JP2001163675A - セラミックスラリー、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
セラミックスラリー、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法Info
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- C04B2237/704—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the ceramic layers or articles
Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミック粉末に過度のダメージを与えるこ
となく、セラミック粉末を均一に分散させることが可能
で、しかも異物の混入の少ない、積層セラミック電子部
品の製造に用いるのに適したセラミックスラリーを効率
よく製造することを可能にする。 【解決手段】 溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過
することにより、異物の混入の原因となりやすい、バイ
ンダー未溶解物を取り除いたろ過バインダー溶液を調製
し、セラミック粉末に、溶媒、分散剤などとともに、こ
のろ過バインダー溶液を添加し、混合・分散させること
によりセラミックラリーを製造する。また、平均粒径が
０．０１〜１μmのセラミック粉末と分散媒（溶媒）と
を、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法
により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得た後、こ
の混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散させる。
となく、セラミック粉末を均一に分散させることが可能
で、しかも異物の混入の少ない、積層セラミック電子部
品の製造に用いるのに適したセラミックスラリーを効率
よく製造することを可能にする。 【解決手段】 溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過
することにより、異物の混入の原因となりやすい、バイ
ンダー未溶解物を取り除いたろ過バインダー溶液を調製
し、セラミック粉末に、溶媒、分散剤などとともに、こ
のろ過バインダー溶液を添加し、混合・分散させること
によりセラミックラリーを製造する。また、平均粒径が
０．０１〜１μmのセラミック粉末と分散媒（溶媒）と
を、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法
により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得た後、こ
の混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
コンデンサやセラミック多層基板などのセラミック電子
部品の製造に用いられるセラミックスラリーの製造方
法、該製造方法により製造されるセラミックスラリーを
用いたセラミックグリーンシート及び積層セラミック電
子部品の製造方法に関する。
コンデンサやセラミック多層基板などのセラミック電子
部品の製造に用いられるセラミックスラリーの製造方
法、該製造方法により製造されるセラミックスラリーを
用いたセラミックグリーンシート及び積層セラミック電
子部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層セラミックコンデンサやセラミック
多層基板などの積層セラミック電子部品は、通常、セラ
ミックグリーンシートを積層、圧着し、熱処理して、セ
ラミックや電極を焼結させる工程を経て製造されてい
る。
多層基板などの積層セラミック電子部品は、通常、セラ
ミックグリーンシートを積層、圧着し、熱処理して、セ
ラミックや電極を焼結させる工程を経て製造されてい
る。
【０００３】例えば、図１に示すように、セラミック素
子１中に内部電極２が配設されているとともに、セラミ
ック素子１の両端部に、交互に異なる側の端面に引き出
された内部電極２と導通するように一対の外部電極３
ａ，３ｂが配設された構造を有する積層セラミックコン
デンサを製造する場合、通常は、以下のような方法で製
造されている。
子１中に内部電極２が配設されているとともに、セラミ
ック素子１の両端部に、交互に異なる側の端面に引き出
された内部電極２と導通するように一対の外部電極３
ａ，３ｂが配設された構造を有する積層セラミックコン
デンサを製造する場合、通常は、以下のような方法で製
造されている。
【０００４】まず、上述のようにして製造したセラミ
ックグリーンシートに容量形成用の内部電極を配設する
ことにより、電極配設シート１１（図２）を形成する。 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（積層圧着
体）を形成する。 そして、この積層圧着体を所定の条件で焼成してセラ
ミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック素
子）１（図１）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼付
けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ，３ｂ（図
１）を形成する。 これにより、図１に示すような積層セラミックコンデン
サが得られる。
ックグリーンシートに容量形成用の内部電極を配設する
ことにより、電極配設シート１１（図２）を形成する。 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（積層圧着
体）を形成する。 そして、この積層圧着体を所定の条件で焼成してセラ
ミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック素
子）１（図１）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼付
けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ，３ｂ（図
１）を形成する。 これにより、図１に示すような積層セラミックコンデン
サが得られる。
【０００５】また、積層セラミック多層基板などの他の
積層セラミック電子部品も、セラミックグリーンシート
を積層する工程を経て製造されている。
積層セラミック電子部品も、セラミックグリーンシート
を積層する工程を経て製造されている。
【０００６】ところで、積層セラミック電子部品の製造
に用いられるセラミックグリーンシートは、一般に、セ
ラミック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バインダ
ー、可塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミル、ボ
ールミル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミ
ルなどの媒体型分散機を用いて混合・解砕することによ
り製造したセラミックスラリーを、ドクターブレード法
などの方法により所定の厚さのシートに成形した後、乾
燥させることにより製造されている。
に用いられるセラミックグリーンシートは、一般に、セ
ラミック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バインダ
ー、可塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミル、ボ
ールミル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミ
ルなどの媒体型分散機を用いて混合・解砕することによ
り製造したセラミックスラリーを、ドクターブレード法
などの方法により所定の厚さのシートに成形した後、乾
燥させることにより製造されている。
【０００７】しかしながら、近年、積層セラミックコン
デンサをはじめとする種々の積層セラミック電子部品に
対しては、他の電子素子に対するのと同様に、小型化、
高性能化が求められるようになっている。そして、その
ためには、積層セラミック電子部品の製造に用いられる
セラミックグリーンシートを薄くすることが必要にな
り、近年は、厚みが１０μm以下の極めて薄いセラミッ
クグリーンシートを用いることが必要になりつつある。
デンサをはじめとする種々の積層セラミック電子部品に
対しては、他の電子素子に対するのと同様に、小型化、
高性能化が求められるようになっている。そして、その
ためには、積層セラミック電子部品の製造に用いられる
セラミックグリーンシートを薄くすることが必要にな
り、近年は、厚みが１０μm以下の極めて薄いセラミッ
クグリーンシートを用いることが必要になりつつある。
【０００８】このように、厚みの薄いセラミックグリー
ンシートを製造しようとすると、セラミックグリーンシ
ートの製造に用いられるセラミックスラリーとして、セ
ラミック原料粉末が十分に分散しているものを用いるこ
とが必要となり、そのためには、セラミック原料粉末と
して、平均粒径が０．０１〜１μmの微粉末のセラミッ
ク原料を用いることが必要になる。
ンシートを製造しようとすると、セラミックグリーンシ
ートの製造に用いられるセラミックスラリーとして、セ
ラミック原料粉末が十分に分散しているものを用いるこ
とが必要となり、そのためには、セラミック原料粉末と
して、平均粒径が０．０１〜１μmの微粉末のセラミッ
ク原料を用いることが必要になる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セラミ
ック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バインダー、可
塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミル、ボールミ
ル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなど
の媒体型分散機を用いて混合・解砕する、従来のセラミ
ックスラリーの製造方法では、１μm以下のセラミック
微粉末を十分に分散させることは困難で、均一に分散さ
れたセラミックスラリーを得ることができず、厚みが薄
く、しかも高品質なセラミックグリーンシートを製造す
ることは困難であるのが実情である。
ック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バインダー、可
塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミル、ボールミ
ル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなど
の媒体型分散機を用いて混合・解砕する、従来のセラミ
ックスラリーの製造方法では、１μm以下のセラミック
微粉末を十分に分散させることは困難で、均一に分散さ
れたセラミックスラリーを得ることができず、厚みが薄
く、しかも高品質なセラミックグリーンシートを製造す
ることは困難であるのが実情である。
【００１０】すなわち、上述の従来の方法で製造したセ
ラミックスラリーを用いて製造したセラミックグリーン
シートは、表面の円滑性が十分ではない、高密度の
ものが得られず、引張り強度が不十分である、バイン
ダーや可塑剤などの樹脂の分布が不均一となり、積層後
の焼成工程における収縮率が部位によりばらつき、十分
な寸法精度が得られない、というような問題点がある。
なお、これらの問題点は、高重合度のバインダーを用い
る場合に特に顕著になる。
ラミックスラリーを用いて製造したセラミックグリーン
シートは、表面の円滑性が十分ではない、高密度の
ものが得られず、引張り強度が不十分である、バイン
ダーや可塑剤などの樹脂の分布が不均一となり、積層後
の焼成工程における収縮率が部位によりばらつき、十分
な寸法精度が得られない、というような問題点がある。
なお、これらの問題点は、高重合度のバインダーを用い
る場合に特に顕著になる。
【００１１】また、従来のセラミックスラリーの製造方
法では、分散性を向上させるために玉石を充填したボー
ルミルや、ビーズを充填したビーズミルを用いて、強制
的な衝突あるいは衝撃力を付与してセラミック粉末を分
散させる方法が用いられる場合があるが、その場合、衝
突や衝撃による解砕力が大きすぎて、セラミック粉末へ
のダメージが大きくなり、セラミック粉末の結晶性の低
下や、比表面積の増加を招き、所望の電気特性を備えた
積層セラミック電子部品を得ることができなくなるとい
う問題点がある。
法では、分散性を向上させるために玉石を充填したボー
ルミルや、ビーズを充填したビーズミルを用いて、強制
的な衝突あるいは衝撃力を付与してセラミック粉末を分
散させる方法が用いられる場合があるが、その場合、衝
突や衝撃による解砕力が大きすぎて、セラミック粉末へ
のダメージが大きくなり、セラミック粉末の結晶性の低
下や、比表面積の増加を招き、所望の電気特性を備えた
積層セラミック電子部品を得ることができなくなるとい
う問題点がある。
【００１２】また、セラミック粉末を含むスラリーを高
圧に加圧して流動させ、衝突や衝撃力によってセラミッ
ク粉末を分散させる高圧分散の方法が用いられる場合も
あるが、高圧分散のみでは、ボールミルやビーズミルな
どの媒体型分散法のような強制的な衝突あるいは衝撃力
による解砕の方法に比べて解砕力が小さいため、強固に
凝集した凝結粒子を十分に解砕することは困難で、十分
に分散されたセラミックスラリーを製造することができ
ず、高品質なセラミックグリーンシートを得ることがで
きないという問題点がある。
圧に加圧して流動させ、衝突や衝撃力によってセラミッ
ク粉末を分散させる高圧分散の方法が用いられる場合も
あるが、高圧分散のみでは、ボールミルやビーズミルな
どの媒体型分散法のような強制的な衝突あるいは衝撃力
による解砕の方法に比べて解砕力が小さいため、強固に
凝集した凝結粒子を十分に解砕することは困難で、十分
に分散されたセラミックスラリーを製造することができ
ず、高品質なセラミックグリーンシートを得ることがで
きないという問題点がある。
【００１３】また何らかの手段により分散処理を施した
場合でも、厚さが１０μm以下というような薄いセラミッ
クグリーンシートの場合には、わずかな凝集粒や凝結
粒、チリやホコリ、あるいは気泡などが混入すると、セ
ラミックグリーンシートの表面あるいはの内部の異物と
なり、最終的にはショート等といった不良の原因とな
る。
場合でも、厚さが１０μm以下というような薄いセラミッ
クグリーンシートの場合には、わずかな凝集粒や凝結
粒、チリやホコリ、あるいは気泡などが混入すると、セ
ラミックグリーンシートの表面あるいはの内部の異物と
なり、最終的にはショート等といった不良の原因とな
る。
【００１４】本願発明は、このような背景に鑑みてなさ
れたものであり、セラミック粉末に過度のダメージを与
えることなく、セラミック粉末を均一に分散させること
が可能で、しかも異物の混入の少ない、セラミック電子
部品の製造に用いるのに適したセラミックスラリーを効
率よく製造することが可能なセラミックスラリーの製造
方法、該製造方法により製造されるセラミックスラリー
を用いたセラミックグリーンシート及び積層セラミック
電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
れたものであり、セラミック粉末に過度のダメージを与
えることなく、セラミック粉末を均一に分散させること
が可能で、しかも異物の混入の少ない、セラミック電子
部品の製造に用いるのに適したセラミックスラリーを効
率よく製造することが可能なセラミックスラリーの製造
方法、該製造方法により製造されるセラミックスラリー
を用いたセラミックグリーンシート及び積層セラミック
電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明（請求項１）のセラミックスラリーの製造
方法は、セラミック電子部品の製造に用いられるセラミ
ックスラリーの製造方法において、平均粒径が０．０１
〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤とを、玉石や
ビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法により混合
・解砕して混合・解砕スラリーを得る混合・解砕工程
と、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することに
より調製したろ過バインダー溶液を、前記混合・解砕ス
ラリーに添加し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散
させることにより分散スラリー（最終分散スラリー）を
得る高圧分散工程とを具備することを特徴としている。
め、本願発明（請求項１）のセラミックスラリーの製造
方法は、セラミック電子部品の製造に用いられるセラミ
ックスラリーの製造方法において、平均粒径が０．０１
〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤とを、玉石や
ビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法により混合
・解砕して混合・解砕スラリーを得る混合・解砕工程
と、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することに
より調製したろ過バインダー溶液を、前記混合・解砕ス
ラリーに添加し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散
させることにより分散スラリー（最終分散スラリー）を
得る高圧分散工程とを具備することを特徴としている。
【００１６】平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック
粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体
を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合・解砕
スラリーを調製し、この混合・解砕スラリーに、溶媒に
バインダーを溶解させた後、ろ過することにより調製し
たろ過バインダー溶液を添加し、１００kg／cm２以上の
圧力で高圧分散させることにより、セラミック粉末が十
分に分散されたセラミックスラリーを確実に得ることが
可能になる。すなわち、媒体型分散法と高圧分散法を組
み合わせてセラミック粉末を分散させることにより、セ
ラミック粉末の結晶性を損なったり、比表面積が過度に
大きくなったりすることを抑制しつつ、セラミック粉末
を均一に分散させることが可能になるとともに、バイン
ダーとして、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過す
ることにより調製したろ過バインダー溶液を用いること
により、異物の混入の原因となりやすい、バインダー未
溶解物を確実に取り除いて、異物の混入の少ない、セラ
ミック電子部品の製造に用いるのに適したセラミックス
ラリーを効率よく製造することが可能になる。
粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体
を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合・解砕
スラリーを調製し、この混合・解砕スラリーに、溶媒に
バインダーを溶解させた後、ろ過することにより調製し
たろ過バインダー溶液を添加し、１００kg／cm２以上の
圧力で高圧分散させることにより、セラミック粉末が十
分に分散されたセラミックスラリーを確実に得ることが
可能になる。すなわち、媒体型分散法と高圧分散法を組
み合わせてセラミック粉末を分散させることにより、セ
ラミック粉末の結晶性を損なったり、比表面積が過度に
大きくなったりすることを抑制しつつ、セラミック粉末
を均一に分散させることが可能になるとともに、バイン
ダーとして、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過す
ることにより調製したろ過バインダー溶液を用いること
により、異物の混入の原因となりやすい、バインダー未
溶解物を確実に取り除いて、異物の混入の少ない、セラ
ミック電子部品の製造に用いるのに適したセラミックス
ラリーを効率よく製造することが可能になる。
【００１７】なお、本願発明において、「溶媒にバイン
ダーを溶解させた後、ろ過することにより調製したろ過
バインダー溶液」とは、バインダーのみを溶媒に溶解さ
せて、ろ過した溶液に限らず、バインダーを、可塑剤や
帯電防止剤などの添加成分とともに溶媒に溶解させた
後、ろ過した溶液をも含む広い概念である。
ダーを溶解させた後、ろ過することにより調製したろ過
バインダー溶液」とは、バインダーのみを溶媒に溶解さ
せて、ろ過した溶液に限らず、バインダーを、可塑剤や
帯電防止剤などの添加成分とともに溶媒に溶解させた
後、ろ過した溶液をも含む広い概念である。
【００１８】また、本願発明においては、「……セラミ
ック粉末と溶媒と分散剤とバインダーとを混合・分散さ
せる……」としているが、これはセラミックスラリーの
成分がセラミック粉末と溶媒と分散剤とバインダーのみ
に限定されることを意味するものではなく、本願は、こ
れら以外に、さらに他の添加成分が添加される場合をも
含むものである。なお、本願発明において、高圧分散法
とは、例えば、高圧に加圧した被分散液を壁に衝突させ
たり、テーパを付けて径を徐々に絞った流路を通過させ
たりして、分散を行わしめるように構成された高圧分散
装置を用いて、スラリーの分散を行う方法を意味する広
い概念である。また、本願発明は、セラミック粉末の平
均粒径（電子顕微鏡で求めた平均粒径）が、０．０１〜
１μmの範囲にある場合に、特に有利に適用されるが、
０．０１〜１μmの範囲を超える場合にも適用すること
が可能である。
ック粉末と溶媒と分散剤とバインダーとを混合・分散さ
せる……」としているが、これはセラミックスラリーの
成分がセラミック粉末と溶媒と分散剤とバインダーのみ
に限定されることを意味するものではなく、本願は、こ
れら以外に、さらに他の添加成分が添加される場合をも
含むものである。なお、本願発明において、高圧分散法
とは、例えば、高圧に加圧した被分散液を壁に衝突させ
たり、テーパを付けて径を徐々に絞った流路を通過させ
たりして、分散を行わしめるように構成された高圧分散
装置を用いて、スラリーの分散を行う方法を意味する広
い概念である。また、本願発明は、セラミック粉末の平
均粒径（電子顕微鏡で求めた平均粒径）が、０．０１〜
１μmの範囲にある場合に、特に有利に適用されるが、
０．０１〜１μmの範囲を超える場合にも適用すること
が可能である。
【００１９】また、請求項２のセラミックスラリーの製
造方法は、セラミック電子部品の製造に用いられるセラ
ミックスラリーの製造方法において、溶媒にバインダー
を溶解させた後、ろ過することにより調製したろ過バイ
ンダー溶液と、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミッ
ク粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒
体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合・解
砕スラリーを得る混合・解砕工程と、前記混合・解砕ス
ラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散させる
ことにより分散スラリー（最終分散スラリー）を得る高
圧分散工程とを具備することを特徴としている。
造方法は、セラミック電子部品の製造に用いられるセラ
ミックスラリーの製造方法において、溶媒にバインダー
を溶解させた後、ろ過することにより調製したろ過バイ
ンダー溶液と、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミッ
ク粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒
体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合・解
砕スラリーを得る混合・解砕工程と、前記混合・解砕ス
ラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散させる
ことにより分散スラリー（最終分散スラリー）を得る高
圧分散工程とを具備することを特徴としている。
【００２０】溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過す
ることにより調製したろ過バインダー溶液と、平均粒径
が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤と
を、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法
により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得た後、こ
の混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散させるようにした場合にも、上記請求項１のセ
ラミックスラリーの製造方法の場合と同様の作用効果を
得ることができる。
ることにより調製したろ過バインダー溶液と、平均粒径
が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤と
を、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法
により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得た後、こ
の混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散させるようにした場合にも、上記請求項１のセ
ラミックスラリーの製造方法の場合と同様の作用効果を
得ることができる。
【００２１】また、本願発明（請求項３）のセラミック
スラリーの製造方法は、セラミック電子部品の製造に用
いられるセラミックスラリーの製造方法において、平均
粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散
剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分
散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得る混
合・解砕工程と、前記混合・解砕スラリーを、１００kg
／cm２以上の圧力で高圧分散させることにより一次分散
スラリーを得る一次高圧分散工程と、溶媒にバインダー
を溶解させた後、ろ過することにより調製したろ過バイ
ンダー溶液を、前記一次分散スラリーに添加し、さらに
１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散させることにより
二次分散スラリー（最終分散スラリー）を得る二次高圧
分散工程とを具備することを特徴としている。
スラリーの製造方法は、セラミック電子部品の製造に用
いられるセラミックスラリーの製造方法において、平均
粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散
剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分
散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得る混
合・解砕工程と、前記混合・解砕スラリーを、１００kg
／cm２以上の圧力で高圧分散させることにより一次分散
スラリーを得る一次高圧分散工程と、溶媒にバインダー
を溶解させた後、ろ過することにより調製したろ過バイ
ンダー溶液を、前記一次分散スラリーに添加し、さらに
１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散させることにより
二次分散スラリー（最終分散スラリー）を得る二次高圧
分散工程とを具備することを特徴としている。
【００２２】セラミック粉末と溶媒と分散剤とを、媒体
型分散法により混合・解砕した混合・解砕スラリーを、
１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散（一次高圧分散）
させることにより得た一次分散スラリーに、ろ過バイン
ダー溶液を添加し、さらに１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散（二次高圧分散）させるようにした場合にも、
セラミック粉末に過度のダメージを与えることなく、セ
ラミック粉末を均一に分散させることが可能になり、高
品質のセラミックスラリーを製造することが可能にな
る。
型分散法により混合・解砕した混合・解砕スラリーを、
１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散（一次高圧分散）
させることにより得た一次分散スラリーに、ろ過バイン
ダー溶液を添加し、さらに１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散（二次高圧分散）させるようにした場合にも、
セラミック粉末に過度のダメージを与えることなく、セ
ラミック粉末を均一に分散させることが可能になり、高
品質のセラミックスラリーを製造することが可能にな
る。
【００２３】また、請求項４のセラミックスラリーの製
造方法は、セラミック電子部品の製造に用いられるセラ
ミックスラリーの製造方法において、平均粒径が０．０
１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤とを、玉石
やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法により混
合・解砕して一次混合・解砕スラリーを得る一次混合・
解砕工程と、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過す
ることにより調製したろ過バインダー溶液を、前記一次
混合・解砕スラリーに添加し、玉石やビーズなどの分散
媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して二次混
合・解砕スラリーを得る二次混合・解砕工程と、前記二
次混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散させることにより分散スラリーを得る高圧分散
工程とを具備することを特徴としている。
造方法は、セラミック電子部品の製造に用いられるセラ
ミックスラリーの製造方法において、平均粒径が０．０
１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤とを、玉石
やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法により混
合・解砕して一次混合・解砕スラリーを得る一次混合・
解砕工程と、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過す
ることにより調製したろ過バインダー溶液を、前記一次
混合・解砕スラリーに添加し、玉石やビーズなどの分散
媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して二次混
合・解砕スラリーを得る二次混合・解砕工程と、前記二
次混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で
高圧分散させることにより分散スラリーを得る高圧分散
工程とを具備することを特徴としている。
【００２４】セラミック粉末と溶媒と分散剤とを、媒体
型分散法により混合・解砕した一次混合・解砕スラリー
に、ろ過バインダー溶液を添加し、再び、媒体型分散法
により混合・解砕することにより得られた二次混合・解
砕スラリーを、１００kg／cm ２以上の圧力で高圧分散さ
せるようにした場合にも、セラミック粉末に過度のダメ
ージを与えることなく、セラミック粉末を均一に分散さ
せることが可能になり、高品質のセラミックスラリーを
製造することが可能になる。
型分散法により混合・解砕した一次混合・解砕スラリー
に、ろ過バインダー溶液を添加し、再び、媒体型分散法
により混合・解砕することにより得られた二次混合・解
砕スラリーを、１００kg／cm ２以上の圧力で高圧分散さ
せるようにした場合にも、セラミック粉末に過度のダメ
ージを与えることなく、セラミック粉末を均一に分散さ
せることが可能になり、高品質のセラミックスラリーを
製造することが可能になる。
【００２５】また、請求項５のセラミックスラリーの製
造方法は、前記ろ過バインダー溶液として、溶媒とバイ
ンダーとを混合し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分
散させた後、ろ過することにより調製したろ過バインダ
ー溶液を用いることを特徴としている。
造方法は、前記ろ過バインダー溶液として、溶媒とバイ
ンダーとを混合し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分
散させた後、ろ過することにより調製したろ過バインダ
ー溶液を用いることを特徴としている。
【００２６】ろ過バインダー溶液として、溶媒とバイン
ダーとを混合し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散
させた後、ろ過することにより調製したろ過バインダー
溶液を用いることにより、バインダーを直接添加した
り、溶媒に溶解した後にそのまま添加したりする場合に
生じるようなゲルの発生を抑制、防止して、セラミック
粉末の分散性をさらに向上させることが可能になる。
ダーとを混合し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散
させた後、ろ過することにより調製したろ過バインダー
溶液を用いることにより、バインダーを直接添加した
り、溶媒に溶解した後にそのまま添加したりする場合に
生じるようなゲルの発生を抑制、防止して、セラミック
粉末の分散性をさらに向上させることが可能になる。
【００２７】また、請求項６のセラミックスラリーの製
造方法は、前記ろ過バインダー溶液として、溶媒とバイ
ンダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１０
０℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製した
ろ過バインダー溶液を用いることを特徴としている。
造方法は、前記ろ過バインダー溶液として、溶媒とバイ
ンダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１０
０℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製した
ろ過バインダー溶液を用いることを特徴としている。
【００２８】ろ過バインダー溶液として、溶媒とバイン
ダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１００
℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製したろ
過バインダー溶液を用いるようにした場合、バインダー
を、より確実に溶解し、かつ、異物やμmサイズの凝集
物のない状態で添加することが可能になり、さらにセラ
ミック粉末の分散性を向上させることが可能になる。
ダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１００
℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製したろ
過バインダー溶液を用いるようにした場合、バインダー
を、より確実に溶解し、かつ、異物やμmサイズの凝集
物のない状態で添加することが可能になり、さらにセラ
ミック粉末の分散性を向上させることが可能になる。
【００２９】また、請求項７のセラミックスラリーの製
造方法は、前記ろ過バインダー溶液として、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが２μm以下のフィルターにてろ
過することにより調製したろ過バインダー溶液を用いる
ことを特徴としている。
造方法は、前記ろ過バインダー溶液として、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが２μm以下のフィルターにてろ
過することにより調製したろ過バインダー溶液を用いる
ことを特徴としている。
【００３０】バインダー溶液について、９９％カットろ
過精度で、目開きが２μm以下のフィルターにてろ過を
行うようにした場合、確実にバインダー未溶解物を取り
除くことが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめ
ることができる。
過精度で、目開きが２μm以下のフィルターにてろ過を
行うようにした場合、確実にバインダー未溶解物を取り
除くことが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめ
ることができる。
【００３１】なお、ここで、９９％カット精度とは、ろ
過機において９９％カット精度の値より大きな粒子を９
９％以上補足することを意味し、例えば、ＡＮＳＩ Ｂ
９３３１−１９７３に基づいたシングルパスＦ−２試験
による方法が挙げらる。また、９９％カットろ過精度
で、目開きが２μm以下のフィルターにてろ過を行うと
は、９９％カット精度で２μm以下のろ過を施すことを
意味する概念である。また、ろ過膜の材質としては、金
属、PTFE、ポリプロピレン、ナイロンなどが例示される
が、これらに限定されるものではない。また、ここで使
用されるろ過膜などのろ過エレメントの構成としては、
メンブランと称される板状のもの、サーフィスと称され
るメンブランを折り込んだもの、デプスと称されるろ過
膜の材質を糸状にしてそれを巻いたものなどが例示され
るが、これらに限定されるものではない。また、ろ過機
の使用の態様としては、一つのカット精度を有するろ過
機のみを使用する場合や、異なるカット精度を有する複
数のろ過機を連続的に使用する場合などが例示される
が、その具体的な態様には特別の制約はない。
過機において９９％カット精度の値より大きな粒子を９
９％以上補足することを意味し、例えば、ＡＮＳＩ Ｂ
９３３１−１９７３に基づいたシングルパスＦ−２試験
による方法が挙げらる。また、９９％カットろ過精度
で、目開きが２μm以下のフィルターにてろ過を行うと
は、９９％カット精度で２μm以下のろ過を施すことを
意味する概念である。また、ろ過膜の材質としては、金
属、PTFE、ポリプロピレン、ナイロンなどが例示される
が、これらに限定されるものではない。また、ここで使
用されるろ過膜などのろ過エレメントの構成としては、
メンブランと称される板状のもの、サーフィスと称され
るメンブランを折り込んだもの、デプスと称されるろ過
膜の材質を糸状にしてそれを巻いたものなどが例示され
るが、これらに限定されるものではない。また、ろ過機
の使用の態様としては、一つのカット精度を有するろ過
機のみを使用する場合や、異なるカット精度を有する複
数のろ過機を連続的に使用する場合などが例示される
が、その具体的な態様には特別の制約はない。
【００３２】また、請求項８のセラミックスラリーの製
造方法は、前記セラミックスラリー（最終分散スラリ
ー）の粘度が０．００３〜０．１Pasであることを特徴
としている。
造方法は、前記セラミックスラリー（最終分散スラリ
ー）の粘度が０．００３〜０．１Pasであることを特徴
としている。
【００３３】分散スラリー（最終分散スラリー）の粘度
が０．００３〜０．１Pasとなるようにした場合、シー
ト状に成形してセラミックグリーンシートを作製する工
程で用いるのに適したセラミックスラリーを得ることが
できるようになり、本願発明をさらに実効あらしめるこ
とができる。なお、粘度が低い方が、より薄いグリーン
シートの成形に適しているが、粘度が０．００３Pas未
満になると保形性が悪化し、シート厚みのバラツキが生
じるというような問題が発生するため、粘度は０．００
３〜０．１Pasの範囲とすることが望ましい。
が０．００３〜０．１Pasとなるようにした場合、シー
ト状に成形してセラミックグリーンシートを作製する工
程で用いるのに適したセラミックスラリーを得ることが
できるようになり、本願発明をさらに実効あらしめるこ
とができる。なお、粘度が低い方が、より薄いグリーン
シートの成形に適しているが、粘度が０．００３Pas未
満になると保形性が悪化し、シート厚みのバラツキが生
じるというような問題が発生するため、粘度は０．００
３〜０．１Pasの範囲とすることが望ましい。
【００３４】また、請求項９のセラミックスラリーの製
造方法は、前記媒体型分散法がボールミル又はビーズミ
ルによる方法であることを特徴としている。
造方法は、前記媒体型分散法がボールミル又はビーズミ
ルによる方法であることを特徴としている。
【００３５】媒体型分散法として、ボールミル又はビー
ズミルを用いる方法を適用した場合、確実にセラミック
の凝結粒子を解砕することができるようになり、本願発
明を実効あらしめることができる。なお、本願発明にお
いては、上述のボールミル及びビーズミルの他に、例え
ば、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなど
の媒体型分散機などを用いる方法を適用することも可能
である。
ズミルを用いる方法を適用した場合、確実にセラミック
の凝結粒子を解砕することができるようになり、本願発
明を実効あらしめることができる。なお、本願発明にお
いては、上述のボールミル及びビーズミルの他に、例え
ば、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなど
の媒体型分散機などを用いる方法を適用することも可能
である。
【００３６】また、請求項１０のセラミックスラリーの
製造方法は、前記分散剤として、アニオン系分散剤を用
い、その添加量を、アニオン系分散剤の総酸量が、前記
セラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０％となるよう
な量としたことを特徴としている。
製造方法は、前記分散剤として、アニオン系分散剤を用
い、その添加量を、アニオン系分散剤の総酸量が、前記
セラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０％となるよう
な量としたことを特徴としている。
【００３７】本願発明において、好適に用いることが可
能なアニオン系分散剤としては、カルボン酸基、マレイ
ン酸基、スルホン酸基、リン酸基等を分子内に有するア
ニオン系分散剤が例示される。なお、金属イオンを含ま
ないポリカルボン酸タイプやポリマレイン酸タイプなど
がさらに好適なアニオン系分散剤として例示される。
能なアニオン系分散剤としては、カルボン酸基、マレイ
ン酸基、スルホン酸基、リン酸基等を分子内に有するア
ニオン系分散剤が例示される。なお、金属イオンを含ま
ないポリカルボン酸タイプやポリマレイン酸タイプなど
がさらに好適なアニオン系分散剤として例示される。
【００３８】また、アニオン系分散剤の添加割合は、そ
の総酸量が、セラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０
％となるような範囲であることが好ましい。これは、ア
ニオン系分散剤の添加割合が、その総酸量がセラミック
粉末の総塩基量の１０％未満になると、十分な分散効果
が発揮されず、また、１５０％を超えて添加しても、分
散効果の顕著な向上が認められないことによる。なお、
アニオン系分散剤の総酸量及びセラミック粉末の総塩基
量は滴定法などの方法により定量することができる。
の総酸量が、セラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０
％となるような範囲であることが好ましい。これは、ア
ニオン系分散剤の添加割合が、その総酸量がセラミック
粉末の総塩基量の１０％未満になると、十分な分散効果
が発揮されず、また、１５０％を超えて添加しても、分
散効果の顕著な向上が認められないことによる。なお、
アニオン系分散剤の総酸量及びセラミック粉末の総塩基
量は滴定法などの方法により定量することができる。
【００３９】また、請求項１１のセラミックスラリーの
製造方法は、前記セラミックスラリー（最終分散スラリ
ー）が、セラミックグリーンシートの製造に用いられる
ものであって、セラミックスラリー中に、製造されるべ
きセラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい物
質を存在させないようにすることを特徴としている。
製造方法は、前記セラミックスラリー（最終分散スラリ
ー）が、セラミックグリーンシートの製造に用いられる
ものであって、セラミックスラリー中に、製造されるべ
きセラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい物
質を存在させないようにすることを特徴としている。
【００４０】セラミックスラリー（最終分散スラリー）
中に、製造されるべきセラミックグリーンシートの厚さ
より寸法の大きい物質を存在させないようにすることに
より、セラミックスラリーをシート状に成形してセラミ
ックグリーンシートを作製した場合に、表面に突起など
がなく、平滑性、均一性に優れたセラミックグリーンシ
ートを確実に得ることが可能になる。なお、製造される
べきセラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい
物質とは、長さ、厚さ、幅などのいずれかの最大寸法が
セラミックグリーンシートの厚みを超えるような物質を
意味する概念であり、固体、結晶性の物質、などに限ら
ず、ゲル状の物質などをも含む概念であり、具体的に
は、空気中のゴミ、ホコリ、分散が不十分な場合や分散
後の再凝集により生成する複数のセラミック粒子からな
る凝集体などがありうるが、その種類は問わない。セラ
ミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい物質を存
在させないようにするための方法としては、例えば、ろ
過や遠心分離などの方法で分離操作により分離する方
法、予めそのような物質が存在しない状態で各成分を調
合してセラミックスラリーを調製する方法などが例示さ
れる。
中に、製造されるべきセラミックグリーンシートの厚さ
より寸法の大きい物質を存在させないようにすることに
より、セラミックスラリーをシート状に成形してセラミ
ックグリーンシートを作製した場合に、表面に突起など
がなく、平滑性、均一性に優れたセラミックグリーンシ
ートを確実に得ることが可能になる。なお、製造される
べきセラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい
物質とは、長さ、厚さ、幅などのいずれかの最大寸法が
セラミックグリーンシートの厚みを超えるような物質を
意味する概念であり、固体、結晶性の物質、などに限ら
ず、ゲル状の物質などをも含む概念であり、具体的に
は、空気中のゴミ、ホコリ、分散が不十分な場合や分散
後の再凝集により生成する複数のセラミック粒子からな
る凝集体などがありうるが、その種類は問わない。セラ
ミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい物質を存
在させないようにするための方法としては、例えば、ろ
過や遠心分離などの方法で分離操作により分離する方
法、予めそのような物質が存在しない状態で各成分を調
合してセラミックスラリーを調製する方法などが例示さ
れる。
【００４１】また、請求項１２のセラミックスラリーの
製造方法は、請求項１〜１１のいずれかに記載の製造方
法により製造されるセラミックスラリーを、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが、前記セラミックグリ−ンシー
トの厚みの５倍以下であるフィルターにてろ過すること
を特徴としている。
製造方法は、請求項１〜１１のいずれかに記載の製造方
法により製造されるセラミックスラリーを、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが、前記セラミックグリ−ンシー
トの厚みの５倍以下であるフィルターにてろ過すること
を特徴としている。
【００４２】セラミックスラリーを、９９％カットろ過
精度で、目開きが、セラミックグリ−ンシートの厚みの
５倍以下であるフィルターにてろ過することにより、セ
ラミックスラリーをシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを製造する場合に、製造されるべきセラミッ
クグリーンシートの厚さより寸法の大きい物質の混入に
より、表面に突起が生じたり、平滑性や均一性が低下し
たりすることを防止して、平滑性や均一性に優れたセラ
ミックグリーンシートを確実に得ることが可能になる。
すなわち、セラミックグリーンシートの厚さより寸法の
大きい物質がセラミックスラリー中に存在する場合に
は、この物質がセラミックグリーンシートの表面に突出
したり、あるいは、セラミックグリーンシートの内部に
存在して、最終的にはショート等の不良の原因となる
が、９９％カットろ過精度で、目開きがセラミックグリ
−ンシートの厚みの５倍以下のフィルターにてろ過する
ことにより、このような物質を確実に除去することが可
能になる。
精度で、目開きが、セラミックグリ−ンシートの厚みの
５倍以下であるフィルターにてろ過することにより、セ
ラミックスラリーをシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを製造する場合に、製造されるべきセラミッ
クグリーンシートの厚さより寸法の大きい物質の混入に
より、表面に突起が生じたり、平滑性や均一性が低下し
たりすることを防止して、平滑性や均一性に優れたセラ
ミックグリーンシートを確実に得ることが可能になる。
すなわち、セラミックグリーンシートの厚さより寸法の
大きい物質がセラミックスラリー中に存在する場合に
は、この物質がセラミックグリーンシートの表面に突出
したり、あるいは、セラミックグリーンシートの内部に
存在して、最終的にはショート等の不良の原因となる
が、９９％カットろ過精度で、目開きがセラミックグリ
−ンシートの厚みの５倍以下のフィルターにてろ過する
ことにより、このような物質を確実に除去することが可
能になる。
【００４３】なお、９９％カット精度とは、ろ過機にお
いて９９％カット精度の値より大きな粒子を９９％以上
補足することを意味する。また、９９％カットろ過精度
で、目開きが、セラミックグリ−ンシートの厚みの５倍
以下とは、例えば、セラミックグリーンシートの厚みが
２μmのときには、９９％カット精度で１０μm以下のろ
過を施すことを意味する概念である。なお、本願発明に
おいては、９９％カット精度がセラミックグリーンシー
トの厚み以下であることは必須ではなく、９９％カット
精度で、目開きがセラミックグリーンシートの厚みの５
倍より小さなフィルターでろ過を施せば足りる。発明者
は、９９％カット精度でセラミックグリーンシートの厚
みの５倍より小さなろ過を施すことにより、セラミック
グリーンシートの厚さより大きい物質をほぼ完全に除く
ことができることを、繰り返して行った種々の実験によ
り確認している。なお、９９％カット精度としては、セ
ラミック粉の平均粒径の３倍以上で、かつ、セラミック
グリーンシートの厚さの３倍以下とすることがより好ま
しい。これにより、セラミックグリーンシートの厚さよ
り大きい物質をより確実に除去することが可能になると
ともに、ろ過工程に要する時間を短くして、生産性を向
上させることが可能になる。
いて９９％カット精度の値より大きな粒子を９９％以上
補足することを意味する。また、９９％カットろ過精度
で、目開きが、セラミックグリ−ンシートの厚みの５倍
以下とは、例えば、セラミックグリーンシートの厚みが
２μmのときには、９９％カット精度で１０μm以下のろ
過を施すことを意味する概念である。なお、本願発明に
おいては、９９％カット精度がセラミックグリーンシー
トの厚み以下であることは必須ではなく、９９％カット
精度で、目開きがセラミックグリーンシートの厚みの５
倍より小さなフィルターでろ過を施せば足りる。発明者
は、９９％カット精度でセラミックグリーンシートの厚
みの５倍より小さなろ過を施すことにより、セラミック
グリーンシートの厚さより大きい物質をほぼ完全に除く
ことができることを、繰り返して行った種々の実験によ
り確認している。なお、９９％カット精度としては、セ
ラミック粉の平均粒径の３倍以上で、かつ、セラミック
グリーンシートの厚さの３倍以下とすることがより好ま
しい。これにより、セラミックグリーンシートの厚さよ
り大きい物質をより確実に除去することが可能になると
ともに、ろ過工程に要する時間を短くして、生産性を向
上させることが可能になる。
【００４４】また、ろ過膜の材質としては、金属、PTF
E、ポリプロピレン、ナイロンなどが例示されるが、こ
れらに限定されるものではない。また、ろ過エレメント
の構成としては、メンブランと称される板状のもの、サ
ーフィスと称されるメンブランを折り込んだもの、デプ
スと称されるろ過膜の材質を糸状にしてそれを巻いたも
のなどが例示されるが、これらに限定されるものではな
い。
E、ポリプロピレン、ナイロンなどが例示されるが、こ
れらに限定されるものではない。また、ろ過エレメント
の構成としては、メンブランと称される板状のもの、サ
ーフィスと称されるメンブランを折り込んだもの、デプ
スと称されるろ過膜の材質を糸状にしてそれを巻いたも
のなどが例示されるが、これらに限定されるものではな
い。
【００４５】また、ろ過機の使用の態様としては、一つ
のカット精度を有するろ過機のみを使用する場合や、異
なるカット精度を有する複数のろ過機を連続的に使用す
る場合などが例示されるが、その具体的な態様には特別
の制約はない。なお、より好ましいろ過機の使用の態様
としては、まず、第一のろ過機としてデプス型のろ過機
を使用し、ついで第二のろ過機としてメンブラン型又は
サーフィス型のろ過機を使用し、かつ、第一のろ過機の
９９％カット精度より第二のろ過機の９９％カット精度
を高くするようにした態様が例示される。これにより、
ろ過機当たりの物質集塵量が多い一次ろ過の工程では、
処理容量の大きいデプス型ろ過機により大部分の物質を
除去し、ついで、物質集塵量の少ない二次ろ過の工程で
は、カット精度の高いメンブラン型又はサーフィス型の
ろ過機により精度の高いろ過を行うことが可能になり、
長寿命かつ高精度のろ過を実現することが可能になる。
のカット精度を有するろ過機のみを使用する場合や、異
なるカット精度を有する複数のろ過機を連続的に使用す
る場合などが例示されるが、その具体的な態様には特別
の制約はない。なお、より好ましいろ過機の使用の態様
としては、まず、第一のろ過機としてデプス型のろ過機
を使用し、ついで第二のろ過機としてメンブラン型又は
サーフィス型のろ過機を使用し、かつ、第一のろ過機の
９９％カット精度より第二のろ過機の９９％カット精度
を高くするようにした態様が例示される。これにより、
ろ過機当たりの物質集塵量が多い一次ろ過の工程では、
処理容量の大きいデプス型ろ過機により大部分の物質を
除去し、ついで、物質集塵量の少ない二次ろ過の工程で
は、カット精度の高いメンブラン型又はサーフィス型の
ろ過機により精度の高いろ過を行うことが可能になり、
長寿命かつ高精度のろ過を実現することが可能になる。
【００４６】また、本願発明（請求項１３）のセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、請求項１〜１２のいず
れかに記載の製造方法により製造されたセラミックスラ
リーを、所定の基材上にシート状に成形して、厚さが
０．１〜１０μmのセラミックグリーンシートを形成す
ることを特徴としている。
クグリーンシートの製造方法は、請求項１〜１２のいず
れかに記載の製造方法により製造されたセラミックスラ
リーを、所定の基材上にシート状に成形して、厚さが
０．１〜１０μmのセラミックグリーンシートを形成す
ることを特徴としている。
【００４７】請求項１〜１２のいずれかに記載の製造方
法により製造されたセラミックスラリーにおいては、平
均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末が分散媒に
十分に分散しており、これをシート状に成形することに
より、厚さが薄く（０．１〜５μm）、高品質のセラミ
ックグリーンシートを確実に製造することが可能にな
る。すなわち、表面の円滑性に優れ、高密度で、引張り
強度が大きく、しかも、バインダーや可塑剤などの樹脂
の分布が均一な、積層セラミック電子部品の製造に用い
るのに適したセラミックグリーンシートを得ることが可
能になる。そして、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミック電子部品を製造した場合、所望の特
性を有する高品質で信頼性の高い積層セラミック電子部
品を得ることが可能になる。
法により製造されたセラミックスラリーにおいては、平
均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末が分散媒に
十分に分散しており、これをシート状に成形することに
より、厚さが薄く（０．１〜５μm）、高品質のセラミ
ックグリーンシートを確実に製造することが可能にな
る。すなわち、表面の円滑性に優れ、高密度で、引張り
強度が大きく、しかも、バインダーや可塑剤などの樹脂
の分布が均一な、積層セラミック電子部品の製造に用い
るのに適したセラミックグリーンシートを得ることが可
能になる。そして、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミック電子部品を製造した場合、所望の特
性を有する高品質で信頼性の高い積層セラミック電子部
品を得ることが可能になる。
【００４８】また、請求項１４記載の積層セラミック電
子部品の製造方法は、請求項１〜１２のいずれかに記載
の製造方法により製造されたセラミックスラリーを用い
てセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグ
リーンシートを卑金属内部電極とともに積層、切断、焼
成した後、外部電極を形成することを特徴としている。
子部品の製造方法は、請求項１〜１２のいずれかに記載
の製造方法により製造されたセラミックスラリーを用い
てセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグ
リーンシートを卑金属内部電極とともに積層、切断、焼
成した後、外部電極を形成することを特徴としている。
【００４９】本願発明の方法により製造されたセラミッ
クスラリーを用いてセラミックグリーンシートを形成
し、該セラミックグリーンシートを卑金属内部電極とと
もに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成すること
により、所望の特性を有する高品質で信頼性の高い積層
セラミック電子部品を得ることが可能となる。
クスラリーを用いてセラミックグリーンシートを形成
し、該セラミックグリーンシートを卑金属内部電極とと
もに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成すること
により、所望の特性を有する高品質で信頼性の高い積層
セラミック電子部品を得ることが可能となる。
【００５０】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。本
願発明を実施するにあたっては、セラミック粉末の種類
や具体的な組成に特別の制約はなく、チタン酸バリウム
系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸鉛系などの誘
電体セラミック粉末、フェライト系などの磁性体セラミ
ック粉末、圧電体セラミック粉末、アルミナ、シリカな
どの絶縁体セラミック粉末などの種々のセラミック粉末
を用いたセラミックスラリーに広く適用することが可能
である。
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。本
願発明を実施するにあたっては、セラミック粉末の種類
や具体的な組成に特別の制約はなく、チタン酸バリウム
系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸鉛系などの誘
電体セラミック粉末、フェライト系などの磁性体セラミ
ック粉末、圧電体セラミック粉末、アルミナ、シリカな
どの絶縁体セラミック粉末などの種々のセラミック粉末
を用いたセラミックスラリーに広く適用することが可能
である。
【００５１】また、セラミック粉末の粒径については、
基本的には高圧分散装置を通過する径であれば問題なく
適用できるが、従来の分散方法では分散が困難とされて
いる、電子顕微鏡で求めた平均粒径が０．０１〜１μm
の微細なセラミック粉末に適用されるとき、この発明に
よる効果が最も発揮される。
基本的には高圧分散装置を通過する径であれば問題なく
適用できるが、従来の分散方法では分散が困難とされて
いる、電子顕微鏡で求めた平均粒径が０．０１〜１μm
の微細なセラミック粉末に適用されるとき、この発明に
よる効果が最も発揮される。
【００５２】また、セラミック粉末は、添加物や夾雑物
を含有していてもよい。例えば、セラミック粉末がチタ
ン酸バリウムを主成分としている場合に、添加剤として
ガラス、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化バリウ
ム、希土類酸化物、酸化カルシウム成分などを含有して
いてもよい。
を含有していてもよい。例えば、セラミック粉末がチタ
ン酸バリウムを主成分としている場合に、添加剤として
ガラス、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化バリウ
ム、希土類酸化物、酸化カルシウム成分などを含有して
いてもよい。
【００５３】また、本願発明においては、溶媒（分散
媒）の種類に特別の制約はなく、例えば、トルエン、キ
シレンなどの芳香族系や、エチルアルコール、イソプロ
ピルアルコール、ブチルアルコールなどのアルコール系
などの溶媒を用いることが可能であり、また、これらの
うちの１種を単独で使用してもよく、また、混合して用
いてもよい。また、溶媒（分散媒）としては、さらに他
の有機溶剤を用いることも可能であり、また、水を用い
ることも可能である。また、本願発明において用いるこ
とが可能な分散剤には特別の制約はなく、カルボン酸
塩、スルホン酸塩、リン酸塩などの種々の分散剤を用い
ることが可能であり、好ましいものとして、ノニオン系
で、金属イオンを含まないポリカルボン酸タイプのもの
が例示される。
媒）の種類に特別の制約はなく、例えば、トルエン、キ
シレンなどの芳香族系や、エチルアルコール、イソプロ
ピルアルコール、ブチルアルコールなどのアルコール系
などの溶媒を用いることが可能であり、また、これらの
うちの１種を単独で使用してもよく、また、混合して用
いてもよい。また、溶媒（分散媒）としては、さらに他
の有機溶剤を用いることも可能であり、また、水を用い
ることも可能である。また、本願発明において用いるこ
とが可能な分散剤には特別の制約はなく、カルボン酸
塩、スルホン酸塩、リン酸塩などの種々の分散剤を用い
ることが可能であり、好ましいものとして、ノニオン系
で、金属イオンを含まないポリカルボン酸タイプのもの
が例示される。
【００５４】また、バインダーとしては、ポリビニルブ
チラール樹脂、セルロース系樹脂、アクリル樹脂、酢酸
ビニル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂などを用いるこ
とが可能であるが、目的とするセラミックグリーンシー
トに応じて、適宜その種類及び量が選択される。
チラール樹脂、セルロース系樹脂、アクリル樹脂、酢酸
ビニル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂などを用いるこ
とが可能であるが、目的とするセラミックグリーンシー
トに応じて、適宜その種類及び量が選択される。
【００５５】また、本願発明のセラミックスラリーは可
塑剤を含むことが可能であるが、その場合の可塑剤とし
ては、ポリエチレングリコール、フタル酸エステルなど
の種々の可塑剤が適宜用いられる。また、その量は、目
的とするセラミックグリーンシートに応じて選択され
る。なお、上述のセラミック粉末、分散媒、分散剤、可
塑剤などについての諸条件は、本願のすべての請求項の
発明にあてはまるものである。
塑剤を含むことが可能であるが、その場合の可塑剤とし
ては、ポリエチレングリコール、フタル酸エステルなど
の種々の可塑剤が適宜用いられる。また、その量は、目
的とするセラミックグリーンシートに応じて選択され
る。なお、上述のセラミック粉末、分散媒、分散剤、可
塑剤などについての諸条件は、本願のすべての請求項の
発明にあてはまるものである。
【００５６】以下に、具体的な実施例を示して、本願発
明をさらに詳しく説明する。 ［実施例１］ まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料１００重量
部（添加成分を含むセラミック粉末で、平均塩基量は４
０μmol／g）に対し、平均酸量９６０μmol／ｇのアニ
オン系分散剤２重量部（日本油脂（株）製）（粉末の総
塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、ア
クリルバインダー１０重量部をトルエン７０重量部及び
エチルアルコール７０重量部に溶解し、９９％カットろ
過精度で、目開きが１μmのフィルターにてろ過するこ
とにより調製したろ過バインダー溶液、可塑剤としてフ
タル酸エステルであるジオクチルフタレイト（以下「Ｄ
ＯＰ」）１．４重量部を配合するとともに、これに、直
径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を添加する。 次いで、この配合スラリーを、５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。 それから、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕ス
ラリーを、高圧分散装置により、圧力１３００kg／c
m２、処理量３００cc／minで２０回処理してセラミック
グリーンシート製造用のセラミックスラリー（最終分散
スラリー）を得る。
明をさらに詳しく説明する。 ［実施例１］ まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料１００重量
部（添加成分を含むセラミック粉末で、平均塩基量は４
０μmol／g）に対し、平均酸量９６０μmol／ｇのアニ
オン系分散剤２重量部（日本油脂（株）製）（粉末の総
塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、ア
クリルバインダー１０重量部をトルエン７０重量部及び
エチルアルコール７０重量部に溶解し、９９％カットろ
過精度で、目開きが１μmのフィルターにてろ過するこ
とにより調製したろ過バインダー溶液、可塑剤としてフ
タル酸エステルであるジオクチルフタレイト（以下「Ｄ
ＯＰ」）１．４重量部を配合するとともに、これに、直
径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を添加する。 次いで、この配合スラリーを、５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。 それから、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕ス
ラリーを、高圧分散装置により、圧力１３００kg／c
m２、処理量３００cc／minで２０回処理してセラミック
グリーンシート製造用のセラミックスラリー（最終分散
スラリー）を得る。
【００５７】そして、このようにして得たセラミックス
ラリーの分散性を、マイクロトラック社製の粒度分布測
定装置により評価した。その結果、粒度分布の積算９０
％粒子径（Ｄ９０）は０．４５μmであった。また、こ
のセラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱
バインダーを行った後、比表面積を測定したところ、元
の比表面積に対する増加率は７．７％であった。
ラリーの分散性を、マイクロトラック社製の粒度分布測
定装置により評価した。その結果、粒度分布の積算９０
％粒子径（Ｄ９０）は０．４５μmであった。また、こ
のセラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱
バインダーを行った後、比表面積を測定したところ、元
の比表面積に対する増加率は７．７％であった。
【００５８】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは６１nmで、密度比は０．９
８であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは６１nmで、密度比は０．９
８であった。
【００５９】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、図１に示すように、セラミック素子１中に内部電
極２が配設されているとともに、セラミック素子１の両
端部に、交互に異なる側の端面に引き出された内部電極
２と導通するように一対の外部電極３ａ，３ｂが配設さ
れた構造を有する積層セラミックコンデンサを製造し
た。
いて、図１に示すように、セラミック素子１中に内部電
極２が配設されているとともに、セラミック素子１の両
端部に、交互に異なる側の端面に引き出された内部電極
２と導通するように一対の外部電極３ａ，３ｂが配設さ
れた構造を有する積層セラミックコンデンサを製造し
た。
【００６０】なお、積層セラミックコンデンサの製造方
法は以下の通りである。 まず、上述のようにして作製したセラミックグリーン
シートに、Ｎｉペーストをスクリーン印刷することによ
り、容量形成用の内部電極が配設された電極配設シート
を形成する。 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数（ここでは７０層）積層し、さらにその上下両面側
に電極の配設されていないセラミックグリーンシート
（外層用シート）２１を積層、圧着することにより、各
内部電極２の一端側が交互に異なる側の端面に引き出さ
れた積層体（積層圧着体）を形成する。 そして、この積層圧着体を、ダイサーにより所定のサ
イズにカットした後、脱バインダー及び焼成を行う。脱
バインダーは、窒素雰囲気中で熱処理することにより行
う。また、焼成は、弱還元性雰囲気で所定の温度に加熱
することにより行う。 それから、焼成後の積層体（セラミック素子）１の両
端部に銀を導電成分とする導電性ペーストを塗布、焼付
けすることにより、内部電極２と導通する外部電極３
ａ，３ｂ（図１）を形成する。これにより、図１に示す
ような、Ｎｉを内部電極２とする積層セラミックコンデ
ンサが得られる。
法は以下の通りである。 まず、上述のようにして作製したセラミックグリーン
シートに、Ｎｉペーストをスクリーン印刷することによ
り、容量形成用の内部電極が配設された電極配設シート
を形成する。 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数（ここでは７０層）積層し、さらにその上下両面側
に電極の配設されていないセラミックグリーンシート
（外層用シート）２１を積層、圧着することにより、各
内部電極２の一端側が交互に異なる側の端面に引き出さ
れた積層体（積層圧着体）を形成する。 そして、この積層圧着体を、ダイサーにより所定のサ
イズにカットした後、脱バインダー及び焼成を行う。脱
バインダーは、窒素雰囲気中で熱処理することにより行
う。また、焼成は、弱還元性雰囲気で所定の温度に加熱
することにより行う。 それから、焼成後の積層体（セラミック素子）１の両
端部に銀を導電成分とする導電性ペーストを塗布、焼付
けすることにより、内部電極２と導通する外部電極３
ａ，３ｂ（図１）を形成する。これにより、図１に示す
ような、Ｎｉを内部電極２とする積層セラミックコンデ
ンサが得られる。
【００６１】上記のようにして製造した積層セラミック
コンデンサのショート率（ショート発生率）を測定した
結果、２．８％と良好であった。また、静電容量の温度
特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。
コンデンサのショート率（ショート発生率）を測定した
結果、２．８％と良好であった。また、静電容量の温度
特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。
【００６２】［実施例２］ まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料１００重量
部（主成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量
は４０μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂
（株）製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の
総塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、
トルエンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合すると
ともに、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を
添加する。 次いで、この配合スラリーを５時間ボールミルにより
混合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、これに、予め、バインダーとしてアク
リル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤としてフタ
ル酸エステルであるジオクチルフタレイト（ＤＯＰ）
１．４重量部、溶媒としてトルエン３５重量部とエタノ
ール３５重量部をあわせて撹拌溶解し、９９％カットろ
過精度で、目開きが１μmのフィルターにてろ過するこ
とにより調製しておいたろ過バインダー溶液を添加す
る。 次いで、高圧分散装置により、圧力１３００kg／c
m２、処理量３００cc／minで１５回処理してセラミック
グリーンシート製造用のセラミックスラリー（最終分散
スラリー）を得る。
部（主成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量
は４０μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂
（株）製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の
総塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、
トルエンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合すると
ともに、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を
添加する。 次いで、この配合スラリーを５時間ボールミルにより
混合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、これに、予め、バインダーとしてアク
リル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤としてフタ
ル酸エステルであるジオクチルフタレイト（ＤＯＰ）
１．４重量部、溶媒としてトルエン３５重量部とエタノ
ール３５重量部をあわせて撹拌溶解し、９９％カットろ
過精度で、目開きが１μmのフィルターにてろ過するこ
とにより調製しておいたろ過バインダー溶液を添加す
る。 次いで、高圧分散装置により、圧力１３００kg／c
m２、処理量３００cc／minで１５回処理してセラミック
グリーンシート製造用のセラミックスラリー（最終分散
スラリー）を得る。
【００６３】そして、このようにして得たセラミックス
ラリーの分散性を、マイクロトラック社製の粒度分布測
定装置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．４４μ
mであった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、
５００℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積
を測定したところ、元の比表面積に対する増加率は７．
８％であった。
ラリーの分散性を、マイクロトラック社製の粒度分布測
定装置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．４４μ
mであった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、
５００℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積
を測定したところ、元の比表面積に対する増加率は７．
８％であった。
【００６４】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５９nmで、密度比は０．９
９であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５９nmで、密度比は０．９
９であった。
【００６５】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを製造した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記実施例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。製造した積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、２．９％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。
いて積層セラミックコンデンサを製造した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記実施例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。製造した積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、２．９％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。
【００６６】［実施例３］ 市販の粒径０．２μmの誘電体材料１００重量部（主
成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量は４０
μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂（株）
製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の総塩基
量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、トルエ
ンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合するととも
に、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を添加
する。 それから、この配合スラリーを５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００kg
／cm２、処理量３００cc／minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダーと
してアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤と
してフタル酸エステル（ＤＯＰ）１．４重量部、溶媒と
してトルエンとエタノールそれぞれ３５重量部をあわせ
て撹拌溶解し、９９％カットろ過精度で、目開きが１μ
mのフィルターにてろ過することにより調製しておいた
ろ過バインダー溶液を添加する。 それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３０
０kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。
成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量は４０
μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂（株）
製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の総塩基
量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、トルエ
ンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合するととも
に、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を添加
する。 それから、この配合スラリーを５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００kg
／cm２、処理量３００cc／minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダーと
してアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤と
してフタル酸エステル（ＤＯＰ）１．４重量部、溶媒と
してトルエンとエタノールそれぞれ３５重量部をあわせ
て撹拌溶解し、９９％カットろ過精度で、目開きが１μ
mのフィルターにてろ過することにより調製しておいた
ろ過バインダー溶液を添加する。 それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３０
０kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。
【００６７】そして、このようにして得たセラミックス
ラリー（最終分散スラリー）の分散性をマイクロトラッ
ク社製の粒度分布測定装置により評価した。その結果、
Ｄ９０は０．４３μmであった。また、このセラミック
スラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを
行った後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に
対する増加率は８．２％であった。
ラリー（最終分散スラリー）の分散性をマイクロトラッ
ク社製の粒度分布測定装置により評価した。その結果、
Ｄ９０は０．４３μmであった。また、このセラミック
スラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを
行った後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に
対する増加率は８．２％であった。
【００６８】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５４nmで、密度比は１．０
０であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５４nmで、密度比は１．０
０であった。
【００６９】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、実施例１の場合と同様の手順で、積層セラミック
コンデンサを製造した。得られた積層セラミックコンデ
ンサのショート率を測定した結果、２．６％と良好であ
った。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足する
ものであった。
いて、実施例１の場合と同様の手順で、積層セラミック
コンデンサを製造した。得られた積層セラミックコンデ
ンサのショート率を測定した結果、２．６％と良好であ
った。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足する
ものであった。
【００７０】［実施例４］ まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料１００重量
部（主成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量
は４０μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂
（株）製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の
総塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、
トルエンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合すると
ともに、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を
添加する。 それから、この配合スラリーを５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００kg
／cm２、処理量３００cc／minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダーと
してアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤と
してフタル酸エステル（ＤＯＰ）１．４重量部、溶媒と
してトルエンとエタノールそれぞれ３５重量部をあわせ
て撹拌溶解し、さらに、６５℃で５時間、加熱還流を行
った後、９９％カットろ過精度で、目開きが１μmのフ
ィルターにてろ過することにより調製しておいたろ過バ
インダー溶液を添加する。 それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３０
０kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。
部（主成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量
は４０μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂
（株）製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の
総塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、
トルエンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合すると
ともに、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を
添加する。 それから、この配合スラリーを５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００kg
／cm２、処理量３００cc／minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダーと
してアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤と
してフタル酸エステル（ＤＯＰ）１．４重量部、溶媒と
してトルエンとエタノールそれぞれ３５重量部をあわせ
て撹拌溶解し、さらに、６５℃で５時間、加熱還流を行
った後、９９％カットろ過精度で、目開きが１μmのフ
ィルターにてろ過することにより調製しておいたろ過バ
インダー溶液を添加する。 それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３０
０kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。
【００７１】このようにして得たセラミックスラリー
（最終分散スラリー）の分散性をマイクロトラック社製
の粒度分布測定装置により評価した。その結果、Ｄ９０
は０．４２μmであった。また、このセラミックスラリ
ーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを行った
後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に対する
増加率は８．１％であった。
（最終分散スラリー）の分散性をマイクロトラック社製
の粒度分布測定装置により評価した。その結果、Ｄ９０
は０．４２μmであった。また、このセラミックスラリ
ーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを行った
後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に対する
増加率は８．１％であった。
【００７２】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５５nmで、密度比は１．０
０であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５５nmで、密度比は１．０
０であった。
【００７３】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを製造した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、１．４％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを製造した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、１．４％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
【００７４】［実施例５］ まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料１００重量
部（主成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量
は４０μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂
（株）製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の
総塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、
トルエンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合すると
ともに、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を
添加する。 それから、このスラリーを５時間ボールミルにより混
合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００kg
／cm２、処理量３００cc／minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダーと
してアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤と
してフタル酸エステル（ＤＯＰ）１．４重量部、溶媒と
してトルエンとエタノールそれぞれ３５重量部をあわせ
て撹拌溶解した後、さらに、高圧分散装置により、圧力
１０００kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理し
た後、９９％カットろ過精度で、目開きが０．１μmの
フィルターにてろ過することにより調製しておいたろ過
バインダー溶液を添加する。 それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３０
０kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。
部（主成分及び添加成分を含む。また全ての平均塩基量
は４０μmol／g）に対し、アニオン系分散剤（日本油脂
（株）製、平均酸量９６０μmol／g）２重量部（粉末の
総塩基量に対し、分散剤の総酸量が４８％となる量）、
トルエンとエタノールそれぞれ３５重量部を配合すると
ともに、直径２mmのジルコニア製の玉石５００重量部を
添加する。 それから、このスラリーを５時間ボールミルにより混
合・解砕する。 その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕スラ
リーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００kg
／cm２、処理量３００cc／minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダーと
してアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤と
してフタル酸エステル（ＤＯＰ）１．４重量部、溶媒と
してトルエンとエタノールそれぞれ３５重量部をあわせ
て撹拌溶解した後、さらに、高圧分散装置により、圧力
１０００kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理し
た後、９９％カットろ過精度で、目開きが０．１μmの
フィルターにてろ過することにより調製しておいたろ過
バインダー溶液を添加する。 それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３０
０kg／cm２、処理量３００cc／minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。
【００７５】このようにして得たセラミックスラリー
（最終分散スラリー）の分散性をマイクロトラック社製
の粒度分布測定装置により評価した。その結果、Ｄ９０
は０．４１μmであった。また、このセラミックスラリ
ーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを行った
後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に対する
増加率は８．２％であった。
（最終分散スラリー）の分散性をマイクロトラック社製
の粒度分布測定装置により評価した。その結果、Ｄ９０
は０．４１μmであった。また、このセラミックスラリ
ーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを行った
後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に対する
増加率は８．２％であった。
【００７６】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５３nmで、密度比は１．０
０であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは５３nmで、密度比は１．０
０であった。
【００７７】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、０．６％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、０．６％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
【００７８】［実施例６］バインダーをポリビニルブチ
ラールに変更したこと以外は、上記実施例１と同じ条件
でセラミックスラリーを製造した。このセラミックスラ
リーの分散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装
置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．４４μmで
あった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、５０
０℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積を測
定したところ、元の比表面積に対する増加率は７．８％
であった。
ラールに変更したこと以外は、上記実施例１と同じ条件
でセラミックスラリーを製造した。このセラミックスラ
リーの分散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装
置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．４４μmで
あった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、５０
０℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積を測
定したところ、元の比表面積に対する増加率は７．８％
であった。
【００７９】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは６０nmで、密度比は０．９
９であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは６０nmで、密度比は０．９
９であった。
【００８０】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、２．８％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、２．８％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
【００８１】[実施例７］トルエンとエタノールをそれ
ぞれ８０重量部となるように調合したこと以外は、上記
実施例６と同じ条件でセラミックスラリーを製造した。
ぞれ８０重量部となるように調合したこと以外は、上記
実施例６と同じ条件でセラミックスラリーを製造した。
【００８２】このセラミックスラリーの分散性をマイク
ロトラック社製の粒度分布測定装置により評価した。そ
の結果、Ｄ９０は０．４５μmであった。このときのス
ラリーの粘度は、０．００８Pasであった。また、この
セラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バ
インダーを行った後、比表面積を測定したところ、元の
比表面積に対する増加率は７．７％であった。
ロトラック社製の粒度分布測定装置により評価した。そ
の結果、Ｄ９０は０．４５μmであった。このときのス
ラリーの粘度は、０．００８Pasであった。また、この
セラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バ
インダーを行った後、比表面積を測定したところ、元の
比表面積に対する増加率は７．７％であった。
【００８３】次に、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは６１nmで、密度比は０．９
８であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、作製したセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは６１nmで、密度比は０．９
８であった。
【００８４】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、２．９％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、２．９％と良好で
あった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足す
るものであった。
【００８５】[実施例８]分散剤の添加量を２重量部から
６重量部（粉末の総塩基量に対し、分散剤の総酸量が１
４４％）としたこと以外は、上記実施例１の場合と同様
の手順でセラミックスラリーを製造した。このようにし
て得たスラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒度
分布測定装置にて評価した結果、Ｄ９０は０．４３μm
であった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、５
００℃に加熱して脱バインダーした後、比表面積を測定
したところ、元の比表面積に対する増加率は６．１％で
あった。
６重量部（粉末の総塩基量に対し、分散剤の総酸量が１
４４％）としたこと以外は、上記実施例１の場合と同様
の手順でセラミックスラリーを製造した。このようにし
て得たスラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒度
分布測定装置にて評価した結果、Ｄ９０は０．４３μm
であった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、５
００℃に加熱して脱バインダーした後、比表面積を測定
したところ、元の比表面積に対する増加率は６．１％で
あった。
【００８６】また、このセラミックスラリーを用いて、
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。このセラミックグリーンシートのＲａは５
５nmであり、密度比は１．００であった。
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。このセラミックグリーンシートのＲａは５
５nmであり、密度比は１．００であった。
【００８７】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。上記積層セラミックコンデン
サのショート率を測定した結果、１．２％と良好であっ
た。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するも
のであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。上記積層セラミックコンデン
サのショート率を測定した結果、１．２％と良好であっ
た。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するも
のであった。
【００８８】［実施例９］分散剤の添加量を２重量部か
ら０．５重量部（粉末の総塩基量に対し、分散剤の総酸
量が１２％）としたこと以外は、実施例１と同様にして
セラミックスラリーを製造した。このようにして得たセ
ラミックスラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒
度分布測定装置にて評価した結果、Ｄ９０は０．４７μ
mであった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、
５００℃に加熱して脱バインダーした後、比表面積を測
定したところ、元の比表面積に対する増加率は９．２％
であった。
ら０．５重量部（粉末の総塩基量に対し、分散剤の総酸
量が１２％）としたこと以外は、実施例１と同様にして
セラミックスラリーを製造した。このようにして得たセ
ラミックスラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒
度分布測定装置にて評価した結果、Ｄ９０は０．４７μ
mであった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、
５００℃に加熱して脱バインダーした後、比表面積を測
定したところ、元の比表面積に対する増加率は９．２％
であった。
【００８９】また、このセラミックスラリーを用いて、
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。得られたセラミックグリーンシートのＲａ
は６６nmであり、密度比は０．９７であった。
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。得られたセラミックグリーンシートのＲａ
は６６nmであり、密度比は０．９７であった。
【００９０】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１と同様の手順で、積層セラミックコ
ンデンサを作製した。この積層セラミックコンデンサの
ショート率を測定した結果、１．７％と良好であった。
また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するもので
あった。
いて、上記実施例１と同様の手順で、積層セラミックコ
ンデンサを作製した。この積層セラミックコンデンサの
ショート率を測定した結果、１．７％と良好であった。
また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するもので
あった。
【００９１】［比較例１］上記実施例１では、アクリル
バインダー１０重量部を溶媒（トルエン７０重量部及び
エチルアルコール７０重量部）に溶解し、９９％カット
ろ過精度で、目開きが１μmのフィルターにてろ過する
ことにより調製したろ過バインダー溶液を用いたが、こ
れに対して、アクリルバインダー１０重量部をそのまま
配合した以外は上記実施例１と同じ条件でセラミックス
ラリーを製造した。この比較例１の方法で製造したセラ
ミックスラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒度
分布測定装置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．
４６μmであった。
バインダー１０重量部を溶媒（トルエン７０重量部及び
エチルアルコール７０重量部）に溶解し、９９％カット
ろ過精度で、目開きが１μmのフィルターにてろ過する
ことにより調製したろ過バインダー溶液を用いたが、こ
れに対して、アクリルバインダー１０重量部をそのまま
配合した以外は上記実施例１と同じ条件でセラミックス
ラリーを製造した。この比較例１の方法で製造したセラ
ミックスラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒度
分布測定装置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．
４６μmであった。
【００９２】また、このセラミックスラリーを乾燥し、
５００℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積
を測定したところ、元の比表面積に対する増加率は７．
８％であった。また、このセラミックスラリーを用い
て、上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシ
ートを作製した。そして、得られたセラミックグリーン
シートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定
し、さらにセラミックグリーンシートの密度比として、
実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求め
た。その結果、Ｒａは６３nmで、密度比は０．９７であ
った。
５００℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積
を測定したところ、元の比表面積に対する増加率は７．
８％であった。また、このセラミックスラリーを用い
て、上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシ
ートを作製した。そして、得られたセラミックグリーン
シートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定
し、さらにセラミックグリーンシートの密度比として、
実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求め
た。その結果、Ｒａは６３nmで、密度比は０．９７であ
った。
【００９３】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、ショート率は１８
％と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを
満足するものであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、ショート率は１８
％と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを
満足するものであった。
【００９４】［比較例２］分散機を上記実施例１〜９で
用いた高圧分散装置から、サンドミルに変えたこと以外
は、上記実施例１と同様の条件でセラミックスラリーを
製造した。この比較例２の方法で製造したセラミックス
ラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定
装置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．６２μm
であった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、５
００℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積を
測定したところ、元の比表面積に対する増加率は３０．
３％であった。
用いた高圧分散装置から、サンドミルに変えたこと以外
は、上記実施例１と同様の条件でセラミックスラリーを
製造した。この比較例２の方法で製造したセラミックス
ラリーの分散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定
装置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．６２μm
であった。また、このセラミックスラリーを乾燥し、５
００℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積を
測定したところ、元の比表面積に対する増加率は３０．
３％であった。
【００９５】また、このセラミックスラリーを用いて、
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。そして、得られたセラミックグリーンシー
トの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定し、
さらにセラミックグリーンシートの密度比として、実測
密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求めた。
その結果、Ｒａは１１３nmで、密度比は０．８４であっ
た。
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。そして、得られたセラミックグリーンシー
トの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定し、
さらにセラミックグリーンシートの密度比として、実測
密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求めた。
その結果、Ｒａは１１３nmで、密度比は０．８４であっ
た。
【００９６】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、ショート率は５１
％と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを
満足するものではなかった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定した結果、ショート率は５１
％と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを
満足するものではなかった。
【００９７】［比較例３］高圧分散装置によりスラリー
を分散する際の圧力を１３００kg／cm２から５０kg／cm
２に変更したこと以外は、上記実施例１と同様の条件で
セラミックスラリーを製造するとともに、セラミックス
ラリーからセラミックグリーンシートを作製した。この
比較例３の方法で製造したセラミックスラリーの分散性
をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置により評価
した。その結果、Ｄ９０は０．６１μmであった。ま
た、このセラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱
して脱バインダーを行った後、比表面積を測定したとこ
ろ、元の比表面積に対する増加率は７．２％であった。
を分散する際の圧力を１３００kg／cm２から５０kg／cm
２に変更したこと以外は、上記実施例１と同様の条件で
セラミックスラリーを製造するとともに、セラミックス
ラリーからセラミックグリーンシートを作製した。この
比較例３の方法で製造したセラミックスラリーの分散性
をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置により評価
した。その結果、Ｄ９０は０．６１μmであった。ま
た、このセラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱
して脱バインダーを行った後、比表面積を測定したとこ
ろ、元の比表面積に対する増加率は７．２％であった。
【００９８】また、このセラミックスラリーを用いて、
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。そして、得られたセラミックグリーンシー
トの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定し、
さらにセラミックグリーンシートの密度比として、実測
密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求めた。
その結果、Ｒａは１１１nmで、密度比は０．８２であっ
た。
上記実施例１と同様の方法でセラミックグリーンシート
を作製した。そして、得られたセラミックグリーンシー
トの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定し、
さらにセラミックグリーンシートの密度比として、実測
密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求めた。
その結果、Ｒａは１１１nmで、密度比は０．８２であっ
た。
【００９９】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定したが、ショート率は４６％
と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満
足するものであった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定したが、ショート率は４６％
と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満
足するものであった。
【０１００】［比較例４］分散剤（アニオン系分散剤）
の添加量を２重量部から０．２重量部（粉末の総塩基量
に対し、分散剤の総酸量が４．８％）としたこと以外
は、上記実施例１と同様の条件でセラミックスラリーを
製造した。このようにして得たセラミックスラリーの分
散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置にて評
価した結果、Ｄ９０は０．５９μmであった。また、こ
のセラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱
バインダーした後、比表面積を測定したところ、元の比
表面積に対する増加率は９．９％であった。
の添加量を２重量部から０．２重量部（粉末の総塩基量
に対し、分散剤の総酸量が４．８％）としたこと以外
は、上記実施例１と同様の条件でセラミックスラリーを
製造した。このようにして得たセラミックスラリーの分
散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置にて評
価した結果、Ｄ９０は０．５９μmであった。また、こ
のセラミックスラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱
バインダーした後、比表面積を測定したところ、元の比
表面積に対する増加率は９．９％であった。
【０１０１】また、このセラミックスラリーを、ドクタ
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、得られたセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは１０９nmで、密度比は０．
８１であった。
ーブレード法によりシート状に成形してセラミックグリ
ーンシートを作製した。そして、得られたセラミックグ
リーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡によ
り測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比と
して、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）
を求めた。その結果、Ｒａは１０９nmで、密度比は０．
８１であった。
【０１０２】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定したが、ショート率は２２％
と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満
足しなかった。
いて、上記実施例１の場合と同様の手順で積層セラミッ
クコンデンサを作製した。得られた積層セラミックコン
デンサのショート率を測定したが、ショート率は２２％
と高かった。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満
足しなかった。
【０１０３】なお、上記実施例１〜９及び比較例１〜４
において得たセラミックスラリー（最終分散スラリー）
の分散性、脱バインダー後の比表面積増加率、作製した
セラミックグリーンシートの表面粗さ、密度比、セラミ
ックグリーンシートを用いて製造した積層セラミックコ
ンデンサのショート率及び静電容量の温度特性に関する
データを表１にまとめて示す。
において得たセラミックスラリー（最終分散スラリー）
の分散性、脱バインダー後の比表面積増加率、作製した
セラミックグリーンシートの表面粗さ、密度比、セラミ
ックグリーンシートを用いて製造した積層セラミックコ
ンデンサのショート率及び静電容量の温度特性に関する
データを表１にまとめて示す。
【０１０４】
【表１】
【０１０５】なお、本願発明は、上記の発明の実施の形
態及び実施例に限定されるものではなく、セラミック粉
末や分散媒の種類、媒体型分散法の種類、高圧分散を行
うのに用いる高圧分散装置の具体的な構成、分散剤、可
塑剤、帯電防止剤などの添加物の種類や添加量その他に
関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形
を加えることが可能である。
態及び実施例に限定されるものではなく、セラミック粉
末や分散媒の種類、媒体型分散法の種類、高圧分散を行
うのに用いる高圧分散装置の具体的な構成、分散剤、可
塑剤、帯電防止剤などの添加物の種類や添加量その他に
関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形
を加えることが可能である。
【０１０６】
【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
セラミックスラリーの製造方法は、バインダーとして、
溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより
調製したろ過バインダー溶液を用いるようにしているの
で、異物の混入の原因となりやすい、バインダー未溶解
物を確実に取り除くことが可能になり、セラミック粉末
に過度のダメージを与えることなく、セラミック粉末を
均一に分散させることが可能で、しかも異物の混入の少
ない、セラミック電子部品の製造に用いるのに適したセ
ラミックスラリーを効率よく製造することが可能にな
る。また、本願発明（請求項１）のセラミックスラリー
の製造方法は、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミッ
ク粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒
体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合・解
砕スラリーを調製し、この混合・解砕スラリーに、溶媒
にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより調製
したろ過バインダー溶液を添加し、１００kg／cm２以上
の圧力で高圧分散させるようにしているので、セラミッ
ク粉末が十分に分散されたセラミックスラリーを得るこ
とが可能になる。すなわち、媒体型分散法と高圧分散法
を組み合わせてセラミック粉末を分散させることによ
り、セラミック粉末の結晶性を損なったり、比表面積が
過度に大きくなったりすることを抑制しつつ、セラミッ
ク粉末を均一に分散させることが可能になるとともに、
バインダーとして、ろ過バインダー溶液を用いることに
より、異物の混入の少ない、セラミック電子部品の製造
に用いるのに適したセラミックスラリーを効率よく製造
することが可能になる。
セラミックスラリーの製造方法は、バインダーとして、
溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより
調製したろ過バインダー溶液を用いるようにしているの
で、異物の混入の原因となりやすい、バインダー未溶解
物を確実に取り除くことが可能になり、セラミック粉末
に過度のダメージを与えることなく、セラミック粉末を
均一に分散させることが可能で、しかも異物の混入の少
ない、セラミック電子部品の製造に用いるのに適したセ
ラミックスラリーを効率よく製造することが可能にな
る。また、本願発明（請求項１）のセラミックスラリー
の製造方法は、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミッ
ク粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒
体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合・解
砕スラリーを調製し、この混合・解砕スラリーに、溶媒
にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより調製
したろ過バインダー溶液を添加し、１００kg／cm２以上
の圧力で高圧分散させるようにしているので、セラミッ
ク粉末が十分に分散されたセラミックスラリーを得るこ
とが可能になる。すなわち、媒体型分散法と高圧分散法
を組み合わせてセラミック粉末を分散させることによ
り、セラミック粉末の結晶性を損なったり、比表面積が
過度に大きくなったりすることを抑制しつつ、セラミッ
ク粉末を均一に分散させることが可能になるとともに、
バインダーとして、ろ過バインダー溶液を用いることに
より、異物の混入の少ない、セラミック電子部品の製造
に用いるのに適したセラミックスラリーを効率よく製造
することが可能になる。
【０１０７】また、請求項２のセラミックスラリーの製
造方法のように、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ
過することにより調製したろ過バインダー溶液と、平均
粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散
剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分
散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得た
後、この混合・解砕スラリーを、高圧分散させるように
した場合にも、上記請求項１のセラミックスラリーの製
造方法の場合と同様の作用効果を得ることができる。
造方法のように、溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ
過することにより調製したろ過バインダー溶液と、平均
粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と分散
剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分
散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得た
後、この混合・解砕スラリーを、高圧分散させるように
した場合にも、上記請求項１のセラミックスラリーの製
造方法の場合と同様の作用効果を得ることができる。
【０１０８】また、請求項３のセラミックスラリーの製
造方法のように、セラミック粉末と溶媒と分散剤とを、
媒体型分散法により混合・解砕した混合・解砕スラリー
を、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散（一次高圧分
散）させることにより得た一次分散スラリーに、ろ過バ
インダー溶液を添加し、さらに１００kg／cm２以上の圧
力で高圧分散（二次高圧分散）させるようにした場合に
も、セラミック粉末に過度のダメージを与えることな
く、セラミック粉末を均一に分散させることが可能にな
り、高品質のセラミックスラリーを製造することが可能
になる。
造方法のように、セラミック粉末と溶媒と分散剤とを、
媒体型分散法により混合・解砕した混合・解砕スラリー
を、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散（一次高圧分
散）させることにより得た一次分散スラリーに、ろ過バ
インダー溶液を添加し、さらに１００kg／cm２以上の圧
力で高圧分散（二次高圧分散）させるようにした場合に
も、セラミック粉末に過度のダメージを与えることな
く、セラミック粉末を均一に分散させることが可能にな
り、高品質のセラミックスラリーを製造することが可能
になる。
【０１０９】また、請求項４のセラミックスラリーの製
造方法のように、セラミック粉末と溶媒と分散剤とを、
媒体型分散法により混合・解砕した一次混合・解砕スラ
リーに、ろ過バインダー溶液を添加し、再び、媒体型分
散法により混合・解砕することにより得られた二次混合
・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分
散させるようにした場合にも、セラミック粉末に過度の
ダメージを与えることなく、セラミック粉末を均一に分
散させることが可能になり、高品質のセラミックスラリ
ーを製造することが可能になる。
造方法のように、セラミック粉末と溶媒と分散剤とを、
媒体型分散法により混合・解砕した一次混合・解砕スラ
リーに、ろ過バインダー溶液を添加し、再び、媒体型分
散法により混合・解砕することにより得られた二次混合
・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分
散させるようにした場合にも、セラミック粉末に過度の
ダメージを与えることなく、セラミック粉末を均一に分
散させることが可能になり、高品質のセラミックスラリ
ーを製造することが可能になる。
【０１１０】また、請求項５のセラミックスラリーの製
造方法のように、ろ過バインダー溶液として、溶媒とバ
インダーとを混合し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧
分散させた後、ろ過することにより調製したろ過バイン
ダー溶液を用いるようにした場合、バインダーを直接添
加したり、溶媒に溶解した後にそのまま添加したりする
場合に生じるようなゲルの発生を抑制、防止して、セラ
ミック粉末の分散性をさらに向上させることが可能にな
る。
造方法のように、ろ過バインダー溶液として、溶媒とバ
インダーとを混合し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧
分散させた後、ろ過することにより調製したろ過バイン
ダー溶液を用いるようにした場合、バインダーを直接添
加したり、溶媒に溶解した後にそのまま添加したりする
場合に生じるようなゲルの発生を抑制、防止して、セラ
ミック粉末の分散性をさらに向上させることが可能にな
る。
【０１１１】また、請求項６のセラミックスラリーの製
造方法のように、ろ過バインダー溶液として、溶媒とバ
インダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１
００℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製し
たろ過バインダー溶液を用いるようにした場合、バイン
ダーを、より確実に溶解し、かつ、異物やμmサイズの
凝集物のない状態で添加することが可能になり、さらに
セラミック粉末の分散性を向上させることができるよう
になる。
造方法のように、ろ過バインダー溶液として、溶媒とバ
インダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１
００℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製し
たろ過バインダー溶液を用いるようにした場合、バイン
ダーを、より確実に溶解し、かつ、異物やμmサイズの
凝集物のない状態で添加することが可能になり、さらに
セラミック粉末の分散性を向上させることができるよう
になる。
【０１１２】また、請求項７のセラミックスラリーの製
造方法のように、バインダー溶液のろ過を、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが２μm以下のフィルターを用い
て行うようにした場合、確実にバインダー未溶解物を取
り除くことが可能になり、本願発明をより実効あらしめ
ることができる。
造方法のように、バインダー溶液のろ過を、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが２μm以下のフィルターを用い
て行うようにした場合、確実にバインダー未溶解物を取
り除くことが可能になり、本願発明をより実効あらしめ
ることができる。
【０１１３】また、請求項８のセラミックスラリーの製
造方法のように、分散スラリー（最終分散スラリー）の
粘度が０．００３〜０．１Pasとなるようにした場合、
シート状に成形してセラミックグリーンシートを作製す
る工程で用いるのに適したセラミックスラリーを得るこ
とができるようになり、本願発明をさらに実効あらしめ
ることができる。
造方法のように、分散スラリー（最終分散スラリー）の
粘度が０．００３〜０．１Pasとなるようにした場合、
シート状に成形してセラミックグリーンシートを作製す
る工程で用いるのに適したセラミックスラリーを得るこ
とができるようになり、本願発明をさらに実効あらしめ
ることができる。
【０１１４】また、請求項９のセラミックスラリーの製
造方法のように、媒体型分散法として、ボールミル又は
ビーズミルを用いる方法を適用した場合、確実にセラミ
ックの凝結粒子を解砕することができるようになり、本
願発明を実効あらしめることができる。
造方法のように、媒体型分散法として、ボールミル又は
ビーズミルを用いる方法を適用した場合、確実にセラミ
ックの凝結粒子を解砕することができるようになり、本
願発明を実効あらしめることができる。
【０１１５】また、請求項１０のセラミックスラリーの
製造方法のように、分散剤として、アニオン系分散剤を
用い、その添加量を、アニオン系分散剤の総酸量が、セ
ラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０％となるような
量とすることにより、セラミックスラリーをより効率よ
く分散させることが可能になり、本願発明をさらに実効
あらしめることができる。
製造方法のように、分散剤として、アニオン系分散剤を
用い、その添加量を、アニオン系分散剤の総酸量が、セ
ラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０％となるような
量とすることにより、セラミックスラリーをより効率よ
く分散させることが可能になり、本願発明をさらに実効
あらしめることができる。
【０１１６】また、請求項１１のセラミックスラリーの
製造方法のように、セラミックスラリー（最終分散スラ
リー）中に、製造されるべきセラミックグリーンシート
の厚さより寸法の大きい物質を存在させないようにした
場合、セラミックスラリーをシート状に成形してセラミ
ックグリーンシートを作製した場合に、表面に突起など
がなく、平滑性、均一性に優れたセラミックグリーンシ
ートを確実に得ることが可能になる。
製造方法のように、セラミックスラリー（最終分散スラ
リー）中に、製造されるべきセラミックグリーンシート
の厚さより寸法の大きい物質を存在させないようにした
場合、セラミックスラリーをシート状に成形してセラミ
ックグリーンシートを作製した場合に、表面に突起など
がなく、平滑性、均一性に優れたセラミックグリーンシ
ートを確実に得ることが可能になる。
【０１１７】また、請求項１２のセラミックスラリーの
製造方法のように、セラミックスラリーを、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが、セラミックグリ−ンシートの
厚みの５倍以下であるフィルターにてろ過することによ
り、セラミックスラリーをシート状に成形してセラミッ
クグリーンシートを製造する場合に、製造されるべきセ
ラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい物質の
混入により、表面に突起が生じたりすることを防止し
て、平滑性や均一性に優れたセラミックグリーンシート
を確実に得ることが可能になる。
製造方法のように、セラミックスラリーを、９９％カッ
トろ過精度で、目開きが、セラミックグリ−ンシートの
厚みの５倍以下であるフィルターにてろ過することによ
り、セラミックスラリーをシート状に成形してセラミッ
クグリーンシートを製造する場合に、製造されるべきセ
ラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい物質の
混入により、表面に突起が生じたりすることを防止し
て、平滑性や均一性に優れたセラミックグリーンシート
を確実に得ることが可能になる。
【０１１８】また、本願発明（請求項１３）のセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、請求項１〜１２のいず
れかに記載の製造方法により製造されたセラミックスラ
リーを、所定の基材上にシート状に成形して、厚さが
０．１〜１０μmのセラミックグリーンシートを形成す
るようにしているが、請求項１〜１２のいずれかに記載
の製造方法により製造されたセラミックスラリーにおい
ては、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末が
分散媒に十分に分散しているため、これをシート状に成
形することにより、厚さが薄く（０．１〜５μm）、表
面の円滑性に優れ、高密度で、引張り強度が大きく、し
かも、バインダーや可塑剤などの樹脂の分布が均一な、
積層セラミック電子部品の製造に用いるのに適したセラ
ミックグリーンシートを得ることが可能になる。
クグリーンシートの製造方法は、請求項１〜１２のいず
れかに記載の製造方法により製造されたセラミックスラ
リーを、所定の基材上にシート状に成形して、厚さが
０．１〜１０μmのセラミックグリーンシートを形成す
るようにしているが、請求項１〜１２のいずれかに記載
の製造方法により製造されたセラミックスラリーにおい
ては、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末が
分散媒に十分に分散しているため、これをシート状に成
形することにより、厚さが薄く（０．１〜５μm）、表
面の円滑性に優れ、高密度で、引張り強度が大きく、し
かも、バインダーや可塑剤などの樹脂の分布が均一な、
積層セラミック電子部品の製造に用いるのに適したセラ
ミックグリーンシートを得ることが可能になる。
【０１１９】また、請求項１４記載の積層セラミック電
子部品の製造方法は、請求項１〜１２のいずれかに記載
の製造方法により製造されたセラミックスラリーを用い
て高密度で、表面の平滑性に優れたセラミックグリーン
シートを形成し、このセラミックグリーンシートを卑金
属内部電極とともに積層、切断、焼成した後、外部電極
を形成するようにしているので、ショート率が低く、信
頼性の高い積層セラミック電子部品を確実に製造するこ
とが可能になる。また、セラミック粉末が大きなダメー
ジを受けていないため、目標とする特性の再現性を向上
させることができる。
子部品の製造方法は、請求項１〜１２のいずれかに記載
の製造方法により製造されたセラミックスラリーを用い
て高密度で、表面の平滑性に優れたセラミックグリーン
シートを形成し、このセラミックグリーンシートを卑金
属内部電極とともに積層、切断、焼成した後、外部電極
を形成するようにしているので、ショート率が低く、信
頼性の高い積層セラミック電子部品を確実に製造するこ
とが可能になる。また、セラミック粉末が大きなダメー
ジを受けていないため、目標とする特性の再現性を向上
させることができる。
【図１】セラミックグリーンシートを積層して製造され
る積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図であ
る。
る積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図であ
る。
【図２】積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図
である。
である。
１ セラミック素子 ２ 内部電極 ３ａ，３ｂ 外部電極 １１ 電極配設シート ２１ 外層用シート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 1/03 ６３０ Ｃ０４Ｂ 35/00 Ｄ Ｇ Ｆターム(参考） 4D063 FF01 FF35 GA05 4G030 BA01 BA09 CA08 GA11 GA14 GA16 GA17 4G036 AC36 4G056 AA01 BA01 5E001 AB03 AC09 AE00 AE01 AE02 AE03 AE04 AF06 AH00 AH01 AH05 AH06 AH09 AJ02
Claims (14)
- 【請求項１】セラミック電子部品の製造に用いられるセ
ラミックスラリーの製造方法において、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と
分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体
型分散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得
る混合・解砕工程と、 溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより
調製したろ過バインダー溶液を、前記混合・解砕スラリ
ーに添加し、１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散させ
ることにより分散スラリー（最終分散スラリー）を得る
高圧分散工程とを具備することを特徴とするセラミック
スラリーの製造方法。 - 【請求項２】セラミック電子部品の製造に用いられるセ
ラミックスラリーの製造方法において、 溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより
調製したろ過バインダー溶液と、平均粒径が０．０１〜
１μmのセラミック粉末と溶媒と分散剤とを、玉石やビ
ーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法により混合・
解砕して混合・解砕スラリーを得る混合・解砕工程と、 前記混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力
で高圧分散させることにより分散スラリー（最終分散ス
ラリー）を得る高圧分散工程とを具備することを特徴と
するセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項３】セラミック電子部品の製造に用いられるセ
ラミックスラリーの製造方法において、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と
分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体
型分散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得
る混合・解砕工程と、 前記混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の圧力
で高圧分散させることにより一次分散スラリーを得る一
次高圧分散工程と、 溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより
調製したろ過バインダー溶液を、前記一次分散スラリー
に添加し、さらに１００kg／cm２以上の圧力で高圧分散
させることにより二次分散スラリー（最終分散スラリ
ー）を得る二次高圧分散工程とを具備することを特徴と
するセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項４】セラミック電子部品の製造に用いられるセ
ラミックスラリーの製造方法において、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と溶媒と
分散剤とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体
型分散法により混合・解砕して一次混合・解砕スラリー
を得る一次混合・解砕工程と、 溶媒にバインダーを溶解させた後、ろ過することにより
調製したろ過バインダー溶液を、前記一次混合・解砕ス
ラリーに添加し、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる
媒体型分散法により混合・解砕して二次混合・解砕スラ
リーを得る二次混合・解砕工程と、 前記二次混合・解砕スラリーを、１００kg／cm２以上の
圧力で高圧分散させることにより分散スラリー（最終分
散スラリー）を得る高圧分散工程とを具備することを特
徴とするセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項５】前記ろ過バインダー溶液として、溶媒とバ
インダーとを混合し、１００kg／cm ２以上の圧力で高圧
分散させた後、ろ過することにより調製したろ過バイン
ダー溶液を用いることを特徴とする請求項１〜４のいず
れかに記載のセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項６】前記ろ過バインダー溶液として、溶媒とバ
インダーとを混合したバインダー混合溶液を、４０〜１
００℃で加熱還流させた後、ろ過することにより調製し
たろ過バインダー溶液を用いることを特徴とする請求項
１〜４のいずれかに記載のセラミックスラリーの製造方
法。 - 【請求項７】前記ろ過バインダー溶液として、９９％カ
ットろ過精度で、目開きが２μm以下のフィルターにて
ろ過することにより調製したろ過バインダー溶液を用い
ることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のセ
ラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項８】前記セラミックスラリー（最終分散スラリ
ー）の粘度が０．００３〜０．１Pasであることを特徴
とする請求項１〜７のいずれかに記載のセラミックスラ
リーの製造方法。 - 【請求項９】前記媒体型分散法がボールミル又はビーズ
ミルによる方法であることを特徴とする請求項１〜８の
いずれかに記載のセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項１０】前記分散剤として、アニオン系分散剤を
用い、その添加量を、アニオン系分散剤の総酸量が、前
記セラミック粉末の総塩基量の１０〜１５０％となるよ
うな量としたことを特徴とする請求項１〜９のいずれか
に記載のセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項１１】前記セラミックスラリー（最終分散スラ
リー）が、セラミックグリーンシートの製造に用いられ
るものであって、セラミックスラリー中に、製造される
べきセラミックグリーンシートの厚さより寸法の大きい
物質を存在させないようにすることを特徴とする請求項
１〜１０のいずれかに記載のセラミックスラリーの製造
方法。 - 【請求項１２】請求項１〜１１のいずれかに記載の製造
方法により製造されるセラミックスラリーを、９９％カ
ットろ過精度で、目開きが、前記セラミックグリ−ンシ
ートの厚みの５倍以下であるフィルターにてろ過するこ
とを特徴とするセラミックスラリーの製造方法。 - 【請求項１３】請求項１〜１２のいずれかに記載の製造
方法により製造されたセラミックスラリーを、所定の基
材上にシート状に成形して、厚さが０．１〜１０μmの
セラミックグリーンシートを形成することを特徴とする
セラミックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項１４】請求項１〜１２のいずれかに記載の製造
方法により製造されたセラミックスラリーを用いてセラ
ミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーン
シートを卑金属内部電極とともに積層、切断、焼成した
後、外部電極を形成することを特徴とする積層セラミッ
ク電子部品の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP34490299A JP3675264B2 (ja) | 1999-12-03 | 1999-12-03 | セラミックスラリー、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 |
| TW089124889A TW510848B (en) | 1999-12-03 | 2000-11-23 | Method for producing ceramic slurry, method for forming ceramic green sheet, and method for fabricating monolithic ceramic electronic component |
| KR10-2000-0071539A KR100393279B1 (ko) | 1999-12-03 | 2000-11-29 | 세라믹 슬러리 제조방법, 세라믹 그린시트 형성방법, 및 모놀리식 세라믹 전자부품 제조방법 |
| US09/727,234 US6511564B2 (en) | 1999-12-03 | 2000-11-30 | Method for producing ceramic slurry, ceramic green sheet, and fabricating monolithic ceramic electronic component |
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|---|---|---|---|
| JP34490299A JP3675264B2 (ja) | 1999-12-03 | 1999-12-03 | セラミックスラリー、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 |
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|---|---|
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ID=18372885
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|---|---|---|---|
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004038743A1 (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| WO2004067475A1 (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-12 | Tdk Corporation | グリーンシート用塗料とその製造方法、グリーンシートとその製造方法、及び電子部品の製造方法 |
| JP2006156202A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Tdk Corp | 印刷用誘電体ペーストの製造方法および積層セラミック部品の製造方法 |
| JP2010030796A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Ngk Insulators Ltd | セラミックスラリー組成物の製造方法 |
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Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2355947B (en) * | 1999-07-23 | 2002-02-20 | Murata Manufacturing Co | Method of producing ceramic slurry, ceramic slurry composition, ceramic green sheet and multilayer ceramic electronic part |
| JP2001114569A (ja) * | 1999-10-20 | 2001-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックスラリー組成物、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 |
| AU2003275665A1 (en) * | 2002-10-28 | 2004-05-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing multilayer ceramic capacitor |
| JP3783678B2 (ja) * | 2002-10-30 | 2006-06-07 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミック用原料粉末の製造方法、誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
| EP1457999A1 (en) * | 2003-03-12 | 2004-09-15 | ABC Taiwan Electronics Corporation | Micromesh material and micromesh mono-crystal high frequency capacitor and its producing method |
| WO2006013625A1 (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-09 | Tdk Corporation | 厚膜グリーンシート用塗料及びその製法、該塗料を用いた電子部品の製法 |
| JP4821197B2 (ja) * | 2004-08-10 | 2011-11-24 | Ｔｄｋ株式会社 | 剥離層用ペースト及び積層型電子部品の製造方法 |
| JP4403920B2 (ja) * | 2004-08-20 | 2010-01-27 | Ｔｄｋ株式会社 | 剥離層用ペーストの製造方法及び積層型電子部品の製造方法 |
| US7387755B2 (en) * | 2005-03-21 | 2008-06-17 | Praxair Technology, Inc. | Method of making a ceramic composite |
| US20080131673A1 (en) * | 2005-12-13 | 2008-06-05 | Yasuyuki Yamamoto | Method for Producing Metallized Ceramic Substrate |
| KR101187172B1 (ko) * | 2007-03-07 | 2012-09-28 | 도다 고교 가부시끼가이샤 | 페라이트 성형 시트, 소결 페라이트 기판 및 안테나 모듈 |
| US9165716B2 (en) * | 2011-06-24 | 2015-10-20 | Knowles Capital Formation, Inc. | High capacitance single layer capacitor |
| CN104589488B (zh) * | 2014-12-26 | 2016-10-05 | 华中科技大学 | 一种制备薄壁管状陶瓷坯体的方法 |
| CN105185588B (zh) * | 2015-09-22 | 2019-01-01 | 广东风华高新科技股份有限公司 | 多层陶瓷电容器的制备方法 |
| CN110970218A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-04-07 | 南京汇聚新材料科技有限公司 | 一种提高耐电压与耐绝缘阻抗的电容器 |
| CN111807846A (zh) * | 2020-07-08 | 2020-10-23 | 四川华瓷科技有限公司 | 干结陶瓷膜片浆料及浆化方法 |
| CN114634360B (zh) * | 2022-03-25 | 2022-09-30 | 深圳职业技术学院 | 一种锆钛酸铅光固化陶瓷浆料及其制备方法和应用 |
| CN116120064A (zh) * | 2022-11-30 | 2023-05-16 | 北京核力同创科技有限公司 | 一种加速器辐照靶件陶瓷片的制备方法及应用 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5915005B2 (ja) * | 1979-10-17 | 1984-04-07 | コニカ株式会社 | 分散方法 |
| KR920000160B1 (ko) * | 1984-03-15 | 1992-01-09 | 니혼 세끼유 가가꾸 가부시끼가이샤 | 세라믹용 수용성 공중합체성 결합제의 제조방법 |
| JPH04263902A (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-18 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック電子部品の製造方法 |
| US5852076A (en) * | 1994-11-13 | 1998-12-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Process for preparing a dispersion of hard particles in solvent |
| DE19536845A1 (de) * | 1995-10-02 | 1997-04-03 | Bayer Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von feinteiligen Feststoffdispersionen |
| JPH09157033A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-17 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造方法 |
| KR100510815B1 (ko) * | 1997-05-07 | 2005-10-24 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 무기입자의 수성분산체 및 그의 제조방법 |
| JP4066525B2 (ja) * | 1997-07-28 | 2008-03-26 | 松下電器産業株式会社 | 電極インキの製造方法及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法 |
-
1999
- 1999-12-03 JP JP34490299A patent/JP3675264B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-11-23 TW TW089124889A patent/TW510848B/zh not_active IP Right Cessation
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- 2000-12-01 CN CNB001352245A patent/CN1241721C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004038743A1 (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| US6947276B2 (en) | 2002-10-28 | 2005-09-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Process for producing laminated ceramic capacitor |
| WO2004067475A1 (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-12 | Tdk Corporation | グリーンシート用塗料とその製造方法、グリーンシートとその製造方法、及び電子部品の製造方法 |
| US7632369B2 (en) | 2003-01-29 | 2009-12-15 | Tdk Corporation | Green sheet slurry, green sheet, production method of green sheet slurry, production method of green sheet, and production method of electronic device |
| US7744711B2 (en) | 2003-09-12 | 2010-06-29 | Tdk Corporation | Manufacturing method of ceramic slurry, green sheet and multilayer ceramic device |
| JP2006156202A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Tdk Corp | 印刷用誘電体ペーストの製造方法および積層セラミック部品の製造方法 |
| JP4654673B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2011-03-23 | Ｔｄｋ株式会社 | 印刷用誘電体ペーストの製造方法および積層セラミック部品の製造方法 |
| JP2010030796A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Ngk Insulators Ltd | セラミックスラリー組成物の製造方法 |
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