端子の検査後の状態を示す断
面図である。
面図である。
【図１７】従来の外部接続端子の検査後の状態を示す断
面図である。
面図である。
【図１８】従来の外部接続端子を検査する際の状態を示
す図である。
す図である。
１２ ドレインバスライン １４ ゲートバスライン １６ ドレイン電極 １８ ソース電極 ２０ 蓄積容量バスライン ２２ 蓄積容量電極 ２４ 画素電極 ２６、２８、３６ コンタクトホール ３０ ドレインバスライン端子 ３２ ドレインバスライン端部 ３４ 保護導電膜 ３８ ゲートバスライン端子 ４０ ゲートバスライン端部 ４２ 蓄積容量バスライン端子 ４４ 蓄積容量バスライン端部 ５０ プローブ ５２ ガラス基板 ５４ 絶縁膜 ５６ 傷 ５８ 動作半導体層 ６０ ｎ型不純物半導体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H092 GA42 GA48 HA25 HA28 JA24 JB32 JB69 KA12 KB04 MA57 NA15 NA30 5E317 AA02 AA06 AA08 AA24 BB01 BB04 BB11 BB22 CD23 CD27 CD29 GG09 5F033 GG04 HH08 HH38 JJ01 JJ08 JJ38 KK08 NN33 NN34 QQ37 VV07 VV12 VV15 XX18 XX37 5F110 AA26 CC07 DD02 EE03 EE37 FF02 FF03 GG02 GG15 HK09 HK16
Claims (4)
- 【請求項１】絶縁性基板上に形成された配線の配線端部
と、前記配線端部上に形成され、前記配線端部と電気的
に接続されている保護導電膜とを有する外部接続端子で
あって、 前記配線端部は、前記配線から分岐して形成された冗長
領域を有していることを特徴とする外部接続端子。 - 【請求項２】絶縁性基板上に形成された配線の配線端部
と、前記配線端部上の絶縁膜を開口して形成された複数
のコンタクトホールを介して前記配線端部と電気的に接
続されている保護導電膜とを有する外部接続端子であっ
て、 前記複数のコンタクトホールは、異なる間隔で形成され
ていることを特徴とする外部接続端子。 - 【請求項３】外部接続端子が形成された第１の基板と、
前記第１の基板と対向して配置された第２の基板と、前
記第１の基板及び前記第２の基板間に封入された液晶と
を有する液晶表示装置であって、 前記外部接続端子として、請求項１又は２に記載の外部
接続端子を用いることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項４】絶縁性基板上に配線及びその配線端部を形
成し、 前記配線端部上に前記配線端部と電気的に接続する保護
導電膜を形成し、 前記保護導電膜上に異方性導電テープを貼付して前記配
線端部及び前記保護導電膜を保護することを特徴とする
液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000371826A JP4130728B2 (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | 外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000371826A JP4130728B2 (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | 外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002176056A true JP2002176056A (ja) | 2002-06-21 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006208677A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Sony Corp | 液晶表示装置 |
| JP2007316263A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Nec Lcd Technologies Ltd | 画像表示装置 |
| JP2008065226A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Hitachi Displays Ltd | 液晶表示装置 |
| JP2008224810A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Epson Imaging Devices Corp | 電気光学装置および電気光学装置用基板 |
| WO2010092725A1 (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-19 | シャープ株式会社 | 接続端子及び該接続端子を備えた表示装置 |
| WO2012011258A1 (ja) * | 2010-07-21 | 2012-01-26 | シャープ株式会社 | 基板及びその製造方法、表示装置 |
| TWI467673B (zh) * | 2011-06-09 | 2015-01-01 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | 配線裝置與顯示器 |
-
2000
- 2000-12-06 JP JP2000371826A patent/JP4130728B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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