JP2005183346A - 電気光学素子及び透明導電膜の形成方法 - Google Patents
電気光学素子及び透明導電膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005183346A JP2005183346A JP2003426572A JP2003426572A JP2005183346A JP 2005183346 A JP2005183346 A JP 2005183346A JP 2003426572 A JP2003426572 A JP 2003426572A JP 2003426572 A JP2003426572 A JP 2003426572A JP 2005183346 A JP2005183346 A JP 2005183346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent conductive
- conductive film
- film
- electro
- optical element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
【解決手段】 導電材料の微粒子を基材に衝突させる製膜工程及び形成された膜を加熱する工程により透明導電膜を形成する。
【選択図】 図1
Description
1.
基材上に、膜厚が1μm〜20μmであり、比抵抗が3.0×10-4Ω・cm以下である透明導電膜が設けられ、波長550nmの光の透過率が70%以上であることを特徴とする電気光学素子。
2.
前記透明導電膜の比抵抗が1.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする前記1に記載の電気光学素子。
3.
前記透明導電膜がIn2O3:Sn又はIn2O3:Znを主成分とすることを特徴とする前記1または2に記載の電気光学素子。
4.
基材上に透明導電膜を形成する方法であって、導電材料の微粒子を基材に衝突させて成膜する工程及び形成された膜を加熱する工程を有することを特徴とする透明導電膜の形成方法。
5.
前記加熱する工程において、前記形成された膜を100℃〜400℃に加熱することを特徴とする前記4に記載の透明導電膜の形成方法。
6.
前記4または5のいずれかに記載の形成方法によって形成された前記透明導電膜を有することを特徴とする電気光学素子。
7.
前記透明導電膜の膜厚が1μm〜20μmであり、比抵抗が3.0×10-4Ω・cm以下であり、波長550nmの光の透過率が70%以上であることを特徴とする前記6に記載の電気光学素子。
8.
前記透明導電膜の比抵抗が1.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする前記7に記載の電気光学素子。
9.
前記導電材料がIn2O3:Sn又はIn2O3:Znを主成分とすることを特徴とする前記6〜8のいずれか1項に記載の電気光学素子。
(1)比較例
図1に示す膜形成装置を用い、導電材料として平均粒子径500nmのIn2O3:Sn(以下、ITOという)の微粒子をエアロゾル化室5に満たした。エアロゾル化室5はキャリアガスとしての窒素ガス源と接続されている。エアロゾル化室5を振動させ、窒素ガス中にITOの微粒子が分散、浮遊するエアロゾルが生成される。真空チャンバー1中に透明導電膜形成用基材Cとしてポリカーボネートフィルムを準備し、ノズル4を所定の位置に置く。ノズル4はエアロゾル化室5と接続されている。真空チャンバー1は真空ポンプ7により133Paに調整され、圧力差により高速のガス流となり、流速200m/secのキャリアガスと共にノズルから基材Cに向かってITOの微粒子が高速で吹き付けられ基材Cに衝突し、成膜された。基材の温度Cは25℃に調整した。
(2)実施例
上述した比較例にて作成したITOの導電膜に対して、加熱処理を施した。加熱装置としては、試料を保持する回転テーブル、その上に断熱箱を置き、更にマイクロ波発振装置、及び、温度計を用いて導電膜表面温度を断続的に測定できる装置を備えている。加熱炉内部からはガス供給管およびガス排気管の2本のチューブが配置されている。
2 ホルダー
3 ステージ
4 ノズル
5 エアロゾル化室
6 キャリアガス源
7 真空ポンプ
A 微粒子
B 噴射流
C 基材
Claims (9)
- 基材上に、膜厚が1μm〜20μmであり、比抵抗が3.0×10-4Ω・cm以下である透明導電膜が設けられ、波長550nmの光の透過率が70%以上であることを特徴とする電気光学素子。
- 前記透明導電膜の比抵抗が1.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする請求項1に記載の電気光学素子。
- 前記透明導電膜がIn2O3:Sn又はIn2O3:Znを主成分とすることを特徴とする請求項1または2に記載の電気光学素子。
- 基材上に透明導電膜を形成する方法であって、導電材料の微粒子を基材に衝突させて成膜する工程及び形成された膜を加熱する工程を有することを特徴とする透明導電膜の形成方法。
- 前記加熱する工程において、前記形成された膜を100℃〜400℃に加熱することを特徴とする請求項4に記載の透明導電膜の形成方法。
- 請求項4または5のいずれかに記載の形成方法によって形成された前記透明導電膜を有することを特徴とする電気光学素子。
- 前記透明導電膜の膜厚が1μm〜20μmであり、比抵抗が3.0×10-4Ω・cm以下であり、波長550nmの光の透過率が70%以上であることを特徴とする請求項6に記載の電気光学素子。
- 前記透明導電膜の比抵抗が1.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする請求項7に記載の電気光学素子。
- 前記導電材料がIn2O3:Sn又はIn2O3:Znを主成分とすることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の電気光学素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003426572A JP2005183346A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 電気光学素子及び透明導電膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003426572A JP2005183346A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 電気光学素子及び透明導電膜の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005183346A true JP2005183346A (ja) | 2005-07-07 |
Family
ID=34786069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003426572A Pending JP2005183346A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 電気光学素子及び透明導電膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005183346A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009087898A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Kansai Paint Co Ltd | エアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法 |
JP2012073333A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Panasonic Corp | 気密封止構造の形成方法及び気密封止構造を有する電子デバイス |
JP2012509990A (ja) * | 2008-11-21 | 2012-04-26 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス上の導電膜形成 |
JP2012528779A (ja) * | 2009-06-05 | 2012-11-15 | サン−ゴバン グラス フランス | 薄膜層堆積方法及び得られる製品 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61256943A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Toyota Motor Corp | 有色透明導電膜の形成方法 |
JPH0329216A (ja) * | 1989-03-28 | 1991-02-07 | Asahi Glass Co Ltd | 透明電導膜の形成方法 |
JP2002045735A (ja) * | 2000-08-04 | 2002-02-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 超微粒子薄膜形成方法及び装置 |
JP2003323818A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-11-14 | Fujikura Ltd | 透明電極用基材 |
-
2003
- 2003-12-24 JP JP2003426572A patent/JP2005183346A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61256943A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Toyota Motor Corp | 有色透明導電膜の形成方法 |
JPH0329216A (ja) * | 1989-03-28 | 1991-02-07 | Asahi Glass Co Ltd | 透明電導膜の形成方法 |
JP2002045735A (ja) * | 2000-08-04 | 2002-02-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 超微粒子薄膜形成方法及び装置 |
JP2003323818A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-11-14 | Fujikura Ltd | 透明電極用基材 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009087898A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Kansai Paint Co Ltd | エアロゾルを用いたアルミニウムドープ酸化亜鉛透明導電膜の製造方法 |
JP2012509990A (ja) * | 2008-11-21 | 2012-04-26 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス上の導電膜形成 |
JP2012528779A (ja) * | 2009-06-05 | 2012-11-15 | サン−ゴバン グラス フランス | 薄膜層堆積方法及び得られる製品 |
JP2012073333A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Panasonic Corp | 気密封止構造の形成方法及び気密封止構造を有する電子デバイス |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7485348B2 (en) | Method for forming nanostructured carbons, nanostructured carbons and a substrate having nanostructured carbons formed thereby | |
CN100559513C (zh) | 透明导电膜 | |
EP0049586A1 (en) | Method and apparatus for forming thin film oxide layers using reactive evaporation techniques | |
JP4555992B2 (ja) | エアロゾルデポジッション成膜装置 | |
CN101679036A (zh) | 半导体薄膜、半导体薄膜的制备方法和半导体元件 | |
JPWO2008044474A1 (ja) | 透明導電膜の形成方法 | |
Singh et al. | Preparation and characterization of Al2O3 film deposited by RF sputtering and plasma enhanced atomic layer deposition | |
JP2006009120A (ja) | 金属微粒子分散体 | |
JP2005183346A (ja) | 電気光学素子及び透明導電膜の形成方法 | |
JP5568482B2 (ja) | ガラスドロー中の導電フィルム形成 | |
JP2006236747A (ja) | 透明電極及び透明電極の製造方法 | |
CN107086083A (zh) | 一种具有柔性衬底的金属导电薄膜的制备方法 | |
JP5099616B2 (ja) | 回路パターン付き透明基板の製造方法 | |
KR20170053220A (ko) | 발열 구조체 및 이의 제조 방법 | |
Campos et al. | ITO obtained by spray pyrolysis and coating on glass substrate | |
JP4335045B2 (ja) | 無機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び無機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2008108541A (ja) | 透明導電膜の形成方法及び透明導電膜 | |
JP4254190B2 (ja) | 薄膜形成方法 | |
Khlebnikov et al. | Composite materials obtained by the ion–plasma sputtering of metal compound coatings on polymer films | |
JP2008235098A (ja) | 透明導電膜およびその製造方法 | |
JP2010211929A (ja) | 透明導電膜の製造方法及び得られる透明導電膜、それを用いた透明導電部材、並びに、電子ディスプレイ機器、太陽電池 | |
JP2001143534A (ja) | 透明導電性膜およびその製造方法 | |
JP2006047720A (ja) | 透明導電膜の形成方法及び透明導電膜 | |
KR101646717B1 (ko) | 터치 스크린 기판 및 그 제조방법 | |
KR100613405B1 (ko) | 전기장 결합형 플라즈마 화학 증착법에 의한 투명한 도전성 금속 복합박막의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101207 |