JP4645206B2

JP4645206B2 - 液晶表示装置

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Publication number: JP4645206B2
Application number: JP2005019797A
Authority: JP
Inventors: 誠一船越
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2005-01-27
Filing date: 2005-01-27
Publication date: 2011-03-09
Anticipated expiration: 2025-01-27
Also published as: JP2006208677A

Description

本発明は、液晶に電界を印加する、いわゆる駆動基板の一部に対向基板が重ねられ、当該２枚の基板間に液晶が封入されて表示部が形成されている液晶表示装置に関する。

直視型液晶表示パネル、及びアモルファスシリコンにより形成されたＴＦＴ（Thin Film Transistor）を用いた液晶表示パネルでは、駆動素子（駆動用ＩＣ）を外付けし、当該駆動素子を通して各画素のＴＦＴを動作させる液晶表示パネルが多い。しかし、高温ポリシリコンにより形成されたＴＦＴを用いたプロジェクタ用途向け液晶表示パネルでは、従来より駆動素子を内蔵した液晶表示パネルのみが用いられてきた。これは高温ポリシリコンの移動度が高い為であった。

今後、プロジェクタ用途の高温ポリシリコンを用いた液晶表示パネルにおいては、高精細、高開口化が一層進展する。その際、駆動素子を外付けにし、有効エリアをより広くしたり、さらに高精細化とともにより高速駆動化に対応する事が考え得る。

駆動素子を外付けにした方式であって、プロジェクタ用途向けの液晶表示パネルにおいて、外付け方式としては、ＣＯＦ（Chip On Film）及びＣＯＧ（Chip On Glass）方式があるが、このうちＣＯＦ方式においてはフレキシブル基板上に実装された駆動素子から多数の配線が繋がるため、ＴＦＴ基板（駆動基板）上の接続パッドも多数必要となり、パッドの狭ピッチ化が必要となる。

パッドの狭ピッチ化が進むと、検査用プローブ針（検査用触手）より細いパッドとなる場合がある。パッドが検査用プローブ針の針径よりも細くなると、検査用プローブ針がパッドに十分に接触することが出来ず、正確な測定が出来ない。しかしフレキシブル基板は異方性導電膜（ＡＣＦ）を介してＴＦＴ基板と接続されている。ＡＣＦは絶縁樹脂内に導電粒子を充填し、加熱圧着する事でパッドとリードを導電粒子を介して電気的に接合し、面方向には絶縁性を、厚み方向には導電性を有するものである。その為、狭ピッチ化が進みスペースが狭くなると、隣接するパッドにおいて導電粒子の連結によるショート不良が起こりやすくなる為、検査用プローブ針を当てる為にパッドを可能な限り幅広にしたいが、隣接するパッドとのスペースを確保する必要があり、限界がある。

パッド幅を検査用触手が接触する部分だけ拡大させ、当該拡大された部分を千鳥状の配置にする方法もある（特許文献１参照）。しかしながら、拡大された部分と隣接するパッドとの間隔が狭くなるため、パネルの検査後にＣＯＦをパッドに実装する際にショート不良がやはり起こりやすくなる。

現在のアモルファスシリコンにより形成されたＴＦＴを使用する液晶パネル等でのパッドピッチは狭いもので５０μｍ程度であり、使用される検査用触手の径は２０μｍ程度である。プロジェクタ用途向け液晶表示パネルとしては更なる狭ピッチが必要であるが、その際には更なる小径の検査用プローブ針が必要であり、検査コスト、安定性、検査用プローブ針の寿命等を考えると量産に導入するのは難しい。
特開２００２−１９６７０３号公報

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、パッド部が狭小化した場合においても、下層の配線との電気的接続を確保しつつ、検査用触手（検査用プローブ針）を用いた検査を行うことができるパッド部を備えた液晶表示装置を提供することにある。

上記の目的を達成するため、本発明の液晶表示装置は、駆動基板と対向基板との間に液晶が封入されて表示部が形成され、前記表示部から引き出されているデータ線に電気的に接続される複数のパッド部が前記駆動基板に形成された液晶表示装置であって、
前記パッド部は、前記データ線に電気的に接続される配線と、前記配線に達するコンタクトホールが形成された絶縁膜と、前記コンタクトホール内および前記絶縁膜上に形成され、前記配線に電気的に接続された導電膜とを有し、
前記コンタクトホールが、前記パッド部の領域内で複数に分割して形成されており、前記コンタクトホールの非形成領域における前記導電膜により検査用触手の接触部を確保しており、
前記接触部が、前記パッド部の領域において前記検査用触手が接触し得る一部の領域にのみ設けられ、前記パッド部の残りの領域において前記配線を一括して開口するコンタクトホールが形成された、液晶表示装置である。

上記の本発明の液晶表示装置では、コンタクトホールが、パッド部の領域内で複数に分割して形成されている。これにより、パッド部は、下層の配線との電気的接続を確保するためのコンタクトホールの形成領域と、非形成領域とを備える。
コンタクトホールの非形成領域には絶縁膜が残り、この絶縁膜上に導電膜が形成されていることから、この部分の導電膜とパッド部の外側の領域との段差がなくなる。
これにより、検査用触手（検査用プローブ針）が接触する接触部が確保される。
また前記接触部が、前記パッド部の領域において前記検査用触手が接触し得る一部の領域にのみ設けられ、前記パッド部の残りの領域において前記配線を一括して開口するコンタクトホールが形成されている。

好ましくは、前記接触部が、隣接するパッド部間において異なる位置に設けられている。

また好ましくは、前記接触部が、隣接するパッド部間において千鳥状の配置となるように設けられている。

本発明の液晶表示装置によれば、パッド部が狭小化した場合においても、下層の配線との電気的接続を確保しつつ、検査用触手（検査用プローブ針）を用いた検査を行うことができる。

以下に、本発明の液晶表示装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。

図１（ａ）は、本実施形態に係る液晶表示装置の概略構成を説明するための図である。

液晶表示装置は、駆動基板１を有する。駆動基板１は、複数の画素電極がマトリックス状に配置された表示部２を有し、周辺領域に複数のパッド部３が形成されている。この駆動基板１の表示部２を覆うように、対向電極が形成された対向基板４が重ねられる。

駆動基板１と対向基板４との間には、液晶が封入される。駆動基板１のパッド部３には、駆動素子（駆動用ＩＣ）６が搭載されたフレキシブル基板５が異方性導電膜を介して実装される。各パッド部３と、フレキシブル基板５の不図示のリードとが電気的に接続されることにより、パッド部３と駆動素子６とがフレキシブル基板５を介して電気的に接続される。

以上により、図１（ｂ）に示すように、駆動基板１と対向基板４とを有する液晶パネル１０が作製される。本実施形態に係る液晶表示装置は、上記の液晶パネル１０を備えるものである。従って、本実施形態に係る液晶表示装置は、透過型液晶表示装置、反射型液晶表示装置、投射型液晶表示装置のいずれにも適用可能である。

図２は、駆動基板の構成例を示すブロック図である。

駆動基板１の表示部２には、画素を構成する画素電極２１が行列状に２次元配置されている。表示部２には、ｍ行ｎ列の画素配列に対して行毎に走査線２２−１〜２２−ｍが配置され、列毎にデータ線２３−１〜２３−ｎが配置されている。図示はしないが、各走査線２２とデータ線２３の交差部には、ＴＦＴが設けられている。ＴＦＴのゲートは走査線２２（２２−１〜２２−ｍ）に接続され、ＴＦＴのソースはデータ線２３（２３−１〜２３−ｎ）に接続され、ＴＦＴのドレインは画素電極２１に接続されている。ＴＦＴとしては、移動度が高いポリシリコンＴＦＴが用いられる。

駆動基板１における表示部２の左右両側には、それぞれ垂直駆動回路２５が配置され、かつ、表示部２の例えば上側にはセレクタ回路２６が配置されている。ここでは、表示部２の左右両側に垂直駆動回路２５を配置するとしたが、１つの垂直駆動回路２５を表示部２の左右の一方側にのみ配置する構成を採ることも可能である。垂直駆動回路２５およびセレクタ回路２６も、ポリシリコンＴＦＴを用いて作製される。

垂直駆動回路２５は、シフトレジスタなどにより構成される。垂直駆動回路２５は、走査パルスＶ１−Ｖｍを順に出力する。走査パルスＶ１−Ｖｍが、走査線２２−１〜２２−ｍに順に与えられることによって、画素が行単位で選択される。

セレクタ回路２６は、例えば、水平方向の画素数ｎ、すなわちデータ線２３−１〜２３−ｎの本数ｎの半分の個数ｋ（ｎ／２）のスイッチ素子ＳＷ１〜ＳＷｋによって構成されている。これらスイッチ素子ＳＷ１〜ＳＷｋは、１入力２出力の構成となっており、駆動素子６から液晶パネル１０にアナログ映像信号を入力するｋ本の配線３１−１〜３１−ｋに入力端が接続され、奇数のデータ線２３−１，２３−３，…，２３−ｎ−１に一方の出力端が接続され、偶数のデータ線２３−２，２３−４，…，２３−ｎに他方の出力端が接続されている。

これにより、スイッチ素子ＳＷ１〜ＳＷｋは、奇数のデータ線２３−１，２３−３，…，２３−ｎ−１と、偶数のデータ線２３−２，２３−４，…，２３−ｎとを選択することによって、垂直駆動回路２５による垂直走査によって選択された行の画素に対して、配線３１−１〜３１−ｋを通して入力されるアナログの映像信号を、奇数番目の画素と偶数番目の画素とに分けて２回にわたって書き込む。

なお、ここでは、奇数のデータ線２３−１，２３−３，…，２３−ｎ−１と、偶数のデータ線２３−２，２３−４，…，２３−ｎとに選択的にアナログ映像信号を供給する２データ線選択による駆動の場合を例に挙げたが、２データ線選択に限られるものではなく、４本のデータ線に対して選択的にアナログ映像信号を供給する４データ線選択や、６本のデータ線に対して選択的にアナログ映像信号を供給する６データ線選択や、８本のデータ線に対して選択的にアナログ映像信号を供給する８データ線選択を採用することも可能である。

ｋ本の配線３１−１〜３１−ｋの先には、それぞれパッド部３が形成される。このため、セレクタ回路２６は、このパッド部３の数を減らす役割をもつ。すなわち、ｋ本の配線３１−１〜３１−ｋとｎ本のデータ線２３−１〜２３−ｎとを直接に接続すると、データ線の本数分だけパッド部３を形成する必要が生じ、パッド部３へのフレキシブル基板５の実装が困難となるからである。

図３は、駆動基板１の概略平面図である。

液晶パネルの検査は、各パッド部３に検査用触手（検査用プローブ針）を接触させることにより行われる。なお、この検査は、対向基板４を重ねあわせる前であってもよい。本実施形態では、このパッド部３へ検査用触手を良好に接触させることができるように、各パッド部３の構造に特徴を有する。

図４（ａ）は、図３のＡ部における拡大平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。

図４（ｂ）に示すように、駆動基板１のパッド部３には、表示部２から配線３１が引き出されている。配線３１上に、例えば酸化シリコンなどからなる絶縁膜３２が形成されている。絶縁膜３２には、配線３１に達するコンタクトホールＣ１が形成されている。コンタクトホールＣ１内および絶縁膜３２上には、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる導電膜３３が形成されている。導電膜３３は、コンタクトホールＣ１を介して配線３１に電気的に接続されている。

本実施形態では、コンタクトホールＣ１がパッド部３の領域内で複数に分割して形成されている。図４に示す例では、各パッド部３には、長手方向に伸びる２つのコンタクトホールＣ１が形成されている。この結果、パッド部３内において、コンタクトホールＣ１の非形成領域である、コンタクトホールＣ１の間の領域には、絶縁膜３２が残ることとなる。この絶縁膜３２上に形成された導電膜３３は、パッド部３の外側の領域との段差がないことから、検査用触手が接触できる。すなわち、この領域の導電膜３３により検査用触手の接触部Ａｒが確保される。図４に示す例では、パッド部３には、２つのコンタクトホールＣ１の間の領域に接触部Ａｒが確保される。

上記のパッド部３の幅Ｗ１は、２５μｍ以下、例えば、２０〜２３μｍ程度である。また、パッド部３のピッチＰ１（パッド部３の間隔）は、２０〜５０μｍ、例えば、３８μｍ程度である。検査用触手４０の先端の径Ｅは２０μｍ程度である。

上記のように、検査用触手４０の径Ｅよりもパッド部３の幅Ｗ１が小さくても、図４（ｂ）に示すように、検査用触手４０が接触部Ａｒにおける導電膜３３に対して良好に面接触することができる。

図５（ａ）は、比較例におけるパッド部３００の平面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＦ−Ｆ’線における断面図である。

図５に示す比較例では、配線３０１上の絶縁膜３０２には、配線３０１を一括して開口するコンタクトホールＣが形成され、このコンタクトホールＣ内に導電膜３０３が形成される。

この場合には、検査用触手４０の径よりもパッド部３００の幅が小さく（狭く）なると、図４（ｂ）に示すように、検査用触手４０はコンタクトホールＣ内に入り込めないため、検査用触手４０と導電膜３０３との十分な接触が得られなくなってしまう。

また、従来のようにパッド部の一部に幅広な部分を設けると、当該幅広な部分と隣接するパッド部との間隔が小さく（狭く）なり、実装時において隣接するパッド部の間でショートが起こりやすくなるが、本実施形態では、均一な幅のパッド部３において配線３１との電気的接続を担うコンタクトホールＣ１と、接触部Ａｒとを設けているため、パッド部３間の間隔を確保することができ、実装時におけるショートの発生を防止することができる。

以上説明したように、本実施形態に係る液晶表示装置によれば、パッド部３が狭小化した場合においても、下層の配線との電気的接続を確保しつつ、検査用触手を用いた検査を行うことができる液晶表示装置を実現することができる。

また、検査用触手４０を接触部Ａｒに接触させた検査において、検査用触手４０と配線３１との間に絶縁膜３２が介在することから、検査用触手４０の圧力による配線３１へのダメージを防止することができる。

以下に、パッド部３の変形例について、図６〜図８を参照して説明する。

図６（ａ）は、パッド部３の領域のうち、一部の領域にのみ接触部Ａｒを設けた例を示す図である。図６（ａ）に示すように、パッド部３の長手方向において、検査用触手４０が接触する可能性のある箇所にのみ複数のコンタクトホールＣ１を分割形成して接触部Ａｒを設け、残りの領域には配線３１を一括して開口するコンタクトホールＣ２を形成してもよい。この場合には、パッド部３に占めるコンタクトホールの面積を大きくできることから、配線３１と導電膜３３との間の抵抗を小さくすることができる。

図６（ｂ）は、隣接するパッド部３間において、パッド部３の接触部Ａｒの位置を異ならせた例を示す図である。図６（ｂ）に示すように、コンタクトホールＣ１を分割形成する箇所を隣接するパッド部３間において異ならせて、接触部Ａｒの位置を異なる位置に設けても良い。このように、接触部Ａｒの位置は、検査用触手４０の配置に合わせることができる。

図７（ａ）は、隣接するパッド部３間において、パッド部３の接触部Ａｒが千鳥状の配置になっている例を示す図である。図７（ａ）に示すように、コンタクトホールＣ１を分割形成する箇所を隣接するパッド部３間において千鳥状の配置となるように異ならせて、接触部Ａｒの位置を千鳥状の配置にしてもよい。千鳥状の配置とする場合には、検査用触手４０の配置も千鳥状の配置とすることができ、パッド部３の間隔が狭い場合においても安定した検査を行うことができる。

図７（ｂ）は、接触部Ａｒが確保されたパッド部３と、接触部のないパッド部３とを併用した例を示す図である。図７（ｂ）に示すように、特定のパッド部３については、検査用触手４０が接触しないことが明らかな場合には、当該パッド部３には接触部Ａｒを設けず、配線３１を一括して開口するコンタクトホールＣ２を設けても良い。これにより、検査用触手４０が接触しないパッド部３については、配線３１との電気的接続性を優先することができる。

図８（ａ）は、パッド部３間において、接触部Ａｒを確保するために分割形成するコンタクトホールＣ１の形状を異ならせた例を示す図である。図８（ａ）に示すように、複数のパッド部３間においてコンタクトホールＣ１の形状や配置を変えることにより、接触部Ａｒの面積（広さ）をパッド部３毎に適宜変更することができる。

図８（ｂ）は、パッド部３内の一部のみにコンタクトホールＣ３を設け、他の箇所は全て接触部Ａｒとした例を示す図である。

コンタクトホールを形成しない箇所は導電膜３３と配線３１との接続性を考えると可能な限り少ない方が好ましく、検査用触手４０の配置に合わせて行うのが望ましい。しかしながら、デバイスの特性上十分な接続性が確保できる場合は、図８（ｂ）に示すように、パッド部３内の一部のみにコンタクトホールＣ３を設け、他の箇所は全て接触部Ａｒとしてもよい。図８（ｂ）に示す例は、上記したパッド配置を拡張させた極端な例である。

上記のパッド部３に形成するコンタクトホールと接触部Ａｒの形状と配置は、検査用触手４０との一定の接続面積の確保と、配線３１と導電膜３３との接続面積の確保とを両立できれば、種々の変更が可能である。

次に、上記した液晶パネル１０を適用した液晶表示装置の一例について説明する。図９は、投射型液晶表示装置の全体構成の一例を示す図である。図９に示す投射型液晶表示装置は、３枚の透過型の液晶パネル１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを用いてカラー画像表示を行ういわゆる３板方式のものである。

投射型液晶表示装置は、照明手段として、光を出射する光源１０１と、一対の第１および第２フライアイレンズ１０２，１０３と、ＰＳ分離合成素子１０４と、コンデンサレンズ１０５とを有する。

光源１０１は、カラー画像表示に必要とされる、赤色光、青色光、緑色光を含んだ白色光を出射する。光源１０１は、白色光を発する発光体と、発光体から発せられた光を反射、集光する凹面鏡を有する。発光体として、例えば、ハロゲンランプ、メタルハライドランプまたはキセノンランプなどが使用される。凹面鏡は、集光効率がよい形状であることが望ましく、例えば回転楕円面鏡や回転放物面鏡等の回転対象な面形状となっている。

第１フライアイレンズ１０２および第２フライアイレンズ１０３には、それぞれ複数のマイクロレンズが２次元的に配列されている。第１フライアイレンズ１０２および第２フライアイレンズ１０３は、光の照度分布を均一化させるためのものであり、入射した光を複数の小光束に分割する機能を有する。

ＰＳ分離合成素子１０４は、第２フライアイレンズ１０３における隣り合うマイクロレンズ間に対応する位置に、複数の１／２波長板を有する。ＰＳ分離合成素子１０４は、入射した光をＰ偏光成分とＳ偏光成分とに分離する。また、ＰＳ分離合成素子１０４は、分離された２つの偏光のうち、一方の偏光をその偏光方向(例えばＰ偏光)を保ったまま出射し、他方の偏光(例えば、Ｓ偏光)を１／２波長板の作用により、他の偏光成分（例えば、Ｐ偏光成分）に変換して出射する。

色分離フィルタ（色分離手段）１０６は、コンデンサレンズ１０５を介して入射した光を、例えば赤色光ＬＲとその他の色光（青色光ＬＢおよび緑色光ＬＧ）とに分離する。色分離フィルタ１０６は、例えば、入射した光のうち、赤色光ＬＲを反射し、他の色光（青色光ＬＢおよび緑色光ＬＧ）を透過するダイクロイックミラーにより構成される。

色分離フィルタ１０６によって分離された赤色光ＬＲの光路に沿って、ミラー１０８−１が設けられている。ミラー１０８−１は、色分離フィルタ１０６によって分離された赤色光ＬＲを液晶パネル１０Ｒに向けて反射する。

色分離フィルタ１０６によって分離された他の色光の光路には、色分離フィルタ（色分離手段）１０７が設けられている。色分離フィルタ１０７は、入射した光を例えば緑色光ＬＧと青色光ＬＢとに分離する。色分離フィルタ１０７は、例えば、入射した光のうち、緑色光ＬＧを反射し、青色光ＬＢを透過するダイクロイックミラーにより構成される。

色分離フィルタ１０７によって分離された青色光ＬＢの光路には、リレーレンズ１０９−１と、ミラー１０８−２と、リレーレンズ１０９−２と、ミラー１０８−３とが順に配置されている。

ミラー１０８−２は、リレーレンズ１０９−１を介して入射した青色光ＬＢをミラー１０８−３に向けて反射する。ミラー１０８−３は、ミラー１０８−２によって反射され、リレーレンズ１０９−２を介して入射した青色光ＬＢを、液晶パネル１０Ｂへ向けて反射する。

ミラー１０８−１によって反射された赤色光ＬＲの光路には、フィールドレンズ１１０Ｒ、入射側偏光子１１１Ｒ、液晶パネル１０Ｒ、出射側偏光子１１２Ｒが順に配置されている。

入射側偏光子１１１Ｒは、入射する赤色光ＬＲの偏光方向を一方向に規制する。液晶パネル１０Ｒは、各々の画素への電圧の印加、または非印加により、入射した赤色光ＬＲの偏光方向を変調し、または変調せずに透過する。出射側偏光子１１２Ｒは、液晶パネル１０Ｒで画素ごとに変調され、または変調されずに透過した赤色光ＬＲのうち、特定の偏光成分を透過し、それ以外の偏光成分を遮光する。

色分離フィルタ１０７によって反射された緑色光ＬＧの光路には、フィールドレンズ１１０Ｇ、入射側偏光子１１１Ｇ、液晶パネル１０Ｇ、出射側偏光子１１２Ｇが順に配置されている。フィールドレンズ１１０Ｇ、入射側偏光子１１１Ｇ、液晶パネル１０Ｇ、出射側偏光子１１２Ｇの構成については、フィールドレンズ１１０Ｒ、入射側偏光子１１１Ｒ、液晶パネル１０Ｒ、出射側偏光子１１２Ｒと同様である。

ミラー１０８−３によって反射された青色光ＬＢの光路には、フィールドレンズ１１０Ｂ、入射側偏光子１１１Ｂ、液晶パネル１０Ｂ、出射側偏光子１１２Ｂが順に配置されている。フィールドレンズ１１０Ｂ、入射側偏光子１１１Ｂ、液晶パネル１０Ｂ、出射側偏光子１１２Ｂの構成については、フィールドレンズ１１０Ｒ、入射側偏光子１１１Ｒ、液晶パネル１０Ｒ、出射側偏光子１１２Ｒと同様である。

液晶パネル１０Ｂを透過した青色光ＬＢ、液晶パネル１０Ｇを透過した緑色光ＬＧ、液晶パネル１０Ｒを透過した赤色光ＬＲの光路が交わる位置に、３つの色光ＬＧ，ＬＢ，ＬＲを合成するダイクロイックプリズム（色合成手段）１１４が配置されている。

投射レンズ（投射手段）１１５は、ダイクロイックプリズム１１４により合成された光を、スクリーン１１６に拡大投影させる。

以上の構成により、スクリーン１１６上にフルカラーの拡大画像が投影される。本実施形態に係る液晶表示装置は、上記した投射型表示装置に適用することができる。

本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。
例えば、各パッド部の詳細な寸法の一例について説明したが、これに限定されるものではない。また、本実施形態では、液晶パネル１０を投射型液晶表示装置に適用する例について説明したが、本実施形態に係る液晶表示装置は、透過型の液晶パネル１０を備えた透過型液晶表示装置であっても、反射型の液晶パネル１０を備えた反射型液晶表示装置であってもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。

本実施形態に係る液晶表示装置の構成を説明するための図である。駆動基板の構成例を示す図である。駆動基板の概略平面図である。（ａ）は本実施形態におけるパッド部の平面図であり、（ｂ）はパッ部の断面図である。（ａ）は比較例におけるパッド部の平面図であり、（ｂ）はパッド部の断面図である。本実施形態におけるパッド部の変形例を示す平面図である。本実施形態におけるパッド部の変形例を示す平面図である。本実施形態におけるパッド部の変形例を示す平面図である。本実施形態に係る液晶パネルを備えた投射型液晶表示装置の構成例を示す図である。

符号の説明

１…駆動基板、２…表示部、３…パッド部、４…対向基板、５…フレキシブル基板、５ａ…リード、６…駆動素子、１０…液晶パネル、２１…画素電極、２２…走査線、２３…データ線、２５…垂直駆動回路、２６…セレクタ回路、３１…配線、３２…絶縁膜、３３…導電膜、４０…検査用触手、３００…パッド部、３０１…配線、３０２…絶縁膜、３０３…導電膜、Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…コンタクトホール、Ａｒ…接触部

Claims

駆動基板と対向基板との間に液晶が封入されて表示部が形成され、前記表示部から引き出されているデータ線に電気的に接続される複数のパッド部が前記駆動基板に形成された液晶表示装置であって、
前記パッド部は、
前記データ線に電気的に接続される配線と、
前記配線に達するコンタクトホールが形成された絶縁膜と、
前記コンタクトホール内および前記絶縁膜上に形成され、前記配線に電気的に接続された導電膜と
を有し、
前記コンタクトホールが、前記パッド部の領域内で複数に分割して形成されており、前記コンタクトホールの非形成領域における前記導電膜により検査用触手の接触部を確保しており、
前記接触部が、前記パッド部の領域において前記検査用触手が接触し得る一部の領域にのみ設けられ、
前記パッド部の残りの領域において前記配線を一括して開口するコンタクトホールが形成された、
液晶表示装置。
前記接触部が、隣接するパッド部間において異なる位置に設けられた、
請求項１に記載の液晶表示装置。
前記接触部が、隣接するパッド部間において千鳥状の配置となるように設けられた、
請求項１に記載の液晶表示装置。