JP2019529315A - センサを製造する方法、センサ、及びセンサの使用 - Google Patents
センサを製造する方法、センサ、及びセンサの使用 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019529315A JP2019529315A JP2019514809A JP2019514809A JP2019529315A JP 2019529315 A JP2019529315 A JP 2019529315A JP 2019514809 A JP2019514809 A JP 2019514809A JP 2019514809 A JP2019514809 A JP 2019514809A JP 2019529315 A JP2019529315 A JP 2019529315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- weight
- sensor
- aerosol deposition
- purity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
- G01K7/183—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer characterised by the use of the resistive element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B18/00—Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/03—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on magnesium oxide, calcium oxide or oxide mixtures derived from dolomite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/465—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/62222—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products obtaining ceramic coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
- C23C24/04—Impact or kinetic deposition of particles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
- G01K13/02—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
- G01K13/024—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow of moving gases
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
- G01K7/186—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer using microstructures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
- H01B3/02—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
- H01B3/12—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/006—Thin film resistors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3232—Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
- C04B2235/3234—Titanates, not containing zirconia
- C04B2235/3236—Alkaline earth titanates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3246—Stabilised zirconias, e.g. YSZ or cerium stabilised zirconia
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K2205/00—Application of thermometers in motors, e.g. of a vehicle
- G01K2205/04—Application of thermometers in motors, e.g. of a vehicle for measuring exhaust gas temperature
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Description
a)センサ担体を提供するステップ;
b)センサ担体上に少なくとも一つの導電層を直接的又は間接的に付着させるステップ;
c)エアロゾル堆積を用いて、少なくとも一つの更なる層、特に不動態層及び/又は絶縁層を付着させるステップ、
を有することができる。
a)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化アルミニウム(Al2O3)、
及び/又は、
b)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化マグネシウム(MgO)、
及び/又は、
c)母材の全純度が少なくとも98重量%である、組成物Mg2TiO5、MgTiO3、又はMgTi2O5としてのチタン酸マグネシウム、
及び/又は
d)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、安定化剤酸化イットリウム、特に、0重量%から20重量%の酸化イットリウム、及び/又はCaO、特に0重量%から15重量%のCaO、及び/又はMgO、特に0重量%から15重量%のMgOを含む二元系ジルコニア合金(ZrO2)、
及び/又は、
e)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、Nb2O5、特に、0重量%から30重量%のNb2O5、及び/又はTa2O5、特に、0重量%から30重量%のTa2O5の更なる添加剤を含む、d)に準拠した三元系ジルコニア合金(ZrO2)、
から成る粉体が、好ましくは使用される。
a)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化アルミニウム(Al2O3)、
及び/又は、
b)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化マグネシウム(MgO)、
及び/又は、
c)母材の全純度が少なくとも98重量%である、組成物Mg2TiO5、MgTiO3、又はMgTi2O5としてのチタン酸マグネシウム、
及び/又は、
d)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、安定化剤酸化イットリウム、特に、0重量%から20重量%の酸化イットリウム、及び/又はCaO、そして特に0重量%から15重量%のCaO、及び/又はMgO、特に0重量%から15重量%のMgOを含む二元系ジルコニア合金(ZrO2)、
及び/又は、
e)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、Nb2O5、特に、0重量%から30重量%のNb2O、及び/又はTa2O5、特に、0重量%から30重量%のTa2O5の更なる添加剤を含む、d)に指定された三元系合金(ジルコニアZrO2)、
を具備する。
それらの図面は、
2 (ADM)による絶縁層(I)
3 伝導性の層(I)又は構造
4 ADMによるカバー層(I)
5 (ADM)による絶縁層(II)
6 伝導性の層(II)又は構造
7 ADMによるカバー層(II)
8 (ADM)による絶縁層(III)
9 伝導性の層(III)又は構造
10 ADMによるカバー層(III)
11 機能層
Claims (18)
- 少なくとも一つの導電層と、少なくとも一つの更なる層、特に不動態層及び/又は絶縁層、と、を具備するセンサ、特に温度センサ、を製造する方法であって、
前記導電層及び/又は前記更なる層、特に前記不動態層及び/又は前記絶縁層、が、エアロゾル堆積(エアロゾル堆積法、ADM)を用いて製造されることを特徴とする方法。 - a)センサ担体を提供するステップと、
b)前記センサ担体上に前記少なくとも一つの導電層を直接的又は間接的に付着させるステップと、
c)エアロゾル堆積を用いて、前記少なくとも一つの更なる層、特に前記不動態層及び/又は前記絶縁層、を付着させるステップと、
を特徴とする、請求項1に記載の方法。 - 前記エアロゾル堆積で、特にステップc)で、
a)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化アルミニウム(Al2O3)、
及び/又は、
b)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化マグネシウム(MgO)、
及び/又は、
c)母材の全純度が少なくとも98重量%である、組成物Mg2TiO5、MgTiO3、又はMgTi2O5としてのチタン酸マグネシウム、
及び/又は、
d)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、安定化剤酸化イットリウム、特に、0重量%から20重量%の酸化イットリウム、及び/又はCaO、特に0重量%から15重量%のCaO、及び/又はMgO、特に0重量%から15重量%のMgOを含む二元系ジルコニア合金(ZrO2)
及び/又は、
e)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、Nb2O5、特に、0重量%から30重量%のNb2O5、及び/又はTa2O5、特に、0重量%から30重量%のTa2O5の更なる添加剤を含む、d)に指定された三元系合金(ジルコニアZrO2)、
の粉体が使用されることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の方法。 - 前記エアロゾル堆積で、特にステップc)で、母材の純度が少なくとも95%である粉体が使用され、特に酸化アルミニウム(Al2O3)及び/又は酸化マグネシウム(MgO)及び/又は酸化ジルコニウム(ジルコニア(ZrO2)の粉体であって、特に安定化されたものが、少なくとも95%の母材の純度で、又はそれらのあらゆる混合物で使用されることを特徴とする、請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の、特に請求項3に記載の、方法。
- 前記エアロゾル堆積で、特にステップc)で、不活性ガス、特にヘリウム(He)、及び/又はアルゴン(Ar)、及び/又は窒素(N2)、及び/又は酸素(O2)が担体気体として使用される、及び/又は150℃以下の温度処理が使用されることを特徴とする、請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも一つの導電性コーティングを構造化する、及び/又は構造化された形態でセンサ担体上に直接的に又は直接的に付着させることを特徴とする、請求項2から請求項5までのいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも一つの導電層と、少なくとも一つの更なる層、特に不動態層及び/又は絶縁層、と、を具備し、請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の方法を用いて好ましくは製造されるセンサ、特に温度センサ、であって、
少なくとも一つの層、特に前記不動態層及び/又は前記絶縁層、が、エアロゾル堆積(エアロゾル堆積法、ADM)を用いて製造されることを特徴とするセンサ。 - エアロゾル堆積を使用して製造された少なくとも一つの層が、
a)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化アルミニウム(Al2O3)、
及び/又は、
b)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化マグネシウム(MgO)、
及び/又は、
c)母材の全純度が少なくとも98重量%である、組成物Mg2TiO5、MgTiO3、又はMgTi2O5としてのチタン酸マグネシウム、
及び/又は、
d)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、安定化剤酸化イットリウム、特に0重量%から20重量%の酸化イットリウム、及び/又はCaO、特に0重量%から15重量%のCaO、及び/又はMgO、特に0重量%から15重量%のMgO、を含む二元系ジルコニア合金(ZrO2)、
及び/又は、
e)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、Nb2O5、特に、0重量%から30重量%のNb2O5、及び/又はTa2O5、特に、0重量%から30重量%のTa2O5の更なる添加剤を含む、d)に指定された三元系ジルコニア合金(ZrO2)、
を具備することを特徴とする、請求項7に記載のセンサ。 - エアロゾル堆積を使用して製造された少なくとも一つの層が、少なくとも95%の酸化アルミニウム(Al2O3)から成ることを特徴とする、請求項7又は請求項8に記載のセンサ。
- 600℃の温度でエアロゾル堆積を用いて製造された少なくとも一つのAl2O3層の比抵抗が、少なくとも1010オームcmであることを特徴とする、請求項7から請求項9までのいずれか一項に記載のセンサ。
- エアロゾル堆積を用いて製造された少なくとも一つの層が、100nm〜50μmの厚さを有することを特徴とする、請求項7から請求項10までのいずれか一項に記載のセンサ。
- エアロゾル堆積(ADM)を用いて製造された少なくとも一つの層が、少なくとも6Gpaの硬度を有することを特徴とする、請求項7から請求項11までのいずれか一項に記載のセンサ。
- エアロゾル堆積(ADM)を用いて製造された少なくとも一つの層が防湿性であることを特徴とする、請求項7から請求項12までのいずれか一項に記載のセンサ。
- センサ支持体であって、
a)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化アルミニウム(Al2O3)、
及び/又は、
b)母材の純度が少なくとも94重量%である酸化マグネシウム(MgO)、
及び/又は、
c)母材の全純度が少なくとも98重量%である、組成物Mg2TiO5、MgTiO3、又はMgTi2O5としてのチタン酸マグネシウム、
及び/又は、
d)母材の全純度が少なくとも98重量%であり、安定化剤酸化イットリウム、特に0重量%から20重量%の酸化イットリウム、及び/又はCaO、特に0重量%から15重量%のCaO、及び/又はMgO、特に0重量%から15重量%のMgO、を含む二元系ジルコニア合金(ZrO2)、
及び/又は、
e) 母材の全純度が少なくとも98重量%であり、Nb2O5、特に、0重量%から30重量%のNb2O5、及び/又はTa2O5、特に、0重量%から30重量%のTa2O5の更なる添加剤を含む、d)に指定された三元系ジルコニア合金(ZrO2)、
を具備するセンサ支持体、
を特徴とする、請求項7から請求項13までのいずれか一項に記載のセンサ。 - 少なくとも一つの導電性コーティングが、金属、特に白金(Pt)及び/又はロジウム(Rh)及び/又はイリジウム(Ir)及び/又はパラジウム(Pd)及び/又は金(Au)及び/又はタングステン(W)及び/又はタンタル(Ta)及び/又はニッケル(Ni)及び/又は銅(Cu)及び/又は前記の指定された金属の合金、から、好ましくは成ることを特徴とする、請求項7から請求項14までのいずれか一項に記載のセンサ。
- 少なくとも二つの導電層であって、前記少なくとも二つの導電層の間に、少なくとも一つの層がエアロゾル堆積を用いて製造されている、少なくとも二つの導電層、を特徴とする、請求項7から請求項15のいずれか一項に記載のセンサ。
- 少なくとも二つの導電層であって、前記導電層が少なくとも一つの測定ブリッジを介して互いに接続されている、少なくとも二つの導電層、を特徴とする、請求項7から請求項16までのいずれか一項に記載のセンサ。
- 温度及び/又は粒子量及び/又は煤粒子量及び/又は反応熱及び/又は気体含有量及び/又は気体の流れを測定する車両における、請求項7から請求項17までのいずれか一項に記載のセンサの使用。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016119340.2 | 2016-10-11 | ||
DE102016119340.2A DE102016119340A1 (de) | 2016-10-11 | 2016-10-11 | Verfahren zur Herstellung eines Sensors, Sensor und Verwendung eines Sensors |
PCT/EP2017/075982 WO2018069415A1 (de) | 2016-10-11 | 2017-10-11 | Verfahren zur herstellung eines sensors, sensor und verwendung eines sensors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019529315A true JP2019529315A (ja) | 2019-10-17 |
JP6954999B2 JP6954999B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=60191348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019514809A Active JP6954999B2 (ja) | 2016-10-11 | 2017-10-11 | センサを製造する方法、センサ、及びセンサの使用 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200271528A1 (ja) |
EP (1) | EP3526367B1 (ja) |
JP (1) | JP6954999B2 (ja) |
KR (1) | KR102237782B1 (ja) |
CN (1) | CN109790624A (ja) |
DE (1) | DE102016119340A1 (ja) |
TW (1) | TWI734843B (ja) |
WO (1) | WO2018069415A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102007446B1 (ko) * | 2018-05-21 | 2019-10-21 | 해성디에스 주식회사 | 센서 유닛, 이를 포함하는 온도 센서, 센서 유닛의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 온도 센서 |
EP3842566A1 (en) * | 2019-12-27 | 2021-06-30 | Tubacex Innovación A.I.E. | Pipe with resistance temperature detection sensor |
FR3118198B1 (fr) * | 2020-12-21 | 2023-08-18 | Commissariat Energie Atomique | Noyau de mesure pour la mesure d'échauffement nucléaire en réacteur nucléaire et capteur calorimétrique intégrant un tel noyau de mesure |
EP4177377A1 (de) * | 2021-11-03 | 2023-05-10 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Herstellung einer freitragenden metallschicht |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6030709A (en) * | 1996-04-12 | 2000-02-29 | Grundfos A/S | Electronic component |
JP2000081354A (ja) * | 1998-07-16 | 2000-03-21 | Heraeus Electro Nite Internatl Nv | 少なくとも1層または多重層をもつ電気的温度センサおよび温度センサの製造方法 |
JP2001181859A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-07-03 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 複合構造物の作製方法および作製装置 |
US6259350B1 (en) * | 1996-01-18 | 2001-07-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensor and method for manufacturing a sensor |
JP2002235181A (ja) * | 1999-10-12 | 2002-08-23 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 複合構造物及びその製造方法並びに作製装置 |
JP2005223256A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電トランス及びその製造方法 |
JP2013018687A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化物膜の製造方法 |
JP2013142582A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波厚みセンサの製造方法 |
JP2013538462A (ja) * | 2010-09-13 | 2013-10-10 | ピーエスティ・センサーズ・(プロプライエタリー)・リミテッド | 印刷された温度センサ |
JP2014225669A (ja) * | 2011-02-18 | 2014-12-04 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及び基板ホルダの製造方法 |
JP2015115438A (ja) * | 2013-12-11 | 2015-06-22 | 株式会社村田製作所 | Ntcサーミスタ素子 |
JP2015532438A (ja) * | 2012-10-25 | 2015-11-09 | ヘレーウス ゼンゾール テクノロジー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングHeraeus Sensor Technology GmbH | 高安定性の高温チップ |
JP2015219047A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | 山里産業株式会社 | 測温抵抗素子及びそれを備える測温抵抗体、並びに測温抵抗素子の製造方法 |
JP2016130350A (ja) * | 2015-01-14 | 2016-07-21 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コーティング膜を備える構造体およびその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3348154B2 (ja) * | 1999-10-12 | 2002-11-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 複合構造物及びその作製方法並びに作製装置 |
JP2002296226A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型センサ素子及びその製造方法 |
WO2007004691A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Nec Corporation | 電界/磁界センサおよびそれらの製造方法 |
JP2010225709A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法 |
DE102011081279A1 (de) * | 2011-08-19 | 2013-02-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur elektrischen Passivierung elektromechanischer Bauelemente |
BR112016028536B1 (pt) * | 2014-06-04 | 2021-11-30 | Pepex Biomedical, Inc | Sensor compreendendo um membro de perfuração de pele e uma zona de análise de amostra de sangue |
US10593928B2 (en) * | 2014-08-20 | 2020-03-17 | Washington University | Single-step synthesis of nanostructured thin films by a chemical vapor and aerosol deposition process |
-
2016
- 2016-10-11 DE DE102016119340.2A patent/DE102016119340A1/de active Pending
-
2017
- 2017-10-06 TW TW106134519A patent/TWI734843B/zh active
- 2017-10-11 CN CN201780058586.9A patent/CN109790624A/zh active Pending
- 2017-10-11 US US16/339,912 patent/US20200271528A1/en not_active Abandoned
- 2017-10-11 JP JP2019514809A patent/JP6954999B2/ja active Active
- 2017-10-11 KR KR1020197012540A patent/KR102237782B1/ko active IP Right Grant
- 2017-10-11 WO PCT/EP2017/075982 patent/WO2018069415A1/de unknown
- 2017-10-11 EP EP17791608.7A patent/EP3526367B1/de active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6259350B1 (en) * | 1996-01-18 | 2001-07-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensor and method for manufacturing a sensor |
US6030709A (en) * | 1996-04-12 | 2000-02-29 | Grundfos A/S | Electronic component |
JP2000081354A (ja) * | 1998-07-16 | 2000-03-21 | Heraeus Electro Nite Internatl Nv | 少なくとも1層または多重層をもつ電気的温度センサおよび温度センサの製造方法 |
JP2001181859A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-07-03 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 複合構造物の作製方法および作製装置 |
JP2002235181A (ja) * | 1999-10-12 | 2002-08-23 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 複合構造物及びその製造方法並びに作製装置 |
JP2005223256A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電トランス及びその製造方法 |
JP2013538462A (ja) * | 2010-09-13 | 2013-10-10 | ピーエスティ・センサーズ・(プロプライエタリー)・リミテッド | 印刷された温度センサ |
JP2014225669A (ja) * | 2011-02-18 | 2014-12-04 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及び基板ホルダの製造方法 |
JP2013018687A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化物膜の製造方法 |
JP2013142582A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波厚みセンサの製造方法 |
JP2015532438A (ja) * | 2012-10-25 | 2015-11-09 | ヘレーウス ゼンゾール テクノロジー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングHeraeus Sensor Technology GmbH | 高安定性の高温チップ |
JP2015115438A (ja) * | 2013-12-11 | 2015-06-22 | 株式会社村田製作所 | Ntcサーミスタ素子 |
JP2015219047A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | 山里産業株式会社 | 測温抵抗素子及びそれを備える測温抵抗体、並びに測温抵抗素子の製造方法 |
JP2016130350A (ja) * | 2015-01-14 | 2016-07-21 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コーティング膜を備える構造体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102237782B1 (ko) | 2021-04-08 |
WO2018069415A1 (de) | 2018-04-19 |
KR20190059314A (ko) | 2019-05-30 |
CN109790624A (zh) | 2019-05-21 |
DE102016119340A1 (de) | 2018-04-12 |
TWI734843B (zh) | 2021-08-01 |
EP3526367A1 (de) | 2019-08-21 |
US20200271528A1 (en) | 2020-08-27 |
EP3526367B1 (de) | 2023-12-06 |
JP6954999B2 (ja) | 2021-10-27 |
TW201825711A (zh) | 2018-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6954999B2 (ja) | センサを製造する方法、センサ、及びセンサの使用 | |
JP5976186B2 (ja) | 1200℃膜抵抗体 | |
JP2020029614A5 (ja) | ||
JP2009511742A (ja) | スパッタリングによって被膜を堆積する方法 | |
JPH09145489A (ja) | 抵抗温度計 | |
US20040202227A1 (en) | Temperature sensor and method of making the same | |
JP3493343B2 (ja) | プラチナ温度センサおよびその製造方法 | |
TWI732151B (zh) | 發熱構件 | |
KR20110126649A (ko) | 비전도성 이산화지르코늄을 포함하는 저항 온도계 | |
Wang et al. | High temperature sensors fabricated on Al2O3 ceramic and nickel-based superalloy substrates | |
JPH07326655A (ja) | 静電チャック | |
JP2001521990A (ja) | MoSi2含有層を製造するためのガスジェットPVD法 | |
Savu et al. | Grain size effect on the electrical response of SnO2 thin and thick film gas sensors | |
JP2003065989A (ja) | 金属酸化物半導体ガスセンサ | |
Jiao et al. | Stability of RuO2 thin film resistors | |
WO2009157123A1 (ja) | センサ装置及びその製造方法 | |
JP2019052973A5 (ja) | ||
US20230360825A1 (en) | Temperature sensor and method for producing a temperature sensor of this kind | |
JP6805852B2 (ja) | ガスセンサ素子およびガスセンサ素子の製造方法 | |
RU2547291C1 (ru) | Способ изготовления тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы высокотемпературного датчика механических величин | |
RU2199606C1 (ru) | Способ получения бериллиевой фольги | |
RU2544864C1 (ru) | Способ изготовления тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы датчика механических величин | |
JPS63292049A (ja) | 排ガスセンサ− | |
Lamarre et al. | On the dielectric behavior of annealed plasma sprayed forsterite and alumina coatings | |
Djugum et al. | A fabrication process for CrN/TiAlN multi-layered strain gauges on mild steel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210831 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6954999 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |