JP2009087898A - エアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法 - Google Patents
エアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】アルミニウムドープ酸化亜鉛微粒子にキャリアガスを混合してエアロゾルを形成する工程(I)、及び前記エアロゾルをノズルから噴射して基板に衝突させ基板上に前記微粒子からなる透明導電膜を形成する工程(II)を含む。
【選択図】図1
Description
本発明のAZO透明導電膜の製造方法における工程(II)は、工程(I)において形成されたエアロゾルをノズルから噴射し、基板上にエアロゾルを衝突させて透明導電膜を形成する方法であり、例えば、ノズルと、基板の載置手段を備えた成膜装置を用いることができる。
平均粒子径0.6μmの酸化亜鉛微粒子と平均粒子径0.1μmの酸化アルミニウム微粒子を表1に示す質量にて水4500gに分散させた。減圧留去により水を除去した後、大気中で870℃2時間焼成し、得られた焼成物をボールミルで粉砕し、AZO微粒子(1〜6)を得た。
得られたAZO微粒子を用いて、図1に示す透明導電膜製造装置を用いて透明導電膜を調製した。エアロゾル発生器にAZO微粒子を装填し、エアロゾル発生器を振動装置により振動させながら、エアロゾル発生器にキャリアガスとして窒素ガスを10L/minで導入し、エアロゾルを発生させた。このエアロゾルを、10,000Pa、20℃に調整した成膜装置内へ、口径が0.8mmのラバルノズルから600m/secの速度で噴射させ、ノズルから15mmに配置した26mm×76mmのサファイア基板上に垂直に衝突させて透明導電膜を形成させた。透明導電膜を電気炉を用いて1200℃で2時間加熱し、AZO透明導電膜を得た。
得られたAZO透明導電膜の導電性を2400ソースメーター(ケースレイ社製)を用い、JIS K 7194に準じて四端針法により測定した。結果を表2に示す。
得られたAZO透明導電膜の透過率を、550nm波長光を使用し島津自記分光光度計UV−3100PC(島津製作所製)により測定した。結果を表2に示す。
3 エアロゾル発生器
5 ノズル
6 成膜装置
7 基板
9 真空ポンプ
P 透明導電材料微粒子
Claims (3)
- アルミニウムドープ酸化亜鉛微粒子にキャリアガスを混合してエアロゾルを形成する工程(I)、及び前記エアロゾルをノズルから噴射して基板に衝突させ基板上に前記微粒子からなる透明導電膜を形成する工程(II)を含むことを特徴とするエアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法。
- アルミニウムドープ酸化亜鉛微粒子が、体積基準による50%平均粒子径として0.5〜3.0μmを有することを特徴とする請求項1記載のエアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法。
- アルミニウムドープ酸化亜鉛微粒子が、アルミニウム原子を亜鉛原子に対し、原子比率で0.001〜0.04の範囲で含有することを特徴とする請求項1又は2記載のエアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法。
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