JP2001129822A - ダイシング装置及びそのカーフチェック方法並びにカーフチェックシステム - Google Patents
ダイシング装置及びそのカーフチェック方法並びにカーフチェックシステムInfo
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- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
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- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】正確なカーフチェックを実施することができる
ダイシング装置及びそのカーフチェック方法並びにカー
フチェックシステムを提供する。 【解決手段】第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂ
とを備えたツインスピンドルダイサにおいて、第１ブレ
ード２０Ａで未切削のストリートＳ5 を切削するととも
に第２ブレード２０Ｂで未切削のストリートＳ6 を切削
し、その切削された溝Ｇ5 、ｇ6 をカーフチェックす
る。この方法によれば、第２ブレード２０Ａで形成した
溝ｇ6 が、第１ブレード２０Ａで形成した溝ｇ5 に重な
ることがないので、正確に両ブレードのカーフチェック
を実施することができる。
ダイシング装置及びそのカーフチェック方法並びにカー
フチェックシステムを提供する。 【解決手段】第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂ
とを備えたツインスピンドルダイサにおいて、第１ブレ
ード２０Ａで未切削のストリートＳ5 を切削するととも
に第２ブレード２０Ｂで未切削のストリートＳ6 を切削
し、その切削された溝Ｇ5 、ｇ6 をカーフチェックす
る。この方法によれば、第２ブレード２０Ａで形成した
溝ｇ6 が、第１ブレード２０Ａで形成した溝ｇ5 に重な
ることがないので、正確に両ブレードのカーフチェック
を実施することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシング装置及
びそのカーフチェック方法並びにカーフチェックシステ
ムに係り、特にブレードが装着される主軸スピンドルを
２本備えたダイシング装置及びそのカーフチェック方法
並びにカーフチェックシステムに関する。
びそのカーフチェック方法並びにカーフチェックシステ
ムに係り、特にブレードが装着される主軸スピンドルを
２本備えたダイシング装置及びそのカーフチェック方法
並びにカーフチェックシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置は、外周部に砥粒が固着
された極薄外周刃（以下、「ブレード」という。）によ
ってウェーハを賽の目状に切断する装置であるが、この
ダイシング装置のブレードは使用により磨耗し、切断面
にチッピングが生じたり、熱変形の影響を受けて切削溝
の位置がストリート（パターン描画されたウェーハのチ
ップとチップの間にある直線状の境界線をいう。ウェー
ハは、このストリートに沿って切断される。）の中心か
らズレたりする。このためダイシング装置では、あらか
じめ設定されたタイミングでブレードのカーフチェック
を実施するようにしている。すなわち、ブレードで切削
された溝（カーフ）をカメラで撮像し、その画像データ
を画像処理することによって、あるいは目視によってカ
ーフ位置やカーフ幅、チッピングの有無等を計測してい
る。
された極薄外周刃（以下、「ブレード」という。）によ
ってウェーハを賽の目状に切断する装置であるが、この
ダイシング装置のブレードは使用により磨耗し、切断面
にチッピングが生じたり、熱変形の影響を受けて切削溝
の位置がストリート（パターン描画されたウェーハのチ
ップとチップの間にある直線状の境界線をいう。ウェー
ハは、このストリートに沿って切断される。）の中心か
らズレたりする。このためダイシング装置では、あらか
じめ設定されたタイミングでブレードのカーフチェック
を実施するようにしている。すなわち、ブレードで切削
された溝（カーフ）をカメラで撮像し、その画像データ
を画像処理することによって、あるいは目視によってカ
ーフ位置やカーフ幅、チッピングの有無等を計測してい
る。
【０００３】ところで、上記のダイシング装置には、主
軸スピンドル（ブレードが装着されるスピンドル）が１
本だけで構成されているものと、２本で構成されている
もの（以下、「ツインスピンドルダイサ」という。）と
がある。そして、さらにツインスピンドルダイサには、
２つのブレードで一度に２本のストリートを切断する方
式のものと、ステップカット方式、すなわち第１のブレ
ードでストリートに沿って所定深さの溝を切削し、その
後、第２のブレードでその溝内を切削することにより、
ウェーハをストリートに沿って切断する方式のものとが
ある。
軸スピンドル（ブレードが装着されるスピンドル）が１
本だけで構成されているものと、２本で構成されている
もの（以下、「ツインスピンドルダイサ」という。）と
がある。そして、さらにツインスピンドルダイサには、
２つのブレードで一度に２本のストリートを切断する方
式のものと、ステップカット方式、すなわち第１のブレ
ードでストリートに沿って所定深さの溝を切削し、その
後、第２のブレードでその溝内を切削することにより、
ウェーハをストリートに沿って切断する方式のものとが
ある。
【０００４】そして、従来、ステップカット方式を採用
するツインスピンドルダイサでは、次のようにして２つ
のブレードのカーフチェックを行っていた。すなわち、
まず、第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを
所定深さ切削し、その切削された溝を検査して第１のブ
レードのカーフチェックを実施する。次いで、その第１
のブレードで切削した溝内を第２のブレードで切削し、
その第２のブレードで切削した溝を検査して第２のブレ
ードのカーフチェックを実施する。
するツインスピンドルダイサでは、次のようにして２つ
のブレードのカーフチェックを行っていた。すなわち、
まず、第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを
所定深さ切削し、その切削された溝を検査して第１のブ
レードのカーフチェックを実施する。次いで、その第１
のブレードで切削した溝内を第２のブレードで切削し、
その第２のブレードで切削した溝を検査して第２のブレ
ードのカーフチェックを実施する。
【０００５】このように従来は通常の切削時と同じ手順
でカーフチェック用の溝を切削し、その切削された溝を
検査することによって、各ブレードのカーフチェックを
実施していた。
でカーフチェック用の溝を切削し、その切削された溝を
検査することによって、各ブレードのカーフチェックを
実施していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法でカーフチェックを実施すると、図８（ａ）で示す
ように、第２のブレードで加工した溝ｇが第１のブレー
ドで加工した溝Ｇに重なってしまうため、画像処理を用
いたカーフチェックが極めて困難であるという欠点があ
る。特に、第１ブレードと第２ブレードとが同じ幅で形
成されている場合には、同図（ｂ）に示すように、第１
ブレードで加工した溝Ｇ1 と第２ブレードで加工した溝
Ｇ2 との識別ができず、正確な補正量、評価値が得られ
ないという欠点がある。
方法でカーフチェックを実施すると、図８（ａ）で示す
ように、第２のブレードで加工した溝ｇが第１のブレー
ドで加工した溝Ｇに重なってしまうため、画像処理を用
いたカーフチェックが極めて困難であるという欠点があ
る。特に、第１ブレードと第２ブレードとが同じ幅で形
成されている場合には、同図（ｂ）に示すように、第１
ブレードで加工した溝Ｇ1 と第２ブレードで加工した溝
Ｇ2 との識別ができず、正確な補正量、評価値が得られ
ないという欠点がある。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、正確にカーフチェックすることができるダイ
シング装置及びそのカーフチェック方法並びにカーフチ
ェックシステムを提供することを目的とする。
たもので、正確にカーフチェックすることができるダイ
シング装置及びそのカーフチェック方法並びにカーフチ
ェックシステムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は前
記目的を達成するために、第１ブレードと第２ブレード
とを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハ
を所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで
切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切
断するダイシング装置において、前記各ブレードのカー
フチェックを実施するにあたり、カーフチェックの実行
タイミングと実行位置とを各ブレードごとに管理するこ
とを特徴とする。
記目的を達成するために、第１ブレードと第２ブレード
とを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハ
を所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで
切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切
断するダイシング装置において、前記各ブレードのカー
フチェックを実施するにあたり、カーフチェックの実行
タイミングと実行位置とを各ブレードごとに管理するこ
とを特徴とする。
【０００９】本発明によれば、カーフチェックの実行タ
イミングと実行位置とを各ブレードごとに各々独立して
設定できるため、各ブレードごとに最適のタイミング、
最適の位置でカーフチェックを実行できる。
イミングと実行位置とを各ブレードごとに各々独立して
設定できるため、各ブレードごとに最適のタイミング、
最適の位置でカーフチェックを実行できる。
【００１０】請求項２に係る発明は前記目的を達成する
ために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブ
レードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削
し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することに
より、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシン
グ装置において、未切削のストリートに沿ってウェーハ
を第２ブレードで所定深さ切削し、その切削された溝を
検査して第２ブレードのカーフチェックを実施すること
を特徴とする。
ために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブ
レードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削
し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することに
より、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシン
グ装置において、未切削のストリートに沿ってウェーハ
を第２ブレードで所定深さ切削し、その切削された溝を
検査して第２ブレードのカーフチェックを実施すること
を特徴とする。
【００１１】本発明によれば、第２ブレードのカーフチ
ェックを実施する場合は、第２ブレードで未切削のスト
リートを所定深さ切削し、その切削された溝に対してカ
ーフチェックを実施する。したがって、第２ブレードで
切削した溝が第１ブレードで切削した溝に重なることは
なく、正確に第２ブレードのカーフチェックを実施する
ことができる。
ェックを実施する場合は、第２ブレードで未切削のスト
リートを所定深さ切削し、その切削された溝に対してカ
ーフチェックを実施する。したがって、第２ブレードで
切削した溝が第１ブレードで切削した溝に重なることは
なく、正確に第２ブレードのカーフチェックを実施する
ことができる。
【００１２】請求項３に係る発明は前記目的を達成する
ために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブ
レードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削
し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することに
より、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシン
グ装置において、未切削のストリートに沿ってウェーハ
を第１ブレードで所定深さ切削するとともに、未切削の
ストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで所定深さ
切削し、その切削された２本の溝を検査して、第１ブレ
ードと第２ブレードとのカーフチェックを実施すること
を特徴とする。
ために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブ
レードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削
し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することに
より、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシン
グ装置において、未切削のストリートに沿ってウェーハ
を第１ブレードで所定深さ切削するとともに、未切削の
ストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで所定深さ
切削し、その切削された２本の溝を検査して、第１ブレ
ードと第２ブレードとのカーフチェックを実施すること
を特徴とする。
【００１３】本発明によれば、第１ブレードと第２ブレ
ードとで異なるストリートを切削してカーフチェックを
実施するので、第２ブレードで形成した溝が第１ブレー
ドで形成した溝に重なることがない。したがって、正確
に両ブレードのカーフチェックを実施することができ
る。
ードとで異なるストリートを切削してカーフチェックを
実施するので、第２ブレードで形成した溝が第１ブレー
ドで形成した溝に重なることがない。したがって、正確
に両ブレードのカーフチェックを実施することができ
る。
【００１４】また、請求項４に係る発明は、前記目的を
達成するために、請求項２又は３記載のダイシング装置
のカーフチェック方法において、カーフチェック時に第
２ブレードで切削する溝の深さは、第１ブレードで切削
する溝の深さよりも浅く形成し、カーフチェック終了後
は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリート
に沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、そ
の第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切
削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断
することを特徴とする。
達成するために、請求項２又は３記載のダイシング装置
のカーフチェック方法において、カーフチェック時に第
２ブレードで切削する溝の深さは、第１ブレードで切削
する溝の深さよりも浅く形成し、カーフチェック終了後
は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリート
に沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、そ
の第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切
削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断
することを特徴とする。
【００１５】本発明によれば、カーフチェック時に第２
ブレードで切削する溝の深さを第１ブレードで切削する
溝の深さよりも浅くする。これにより、カーフチェック
後、その第２ブレードで切削した溝の上から第１ブレー
ドで切削しても、第２ブレードで形成した溝の跡は残ら
ず、通常どおりの切削作業を行うことができる。
ブレードで切削する溝の深さを第１ブレードで切削する
溝の深さよりも浅くする。これにより、カーフチェック
後、その第２ブレードで切削した溝の上から第１ブレー
ドで切削しても、第２ブレードで形成した溝の跡は残ら
ず、通常どおりの切削作業を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るダイシング装置及びそのカーフチェック方法並びに
カーフチェックシステムについて説明する。
係るダイシング装置及びそのカーフチェック方法並びに
カーフチェックシステムについて説明する。
【００１７】図１は、本発明が適用されるツインスピン
ドルダイサの構成を示す平面図である。
ドルダイサの構成を示す平面図である。
【００１８】同図に示すようにツインスピンドルダイサ
１０は、ウェーハＷを保持するウェーハテーブル１２
と、そのウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷ
を切削する一対の切削ユニット１４Ａ、１４Ｂと、ウェ
ーハＷを撮像する一対の撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂ
と、制御装置（不図示）とから構成されている。
１０は、ウェーハＷを保持するウェーハテーブル１２
と、そのウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷ
を切削する一対の切削ユニット１４Ａ、１４Ｂと、ウェ
ーハＷを撮像する一対の撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂ
と、制御装置（不図示）とから構成されている。
【００１９】ウェーハテーブル１２は、円盤状に形成さ
れており、ウェーハＷの裏面を真空吸着して保持する。
このウェーハテーブル１２は、図示しない送り機構に駆
動されることにより図中Ｘ軸方向に沿って往復移動す
る。また、このウェーハテーブル１２は、図示しない回
転駆動機構に駆動されることにより中心軸（θ軸）回り
に回転する。
れており、ウェーハＷの裏面を真空吸着して保持する。
このウェーハテーブル１２は、図示しない送り機構に駆
動されることにより図中Ｘ軸方向に沿って往復移動す
る。また、このウェーハテーブル１２は、図示しない回
転駆動機構に駆動されることにより中心軸（θ軸）回り
に回転する。
【００２０】なお、ウェーハＷはウェーハフレーム（不
図示）にマウントされた状態でウェーハテーブル１２に
保持される。すなわち、ウェーハＷは、ウェーハフレー
ムに貼られたウェーハシートに貼り付けられた状態でウ
ェーハテーブル１２に保持される。
図示）にマウントされた状態でウェーハテーブル１２に
保持される。すなわち、ウェーハＷは、ウェーハフレー
ムに貼られたウェーハシートに貼り付けられた状態でウ
ェーハテーブル１２に保持される。
【００２１】切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、それぞれ
ウェーハＷを切削するブレード２０Ａ、２０Ｂを備えて
おり、各ブレード２０Ａ、２０Ｂは、それぞれ主軸モー
タ２２Ａ、２２Ｂの主軸スピンドル２２ａ、２２ｂに連
結されている。この切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、ス
ピンドル移動機構に駆動されることにより、図中Ｙ軸方
向及びＺ軸方向に個別に移動する。
ウェーハＷを切削するブレード２０Ａ、２０Ｂを備えて
おり、各ブレード２０Ａ、２０Ｂは、それぞれ主軸モー
タ２２Ａ、２２Ｂの主軸スピンドル２２ａ、２２ｂに連
結されている。この切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、ス
ピンドル移動機構に駆動されることにより、図中Ｙ軸方
向及びＺ軸方向に個別に移動する。
【００２２】スピンドル移動機構は、図２に示すように
一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂを備えている。この
一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂは、共にＹ軸方向に
沿って配設されたガイドレール２６、２６にスライド自
在に設けられている。そして、図示しないスライド駆動
手段（たとえばリニアモータなど）に駆動されることに
より、図中Ｙ軸方向に沿って個別にスライドする。
一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂを備えている。この
一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂは、共にＹ軸方向に
沿って配設されたガイドレール２６、２６にスライド自
在に設けられている。そして、図示しないスライド駆動
手段（たとえばリニアモータなど）に駆動されることに
より、図中Ｙ軸方向に沿って個別にスライドする。
【００２３】各Ｙキャリッジ２４Ａ、２４Ｂには、それ
ぞれ図示しないリニアガイドと駆動手段とからなるＺ軸
方向移動機構２８Ａ、２８Ｂが設置されており、各Ｚ軸
方向移動機構２８Ａ、２８Ｂは、Ｚキャリッジ３０Ａ、
３０Ｂを図中Ｚ軸方向に沿って駆動する。このＺキャリ
ッジ３０Ａ、３０Ｂの先端部にはモータブラケット３２
Ａ、３２Ｂが取り付けられており、このモータブラケッ
ト３２Ａ、３２Ｂに前記主軸モータ２２Ａ、２２Ｂが取
り付けられている。
ぞれ図示しないリニアガイドと駆動手段とからなるＺ軸
方向移動機構２８Ａ、２８Ｂが設置されており、各Ｚ軸
方向移動機構２８Ａ、２８Ｂは、Ｚキャリッジ３０Ａ、
３０Ｂを図中Ｚ軸方向に沿って駆動する。このＺキャリ
ッジ３０Ａ、３０Ｂの先端部にはモータブラケット３２
Ａ、３２Ｂが取り付けられており、このモータブラケッ
ト３２Ａ、３２Ｂに前記主軸モータ２２Ａ、２２Ｂが取
り付けられている。
【００２４】スピンドル移動機構は、以上のように構成
され、このスピンドル移動機構に駆動されることによ
り、各切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、図中Ｙ軸方向及
びＺ軸方向に移動する。すなわち、各切削ユニット１４
Ａ、１４Ｂは、キャリッジ２４Ａ、２４Ｂをガイドレー
ル２６、２６に沿ってスライドさせることによりＹ軸方
向に沿って移動し、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂの
Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの移動によりＺ軸方向に沿
って移動する（上下動する）。そして、このように移動
する切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向に沿って
移動することにより切削ピッチが可変し、Ｚ軸方向に沿
って移動することにより切削切込み量が可変する。
され、このスピンドル移動機構に駆動されることによ
り、各切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、図中Ｙ軸方向及
びＺ軸方向に移動する。すなわち、各切削ユニット１４
Ａ、１４Ｂは、キャリッジ２４Ａ、２４Ｂをガイドレー
ル２６、２６に沿ってスライドさせることによりＹ軸方
向に沿って移動し、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂの
Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの移動によりＺ軸方向に沿
って移動する（上下動する）。そして、このように移動
する切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向に沿って
移動することにより切削ピッチが可変し、Ｚ軸方向に沿
って移動することにより切削切込み量が可変する。
【００２５】撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂは、ＩＴＶカ
メラ３４Ａ、３４Ｂを備えている。ＩＴＶカメラ３４
Ａ、３４Ｂは、図１に示すように、カメラホルダ３６
Ａ、３６Ｂに保持されており、カメラホルダ３６Ａ、３
６Ｂはモータブラケット３２Ａ、３２Ｂに固定されてい
る。このＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、ウェーハテー
ブル１２に保持されたウェーハＷの上面を撮像し、その
画像データを画像処理装置３８に出力する。画像処理装
置３８は、得られた画像データを画像処理してブレード
２０Ａ、２０Ｂで切削された切削溝（カーフ）のカーフ
チェックを実施する。すなわち、ブレード２０Ａ、２０
Ｂで切削されたカーフのカーフ位置、カーフ幅、チッピ
ングの有無等を計測する。
メラ３４Ａ、３４Ｂを備えている。ＩＴＶカメラ３４
Ａ、３４Ｂは、図１に示すように、カメラホルダ３６
Ａ、３６Ｂに保持されており、カメラホルダ３６Ａ、３
６Ｂはモータブラケット３２Ａ、３２Ｂに固定されてい
る。このＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、ウェーハテー
ブル１２に保持されたウェーハＷの上面を撮像し、その
画像データを画像処理装置３８に出力する。画像処理装
置３８は、得られた画像データを画像処理してブレード
２０Ａ、２０Ｂで切削された切削溝（カーフ）のカーフ
チェックを実施する。すなわち、ブレード２０Ａ、２０
Ｂで切削されたカーフのカーフ位置、カーフ幅、チッピ
ングの有無等を計測する。
【００２６】制御装置は、ウェーハテーブル１２と切削
ユニット１４Ａ、１４Ｂの駆動を制御する。この制御装
置は、あらかじめ設定された切削パターンに従ってウェ
ーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂとを制
御し、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷを
ストリートに沿って切削する。また、あらかじめ設定さ
れたタイミング若しくはオペレータからの指示に応じて
カーフチェックを実施する。
ユニット１４Ａ、１４Ｂの駆動を制御する。この制御装
置は、あらかじめ設定された切削パターンに従ってウェ
ーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂとを制
御し、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷを
ストリートに沿って切削する。また、あらかじめ設定さ
れたタイミング若しくはオペレータからの指示に応じて
カーフチェックを実施する。
【００２７】次に、前記のごとく構成されたツインスピ
ンドルダイサによるウェーハＷの切断方法について説明
する。
ンドルダイサによるウェーハＷの切断方法について説明
する。
【００２８】本実施の形態のツインスピンドルダイサで
は、ウェーハＷをステップカット方式により切断する。
すなわち、まず、第１のブレード２０Ａ（以下、「第１
ブレード２０Ａ」という。）でストリートに沿ってウェ
ーハＷを所定深さ切削し、次いで、その第１ブレード２
０Ａで切削された溝内を第２のブレード２０Ｂ（以下、
「第２ブレード２０Ｂ」という。）で切削することによ
り、ウェーハＷをストリートに沿って切断する。具体的
には以下のとおりである。
は、ウェーハＷをステップカット方式により切断する。
すなわち、まず、第１のブレード２０Ａ（以下、「第１
ブレード２０Ａ」という。）でストリートに沿ってウェ
ーハＷを所定深さ切削し、次いで、その第１ブレード２
０Ａで切削された溝内を第２のブレード２０Ｂ（以下、
「第２ブレード２０Ｂ」という。）で切削することによ
り、ウェーハＷをストリートに沿って切断する。具体的
には以下のとおりである。
【００２９】なお、本実施の形態のツインスピンドルダ
イサにおいては、先行して溝を切削する第１ブレード２
０Ａの刃幅が、第２ブレード２０Ｂの刃幅よりも大きく
形成されているものとする。
イサにおいては、先行して溝を切削する第１ブレード２
０Ａの刃幅が、第２ブレード２０Ｂの刃幅よりも大きく
形成されているものとする。
【００３０】まず、制御装置は主軸モータ２２Ａ、２２
Ｂを駆動して第１ブレード２０Ａ、第２ブレード２０Ｂ
を回転させる。次いで、スピンドル移動機構のスライド
駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレー
ド２０Ｂとの間隔をあらかじめ設定された間隔にセット
する。なお、ここでは第１ブレード２０Ａと第２ブレー
ド２０Ｂとの間隔がストリートの３ピッチ分に設定され
ているものとする。
Ｂを駆動して第１ブレード２０Ａ、第２ブレード２０Ｂ
を回転させる。次いで、スピンドル移動機構のスライド
駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレー
ド２０Ｂとの間隔をあらかじめ設定された間隔にセット
する。なお、ここでは第１ブレード２０Ａと第２ブレー
ド２０Ｂとの間隔がストリートの３ピッチ分に設定され
ているものとする。
【００３１】次に、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂを
駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂと
をそれぞれ所定量下降させる。これにより、第１ブレー
ド２０Ａと第２ブレード２０Ｂとの切込み量が、あらか
じめ設定された値にそれぞれセットされる。
駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂと
をそれぞれ所定量下降させる。これにより、第１ブレー
ド２０Ａと第２ブレード２０Ｂとの切込み量が、あらか
じめ設定された値にそれぞれセットされる。
【００３２】なお、ここでの第２ブレード２０Ｂの切込
み量は、第１ブレード２０Ａによって切削された溝Ｇ内
を切削してウェーハＷを完全に切断するため、第１ブレ
ード２０Ａの切り込み量よりも多く設定されている。
み量は、第１ブレード２０Ａによって切削された溝Ｇ内
を切削してウェーハＷを完全に切断するため、第１ブレ
ード２０Ａの切り込み量よりも多く設定されている。
【００３３】第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂ
の切込み量があらかじめ設定された値にセットされる
と、制御装置は、主軸モータ２２Ａと共に主軸モータ２
２Ｂを駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２
０Ｂとを回転させる。次に、ウェーハテーブル１２の切
削送り機構を駆動して、ウェーハテーブル１２をＸ軸方
向に沿って移動させる。これにより、ウェーハＷがスト
リートＳX1に沿っての所定深さ切削され、所定深さの溝
ＧX1がストリートＳX1に沿って形成される（図３（ａ）
参照）。
の切込み量があらかじめ設定された値にセットされる
と、制御装置は、主軸モータ２２Ａと共に主軸モータ２
２Ｂを駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２
０Ｂとを回転させる。次に、ウェーハテーブル１２の切
削送り機構を駆動して、ウェーハテーブル１２をＸ軸方
向に沿って移動させる。これにより、ウェーハＷがスト
リートＳX1に沿っての所定深さ切削され、所定深さの溝
ＧX1がストリートＳX1に沿って形成される（図３（ａ）
参照）。
【００３４】次に、制御装置はスピンドル移動機構のス
ライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２
ブレード２０Ｂとをストリートのピッチ分だけＹ軸方向
に移動させる。そして、ウェーハテーブル１２をＸ軸方
向に再び移動させて、次のストリートＳX2を第１ブレー
ド２０Ａによって切削する。
ライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２
ブレード２０Ｂとをストリートのピッチ分だけＹ軸方向
に移動させる。そして、ウェーハテーブル１２をＸ軸方
向に再び移動させて、次のストリートＳX2を第１ブレー
ド２０Ａによって切削する。
【００３５】以上の切削動作を繰り返し行い、Ｘ軸方向
のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａで順
次切削してゆく。
のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａで順
次切削してゆく。
【００３６】ところで、上記のようにＸ軸方向のストリ
ートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａで順次切削
し、４本目のストリートＳX1に到達すると、図３（ｂ）
に示すように、第１ブレード２０Ａによって切削された
第１本目の溝ＧX1の位置に第２ブレード２０Ｂが位置す
る。この状態でウェーハテーブル１２の切削送り機構を
引き続き駆動して、ウェーハテーブル１２をＸ軸方向に
移動させると、第１ブレード２０Ａによってストリート
ＳX4が所定深さ切削されるとともに、第２ブレード２０
Ｂによって溝ＧX1内が切削され、ウェーハＷがストリー
トＳX1に沿って分断される。
ートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａで順次切削
し、４本目のストリートＳX1に到達すると、図３（ｂ）
に示すように、第１ブレード２０Ａによって切削された
第１本目の溝ＧX1の位置に第２ブレード２０Ｂが位置す
る。この状態でウェーハテーブル１２の切削送り機構を
引き続き駆動して、ウェーハテーブル１２をＸ軸方向に
移動させると、第１ブレード２０Ａによってストリート
ＳX4が所定深さ切削されるとともに、第２ブレード２０
Ｂによって溝ＧX1内が切削され、ウェーハＷがストリー
トＳX1に沿って分断される。
【００３７】制御装置は、第１ブレード２０Ａによる４
本目のストリートＳX4の切削と、第２ブレード２０Ｂに
よる１本目の溝ＧX1の切削が終了すると、スピンドル移
動機構のスライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２
０Ａと第２ブレード２０Ｂとをストリートのピッチ分だ
けＹ軸方向に移動させる。そして、ウェーハテーブル１
２をＸ軸方向に再び移動させて、次のストリートＳX5を
第１ブレード２０Ａによって切削するとともに、第２ブ
レード２０Ｂによって２本目の溝ＧX2内を切削する。こ
の切削動作を繰り返し行い、図３（ｃ）に示すように、
Ｘ軸方向のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２
０Ａと第２ブレード２０Ｂとで順次切削し、ウェーハＷ
をストリートＳX1、ＳX2、…に沿って分断してゆく。
本目のストリートＳX4の切削と、第２ブレード２０Ｂに
よる１本目の溝ＧX1の切削が終了すると、スピンドル移
動機構のスライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２
０Ａと第２ブレード２０Ｂとをストリートのピッチ分だ
けＹ軸方向に移動させる。そして、ウェーハテーブル１
２をＸ軸方向に再び移動させて、次のストリートＳX5を
第１ブレード２０Ａによって切削するとともに、第２ブ
レード２０Ｂによって２本目の溝ＧX2内を切削する。こ
の切削動作を繰り返し行い、図３（ｃ）に示すように、
Ｘ軸方向のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２
０Ａと第２ブレード２０Ｂとで順次切削し、ウェーハＷ
をストリートＳX1、ＳX2、…に沿って分断してゆく。
【００３８】そして、Ｘ軸方向のストリートＳX1、
ＳX2、…の切断が全て終了すると、制御装置は、ウェー
ハテーブル１２を９０°回転させて、Ｘ軸方向と直交す
るＹ方向のストリートＳY1、ＳY2、…を上述した手順と
同じ手順を繰り返して切断する。これにより、ウェーハ
Ｗは最終的に碁盤目状に切断される。
ＳX2、…の切断が全て終了すると、制御装置は、ウェー
ハテーブル１２を９０°回転させて、Ｘ軸方向と直交す
るＹ方向のストリートＳY1、ＳY2、…を上述した手順と
同じ手順を繰り返して切断する。これにより、ウェーハ
Ｗは最終的に碁盤目状に切断される。
【００３９】次に、本発明に係るカーフチェック方法を
上述したツインスピンドルダイサに適用した例で説明す
る。
上述したツインスピンドルダイサに適用した例で説明す
る。
【００４０】カーフチェックの実施方法には、あらか
じめ設定されたタイミングで自動的に実施する方法と、
オペレータによる任意のタイミングで実施する方法と
がある。
じめ設定されたタイミングで自動的に実施する方法と、
オペレータによる任意のタイミングで実施する方法と
がある。
【００４１】まず、初めにあらかじめ設定されたタイミ
ングで自動的にカーフチェックを実施する方法について
説明する。
ングで自動的にカーフチェックを実施する方法について
説明する。
【００４２】図４は、あらかじめ設定されたタイミング
で自動的にカーフチェックを実施する場合のフローチャ
ートである。
で自動的にカーフチェックを実施する場合のフローチャ
ートである。
【００４３】カーフチェックの自動実施モードが選択さ
れると、制御装置は、第１ブレード２０Ａによる切削ラ
イン数（第１ブレード２０Ａで切削したストリートの本
数）と第２ブレード２０Ｂによる切削ライン数（第２ブ
レード２０Ｂで切削したストリートの本数）とをカウン
トする。そして、いずれか一方のブレードの切削ライン
数があらかじめ設定されたライン数に達すると、カーフ
チェックを自動的に実施する（ステップＳ１）。
れると、制御装置は、第１ブレード２０Ａによる切削ラ
イン数（第１ブレード２０Ａで切削したストリートの本
数）と第２ブレード２０Ｂによる切削ライン数（第２ブ
レード２０Ｂで切削したストリートの本数）とをカウン
トする。そして、いずれか一方のブレードの切削ライン
数があらかじめ設定されたライン数に達すると、カーフ
チェックを自動的に実施する（ステップＳ１）。
【００４４】まず、制御装置は、第１ブレード２０Ａと
第２ブレード２０Ｂの何れのブレードのカーフチェック
を実施するかを判定する（ステップＳ２）。ここでは、
第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとが、共に規
定のライン数に達している場合について説明する。
第２ブレード２０Ｂの何れのブレードのカーフチェック
を実施するかを判定する（ステップＳ２）。ここでは、
第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとが、共に規
定のライン数に達している場合について説明する。
【００４５】図５（ａ）に示すように、第１ブレード２
０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して所定深さの溝Ｇ
5 をストリートＳ5 に沿って切削しており、第２ブレー
ド２０Ｂは、その第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ1
内を切削している。制御装置は、第１ブレード２０Ａに
よる切削ライン数と第２ブレード２０Ｂによる切削ライ
ン数とが、あらかじめ設定されたライン数に達した段階
で切断作業を一時中断する。
０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して所定深さの溝Ｇ
5 をストリートＳ5 に沿って切削しており、第２ブレー
ド２０Ｂは、その第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ1
内を切削している。制御装置は、第１ブレード２０Ａに
よる切削ライン数と第２ブレード２０Ｂによる切削ライ
ン数とが、あらかじめ設定されたライン数に達した段階
で切断作業を一時中断する。
【００４６】次に、制御装置は、図５（ｂ）に示すよう
に、第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切
削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動させる
（ステップＳ３）。そして、第２ブレード２０Ｂによっ
てその未切削のストリートＳ 6 をあらかじめ設定された
深さで切削する（ステップＳ４）。
に、第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切
削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動させる
（ステップＳ３）。そして、第２ブレード２０Ｂによっ
てその未切削のストリートＳ 6 をあらかじめ設定された
深さで切削する（ステップＳ４）。
【００４７】次に、制御装置は、第１ブレード２０Ａで
切削した溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する
（ステップＳ５）。すなわち、第１ブレード２０Ａで切
削した溝（カーフ）Ｇ5 のカーフ位置、カーフ幅、チッ
ピングの有無等を計測する。
切削した溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する
（ステップＳ５）。すなわち、第１ブレード２０Ａで切
削した溝（カーフ）Ｇ5 のカーフ位置、カーフ幅、チッ
ピングの有無等を計測する。
【００４８】次に、制御装置は、第２ブレード２０Ｂで
切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する
（ステップＳ６）。すなわち、第２ブレード２０Ｂで切
削した溝（カーフ）ｇ6 のカーフ位置、カーフ幅、チッ
ピングの有無等を計測する。
切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する
（ステップＳ６）。すなわち、第２ブレード２０Ｂで切
削した溝（カーフ）ｇ6 のカーフ位置、カーフ幅、チッ
ピングの有無等を計測する。
【００４９】カーフチェックが終了すると、制御装置
は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う
（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認
められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ
８）。一方、正常であれば自動切断を再開する（ステッ
プＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブ
レード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所
定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3
内を切削する。
は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う
（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認
められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ
８）。一方、正常であれば自動切断を再開する（ステッ
プＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブ
レード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所
定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3
内を切削する。
【００５０】なお、第１ブレード２０Ａで切削するスト
リートＳ6 は、前記のごとく第２ブレードのカーフチェ
ックのために、すでに第２ブレード２０Ｂで切削されて
いるので、この場合、第１ブレード２０Ａは、第２ブレ
ード２０Ｂで切削された溝ｇ 6 に沿ってこの溝ｇ6 の上
から更に切削を実施して、所定深さの溝Ｇ6 を形成す
る。
リートＳ6 は、前記のごとく第２ブレードのカーフチェ
ックのために、すでに第２ブレード２０Ｂで切削されて
いるので、この場合、第１ブレード２０Ａは、第２ブレ
ード２０Ｂで切削された溝ｇ 6 に沿ってこの溝ｇ6 の上
から更に切削を実施して、所定深さの溝Ｇ6 を形成す
る。
【００５１】以上のカーフチェック方法によれば、第２
ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに際して、
未切削のストリートを第２ブレード２０Ｂで切削してカ
ーフチェックを実施するので、従来のように第１ブレー
ド２０Ａで切削した溝（カーフ）と第２ブレード２０Ｂ
で切削した溝（カーフ）とが重なることがなく、正確な
カーフチェックを行うことができる。
ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに際して、
未切削のストリートを第２ブレード２０Ｂで切削してカ
ーフチェックを実施するので、従来のように第１ブレー
ド２０Ａで切削した溝（カーフ）と第２ブレード２０Ｂ
で切削した溝（カーフ）とが重なることがなく、正確な
カーフチェックを行うことができる。
【００５２】なお、カーフチェック時に第２ブレード２
０Ｂで切削する溝の深さは、その後に第１ブレード２０
Ａで再び同じストリート上を切削することから、第１ブ
レード２０Ａで切削する溝の深さよりも浅く切削する。
０Ｂで切削する溝の深さは、その後に第１ブレード２０
Ａで再び同じストリート上を切削することから、第１ブ
レード２０Ａで切削する溝の深さよりも浅く切削する。
【００５３】以上は第１ブレード２０Ａのカーフチェッ
クのタイミングと第２ブレード２０Ｂのカーフチェック
のタイミングとが同じであった場合であり、第１ブレー
ド２０Ａの切削ライン数のみが、あらかじめ設定されて
いるライン数に達している場合は、第１ブレード２０Ａ
のみをカーフチェックする。この場合、カーフチェック
は次のように実施される。
クのタイミングと第２ブレード２０Ｂのカーフチェック
のタイミングとが同じであった場合であり、第１ブレー
ド２０Ａの切削ライン数のみが、あらかじめ設定されて
いるライン数に達している場合は、第１ブレード２０Ａ
のみをカーフチェックする。この場合、カーフチェック
は次のように実施される。
【００５４】図５（ａ）に示すように、第１ブレード２
０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して溝Ｇ5 を切削し
ているので、第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブ
レード２０Ｂで切削した溝とが重なり合うことはない。
したがって、該当のストリートの通常の切削を終了した
段階でカーフチェックを実施することができる。
０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して溝Ｇ5 を切削し
ているので、第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブ
レード２０Ｂで切削した溝とが重なり合うことはない。
したがって、該当のストリートの通常の切削を終了した
段階でカーフチェックを実施することができる。
【００５５】制御装置は、第１ブレード２０Ａの切削ラ
イン数が、あらかじめ設定されたライン数に達した段階
で切削作業を一時中断する。そして、図５（ｃ）に示す
ように、第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ5 をＩＴＶ
カメラ３４Ａで撮像する。そして、その画像データを画
像処理装置３８で画像処理して、第１ブレード２０Ａの
カーフチェックを実施する（ステップＳ１０）。
イン数が、あらかじめ設定されたライン数に達した段階
で切削作業を一時中断する。そして、図５（ｃ）に示す
ように、第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ5 をＩＴＶ
カメラ３４Ａで撮像する。そして、その画像データを画
像処理装置３８で画像処理して、第１ブレード２０Ａの
カーフチェックを実施する（ステップＳ１０）。
【００５６】カーフチェックが終了すると、制御装置
は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う
（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認
められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ
８）。一方、正常であれば自動切断を再開する（ステッ
プＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブ
レード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所
定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3
内を切削する。
は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う
（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認
められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ
８）。一方、正常であれば自動切断を再開する（ステッ
プＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブ
レード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所
定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3
内を切削する。
【００５７】また、第２ブレード２０Ｂの切削ライン数
のみが、あらかじめ設定されているライン数に達してい
る場合は、第２ブレード２０Ｂのみをカーフチェックす
る。この場合、カーフチェックは次のように実施され
る。
のみが、あらかじめ設定されているライン数に達してい
る場合は、第２ブレード２０Ｂのみをカーフチェックす
る。この場合、カーフチェックは次のように実施され
る。
【００５８】図５（ａ）に示すように、第２ブレード２
０Ｂは、すでに第１ブレード２０Ａで切削された溝Ｇ2
内を切削しているので、この状態でカーフチェックを実
施しても、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ2 は、第
１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ2 に重なってしまうの
で、正確にカーフチェックすることはできない。
０Ｂは、すでに第１ブレード２０Ａで切削された溝Ｇ2
内を切削しているので、この状態でカーフチェックを実
施しても、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ2 は、第
１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ2 に重なってしまうの
で、正確にカーフチェックすることはできない。
【００５９】そこで、第２ブレード２０Ｂの切削ライン
数が、あらかじめ設定されているライン数に達した場
合、制御装置は、図５（ｂ）に示すように、まず第２ブ
レード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切削がまだ行
われていないストリートＳ6 まで移動させる（ステップ
Ｓ１１）。そして、第２ブレード２０Ｂによってその未
切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定された深さで切
削する（ステップＳ１２）。次に、制御装置は、第２ブ
レード２０Ｂで切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで
撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８
で画像処理して、第２ブレード２０Ｂのカーフチェック
を実施する（ステップＳ１３）。
数が、あらかじめ設定されているライン数に達した場
合、制御装置は、図５（ｂ）に示すように、まず第２ブ
レード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切削がまだ行
われていないストリートＳ6 まで移動させる（ステップ
Ｓ１１）。そして、第２ブレード２０Ｂによってその未
切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定された深さで切
削する（ステップＳ１２）。次に、制御装置は、第２ブ
レード２０Ｂで切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで
撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８
で画像処理して、第２ブレード２０Ｂのカーフチェック
を実施する（ステップＳ１３）。
【００６０】カーフチェックが終了すると、制御装置
は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う
（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認
められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ
８）。一方、正常であれば、自動切断を再開する（ステ
ップＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１
ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って
所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ
3 内を切削する。
は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う
（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認
められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ
８）。一方、正常であれば、自動切断を再開する（ステ
ップＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１
ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って
所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ
3 内を切削する。
【００６１】なお、第１ブレード２０Ａで切削するスト
リートＳ6 は、すでに第２ブレード２０Ｂで切削されて
いるので、この場合、第１ブレード２０Ａは、第２ブレ
ード２０Ｂで切削された溝ｇ6 に沿ってこの溝ｇ6 の上
から更に切削を実施して、所定深さの溝Ｇ6 を形成す
る。
リートＳ6 は、すでに第２ブレード２０Ｂで切削されて
いるので、この場合、第１ブレード２０Ａは、第２ブレ
ード２０Ｂで切削された溝ｇ6 に沿ってこの溝ｇ6 の上
から更に切削を実施して、所定深さの溝Ｇ6 を形成す
る。
【００６２】以上説明したカーフチェック方法によれ
ば、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに
際して、未切削のストリートを切削してカーフチェック
を実施するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切
削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なる
ことがなく、正確なカーフチェックを行うことができ
る。
ば、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに
際して、未切削のストリートを切削してカーフチェック
を実施するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切
削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なる
ことがなく、正確なカーフチェックを行うことができ
る。
【００６３】次に、オペレータによる任意のタイミング
でカーフチェックを実施する場合について説明する。
でカーフチェックを実施する場合について説明する。
【００６４】図６は、オペレータによる任意のタイミン
グでカーフチェックを実施する場合のフローチャートで
ある。
グでカーフチェックを実施する場合のフローチャートで
ある。
【００６５】カーフチェックの自動実施モードが選択さ
れているか否かにかかわらず、オペレータが外部の入力
装置（不図示）からカーフチェック実施の指令を与える
と（ステップＳ２０）、制御装置は、現在切削している
ストリートを切削し終えた段階で切削作業を一時中断す
る。
れているか否かにかかわらず、オペレータが外部の入力
装置（不図示）からカーフチェック実施の指令を与える
と（ステップＳ２０）、制御装置は、現在切削している
ストリートを切削し終えた段階で切削作業を一時中断す
る。
【００６６】オペレータは、第１ブレード２０Ａと第２
ブレード２０Ｂのいずれのブレードをカーフチェックす
るのかを選択し、入力装置から制御装置に指令を与える
（ステップＳ２１）。ここでは、まず第１ブレード２０
Ａのカーフチェックが選択された場合について説明す
る。
ブレード２０Ｂのいずれのブレードをカーフチェックす
るのかを選択し、入力装置から制御装置に指令を与える
（ステップＳ２１）。ここでは、まず第１ブレード２０
Ａのカーフチェックが選択された場合について説明す
る。
【００６７】図５（ａ）に示すように、第１ブレード２
０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して溝Ｇ5 を切削し
ているので、第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブ
レード２０Ｂで切削した溝とが重なり合うことはない。
したがって、この場合、最新の切削ラインをカーフチェ
ックすればよいこととなる。
０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して溝Ｇ5 を切削し
ているので、第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブ
レード２０Ｂで切削した溝とが重なり合うことはない。
したがって、この場合、最新の切削ラインをカーフチェ
ックすればよいこととなる。
【００６８】制御装置は、第１ブレード２０Ａのカーフ
チェックが選択されると、第１ブレード２０Ａで切削し
た最新の溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する
（ステップＳ２２）。
チェックが選択されると、第１ブレード２０Ａで切削し
た最新の溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する
（ステップＳ２２）。
【００６９】カーフチェックが終了すると（ステップＳ
２３）、制御装置又はオペレータは、そのカーフチェッ
クの結果に基づいて判定を行う。そして、その判定の結
果、異常が認められれば、そのまま運転を停止し、正常
であれば切断を再開する。すなわち、図５（ｅ）に示す
ように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリート
Ｓ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード
２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
２３）、制御装置又はオペレータは、そのカーフチェッ
クの結果に基づいて判定を行う。そして、その判定の結
果、異常が認められれば、そのまま運転を停止し、正常
であれば切断を再開する。すなわち、図５（ｅ）に示す
ように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリート
Ｓ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード
２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００７０】次に、第２ブレード２０Ｂのカーフチェッ
クが選択された場合について説明する。
クが選択された場合について説明する。
【００７１】図５（ａ）に示すように、第２ブレード２
０Ｂは、すでに第１ブレード２０Ａで切削された溝Ｇ2
内を切削しているので、この状態でカーフチェックを実
施しても、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ2 は、第
１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ2 に重なってしまうの
で、正確にカーフチェックすることはできない。
０Ｂは、すでに第１ブレード２０Ａで切削された溝Ｇ2
内を切削しているので、この状態でカーフチェックを実
施しても、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ2 は、第
１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ2 に重なってしまうの
で、正確にカーフチェックすることはできない。
【００７２】そこで、第２ブレード２０Ｂのカーフチェ
ックが選択された場合、制御装置は、図５（ｂ）に示す
ように、第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによ
る切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動さ
せる（ステップＳ２４）。そして、第２ブレード２０Ｂ
によってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定
された深さで切削する（ステップＳ２５）。
ックが選択された場合、制御装置は、図５（ｂ）に示す
ように、第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによ
る切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動さ
せる（ステップＳ２４）。そして、第２ブレード２０Ｂ
によってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定
された深さで切削する（ステップＳ２５）。
【００７３】次に、制御装置は、第２ブレード２０Ｂで
切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する
（ステップＳ２６）。
切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そし
て、その画像データを画像処理装置３８で画像処理し
て、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する
（ステップＳ２６）。
【００７４】カーフチェックが終了すると（ステップＳ
２３）、制御装置又はオペレータは、そのカーフチェッ
クの結果に基づいて判定を行う。そして、異常が認めら
れれば、運転を停止し、正常であれば、自動切断を再開
する。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレー
ド２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深
さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を
切削する。
２３）、制御装置又はオペレータは、そのカーフチェッ
クの結果に基づいて判定を行う。そして、異常が認めら
れれば、運転を停止し、正常であれば、自動切断を再開
する。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレー
ド２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深
さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を
切削する。
【００７５】このように、第２ブレード２０Ｂのカーフ
チェックを実施するに際して、未切削のストリートを切
削してカーフチェックを実施するので、従来のように第
１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで
切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェッ
クを行うことができる。
チェックを実施するに際して、未切削のストリートを切
削してカーフチェックを実施するので、従来のように第
１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで
切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェッ
クを行うことができる。
【００７６】ところで、上述した一連の実施の形態は、
画像処理装置３８を用いてカーフチェックを自動で行う
方法である。これに対してオペレータが目視でカーフチ
ェックを実施する場合は次のとおりである。
画像処理装置３８を用いてカーフチェックを自動で行う
方法である。これに対してオペレータが目視でカーフチ
ェックを実施する場合は次のとおりである。
【００７７】図７は、オペレータが目視でカーフチェッ
クを実施する場合のフローチャートである。
クを実施する場合のフローチャートである。
【００７８】カーフチェックの自動実施モードが選択さ
れているか否かにかかわらず、オペレータが外部の入力
装置（不図示）から目視によるカーフチェックの実施指
令を与えると（ステップＳ３０）、制御装置は、オペレ
ータが指定したストリートを切削し終えた段階で切削作
業を一時中断する（ステップＳ３１）。
れているか否かにかかわらず、オペレータが外部の入力
装置（不図示）から目視によるカーフチェックの実施指
令を与えると（ステップＳ３０）、制御装置は、オペレ
ータが指定したストリートを切削し終えた段階で切削作
業を一時中断する（ステップＳ３１）。
【００７９】そして、制御装置は、図５（ｂ）に示すよ
うに、まず第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａに
よる切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動
させる（ステップＳ３２）。次に、第２ブレード２０Ｂ
によってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定
された深さで切削する（ステップＳ３３）。そして、第
２ブレード２０Ｂによる切削が終了した段階でツインス
ピンドルダイサ１０の運転を停止する（ステップＳ３
４）。
うに、まず第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａに
よる切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動
させる（ステップＳ３２）。次に、第２ブレード２０Ｂ
によってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定
された深さで切削する（ステップＳ３３）。そして、第
２ブレード２０Ｂによる切削が終了した段階でツインス
ピンドルダイサ１０の運転を停止する（ステップＳ３
４）。
【００８０】オペレータは、モニタ画面又は顕微鏡によ
り目視でカーフチェックを行う。すなわち、第１ブレー
ド２０Ａと第２ブレード２０Ｂとで切削した溝のカーフ
位置、カーフ幅、チッピングの有無等を目視して計測す
る。カーフチェックの結果、異常が認められれば、その
まま運転を停止し、正常であれば、切断を再開する。す
なわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０Ａ
でウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削す
るとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削す
る。
り目視でカーフチェックを行う。すなわち、第１ブレー
ド２０Ａと第２ブレード２０Ｂとで切削した溝のカーフ
位置、カーフ幅、チッピングの有無等を目視して計測す
る。カーフチェックの結果、異常が認められれば、その
まま運転を停止し、正常であれば、切断を再開する。す
なわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０Ａ
でウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削す
るとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削す
る。
【００８１】このように目視でカーフチェックを行う場
合も、第２ブレード２０Ｂは未切削のストリートを切削
するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切削した
溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なることが
なく、正確なカーフチェックを行うことができる。
合も、第２ブレード２０Ｂは未切削のストリートを切削
するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切削した
溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なることが
なく、正確なカーフチェックを行うことができる。
【００８２】なお、上述した一連の実施の形態では、第
１ブレード２０Ａの刃幅と第２ブレード２０Ｂの刃幅が
異なる場合について説明したが、第１ブレード２０Ａと
第２ブレード２０Ｂは、同じ刃幅のものを使用してもよ
い。なお、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂの
刃幅が同じ場合に、従来の方法でカーフチェックを実施
すると、第２ブレード２０Ｂの切削溝が第１ブレード２
０Ａの切削溝に重なるので、第１ブレード２０Ａ、第２
ブレード２０Ｂ共に正確なカーフ位置、カーフ幅を計測
できないという欠点があるが、本発明に係るカーフチェ
ック方法によれば、第１ブレード２０Ａと第２ブレード
２０Ｂとで個別に溝を切削してカーフチェックを実施す
るので、いずれのブレードも正確なカーフ位置、カーフ
幅を計測することができる。
１ブレード２０Ａの刃幅と第２ブレード２０Ｂの刃幅が
異なる場合について説明したが、第１ブレード２０Ａと
第２ブレード２０Ｂは、同じ刃幅のものを使用してもよ
い。なお、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂの
刃幅が同じ場合に、従来の方法でカーフチェックを実施
すると、第２ブレード２０Ｂの切削溝が第１ブレード２
０Ａの切削溝に重なるので、第１ブレード２０Ａ、第２
ブレード２０Ｂ共に正確なカーフ位置、カーフ幅を計測
できないという欠点があるが、本発明に係るカーフチェ
ック方法によれば、第１ブレード２０Ａと第２ブレード
２０Ｂとで個別に溝を切削してカーフチェックを実施す
るので、いずれのブレードも正確なカーフ位置、カーフ
幅を計測することができる。
【００８３】また、上述した一連の実施の形態では、カ
ーフチェックの結果、異常が認められた場合は装置の運
転を停止するようにしているが、カーフ位置に異常が生
じている場合は、カーフ位置を自動補正して、運転を再
開するようにしてもよい。すなわち、カーフチェックの
結果から、ストリートの中心に対する切削溝の中心のズ
レ量δを算出し（正確に切削されていれば、ストリート
の中心と切削溝の中心は一致する。）、そのズレ量δを
相殺すべくブレード位置を補正する。そして補正後、自
動切削を再開する。これにより、装置の運転を止めずに
常に正確な切断作業を実施することができる。
ーフチェックの結果、異常が認められた場合は装置の運
転を停止するようにしているが、カーフ位置に異常が生
じている場合は、カーフ位置を自動補正して、運転を再
開するようにしてもよい。すなわち、カーフチェックの
結果から、ストリートの中心に対する切削溝の中心のズ
レ量δを算出し（正確に切削されていれば、ストリート
の中心と切削溝の中心は一致する。）、そのズレ量δを
相殺すべくブレード位置を補正する。そして補正後、自
動切削を再開する。これにより、装置の運転を止めずに
常に正確な切断作業を実施することができる。
【００８４】また、上述した一連の実施の形態では、ウ
ェーハを撮像する撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂが一対で
構成されているが、撮像ユニットは単一の構成であって
もよい。
ェーハを撮像する撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂが一対で
構成されているが、撮像ユニットは単一の構成であって
もよい。
【００８５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１ブレードと第２ブレードとで異なるストリートを切
削してカーフチェックを実施するので、第２ブレードで
形成した溝が第１ブレードで形成した溝に重なることが
ない。したがって、正確に両ブレードのカーフチェック
を実施することができる。
第１ブレードと第２ブレードとで異なるストリートを切
削してカーフチェックを実施するので、第２ブレードで
形成した溝が第１ブレードで形成した溝に重なることが
ない。したがって、正確に両ブレードのカーフチェック
を実施することができる。
【図１】ツインスピンドルダイサの構成を示す平面図
【図２】ツインスピンドルダイサの構成を示す正面図
【図３】ステップカット方式でウェーハを切断する場合
の説明図
の説明図
【図４】あらかじめ設定されたタイミングで自動的にカ
ーフチェックを実施する場合のフローチャート
ーフチェックを実施する場合のフローチャート
【図５】カーフチェックの実施手順の説明図
【図６】オペレータによる任意のタイミングでカーフチ
ェックを実施する場合のフローチャート
ェックを実施する場合のフローチャート
【図７】オペレータによる目視でカーフチェックを実施
する場合のフローチャート
する場合のフローチャート
【図８】従来のカーフチェック方法の説明図
１０…ツインスピンドルダイサ、１２…ウェーハテーブ
ル、１４Ａ、１４Ｂ…切削ユニット、１６Ａ、１６Ｂ…
撮像ユニット、２０Ａ…第１ブレード、２０Ｂ…第２ブ
レード、２２Ａ、２２Ｂ…主軸モータ、２２ａ、２２ｂ
…主軸スピンドル、２４Ａ、２４Ｂ…キャリッジ、２６
…ガイドレール、２８Ａ、２８Ｂ…Ｚ軸方向移動機構、
３０Ａ、３０Ｂ…Ｚキャリッジ、３２Ａ、３２Ｂ…モー
タブラケット、３４Ａ、３４Ｂ…ＩＴＶカメラ、３６
Ａ、３６Ｂ…カメラホルダ、３８…画像処理装置、Ｗ…
ウェーハ、Ｓ…ストリート、Ｇ…第１ブレードによる切
削溝（カーフ）、ｇ…第２ブレードによる切削溝（カー
フ）
ル、１４Ａ、１４Ｂ…切削ユニット、１６Ａ、１６Ｂ…
撮像ユニット、２０Ａ…第１ブレード、２０Ｂ…第２ブ
レード、２２Ａ、２２Ｂ…主軸モータ、２２ａ、２２ｂ
…主軸スピンドル、２４Ａ、２４Ｂ…キャリッジ、２６
…ガイドレール、２８Ａ、２８Ｂ…Ｚ軸方向移動機構、
３０Ａ、３０Ｂ…Ｚキャリッジ、３２Ａ、３２Ｂ…モー
タブラケット、３４Ａ、３４Ｂ…ＩＴＶカメラ、３６
Ａ、３６Ｂ…カメラホルダ、３８…画像処理装置、Ｗ…
ウェーハ、Ｓ…ストリート、Ｇ…第１ブレードによる切
削溝（カーフ）、ｇ…第２ブレードによる切削溝（カー
フ）
Claims (7)
- 【請求項１】 第１ブレードと第２ブレードとを備え、
第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ
切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削するこ
とにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイ
シング装置において、 前記各ブレードのカーフチェックを実施するにあたり、
カーフチェックの実行タイミングと実行位置とを各ブレ
ードごとに管理することを特徴とするダイシング装置。 - 【請求項２】 第１ブレードと第２ブレードとを備え、
第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ
切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削するこ
とにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイ
シング装置において、 未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで
所定深さ切削し、その切削された溝を検査して第２ブレ
ードのカーフチェックを実施することを特徴とするダイ
シング装置のカーフチェック方法。 - 【請求項３】 第１ブレードと第２ブレードとを備え、
第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ
切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削するこ
とにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイ
シング装置において、 未切削のストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで
所定深さ切削するとともに、未切削のストリートに沿っ
てウェーハを第２ブレードで所定深さ切削し、その切削
された２本の溝を検査して、第１ブレードと第２ブレー
ドとのカーフチェックを実施することを特徴とするダイ
シング装置のカーフチェック方法。 - 【請求項４】 カーフチェック時に第２ブレードで切削
する溝の深さは、第１ブレードで切削する溝の深さより
も浅く形成し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレ
ードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハ
を第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで
切削した溝内を第２ブレードで再び切削することによ
り、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴
とする請求項２又は３記載のダイシング装置のカーフチ
ェック方法。 - 【請求項５】 第１ブレード、第２ブレード及び制御手
段を備え、第１ブレードと第２ブレードとを制御手段で
制御することにより、第１ブレードでストリートに沿っ
てウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２
ブレードで切削することにより、ウェーハをストリート
に沿って切断するダイシング装置において、 前記制御手段は、第２ブレードによって所定本数のスト
リートが切断されると、又は、外部入力手段から第２ブ
レードのカーフチェック指令信号が入力されると、未切
削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで所定
深さ切削させることを特徴とするダイシング装置のカー
フチェックシステム。 - 【請求項６】 前記ダイシング装置は、 ウェーハを撮像する撮像手段と、 前記撮像手段の画像データを画像処理してカーフチェッ
クを実施する画像処理手段と、を備え、前記制御手段
は、前記第２ブレードが未切削のストリートに沿ってウ
ェーハを所定深さ切削したのち、その第２ブレードで切
削された溝を前記撮像手段で撮像させ、その画像データ
を画像処理手段で画像処理させて第２ブレードのカーフ
チェックを実施することを特徴とする請求項５記載のダ
イシング装置のカーフチェックシステム。 - 【請求項７】 カーフチェック時に第２ブレードで切削
する溝の深さは、第１ブレードで切削する溝の深さより
も浅く形成し、カーフチェック終了後、制御手段は、第
１ブレードと第２ブレードとを制御することにより、前
記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿っ
てウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１
ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削する
ことにより、ウェーハをストリートに沿って切断するこ
とを特徴とする請求項６記載のダイシング装置のカーフ
チェックシステム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31660599A JP3646781B2 (ja) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | ダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステム |
| US09/704,734 US6422227B1 (en) | 1999-11-08 | 2000-11-03 | Dicing apparatus, kerf inspecting method and kerf inspecting system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31660599A JP3646781B2 (ja) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | ダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001129822A true JP2001129822A (ja) | 2001-05-15 |
| JP3646781B2 JP3646781B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=18078943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31660599A Expired - Fee Related JP3646781B2 (ja) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | ダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6422227B1 (ja) |
| JP (1) | JP3646781B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001298000A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| WO2003011546A1 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Disco Hi-Tec Europe Gmbh | Wafer-schneidemaschine |
| JP2006190779A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
| JP2007331049A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の運転方法 |
| JP2008251597A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP2009125934A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Canon Machinery Inc | 基板切断装置 |
| JP2012151225A (ja) * | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削溝の計測方法 |
| JP2012160766A (ja) * | 2012-05-29 | 2012-08-23 | Canon Machinery Inc | 基板切断装置 |
| JP2016181540A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 株式会社ディスコ | 被加工物の切削方法 |
| CN111403315A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-07-10 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 晶圆切边装置和方法 |
| KR20210012906A (ko) | 2019-07-26 | 2021-02-03 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 방법 |
| JP7486379B2 (ja) | 2020-08-13 | 2024-05-17 | 株式会社ディスコ | レーザー加工方法およびチップの製造方法 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002237472A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の切削方法 |
| US6826986B2 (en) * | 2001-05-05 | 2004-12-07 | Ah Beng Lim | Bi-directional singulation system and method |
| JP2003151920A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削機における被加工物位置合わせ方法 |
| US7320930B2 (en) * | 2004-04-19 | 2008-01-22 | Hana Microdisplay Technologies, Inc. | Multi-elevation singulation of device laminates in wafer scale and substrate processing |
| JP4571851B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-10-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2006272862A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Tdk Corp | セラミックグリーンシートの切断装置及び切断方法 |
| JP2007036143A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウエーハの加工方法 |
| DE102006011131B3 (de) | 2006-03-10 | 2007-09-13 | Holzma Plattenaufteiltechnik Gmbh | Sägevorrichtung |
| JP5134216B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2013-01-30 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工結果管理方法 |
| EP2144726B1 (de) * | 2007-05-08 | 2011-07-06 | HOLZMA Plattenaufteiltechnik GmbH | Verfahren zum betreiben einer plattenaufteilanlage für grossformatige platten sowie plattenaufteilanlage für grossformatige platten |
| US7518290B2 (en) * | 2007-06-19 | 2009-04-14 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Transducer array with non-uniform kerfs |
| JP5514744B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2014-06-04 | コーニング インコーポレイテッド | セラミック製品の切断システムおよび方法 |
| CN102318056A (zh) * | 2008-11-14 | 2012-01-11 | 洛克系统私人有限公司 | 划片系统和方法 |
| JP5394204B2 (ja) * | 2009-11-12 | 2014-01-22 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの消耗量管理方法 |
| CN104647615A (zh) * | 2013-11-15 | 2015-05-27 | 台湾暹劲股份有限公司 | 晶圆切割装置及其切割方法 |
| US11504869B2 (en) * | 2019-03-06 | 2022-11-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Workpiece processing device and method |
| US11964361B2 (en) | 2019-03-06 | 2024-04-23 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Workpiece processing device and method |
| JP7313253B2 (ja) * | 2019-10-10 | 2023-07-24 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
| CN117507163B (zh) * | 2024-01-02 | 2024-03-19 | 江苏中科智芯集成科技有限公司 | 一种可调间距晶圆切割设备和工艺 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3223421B2 (ja) * | 1996-08-13 | 2001-10-29 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
| IL120656A (en) * | 1997-04-13 | 2001-04-30 | Inspectech Ltd | Apparatus for analyzing cuts |
| TW418505B (en) * | 1997-07-02 | 2001-01-11 | Disco Corp | Device and method for precise cutting |
| JP3203364B2 (ja) * | 1997-12-01 | 2001-08-27 | 株式会社東京精密 | アライメント方法及びその装置 |
| JP3894526B2 (ja) * | 1998-07-06 | 2007-03-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
1999
- 1999-11-08 JP JP31660599A patent/JP3646781B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2000
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Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4542223B2 (ja) * | 2000-04-14 | 2010-09-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2001298000A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| WO2003011546A1 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Disco Hi-Tec Europe Gmbh | Wafer-schneidemaschine |
| KR100774388B1 (ko) | 2001-07-26 | 2007-11-08 | 디스코 하이테크 유럽 게엠베하 | 웨이퍼 커팅 머신 |
| JP2006190779A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
| JP4694845B2 (ja) * | 2005-01-05 | 2011-06-08 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
| JP2007331049A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の運転方法 |
| JP2008251597A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP2009125934A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Canon Machinery Inc | 基板切断装置 |
| JP2012151225A (ja) * | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削溝の計測方法 |
| JP2012160766A (ja) * | 2012-05-29 | 2012-08-23 | Canon Machinery Inc | 基板切断装置 |
| JP2016181540A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 株式会社ディスコ | 被加工物の切削方法 |
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| CN111403315A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-07-10 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 晶圆切边装置和方法 |
| CN111403315B (zh) * | 2020-03-03 | 2022-03-18 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 晶圆切边装置和方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3646781B2 (ja) | 2005-05-11 |
| US6422227B1 (en) | 2002-07-23 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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