JP2002174521A - 内蔵テスト手段を備えた慣性速度センサー及び方法 - Google Patents

内蔵テスト手段を備えた慣性速度センサー及び方法

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    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサーの故障に対してガードするための対
策 【解決手段】 通常のオペレーションの間は速度出力信
号を送るために、プログラミングモードの間は外部コン
ピュータとインターフェースをとるために、そして故障
の場合には警告を与えるために、1つの信号出力端子が
使用される慣性速度センサー及び方法が開示されてい
る。プログラミングモードへのアクセスは、所定の条件
のシーケンスが満たされたときにのみ許容され、プログ
ラミングモードの偶発的な起動は事実上不可能である。
補償データは内部メモリの2箇所に冗長的に記憶され、
データはその2箇所から読み出され、その有効性を検証
するために比較される。故障の発生を検知するために、
信号は異なる点でモニターされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】(発明の属する技術分野)本発明は、概括
的には慣性速度センサーに、より厳密には内蔵テスト手
段を供えた慣性速度センサー及び方法に属する。
【0002】(発明の背景)慣性速度センサーは、航空
機航法、ミサイル及び宇宙船の誘導、及び自動車安定制
御系を始めとして多種多様なアプリケーションに使用さ
れている。これらのアプリケーションの多くは、安全性
が最重要課題であるので、センサーの故障に対してガー
ドするための対策が講じられねばならない。
【0003】(発明の概要)本発明の目的は、概括的に
は、新しく且つ改良された慣性速度センサー及び方法を
提供することである。
【0004】本発明の別の目的は、改良型内蔵テスト手
段を備えた慣性速度センサー及び方法を提供することで
ある。
【0005】上記及び他の目的は、本発明により、標準
の運転中には速度出力信号を届けるために、プログラミ
ングモード中には外部コンピュータとインターフェース
するために、そして故障発生時には警告を発するため
に、単一の出力端子を使用する慣性速度センサー及び方
法を提供することにより達成される。プリグラミングモ
ードへのアクセスは、条件の所定シーケンスが当てはま
るときにのみ許容され、プログラミングモードが偶発的
に起動するということは事実上ありえない。補償データ
は、冗長的に内部メモリ中の2箇所に記憶され、該デー
タはその両方の位置から読み出され、妥当性を検証する
ために比較される。故障の発生を検知するために信号は
様々な位置でモニターされる。
【0006】(好適な実施形態の詳細な説明)図1に示
すように、速度センサーは双端音叉の形をしたクオーツ
感知要素11を含んでいる。本音叉は単体の水晶材料か
ら製作されており、H型の構成で、一方がドライブ尖叉
12そして他方がピックアップ尖叉13となっている。
尖叉の各対は音叉の縦軸14周りに対称に配設されてい
る。
【0007】ドライブ尖叉12は駆動されると、音叉の
固有周波数で、音叉の面内で振動する。音叉が縦軸周り
の回転を受けると、コリオリの力が働いて両尖叉が音叉
の面から外れ、振動のピックアップモードを誘発する。
ドライブ及びピックアップ信号は、従来の方法で電極
(図示せず)を使用して尖叉に連結され、ドライブ信号
は尖叉の圧電振動を誘発し、ピックアップ信号は、コリ
オリの力により生まれたひずみに反応して圧電的に生成
された電荷の形態をとる。
【0008】感知要素は双端音叉であるものとして図示
しているが、必要に応じ単端音叉を含め他のタイプの振
動感知要素を使用することもできる。
【0009】ピックアップ信号は電荷増幅器16を通過
して前値増幅器17に至り、その後復調器18に至る。
復調器を出た信号は、ローパスフィルタ19及びバイア
ス取り消し回路20を通過し補償加算器21に至り、そ
の後出力増幅器22に至り、速度出力信号は出力増幅器
の出力に現れる。電圧入力が+5ボルト及び0ボルトの
場合、ゼロ入力に対して速度出力は+2.5ボルトまで
バイアスされ、正の速度入力に対してはより大きな正の
電圧まで振れるが、負の速度入力に対してはゼロボルト
に向かって振れる。+2.5ボルトのレベルは、実質的
なグラウンドと称される。
【0010】米国特許第5,942,686号に記載さ
れているように、印加電力に正比例して装置のスケール
ファクタが変化するように、補償信号はサンプル・アン
ド・ホールド回路23から加算器に加えられ、温度など
の要素に関する出力信号を調整し、システムを比率測定
式にする。
【0011】システムには、外部EEPROM26と連
携して作動するデジタル論理24が含まれており、これ
により、構成要素を手作業ではんだ付けする必要無し
に、装置を電子的にキャリブレートすることができる。
デジタル論理は、装置に故障が発生したことを検知する
内蔵テスト機能も提供している。デジタル論理からの信
号は、サンプル・アンド・ホールド回路23を介して補
償加算器21に、そして出力増幅器22に送られる。
【0012】振動感知要素、即ち音叉11は、デジタル
論理用のクロック基準として使用され、ドライブ回路即
ちオシレータ28から引き出されたクロック信号がクロ
ックフィルタ29を介してデジタル論理に送られるよう
になっている。これにより、外部クロックの必要性が排
除されるので、速度センサーの寸法及び費用が低減さ
れ、それにより総部品点数および回路盤面積が小さくで
きる。こうすると、音叉の完全性をモニターすることが
自動的にクロック信号の完全性をモニターすることにな
るので、故障検知のタスクを単純化することにもつなが
る。加えて、クロック信号は出力信号と同期しているの
で、合計及び差異周波数でのエイリアス信号やビートト
ーンも発生しない。
【0013】該好適実施形態では、音叉の基本周波数が
デジタル論理のクロック基準として用いられている。代
替的には、フェーズロックループを使用して、信号をよ
り速く処理するために多数の音叉ドライブ周波数を生成
することもできる。何れの場合でも、周波数確定要素は
感知要素として働く音叉と同じ音叉である。
【0014】図2に示すように、ドライブ回路即ちオシ
レータ28は、AGC(自動利得制御)サーボループと
称されることもあるループを備えている。ドライブ尖叉
が振動しているときは、電流はドライブ電極をまたいで
生成される。この電流は電流対電圧増幅器31を通過し
て、復調器32の入力に印加される電圧を生み出す。こ
の電圧はIX信号と呼ばれることもある。電流対電圧増
幅器の出力に接続されている電圧コンパレータ33は、
ドライブ周波数で方形波を生成する。この方形波は、復
調器の制御入力に送られ、復調器がドライブ周波数で作
動する状態となり、その出力はdcの項を含んでいる。
【0015】復調器からのdc項は、加算回路34に送
られ、ここで固定スケールファクタ基準電圧36及びプ
ログラム可能スケールファクタ基準電圧37と結び付
く。加算回路の出力は、積分器38の入力に接続されて
いる。
【0016】積分器の出力は、入力が非ゼロの場合は、
より大きな正電圧、或いはより大きな負電圧の何れかに
向かって動くことになる。このことは、安定状態におい
て、積分器への入力は平均するとゼロであるということ
を意味する。このように、復調器の出力は、2つのスケ
ールファクタ基準電圧の合計を正確にキャンセルしなけ
ればならない。復調器の出力電圧は、音叉のドライブモ
ードの振動の振幅を表しているので、この2つのスケー
ルファクタ基準電圧は、ドライブモード信号の大きさを
セットする。
【0017】音叉の速度感知能力は、ドライブ尖叉の対
称軸周りの入力回転を面外ねじれモードにつなぐコリオ
リの力に依存している。コリオリの力は回転速度と尖叉
速度の積に比例し、その速度は尖叉振動の振幅に比例す
る。こうして、尖叉が駆動されてより大きな変位の振幅
と速度で振動するにつれ、コリオリの力を介する回転へ
の反応は比例的に増大する。
【0018】こうして、スケールファクタ又は音叉の単
位回転あたりの反応は、駆動振幅に比例して増加する。
【0019】音叉のドライブモードの振動の振幅を確定
する際、スケールファクタ基準電圧36及び37は、デ
バイスのスケールファクタをも決める。固定電圧を使用
して基準スケールファクタをセットし、プログラム可能
電圧を使って微調整を行う。これにより、出来上がった
各速度センサーが適正なスケールファクタ出力を有する
ように、各装置のスケールファクタは、個々の音叉特性
の細かい違いに合わせて補正できるようになる。
【0020】プログラム可能スケールファクタ基準電圧
をセットするためのプログラム可能データは、EEPR
OM26に記憶されデジタル論理24によりアクセスさ
れるデジタル係数から導き出される。そのデータはアナ
ログ電圧に変換され、加算回路34のプログラム可能バ
イアス電圧入力に送られる。現在のある好適な実施形態
では、スケールファクタ基準のプログラム可能コンポー
ネントの調整範囲は、固定コンポーネントの+/−35
パーセント程度となっている。
【0021】積分器38の出力の電圧レベルは、ドライ
ブループでの許容できない状況又は故障を検知するウイ
ンドウコンパレータ39によりモニターされる。ウイン
ドウコンパレータは、1対のコンパレータ41、42と
否定和ゲート43とを備えており、コンパレータの出力
は否定和ゲートの入力に接続されている。電圧の上限及
び下限は、回路のトリップポイントを定義する基準電圧
+REF及び−REFによりセットされる。他の2つの
コンパレータ入力は、積分器からの信号を受信するため
に合わせて一つにされる。否定和ゲートの出力は、ロー
パスフィルタ44を通過し内蔵テスト論理によりモニタ
ーされる。
【0022】積分器の出力が基準電圧によりセットされ
た限度内にある限り、ウインドウコンパレータの出力
は、内蔵テスト論理46に受容可能と判定される。仮に
積分器の出力が上記限度から外れるようなことが起きれ
ば、テスト論理は故障を検知し出力段階22をトリガして
正電圧レールに素早く切り替えるが、これを故障状況と
解釈する。
【0023】オシレータループ内で検知され得る故障の
タイプには、音叉の欠陥又は破損、音叉につながる又は
音叉から出ている電気トレースがオープンであること、
音叉が封入されているパッケージの充填ガスの漏れによ
り発生する音叉モード“Q”ファクタの変化、及び積分
器を横切るフィードバックコンポーネントが短絡してい
るか或いはオープンであることが含まれる。
【0024】積分器の故障が内蔵テスト論理で検知でき
るようにするため、積分器の出力は加算回路49のバイ
アス電圧48と組み合わせられ、積分器の安定状態出力
を実質的なグラウンド、つまり正の供給電圧と負の供給
電圧の間の中間点から所要値に移動させる。これは、積
分器を横切るフィードバック経路が短絡すると、システ
ムに+5ボルト及び0ボルトの電圧が供給された場合に
は、積分器の出力は実質的グラウンド、つまり+2.5
ボルトに留まることから、必要である。この故障を検知
するために、積分器出力電圧の受容可能範囲は、標準作
動状態に関しては、実質的グラウンドから離れ、通常は
約+2.6ボルトから+4ボルトの範囲にバイアスされ
ねばならない。
【0025】積分器を横切るフィードバック経路がオー
プンになると、積分器増幅器は復調器により作り出され
たダブル周波数コンポーネントをすべて通すことにな
る。このダブル周波数信号は、ウインドウコンパレータ
を通過すると、増幅器出力がトリップ限界を通り越して
遷移するので、デジタル“1”と“0”のストリームが
できてしまう。ローパスフィルタ44は、このパルスス
トリームをdc電圧へ下げ、このdc電圧を内蔵テスト
論理が故障として検知する。
【0026】加算回路49の出力は、増幅器51により
増幅されて、電圧コンパレータ33からの出力電圧を変
調するために振幅変調器52に送られる。電圧コンパレ
ータの出力はレールツーレールの方形波であり、変調器
は方形波のピークツーピーク振幅を調整して、音叉のド
ライブ尖叉に可変ドライブ電圧を供給する。
【0027】変調器からの方形波は、論理回路からの信
号により制御されるマルチプレクサ53を介してドライ
ブ尖叉に送られる。方形波はまた、音叉のドライブモー
ドの固有周波数に大凡等しい中央周波数での利得1.0
で、バンドパスフィルタ54の入力にも送られる。この
フィルタは、方形波の調波成分を著しく減衰させ、純粋
な正弦波に近い別のドライブ信号を作り出す。その信号
は、マルチプレクサの第2の入力に送られる。
【0028】方形波ドライブ信号のピークツーピーク電
圧はより素早く上昇し、結果的に正弦波よりも速くター
ンオンするので、ターンオン時間を最小限にするために
ターンオンの初期位相中にドライブ尖叉に送られる。一
旦、音叉振動の振幅があるレベルに到達し、積分器38
の出力がウインドウコンパレータ39の制御下限を超え
てしまうと、内蔵テスト論理は、マルチプレクサに対し
てその出力を方形波から正弦波に切り替えるコマンド信
号を生成する。相対的には調波の無い正弦波をここでは
使用して、次のターンオンシーケンスまでのオペレーシ
ョンの残り部分に対して音叉を駆動する。
【0029】これにより、両方のタイプのドライブ信号
の利点がどちらのタイプの欠点も受けずに提供される。
方形波は、振幅制御レベルでの音叉振動及び安定性のよ
り速い立ち上がりを提供する。しかしながら、方形波
は、幾つかの例では音叉構造の高次のモードと結びつい
てセンサー出力に望ましくないバイアスシフトを引き起
こしかねない高調波成分も有している。正弦波にはこの
ような調波は相対的に少なく、よりゆっくりと上昇する
ので、方形波よりもターンオンが遅くなり、起動オペレ
ーションにとってはあまり良いとは言えない。
【0030】クロック基準が音叉運動の位相に対して固
定位相関係を有するようなやり方で生成されることが重
要である。仮に位相関係が1つのターンオンから次のタ
ーンオンまでで変化するのであれば、論理は依然として
適正に機能するであろうが、位相に差があると、クロッ
ク信号の出力信号経路への有限な結合のせいで、センサ
ーのバイアスオフセットに差異が生じやすい。固定クロ
ック位相関係であれば、結合があったとしても、ターン
オンからターンオンまで固定値を確実に有することにな
る。
【0031】固定位相関係は、クロック信号が論理回路
に送られるときに通過するクロックフィルタ29により
提供される。図3に示すように、クロックフィルタは1
対のD型フリップフロップ56、57を備えており、そ
のフリップフロップ56、57はそれぞれQA及びQB
として示される自身の出力を消去するために同時にリセ
ットされる。これらのフリップフロップが正に向かうク
ロックエッジ上でトリガすると、入力クロック信号が電
圧コンパレータ33の出力から導出され、非反転クロッ
ク入力信号がフリップフロップ56に送られ、反転され
たクロック入力信号がインバータ58を介してフリップ
フロップ57に送られる。
【0032】積分器59、シュミットトリガ60、及び
インバータ61を備えたフィードバックループは、フリ
ップフロップ57のQ出力とD入力の間に接続されてい
る。これによりクロック入力は2で分割されるので、フ
リップフロップ57の出力の信号QBはクロック入力の
ちょうど半分に等しい周波数の方形波になる。
【0033】フリップフロップ56はフリップフロップ
57のスレーブであり、フリップフロップ57からの遅
延QB出力信号が、インバータ62を介してフリップフ
ロップ56のD入力に送られる。こうして、フリップフ
ロップ56の出力の信号QAも、クロック入力のちょう
ど半分に等しい周波数の方形波になるので、2つのフリ
ップフロップの出力は、常に互いに入力クロック周期の
半分だけ位相ずれしていることになる。
【0034】積分器及びシュミットトリガは、多数の遷
移が入力クロック信号にある場合、そのような遷移がク
ロック出力信号に起きるのを防止する遅延をフィードバ
ックに導入する。遅延は、第1の正方向クロックエッジ
での最初の遷移の後ある一定の期間中に、フリップフロ
ップが更なる遷移を作るのを防止する。この遅延を図4
に示しているが、遅延はクロック期間の10から25パ
ーセント程度である。このようにしてフリップフロップ
を抑止することで、最初の遷移後短期間の内に多数の遷
移を含むかもしれないクロック入力からの出力信号がク
リーンなものとなる。このような遷移は、例えば、クロ
ック入力の生成に利用されるコンパレータのような要素
から生じるが、それらは起動時だけに限らずセンサーの
オペレーション中いつでも起こりうる。
【0035】フリップフロップ56、57の出力QA及
びQBには疑似遷移が無く、これらの出力が排他的論理
和ゲート63に入力される。これら2つの信号は、両方
とも周波数がクロック入力信号の半分なので、それらは
合体してクロック入力信号と同じ周波数の新クロック信
号を生み出す。2つのフリップフロップは互いに隷属し
ており、それらのQA及びQB出力は、常に互いに入力
クロック周期の半分だけ位相がずれているので、フィル
タからの出力信号の位相は、常にフィルタへのクロック
信号入力に対して固定関係を持つ。この位相関係を図4
に示す。
【0036】図5は、パワーがセンサーに加えられた瞬
間と十分な音叉駆動振動の立ち上がりとの間に生じる疑
似振動から正しくないクロック信号が派生することを防
止するリセット回路64を示している。この回路は、オ
シレータの周波数を決めるレジスタ68とキャパシタ6
9が付いている電圧コンパレータ67を備えた精密オシ
レータ66を含んでいる。この周波数は、システムクロ
ック周波数よりはるかに低く、ある現在の好適な実施形
態では、システムクロックは、周波数が10KHzで、
オシレータ66は周波数1Khzで作動する。
【0037】図6に示すように、ドライブオシレータ信
号71がある不確定周波数から標準の作動周波数に遷移
するには、ある有限期間が必要とされる。波形72は、
パワーが加えられるにつれて入力電圧が徐々に上昇する
様子を図示している。入力電圧が閾値レベル、通常は
3.8ボルトに到達すると、パワーオン・リセットパル
ス73が生成され、論理回路を初期状態にリセットす
る。
【0038】オシレータ66の出力は、9ビット(51
2分割)カウンタ74の入力に接続されている。カウン
タの出力は、制御論理77に送られるが、制御論理77
は、パワーオン・リセット回路78からの非同期リセッ
ト信号も受信する。カウンタ74からの信号を受信する
と、制御論理は、コンパレータ使用可能信号79をトグ
ルして電圧コンパレータ67を遮断するが、コンパレー
タ67は、ここで別のパワーオン・リセットが起きるま
では振動を止める。制御論理は又、リセットパルスシン
クロナイザ81も使用可能にするが、このシンクロナイ
ザ81は、有効であると知られているクロックフィルタ
29からのクロック信号と同期している同期リセット信
号を届ける。同期リセット信号は、論理和ゲート82で
非同期リセット信号と組み合わせられてシステムリセッ
ト信号83を提供する。図6に示すように、この信号
は、メインシステムクロックと同期する際、低い状態に
遷移し、次に高い状態に戻る。このようにしてリセット
信号を遅れて届けることにより、有効であると知られて
いるクロックが音叉から引き出された後、確実に最終的
なリセットを全デジタル論理回路に与えることができる
ようになる。制御論理は、オシレータ66からの信号の
2周期内にその機能を果たし、オシレータのオペレーシ
ョンに対し合計514周期を生み出し、その時点で完全
に使用不能となる。
【0039】下部の2つの波形は、システムクロック及
びシステムリセット信号を拡大スケールで示したもので
ある。これら2つの波形により示されるように、システ
ムリセット信号の負方向の遷移は、システムクロックに
対して非同期であり、正方向遷移前に幾つかのクロック
周期を生じることができるが、正方向遷移はシステムク
ロックと同期化している。
【0040】このリセット回路は、パワーがセンサーに
加えられたときデジタル論理を初期化する。タイミング
シーケンスが完了するまでは、内蔵テスト論理は、正レ
ール電圧での出力ステージ22からの信号を保持する。
その後、出力は、センサーの回転速度に対応する値を想
定できるようになる。出力がレールを外れると、それは
センサーの使用準備が整っていることの標示となり、有
効なデータを与える。出力は、ここで、故障が検知され
たときにだけ正レールに戻される。
【0041】故障が検知され、出力が正電圧レールに向
かうとき、BITフラッグはラッチされ、別のパワータ
ーンオンシーケンスが起きるまでは、ラッチのかけられ
た状態のままにされる。しかしながら、起動中の遷移状
態によりBITフラッグにラッチが掛けられたままにな
らないように、ターンオンシーケンスが完了するまで
は、BITフラッグのラッチかけは禁止されている。
【0042】仮に装置に加えられているパワーがパワー
オン・リセット回路の閾値を下回ることになれば、回路
は自動的に再度トリガされる。再トリガの場合、パワー
の損失が起きたことが標示される。
【0043】図1及び7に示すように、システムは、電
圧コンパレータ88を備えたアナログ/デジタル変換器
(ADC)87でデジタル形式に変換されるアナログ信
号を提供する内蔵温度センサー86を含んでいる。アナ
ログ温度信号は、加算ジャンクション89で基準電圧と
組み合わせられるので、室温(300°K)ではADC
の中間スケールにある。加算ジャンクションからの調整
済温度信号は、増幅器91を通過して、電圧コンパレー
タ88の入力に送られる。コンパレータの出力は、実質
的グラウンドより上方の信号の場合は高く、実質的グラ
ウンドより下方の信号の場合はは低い。
【0044】コンパレータ88からの信号は、温度に対
応する8ビットデジタルワードを提供する連続近似論理
92に送られる。この信号はデジタル/アナログ変換器
(DAC)93に送られ、その出力はサンプル・アンド
・ホールド回路23の1つに接続されている。サンプル
・アンド・ホールド回路からの出力電圧は、加算ジャン
クション89にフィードバック信号として送られる。連
続近似論理の連続周期では、フィードバック電圧は、他
の2つの入力電圧の合計に等しいレベルに近づき、8周
期内にその合計にかなり接近したレベルに到達する。
【0045】連続近似論理の出力は、こうして、アナロ
グ温度に対応する8ビットワードに収束する。論理回路
はそのワードを、温度補償データの検索に使用されるE
EPROMアドレスに変換する。
【0046】フィードバック信号を加算ジャンクション
89で温度センサー信号と組み合わせることにより、変
換処理からの残存エラーに相当する信号が提供される。
そのエラーは8ビットワードの最も重要でないビットの
値の約半分以下となる。
【0047】残存エラー信号は、エラーが受容限度内に
あることを検証するためにウインドウコンパレータ94
によりモニターされる。このウインドウコンパレータ
は、ウインドウコンパレータ39と同様に、1対のコン
パレータ96、97と否定和ゲート98を備えており、
コンパレータの出力は否定和ゲートの入力に接続されて
いる。増幅器91からの信号は、各コンパレータの1つ
の入力に送られる。コンパレータに送られた基準電圧+
REF及び−REFにより、A/D変換処理における受
容可能な残存エラーの範囲に対応して基準電圧の上下限
界が設定される。当該処理中に故障が起これば、残存エ
ラーが、基準電圧により設定された限界を超え、否定和
ゲートが出力信号を提供することになるが、その出力信
号は高い。
【0048】8周期分の変換を完了した後、連続近似論
理はEND OF CONVERSIONパルスを生成
する。このパルスとウインドウコンパレータからの出力
信号は、ANDゲート99に送られる。ANDゲートの
出力は、デジタル論理24の内蔵テスト(BIT)論理
46に送られる。END OF CONVERSION
パルスが生成されたときにウインドウコンパレータの出
力が高い場合、ANDゲートは、テスト論理がBIT故
障と解釈する高出力パルスを届ける。ANDゲートは、
次に出力ステージ22に、故障を標示する出力信号を正
電圧レールにドライブするようBITコマンドを届け
る。
【0049】「擾乱」BIT故障コマンドの可能性を排
除するために、BIT論理は、BIT故障コマンドを生
成する前に変換が8回連続的に失敗に終わるのを見届け
る。変換失敗が8回よりも少なければ、BIT論理はト
リガされず、前の有効な変換データは、別の有効な変換
が完了するまで変更されずに残される。変換が連続して
8回以上失敗した場合は、故障が起きたことを示すため
に、BITコマンドが届けられる。
【0050】A/D変換により作成されたデジタル補償
データは、EEPROM26内の適当なポインタアドレ
スを見つけて、現在の温度に対応する正しい出力バイア
ス補償値にアクセスするために、デジタル論理24によ
り処理される。次に論理は、EEPROMから使用する
ためにバイアス値を読み出し、センサーの出力の補償を
更新する。
【0051】代替的に、ルックアップ表アプローチを使
う代わりに、システムの論理回路内の算術を使用して、
又は副次的なプロセッサにより、補償値に変換するため
に、EEPROM内に係数を記憶して、バイアスオフセ
ットの近似値を多項式により求めるようにしてもよい。
【0052】補償更新は比較的高速に起こり、大まかに
はドライブ周波数を80で除した速さとなるが、これ
は、更新が概ね120Hzより速い速度で起きることを
意味している。これは、温度の変化により生じる出力バ
イアスの著しい変化よりもずっと速い。こういう理由
で、変換周期7回までの失敗では出力補償の更新が起き
ないようにしても、出力補償の精度に何ら評価できる影
響が現れないのである。
【0053】他の多くのソースからの補償信号の変換に
は、デジタル/アナログ変換器(DAC)93も採用さ
れる。図1に示すように、DACは、入力マルチプレク
サ101により異なるソース間において多重化される。
DACの出力は、サンプル・アンド・ホールド回路23
のそれぞれに、出力マルチプレクサ102により届けら
れる。図示する実施形態では、補償信号は、一定バイア
スオフセット基準、比率測定式バイアス基準、ADC連
続近似論理出力、及びシステムスケールファクタの設定
に使用されるドライブオシレータAGCループ基準を含
んでいる。これら全ての基準のためのデータは、EEP
ROM26に記憶され、デジタル論理24がアクセスす
る。サンプル・アンド・ホールド回路からのアナログ信
号は、補償加算器21、AGCループ積分器への入力の
ジャンクション34、及びアナログ/デジタル変換器
(ADC)87の加算ジャンクション89に送られる。
【0054】以上のことから、デジタル/アナログ変換
器(DAC)93はアナログ/デジタル(A/D)変換
処理に統合された要素であることが理解されよう。従っ
て、有効なADC出力を確認することにより、DACの
機能性も検証される。こうして、他のDAC機能の完全
性も保証される。
【0055】EEPROM26内のデータの有効性を検
証するための手段も含まれている。このことは、EEP
ROMに記憶されている値が、温度に従ってセンサーの
出力を補償するために継続的に使用されるので、重要で
ある。EEPROM内のメモリ位置の幾つかは、製造デ
ータを記憶するために使用される。
【0056】温度補償データは、EEPROM内の特定
のアドレス位置に記憶され、連続補償値用の温度の差異
は、代表的には約1℃程度である。検索される補償デー
タの妥当性検査の一環として、論理は、リクエストされ
たアドレスがEEPROMアドレス限界の受容可能な境
界内にあること、及びそれが製造データ用に予約してあ
るアドレス範囲内ではないことを確認する。
【0057】工場でのキャリブレーション時には、有効
なキャリブレーションデータに対応していないメモリ位
置には全て、8個分に相当するデジタルワード、即ち2
進表記法の11111111又は16進表記法のFFが
充当される。論理はそれらすべてを不正データと解釈
し、このようなデータを保有しているメモリ位置にアク
セスがあると、論理は自動的にBIT故障のフラッグを
出す。
【0058】EEPROMメモリの故障に対してガード
するために、冗長なデータ記憶装置が採用される。各補
償値に対して8ビット2進ワードが2つのメモリ位置に
記憶され、EEPROMがデータにアクセスすると、両
方のメモリ位置からデータが読み出され、データの改竄
が起きていないことを確認するために比較される。
【0059】有効データは2つのやり方、即ち同一的及
び相補的な方法で認識される。8ビットワードが同一で
あれば、補償値はデジタル論理によって有効で正の符号
を有するものと解釈される。2つのワードが相補的であ
れば、補償値は有効で負の符号を有するものと解釈され
る。これは、データの完全性をチェックするだけでな
く、データ精度の予備ビットを符号ビットで提供する。
【0060】符号ビットは、バイアス補償値の変換にお
いてデジタル/アナログ変換器(DAC)が使用可能な
2つの基準電圧うちの1つを選択することによりインプ
リメントされる。符号ビットが正であれば正の(実質的
グラウンドより大きい)DAC基準が使用され、符号ビ
ットが負であれば負の(実質的グラウンドよりも小さ
い)DAC基準が使用される。
【0061】メモリ定義表を図8に示す。この表では、
各補償値を記憶するための2つの冗長位置が、第1のバ
イト及び第2のバイトの欄に見つけられる。第1行は、
同一であることからデジタル論理が正の数と解釈するデ
ータ値の有効ペア(11110000Bと111100
00B)を保有している。第2行は、相補的であること
からデジタル論理が負の数と解釈するデータ値の有効ペ
ア(11110000Bと00001111B)を保有
している。
【0062】第3行は、補償データに使用されておらず
従って適正なオペレーションではデジタル論理によりア
クセスされるはずのないメモリ位置を示していることか
ら、デジタル論理が無効と解釈する値(1111111
1Bと11111111B)を保有している。
【0063】第4行は、改竄されているので無効である
データの例を示している。これら2つの値(11110
000B及び11110001B)は同一でも相補的で
もないので、デジタル論理に排除され、出力にはBIT
故障と標示される。
【0064】4つのラインは、デジタル論理24とEE
PROM26の間で信号を運ぶ。CSラインは、EEP
ROMとのデータ交換を可能にするチップ選択信号を運
搬する。CLKラインはシステムクロックを運び、DI
N及びDOUTラインはそれぞれ入データと出データを
運搬する。
【0065】EEPROM26内のメモリ位置の1つの
可能な割り当てを示すメモリマップを図9に示す。この
マップは、製造データ、スケールファクタや一定バイア
スのような固定値、及び比率測定式バイアス補償用の温
度データ、の間で区分される許容アドレスを示してい
る。アドレス位置は、標準16進法表記法で規定され、
“XX”は任意の不特定番号を指す。本例では、スケー
スファクタデータは00H−01Hに、一定バイアスデ
ータは02H−03Hに、製造データは10H−1F
H、20H−2FH、及び30H−3FHに、そして比
率測定式バイアス補償データは40H−4FH及び1F
0H−1FFHに記憶されている。
【0066】EEPROM26が特定のセンサー用の正
しいデータを有するようにするためには、このデータ
は、工場でキャリブレーション時にEEPROMに入力
されねばならない。従来のデバイスとは異なり、本装置
には論理及び/又はEEPROMとのインターフェース
のための追加的な入力/出力ピンが不要である。+5ボ
ルトピン、グラウンド(0ボルト)ピン、及び速度出力
ピンしか必要とせず、外部インターフェーシングは、速
度出力ピン又は端子を介して行われる。
【0067】図10は、EEPROM26がプログラム
される方法を示している。工場のキャリブレーション時
にプログラミングモードへのアクセスを得るために、且
つそれ以外の場合のアクセスを防止するために、イベン
トの特別なシーケンスが順に必要とされる。第1に、パ
ワーラインは標準の作動電圧より高い指定レベルまで
(例えば、6.5から7.6ボルトのレベルまで)上昇
せねばならない。この上昇は、ウインドウコンパレータ
39と同様なウインドウコンパレータ94とを備えたプ
ログラム検知回路103により検知される。瞬間的なパ
ワーグリッチがプログラミングシーケンスをトリガする
のを防止するために、供給電圧は、プログラミングにア
クセスできるようになる前は、デジタル遅延回路104
により定められた最小限のクロック周期数(通常は16
周期)の間は、2つの基準電圧の間にあらねばならな
い。プログラミングモードへの偶発的入力を更に防止す
るためには、供給電圧は、当該モード中も一貫してその
2つの基準電圧の間にあることが要求される。
【0068】遅延期間が終了すると、3状態コマンドが
速度出力増幅器22に送られ、その増幅器は標準運転か
ら3状態モードに切り替わって、外部プログラミングコ
ンピュータ105とデジタル論理24及びEEPROM
26の間で双方向デジタルデータフローを可能にする。
【0069】更なる予防策として、プログラミングモー
ドへのアクセスが許される前に、正しい許可コードが外
部コンピュータにより送られねばならず、読み取り又は
書き込みシーケンスを開始するためには、追加的な許可
コードがEEPROMに送られねばならない。可能な対
話モードは、3つ(温度読み取り、EPROM読み取
り、及びEEPROM書き込み)あって、各々に別々の
許可コードがある。最初の2つのモードは読み取り専用
モードであり、温度読み取りモード中は、データはセン
サーから問い合わせ中のコンピュータに渡され、EEP
ROM読み取りモード中は、データはEEPROMから
コンピュータに渡される。3番目のモードは、コンピュ
ータがデータをEEPROMに書き込む書き込みモード
である。温度読み取りモード以外では、データはデジタ
ル論理からEEPROMへ送られねばならず、各オペレ
ーション毎に正しい許可コードが必要である。センサー
が要求する独自のコードの他にも、EEPROMには、
それへのアクセスを得るために供給されねばならない自
身用が要求するコードがある。
【0070】図10に示すように、論理24は、機能モ
ードデコード論理106とEEPROM I/O論理1
07を含んでいる。プログラミングコンピュータは速度
出力ピンに接続されており、データは、標準RS−23
2シリアルプロトコルを使ってEEPROMに送受され
る。
【0071】プログラミングシーケンスが終了するとパ
ワーラインは標準のレベルに戻り、これにより、プログ
ラミングモードへの入力のシーケンスが繰り返されない
かぎり、外部からEEPROMへのそれ以降のアクセス
は遮断される。
【0072】プログラミングモードへ意図せず入ること
は実質的に不可能である。第1に、必要な入力パワーの
増加は、通常の状態では先ず起きることはない。第2
に、速度出力ピンを介してEEPROMにアクセスする
には、独自のデジタルコードが必要である。その上、プ
ログラミングモードに偶発的に入ったとしても、速度出
力において電圧に大きく急速なシフトが起きるので、故
障が発生したことが示され、センサー出力はもはや有効
ではなくなる。
【0073】論理回路とEEPROMの間のデータライ
ンDOUTがオープンになるような事態が起きれば、プ
ルアップ回路は、ライン上にワードが全8ビットで現れ
るようにする。このFF又は11111111のワード
は無効データと解釈されるので、オープンラインは故障
状況として検知される。
【0074】図11に示すように、出力増幅器22は、増
幅器のオペレーションのモードを決定する制御論理から
制御入力(A、B、Cのラベルが付けられている)を受
信する。これらモードの真理表を図12に載せている。2
つの図面が示すように、標準のオペレーションでは、入
力Aは高く、入力B及びCは両方共低い。このモードで
は、速度出力ピンは有効な回転速度情報を提供する。
A、B、及びC入力が全部高いときには、BITモード
のフラッグが出て、ステージの出力は正電圧レールに引
っ張られる。B入力が高く、AとC入力が両方共低いと
きには、3状態プログラミングモードが起動される。
【0075】プリアンプA及びプロアンプBから来てい
る図11に示す入力は、出力増幅器の早い段階から来たも
ので、本図面に示されるバイアス入力は、増幅器のこの
セクションのトランジスタにだけ印加されるバイアス電
圧である。回路内の“VO”ラベルが付いた点は、出力
端子又はノードである。
【0076】ある好適な実施形態では、センサー用の回
路は、アプリケーション指定集積回路(ASIC)とし
て一体型に構築される。音叉及びEEPROMは、AS
ICに対して外部にあり、補償値は、コンピュータイン
ターフェース経由でASICのデジタル論理を介してE
EPROMにロードすることができる。ある現在の好適
な実施形態では、ASICにはコネクタ端子が3つしか
なく、即ち、+5ボルト、グラウンド(0ボルト)、及
び出力信号の端子である。
【0077】図1に示すように、センサーの正しいオペ
レーションは、音叉ドライブ信号の減衰バージョンをピ
ックアップ尖叉に結合し、その信号までの速度信号経路
内のステージの反応をモニターすることにより更に確実
となる。
【0078】その点に関し、電流/電圧変換器31から
の低レベルIX信号が、加算ノード109で実質的グラ
ウンド電圧に加えられ、ピックアップ尖叉に結合され
る。この信号により生み出された余分な音叉出力は、復
調器18前の大きなacバイアスとして、且つ復調器後
のdcバイアスとして働く。このバイアスは、ローパス
フィルタを通過すると、取り消し回路20の取り消し項
により取り消される。
【0079】音叉及び速度信号経路中の要素が正しく機
能していれば、取り消し項は、ローパスフィルタの出力
のバイアスを正確に取り消す。それら要素の何れかに故
障があれば、フィルタの出力のバイアスは、取り消し項
に等しくもなく逆でもなく、出力のシフトが起きる。そ
のシフトはBIT故障として解釈される。速度信号経路
内の故障を検知するこの方法は、米国特許第5,42
6,970号により詳しく説明されている。
【0080】本発明は、多くの重要な特質及び有利性を
有する。本センサーの全ての機能的態様は、出力データ
が有効であるのを保証するため、継続的にモニターされ
る。これは、速度センサーが、例えばアンチスキッドシ
ステムのような、自動車の安定性における安全に関する
アプリケーションに使用される場合には、非常に重要で
ある。双方向データフローに速度出力ピンだけを使うこ
とにより、外部プログラミング用の追加ラインの必要性
が回避される。プログラミングモードへのアクセスが限
定され、そのモードへ偶発的に入るのは実質的に不可能
である。速度出力ピンを使用して故障信号を送ることに
より、その目的で追加的ライン又はピンを使用する必要
性が回避される。
【0081】以上のことより、新しく且つ改良された慣
性速度センサー及び方法が提供されたことは明白であ
る。現在のある特定の好適な実施形態しか詳細に説明し
ていないが、当業者には自明であるように、請求の範囲
に定義する本発明の範囲から逸脱することなく変更及び
修正を加えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を具体化している慣性速度センサーの1
つの実施形態を示すブロック線図である。
【図2】図1の実施形態におけるドライブオシレータの
ブロック線図である。
【図3】図1の実施形態におけるクロックフィルタのブ
ロック線図である。
【図4】図3のクロックフィルタの異なる位置での波形
を示すタイミング線図である。
【図5】図1の実施形態のリセット回路のブロック線図
である。
【図6】図5のリセット回路の異なる位置での波形を示
すタイミング線図である。
【図7】図1の実施形態におけるアナログ/デジタル変
換器のブロック線図である。
【図8】図1の実施形態におけるEEPROM用のメモ
リ定義表である。
【図9】EEPROM内のメモリ位置の可能な割り当て
の1つを示すメモリマップである。
【図10】EEPROMをプログラムする方法を示すブ
ロック線図である。
【図11】図1の実施形態における出力増幅器の一部の
回路図である。
【図12】図11の出力増幅器用の真理表である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // G01C 21/10 G01C 21/10 (72)発明者 プラディープ バルダワイ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94550 リヴァーモア スプリットレイル コート 624 Fターム(参考) 2F029 AA02 AA05 AA08 AC12 AD03 2F105 AA02 AA03 AA05 BB04 BB20 CC01 CD02 CD06 CD11

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 慣性速度センサーにおいて、振動速度感
    知要素と、ドライブ信号を前記速度感知要素に送るため
    のドライブ回路と、出力端子と、前記速度感知要素の動
    きに対応して出力端子に速度出力信号を提供するための
    前記速度感知要素に連結されているピックアップ回路
    と、補償値がデジタルデータ形式で記憶されているメモ
    リと、前記メモリに記憶されているデータにアクセスす
    るため前記出力端子を介して外部プログラミングコンピ
    ュータと通信するための手段と、前記メモリから検索さ
    れたデータをアナログ信号に変換するためのデジタル/
    アナログ変換器と、前記速度センサーを前記アナログ信
    号でキャリブレートするための手段と、故障の発生を検
    知するために前記速度センサーで異なる点の信号をモニ
    ターするための手段と、故障発生時には所定文字の信号
    を前記出力端子に送るための手段と、を備えていること
    を特徴とする慣性速度センサー。
  2. 【請求項2】 前記速度出力信号を前記出力端子に送る
    標準モード、故障の発生を示すために前記出力端子が所
    定の電圧に保持される故障モード、及びデータを双方的
    に前記出力端子を介して送ることのできるプログラミン
    グモード、でのオペレーションについて選択的にプログ
    ラムされ得る出力ステージを含んでいることを特徴とす
    る請求項1に記載の慣性速度センサー。
  3. 【請求項3】 アナログ温度信号を提供するための温度
    センサーと、温度補償データを検索する目的でメモリに
    アドレスする際に使用するために前記アナログ温度信号
    をデジタル信号に変換するためのアナログ/デジタル変
    換器と連続近似論理とを含んでいる手段と、を含んでい
    ることを特徴とする請求項1に記載の慣性速度センサ
    ー。
  4. 【請求項4】 アナログ温度信号を提供するための温度
    センサーと、前記アナログ温度信号をデジタル信号に変
    換するためのアナログ/デジタル変換器と連続近似論理
    とを含んでいる手段と、アナログフィードバック信号を
    提供するために前記デジタル温度信号を前記デジタル/
    アナログ変換器に送るための手段と、残存エラー信号を
    提供するために前記フィードバック信号を前記温度セン
    サーからの信号と組み合わせるための手段と、変換の精
    度を検証するために前記残存エラー信号をモニターする
    ための手段と、を含んでいることを特徴とする請求項1
    に記載の慣性速度センサー。
  5. 【請求項5】 前記信号をモニターするための手段が、
    前記アナログ/デジタル変換器又は前記デジタル/アナ
    ログ変換器の何れかにおける故障を検知するため、前記
    アナログ/デジタル変換器の信号をモニターするための
    ウインドウコンパレータを含んでいることを特徴とする
    請求項3に記載の慣性速度センサー。
  6. 【請求項6】 以下の条件、即ち、電源電圧が上昇レベ
    ルに上がりある所定期間中は前記上昇レベルに維持さ
    れ、第1のアクセスコードが前記出力端子を介して送ら
    れ、読み取り/書き込みシーケンスを開始するために第
    2のアクセスコードが前記メモリに送られる、という条
    件全てが満たされた場合にのみ、プログラミングモード
    へ入ることを許可するための手段を含んでいることを特
    徴とする請求項1に記載の慣性速度センサー。
  7. 【請求項7】 データは、デジタルワードの形式で前記
    メモリに記憶され、前記デジタルワードはそれぞれ2つ
    の異なるメモリ位置に記憶されるとともに、両方の位置
    からワードを読み取り、2つのワードを比較してデータ
    の改竄が起きていないかどうかを判定するための手段を
    備えていることを特徴とする請求項1に記載の慣性速度
    センサー。
  8. 【請求項8】 前記データを比較するための手段は、2
    つのワードが同一である場合にはデータは正符号を有す
    ると解釈し、2つのワードが相補性である場合にはデー
    タは負の符号を有すると解釈することを特徴とする請求
    項7に記載の慣性速度センサー。
  9. 【請求項9】 慣性速度を感知する方法において、振動
    を作り出すために振動速度感知要素にドライブ信号を送
    る段階と、速度信号を提供するために、前記速度感知要
    素の動きにより作られた信号をモニターする段階と、前
    記速度信号を出力端子に送る段階と、補償値をメモリに
    デジタルデータの形式で記憶する段階と、前記メモリに
    記憶されているデータにアクセスするために前記出力端
    子を介して外部コンピュータと通信する段階と、前記メ
    モリから検索されたデータをアナログ信号に変換する段
    階と、前記アナログ信号で速度センサーをキャリブレー
    トする段階と、故障の発生を検知するために速度センサ
    ーで異なる点の信号をモニターする段階と、故障発生時
    には所定文字の信号を前記出力端子に送る段階とから成
    ることを特徴とする方法。
  10. 【請求項10】 前記速度出力信号を前記出力端子に送
    る標準モード、故障の発生を示すために前記出力端子が
    所定の電圧に保持される故障モード、及びデータが双方
    的に前記出力端子を介して送ることのできるプログラミ
    ングモード、でのオペレーションに対して出力ステージ
    を選択的にプログラムする段階を含んでいることを特徴
    とする請求項9に記載の方法。
  11. 【請求項11】 アナログ温度信号を提供する段階と、
    アナログ/デジタル変換器及び連続近似論理において前
    記アナログ温度信号をデジタル信号に変換する段階と、
    温度補償データを検索するために前記デジタル信号に従
    って前記メモリにアドレスする段階とを含んでいること
    を特徴とする請求項9に記載の方法。
  12. 【請求項12】 アナログ温度信号を提供する段階と、
    アナログ/デジタル変換器及び連続近似論理において前
    記アナログ温度信号をデジタル信号に変換する段階と、
    アナログフィードバック信号を提供するために前記デジ
    タル温度信号をデジタル/アナログ変換器に送る段階
    と、残存エラー信号を提供するためにフィードバック信
    号を温度センサーからの信号と組み合わせる段階と、変
    換の精度を検証するために前記残存エラー信号をモニタ
    ーする段階とを含んでいることを特徴とする請求項9に
    記載の方法。
  13. 【請求項13】 前記残存エラーは、変換エラーが所定
    限度内にあることを検証するためにウインドウコンパレ
    ータでモニターされることを特徴とする請求項12に記
    載の方法。
  14. 【請求項14】 プログラムモードへ入ることを許可す
    る前に、以下の条件即ち、電源電圧が上昇レベルに上が
    り、ある所定期間中は前記上昇レベルに維持され、第1
    のアクセスコードが前記出力端子を介して送られ、読み
    取り/書き込みシーケンスを開始するために第2のアク
    セスコードが前記メモリに送られる、という条件をチェ
    ックする段階を含んでいることを特徴とする請求項9に
    記載の方法。
  15. 【請求項15】 前記データは、デジタルワードの形式
    で前記メモリに記憶されており、デジタルワードをそれ
    ぞれ2つの異なるメモリ位置に記憶する段階と、前記両
    方の位置から前記ワードを読み取る段階と、データの改
    竄が起きていないかどうかを判定するために前記2つの
    位置からのデータを比較する段階とを含んでいることを
    特徴とする請求項9に記載の方法。
  16. 【請求項16】 前記2つのワードが同一である場合に
    は前記データは正の符号を有すると解釈され、前記2つ
    のワードが相補性である場合には前記データは負の符号
    を有すると解釈されることを特徴とする請求項15に記
    載の方法
  17. 【請求項17】 慣性速度センサーにおいて、振動速度
    感知要素と、ドライブ信号を前記速度感知要素に送るた
    めのドライブ回路と、出力端子と、前記速度感知要素の
    動きに対応する速度信号を提供するための前記速度感知
    要素に連結されているピックアップ回路と、デジタルデ
    ータが記憶されるメモリと、前記速度信号が前記出力端
    子に送られる標準モードと外部コンピュータが前記出力
    端子を介して前記メモリとインターフェースできるプロ
    グラミングモードで作動可能な出力ステージと、を備え
    ていることを特徴とする慣性速度センサー。
  18. 【請求項18】 以下の条件、即ち、電源電圧が上昇レ
    ベルに上がりある所定期間中は前記上昇レベルに維持さ
    れ、第1のアクセスコードが前記出力端子を介して送ら
    れ、読み取り/書き込みシーケンスを開始するために第
    2のアクセスコードが前記メモリに送られる、という条
    件が満たされない限り前記出力ステージがプログラミン
    グモードへ入るのを防止するための手段を含んでいるこ
    とを特徴とする請求項17に記載の慣性速度センサー。
  19. 【請求項19】 前記速度センサーの故障の発生を検知
    するために信号をモニターするための手段を更に含んで
    おり、前記出力ステージは又、故障が検知された場合に
    は、前記出力端子が所定電圧レベルに維持される故障モ
    ードで作動可能であることを特徴とする請求項17に記
    載の慣性速度センサー。
  20. 【請求項20】 慣性速度を感知する方法において、振
    動を作り出すために振動速度感知要素にドライブ信号を
    送る段階と、速度信号を提供するために前記速度感知要
    素の動きにより作られた信号をモニターする段階と、デ
    ジタルデータをメモリに記憶する段階と、前記速度出力
    信号を出力端子に送る標準モード又は前記出力端子を介
    して外部コンピュータが前記メモリとインターフェース
    できるプログラミングモードの何れかのオペレーション
    に合わせて出力ステージをプログラムする段階と、から
    成ることを特徴とする方法。
  21. 【請求項21】 以下の条件、即ち、電源電圧が上昇レ
    ベルに上がりある所定期間中は前記上昇レベルに維持さ
    れ、第1のアクセスコードが前記出力端子を介して送ら
    れ、読み取り/書き込みシーケンスを開始するために第
    2のアクセスコードが前記メモリに送られる、という条
    件が満たされた場合にのみ、前記出力ステージが前記プ
    ログラミングモードへ入るのを許可する段階を含んでい
    ることを特徴とする請求項20に記載の方法。
  22. 【請求項22】 速度センサーの故障の発生を検知する
    ために信号をモニターする段階と、故障が検知された場
    合には前記出力端子を所定電圧レベルに保持する故障モ
    ードで作動するように前記出力ステージをプログラムす
    る段階とを含んでいることを特徴とする請求項10に記
    載の方法。
  23. 【請求項23】 慣性速度センサーにおいて、振動速度
    感知要素と、ドライブ信号を前記速度感知要素に送るた
    めのドライブ回路と、前記速度感知要素の動きに対応す
    る速度信号を提供するための前記速度感知要素に連結さ
    れているピックアップ回路と、補償値がデジタルワード
    の形式で記憶され、それぞれのワードが2つの異なる位
    置に記憶されているメモリと、両方の位置からデータを
    読み取ってデータを検証するために2つのワードを比較
    するための手段と、2つのワードが同一である場合には
    データは正の符号を有すると解釈し、2つのワードが相
    補性である場合にはデータは負の符号を有すると解釈す
    るための手段と、データの符号に従って補償値を選択す
    るための手段と、前記補償値を前記速度信号と組み合わ
    せるための手段と、を備えていることを特徴とする慣性
    速度センサー。
  24. 【請求項24】 慣性速度を感知する方法において、振
    動を作り出すためにドライブ信号を速度感知要素に送る
    段階と、速度信号を提供するために前記速度感知要素の
    動きにより作られた信号をモニターする段階と、補償値
    をデジタルワードの形式でメモリに記憶しそれぞれのワ
    ードを2つの異なる位置に記憶する段階と、両方の位置
    からデータを読み取って、データを検証するために2つ
    のワードを比較する段階と、2つのワードが同一である
    場合にはデータは正の符号を有すると解釈し、2つのワ
    ードが相補性である場合にはデータは負の符号を有する
    と解釈する段階と、データの符号に従って補償値を選択
    する段階と、前記補償値を前記速度信号と組み合わせる
    段階と、から成ることを特徴とする方法。
  25. 【請求項25】 慣性速度センサーにおいて、振動速度
    感知要素と、ドライブ信号を前記速度感知要素に送るた
    めのドライブ回路と、前記速度感知要素の動きに対応す
    る速度信号を提供するための前記速度感知要素に連結さ
    れているピックアップ回路と、補償値がデジタルデータ
    の形式で記憶されるメモリと、前記メモリから検索され
    たデータをアナログ補償信号に変換するための手段と、
    前記補償信号に従って前記速度信号を調整するための手
    段と、アナログ温度信号を提供するための温度センサー
    と、温度補償データを検索する目的でメモリにアクセス
    する際に使用するために前記アナログ温度信号をデジタ
    ル信号に変換するためのアナログ/デジタル変換器と連
    続近似論理とを含んでいる手段と、を備えていることを
    特徴とする慣性速度センサー。
  26. 【請求項26】 慣性速度を感知する方法において、振
    動を作り出すためにドライブ信号を速度感知要素に送る
    段階と、速度信号を提供するために前記速度感知要素の
    動きにより作られた信号をモニターする段階と、補償値
    をデジタルデータの形式でメモリに記憶する段階と、前
    記メモリから検索されたデータをアナログ補償信号に変
    換する段階と、前記補償信号に従って前記速度信号を調
    整する段階と、アナログ温度センサーで温度をモニター
    する段階と、アナログ温度信号をデジタル信号に変換す
    る段階と、温度補償データを検索するために前記デジタ
    ル信号に従って前記メモリにアドレスする段階と、から
    成ることを特徴とする方法。
  27. 【請求項27】 慣性速度センサーにおいて、振動速度
    感知要素と、ドライブ信号を前記速度感知要素に送るた
    めのドライブ回路と、前記速度感知要素の動きに対応す
    る速度信号を提供するための前記速度感知要素に連結さ
    れているピックアップ回路と、アナログ温度信号を提供
    するための温度センサーと、前記アナログ温度信号をデ
    ジタル信号に変換するための、アナログ/デジタル変換
    器と連続近似論理とを含んでいる手段と、前記デジタル
    温度信号をアナログフィードバック信号に変換するため
    のデジタル/アナログ変換器と、残存エラー信号を提供
    するために前記フィードバック信号を前記温度センサー
    からの信号と組み合わせるための手段と、変換の精度を
    検証するために前記残存エラー信号をモニターするため
    の手段と、から成ることを特徴とする慣性速度センサ
    ー。
  28. 【請求項28】 慣性速度を感知する方法において、振
    動を作り出すためにドライブ信号を速度感知要素に送る
    段階と、速度信号を提供するために前記速度感知要素の
    動きにより作られた信号をモニターする段階と、アナロ
    グ温度センサーで温度をモニターする段階と、アナログ
    温度信号をデジタル信号に変換する段階と、前記デジタ
    ル温度信号をアナログフィードバック信号に変換する段
    階と、残存エラー信号を提供するために前記フィードバ
    ック信号を前記温度センサーからの信号と組み合わせる
    段階と、変換の精度を検証するために残存エラー信号を
    モニターする段階と、から成ることを特徴とする方法。
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