JP2001181859A - 複合構造物の作製方法および作製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 セラミック超微粒子を含むエアロゾルを高
速で基板に吹き付けて、焼成させることなく緻密質のセ
ラミック構造物を基板上に形成させた複合構造物の作製
方法を提供する。またセラミック構造物を室温にて安定
的に形成させる複合構造物形成装置を提供する。 【解決手段】 セラミック超微粒子のエアロゾルを
発生させ、分級あるいは解砕によりエアロゾル中の二次
粒子を排除した後に、一次粒子あるいはそれに準じる粒
径の粒子のみを基板上に吹き付けることにより、焼成さ
せることなく高密度の緻密質のセラミック構造物を基板
上に得る。また、振動する篩からセラミック超微粒子を
落下させて、連続的に安定した濃度のエアロゾルを発生
させることにより、基板あるいはノズルを一定速度で移
動する操作で、一定の堆積厚みを保持させることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】警告 1 : 段落番号が昇順になっていませ
ん

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック超微粒
子を高速で基板に衝突させて基板上にこれを堆積させる
方法に関し、特にこのうちセラミック超微粒子を含むエ
アロゾルを基板に吹き付け、セラミック超微粒子を基板
上に堆積させることによって、セラミックス構造物と基
板との複合構造物を形成させる複合構造物作製方法およ
び作製装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、金属などの超微粒子をガス中に分
散させてエアロゾル化し、これをノズルから高速で噴射
して基板上に堆積させて成膜する方法は、超微粒子ビー
ム堆積法（Ultra-fine particles beam deposition met
hod）、ガスデポジション法あるいはジェットプリンテ
ィング法と呼ばれている。

【０００３】このうちセラミック超微粒子を用いて基板
上にセラミックの厚膜層を作成する技術として、特開平
４−１８８５０３が開示されており、セラミックコンデ
ンサーの誘電体部分を形成させるために、ガスデポジシ
ョン法が用いられている。ここでは膜形成室内におい
て、膜形成が行われる基板を、加熱系を備えた基板ホル
ダに配置し、これに対向して噴射ノズルを設ける。噴射
ノズルは搬送管を介して膜形成室外のチタン酸バリウム
などの粒径１μｍ以下のセラミック超微粒子の入った混
合容器に連結され、さらに混合容器には乾燥空気ボンベ
が連結される。また、ビームを用いて基板表面を加熱す
る炭酸ガスレーザ発振器を備える。セラミック超微粒子
は、乾燥空気ボンベから導入されるガスにより浮上して
エアロゾルとなり、搬送管を通って膜形成室に導入さ
れ、噴射ノズルより高速で噴射され、基板に堆積する。
同時に炭酸ガスレーザ発振器を用いて加熱ビームを堆積
層に照射し、９００℃の加熱を行い、堆積層を焼成す
る。これにより厚さ１〜２０μｍのセラミックの焼成膜
を得ている。

【０００４】警告 2 : 段落番号が昇順になっていませ
んこの方法では、粒径１μｍ以下のセラミックの超微粒
子を使用しているので、セラミックの焼成温度を下げる
ことができ、またバインダを使用せずにドライプロセス
での膜形成が可能となっている。

【０００５】警告 3 : 段落番号が昇順になっていませ
ん

【発明が解決しようとする課題】従来法においては、ガ
スデポジション法によって基板上に圧粉体の膜を形成し
た後に、これを焼成することによってセラミック焼成膜
を得るものであった。すなわち従来のガスデポジション
法でも堆積膜を得ることは可能であるものの、このまま
では脆弱ですぐ基板から剥離するなど、十分な機械的強
度が得られなかったため、硬度、耐摩耗性、耐衝撃性な
どを向上させて実用的な膜を得るには加熱操作による焼
き締め工程が不可欠であった。

【０００６】超微粒子のセラミックスを用いることによ
り焼成温度を下げる努力がなされてはいるが、それでも
数百℃の加熱工程は必要であり、そのため基板ホルダに
加熱装置を設けたり、あるいは外部から堆積層に加熱レ
ーザを照射したりなどの操作が必要であった。特にヒー
タなどの伝熱作用を用いた基板ホルダの加熱装置を用い
る場合は、大面積の基板にセラミック膜を形成させるに
際して成膜部分のみをスポット的に加熱することは困難
であり、加熱装置の大型化は避けられなかった。

【０００７】また加熱工程が避けられないため、プラス
チックなどの有機素材や、アルミニウムなどの低融点金
属、ガラス、紙などの加熱により変質、溶解、燃焼を引
き起こす素材にセラミック膜を形成することが出来ず、
限定された用途にしか利用できなかった。

【０００８】このように、特にセラミック超微粒子を用
いたガスデポジション法による成膜操作で、脆弱な圧粉
体による堆積膜（構造体）しか得られなかった主な原因
は、セラミック超微粒子同士がエアロゾル中で凝集して
比較的粒径の大きい二次粒子を生成していたことが考え
られる。

【０００９】本発明はこれらの課題を解決するためにな
された複合構造物作製方法および作製装置であって、セ
ラミック超微粒子の凝集によって形成される二次粒子の
解砕や、エアロゾル中のセラミック超微粒子濃度の安定
化を図るなどの努力で、焼成工程を経ず、セラミック焼
成体と同程度の密度、硬さを保有するセラミック構造物
を基板上に形成させた複合構造物を、セラミック超微粒
子から作成することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段及び作用、効果】本発明に
おける複合構造物の作製方法では、セラミック超微粒子
を高速で基板に衝突させて複合構造物を作製する方法に
おいて、前記セラミック超微粒子を衝突により破砕して
微細断片粒子を生成し、あるいはセラミック超微粒子を
衝突させてその衝撃により変形を起こさしめて、その一
部に新生面を形成させるなどし、次いで前記微細断片粒
子を前記基板へ接着あるいは微細断片粒子同士を接合さ
せることにより、焼成させることなく高密度の緻密質の
セラミック構造物を基板上に形成した複合構造物を作製
することを特徴とする。セラミック超微粒子を加速して
高速で基板に衝突させる方法としては、静電力を用いた
方法、微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを用いた
方法（超微粒子ビーム堆積法、ガスデポジション法、溶
射法、コールドスプレー法）、クラスターイオンビーム
法などが挙げられる。上述の形成メカニズムを達成でき
るのであれば、セラミック超微粒子を加速させる手段は
いずれでも良いが、特にエアロゾルを用いる方法はこれ
を簡便に達成させるに好適な手段である。

【００１１】一般にセラミックスは、共有結合性あるい
はイオン結合性の原子結合状態にあり、硬度は高いが衝
撃に弱い脆性材料である。またセラミック超微粒子は、
通常、いくつかの結晶子が集まった多結晶体からできて
いる場合が多い。セラミック超微粒子に衝撃を与えた場
合、上述の理由から破砕されやすく、特に結晶子同士の
界面から劈開し分割されやすい。本発明で使用されるセ
ラミック超微粒子は、その一次粒子径が０．１μｍから
５μｍの範囲のものであるが、この超微粒子が基板表面
などに非常に高速で衝突した場合、その運動エネルギー
によって発生する衝撃でさらに細かく破砕され、表面エ
ネルギーが極度に大きな微細断片粒子が多数生成する。
この高活性の微細断片粒子同士が生成後瞬時に基板と接
着あるいは互いに再接合し、焼成を行った場合と類似し
た緻密質のセラミック構造物を形成する。あるいは衝突
の衝撃により粒子がへき開面に沿って変形して、粒子の
一部に新生面を形成し、次いで衝突してきた粒子と再接
合したり、粒子間の空孔を埋めて緻密化する。セラミッ
ク微粒子の基板に衝突する際の速度は、現実的には５０
から４５０ｍ／ｓ好ましくは１５０から４００ｍ／ｓの
範囲内が適当であり、これより遅い場合では超微粒子の
破砕や変形が起こりにくく、ただ超微粒子が堆積する圧
粉体の形成にとどまる。これより速い場合では、構造物
形成が行なわれるものの、一方で衝突してくる微粒子が
形成された構造物を削り取るエッチング現象も同時に起
こり、構造物形成速度の低下が見られるようになる。ま
たこの速度範囲においては、セラミック超微粒子が衝突
する際に、熱がほとんど発生しないことが確認されてお
り、衝突時のエネルギーによる焼成は起こっていないと
言って良い。

【００１２】本発明において使用されるセラミック超微
粒子には、たとえば酸化アルミニウム、酸化チタン、酸
化亜鉛、酸化錫、酸化鉄、酸化ジルコニウム、酸化イッ
トリウム、酸化クロム、酸化ハフニウム、酸化ベリリウ
ム、酸化マグネシウム、酸化珪素などの酸化物、ダイヤ
モンド、炭化硼素、炭化珪素、炭化チタン、炭化ジルコ
ニウム、炭化バナジウム、炭化ニオブ、炭化クロム、炭
化タングステン、炭化モリブデン、炭化タンタルなどの
炭化物、窒化硼素、窒化チタン、窒化アルミニウム、窒
化珪素、窒化ニオブ、窒化タンタルなどの窒化物、硼
素、硼化アルミニウム、硼化珪素、硼化チタン、硼化ジ
ルコニウム、硼化バナジウム、硼化ニオブ、硼化タンタ
ル、硼化クロム、硼化モリブデン、硼化タングステンな
どの硼化物、あるいはこれらの混合物や多元系の固溶
体、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸リチウ
ム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸アルミニウム、
ＰＺＴ、ＰＬＺＴなどの圧電性・焦電性セラミックス、
サイアロン、サーメットなどの高靭性セラミックス、水
酸アパタイト、燐酸カルシウムなどの生体適合性セラミ
ックス、ふっ化セリウムなどが考えられる。セラミック
超微粒子以外でも、シリコン、ゲルマニウムなどのへき
開性の強い脆性材料を使用することも可能である。

【００１３】本発明において使用される基板には、各種
セラミックス、各種半金属、各種金属のほか、各種樹脂
材料、紙など、加熱に適さない材料も選択できる。

【００１４】本発明において使用されるガスは、乾燥空
気、窒素、ヘリウム、アルゴン、酸素などが考えられ
る。

【００１５】本発明における複合構造物の作製方法で
は、セラミック超微粒子をガス中に分散させたエアロゾ
ルを高速で基板に衝突させて複合構造物を作製する方法
において、粗大な凝集状態にある前記セラミック超微粒
子を、セラミック構造物の作製に好適な粒径に解砕して
一次粒子を生成し、次いで前記セラミック超微粒子の一
次粒子を衝突により破砕して微細断片粒子を生成し、あ
るいはセラミック超微粒子を衝突させてその衝撃により
変形を起こさしめて、その一部に新生面を形成させるな
どし、次いで前記微細断片粒子を前記基板へ接着あるい
は微細断片粒子同士を接合させることにより、焼成させ
ることなく高密度の緻密質セラミック構造物を基板上に
形成した複合構造物を作製することを特徴とする。

【００１６】本発明に用いられる粒子径が数μｍ以下の
超微粒子（一次粒子）は、通常、お互いにファンデルワ
ールス力、静電気力あるいは水分の架橋効果により凝集
し、そのほとんどが数十〜数百μｍの径を持つ二次粒子
を形成している。この二次粒子は、高速ガス流に分散さ
れたエアロゾルになっても、その質量が大きいため一次
粒子に比較して加速されにくく、十分な運動エネルギー
を得ることができない。しかるにこれら二次粒子がノズ
ルより噴射され基板に衝突しても、運動エネルギーが小
さく、また粒子同士の解砕にエネルギーが消費されるた
め、一次粒子が破砕されるに必要な衝突エネルギーを得
ることができず、焼成されたと同様な特性を持つ緻密質
のセラミック構造物が形成されることはなく、圧粉体と
して基板上に堆積するのみであった。このため従来法で
は、前記したように、堆積膜に加熱ビームを照射した
り、あるいは基板を加熱するなどの補助手段により、堆
積膜を焼成して、セラミック焼成体を形成させる必要が
あった。

【００１７】従って、エアロゾルをノズルから噴射させ
て基板に衝突させる前に、これに含まれるセラミック超
微粒子の二次粒子を解砕し、一次粒子の粒径まで細かく
しておくことにより、緻密質のセラミック構造物を生成
し易くすることが可能となる。

【００１８】本複合構造物作製方法により作成されたセ
ラミック構造物の堆積高さは、基板上に形成される場合
においては５０μｍ以上である。

【００１９】本発明によって作成されたセラミック構造
物は、その表面は微視的に平滑ではない。たとえば金属
の表面に高硬度のセラミックを被覆した耐摩耗性の摺動
部材を作成する場合などは、平滑表面が要求されるた
め、後工程において表面の切削あるいは研磨を必要とす
る。このような用途においてはセラミック構造物の堆積
高さは５０μｍ程度以上とするのが望ましい。平面研削
を行う場合においては、研削機の機械的制約のため、堆
積高さ５０μｍ以上が望ましく、この場合は数十μｍの
研削が行われるため、５０μｍ以下の表面が平滑な薄膜
を形成させることになる。

【００２０】また場合によっては、本複合構造物作製方
法により作成されたセラミック構造物の堆積高さは、５
００μｍ以上であることが望ましい。

【００２１】本発明では、高硬度、耐摩耗性、耐熱性、
耐食性、耐薬品性、電気的絶縁性などの機能を持ち、金
属材料などの基板上に形成されるセラミック膜を作成す
ることのみならず、それ単体で利用できるセラミック構
造物の作製も目的としている。セラミック材質の機械的
強度は様々であるが、５００μｍ以上の厚みの構造物で
あれば、例えば、セラミック基板等の用途においては、
材質を選べば、十分利用可能な強度が得られる。

【００２２】たとえば、基板ホルダ上に設置された金属
箔の表面にセラミック超微粒子を堆積させて一部あるい
は全部が５００μｍ以上の厚みを持つ緻密質のセラミッ
ク構造物を形成させた後、金属箔の部分を除去するなど
すれば、室温にてセラミック材質の機械構成部品を作成
することが可能である。

【００２３】本発明にかかる複合構造物作製装置の一態
様では、セラミック超微粒子をガス中に分散させて発生
させたエアロゾルを基板に高速で噴射・衝突させてセラ
ミック超微粒子の構造物を作成する複合構造物作製装置
において、前記エアロゾルを発生させるエアロゾル発生
器と、エアロゾルを噴射するノズルと、エアロゾル中の
セラミック超微粒子を分級する分級器とを備える。

【００２４】セラミック超微粒子は、エアロゾル発生器
内でガス中に分散されてエアロゾルとなる。エアロゾル
は搬送管を通じて分級器へ輸送され、分級器内で分級さ
れて堆積にあずかる粒子のみが選抜される。この微粒子
は搬送管を通じてノズルから高速で基板に向かって噴射
され、微粒子は基板に衝突して堆積し、セラミック構造
物を形成する。ガスの流速は毎秒数十〜数百ｍの亜音速
〜超音速の領域である。ガス流を作成するには、ガスボ
ンベやエアコンプレッサーを装置の前段に設置した加圧
によっても可能であるし、真空ポンプを装置の後段に設
置した引圧によってもよく、これらの組み合わせでもよ
い。また、搬送管の内径や長さを調節することにより、
エアロゾル発生室内と基板近傍の絶対圧および差圧を自
在に設定できる。

【００２５】前述のように、エアロゾル中の二次粒子
は、基板に衝突しても緻密質のセラミック構造物を形成
できず、圧粉体となるだけである。本発明で用いられる
分級器によって、あらかじめセラミック構造物の形成に
障害となる粗大な二次粒子を排除して一次粒子のみを選
抜し、十分な運動エネルギーを与えることができるこれ
らの粒子のみをノズルより噴射させることによって、焼
成を行うことなくセラミック構造物を形成できるように
なった。

【００２６】また本発明にかかる複合構造物作製装置の
別の一態様では、セラミック超微粒子をガス中に分散さ
せて発生させたエアロゾルを基板に高速で噴射・衝突さ
せてセラミック超微粒子の構造物を作成する複合構造物
作製装置において、前記エアロゾルを発生させるエアロ
ゾル発生器と、エアロゾルを噴射するノズルと、エアロ
ゾル中のセラミック超微粒子の凝集を解砕する解砕器と
を備える。

【００２７】セラミック超微粒子は、エアロゾル発生器
内でガス中に分散されてエアロゾルとなるが、そのほと
んどが粗大な二次粒子を形成している。

【００２８】分級器を設けても、エアロゾル中の二次粒
子の存在割合が一次粒子に比較して著しく大きな場合に
は、エアロゾル発生器によって発生させたエアロゾル中
のセラミック超微粒子の量に対して、ノズルから噴射さ
れるエアロゾル中のセラミック超微粒子の量が非常に少
なくなり、このためセラミック構造物を形成させる時間
が長くなったり、あるいはガスの使用量が膨大になるな
ど、実用化に際しての懸念がある。

【００２９】この粉体利用効率の低さを解消するため
に、エアロゾル発生器で発生させたエアロゾルを搬送管
にて輸送し、解砕器に導入して、二次粒子を一次粒子に
解砕する。この一次粒子のエアロゾルが搬送管を通じて
十分に加速されてノズルから噴射し、基板に衝突して緻
密質のセラミック構造物を形成する。

【００３０】本発明にかかる別の一態様では、セラミッ
ク超微粒子をガス中に分散させて発生させたエアロゾル
を基板に高速で噴射・衝突させてセラミック超微粒子の
構造物を作成する複合構造物作製装置において、前記エ
アロゾルを発生させるエアロゾル発生器と、エアロゾル
を噴射するノズルと、エアロゾル中のセラミック超微粒
子の凝集を解砕する解砕器と、エアロゾル中のセラミッ
ク超微粒子を分級する分級器とを備える。

【００３１】セラミック超微粒子は、エアロゾル発生器
内でガス中に分散され二次粒子を多く含むエアロゾルと
なり、解砕器に導入されて一次粒子に解砕されるが、こ
の場合でもすべての二次粒子を一次粒子に変換すること
は現実的に困難であり、多少の二次粒子を混在させたま
ま搬送管へ導出することになる。粗大な二次粒子が存在
すると、セラミック構造物形成時に、一部が緻密質とな
らないまま内部に取り込まれたり、構造物表面に付着し
て、それ以降の構造物形成を妨げたり、あるいは、形成
された構造物を削り取ったりするなどの弊害を及ぼす。

【００３２】そこで、解砕器の後段に分級器を設置する
ことにより、混在している二次粒子を排除し、セラミッ
ク構造物の形成にあずかる微細な一次粒子のみをノズル
から噴射させることができる。

【００３３】本発明にかかる複合構造物作製装置の一態
様では、基板とノズルの相対位置を制御する位置制御手
段を備える。

【００３４】基板は、たとえば上下（Ｚ）、前後左右
（ＸＹ）、角度（θ）方向の位置を制御できるステージ
に設置され、構造物作製中に、基板位置を前後左右に移
動させればノズルの開口部より大きな堆積部面積の構造
物を作成することができる。堆積厚さについては、ノズ
ルからのセラミック超微粒子の噴射量と、基板の固定時
間あるいは移動速度を調節することにより自在に設定で
きる。堆積厚さに追随して上下方向の位置を制御すれ
ば、ノズルとセラミック構造物との距離を常に一定にす
ることができる。

【００３５】また、ノズルをコンピュータ制御などによ
る屈曲自在な可動アームの先に取り付け、上下（Ｚ）、
前後左右（ＸＹ）、角度（θ）方向の位置を制御しつ
つ、曲面や角を持つ複雑形状物の表面をなぞりながら堆
積操作を行えば、複雑形状物にセラミック構造物の被覆
を行うことができる。

【００３６】本発明にかかるエアロゾル発生器の一態様
では、セラミック超微粒子を収容する容器及び、この容
器に機械的振動作用を与える振動装置、電界を付与する
電界発生装置の少なくとも何れかを備え、前記容器は前
記ガスを導入する導入部と、前記エアロゾルを導出する
導出部とを有する。

【００３７】セラミック超微粒子は、粉体として容器内
に充填される。導入部から導入されたガスは、セラミッ
ク超微粒子を巻き上げ、容器内にエアロゾルを発生させ
る。エアロゾルは、導出部から導出される。導入部は、
たとえば管状となっており、セラミック超微粒子粉体内
部に挿入埋没され、粉体内部からガスを放出する。容器
に与えられる機械的振動作用は、セラミック超微粒子を
巻き上げるための運動エネルギーの付与に使われるのみ
ならず、導入部がセラミック超微粒子粉体内部に埋没さ
れる場合は、導入部の開口近傍に周囲の粉体を新たに供
給し、安定的にエアロゾルを発生させる作用を持つ。ま
た、振動装置の振幅、振動速度を自在に設定して舞い上
がる超微粒子の量を調節することができ、好適である。

【００３８】一方、誘電体材質の容器内に充填され接触
帯電しているセラミック超微粒子粉体周囲に、交流電圧
を印加する電界発生装置あるいは摩擦によって静電気を
発生する電界発生装置を用いて電界を形成すると、セラ
ミック超微粒子は、クーロン力を受けて容器壁面から浮
上し、これが導入部より導入されたガス流に取り込まれ
てエアロゾルとなり、導出部より導出される。電界発生
装置の出力を調整して与える電界の強度を調節すること
により、エアロゾル中に含まれるセラミック超微粒子の
量を制御でき好適である。またセラミック超微粒子の帯
電電荷を、一方の電荷に強制的に揃えておくことも有効
な手段である。これには、あらかじめ帯電処理を行なっ
ておくことも考えられるし、帯電処理と並行して電界付
与を行なうことも考えられる。例えばセラミック超微粒
子粉体にコロナ放電あるいはγ線などの放射線を照射し
て電子を付加あるいは剥奪し、一次粒子を帯電させつつ
直流電圧を印加すれば、セラミック超微粒子を次々と浮
上させてエアロゾルとすることができるとともに、静電
気力によって凝集していた二次粒子の解砕をも期待でき
る。

【００３９】本発明にかかる分級器の一態様では、エア
ロゾル発生器の導出部である。すなわち、エアロゾル発
生器内に分級器が設置される。

【００４０】たとえば容器内の粉体内部に管状の導入部
を埋没させ、容器の上方に管状の導出部を設置した上述
の構成のエアロゾル発生器を用いて、容器内に巻き上げ
られたセラミック超微粒子は、容器内の空間に分散する
とき、その重量により高さ方向で存在割合を異にする。
二次粒子のような比較的重量の大きい粒子は高く舞い上
がることができないのに対し、一次粒子のような比較的
重量の小さい粒子は重力の影響が小さく、またガスによ
る抵抗を受けやすいため、比較的高く巻き上げられる。
そのため、導出部の位置を高さ方向で適切に設定するこ
とにより、セラミック構造物の形成にあずかる一次粒子
のみを選抜することができる。選抜され、量を調節され
た一次粒子を含むエアロゾルは、搬送管を通じてノズル
より噴射されて基板に堆積し、緻密質のセラミック構造
物を形成する。

【００４１】本発明にかかるエアロゾル発生器の別の一
態様では、前記容器に篩を設けると共に、容器に機械的
振動作用を与える振動装置を備える。

【００４２】たとえばこのエアロゾル発生器では、容器
の上方に篩が設置され、ここにセラミック超微粒子粉体
が充填される。振動装置により機械的振動を与えられた
セラミック超微粒子は、設定された篩の開口径以下に篩
分けされたもののみが、重力により落下し、容器の下方
に設置された導入部と導出部の間を流れるガス流中に取
り込まれてエアロゾルとなり導出部から導出される。篩
の開口径および開口面積を調節し、振動装置の振幅、振
動速度を調節することにより、落下するセラミック超微
粒子の最大粒径や量を調節し、安定したエアロゾルを発
生し供給することができるという利便性があり、このよ
うなエアロゾル発生器を備えた複合構造物作製装置は、
エアロゾルをノズルより基板に向けて噴射堆積させる
際、基板を一定速度で前後左右に移動させて一定堆積厚
さのセラミック構造物を得るのに好適である。

【００４３】本発明にかかる解砕器の一態様では、前記
エアロゾルを夫々導入、導出する導入部及び導出部と、
前記エアロゾルを衝突させる衝撃板とを備え、前記セラ
ミック超微粒子の構造物を作成する速度よりも低速でエ
アロゾルを衝撃板に衝突させて、粗大な凝集状態にある
超微粒子を解砕することを特徴とする。

【００４４】上述のように、セラミック超微粒子はほと
んど凝集粒の二次粒子として存在するが、エアロゾル発
生器により発生させた二次粒子を含むエアロゾルを、解
砕器の導入部より加速されたジェット状のエアロゾル流
として導入し、下流に設けた衝撃板に衝突させる。この
ときのエアロゾル流中のセラミック超微粒子の速度は、
毎秒２００ｍ以下が適当である。衝突した二次粒子は、
その衝撃により解砕されて微細な粒子（一次粒子）とな
り、反射してガス流中に再び取り込まれ、結果として一
次粒子を多く含むエアロゾルへと変換される。この一次
粒子を多く含むエアロゾルは、緻密質のセラミック構造
物を形成するのに好適である。

【００４５】なお、導入されるエアロゾル流の進行方向
に対して、衝撃板の角度を３０から６０度とすると粒子
の反射方向を揃えやすく、好適である。特に、反射方向
を重力ベクトルの逆方向に設定した場合などは、衝突す
るセラミック超微粒子の速度と、解砕器内の圧力を適当
に設定することにより、セラミック超微粒子の反射後の
空間中への舞い上がりを制御することができ、例えば衝
撃板より高い位置に導出部を設ければ、この舞い上がり
高さを利用して解砕器に分級作用を付与することが容易
である。

【００４６】複合構造物作製装置は、前段側のガスボン
ベあるいはエアコンプレッサー、後段側の真空ポンプに
より、装置内の圧力を真空から大気圧以上の範囲までで
自在に制御できるが、例えば解砕器内の圧力を１００Ｐ
ａから大気圧までで制御すれば、セラミック超微粒子の
反射方向を精度良くそろえることが可能で、微粒子の利
用効率向上や解砕器のコンパクト化が期待でき、大気圧
以上で制御すれば、セラミック超微粒子はガスの抵抗を
受けやすく、分級効果の向上が期待できる。

【００４７】本発明にかかる解砕器の別の一態様では、
解砕器が複数の導入部を備え、この導入部から噴射され
る複数のエアロゾル流を互いに衝突させて解砕すること
を特徴とする。

【００４８】エアロゾル発生器により発生させた二次粒
子を含むエアロゾルを、解砕器の複数の導入部より加速
されたジェット状のエアロゾル流として導入し、この複
数のエアロゾル流同士を互いに衝突させて、含まれる二
次粒子に衝撃を与えて解砕する。これにより一次粒子を
多く含むエアロゾルへと変換される。この一次粒子を多
く含むエアロゾルは、緻密質のセラミック構造物を形成
するのに好適である。

【００４９】本発明にかかる解砕器の別の一態様では、
前記エアロゾルに超音波及び／又はマイクロ波を照射す
るものであることを特徴とする。

【００５０】たとえば、エアロゾル発生器からノズルへ
と通ずる管状の搬送管の途中に超音波照射部を設置し、
二次粒子を多く含むエアロゾルに超音波を照射する。超
音波は、圧電振動子により電気的に発生させ、共振体で
ある超音波ホーンを用いて増幅するなどして、超音波照
射部へ伝達してエアロゾルへ照射させる。エアロゾル中
の二次粒子は、超音波の機械的微振動により解砕され
て、一次粒子へと変換される。この一次粒子を多く含む
エアロゾルは、緻密質のセラミック構造物を形成するの
に好適である。

【００５１】一方、セラミック超微粒子が凝集し、粗大
な二次粒子を形成する一つの要因として、水分による粒
子同士の付着があげられる。そのため、搬送管の途中に
マイクロ波発生器を設置し、エアロゾルに水の高周波誘
電加熱で用いられる振動数２４５０ＭＨｚかその近傍の
マイクロ波を照射することにより、二次粒子中の水分を
加熱して瞬時に蒸発させ、凝集の要因を排除することが
でき、一次粒子へと解砕が可能となる。この一次粒子を
多く含むエアロゾルは、緻密質のセラミック構造物を形
成するのに好適である。

【００５２】上述した各種解砕器は、これらを組み合わ
せることによりさらに効果を増大させることができる。

【００５３】

【発明の実施の態様】本発明の実施例を図面に基づいて
説明する。

【００５４】（実施例１）図１は、本発明の実施例１と
しての複合構造物作製装置の装置図であり、ヘリウムを
内蔵するガスボンベ１１は、搬送管１２を介してエアロ
ゾル発生器１３に連結され、さらに搬送管を通じて構造
物形成室１４内に５ｍｍ×０．５ｍｍの長方形の開口を
持つノズル１５が設置される。コンピュータにより上下
（Ｚ）、前後左右（ＸＹ）に制動できる基板ホルダ１７
に金属アルミニウム（Ａｌ）の平板状の基板１６がノズ
ルに対向して１０ｍｍの間隔をあけて配置される。構造
物形成室１４は排気ポンプ１８に接続している。

【００５５】図２は実施例１で使用されるエアロゾル発
生器１３の断面模式図である。エアロゾル発生器１３
は、容器１３１内にあらかじめ真空乾燥により十分に吸
着水分を除去した、平均一次粒子径が０．５μｍの酸化
アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）のセラミック超微粒子粉体１
３２を内蔵し、図２では図示しない搬送管１２に接続さ
れた導入部１３３がセラミック超微粒子粉体１３２に埋
没するように設置される。容器１３１の上方には上下に
スライドできる導出部１３４が配置され、図２では図示
しない搬送管１２に接続される。容器１３１には、機械
的振動作用を与える振動器１３５が接続される。なお、
図中の矢印は、ガスおよびエアロゾル１３６の流れる向
きを示す。

【００５６】以上の構成からなる複合構造物作製装置の
作用を次に述べる。ガスボンベ１１を開き、ヘリウムガ
スを流量２．５リットル／分で搬送管１２を通じてエア
ロゾル発生器１３の導入部１３３から導入し、セラミッ
ク超微粒子粉体１３２を容器１３１内に巻き上げ、エア
ロゾル１３６を発生させる。このとき振動器１３５の機
械的振動作用によりセラミック超微粒子粉体１３２は、
次々と導入部１３３の開口近傍に供給されるため、安定
的にエアロゾル１３６が発生可能である。エアロゾル１
３６中のセラミック超微粒子のうち、凝集して二次粒子
を形成しているものは、その重量が比較的大きいため高
く舞い上がることができない。これに対して、重量の小
さい一次粒子あるいはそれに準じた比較的小さい粒子
は、容器内の上方まで舞い上がることができる。そのた
め導出部１３４は高さ方向の位置をスライドさせて適当
に設定すれば分級器として働き、所望の粒径のセラミッ
ク超微粒子を選抜して導出させることができる。導出し
たエアロゾル１３６は、搬送管１２を通じてノズル１５
より基板１６に向けて高速で噴射される。エアロゾル１
３６の噴射速度は、ノズル１５の形状、搬送管１２の長
さ、内径、ガスボンベ１１のガス圧、排気ポンプ１８の
排気量などにより制御される。これらの制御によりたと
えばエアロゾル発生器１３の内圧を数万Ｐａ、構造物形
成室１４の内圧を数百Ｐａにしてこれらの間に差圧をつ
けることにより、噴射速度は亜音速から超音速の領域ま
で加速できる。十分に加速されて運動エネルギーを得た
エアロゾル１３６中のセラミック超微粒子は、基板１６
に衝突し、その衝撃のエネルギーで細かく破砕され、こ
れら微細断片粒子が基板に接着したり、また互いが接着
接合して緻密質のセラミック構造物を形成する。基板１
６は１０分間の構造物形成操作中に基板ホルダ１７によ
り前後５ｍｍの往復運動をさせる。この制御により酸化
アルミニウムのセラミック構造物の堆積厚さは約５０μ
ｍが達成される。さらに構造物形成時間を延長させれ
ば、それに比例して堆積厚さを増加させることができ
る。このセラミック構造物は、すでに焼成体と同程度の
硬度を保有しているため、その後の加熱操作などによる
焼き締めは必要ない。

【００５７】（実施例２）図３は、本発明の実施例２と
しての複合構造物作製装置２０の装置図であり、圧縮空
気を発生させるエアコンプレッサー２１が、搬送管２２
を介してエアロゾル発生器２３へと接続され、さらに下
流側に解砕器２４が設置され、１０ｍｍ×０．５ｍｍの
長方形の開口を持つノズル２５へ接続されている。大気
圧開放雰囲気下において、上下（Ｚ）、前後左右（Ｘ
Ｙ）に移動できる基板ホルダ２６に金属アルミニウム
（Ａｌ）の基板２７がノズルに対向して、その先端から
２ｍｍの間隔をあけて配置される。

【００５８】図４は、実施例２で使用されるエアロゾル
発生器２３の断面模式図で、容器２３１に、図４では図
示しない搬送管２２に接続された導入部２３２と、同じ
く図示しない搬送管２２に接続された導出部２３３が水
平に配置される。導入部２３２および導出部２３３の上
部にはあらかじめ真空乾燥により吸着水分を十分に除去
した、平均一次粒子径が０．５μｍの酸化アルミニウム
（Ａｌ₂Ｏ₃）のセラミック超微粒子粉体２３４を収容し
た開口径１００μｍの篩２３５が配置される。また容器
２３１は機械的振動作用を与える振動器２３６に接続さ
れている。

【００５９】図５は、実施例２で使用される解砕器２４
の断面模式図で、容器２４１の下方に図５では図示しな
い搬送管２２に連結する円管状の導入部２４２が設置さ
れ、その下流側にエアロゾルの導入方向に対して４５度
の角度で衝撃板２４３が配置される。衝撃板２４３の上
方には図５では図示しない搬送管２２に連結する、上下
にスライド可能な導出部２４４が設置される。なお、図
中の矢印は、エアロゾル２４５の流れる向きを示す。

【００６０】以上の構成からなる複合構造物作製装置２
０の作用を次に述べる。エアコンプレッサー２１を作動
させ、圧縮された空気を流量１５リットル／分で搬送管
２２を通じてエアロゾル発生器２３の導入部２３２から
導入する。下流側に平行に配置された導出部２３３との
間にはガス流が形成されている。振動器２３６により容
器２３を振動させ、セラミック超微粒子粉体２３４の収
容された篩２３５から、粒径１００μｍ以下に篩い分け
されたセラミック超微粒子を落下させる。セラミック超
微粒子はガス粒中に取り込まれ、二次粒子を多く含むエ
アロゾル２３７となり搬送管２２を通じて解砕器２４に
導入される。解砕器２４の導入部２４２は、開口が絞ら
れており、エアロゾル２３７はジェット状で衝撃板２４
３に衝突し、含有される二次粒子が一次粒子あるいはそ
れに準じる粒径まで解砕され、エアロゾル２４５として
反射して容器２４１の上方へ巻き上げられる。導出部２
４４はスライドさせて高さ方向の位置を適当に設定すれ
ば分級器として働き、所望の粒径のセラミック超微粒子
を選抜して導出させることができる。

【００６１】解砕器２４から導出された一次粒子を多く
含むエアロゾル２４５は、ノズル２５から基板２７に向
けて高速で噴射される。エアロゾルの噴射速度は、エア
コンプレッサー２１からのガス流量により亜音速から超
音速の領域で制御される。十分に加速されて運動エネル
ギーを得たエアロゾル中のセラミック超微粒子は、基板
１６に衝突し、その衝撃のエネルギーで細かく破砕さ
れ、これら微細断片粒子が基板に接着したり、また互い
が接着接合して緻密質の酸化アルミニウムセラミック構
造物を形成する。上述の操作で、形成されるセラミック
構造物の堆積厚さは１分あたり約０．５μｍであり、時
間に伴い堆積厚さは増加する。また、基板ホルダ２６を
適宜作動させて基板２７を移動させれば、所望の形状の
セラミック構造物が作製できる。

【００６２】（実施例３）図６は、本発明の実施例３と
しての複合構造物作製装置３０の装置図であり、ノズル
３１は可撓な材質でできた搬送管３２を通じて図示しな
いエアロゾル発生器に連結されている。また、ノズル３
１はコンピュータ３３により制動される屈曲自在な可動
アーム３４の先端にて保持され、基板である複雑形状物
３５に対向している。

【００６３】以上の構成からなる複合構造物作製装置３
０の作用を次に述べる。図示しないエアロゾル発生器か
らセラミック超微粒子が搬送管３２を通じて搬送され、
ノズル３１より高速で複雑形状物３５の表面に噴射され
堆積する。可動アーム３４は複雑形状物３５のセラミッ
ク構造物被覆対象表面から一定の距離を隔てて、その表
面をなぞるように移動するようコンピュータ３３により
制動される。従って、複雑形状物３５表面にセラミック
構造物が一定堆積厚みで被覆される。

【００６４】（実施例４）図７は、本発明の複合構造物
作製装置に使用される実施例４としてのエアロゾル発生
器４０の断面模式図であり、テフロン（登録商標）材質
の容器４１に図示しない搬送管に連結する導入部４２と
導出部４３が設置され、周囲に電界発生装置である円管
状の電極４４が複数離間して配置される。電極は、導線
４５により交流電源４６と連結されている。容器４１内
には、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）のセラミック超微
粒子粉体４７が収容されている。なお、図中の矢印は、
ガスおよびエアロゾルの流れる方向を示す。

【００６５】以上の構成からなるエアロゾル発生器４０
の作用を次に述べる。電気抵抗の高い酸化アルミニウム
などの場合、自然状態において粒子相互の接触帯電など
により超微粒子が両極性に帯電していることが多い。交
流電源４６をオンにして、電極４４間に交流電圧を印加
して粉体周囲に強力な電界を発生させると、セラミック
超微粒子粉体４７が、その帯電電荷に応じてクーロン力
を受けて容器４１内に浮遊する。この状態で、図示しな
い搬送管を通じて導入部４２からガスを導入することに
よってエアロゾル４８となり導出部４３より導出させ
る。容器４１内に発生する電界の強度を適当に設定する
ことにより、セラミック超微粒子の浮遊量を制御でき、
従って所望のエアロゾル４８の濃度に設定することが容
易である。

【００６６】（実施例５）図８は、本発明の複合構造物
作製装置に使用される実施例５としての解砕器５０の断
面模式図であり、容器５１の下部には図示しない搬送管
に連結する導入部５２と、導入部５３がお互いのエアロ
ゾル導入方向の延長線が接するように設置され、上部に
は図示しない搬送管に連結し、上下にスライド可能な導
出部５４が設置される。なお、図中の矢印はエアロゾル
の流れる方向を示す。

【００６７】以上の構成からなる解砕器５０の作用を次
に述べる。搬送管より搬送されたエアロゾル５５は、導
入部５２および導入部５３より一度分割されて容器５１
内にジェット状となって導入され、衝突する。このとき
エアロゾル５５中のセラミック超微粒子の二次粒子同士
が衝突により解砕され、一次粒子あるいはそれに準じる
粒径の粒子に変換される。その後エアロゾル５５は容器
５１内に巻き上げられる。導出部５４はスライドさせて
高さ方向の位置を適当に設定すれば分級器として働き、
所望の粒径のセラミック超微粒子を選抜して導出させる
ことができる。

【００６８】（実施例６）図９は、本発明の複合構造物
作製装置に使用される実施例６としての解砕器６０の断
面模式図であり、円管状の超音波照射部６１が搬送管６
２の途中に配置され、超音波ホーン６３を介して圧電振
動子６４に接続されている。圧電振動子６４は、導線６
５により超音波発振器６６に接続されている。超音波発
振器６６は図示しない電源と接続されている。なお、図
中の矢印はエアロゾルの流れる方向を示す。

【００６９】以上の構成からなる解砕器６０の作用を次
に述べる。超音波発振器６６により圧電振動子６４が振
動し、高周波数超音波を発生する。高周波数超音波は、
超音波ホーン６３により増幅されて超音波照射部６１へ
と伝播され、円管の中心に向かって高周波数超音波が収
束して大きな音圧で照射される。一方、搬送管６２より
エアロゾル６７が超音波照射部６１へと導入され、含有
される二次粒子は、高周波数超音波の微細振動を与えら
れて、一次粒子あるいはそれに準じる粒径の粒子に解砕
される。空気中の超音波は、ガス圧力が高いほうがより
音圧レベルを減衰させずに伝播しやすいため、エアロゾ
ル６７のガス圧力を大気圧以上に設定して、解砕効率を
上げることが望ましい。

【００７０】（実施例７）図１０は、本発明の複合構造
物作製装置に使用される実施例７としての解砕器７０の
断面模式図であり、円管状のマイクロ波照射部７１が搬
送管７２の途中に配置され、これを囲んでマイクロ波発
振器７３が配置され、導線７４を介して電源７５に接続
されている。

【００７１】以上の構成からなる解砕器７０の作用を次
に述べる。電源７５によりマイクロ波発振器７３が振動
数２４５０ＭＨｚのマイクロ波を発振する。一方、搬送
管７２よりエアロゾル７６がマイクロ波照射部６１へと
導入されて、マイクロ波が照射される。含有される二次
粒子に含まれ、凝集の要因となっている極性分子である
水分は、マイクロ波照射の誘電損失により発熱し瞬時に
蒸発する。そのため、一次粒子同士が離脱して解砕され
る。

【００７２】

【発明の効果】上述のように、本発明による複合構造物
作製方法を用いれば、焼成することなく高密度の緻密質
のセラミック構造物を形成することができる。また、本
発明による複合構造物作製装置を用いて、セラミック超
微粒子のエアロゾルを安定的に発生させ、エアロゾル中
の二次粒子を解砕させてのち堆積させることによって、
緻密質のセラミック構造物を形成するに好適となり、基
板あるいはノズルを一定速度で移動させても、一定堆積
厚みを保持させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１にかかる複合構造物作製装置の装置図
である。

【図２】実施例１にかかるエアロゾル発生器の断面模式
図である。

【図３】実施例２にかかる複合構造物作製装置の装置図
である。

【図４】実施例２にかかるエアロゾル発生器の断面模式
図である。

【図５】実施例２にかかる解砕器の断面模式図である。

【図６】実施例３にかかる複合構造物作製装置の装置図
である。

【図７】実施例４にかかるエアロゾル発生器の断面模式
図である。

【図８】実施例５にかかる解砕器の断面模式図である。

【図９】実施例６にかかる解砕器の断面模式図である。

【図１０】実施例７にかかる解砕器の断面模式図であ
る。

【符号の説明】

１１ ガスボンベ １２ 搬送管 １３ エアロゾル発生器 １４ 容器 １５ ノズル １６ 基板 １７ 基板ホルダ １８ 排気ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 明渡 純 茨城県つくば市並木１丁目２番 通商産業 省工業技術院機械技術研究所内 (72)発明者 横山 達郎 福岡県北九州市小倉北区中島２丁目１番１ 号 東陶機器株式会社内 (72)発明者 清原 正勝 福岡県北九州市小倉北区中島２丁目１番１ 号 東陶機器株式会社内 (72)発明者 鳩野 広典 福岡県北九州市小倉北区中島２丁目１番１ 号 東陶機器株式会社内 (72)発明者 麻生 雄二 福岡県北九州市小倉北区中島２丁目１番１ 号 東陶機器株式会社内

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミック超微粒子を高速で基板に衝突
   させて複合構造物を作製する方法において、 前記セラミック超微粒子を衝突により破砕して微細断片
   粒子を生成し、 次いで前記微細断片粒子を前記基板へ接合あるいは微細
   断片粒子同士を接合させることにより、高密度の緻密質
   セラミック構造物を形成することを特徴とする複合構造
   物の作製方法。
2. 【請求項２】 セラミック超微粒子を高速で基板に衝突
   させて複合構造物を作製する方法において、 前記セラミック超微粒子を衝突させてその衝撃により変
   形を起こさしめて、あるいは一部に新生面を形成させ
   て、 次いで前記セラミック超微粒子を前記基板へ接合あるい
   は前記セラミック超微粒子同士を接合させることによ
   り、高密度の緻密質セラミック構造物を形成することを
   特徴とする複合構造物の作製方法。
3. 【請求項３】 セラミック超微粒子を高速で基板に衝突
   させて複合構造物を作製する方法において、 前記セラミック超微粒子を衝突により破砕して微細断片
   粒子を生成し、 次いで前記微細断片粒子を前記基板へ接合あるいは微細
   断片粒子同士を接合させることにより、焼成させること
   なく高密度の緻密質セラミック構造物を形成することを
   特徴とする複合構造物の作製方法。
4. 【請求項４】 セラミック超微粒子を高速で基板に衝突
   させて複合構造物を作製する方法において、 前記セラミック超微粒子を衝突させてその衝撃により変
   形を起こさしめて、あるいは一部に新生面を形成させ
   て、 次いで前記セラミック超微粒子を前記基板へ接合あるい
   は前記セラミック超微粒子同士を接合させることによ
   り、焼成させることなく高密度の緻密質セラミック構造
   物を形成することを特徴とする複合構造物の作製方法。
5. 【請求項５】 前記セラミック超微粒子を高速で基板に
   衝突させるには、前記セラミック超微粒子をガス中に分
   散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させる方法を用
   いることを特徴とする請求項１〜４に記載の複合構造物
   の作製方法。
6. 【請求項６】 前記セラミック超微粒子の平均粒径が
   ０．１から５μｍであり、前記基板に衝突する際の前記
   エアロゾル中の前記セラミック微粒子の速度が５０から
   ４５０ｍ／ｓであることを特徴とする請求項５に記載の
   複合構造物の作製方法。
7. 【請求項７】 前記セラミック超微粒子の平均粒径が
   ０．１から５μｍであり、前記基板に衝突する際の前記
   エアロゾル中の前記セラミック微粒子の速度が１５０か
   ら４００ｍ／ｓであることを特徴とする請求項５に記載
   の複合構造物の作製方法。
8. 【請求項８】 前記セラミック超微粒子は、粗大な凝集
   状態にある前記セラミック粒子を、セラミック構造物の
   作製に好適な粒径に解砕してすることを特徴とする請求
   項１〜７に記載の複合構造物の作製方法。
9. 【請求項９】 前記セラミック構造物の堆積高さが５０
   μｍ以上であることを特徴とする請求項１〜８に記載の
   複合構造物の作製方法。
10. 【請求項１０】 前記セラミックの構造物の堆積高さが
    ５００μｍ以上であることを特徴とする請求項９に記載
    の複合構造物の作製方法。
11. 【請求項１１】 セラミック超微粒子をガス中に分散さ
    せて発生させたエアロゾルを基板に高速で噴射・衝突さ
    せて基板表面にセラミック構造物を作成する複合構造物
    作製装置において、前記エアロゾルを発生させるエアロ
    ゾル発生器と、エアロゾルを噴射するノズルと、エアロ
    ゾル中のセラミック超微粒子を分級する分級器とを備え
    たことを特徴とする複合構造物作製装置。
12. 【請求項１２】 セラミック超微粒子をガス中に分散さ
    せて発生させたエアロゾルを基板に高速で噴射・衝突さ
    せて基板表面にセラミック構造物を作成する複合構造物
    作製装置において、前記エアロゾルを発生させるエアロ
    ゾル発生器と、エアロゾルを噴射するノズルと、エアロ
    ゾル中のセラミック超微粒子の凝集を解砕する解砕器と
    を備えたことを特徴とする複合構造物作製装置。
13. 【請求項１３】 セラミック超微粒子をガス中に分散さ
    せて発生させたエアロゾルを基板に高速で噴射・衝突さ
    せて基板表面にセラミック構造物を作成する複合構造物
    作製装置において、前記エアロゾルを発生させるエアロ
    ゾル発生器と、エアロゾルを噴射するノズルと、エアロ
    ゾル中のセラミック超微粒子の凝集を解砕する解砕器
    と、エアロゾル中のセラミック超微粒子を分級する分級
    器とを備えたことを特徴とする複合構造物作製装置。
14. 【請求項１４】 前記基板と前記ノズルとの相対位置を
    制御する位置制御手段を備えた請求項１１乃至１３に記
    載の複合構造物作製装置。
15. 【請求項１５】 前記位置制御手段が、前記ノズルを先
    端に備えた屈曲自在な可動アームであることを特徴とす
    る請求項１４に記載の複合構造物作製装置。
16. 【請求項１６】 前記エアロゾル発生器が、前記セラミ
    ック超微粒子を収容する容器及び、この容器に機械的振
    動作用を与える振動装置、電界を付与する電界発生装置
    の少なくとも何れかを備え、前記容器は前記ガスを導入
    する導入部と、前記エアロゾルを導出する導出部とを有
    することを特徴とする請求項１１乃至１５記載の複合構
    造物作製装置。
17. 【請求項１７】 前記分級器が前記エアロゾル発生器の
    前記導出部であることを特徴とする請求項１６に記載の
    複合構造物作製装置。
18. 【請求項１８】 前記容器に篩を設けると共に、容器に
    機械的振動作用を与える振動装置を備えた事を特徴とす
    る請求項１６に記載の複合構造物作製装置。
19. 【請求項１９】 前記解砕器が、前記エアロゾルを夫々
    導入、導出する導入部及び導出部と、前記エアロゾルを
    衝突させる衝撃板とを備え、前記セラミック構造物を作
    成する速度よりも低速でエアロゾルを衝撃板に衝突させ
    て、粗大な凝集状態にある超微粒子を解砕することを特
    徴とする請求項１２乃至１８の何れかに記載の複合構造
    物作製装置。
20. 【請求項２０】 前記解砕器が複数の導入部を備え、こ
    の導入部から噴射される複数のエアロゾル流を互いに衝
    突させて解砕することを特徴とする請求項１９に記載の
    複合構造物作製装置。
21. 【請求項２１】 前記解砕器は、前記エアロゾルに超音
    波及び／又はマイクロ波を照射するものであることを特
    徴とする請求項１２乃至２０の何れかに記載の複合構造
    物作製装置。