JP2002160096A - 粉末充填装置、それを用いたプレス成形装置および焼結磁石製造方法 - Google Patents

粉末充填装置、それを用いたプレス成形装置および焼結磁石製造方法

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JP2002160096A JP2001276242A JP2001276242A JP2002160096A JP 2002160096 A JP2002160096 A JP 2002160096A JP 2001276242 A JP2001276242 A JP 2001276242A JP 2001276242 A JP2001276242 A JP 2001276242A JP 2002160096 A JP2002160096 A JP 2002160096A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プレス成形装置のキャビティ内に均一に短時
間で粉末を充填することができる、粉末充填装置、それ
を用いたプレス成形装置および焼結磁石製造方法を提供
する。 【解決手段】 プレス成形装置10は粉末充填装置14
を含む。粉末充填装置14は、粉末容器52、および粉
末容器52と衝突され得る衝突部材54を備える。粉末
容器52の底部には、粉末mが通過することができる複
数の開口部56aが設けられた網材56が形成される。
衝突部材54と粉末容器52とを衝突させ、粉末容器5
2に対して撃力を加えることによって、粉末容器52内
に収容された粉末mが複数の開口部56aを介して、ダ
イ20に形成されたキャビティ28内に充填される。キ
ャビティ28内に充填された粉末mをプレス成形し、作
製された成形体66を焼結して焼結磁石を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は粉末充填装置、そ
れを用いたプレス成形装置および焼結磁石製造方法に関
し、より特定的にはダイに形成されたキャビティに粉末
を充填するための粉末充填装置、それを用いたプレス成
形装置および焼結磁石製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、希土類合金の焼結磁石としては、
サマリウム・コバルト系磁石と希土類・鉄・ホウ素系磁
石の二種類が各分野で広く用いられている。なかでも希
土類・鉄・ホウ素系磁石(以下、「R−T−(M)−B
系磁石」と称する。RはYを含む希土類元素、Tは鉄、
または鉄と鉄の一部を置換した遷移金属元素、Mは添加
元素、Bはホウ素である。)は、種々の磁石の中で最も
高い磁気エネルギー積を示し、価格も比較的安いため、
各種電子機器へ積極的に採用されている。Tに含まれる
遷移金属としては、たとえばCoが用いられる。なお、
ホウ素はC(カーボン)によって一部置換されうる。
【0003】このような希土類磁石を作製するために、
まずプレス成形装置を用いて、希土類合金を粉砕した磁
性合金粉末から成形体(圧粉体)が作製される。成形体
を作製する際、磁性合金粉末は、ダイに設けられたダイ
ホール(貫通孔)と、これに挿入された下パンチとによ
って形成されたキャビティの内部に充填され、キャビテ
ィ内に充填された磁性合金粉末は上パンチを用いてプレ
ス成形される。こうして得られた成形体は、約1000
℃〜1100℃の温度で焼結され、これによって希土類
焼結磁石を作製することができる。
【0004】従来より、プレス成形装置におけるキャビ
ティ内へ磁性合金粉末を供給するために様々な技術が提
案されている。たとえば、実公昭59−32568号や
特開昭61−147802号には、粉末を収容した容器
を振動させることによって、金網を介してキャビティ内
に粉末を篩い落とすようにして供給する技術が記載され
ている。特開昭61−147802号には、フィーダカ
ップ(粉末容器)の底部に金網を取りつけ、ソレノイド
コイルを用いてフィーダカップを比較的急激に振動させ
ることによって、金網を通過した顆粒状の磁性粉末を短
時間でキャビティ内に充填する装置が記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開昭61−
147802号に記載の従来の装置は、ソレノイドコイ
ルと鉄芯との吸着力およびバネの復元力を利用して、粉
末を収容したフィーダカップ自体を振動させるものであ
り、鉄芯(可動部)とフィーダカップとが連結金具で固
定されている。この場合、フィーダカップ内の粉末には
揺さぶりによる力しか加えられず、粉末の塊を崩す力を
伝え難いという問題があった。このような装置を用い
て、ブリッジの形成を防止しつつキャビティ内に顆粒状
の粉末を供給するためには、金網の目開き(メッシュ)
を細かく設定することが考えられる。しかし、このよう
な目の細かい金網を用いた場合には、粉末が落ちにく
く、粉末の充填時間が大幅に増加するという問題が生じ
る。
【0006】また、上記従来の装置では、フィーダカッ
プの移動量(振幅)を大きく設定することが難しく、こ
のようにフィーダカップがわずかにしか移動しない場
合、キャビティ内に均一に粉末を充填することは困難で
ある。さらに、キャビティの角部や縁部には中央部に比
べて粉末が充填され難いため、上記従来の装置を用い
て、ダイ表面から比較的高い位置に設けられた金網を通
して希土類合金粉末を供給する場合、粉末は中央部が盛
り上がるようにして堆積される傾向がある。このよう
に、キャビティ内に不均一な密度で粉末が充填されてい
ると、プレス成形後の成形体において、角部または縁部
と中央部との間で成形密度に大きな差が生じ、この密度
差によって成形体にひびが発生する。上述の弊害は、実
公昭59−32568号に記載の装置についても同様に
生じると考えられる。それゆえにこの発明の主たる目的
は、プレス成形装置のキャビティ内に均一に短時間で粉
末を充填することができる、粉末充填装置、それを用い
たプレス成形装置および焼結磁石製造方法を提供するこ
とである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項1に記載の粉末充填装置は、ダイに形成さ
れたキャビティ内に粉末を充填するための粉末充填装置
であって、粉末が通過することができる複数の開口部が
設けられた粉末保持部を底部に有する容器、および容器
と衝突され得る衝突部材を備え、衝突部材と容器とを衝
突させ、容器に対して撃力を加えることによって、容器
内に収容された粉末が複数の開口部を介してキャビティ
内に充填されることを特徴とする。
【0008】請求項2に記載の粉末充填装置は、請求項
1に記載の粉末充填装置において、容器の上部に連結さ
れる振動機構をさらに備え、衝突部材は容器の下部に衝
突するように設けられ、振動機構で容器の上部を振動さ
せることによって、衝突部材と容器の下部とを衝突させ
ることを特徴とする。請求項3に記載の粉末充填装置
は、請求項1に記載の粉末充填装置において、粉末保持
部は目開き1.8mm以上12.7mm以下の網によっ
て形成されていることを特徴とする。
【0009】請求項4に記載の粉末充填装置は、請求項
1に記載の粉末充填装置において、粉末保持部は目開き
3.2mm以上12.7mm以下の網によって形成され
ていることを特徴とする。請求項5に記載の粉末充填装
置は、請求項1に記載の粉末充填装置において、粉末保
持部はダイの表面から2.0mm未満の高さに設けられ
ていることを特徴とする。
【0010】請求項6に記載の粉末充填装置は、請求項
1に記載の粉末充填装置において、粉末保持部はダイの
表面から1.0mm未満の高さに設けられていることを
特徴とする。請求項7に記載の粉末充填装置は、請求項
1に記載の粉末充填装置において、衝突部材が容器に衝
突することによって容器に対して撃力が加えられたとき
に容器は移動することができることを特徴とする。
【0011】請求項8に記載の粉末充填装置は、請求項
1に記載の粉末充填装置において、容器の外側におい
て、容器を挟んで対向するように設けられた複数の衝突
部材を備えることを特徴とする。請求項9に記載の粉末
充填装置は、請求項1に記載の粉末充填装置において、
容器の内側において設けられた仕切り板をさらに備える
ことを特徴とする。請求項10に記載の粉末充填装置
は、請求項1に記載の粉末充填装置において、粉末保持
部に設けられた複数の開口部のサイズは、開口部が設け
られた位置に応じて決められていることを特徴とする。
【0012】請求項11に記載の粉末充填装置は、請求
項1に記載の粉末充填装置において、粉末は希土類合金
粉末であることを特徴とする。請求項12に記載の粉末
充填装置は、請求項11に記載の粉末充填装置におい
て、粉末には潤滑剤が添加されていることを特徴とす
る。請求項13に記載の焼結磁石製造方法は、粉末が通
過することができる複数の開口部が設けられた粉末保持
部を底部に有する容器に対して撃力を加えることによっ
て、容器内に収容された粉末を複数の開口部を介して、
ダイに形成されたキャビティ内に充填する第1ステッ
プ、キャビティ内に充填された粉末をプレス成形するこ
とによって成形体を作製する第2ステップ、および成形
体を焼結して焼結磁石を製造する第3ステップを備え
る。
【0013】請求項14に記載の焼結磁石製造方法は、
請求項13に記載の焼結磁石製造方法において、第1ス
テップでは、容器の上部を振動させることによって、容
器の下部に撃力を加えることを特徴とする。請求項15
に記載の焼結磁石製造方法は、請求項13に記載の焼結
磁石製造方法において、粉末は希土類合金粉末であり、
第1ステップの前に、希土類合金粉末に潤滑剤を添加す
るステップをさらに備える。
【0014】請求項16に記載の粉末充填装置は、ダイ
に形成されたキャビティ内に粉末を充填するための粉末
充填装置であって、底部に網を有し、粉末を収容するた
めの容器を備え、網は前記ダイの表面から2.0mm未
満の高さに設けられていることを特徴とする。請求項1
7に記載の粉末充填装置は、ダイに形成されたキャビテ
ィ内に粉末を充填するための粉末充填装置であって、底
部に網を有する容器を備え、網の開口部のサイズは開口
部が設けられた位置に応じて決められていることを特徴
とする。請求項18に記載のプレス成形装置は、請求項
1から12、16または17のいずれかに記載の粉末充
填装置、および粉末充填装置によってキャビティ内に充
填された粉末をプレス成形するためのプレス手段を備え
る。
【0015】請求項1に記載の粉末充填装置では、衝突
部材を容器に衝突させることによって、容器に収容され
た粉末を解砕させ、ばらけた状態の粉末をキャビティ内
に供給することができる。請求項2に記載の粉末充填装
置では、振動機構と容器とを連結させ、衝突部材と振動
機構とを分離することで、粉末の舞い散りを抑制でき、
振動機構への粉末の噛み込みを減少できる。また、衝突
部材を容器の下部に衝突させることによって、衝撃が容
器の開口部により直接的に伝わりやすくなる。それによ
って開口部にある粉末全体に衝撃を伝えることができ、
キャビティに粉末を均一に充填できる。
【0016】請求項3、4に記載の粉末充填装置では、
粉末保持部に比較的目の粗い網を使用することで、粉末
充填に要する時間を大幅に低減しつつ、キャビティ内に
粉末を均一に充填することができる。請求項5、6に記
載の粉末充填装置では、キャビティにおいて、ダイ表面
から盛り上がる粉末の量をわずかなものとすることがで
きる。したがって、擦りきるべき余分な粉末の量が少な
く、容器による充填粉末のすりきりの際に発生する塊を
次回の給粉時にキャビティ内に充填してしまうことがな
い。請求項16に記載の粉末充填装置についても同様で
ある。
【0017】請求項7に記載の粉末充填装置では、移動
する容器に衝突部材を衝突させることができ、容器には
逆方向の衝撃力を与えることができる。これによって、
キャビティ内に粉末をより均一に充填することができ
る。請求項8に記載の粉末充填装置では、容器に撃力を
連続的に与えることができる。請求項9に記載の粉末充
填装置では、衝突部材が容器の側壁に衝突した際、仕切
られた容器内の粉末に分散して撃力を伝達することがで
き、より効率良く粉末を充填することができる。このよ
うにすれば、キャビティへの粉末充填時間を大幅に短縮
することができる。
【0018】請求項10に記載の粉末充填装置のよう
に、開口部の位置に応じてその粗さを変えれば、キャビ
ティ内に充填する粉末の量を部分的に調節することがで
きる。請求項17に記載の粉末充填装置についても同様
である。粉末が希土類合金粉末の場合、角張った形状を
有し流動性が低下するので、粉末は粉末保持部の開口部
からは落下し難い状態となっている。しかし、請求項1
1に記載の粉末充填装置では、流動性が悪い希土類合金
粉末であっても、キャビティ内に均一に短時間で効率良
く充填することができる。
【0019】また、希土類合金粉末からなる粉末に潤滑
剤が添加されているとさらに流動性が低下し、塊状とな
り、粉末は粉末保持部の開口部からさらに落下し難くく
なる。しかし、請求項12に記載の粉末充填装置では、
潤滑剤が添加された流動性が悪い希土類合金粉末であっ
ても、キャビティ内に均一に短時間で効率良く充填する
ことができる。請求項13に記載の焼結磁石製造方法で
は、上述にようにしてキャビティに均一に充填された粉
末をプレス成形すると、密度が均一で寸法バラツキおよ
び単重バラツキの小さい成形体を作製でき、歩留まりも
向上する。さらに、その成形体を焼結すると、寸法バラ
ツキおよび単重バラツキの小さい焼結磁石が得られる。
【0020】請求項14に記載の焼結磁石製造方法で
は、容器において振動を加える部分と撃力を加える部分
とを分離することによって、粉末の舞い散りを抑制でき
る。また、撃力を容器の下部に加えることによって、開
口部にある粉末全体に衝撃を伝えることができ、キャビ
ティに粉末を均一に充填できる。請求項15に記載の焼
結磁石製造方法では、潤滑剤が添加された流動性が悪い
希土類合金粉末であっても、キャビティ内に均一に短時
間で効率良く充填することができる。請求項18に記載
のプレス成形装置では、上述にようにしてキャビティに
均一に充填された粉末をプレス成形すると、密度が均一
で寸法バラツキおよび単重バラツキの小さい成形体を作
製でき、歩留まりも向上する。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施形態について説明する。図1および図2を参照し
て、この発明の一実施形態のプレス成形装置10は、プ
レス成形部12および粉末充填装置14を含む。プレス
成形部12はダイセット16と金型18とを含む。金型
18は、ダイ20、下パンチ22および上パンチ24
(図6参照)を含む。ダイ20の飽和磁化はたとえば
0.005T以上1.2T以下に設定される。ダイ20
はダイセット16に嵌め込まれ、下パンチ22はダイ2
0を上下方向に貫通するダイホール26に下方から嵌入
自在に配置される。下パンチ22の上端面とダイホール
26の内周面とによって任意の容積のキャビティ28
(図2(b)参照)が形成される。そして、上パンチ2
4をキャビティ28内に没入することによって、キャビ
ティ28内に充填された粉末m(後述)が圧縮され、成
形体が得られる。また、ダイ20近傍には、磁場発生用
コイル29が設けられる。磁場発生用コイル29を用い
て粉末mにはプレス成形方向と平行なたとえば1.2T
の配向磁場が印加される。
【0022】粉末充填装置14は、ダイセット16に隣
接配置されるベースプレート30を含む。ベースプレー
ト30上には給粉箱32が設けられ、給粉箱32はたと
えば油圧シリンダやエアーシリンダ等のシリンダ(また
は電動サーボモータ)34のシリンダロッド36によっ
てダイ20上と待機位置とを往復移動する。給粉箱32
の待機位置近傍には、給粉箱32に粉末mを補給するた
めの補給装置38が設けられる。
【0023】補給装置38では、秤40上にフィーダカ
ップ42が配置され、振動トラフ44によって少しずつ
フィーダカップ42内に粉末mが落下される。この計量
動作は給粉箱32がダイ20上に移動している間に行わ
れる。フィーダカップ42内の粉末mの重量が一定レベ
ルに達した時点でロボット46がフィーダカップ42を
把持し、給粉箱32が待機位置に戻ったときにロボット
46によってフィーダカップ42内の粉末mが給粉箱3
2に補給される。フィーダカップ42内の粉末mの量
は、1回のプレス動作に伴う給粉箱32内の粉末減少分
に相当するように設定され、給粉箱32内の粉末mの量
が常に一定量にされる。このように、給粉箱32内の粉
末mの量が一定となる結果、粉末mがキャビティ28に
重力落下するときの圧力が一定となり、キャビティ28
に充填される粉末mの量が一定となる。粉末mにはたと
えば希土類合金粉末が用いられる。
【0024】図2(a)および(b)を参照しながら、
粉末充填装置14の要部について説明する。粉末充填装
置14の給粉箱32は、囲い部材48と囲い部材48の
上面に設けられ開閉可能な蓋50とを含む。囲い部材4
8の内側には粉末容器52が配置され、粉末容器52を
挟んで対向するように一対の衝突部材54が設けられ
る。粉末容器52内に粉末mが収容された給粉箱32
は、プレス成形装置10のダイ20に形成されたキャビ
ティ28上まで移動させられ、キャビティ28内に粉末
mを供給することができる。
【0025】囲い部材48の上面に設けられた蓋50
は、囲い部材48の内側を密閉することができる。好適
には、囲い部材48の内部には、たとえば窒素ガスのよ
うな不活性ガスが供給されており、粉末容器52に収容
された粉末mが大気によって酸化されることを防止す
る。蓋50の開閉動作は、たとえばエアーシリンダなど
を用いて自動的に行われ得る。
【0026】粉末容器52の底部には、粉末mを保持で
きるとともに、衝突部材54による衝突を受けたときに
は粉末mを通過させることができる網材56が取りつけ
られている。網材56としては、好ましくは、SUS3
04などから形成される目開き1.8mm以上12.7
mm以下(2〜14メッシュ)の金網が用いられ、より
好ましくは、目開き3.2mm以上12.7mm以下
(2〜8メッシュ)の網材が用いられる。たとえば8メ
ッシュの網材は、線径が約0.6mmの金属線を約3.
0mmの間隔で編み合わせることによって作製される。
この網材56には、好ましくは、Niなどの材料による
めっきが施されており、これによって、網材56の表面
粗度が低くなり、充填の際の希土類合金粉末の流動性を
向上させられる。
【0027】一対の衝突部材54は、それぞれに対して
設けられたエアシリンダ58によってそれぞれ独立して
駆動される。衝突部材54は、エアシリンダ58によっ
て粉末容器52の方向に向かって素早く移動し、粉末容
器52の側壁に衝突することによって撃力(衝撃力)を
加えることができる。これによって、粉末容器52に収
容された粉末mは、網材56を通ってキャビティ28内
に供給される。衝突部材54は、好ましくは、エアシリ
ンダ58を用いて50回〜120回/分の割合で粉末容
器52と衝突するように駆動される。各衝突部材54の
移動のストロークは、たとえば10mm〜20mmに設
定される。
【0028】粉末容器52は、好ましくは、一方の衝突
部材54に衝突されたときに、他方の衝突部材54に向
かって移動することができる。このために、囲い部材4
8には、衝突部材54の移動方向に平行に延びる2つの
ガイド部材60が設けられており、囲い部材48内にお
いて、粉末容器52はガイド部材60に沿って直線的に
移動することができる。このようにすれば、他方の衝突
部材54を、近づいてくる粉末容器52に対して衝突さ
せることができ、粉末容器52には、移動方向とは逆方
向の衝撃力を与えることができる。これによって、キャ
ビティ28内に粉末mを均一に充填することができる。
【0029】粉末容器52の下端部には、フッ素系樹脂
製薄板またはフェルトなどから形成される摺動部材62
(厚さ:たとえば5mm程度)が設けられている。この
摺動部材62の存在によって、粉末容器52とダイ20
との間で粉末mの噛み込みが発生しにくくなり、粉末容
器52がダイ20上を滑らかに摺動することが可能にな
る。また、囲い部材48の下端部にも同様の摺動部材6
4が設けられている。この摺動部材64の存在によっ
て、囲い部材48とダイ20との間で粉末mの噛み込み
が発生しにくくなり、囲い部材48がダイ20上を滑ら
かに摺動することが可能になる。このようにして、給粉
箱32は、プレス成形装置10のダイ20上を滑らかに
摺動することができる。
【0030】つぎに図3(a)および(b)を参照す
る。図3(a)は、衝突部材54によって衝撃が与えら
れる前の状態を示す。粉末mがストリップキャスト法を
用いて製造した希土類合金粉末の場合、個々の粉末(pa
rticle)は角張った形状を有する。また、粉末mに潤滑
剤が添加されていると流動性が低下し、塊状となる。こ
の場合、希土類合金粉末からなる粉末mは、網材56の
開口部56a(網目)からは落下し難い状態となってい
る。このため、目開き1.8mm以上12.7mm以下
程度の比較的目の粗い網材が用いられており、開口部5
6aの幅(目開き)d1は、数mm〜十数mm程度と比
較的大きく設定されている。
【0031】その後、図3(b)に示すように、衝突部
材54によって衝撃が加えられると塊は崩れ、上記メッ
シュより小さい粉末mが、網材56の開口部56aから
落下する。なお、図3(a)および(b)において、粉
末mの寸法は比較的大きく示されており、実際には、希
土類合金粉末からなる粉末mの粒径は典型的には10μ
m以下であり、開口部56aの幅d1(数mm〜十数m
m程度)に比べてはるかに小さい。
【0032】このように、この実施形態では、従来のよ
うに容器自体を振動させるのではなく、図2(a)およ
び(b)に示したように衝突部材54を粉末容器52に
衝突させることによって、粉末容器52に収容された、
流動性が悪く塊を形成しやすい粉末mを解砕させ、ばら
けた状態の粉末mをキャビティ28内に供給することが
できる。衝突部材54を用いれば、粉末容器52に対し
て極めて短時間に作用する非常に大きい力(瞬間力)を
加えることができ、この力を粉末mにも伝播させて、効
果的に粉末mを細かくばらけた状態にすることができ
る。この実施形態では、目開き1.8mm以上12.7
mm以下程度の比較的目の粗い網を使用することで、粉
末充填に要する時間を大幅に低減しつつ、キャビティ2
8内に粉末mを均一に充填することができる。
【0033】つぎに、図4を参照する。粉末充填装置1
4では、キャビティ28内に粉末mを供給したあと、給
粉箱32がキャビティ28上から退去する際、粉末容器
52の底部エッジによって充填粉末の上部をすりきり、
それによって、成形すべき所定量の粉末mをキャビティ
28内へ精度良く充填することができる。この擦りきり
による粉末供給量の調節を適切に行うために、粉末容器
52の底部において、網材56は、ダイ20の表面から
近い位置に取り付けられている。網材56とダイ20の
表面との間隔d2は、好ましくは2mm未満に設定さ
れ、より好ましくは1mm未満に設定される。
【0034】このように網材56とダイ20の表面との
間のギャップd2を小さくすれば、キャビティ28にお
いて、ダイ20表面から盛り上がる粉末mの量をわずか
なものとすることができる。したがって、擦りきるべき
余分な粉末mの量が少なく、粉末容器52による充填粉
末のすりきりの際に発生する塊を次回の給粉時にキャビ
ティ28内に充填してしまうことがない。また、キャビ
ティ28以外の領域において、ダイ20の表面と網材5
6との間に堆積する粉末mの量を減少させることがで
き、擦りきり時に余分な粉末mがキャビティ28内に充
填される(押し込まれる)ことを防止することができ
る。さらに、キャビティ28の角部や縁部にはその中央
部よりも粉末mが供給され難い場合であっても、中央部
において粉末mが盛り上がる(すなわち、余分な粉末が
堆積される)ことを防止しつつ、キャビティ28の角部
や縁部にも粉末mをダイ20表面まで均一に充填するこ
とができる。
【0035】このように、網材56をダイ20表面近傍
の位置に設けることによって、キャビティ28内に粉末
mを均一に充填することができる。なお、このようにダ
イ20表面の近くに網材56を設ける場合、網材56が
ダイ20表面と接触することを防止するために、網材5
6の撓みを小さくすることが好ましい。このため、網材
56は、好ましくは、歪みが少ない圧延メッシュから形
成されている。
【0036】図5は、網材56とダイ20表面との間の
距離(ギャップ)d2と、焼結後の成形体(焼結体)の
厚さバラツキとの関係を示すグラフである。厚さバラツ
キは、プレス成形装置10を用いて縦55mm×横45
mm×厚さ16mmのサイズを有するブロック状の成形
体を作製した後、これを焼結し、焼結体上面における4
角近傍の位置および中央の位置の5箇所について厚さを
測定することによって調べた。厚さバラツキ(%)は、
上記5箇所における厚さの最大値と最小値との差を上記
5箇所の厚さの平均値で割った値を表す。なお、厚さバ
ラツキの測定は、各ギャップd2毎に30個の焼結体に
ついて行っており、その平均値を各ギャップd2の厚さ
バラツキ(%)として規定している。
【0037】グラフからわかるように、ギャップd2を
2mm未満に設定したときに、厚さバラツキを4%以下
に抑えることができ、比較的均一な厚さを有する所望形
状の成形体を作製することができた。またグラフから、
厚さバラツキの小さい成形体を確実に作製するためには
ギャップd2を1mm未満に設定することが好ましく、
また、ギャップd2を0.5mm以下に設定すれば、厚
さバラツキが大幅に低減された寸法精度の高い成形体を
作製できることがわかる。
【0038】このように、この実施形態の粉末充填装置
14では、衝突部材54を用いて撃力によって粉末容器
52内の粉末mを崩し、これをダイ20表面近くに位置
する比較的目の粗い網材56を通してキャビティ28内
に供給することによって、キャビティ28における深さ
および位置に関わらず均一な状態で粉末mを充填するこ
とができた。また、粉末供給にかかる時間を大幅に低減
することができた。この実施形態の粉末充填装置14
を、後述するような材料から形成される潤滑剤が添加さ
れることで流動性が悪くなった希土類合金粉末を供給す
るために用いた場合、特に大きな効果が得られた。ま
た、深さが30mm以下のキャビティ28に粉末mを充
填する場合において、特に大きな効果が得られた。
【0039】このようなプレス成形装置10の動作につ
いて説明する。給粉箱32内の粉末容器52には窒素ガ
スなどの不活性ガスが導入されている。この状態で、給
粉箱32の蓋50を開けて、ロボット46によってフィ
ーダカップ42内の所定量の粉末mを粉末容器52に供
給する。粉末mの供給後、蓋50を閉じて粉末容器52
の内部を不活性ガス雰囲気に保つ。粉末容器52への不
活性ガスの導入は、給粉箱32がキャビティ28上を移
動するときだけでなく常時行うこととして、粉末の発火
を防止する。また、不活性ガスとしてはArやHeも使
用できる。
【0040】このようにして粉末mを収容した給粉箱3
2がキャビティ28上まで移動すると、粉末供給が行わ
れる。この粉末供給は、図2(a)および(b)に示す
ように、衝突部材54に接続されたエアシリンダ58が
駆動され、粉末容器52に撃力が加えられることによっ
て行われる。このように衝突部材54を用いて、連続し
て多数回衝撃を加えることによって、粉末容器52内に
収容された粉末mは、網材56からキャビティ28の内
部へ供給される。
【0041】なお、左右の衝突部材54の動作パターン
は種々のものとすることができる。たとえば左側の衝突
部材54を粉末容器52に衝突させると同時に右側の衝
突部材54を粉末容器52から離反させ、その後、右側
の衝突部材54を衝突させると同時に左側の衝突部材5
4を粉末容器52から離反させるというような動作を行
うことができる。この際、粉末容器52がダイ20上で
往復運動するようにし、粉末容器52自体も細かく振動
させることが好ましい。このように、衝突部材54を左
右に対向するように設ければ、粉末mがキャビティ28
内に入り易い適切な動作パターンで、キャビティ28内
に均一に粉末mを供給することが可能になる。
【0042】図6を参照する。このようにして粉末mが
充填された後、上パンチ24が降下し始め、キャビティ
28内に充填された粉末mに対しては、磁場発生用コイ
ル29が形成する配向磁場が印加される。上パンチ24
および下パンチ22がキャビティ28内の粉末mをプレ
ス成形することによってキャビティ28内で成形体66
が形成される。その後、上パンチ24は上昇し、下パン
チ22が成形体66を押し上げることによって、成形体
66をダイ20から抜き出す(取り出す)。図6は、下
パンチ22が成形体66の全体をダイ20から上へ押し
上げた状態を示している。
【0043】このプレス成形が終了した後、下パンチ2
2によって押し上げられた成形体66は、不図示の搬送
ロボットによって焼結用台板68(厚さ:0.5mm〜
3mm)に載せられる。台板68は、たとえばモリブデ
ン材料から構成されている。成形体66は、コンベア7
0上を台板68とともに搬送されて、たとえば窒素のよ
うな不活性ガス雰囲気に保持された空間内に置かれてい
る焼結ケース72へ搭載される。焼結ケース72は、好
ましくはモリブデン製の薄い金属板(厚さ:1mm〜3
mm程度)から構成されている。
【0044】焼結ケース72には、水平方向に延びる複
数本のモリブデン製ロッド(支持棒)74が設けられて
おり、ロッド74によって成形体66が載せられた状態
の台板68が焼結ケース72内でほぼ水平に支持され
る。このように焼結ケース72を使用すれば、焼結炉に
おいて多数の成形体66を効率良く焼結できるととも
に、成形体66が炉内で暴露された状態で焼結されるこ
とを防ぎ、成形体66の酸化等を防止することができ
る。
【0045】以下、粉末充填装置14を用いたR−T−
(M)−B系の希土類磁石の製造方法を説明する。R−
T−(M)−B系磁石を製造するために、まず、急冷法
(冷却速度102°C/sec以上104°C/sec以
下)による合金の作製法としてストリップキャスト法を
用いて、R−T−(M)−B系合金を作製する。ストリ
ップキャスト法は、たとえば米国特許第5,383,9
78号に開示されている。具体的には、Nd:26wt
%、Dy:5.0wt%、B:1.0wt%、Al:
0.2wt%、Co:0.9wt%、Cu:0.2wt
%、残部Feおよび不可避不純物からなる組成の合金を
高周波溶解によって溶融し、合金溶湯を形成する。この
合金溶湯を1350℃に保持した後、単ロール法によっ
て、合金溶湯を急冷し、厚さ0.3mmのフレーク状合
金を得る。このときの急冷条件は、たとえば、ロール周
速度約1m/秒、冷却速度500℃/秒、過冷度200
℃である。
【0046】このフレーク状合金を水素吸蔵法によって
粗粉砕した後、ジェットミルを用いて窒素ガス雰囲気中
で微粉砕すれば、平均粒径が約3.5μmの合金粉末を
得ることができる。この窒素ガス雰囲気中の酸素量は1
0000ppm程度に低く抑えることが好ましい。この
ようなジェットミルは、特公平6−6728号公報に記
載されている。微粉砕時における雰囲気ガス中に含まれ
る酸化性ガス(酸素や水蒸気)の濃度を制御し、それに
よって、微粉砕後における合金粉末の酸素含有量(重
量)を6000ppm以下に調整することが好ましい。
希土類合金粉末中の酸素量が6000ppmを超えて多
くなりすぎると、磁石中に非磁性酸化物の占める割合が
増加し、最終的な焼結磁石の磁気特性が劣化してしまう
からである。
【0047】こうして得た希土類合金粉末に対して、ロ
ッキングミキサー内で潤滑剤をたとえば0.3wt%添
加・混合し、潤滑剤で合金粉末粒子の表面を被覆する。
潤滑剤としては、脂肪酸エステルを石油系溶剤で希釈し
たものを用いることが好ましい。この実施形態では、脂
肪酸エステルとしてカプロン酸メチルを用い、石油系溶
剤としてはイソパラフィンを好適に用いることができ
る。カプロン酸メチルとイソパラフィンの重量比は、た
とえば1:9とすればよい。
【0048】なお、潤滑剤の種類は上記のものに限定さ
れるわけではない。脂肪酸エステルとしては、カプロン
酸メチル以外に、たとえば、カプリル酸メチル、ラウリ
ル酸メチル、ラウリン酸メチルなどを用いても良い。溶
剤としては、イソパラフィンに代表される石油系溶剤や
ナフテン系溶剤等を用いることができる。潤滑剤添加の
タイミングは任意であり、微粉砕前、微粉砕中、微粉砕
後の何れであっても良い。液体潤滑剤とともに、ステア
リン酸亜鉛などの固体(乾式)潤滑剤を用いても良い。
【0049】つぎに、プレス成形装置10を用いて、上
記合金粉末から成形体を作製する。まず、希土類合金粉
末を粉末充填装置14の給粉箱32に充填し、プレス成
形装置10のダイ20に形成されたキャビティ28に給
粉箱32から合金粉末を供給する。粉末充填装置14を
用いれば、キャビティ28内においてブリッジなどを形
成しない均一な粉末充填をすることができる。つぎに、
キャビティ28内において希土類合金粉末を磁場中でプ
レス成形(圧縮成形)し、それによって所定形状の成形
体を作製する。成形体の密度は、3.9g/cm3
4.8g/cm3たとえば4.3g/cm3程度に設定さ
れる。この実施形態では、粉末充填装置14を用いてキ
ャビティ28内に所定量の希土類合金粉末が均一に充填
されているので、上記充填された希土類合金粉末をプレ
ス成形することによって、密度が均一な成形体を作製す
ることができる。また、この粉末充填装置14は一度に
多数のキャビティに均一な充填ができるので、プレス成
形の際に成形体にひびが発生することが防止され、歩留
まりを向上することができる。
【0050】特に、キャビティの深さが30mm以下の
場合、キャビティ内に希土類合金粉末が均一に充填され
ていないと、希土類合金粉末によってブリッジが形成さ
れ、作製される成形体の密度のバラツキが大きくなる。
粉末充填装置14を用いれば、このような深さの浅いキ
ャビティにも、均一に粉末を充填することができる。そ
の後、図6に示すように、成形体を焼結用台板68上に
載せた状態で焼結ケース72内に収容し、これを焼結装
置まで搬送し、焼結装置の入り口に設けられている準備
室内に挿入する。準備室を密閉した後、酸化防止のた
め、雰囲気圧力が2パスカル程度になるまで準備室内を
真空引きする。つぎに、焼結ケース72を脱バインダ室
に搬送し、そこで脱バインダ処理(温度:250℃〜6
00℃、圧力:2パスカル、時間:3時間〜6時間)を
実行する。脱バインダ処理は、磁性粉末の表面を覆って
いる潤滑剤(バインダ)を焼結工程の前に揮発させるた
めに行うものである。潤滑剤は、プレス成形時における
磁性粉末の配向性を改善するため、プレス成形前に磁性
粉末と混合されたものであり、磁性粉末の各粒子間に存
在している。脱バインダ処理時には成形体から有機系ガ
ス、水蒸気などの各種のガスが発生する。したがって、
これらのガスを吸収することができるゲッターを焼結ケ
ース72内に予め置いておくことが望ましい。
【0051】脱バインダ処理が終了した後、焼結ケース
72は焼結室に搬送され、アルゴンガス雰囲気中で、1
000℃〜1100℃の焼結処理を2時間〜5時間程度
受ける。これにより、成形体が収縮を伴って焼結し、焼
結体が得られる。このとき、この実施形態では、成形体
の密度が均一であるので、焼結時において磁気異方性方
向の縮みのバラツキが小さくなる。したがって、焼結体
の寸法調整のための加工時間を短縮することができ、生
産性を向上させることができる。
【0052】その後、焼結ケース72は冷却室に搬送さ
れ、ここで室温程度に低下するまで冷却される。冷却さ
れた焼結体は、時効処理炉に挿入され、通常の時効処理
工程が実行される。時効処理は、たとえば、アルゴン等
の雰囲気ガスの圧力を2パスカル程度とし、400℃〜
600℃の温度にて3時間〜7時間程度行われる。時効
処理を行う際、焼結ケース72から焼結体を取り出し、
これをステンレス鋼のメッシュ容器に移し替えてから処
理を行うようにしてもよい。
【0053】所定の磁気特性が付与されるように作製さ
れた希土類磁石の焼結体は、所望の形状を持つように切
削・研磨される。このとき、焼結体の寸法のバラツキが
小さいので、形状加工に要する時間を短縮することがで
きる。その後、所望の形状にされた磁石に対し、耐候性
を高めるために、NiやSnなどから形成される保護膜
を形成するなどして表面処理が必要に応じて行われ、製
品としての希土類磁石が完成する。
【0054】なお、この発明の製造方法によって作製さ
れる希土類磁石(R−T−(M)−B系磁石)は、前述
の組成を有する磁石に限定されず、たとえば、希土類元
素Rとして、Y、La、Ca、Pr、Nd、Sm、G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Luの少なくとも
一種類の元素を含有する原料を用いることができる。充
分な磁化を得るには、希土類元素Rのうちの50at%
以上がPrまたはNdの何れかまたは両方によって占め
られることが好ましい。
【0055】FeおよびCoを含む遷移金属元素Tは、
Feのみから構成されていても良いが、Coの添加によ
ってキュリー温度が上昇し、耐熱性が向上する。遷移金
属元素Tの50at%以上はFeで占められることが好
ましい。Feの割合が50at%を下回ると、Nd2
14B型化合物の飽和磁化そのものが減少するからであ
る。Bは、正方晶Nd2Fe14B型結晶構造を安定的に
析出するために必須である。Bの添加量が4at%未満
ではR217相が析出するため保磁力が低下し、減磁曲
線の角型性が著しく損なわれる。したがって、Bの添加
量は4at%以上であることが好ましい。
【0056】粉末の磁気的な異方性をより高めるため
に、他の添加元素を付与してもよい。添加元素として
は、Al、Ti、Cu、V、Cr、Ni、Ga、Zr、
Nb、Mo、In、Sn、Hf、Ta、Wからなる群か
ら選択された少なくとも1種類の元素が好適に使用され
得る。磁気的に等方性の磁粉を得るには添加元素Mは不
要だが、固有保磁力を高めるためにAl、Cu、Ga等
を添加してもよい。
【0057】ついで、図7に、他の実施形態の粉末充填
装置14aの要部を示す。粉末充填装置14aは粉末容
器76を含み、粉末容器76の内側には、複数の仕切り
板78が設けられている。このように仕切り板78を設
ければ、衝突部材54が粉末容器76の側壁に衝突した
際、粉末容器76内の仕切り板78にて仕切られた粉末
mに分散して撃力を伝達することができ、より効率良く
粉末mを充填することができる。このようにすれば、キ
ャビティ28への粉末充填時間を大幅に短縮することが
できる。なお、仕切り板78は、上下方向(粉末容器7
6の高さ方向)に位置調節が可能であり、粉末容器76
に収容される粉末mの量に応じて、仕切り板78の位置
を調節することによって、粉末全体に対して適切な力を
加えることができる。
【0058】また、粉末容器の底部に設けられる網材と
して、図8(a)および(b)に示すような網材80お
よび82が用いられてもよい。図8(a)に示すよう
に、網材80は粗さの異なる2種類の網材80aおよび
80bを含み、図8(b)に示すように、網材82は粗
さの異なる2種類の網材82aおよび82bを含む。こ
のように、網材の位置に応じてその粗さを変えれば、キ
ャビティ28内に充填する粉末mの量を部分的に調節す
ることができる。
【0059】上述のように、キャビティ28の角部や縁
部には、中央部よりも粉末供給量が少なくなる場合があ
る。このような場合、キャビティ28の全体に均一に同
量の粉末を供給するためには、キャビティ28の角部や
縁部において、より粉末mが供給され易くすることが好
ましい。このため、図8(a)および(b)に示す網材
80および82では、キャビティ28の縁部に対応する
部分により粗い目の網材80bおよび82bを設け、中
央部にはより細かい目の網材80aおよび82aを設け
ている。このようにすれば、キャビティ28の縁部にお
いてその中央部よりも多くの粉末mを充填することがで
きる。
【0060】また、図8(b)に示す網材82では、粉
末充填後の擦りきり時において網材82が移動する方向
(図において矢印Aで示す方向)の手前側に目の細かい
網材82aを設け、この部分において粉末mが供給され
難いようにしている。これは、擦りきり時においてダイ
20上に散らばっていた粉末mがキャビティ28内の縁
部(上記目の細かい網材を設けた場所)にも供給される
ことがあるため、予めその分を少なくしておくためであ
る。このようにすれば、擦りきり後に、適切な量の粉末
mをキャビティ28全体に均一に充填することができ
る。
【0061】以下、表1にこの発明の実施形態および比
較例の実験結果を示す。実施形態1では、図2に示す粉
末充填装置14を用いてキャビティ28内に希土類合金
粉末の充填を行ったあと、プレス成形によって成形体を
作製した。実施形態2では、図7に示す粉末充填装置1
4aを用いて成形体を作製した。比較例1では特開20
00−248301号に開示されるシェーカー式の粉末
充填装置を用いて成形体を作製した。
【0062】このようにして作製された成形体のそれぞ
れを焼結し、焼結体の厚さバラツキおよび単重バラツキ
を測定した。厚さバラツキは、作製された焼結体の厚さ
を9点で測定し、この9点における厚さの最大値と最小
値との差を求め、この差を9点の厚さの平均値で割るこ
とによって求めた。なお、表1における厚さバラツキの
値は、200個の焼結体の各々について求めた厚さバラ
ツキ(%)の平均値を示している。また、単重バラツキ
は、200個の焼結体における単重最大値と単重最小値
との差を求め、この差を焼結体200個の平均重量で割
った数値を示している。なお、給粉時間は、ある一定量
の粉末をキャビティ内に充填するのに要した時間を示
す。
【0063】
【表1】
【0064】上記表1より、特開2000−24830
1号に示すシェーカー式の粉末充填装置を用いた場合
(比較例1)に比べて、図2および図7に示す粉末充填
装置14および14aを用いた場合(実施形態1および
2)の方が、充填速度が速く、かつ、焼結体の寸法およ
び重さのバラツキが小さいことがわかる。
【0065】さらに、図9(a)および(b)に、その
他の実施形態の粉末充填装置14bの要部を示す。粉末
充填装置14bは、粉末容器52の上部に連結される振
動機構84を有し、振動機構84はエアシリンダ等のシ
リンダ86に接続される。また、一対の衝突部材88
が、粉末容器52の下部に衝突できるように囲い部材4
8に取り付けられる。衝突部材88の先端部90は、た
とえば硬質の樹脂等によって構成され、これによって粉
末容器52との衝突時の火花の発生を抑えることができ
る。網材56のメッシュ寸法やダイ20表面から網材5
6までの距離等、その他の構成については図2(a)お
よび(b)に示す粉末充填装置14と同様である。
【0066】このような粉末充填装置14bでは、シリ
ンダ86によって振動機構84を駆動し、振動機構84
で粉末容器52の上部を振動させることによって、衝突
部材88と粉末容器52の下部とを衝突させる。粉末容
器52の移動ストロークはたとえば1mm〜15mmで
ある。粉末充填装置14bでは、振動機構84を上部、
衝突部材88を下部にそれぞれ配置し、両者を分離させ
ることで、衝突部材88をダイ20表面により近づける
ことができ、粉末mが充填された粉末容器52の開口部
56aにより均一に衝撃力を加えることができるので、
粉末mをキャビティ28により均一かつ安定的に充填で
きる。
【0067】また、たとえば、粉末mが10μm以下の
微細な粉末である場合、給粉箱32b内で粉末mが舞い
上がり粉末容器52の外に舞い散ることを抑制でき、囲
い部材48とエアシリンダ86との摺動部等に粉末mが
噛み込むのをなくすことができる。さらに、粉末充填装
置14bを用いてキャビティ28に充填された粉末m
を、図1に示す実施形態と同様にしてプレス成形し、さ
らに焼結して焼結磁石を製造すれば、寸法バラツキ、単
重バラツキの小さい焼結磁石を得ることができる。粉末
充填装置14bを用いれば、上記表1の実施形態2の場
合とほぼ同様の効果が得られる。
【0068】
【発明の効果】この発明によれば、容器に撃力を加える
ことによって容器内の粉末を供給しているので、粉末を
ばらけた状態とすることができ、キャビティにおける深
さおよび位置に関わらず均一な状態で粉末を充填するこ
とができる。また、粉末供給に必要な時間を大幅に低減
することができる。また、上述にようにしてキャビティ
に均一に充填された粉末をプレス成形すると、密度が均
一で寸法バラツキおよび単重バラツキの小さい成形体を
作製できる。さらに、その成形体を焼結すると、寸法バ
ラツキおよび単重バラツキの小さい焼結磁石が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態のプレス成形装置の要部
を示す斜視図である。
【図2】図1の実施形態で用いられる粉末充填装置の要
部を示す図であり、(a)は蓋を取り外した状態での平
面図、(b)は粉末を収容した状態での断面図を示す。
【図3】衝撃力を加えることによって網材から粉末が落
下する様子を示す断面図であり、(a)は衝撃力を加え
る前の状態、(b)は衝撃力を加えた直後の状態を示
す。
【図4】粉末容器の一部を拡大して示し、ダイ表面と網
材とのギャップを説明するための断面図である。
【図5】ダイ表面と網材とのギャップと、厚さバラツキ
との関係を示すグラフである。
【図6】図1に示すプレス成形装置およびその周辺部を
示す図解図である。
【図7】他の実施形態の粉末充填装置の要部を示す断面
図である。
【図8】網材の変形例を示す平面図である。
【図9】さらにその他の実施形態の粉末充填装置の要部
を示す図であり、(a)は蓋を取り外した状態での平面
図、(b)は粉末を収容した状態での断面図を示す。
【符号の説明】
10 プレス成形装置 12 プレス成形部 14、14a、14b 粉末充填装置 20 ダイ 22 下パンチ 24 上パンチ 28 キャビティ 52、76 粉末容器 54、88 衝突部材 56、80、80a、80b、82、82a、82b
網材 56a 開口部 66 成形体 78 仕切り板 84 振動機構 d1 開口部の幅 d2 網材とダイ表面との間のギャップ m 粉末
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 淳夫 兵庫県養父郡養父町大藪1062番地 近畿住 特電子株式会社内 (72)発明者 高野 芳郎 佐賀県杵島郡大町町大字福母282番 住友 特殊金属株式会社大町事業所内 Fターム(参考) 4K018 AA11 AA27 BA05 BA18 CA14 KA45

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ダイに形成されたキャビティ内に粉末を
    充填するための粉末充填装置であって、 前記粉末が通過することができる複数の開口部が設けら
    れた粉末保持部を底部に有する容器、および前記容器と
    衝突され得る衝突部材を備え、 前記衝突部材と前記容器とを衝突させ、前記容器に対し
    て撃力を加えることによって、前記容器内に収容された
    粉末が前記複数の開口部を介して前記キャビティ内に充
    填される、粉末充填装置。
  2. 【請求項2】 前記容器の上部に連結される振動機構を
    さらに備え、 前記衝突部材は前記容器の下部に衝突するように設けら
    れ、 前記振動機構で前記容器の上部を振動させることによっ
    て、前記衝突部材と前記容器の下部とを衝突させる、請
    求項1に記載の粉末充填装置。
  3. 【請求項3】 前記粉末保持部は目開き1.8mm以上
    12.7mm以下の網によって形成されている、請求項
    1に記載の粉末充填装置。
  4. 【請求項4】 前記粉末保持部は目開き3.2mm以上
    12.7mm以下の網によって形成されている、請求項
    1に記載の粉末充填装置。
  5. 【請求項5】 前記粉末保持部は前記ダイの表面から
    2.0mm未満の高さに設けられている、請求項1に記
    載の粉末充填装置。
  6. 【請求項6】 前記粉末保持部は前記ダイの表面から
    1.0mm未満の高さに設けられている、請求項1に記
    載の粉末充填装置。
  7. 【請求項7】 前記衝突部材が前記容器に衝突すること
    によって前記容器に対して撃力が加えられたときに前記
    容器は移動することができる、請求項1に記載の粉末充
    填装置。
  8. 【請求項8】 前記容器の外側において、前記容器を挟
    んで対向するように設けられた複数の前記衝突部材を備
    える、請求項1に記載の粉末充填装置。
  9. 【請求項9】 前記容器の内側において設けられた仕切
    り板をさらに備える、請求項1に記載の粉末充填装置。
  10. 【請求項10】 前記粉末保持部に設けられた複数の開
    口部のサイズは、前記開口部が設けられた位置に応じて
    決められている、請求項1に記載の粉末充填装置。
  11. 【請求項11】 前記粉末は希土類合金粉末である、請
    求項1に記載の粉末充填装置。
  12. 【請求項12】 前記粉末には潤滑剤が添加されてい
    る、請求項11に記載の粉末充填装置。
  13. 【請求項13】 粉末が通過することができる複数の開
    口部が設けられた粉末保持部を底部に有する容器に対し
    て撃力を加えることによって、前記容器内に収容された
    粉末を前記複数の開口部を介して、ダイに形成されたキ
    ャビティ内に充填する第1ステップ、 前記キャビティ内に充填された前記粉末をプレス成形す
    ることによって成形体を作製する第2ステップ、および
    前記成形体を焼結して焼結磁石を製造する第3ステップ
    を備える、焼結磁石製造方法。
  14. 【請求項14】 前記第1ステップでは、前記容器の上
    部を振動させることによって、前記容器の下部に撃力を
    加える、請求項13に記載の焼結磁石製造方法。
  15. 【請求項15】 前記粉末は希土類合金粉末であり、 前記第1ステップの前に、前記希土類合金粉末に潤滑剤
    を添加するステップをさらに備える、請求項13に記載
    の焼結磁石製造方法。
  16. 【請求項16】 ダイに形成されたキャビティ内に粉末
    を充填するための粉末充填装置であって、 底部に網を有し、前記粉末を収容するための容器を備
    え、 前記網は前記ダイの表面から2.0mm未満の高さに設
    けられている、粉末充填装置。
  17. 【請求項17】 ダイに形成されたキャビティ内に粉末
    を充填するための粉末充填装置であって、 底部に網を有する容器を備え、 前記網の開口部のサイズは前記開口部が設けられた位置
    に応じて決められている、粉末充填装置。
  18. 【請求項18】 請求項1から12、16または17の
    いずれかに記載の粉末充填装置、および前記粉末充填装
    置によって前記キャビティ内に充填された前記粉末をプ
    レス成形するためのプレス手段を備える、プレス成形装
    置。
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