JP2001154235A - 少なくとも１つのシステム絞りを有する光学結像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明によりシステム絞りの開口部直径に依
存して決定されるシステム絞りのアパーチャの位置によ
り達成されることを目的とする。 【解決手段】 システム絞り(１)を有する光学結像装
置、特にレンズシステム。システム絞り(１)のアパーチ
ャは、その開口部直径(Ｄ)が調節可能である。システム
絞り(１)の光軸(４)に関するシステム絞り(１)のアパー
チャの軸方向位置は、システム絞り(１)の開口部直径
(Ｄ)に依存して決められる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも１つの
システム絞りを有する光学結像装置、特にレンズシステ
ムにおいて、そのシステム絞りのアパーチャの開口部直
径が調節可能な装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光学結像装置において、システム絞りと
して種々のタイプの絞りを用いることは公知である。開
口部直径を変えられるこれらの絞りによって、光学結像
装置を通過する光線束直径を連続的に変えることができ
る。結果として、用途によって、光学結像品質は、例え
ば、分解能、コントラストまたは被写界深度に関して影
響され得る。

【０００３】特に広く普及しているのは、少なくとも４
枚、ただし通常はより多くの絞り羽根を有するいわゆる
アイリス絞りで、これは一般に鎌状であり、一端が固定
マウント内に回転可能に取り付けられている。この場合
には、他端には案内装置としてピンが設けてあり、これ
は、回転リングの溝あるいはスロット付案内路に挿入さ
れており、回転リングを回すことにより、絞りの残りの
開口部直径が変えられるように絞り羽根が動かされる。

【０００４】高性能レンズシステム、特にリソグラフィ
ー方式で製造された半導体装置で使用されるものの場合
には、結像装置の品質を最適化するためにますます複雑
化する技術が用いられている。例えばレンズの表面コー
ティングなどのもっぱら光学的に作用する要素を最適化
することは、この点で技術的限界までなされてきたの
で、結像品質のさらなる向上は非常に多額の経費をかけ
なければ実現できない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従って、例えばテレセ
ンタリング(telecentering)エラーまたはその他のイメ
ージエラーを、光学・機械的装置、特に結像装置のシス
テム絞りを最適化することによって結像装置の光学特性
を改良することが本発明の目的である。

【０００６】この目的は、本発明によりシステム絞りの
開口部直径に依存して決定されるシステム絞りのアパー
チャの位置により達成される。

【０００７】

【課題を解決するための手段】光学分野での非常に複雑
な数学的または光学的計算により、驚くべきことに、開
口部直径に依存してシステム絞りの位置を変更すること
により、光学結像装置の結像品質に関して品質向上が得
られることが明らかにされた。この点で、システム絞り
の軸方向位置を変更することが疑いなくシステム絞りの
好ましい移動であるが、横方向移動または傾斜移動ある
いはこれら３種類の移動のどのような所望の組み合せも
考えられる。

【０００８】レンズシステムの最適化方法はほぼ使い尽
くされていると仮定すると、本発明により達成され得る
利点および有利な改良によって、結像品質を向上させる
比較的単純かつ好ましい可能な方法がもたらされる。

【０００９】とりわけ半導体素子またはコンピュータチ
ップの製造分野においては、特に高い要求が結像装置の
結像品質と分解能に課されなければならない。これは、
結像装置が、チップレイアウト用に縮小した形で、感光
層で被覆されたシリコンウエハー表面に、一見しては機
械的に製造できそうなパターンではあるが、実は極めて
微細なパターンを結像するのに使用されるからである。
シリコンウエハーが通過する様々なエッチング法を用
い、コンピュータチップまたは半導体素子の回路がこの
ようにして照射された微細構造から形成される。シリコ
ンウエハー表面のチップレイアウト用パターンの結像に
おける、結像装置が引き起こす極めて微細なずれおよび
歪みは、それだけで最終的なコンピュータチップの微細
構造における線接触、短絡またはその他の電子的機能不
全につながるのに十分である。従って、特にコンピュー
タチップおよび半導体素子の製造に使用される結像装置
の場合、きわめて小さな品質面の改良であっても大きな
利点をもたらし、そのため軸方向位置が調節可能なシス
テム絞りの光学的な利点が、それらの長所を十分に引き
立ててここに示してある。

【００１０】本発明のとりわけ好ましい実施態様におい
て、システム絞りの軸方向位置をその開口部直径に依存
して変更することは、比較的単純な設計の構造で達成さ
れる。この場合、システム絞りは、相互に軸方向距離を
置いて配置された少なくとも２つの絞りを有しており、
それぞれ別の絞りがシステム絞りの開口部直径に依存し
て光学的に活性である。光学的に活性とは、この場合、
光学的に活性な絞りまたはその光学的に有効なエッジが
結像装置中の光線束の側面を制限するということであ
る。

【００１１】本発明によるこの２重または多重絞りに
は、ここでは軸方向位置調節のための複雑な機構なしで
本発明による効果を達成できるという利点がある。この
場合、少なくとも２つの絞りは、システム絞りの光軸に
関して軸方向である少なくとも２つの平面内に位置する
ように配置される。各々の場合において一方の絞りのみ
が光学的に活性であるということの結果、別の平面、従
って、システム絞りの別の軸方向位置が開口部直径に従
って実現され、それによって良好な光学的効果がすでに
達成される。この場合に重要なことは、２つの絞り双方
が「オーバーライドする」ときの領域であり、すなわ
ち、システム絞りの開口部直径がある値のとき、２つの
絞りの光学的に活性なエッジが、しばらくの間、同時に
光学的に活性になるときである。ぼけを回避するために
は、非常に精密な機構、例えば、どのようなバックラッ
シュもないプレストレスをかけた転がり軸受によって絞
りまたはその個々の部品を取り付けることが要求され
る。

【００１２】本発明のさらなる非常に好ましい実施態様
では、システム絞りが、相互に回転可能に移動できる２
つの絞りベースの間に配置された絞り羽根を有してお
り、少なくとも１つの絞りベースが回転可能に移動で
き、かつ絞り羽根および２つの絞りベースを具備するユ
ニットが軸方向に移動可能である。

【００１３】本発明によるやり方で目的を達成するため
の解決策のこの変形例は、単式絞りのみで間に合わせる
ものである。上述の実施態様の少なくとも２つの別個の
軸平面に加え、すべての軸方向の中間平面が利用可能と
いう利点がこれによりもたらされる。これは、絞りの開
口部直径に応じて、絞りがその軸方向位置を変えられる
からであり、互いに相対的に移動可能な絞り羽根と絞り
ベースを具備するユニットが機械的案内要素により、絞
りの軸方向位置の所望の調節が開口部直径に依存して行
なわれるように連結されているからである。

【００１４】この構造設計には、２つの絞りベースの回
転および軸方向移動を相互に連係する案内溝を、どのよ
うな所望の幾何学的形状にでもできるという特別な利点
がある。案内溝の形状に応じて、システム絞りの回転運
動、従って開口部直径の変更と軸方向移動との間に様々
な数学的依存性がこの場合実現され得る。

【００１５】本発明のさらなる非常に好ましい変形例で
は、絞りは同様に絞り羽根で形成され、この絞り羽根お
よび絞り羽根に面している絞りベース表面は、システム
絞りの開口部直径の少なくともほぼ最大部分に、システ
ム絞りの光軸に関してある角度で配置されている。

【００１６】結果として、絞りの光学的に有効なエッジ
は、絞り羽根および絞り羽根に面している絞りベース表
面の幾何学的形状に応じて、例えば、円錐体の外側面上
または球形キャップの外側面上を移動し得る。システム
絞りの光軸に関して回転対称に配置されている絞り羽根
は、例えばシステム絞りが閉じられる時に、その次に結
像装置の光路内へ、開口部直径と軸方向位置との間の線
形的または半円形的な従属性により移動する。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明のさらなる有利な改良は、
残りのサブクレームおよび図面を参照しての下記実施例
から明らかになる。

【００１８】図１にはシステム絞り１の断面が示されて
おり、システム絞り１は、２つの個別の絞り２ａ、２ｂ
またはアイリス絞り２ａ、２ｂを有している。これらの
アイリス絞り２ａ、２ｂは絞り羽根３により構成され、
絞り羽根はシステム絞り１の光軸４に関して少なくとも
ほぼ垂直に配置されている。システム絞り１は、マウン
ト５内に取り付けられており、該マウント５はレンズシ
ステムのケーシング(図示せず)に固定的に接続されてい
る。

【００１９】システム絞り１の実施態様(図示せず)で
は、システム絞りは、２つの個別の絞り２ａ、２ｂに加
えてさらなる絞りも有することができる。特に、このさ
らなる絞りは、システム絞り１内の２つのアイリス絞り
２ａ、２ｂからある軸方向距離に配置された固定絞りま
たは恒久的に設置されたディスクとすることができる。

【００２０】２つの絞り２ａ、２ｂの絞り羽根３は、そ
れぞれが相互に相対的に移動可能な２つの絞りベース６
ａ、６ｂ、６ｃの間のそれぞれの開口部直径Ｄａ、Ｄｂ
にその側面を距離をおいて位置する。この場合、絞り羽
根３はそれぞれこれと相互作用する絞りベース６ｂ、６
ｃの一方の内部にバックラッシュのないプレストレスを
かけた軸受７により取り付けられる。各々が他方の絞り
ベース６ａ、６ｂであるものの領域では、絞り羽根３の
それぞれが案内装置８を有している。この案内装置８
は、それぞれの絞りベース６ａ、６ｂ内に作られたスロ
ット付案内路９ａ、９ｂ内を案内され、スロット付案内
路９ａ、９ｂに関してのバックラッシュのない案内路８
のプレストレスもここでなされなければならない。

【００２１】軸受または案内装置７および８のバックラ
ッシュのないプレストレスは、例えば、各絞り羽根３が
ねじりばね(図示せず)によりプレストレスをかけられ、
これが軸受装置７、例えば転がり軸受、およびそれぞれ
のスロット付案内路９ａ、９ｂに収容されるように設計
することできる。

【００２２】絞りベース６ａ、６ｂ、または６ｂ、６ｃ
の回転による相対的な相互の移動により、軸受装置７に
より取り付けられた絞り羽根３は案内装置８により、様
々に工夫されたスロット付案内路９ａ、９ｂを通り、各
絞り羽根について規定された経路を移動させられる。結
果として、絞り羽根３の光学的に有効なエッジ１０はそ
の開口部直径Ｄａ、Ｄｂを変える。通常、アイリス絞り
２ａ、２ｂのスロット付案内路９ａ、９ｂは、システム
絞り１またはアイリス絞り２ａ、２ｂ各々のアパーチャ
がほぼ円形の多角形となってその寸法を増大または減少
できるように作られている。

【００２３】ここに示されるシステム絞り１のスロット
付案内路９ａ、９ｂの成形は、この場合、各々の場合に
ついて異なる幾何学的曲線を有していなければならな
い。なぜならば、開口部直径に応じて、あるときには一
方のアイリス絞り２ａが、別のときには他方のアイリス
絞り２ｂが、あるいはそれら各々の光学的に有効なエッ
ジ１０が光学的に活性であることが要求されるからであ
る。このことは、光学的に不活性なアイリス絞り２ａま
たは２ｂは、それぞれ光学的に活性なアイリス絞り２ｂ
または２ａよりも大きな開口部直径ＤａまたはＤｂを有
していなければならないことを意味する。

【００２４】システム絞り１が第３の固定絞り(図示せ
ず)を有する場合においては、２つのアイリス絞り２ａ
または２ｂのいずれもが光学的に活性ではなく、ただし
アイリス絞り２ａ、２ｂから軸方向の距離を置いて配置
された、固定絞りだけが活性になるという場合が付加的
に起こり得る。

【００２５】図１に示される典型的な実施態様では、絞
りベースのうちの２つ６ａ、６ｃが、リングギア１１に
固定的、特にねじれの点で固定的に接続されている。多
数の個別の要素１２、１３、１４で構成されるリングギ
ア１１は、転がり軸受１５によりマウント５内に取り付
けられ、リングギア１１の個別の要素１２、１３、１４
は、多数の結合要素１６により相互接続されている。さ
らに、リングギア１１の個別の要素１２のうちの１つ
は、かみ合わせ１７を有し、かつピニオン１８によって
システム絞り１の光軸４に関して回転移動させ得る。示
した代表的実施態様においては、駆動ユニット１９(こ
こでは電動機１９)は、ピニオン１８を回転させるとい
う目的に適い、その結果、これに接続されているリング
ギア１１および絞りベース６ａ、６ｃをシステム絞り１
の光軸４まわりに回転させる。この場合には、駆動ユニ
ット１９はマウント５に固定的に接続されている。２つ
のアイリス絞り２ａ、２ｂの間に置かれた絞りベース６
ｂは、固定要素２０によってマウント５に同様に固定さ
れている。この場合には、リングギア１１の個別の要素
１４の１つは、２つのアイリス絞り２ａ、２ｂの間にあ
る絞りベース６ｂ内の１つ以上のクリアランス２１を介
して導かれる。絞りベース６ａは、さらなる固定要素２
２によりリングギア１１の個別要素１４に固定されてい
る。

【００２６】もしリングギア１１および２つの絞りベー
ス６ａ、６ｂが駆動ユニット１９により回転されるなら
ば、固定要素２０を介してマウント５に接続されている
絞りベース６ｂは所定位置に固定されたままであり、相
対的な移動は、絞りベース６ａ、６ｃと絞りベース６ｂ
との間で起こる。この相対的な移動は、スロット付案内
路内を案内される絞り羽根３が動かされ、かつシステム
絞り１または２つのアイリス絞り２ａ、２ｂの開口部直
径ＤａまたはＤｂが変わるという効果をもたらす。

【００２７】スロット付案内路９ａ、９ｂの幾何学的工
夫により、システム絞り１各々の開口部直径Ｄａ、Ｄｂ
により適したアイリス絞り２ａ、２ｂが光学的に活性に
なるという効果が達成される。その結果、アイリス絞り
２ａ、２ｂの２つの別個の軸方向位置から、各々の場合
において光学的により適している一方が選択され、単独
の回転移動のみがこの目的のために実行、作動されれば
よい。このことが絞り２ａ、２ｂの軸方向位置の絞りの
開口部直径Ｄａ、Ｄｂに対する一定、もしくは少なくと
もほぼ一定の依存性を必要とすることがここで明らかな
はずである。なぜならば、機械的ガイドとして働くスロ
ット付案内路９ａ、９ｂはまず最初に一方のもにしかさ
れ得ず、その時他方のアイリス絞り２ａ、２ｂは光学的
に活性だからである。

【００２８】システム絞りのさらなる改良が図２に見ら
れる。これは１つのアイリス絞り２のみを有している。
ここでも、アイリス絞り２の絞り羽根３は、２つの絞り
ベース６ａ、６ｂまたは溝付リング６ａと絞りベース６
ｂの間に配置されている。軸受装置７および案内装置８
またはスロット付案内路９(図２には示さない)も同様に
存在するが、絞り羽根３あたり１つのみである。図２に
おけるさらなる要素は、構造および作動モードにおいて
図１で説明したものと原則的に同様のものである。

【００２９】その結果、ピニオン１８を有する駆動ユニ
ット１９が収容されているマウント５も図２に見られ
る。ピニオン１８は、ここでは１つの部品として形成さ
れているリングギア１１をかみ合い１７を介して駆動す
る。リングギア１１は、転がり軸受１５によりマウント
５内に取り付けられている。

【００３０】溝付リング６ａおよび絞りベース６ｂ、内
側リング２３、外側リング２４および転がり軸受２５と
共に、アイリス絞り２は構造ユニット２６を形成してい
る。構造ユニット２６内では、絞りベース６ｂが内側リ
ング２３に接続され、溝付きリング６ａが外側リング２
４に接続されている。内側リング２３は、外側リング２
４に対して回転移動可能に作られており、転がり軸受２
５が内側リング２３と外側リング２４との間に配置され
ている。２つの絞りベース６ａ、６ｂの相互の相対的な
移動は、その結果、外側リング２４に対する内側リング
２３の相対的な移動があることも意味している。

【００３１】外側リング２４、および従って、一方の絞
りベース６ａも保持要素２７によってマウント５に対す
るねじれに関してしっかりと保持されている。保持要素
２７は、例えば、薄板金製目板２７として設計すること
ができ、これは固定要素２８によってマウント５に取り
付けられている。外側リング２４上では、薄板金製目板
は２つの突出部２９の間に位置し、これにより外側リン
グ２４の軸方向移動が可能になるが、ねじれは防止され
る。この場合、理想的には、３〜６個の保持要素２７が
システム絞り１の円周全体に配置される。

【００３２】リングギア１１は、１つ以上の駆動ラグ３
０を有しており、これらは、適切であれば、システム絞
り１の円周全体に均一に配置される。この場合には、駆
動ラグ３０はそれぞれ内側リング２３内のクリアランス
３１内に係合し、駆動ユニット１９によるリングギア１
１の回転運動が、内側リング２３に伝えられ、その結
果、絞りベース６ｂへ伝えられる。駆動ラグ３０に対す
る、およびその結果、リングギア１１に対する内側リン
グ２３の低摩擦でほぼバックラッシュのない軸方向の相
対的な移動が可能なように、駆動ラグ３０はそれぞれの
クリアランス３１内に回転要素３２により取り付けられ
ている。

【００３３】さらに、駆動ラグ３０および内側リング２
３の接続部にはばね要素３３が有り、これは構造ユニッ
ト２６を軸方向中心位置に保持するように作られてお
り、その結果、リングギア１１に対する構造ユニット２
６の軸方向移動が比較的小さい力で両方向に可能にな
る。

【００３４】さらに、リングギア１１は、これに固定的
に接続された案内ラグ３４を有している。案内ラグ３４
の先端部には、外側リング２４の案内溝３６内を動く転
がり軸受３５が設けてある。案内溝３６および案内ラグ
３４の転がり軸受け３５は、この場合にはリングギア１
１の回転運動と構造ユニットの軸方向移動の機械的結合
を形成している。

【００３５】もしリングギア１１がピニオン１８または
駆動ユニット１９により回転されると、ねじれに関して
保持要素２７により固定的に保持された外側リング２４
は、リングギア１１の駆動ラグ３０により同時に回転さ
れる内側リング２３に対して、回転の半径方向には動か
ない。しかしながら、リングギア１１に対する構造ユニ
ット２６の軸方向の相対的な移動は、転がり軸受３５ま
たは案内ラグ３４に一致する案内溝３６により実行され
る。マウント５に対して軸方向にリングギア１１が固定
されており、これは外側リング２４がマウント５に対し
て軸方向に移動されることを意味している。この軸方向
移動もまた、転がり軸受２５により内側リング２３へ伝
えられ、構造ユニット２６全体が軸方向へ移動される。
同時に、駆動ラグ３０が内側リング２３と絞りベース６
ｂの回転運動を引き起こし、これによってアイリス絞り
２が開閉する。リングギア１１の回転運動は、その結
果、システム絞り１の開口部直径Ｄならびに構造ユニッ
ト２６またはアイリス絞り２の軸方向位置が相互に依存
して変わるという効果を同時に有する。

【００３６】案内溝３６の工夫と形状によって、アイリ
ス絞り２の光学的に有効なエッジ１０は、ほとんどどの
ような所望の曲線上でも動き得る。図２に示される代表
的実施態様において、システム絞り１の開口部直径Ｄと
光学的に有効なエッジ１０の軸方向位置との間の依存関
係は、従って、案内溝３６の生産可能性の範囲内または
所定の光学的要求に応じて選択可能で、光学的観点およ
び生産技術的観点から一般に一定の曲線のみが適してい
る。

【００３７】図３は、システム絞り１のさらなる実施態
様の基本図である。ここでは、前記図面ですでに記載さ
れた要素が同様に見られる。一方の絞りベース６ａが外
側マウント５に固定的に接続されている。他方の絞りベ
ース６ｂは、転がり軸受１５によってマウント５内に取
付けられている。絞りベース６ｂの部品は同時にリング
ギア１１でもあり、ピニオン１８を有する駆動ユニット
１９により回転される。アイリス絞り２の絞り羽根３
は、前記図面ですでに述べた軸受装置７、案内装置８お
よびスロット付案内路９(ここでは図示しない)により作
動される。

【００３８】この実施態様の特別な特徴は、絞り羽根３
の各々がシステム絞り１の光軸に関して鋭角に配置され
るように、絞り２の絞り羽根３が配置されていることで
ある。絞り羽根３またはアイリス絞り２の光学的に有効
なエッジ１０は、例えば円錐体または回転放物面体の外
側面上を動く。外側面により規定された状況に応じて、
アイリス絞り２の光学的に有効なエッジ１０の軸方向位
置は、その開口部直径Ｄに依存してここで規定され得
る。

【００３９】この場合には、絞り羽根３およびこの絞り
羽根３に面している絞りベース６ａ、６ｂの表面３７の
どちらも、所望の外側面の形状で設計されている。この
場合には、外側面は常にシステム絞り１の光軸４に関し
て回転対称な立体の外側面とすべきである。絞り羽根３
の光学的に有効なエッジ１０は、この各表面上を移動す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】交互に載置された多数の絞りを有する光学結像
装置のシステム絞りの断面図

【図２】絞り羽根および絞りベースを具備し軸方向に移
動可能なユニットを有するシステム絞りの断面図

【図３】システム絞りの光軸に関してある角度で絞り羽
根が配置されたシステム絞りの断面図

【符号の説明】

１ システム絞り ２、２ａ、２ｂ 絞り、またはアイリス絞り ３ 絞り羽根 ４ １の光軸 ５ マウント ６ａ 絞りベースまたは溝付きリング ６ｂ、６ｃ 絞りベース ７ 軸受装置 ８ 案内装置 ９、９ａ、９ｂ スロット付案内路 １０ ３の光学的に有効なエッジ １１ リングギア １２、１３，１４ １１の個別の要素 １５ １１と５との間の転がり軸受 １６ １６の固定要素 １７ １１のかみ合い １８ ピニオン １９ 駆動ユニット ２０ ６ｂ、５の固定要素 ２１ ６ｂのクリアランス ２２ １１、１４の固定要素 ２３ 内側リング ２４ 外側リング ２５ ２３、２４の転がり軸受 ２６ 構造ユニット ２７ 保持要素 ２８ ２７、５の固定要素 ２９ ２４上の突出部 ３０ 駆動ラグ ３１ ２３内のクリアランス ３２ ３１内の転がり要素 ３３ ばね要素 ３４ 案内ラグ ３５ ３４、３６の転がり軸受 ３６ 案内溝 ３７ ６ａ、６ｂの表面 Ｄ、Ｄａ、Ｄｂ 開口部直径

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ベルンハード ゲルリッチ ドイツ国 デー−73430 エイアレン，シ ュナイトバーグストラッセ ３ (72)発明者 ミハエル ムエルベヤー ドイツ国 デー−73430 エイアレン，シ ュマンストラッセ 39 (72)発明者 グエンター マウル ドイツ国 デー−73431 エイアレン，ア ウフ ダー ヘイド 40

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１つのシステム絞りを有する
   光学結像装置、特にレンズシステムにおいて、該システ
   ム絞りのアパーチャはその開口部直径が調節可能であ
   り、該システム絞り(１)の該アパーチャの位置は該シス
   テム絞り(１)の開口部直径(ＤまたはＤａ、Ｄｂ)に依存
   して決められる光学結像装置。
2. 【請求項２】 前記システム絞り(１)は、相互に移動可
   能に設計された絞り羽根(３)を有し、少なくとも該絞り
   羽根(３)の部品が２つの絞りベース(６ａ、６ｂまたは
   ６ｂ、６ｃ)間に配置され、これらが相互に相対的に移
   動可能であり、該絞りベース(６ａ、６ｂ、６ｃ)は案内
   装置(８)を有し、それにより各々の絞り羽根(３)が規定
   された経路を案内され得る、請求項１に記載の光学結像
   装置。
3. 【請求項３】 前記絞りベース(６ａ、６ｂ、６ｃ)は駆
   動装置(１９)により相互に相対的に移動可能であり、各
   々の絞り羽根(３)がバックラッシュなしにプレストレス
   をかけた案内装置(７)によって前記絞りベースの一方
   (６ａまたは６ｂ)内に取り付けられ、かつバックラッシ
   ュなしにプレストレスをかけられた軸受装置により各々
   他方の絞りベース(６ｂまたは６ｃ)内へ案内される、請
   求項２に記載の光学結像装置。
4. 【請求項４】 前記システム絞り(１)の前記絞り羽根
   (３)は、光軸(４)に関して少なくともほぼ垂直に配置さ
   れている、請求項２に記載の光学結像装置。
5. 【請求項５】 前記システム絞り(１)は、相互に軸方向
   の距離を置いて配置された少なくとも２つの絞り(２
   ａ、２ｂ)を有し、それぞれ別の絞り(２ａ、２ｂ)であ
   るものが前記システム絞り(１)の前記開口部直径(Ｄま
   たはＤａ、Ｄｂ)に依存して光学的に活性である、請求
   項１に記載の光学結像装置。
6. 【請求項６】 前記絞り(２ａ、２ｂ)は、それぞれ前記
   絞り羽根(３)を有し、該絞り羽根(３)の部品が各々の場
   合に前記２つの絞りベース(６ａ、６ｂ)間に配置され、
   これらが相互に相対的に移動可能であり、かつ該絞りベ
   ースの一方(６ａまたは６ｂ)が前記一方の絞り(２ａ)の
   前記絞り羽根(３)の前記軸受装置(７)ならびに他方の絞
   り(２ｂ)の前記絞り羽根(３)の前記軸受装置(７)または
   前記案内装置(８)を有する、請求項５に記載の光学結像
   装置。
7. 【請求項７】 前記システム絞り(１)の前記絞り羽根
   (３)は２つの絞りベース(６ａ、６ｂ)の間に配置され、
   これらが相互に相対的に移動可能であり、前記絞りベー
   スの少なくとも１つ(６ｂ)が回転移動可能であり、かつ
   前記絞り羽根(３)および前記２つの絞りベース(６ａ、
   ６ｂ)を具備する構造ユニット(２６)が軸方向に移動可
   能である、請求項１に記載の光学結像装置。
8. 【請求項８】 前記少なくとも１つの絞りベース(６ｂ)
   の前記回転運動は機械的要素(３４、３５、３６)によ
   り、前記絞り羽根(３)および前記２つの絞りベース(６
   ａ、６ｂ)を具備する前記構造ユニット(２６)の前記軸
   方向移動と連結されている、請求項７に記載の光学結像
   装置。
9. 【請求項９】 前記絞りベースの一方(６ａ)の回転運動
   を防止するため、１つ以上の保持要素(２７)が設けら
   れ、他方の絞りベース(６ｂ)は駆動ラグ(３０)により回
   転移動可能なリングギア(１１)に結合されており、かつ
   前記一方の絞りベース(６ａ)および前記リングギア(１
   １)は案内溝(３６)および案内ラグ(３４)により相互に
   連結されている、請求項７に記載の光学結像装置。
10. 【請求項１０】 前記駆動ラグ(３０)および前記リング
    ギア(１１)は前記軸方向の適切な場所に固定されてお
    り、該駆動ラグ(３０)が、前記絞りベースの一方(６ａ)
    と接続されているばね要素(３３)を前記軸方向に有して
    いる、請求項９に記載の光学結像装置。
11. 【請求項１１】 前記絞り羽根(３)および該絞り羽根
    (３)に面している前記絞りベース(６ａ、６ｂ)の表面
    (３７)は、前記システム絞り(１)の前記光軸(４)に関し
    て鋭角に、前記システム絞り(１)の前記開口部直径(Ｄ)
    の少なくともほぼ最大部分にわたって配置されている、
    請求項１に記載の光学結像装置。
12. 【請求項１２】 前記絞り羽根(３)および該絞り羽根
    (３)に面している前記絞りベース(６ａ、６ｂ)の前記表
    面(３７)は、前記システム絞り(１)の前記光軸(４)に関
    して回転対称になるような形に設計されており、前記絞
    り羽根(３)の光学的に有効な前記エッジ(１０)が、前記
    システム絞り(１)の前記光軸(４)に関して回転対称であ
    るように設計された幾何学的立体の外側面上で前記絞り
    ベース(６)の前記相対的な移動により移動され得る、請
    求項９に記載の光学結像装置。