JP2022034187A - 電気光学装置、及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】端子の狭ピッチ化に柔軟に対応できる電気光学装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】液晶パネルと、平面視で整列した状態に配置された導電粒子７１によって液晶パネルの端子部４０に電気的に接続された配線基板１１０と、を備え、端子部４０は、液晶パネルの一辺１０ａに沿う第１方向ｄ１に沿って配列された複数のパネル端子５０を有し、パネル端子５０は、第１方向ｄ１と斜めに交差する第２方向ｄ２に沿った長辺と、第２方向ｄ２に交差する方向に沿った短辺とを有し、導電粒子７１の配列方向は、第２方向ｄ２と交差する第３方向ｄ３に沿って配列されている。【選択図】図３

Description

本発明は、電気光学装置、及び電子機器に関する。

電気光学装置として、画素にスイッチング素子を備えたアクティブ駆動型の液晶装置がある。このような液晶装置は、例えば、電子機器としてのプロジェクターのライトバルブとして用いられる。

液晶装置は、複数の画素が配置された表示領域を有する液晶パネルを備えている。液晶パネルの端子には、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film）を介してフレキシブル配線基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）が接続されている。フレキシブル配線基板を経由して、上位回路から液晶パネルに駆動信号、駆動電圧、映像信号が供給される。

近年の液晶装置その他の電子機器の小型化、高精細化に伴い、配線基板の配線ピッチや電子部品の電極端子のファインピッチ化が進んでおり、異方性導電フィルムにもファインピッチに対応したものが求められている。しかし、狭小化された電極端子間においても確実に導電粒子が挟持され電気的導通を確保するために、異方性導電フィルムに導電粒子を高密度に充填すると、電極端子間に分散された導電粒子が連続することによる端子間ショートの発生率が高まる。そこで、ファインピッチ化された接続電極の端子間スペースにおいて導電粒子が連なることによる端子間ショートを防止することができる異方性導電フィルムの開発が行われている。このようなファインピッチ対応の異方性導電フィルムとして、例えば、特許文献１には、導電粒子が所定の配列パターンで規則的に配列された異方性導電フィルム（以下、粒子整列型異方性導電フィルムと称する）が開示されている。

特開２０２０－３８９９３号公報

しかしながら、液晶パネルの解像度を変えずにパネルサイズを小型化する場合、または、パネルサイズを変えずに高解像度化する場合、パネルサイズの小型化による端子領域の狭小化や高解像度化により増えた端子数に合わせて、フレキシブル配線基板などの外部配線基板との接続端子の幅、長さなどのサイズや端子ピッチを最適化する必要が生じる。
このような場合、使用する粒子整列型異方性導電フィルムも、液晶パネルの接続端子のサイズや配置ピッチに合わせて適切なものに変える必要がある。しかし多くの種類のパネルサイズや解像度の液晶パネルを製造しているメーカーとしては、さまざまな種類の液晶パネルに合わせて、多くの種類の粒子整列型異方性導電フィルムを用意することは、コスト的な負担が増加する。従って、液晶パネルの種類に対して、できるだけ粒子整列型異方性導電フィルムを共通化したい要望がある。
液晶パネルの接続端子のサイズや端子ピッチに合った粒子整列型異方性導電フィルムを使用できない場合、端子において挟持される導電粒子７１の数が極端に減ったり、あるいは端子毎にばらつきが生じたりして、液晶パネルとフレキシブル配線基板とが接続不良になるからである。

電気光学装置は、電気光学パネルと、平面視で整列した状態に配置された導電粒子によって前記電気光学パネルの端子部に電気的に接続された配線基板と、を備え、前記端子部は、前記電気光学パネルの一辺に沿う第１方向に沿って配列された複数の端子を有し、前記端子は、前記第１方向と斜めに交差する第２方向に沿った長辺と、前記第２方向に交差する方向に沿った短辺とを有し、前記導電粒子の配列方向は、前記第２方向と交差する第３方向に沿って配列されている。

電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備える。

液晶装置の構成を示す斜視図。 図１に示す液晶装置の構成を示す側面図。 第１実施形態の液晶装置の端子部の構成を示す平面図。 液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 配線基板の外部端子の構成を示す平面図。 粒子整列型異方性導電フィルムの構成を示す平面図。 粒子整列型異方性導電フィルムを介して液晶パネルと配線基板とを接続した状態を示す平面図。 電子機器としてのプロジェクターの構成を示す模式図。 第２実施形態の液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 図９に示す端子部のＡ－Ａ’線に沿う断面図。 変形例１の液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 変形例２の液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 変形例３の液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 変形例４の液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 変形例５の液晶パネルの端子部の構成を示す平面図。 図７に示す端子部のＢ－Ｂ’線に沿う断面図。 図７に示す端子部のＣ－Ｃ’線に沿う断面図。

第１実施形態
図１及び図２に示すように、電気光学装置としての液晶装置５００は、電気光学パネルとしての液晶パネル１００と、液晶パネル１００の１辺に接続された配線基板１１０と、を有している。なお、図１及び図２は、本発明の構成、作用及び効果を説明する上で支障のない範囲で適時省略して記載している。液晶装置５００は、例えば、後述する電子機器としてのプロジェクター１０００のライトバルブとして用いられる。

液晶パネル１００は、表示領域においてＸ方向とＹ方向とにマトリクス状に配置された、図示しない複数の画素を有している。液晶パネル１００は、アクティブ駆動型である。以下では、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜用いて説明する。また、Ｘ軸に沿う方向をＸ方向と表記する。同様に、Ｙ軸に沿う方向をＹ方向と表記し、Ｚ軸に沿う方向をＺ方向と表記する。また、以下では、Ｚ方向に見ることを「平面視」とし、Ｚ軸を含む断面に対して垂直方向からを見ることを「断面視」とする。

画素には、図示を省略するが、画素電極、スイッチング素子、対向電極、および保持容量などが対応して設けられている。スイッチング素子は、画素電極をスイッチング制御する。対向電極は、液晶層を介して画素電極と対向する。画素電極、スイッチング素子および保持容量は、素子基板１０に設けられている。スイッチング素子は、例えば、薄膜トランジスター（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）である。対向電極は、複数の画素電極と対向するように、少なくとも表示領域に亘って対向基板２０に設けられている。画素電極および対向電極は、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）などの透明導電膜を用いて形成される。

素子基板１０の張り出し部１２には、端子部４０が配置されている。端子部４０は、液晶パネル１００の端子としてのパネル端子５０（図３参照）と配線基板１１０の外部端子６０（図３参照）とが電気的に接続されている部分である。配線基板１１０は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの可撓性基板である。なお、図示しないが、配線基板１１０には、駆動用ＩＣが実装されている。配線基板１１０には駆動用ＩＣは実装されてなくてもよい。

また、図１及び図２に示すように、液晶パネル１００の素子基板１０側には、第１防塵基板３１が配置されている。液晶パネル１０１の対向基板２０側には、第２防塵基板３２が配置されている。

図３に示すように、素子基板１０の張り出し部１２には、複数の端子部４０を有する端子群が設けられている。端子部４０は、液晶パネル１００に形成されたパネル端子５０と、配線基板１１０に形成された外部端子６０と、パネル端子５０と配線基板１１０とを電気的に接続するための粒子整列型異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film）７０と、を含んで構成されている。また、複数の端子部４０を有する端子群の両側には、パネル端子５０と外部端子６０との位置合わせのためのアライメントマーク１１が配置されている。

図４に示すように、素子基板１０の張り出し部１２には、素子基板１０の一辺１０ａに沿う第１方向ｄ１（Ｘ方向）に沿って複数のパネル端子５０が配置されている。複数のパネル端子５０の長辺５０Ｌは、素子基板１０の端辺１０ｂに沿う第３方向ｄ３（Ｙ方向）に対して、角度θａ傾斜して配置されている。具体的には、パネル端子５０は、第１方向ｄ１と斜めに交差する第２方向ｄ２に沿った長辺５０Ｌ、第２方向ｄ２に直交する第４方向ｄ４に沿った短辺５０Ｓとを有する。

図５に示すように、配線基板１１０の外部端子６０は、パターニングされた銅箔による配線６１において屈曲部６０ａより先端側（端辺６０ｂ側）の配線６１を覆う絶縁フィルムが取り除かれた部分である。外部端子６０は、屈曲部６０ａと端辺６０ｂとの間において、配線基板１１０の端辺６０ｃに対して、角度θａ傾斜している。そして、配線基板１１０が、素子基板１０の張り出し部１２に貼り合わされる際には、外部端子６０とパネル端子５０とが、素子基板１０の第３方向ｄ３（Ｙ方向）に沿う端辺１０ｂに対して角度θａ傾斜した状態で貼り合わされる（図３参照）。なお、配線６１は、外部端子６０の部分を除いて、傾斜しておらず、配線基板１１０の端辺６０ｃの延在方向（第３方向ｄ３）と平行に配置されている。外部端子６０の屈曲部６０ａは、パネル端子５０に対して、素子基板１０の一辺１０ａ側に位置するように貼り合わされる（図３参照）。

各配線６１の屈曲部６０ａについて説明する。図５に示すように各配線６１の屈曲部６０ａを結ぶ線分を端辺６０ｂに対して平行とし、図７に示すように各配線６１の屈曲部６０ａを構成する２個の屈曲点を結ぶ線分を、端辺６０ｂに対して反時計回りに傾斜させれば、配線６１の幅は、第３方向ｄ３（Ｙ方向）に沿う方向の領域＜第２方向ｄ２に沿う領域、となる。一方、各配線６１の屈曲部６０ａを構成する２個の屈曲点を結ぶ線分を、端辺６０ｂに対して平行にすれば、配線６１の幅は、第３方向ｄ３（Ｙ方向）に沿う方向の領域＞第２方向ｄ２に沿う領域、となる。いずれにしても配線６１の幅について、第３方向ｄ３（Ｙ方向）に沿う方向の領域≠第２方向ｄ２に沿う領域、とするならば、各配線６１の屈曲部６０ａを結ぶ線分は端辺６０ｂに対して平行となり、配線基板１１０を不要に長くする必要はなく、あるいは屈曲させる必要もない。

各配線６１の屈曲部６０ａを結んでできる線分を端辺６０ｂに対して反時計回りに傾斜させ、かつ各配線６１の屈曲部６０ａを構成する２個の屈曲点を結ぶ線分を、端辺６０ｂに対して反時計回りに傾斜させれば、配線６１の幅を、第３方向ｄ３（Ｙ方向）に沿う方向の領域＝第２方向ｄ２に沿う領域、にもできる。

図６に示すように、粒子整列型異方性導電フィルム７０は、平面視において導電粒子７１が、所定の配列パターンで規則的に整列して配置されており、具体的には、その長手方向に平行な方向ｘ１と直交する方向ｙ１とに、マトリクス状かつ均等な間隔に導電粒子７１が配列されている。粒子整列型異方性導電フィルム７０は、液晶パネル１００に貼り付ける際、導電粒子７１の配列方向（ｘ１、ｙ１）が、素子基板の一辺１０ａ（図４参照）に沿う第１方向ｄ１と、第１方向ｄ１に直行する第３方向ｄ３に沿うように、液晶パネル１００の張り出し部１２に貼り付けられる。

尚、本実施形態において、導電粒子７１が所定の配列パターンで規則的に配列されているとは、パネル端子５０上において、多数の導電粒子７１の配列に規則性を持っていることである。なお、導電粒子７１の配列は、粒子整列型異方性導電フィルム７０の製造上の理由で必ずしも全てが規則的に配列されないことがある。従って、パネル端子５０上でも一部がイレギュラーに所定の配列軸や所定の配列間隔からずれるものが生じるが、それをもって規則的に配列していないとするものではない。またパネル端子５０間では、粒子整列型異方性導電フィルム７０を構成するバインダーの流動性によって、圧着後に導電粒子７１が所定の配列軸や所定の配列間隔からずれる場合もあるが、それをもって規則的に配列していないとするものではない。

図７は、図３に示す端子部４０を拡大して示す平面図である。図１６は、図７において、端子部４０を第２方向ｄ２と平行な線分Ｂ－Ｂ’で切断した断面を第４方向ｄ４から断面視した断面図である。図１７は、図７において、端子部４０を第４方向ｄ４と平行な線分Ｃ－Ｃ’で切断した断面を第２方向ｄ２から断面視した断面図である。尚、第４方向ｄ４は、パネル端子５０の短辺５０Ｓの延在方向と平行な方向であり、または、パネル端子５０の長辺５０Ｌの延在方向（第２方向）と直交する方向である。

図７に示すように、本実施形態によれば、パネル端子５０は、その長辺５０Ｌの延在方向が、液晶パネル１００の一辺１０ａ（図４参照）に対して斜めになるように、張り出し部１２に配置されている。また、粒子整列型異方性導電フィルム７０は、導電粒子７１の配列方向（ｘ１、ｙ１）（図６参照）が、それぞれ第１方向ｄ１および第３方向ｄ３になるように配置されている。これにより、導電粒子７１の配列方向は、パネル端子５０の長辺５０Ｌの延在方向（第２方向ｄ２）と斜めに交差するため、パネル端子５０の長辺５０Ｌまたは短辺５０Ｓに直交する方向（第４方向ｄ４または第２方向ｄ２）からパネル端子５０を見たときの導電粒子７１の配置を緻密にすることができる。粒子整列型異方性導電フィルム７０における導電粒子７１の配列方向を自由に変更することは難しいが、角度θａを調整することにより、導電粒子７１の配置の緻密度を調整できるから最適な端子構成とすることができる。

換言すれば、図１６に示すように、第１方向ｄ１および第３方向ｄ３に規則的に配列された多数の導電粒子７１によって、パネル端子５０を、パネル端子５０の長辺５０Ｌと直交する方向（第４方向）に向かって見たときに、配線基板１１０の外部端子６０と素子基板１０のパネル端子５０との間に、導電粒子７１が隙間なく配置され、あたかも、外部端子６０とパネル端子５０との間を横断するような連続した導体があるように見える。

また、図１７に示すように、第１方向ｄ１および第３方向ｄ３に規則的に配列された多数の導電粒子７１によって、パネル端子５０を、パネル端子５０の短辺５０Ｓと直交する方向（第２方向）に向かって見たときに、配線基板１１０の外部端子６０と素子基板１０のパネル端子５０との間に、導電粒子７１が隙間なく配置され、あたかも、外部端子６０とパネル端子５０との間を横断するような連続した導体があるように見える。

また、図７において、ハッチングした導電端子７１ａ，７１ｂ，７１ｃは、パネル端子５０と外部端子６０との間に位置して、両端子に電気的に接続された導電粒子７１を示している。両端子に電気的に接続された導電粒子７１は、図７に示したように、第ｎ列の導電粒子７１ａと、第ｎ＋１列の導電粒子７１ｂと、第ｎ＋２列の導電粒子７１ｃからなる。従って、パネル端子５０と外部端子６０の配列方向が、導電粒子７１の配列方向と同じ場合に比べ、パネル端子５０と外部端子６０との電気的接続に寄与する導電粒子７１が帰属する列の数を多くすることができる。

従って、外部端子６０とパネル端子５０とが対向したときに、必ず導電粒子７１と接触を挟持する部分ができる。よって、パネル端子５０と外部端子６０との電気的接続の確実性を高めることができる。

また、液晶パネル１００の外形に対して粒子整列型異方性導電フィルム７０を傾けて貼り付けなくてよいので、粒子整列型異方性導電フィルム７０の貼り付け時や配線基板１１０の貼り付け時において、粒子整列型異方性導電フィルム７０が、対向基板２０と干渉しないためのクリアランス確保が容易になるから液晶パネル１００を肥大化させない。また、粒子整列型異方性導電フィルム７０を傾けなくてもよいので、例えば、パネル端子５０のアライメントマーク１１と粒子整列型異方性導電フィルム７０のアライメントマークを兼用することが可能となり、液晶パネル１００におけるスペース効率を高めることができる。

また、配線基板１１０の外部端子６０の屈曲部６０ａは、パネル端子５０より素子基板１０の一辺１０ａ側に設けられているので、実装時の熱印可によって配線基板１１０のＸ方向への伸長等によるアライメントずれがあっても、隣り合うパネル端子５０に外部端子６０が意図しない接触することを抑えることが可能となり、歩留まりの低下を抑制することができる。更に、配線基板１１０の終端側は、外部端子６０の傾斜角度を変えていないので、同様の実装時のアライメントずれがあっても、隣り合うパネル端子５０に外部端子６０が接触することを抑えることができる。

図８に示すように、本実施形態の電子機器としてのプロジェクター１０００は、システム光軸Ｌに沿って配置された偏光照明装置１１００と、光分離素子としての２つのダイクロイックミラー１１０４，１１０５と、３つの反射ミラー１１０６，１１０７，１１０８と、５つのリレーレンズ１２０１，１２０２，１２０３，１２０４，１２０５と、３つの光変調手段としての透過型の液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０と、光合成素子としてのクロスダイクロイックプリズム１２０６と、投写レンズ１２０７とを備えている。

偏光照明装置１１００は、超高圧水銀灯やハロゲンランプなどの白色光源からなる光源としてのランプユニット１１０１と、インテグレーターレンズ１１０２と、偏光変換素子１１０３とから概略構成されている。

ダイクロイックミラー１１０４は、偏光照明装置１１００から射出された偏光光束のうち、赤色光（Ｒ）を反射させ、緑色光（Ｇ）と青色光（Ｂ）とを透過させる。もう１つのダイクロイックミラー１１０５は、ダイクロイックミラー１１０４を透過した緑色光（Ｇ）を反射させ、青色光（Ｂ）を透過させる。

ダイクロイックミラー１１０４で反射した赤色光（Ｒ）は、反射ミラー１１０６で反射した後にリレーレンズ１２０５を経由して液晶ライトバルブ１２１０に入射する。ダイクロイックミラー１１０５で反射した緑色光（Ｇ）は、リレーレンズ１２０４を経由して液晶ライトバルブ１２２０に入射する。ダイクロイックミラー１１０５を透過した青色光（Ｂ）は、３つのリレーレンズ１２０１，１２０２，１２０３と２つの反射ミラー１１０７，１１０８とからなる導光系を経由して液晶ライトバルブ１２３０に入射する。

液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０は、クロスダイクロイックプリズム１２０６の色光ごとの入射面に対してそれぞれ対向配置されている。液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０に入射した色光は、映像情報（映像信号）に基づいて変調されクロスダイクロイックプリズム１２０６に向けて出射される。

このプリズムは、４つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が合成される。合成された光は、投写光学系である投写レンズ１２０７によってスクリーン１３００上に投写され、画像が拡大されて表示される。

液晶ライトバルブ１２１０は、上述した液晶装置５００が適用されたものである。液晶装置５００は、色光の入射側と射出側とにおいてクロスニコルに配置された一対の偏光素子の間に隙間を置いて配置されている。他の液晶ライトバルブ１２２０，１２３０も同様である。

なお、液晶装置５００が搭載される電子機器としては、プロジェクター１０００の他、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）、スマートフォン、ＥＶＦ（Electrical View Finder）、モバイルミニプロジェクター、電子ブック、携帯電話、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、ディスプレイ、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。

以上述べたように、第１実施形態の液晶装置５００は、液晶パネル１００と、平面視で整列した状態に配置された導電粒子７１によって液晶パネル１００の端子部４０に電気的に接続された配線基板１１０と、を備え、端子部４０は、液晶パネル１００の一辺１０ａに沿う第１方向ｄ１に沿って配列された複数のパネル端子５０を有し、パネル端子５０は、第１方向ｄ１と斜めに交差する第２方向ｄ２に沿った長辺５０Ｌと、第２方向ｄ２に交差する第４方向ｄ４に沿った短辺５０Ｓとを有し、導電粒子７１の配列方向は、第２方向ｄ２と交差する第３方向ｄ３に沿って配列されている。

この構成によれば、パネル端子５０の延在方向と導電粒子７１の配列方向とが異なるので、例えば、液晶パネル１００の端子部４０が配置された領域に粒子整列型異方性導電フィルム７０を貼り付け、液晶パネル１００と配線基板１１０とを圧着して接続した際、パネル端子５０に挟持される導電粒子７１の数が極端に減ったり、あるいは端子毎にばらつきが生じたりすることを抑えることができる。よって、液晶パネル１００と配線基板１１０とが接続不良になることを抑えることができる。

また、パネル端子５０のピッチに合った粒子整列型異方性導電フィルム７０の選択は従来からの重要な課題であるが、粒子整列型異方性導電フィルム７０の選択肢が広がり、パネル端子５０の傾斜角度により特に粒子整列型異方性導電フィルム７０の導電粒子７１の配列方向を任意に設定できる。パネル端子５０における長さや幅方向における導電粒子７１の配列密度を粒子整列型異方性導電フィルム７０上の導電粒子７１の配列ピッチより実効的に小さくできるから、配線基板１１０との電気的接続性も向上する。また、この構成によれば、端子の狭ピッチ化に柔軟に対応できる電気光学装置、及び電子機器を提供することができる。

また、上記に記載の液晶装置５００を備えるので、安定した表示を行うことが可能なプロジェクター１０００を提供することができる。

第２実施形態
第２実施形態の液晶パネル１０１は、図９に示すように、導電粒子７１と接触するパネル端子５０の長辺の角度と、その下層に配置された下層電極５１の長辺の角度と、を異ならしている部分が、第１実施形態の液晶パネル１００と異なっている。その他の構成については概ね同様である。このため第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。

図９及び図１０に示すように、第２実施形態の液晶パネル１０１の端子部１４０は、複数の下層電極５１ａ～５１ｃを有する。例えば、端子部１４０は、基材１５の上に、絶縁層１４ａ、導電層の一部である下層電極５１ａ、層間絶縁層１４ｂ、導電層の一部である下層電極５１ｂ、層間絶縁層１４ｃ、導電層の一部である下層電極５１ｃ、層間絶縁層１４ｄ、パネル端子５０が順に配置されている。ここでは、下層電極５１ａ～５１ｃを合わせて、下層電極５１と称する。

パネル端子５０と下層電極５１とは、コンタクトホール５２に配置された中継電極５２ｒを介して電気的に接続されている。下層電極５１ｂと下層電極５１ｃもコンタクトホール５３に配置された中継電極５３ｒを介して電気的に接続されている。ここで絶縁層１４ａは素子基板１０に形成された薄膜トランジスターのゲート絶縁膜である。下層電極５１ａは例えば素子基板１０に形成された薄膜トランジスターのゲート電極層であり、素子基板１０の表示領域に配置されたゲート電極線にも使用される。下層電極５１ｂは、例えば、素子基板１０に形成された薄膜トランジスターのソース電極またはドレイン電極層であり、薄膜トランジスター同士の結線や、素子基板１０の表示領域に配置された信号線に使用される。下層電極５１ｃは、例えば、表示領域に配置された保持容量線に使用であり、下層電極５１ｂを補助する結線としても使用される。パネル端子５０は、例えば、素子基板１０に形成された画素電極層である。なお下層電極５１ａと下層電極５１ｂとを接続するコンタクト構造は図示していないが、素子基板１０に形成された周辺回路ではコンタクト構造により接続される。なお層間絶縁層１４ｂには、表示領域の画素に設けられた保持容量を構成する容量層等が含まれるが、説明の簡易化として単一の絶縁層として省略表記している。

パネル端子５０は、第１実施形態と同様に、素子基板１０のＹ方向に沿う端辺１０ｂに対して角度θａ傾いて配置されている（図３参照）。下層電極５１は、素子基板１０のＹ方向に沿う端辺１０ｂに対して傾かずに配置されている。具体的には、パネル端子５０の長辺は、第２方向ｄ２に沿って配置されており、下層電極５１ａ～５１ｃの長辺は、第１方向ｄ１に対して直角に交差する方向であるＹ方向（第３方向ｄ３）に沿って配置されている。なお、下層電極５１は、全ての下層電極５１ａ～５１が傾かない配置にしてもよいし、一部がパネル端子５０と同様に角度θａ傾いて配置されていてもよい。

複数のコンタクトホール５２は、平面視で、パネル端子５０と下層電極５１とが重なる領域、かつ、下層電極５１の長辺に沿って配列されている。これにより、コンタクトホール５２は、下層電極５１の領域内で偏在した配置になっている。

パネル端子５０、下層電極５１及びコンタクトホール５２等からなる端子部１４０全体を単純に傾斜させてしまうと、端子部１４０を決めている図形についてフォトマスク作成上のワーキンググリッドに乗らない問題が発生する。その場合、フォトマスクが意図しない図形形状や寸法になるため、特にコンタクトホール５２などの微細加工に支障をきたし、例えば、コンタクト抵抗にばらつきが生じる。

また、粒子整列型異方性導電フィルム７０の廃版などによって、使用する粒子整列型異方性導電フィルム７０を変更した結果、端子部１４０の傾斜角度を変更したい場合がある。具体的には代替品における導電粒子７１の配列ピッチが異なるため、パネル端子５０における長さ方向や幅方向における導電粒子７１の実効的配列密度を変えたい場合である。その際に、端子部１４０の構造の全てを変更するのは費用的な問題も発生する。しかしながら、上記した端子部１４０の構成にすることにより、導電粒子７１と接触するパネル端子５０以外はオングリッド図形にできる。さらにはコンタクトホール５２が下層電極５１の領域内で偏在した配置になっているから、傾斜角度を、例えば、θａからそれ以外の角度に変更する場合でも、コンタクトホール５２がむき出しにならないようになりプロセス上の問題を起こさないようにできるからパネル端子５０のフォトマスクのみを変更すればよい。

以上述べたように、第２実施形態の液晶パネル１０１の端子部１４０は、導電粒子７１に接触するパネル端子５０と、パネル端子５０より下層に配置され、平面視でパネル端子５０と重なる下層電極５１ａ～５１ｃとを有し、パネル端子５０の長辺は、第２方向ｄ２に沿って配置されており、下層電極５１ａ～５１ｃの長辺は、第１方向ｄ１に対して直角に交差する第３方向ｄ３に沿って配置されている。

この構成によれば、パネル端子５０が傾斜しているので、パネル端子５０に挟持される導電粒子７１の数が極端に減ったり、あるいは端子毎にばらつきが生じたりすることを抑えることができる。また、コンタクトホール５２などの微細加工の制御が容易となり、コンタクト抵抗のばらつきを抑えることができる。パネル端子５０の傾斜角度の変更にも低コストで対応できる。

なお、上記した第１実施形態及び第２実施形態の構成に限定されず、以下のような構成にしてもよい。図１１～図１５は、変形例１～５の端子部１４１，１４２，１４３，１４４，１４５の構成を示す平面図である。

図１１に示すように、変形例１の端子部１４１は、パネル端子１５０の形状が平行四辺形になっている。具体的には、第２実施形態の端子部１４０のように、パネル端子５０の角度を単純にθａ回転させた場合、パネル端子５０の矩形の頂点がフォトマスク作成時のワーキンググリッドに乗らない場合が発生し得る。その場合、意図しないサイズでフォトマスクが作成され得るので、パネル端子５０の寸法が微妙に相違する事態が発生する。しかしながら、このような形状にすることにより、パネル端子１５０を傾斜させつつオングリッド図形にできるので、パネル端子１５０の面積を安定して形成することができる。

このように、パネル端子１５０の形状は、平行四辺形であることが好ましい。この構成によれば、パネル端子１５０の形状が平行四辺形であるので、液晶パネル１００の一辺１０ａに対してパネル端子１５０の延在方向を傾けることができると共に、確実に形成することができる。

図１２に示すように、変形例２の端子部１４２は、パネル端子１５０の傾きに合わせて、下層電極１５１を傾かせて配置している。例えば、図１１の変形例１において、パネル端子１５０の長辺方向の長さを、例えば、５００μｍとし、傾斜角度θａを４°とする。下層電極５１からなる構造体のＸ方向の配列ピッチを５０μｍ、幅を３５μｍ、スペースを１５μｍとする。そのとき、寸法Ｌ１は、２５０μｍ×ｔａｎ４°＝１８μｍになる。

こうなると、下層電極５１からなる構造体のスペース１５μｍより寸法Ｌ１が大きくなるから、パネル端子１５０が隣り合う端子部１４１の下層電極５１と平面視で重なってしまう。実装時には圧力がかかるので、絶縁層の厚さ次第では、例えば、下層電極５１ｃとパネル端子１５０との短絡不良になり得る。そこで、図１２の変形例２に示すように、下層電極１５１のうち少なくとも一部または全部を、パネル端子１５０と同様に平行四辺形に形成する。このように構成すると、隣り合う端子部１４２において、パネル端子１５０と隣接する端子部１４２の下層電極１５１との重なりを回避できる。

このように、パネル端子１５０は、隣り合う端子部１４２の下層電極１５１と平面視で重ならないことが好ましい。この構成によれば、パネル端子１５０が隣り合う端子部１４２の下層電極１５１と重ならないので、液晶パネル１００と配線基板１１０とを圧着した際、圧着の応力によってパネル端子１５０と隣接する端子部１４２の下層電極１５１とが短絡することを抑えることができる。

図１３に示すように、変形例３の端子部１４３は、コンタクトホール１５２を、パネル端子１５０の形状に沿って、Ｘ座標を少しずつ移動させながら、パネル端子１５０の全面に配置されるようにする。具体的には、概ね、パネル端子１５０の平行四辺形の一辺に沿ってコンタクトホール１５２を配置する。

この場合の作図は、コンタクトホール１５２を配置する仮想線を設定し、コンタクトホール１５２のＹ方向の配置ピッチ毎にこの仮想線に最も近いＸ座標をフォトマスク作成のワーキンググリッドの値に丸め込むことで機械的に算出し、コンタクトホール１５２の基本図形を配置するプログラムを記述して実行することで実施できる。任意の作図プログラムの記述及び実行は、市販されているフォトマスク作成の作図ソフトウェアに機能が実装されている。

このように、パネル端子１５０と下層電極１５１との間に配置された複数のコンタクトホール１５２を備え、複数のコンタクトホール１５２は、第２方向に沿って配置されていることが好ましい。

この構成によれば、下層電極５１をオフグリッド図形になることを抑えることができる。また、コンタクトホール１５２について、ほぼパネル端子１５０（下層電極１５１）の全面に渡って配置するので、コンタクトホール１５２の数を増やせるからパネル端子１５０と下層電極１５１との電気的接続の確実性が高まる。

あるいは、コンタクトホール１５２は、所定のピッチＡ以上Ｂ以下の範囲で、ランダムに配置されていることが好ましい。ピッチＡはコンタクトホール１５２の加工性能によって決まるスペースルールであり、例えば１μｍである。ピッチＢは置きたいコンタクトホールの大きさや数によって決定されるが、例えば１０μｍである。このようにすると、スペースルールを守り、かつ１０μｍ範囲には少なくとも１個のコンタクトホールを配置することになる。

この構成によれば、平行四辺形の中に納まるようにコンタクトホール１５２を増やすことが可能となり、電気抵抗を低減することができる。よって、安定した信号、電源供給ができる。

また、配線基板１１０の実装工程の管理上、導電粒子７１の配列方向を確認したいことがある。導電粒子７１の観察は素子基板１０が石英等の透明基板であれば素子基板１０の裏面から行うことができるが、シリコン基板等では不透明なので、成膜面つまり配線基板１１０側から観察することになる。このときコンタクトホール１５２をランダム配置にすると、パネル端子１５０上の導電粒子７１の配列具合を顕微鏡等で観察する時に、コンタクトホール１５２との区別がしやすくなる。例えば３個等間隔で並んでいる構造物を見つければそれが導電粒子７１の配列軸だと判別しやすくできるようになる。

図１４に示すように、変形例４の端子部１４４は、図１１に示す変形例１の端子部１４１のように、パネル端子１５０の形状からはみ出す下層電極５１の部分を削除した形状を下層電極２５１としている。具体的には、隣り合う端子部１４１に近接する部分の少なくとも一部、または全部を切り欠く態様とし、図１４では変形６角形とした。このように構成すると、隣り合う端子部１４４において、パネル端子１５０と隣接する端子部１４４の下層電極２５１との重なりを回避できるから、パネル端子１５０と下層電極２５１との短絡不良を回避できる。

図１５に示すように、変形例５の端子部１４５は、下層電極３５１をコンタクトホール２５２の大きさに合わせた幅で形成されている。具体的には、コンタクトホール２５２は、素子基板１０のＹ方向に対して平行に、かつ、一列に配列されている。例えば、端子部１４５から供給する信号の中には、いわゆるクロック信号などのロジック系信号があり、これらは典型的には表示パネルの内部回路のバッファ回路に入力されるからコンタクト抵抗については比較的大きくなっても問題ない。その場合、パネル端子１５０以外の下層電極３５１の一部、または全部についてその幅をパネル端子１５０より小さく構成してもよい。このように構成しても、隣り合う端子部１４５の下層電極３５１との重なりを回避できるから、パネル端子１５０と隣接する端子部１４５の下層電極３５１との短絡不良を回避できる。なお、パネル端子１５０の傾きに合わせて、コンタクトホール２５２を一列に配列し、下層電極３５１も、コンタクトホール２５２の傾きに合わせて形成するようにしてもよい。コンタクトホール２５２は複数列であってもよい。

実施例では、液晶パネル１００に粒子整列型異方性導電フィルム７０を貼り付けた際、導電粒子７１が素子基板の一辺１０ａの方向（第１方向ｄ１）とその直交する方向（第３方向ｄ３）に沿ってマトリクス状に配置されるものとしたがこれに限定されない。素子基板の一辺１０ａの方向とその直交する方向に対して傾斜していてもよい。あるいはマトリクス配置ではなく、正六角形の中心と各辺の頂点に導電粒子７１が整列された粒子整列型異方性導電フィルムであってもよい。いずれの態様であっても、本願の構成であれば導電粒子７１の配列方向とパネル端子５０等の傾斜角度の関係を任意に設定できるので、最適な設計を採用することができる。

実施例では、液晶パネル１００に粒子整列型異方性導電フィルム７０を用いて配線基板１１０を実装したが、これに限定しない。例えば、液晶パネル１００の素子基板１０に粒子整列型異方性導電フィルム７０を用いて駆動ＩＣを実装するＣＯＧ（Chip On Glass）の態様でもよい。また、ＣＯＦ（Chip On Film）の態様でもよい。

また、電気光学装置として上記したような液晶装置５００を適用することに限定されず、例えば、有機ＥＬ装置、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、電子ペーパー（ＥＰＤ）等に適用するようにしてもよい。

１０…素子基板、１０ａ…一辺、１１…アライメントマーク、１４ａ…絶縁層、１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…層間絶縁層、１２…張り出し部、１５…基材、２０…対向基板、３１…第１防塵基板、３２…第２防塵基板、４０…端子部、５０…端子としてのパネル端子、５１，５１ａ，５１ｂ，５１ｃ…下層電極、６０…外部端子、６０ａ…屈曲部、７０…異方性導電フィルム、７１…導電粒子、１００，１０１…電気光学パネルとしての液晶パネル、１１０…配線基板、１４０，１４１，１４２，１４３，１４４，１４５…端子部、１５０…パネル端子、１５１，２５１，３５１…下層電極、５００…電気光学装置としての液晶装置、１０００…電子機器としてのプロジェクター、１１００…偏光照明装置、１１０１…ランプユニット、１１０２…インテグレーターレンズ、１１０３…偏光変換素子、１１０４，１１０５…ダイクロイックミラー、１１０６，１１０７，１１０８…反射ミラー、１２０１，１２０２，１２０３，１２０４，１２０５…リレーレンズ、１２０６…クロスダイクロイックプリズム、１２０７…投写レンズ、１２１０，１２２０，１２３０…液晶ライトバルブ、１３００…スクリーン。

Claims (7)

1. 電気光学パネルと、
   平面視で整列した状態に配置された導電粒子によって前記電気光学パネルの端子部に電気的に接続された配線基板と、
   を備えた電気光学装置であって、
   前記端子部は、前記電気光学パネルの一辺に沿う第１方向に沿って配列された複数の端子を有し、
   前記端子は、前記第１方向と斜めに交差する第２方向に沿った長辺と、前記第２方向に交差する方向に沿った短辺とを有し、
   前記導電粒子の配列方向は、前記第２方向と交差する第３方向に沿って配列されていることを特徴とする電気光学装置。
2. 請求項１に記載の電気光学装置であって、
   前記端子部は、前記導電粒子に接触する前記端子と、前記端子より下層に配置され、平面視で前記端子と重なる下層電極とを有し、
   前記端子の長辺は、前記第２方向に沿って配置されており、
   前記下層電極の長辺は、前記第１方向に対して直角に交差する第３方向に沿って配置されていることを特徴とする電気光学装置。
3. 請求項２に記載の電気光学装置であって、
   前記端子は、隣り合う端子部の下層電極と平面視で重ならないことを特徴とする電気光学装置。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
   前記端子の形状は、平行四辺形であることを特徴とする電気光学装置。
5. 請求項２乃至請求項４のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
   前記端子と前記下層電極との間に配置された複数のコンタクトホールを備え、
   前記複数のコンタクトホールは、前記第２方向に沿って配置されていることを特徴とする電気光学装置。
6. 請求項５に記載の電気光学装置であって、
   前記コンタクトホールは、所定のピッチＡ以上Ｂ以下の範囲で、ランダムに配置されていることを特徴とする電気光学装置。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。

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