JPH04189508A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウェハをカッティングするダイシング装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は、従来のダイシング装置のカッティング部の正
面図であり、図において、（１）はウェハ、（２）はウ
ェハ（１）を吸着固定するチャックテーブル、（３）は
ウェハ（１）をカッティングする回転刀（以下、ブレー
ドと略称する。）　、（４１は、ブレード（３）を回転
及び上下動させる、ＡＣサーボモータ等のブレード駆動
系である。

次に動作について説明する。ウェハ（１）はチャックテ
ーブル（２）に吸着固定される。次いて、ブレード（３
）が回転し、ブレード（３）の下端がチャックテーブル
（２）の表面から、０〜ウエハ厚Ｔの間の任意の高さに
なるよう保たれる。そして、チャックテーブル（２）が
水平移動し、ウェハ（１）はカッティングされろ。

〔発明が解決しようとする帽１ 従来のダイシング装置は以上のように構成されているの
で、カッティング中にブレード（１）にぶれが生じた賜
金、カッティングラインの蛇行や、チップ本体の割れ、
欠け、ブレード（１）の破損等が発生し易く、これに対
し、装置側で何の対処もなされないといった問題点があ
った。

この発明は上記のような問題点を解消する為になされた
もので、ブレードにぶれが生じても、カッティング不良
を最小限に抑え、ブレード破損を防ぐことが出来る、ダ
イシング装置を得ることを目的とする。

株 Ｃ＊題を解決するための手段〕 この発明に係るダイレンゲ装置は、ブレードのぶれを検
知し、ぶれがある設定値以上となった場合、ブレードを
上に逃すか、又は回転を止める等の手段により、カッテ
ィングを中止する様したものである。

〔作用〕

この発明におけるダイシング装置は、ブレードのぶれを
検出し、その信号を制御系で処理することにより、ブレ
ード駆動系にカッティング中止の信号が送られ、カッテ
ィングを中止する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）はウェハ、（２）はウェハ（１１を
吸着固定するチャックテーブル、（３）はウェハ（１）
をカッティングするブレード、（４）はブレード（３）
を回転及び上下動させるブレード駆動系、（５）はブレ
ード（３）のぶれを検出する、レーザー式振動計等のぶ
れ測定器、（６）は、ぶれ測定！ｉ（５］からのぶれ信
号を処理し、ブレード駆動針（４）に指令を出す、ブレ
ード制御系である。

次に動作について説明する。

ブレード（３）が回転し、且つ、その下端が、チャ、ツ
クテーブル（２）の表面に対し、０もしくは、ウェハ厚
Ｔを超えない程度の任意の高さまで下降、保持される。

次いで、ウェハ（１）を吸着固定したチャックテーブル
（２）が水平移動し、ウェハｔｉｔのカッティングが行
われる。この時、ブレード先端のぶれをぶれ測定器（５
）にて、リアルタイムに検出する。ぶれ測定器（５）と
しては、レーザー反射式の振動計等、比接解のものであ
る。検出されたぶれ信号は、ブレード制御系（６）に送
られ、そこで、ぶれ量を測定し、あらかじめ設定された
値に対し、それを超えるぶれが生じた場合、ブレード駆
動系（４）に、ブレード回転停止又は、ブレード上昇等
の指令を出し、カッティングを中止する。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、ブレードのぶれをぶれ
測定器により検出し、その信号により、ブレード駆動系
を制御するよう構成したので、ぶれによるダイシング不
良やブレード破損を最小限に抑えられる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例によるダイシング装置の
カッティング部を示す正面図、第２図は、従来のダイシ
ング装置のカッティング部を示す正面図である。図にお
いて、（１）はウェハ、（２）はチャックテーブル、（
３）はブレード、（４１はブレード駆動系、（５１はぶ
れ測定１１、（６）はブレード制御系である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハを回転刀でカッティングするダイシング装置に
   おいて、回転刀のぶれを検知して上記検知信号で上記回
   転刀の駆動系を制御し、上記ウェハのカッティングを中
   止することを特徴とするダイシング装置。