JP2001076595A

JP2001076595A - 真空バルブ用接点材料及びその製造方法

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Publication number: JP2001076595A
Application number: JP24854299A
Authority: JP
Inventors: Takefumi Ito; 武文伊藤; Kenichi Koyama; 健一小山; Norio Suga; 則雄菅; Shigeyuki Kurashima; 茂幸倉島; Makoto Yamade; 真山出
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp; Mitsubishi Materials Corp; Mitsubishi Materials CMI Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp; Mitsubishi Materials Corp; Nidec Material Corp
Priority date: 1999-09-02
Filing date: 1999-09-02
Publication date: 2001-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】裁断特性、遮断特性及び耐割れ性に優れたＡ
ｇ−ＷＣ−Ｃｏ接点材料を得ること、及びこの接点材料
に適した製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】２５〜４０重量％のＡｇ、１〜８重量％
のＣｏ、残部が平均粒径が１〜８μｍのＷＣ及び不可避
の不純物からなるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金であって、Ｎ₂
ガスとＯ₂ガスの合計の含有量が６００ｐｐｍ以下で、
接点表面に直径１μｍ以下のＣｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相
が分散した表面組織を構成する。また、その製造方法
は、溶浸法でＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金を得る第１の工程
と、そのＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金の接点表面に液相を生成
して凝固する第２の工程からなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、真空遮断器等に
使用される真空バルブの接点材料及びその製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は真空遮断器に搭載される一般的な
真空バルブの断面図である。図３において、１は遮断
室、２は絶縁容器、３ａと３ｂは封止金具、４ａと４ｂ
は金属製蓋、５は固定電極棒、６は可動電極棒、７は固
定電極、８は可動電極、９は固定接点、１０は可動接
点、１１はベローズ、１２はベローズ用アークシール
ド、１３は絶縁容器用アークシールドである。

【０００３】図３に示す構成の真空バルブにおいて、遮
断室１は、円筒状に形成された絶縁材料製の絶縁容器２
と、この両端に封止金具３ａ、３ｂを介して設けた金属
製蓋４ａ、４ｂとで構成され、真空気密となっている。
遮断室１内の固定電極棒５と可動電極棒６の端部には、
固定電極７と可動電極８が対向するようにろう付けによ
り取り付けられている。固定接点９は固定電極７に、ま
た、可動接点１０は可動電極８にろう付けにより取り付
けられている。可動電極棒６にはベローズ１１が取り付
けられ、遮断室１内を真空気密に保持しながら、可動電
極８の軸方向の移動を可能にしている。

【０００４】ベローズ１１の上部には金属製のベローズ
用アークシールド１２が設けられ、ベローズ１１がアー
クにより発生した金属蒸気で覆われることを防止してい
る。また、固定側電極７と可動電極８を覆うように、遮
断室１内に金属製の絶縁容器用アークシールド１３が設
けられ、これにより、発弧域より発生する金属蒸気が絶
縁容器２の内面に付着することを防止している。この真
空バルブの開閉操作は、図示しない駆動機構に連結され
た可動電極棒６を介して行われる。

【０００５】この真空バルブを搭載した真空遮断器は、
負荷電流を遮断する時に異常サージが発生し、負荷機器
を破壊する恐れがある。この異常サージの発生原因の一
つとして、小電流遮断時に電流がその零点前に強制的に
遮断されてしまう電流裁断現象が上げられる。

【０００６】従来、この異常サージを低く抑える為に裁
断電流値が小さい真空バルブ用接点材料が用いられ、Ａ
ｇ−ＷＣ合金（例えば、特公昭５３−６７１０号公報参
照）が実用化されている。また、Ｂｉ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｓ
ｅを添加したＡｇ−ＷＣ合金（例えば、特開昭６２−２
２６５２１号公報参照）やＡｇ−Ｃｕ−ＷＣ合金（例え
ば特開昭５８−１５７０１５号公報参照）が提案されて
いる。しかし、近年の真空遮断器の大容量化と小型化の
要求に伴い、裁断特性と遮断特性に一層優れた真空バル
ブ用接点材料が求められている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のＡｇ−ＷＣ系合金の裁断電流値は、バラツキを
含めて最大２Ａ程度と高く、大容量化の要求に対して不
十分であった。裁断電流値が高い原因の一つとして、導
電成分や耐弧成分の分布が不均一であること等が考えら
れている。また、遮断電流が大きくなると、接点間に発
生するアークの衝撃で接点表面に割れが発生するという
新たな問題点もある。

【０００８】また、Ｂｉ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｓｅを添加した
Ａｇ−ＷＣ合金は、耐溶着性に対してはある程度の改善
がされるが、接点割れに対しては不十分であった。さら
に、Ａｇ−Ｃｕ−ＷＣ合金は、多数回開閉した時の最大
裁断特性が不安定であった。

【０００９】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、極めて低い裁断電流値が安定し
て得られると共に遮断特性と耐割れ性に優れた真空バル
ブ用接点材料及びその製造方法を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明に係る真空バル
ブ用接点材料は、高導電成分として２５〜４０重量％の
Ａｇ、補助成分として１〜１０重量％のＣｏ、残部が耐
弧成分として平均粒径が１〜８μｍのＷＣ及び不可避の
不純物からなるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金であって、Ｎ₂ガ
スとＯ₂ガスの合計の含有量が６００ｐｐｍ以下で、接
点表面は、直径１μｍ以下のＣｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相
が分散した組織を示すことを特徴とするものである。

【００１１】また、上記Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金は、Ａｇ
量が２７〜３５重量％、Ｃｏ量が３〜７重量％のＣｏ、
残部が１〜５μｍの平均粒径を有するＷＣからなること
を特徴とするものである。

【００１２】また、この発明に係る真空バルブ用接点材
料の製造方法は、溶浸法でＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金の接点
を得る第１の工程と、第１の工程で得られたＡｇ−ＷＣ
−Ｃｏ合金の接点表面に液相を生成して凝固する第２の
工程とからなるものである。

【００１３】さらに、第２の工程において、真空中で接
点表面にアーク放電を印加することを特徴とするもので
ある。

【００１４】

【発明の実施の形態】実施の形態１．この実施の形態１
では、Ｎ₂ガスとＯ₂ガスの合計の含有量が６００ｐｐｍ
以下で、接点表面は、直径１μｍ以下のＣｏ相並びにＷ
Ｃ−Ｃｏ相が分散した組織を持ち、高導電成分として２
５〜４０重量％のＡｇ、補助成分として１〜１０重量％
のＣｏ、残部が耐弧成分として平均粒径１〜８μｍのＷ
ＣであるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金を作製した例について説
明する。

【００１５】先ず、溶浸法でＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金を得
る第１の工程について述べる。平均粒径１〜８μｍ、純
度９９％以上のＷＣ粉と、平均粒径１μｍ、純度９９％
以上のＣｏ粉を準備した。これらの粉末を所定量秤量し
た後、混合機で混合しＷＣ粉とＣｏ粉の混合粉を得た。
なお、後から溶浸するＡｇの溶浸性を向上するために、
ＷＣとＣｏの混合粉にＡｇ粉を加えても良い。

【００１６】次に、この混合粉の流動性を向上するため
に、所定量の結合剤を添加して、再び混合し、乾燥と篩
い掛けを行って造粒粉を得た。続いて、造粒粉を秤量し
内径φ２３ｍｍの金型に充填し、任意の圧力で加圧して
直径２３ｍｍ、厚さ４ｍｍの圧粉体を得た。圧力は、作
製する各組成（２５〜４０重量％のＡｇ）に適した圧力
を選定し、ここでは、１〜６ｔｏｎ／ｃｍ²で行った。

【００１７】そして、これらの圧粉体を水素炉の中に入
れ、水素中で所定の温度と時間で熱処理を施し仮焼結体
を得た。仮焼結体を得る条件は、先ず結合剤を熱分解さ
せるために、９００℃で１時間の予備焼結を行い、次
に、温度９００〜１３００℃、１時間で仮焼結を行っ
た。

【００１８】その後、仮焼結体の上に所定量のＡｇを配
置し、再び水素炉に入れて水素中で熱処理を行い、仮焼
結体に残存する空孔中にＡｇを溶浸し、２５〜４０重量
％のＡｇ、１〜１０重量％のＣｏ、残部が平均粒径１〜
８μｍのＷＣであるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金を得た。溶浸
の条件は、温度１１５０〜１３００℃、２時間で行っ
た。溶浸は水素中の他に真空中でも可能である。得られ
たＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金は、機械加工で直径２０ｍｍ、
厚さ２ｍｍの接点に仕上げた。

【００１９】なお、Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金のガス含有量
は、原料粉末の純度やガス含有量、さらに溶浸条件によ
って制御され、粉末の純度は９９％以上が望ましい。ま
た、製造した接点の密度比（（接点密度／接点の理論密
度）×１００）は９５％以上にすることが望ましい。

【００２０】次に、液相を生成して凝固し表面改質層を
得る第２の工程について述べる。第１の工程で得られた
Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金の接点を図３に示した真空バルブ
内（真空度１０^-6ｔｏｒｒ以下）に組み込み、直流１５
０Ａ、印加時間０．３秒、接点間距離７ｍｍで極性を変
えてアークを５０回印加し、固定側と可動側の接点表面
に改質層を得た。なお、液相を生成して凝固した表面改
質層を得る条件（電流値、印加時間、印加回数、接点間
距離）は、組成や接点径により異なるが、直径１μｍ以
下のＣｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相が分散した改質層が接点
表面に得られるものであれば良い。

【００２１】図１は接点表面近傍の拡大断面図である。
図１において、アーク放電により得られた表面改質層１
４には、ＷＣ粒子１５との間に直径１μｍ以下のＣｏ相
１６並びにＷＣ−Ｃｏ相１７が生成・分散し、ＷＣ粒子
１５の周辺にＡｇ相１８がある。表面改質層１４の下に
は改質が行われていない非改質組織１９があり、非改質
組織１９中には、混合時のＣｏ粉の粒径に近い大きさの
Ｃｏ相２０がある。

【００２２】実施の形態２．この実施の形態２では、実
施の形態１で述べた製造方法により作製したＡｇ−ＷＣ
−Ｃｏ合金について、性能評価を実施した例について説
明する。

【００２３】性能評価は、真空バルブに組み込こまれた
状態で行う。図２は真空バルブ内の電極部分の拡大断面
図を示す。図２において、固定電極棒５と可動電極棒６
の端部には、固定電極７と可動電極８が対向するように
ろう付け等により取り付けられている。固定接点９は固
定電極７に、また、可動接点１０は可動電極８にろう付
けにより取り付けられている。対向する固定接点９と可
動接点１０の表面には、直径１μｍ以下のＣｏ相１６並
びにＷＣ−Ｃｏ相１７が分散した表面改質層１４が設け
られている。電極の開閉操作は、図示しない駆動機構に
連結された可動電極棒６を介して行われる。

【００２４】接点材料の性能は、裁断特性、遮断特性及
び耐割れ性について評価した。裁断特性は、周波数６０
Ｈｚで交流２０Ａピーク時に１ｍ／ｓｅｃの速度で開極
し、電流が零点になる前に切れた時の電流値（裁断電流
値）を測定した。また、遮断特性は、外部から一定の磁
界を加えながら６０Ｈｚに調整した任意の電流を流し、
開極速度１ｍ／ｓｅｃで開極した時に遮断に成功した電
流値（遮断限界電流値）を求めた。裁断特性と遮断特性
を評価した時の接点間距離は７ｍｍとした。さらに、接
点割れは、遮断試験後の真空バルブを分解し、目視で接
点割れの有無を調べた。

【００２５】表１は各接点材料の性能を評価した結果で
ある。

【００２６】

【表１】

【００２７】先ず、接点表面に改質層を設けない場合に
ついて述べる。実施例のＮｏ．１〜Ｎｏ．５は、この発
明に係る範囲内にあるＡｇ，Ｃｏ，ＷＣの組成並びにＷ
Ｃ粒径による材料で、すなわち、高導電成分として２５
〜４０重量％のＡｇ、補助成分として１〜１０重量％の
Ｃｏ、残部が耐弧成分として平均粒径が１〜８μｍのＷ
Ｃ及び不可避の不純物からなるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金で
あって、その中のＮｏ．２〜Ｎｏ．４はさらに好ましい
範囲内のものである。

【００２８】Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５の裁断電流値は０．６
５〜１．２３Ａ、遮断限界電流値は１０．２〜１１ｋＡ
で、遮断後の接点割れも見られなかった。裁断電流値は
Ａｇ量の増加に伴い高くなる傾向がある。Ａｇ量が２７
〜３５重量％、Ｃｏ量が３〜７重量％、残部が平均粒径
が１〜５μｍのＷＣからなる範囲のＮｏ．２〜Ｎｏ．４
は、遮断限界電流値が１０．９〜１１ｋＡと安定してお
り、かつ裁断電流値は１Ａ以下と良好な特性が得られた
ので、好ましい範囲としている。

【００２９】一方、比較例のＮｏ．９〜Ｎｏ．１６は、
この発明の範囲外の接点材料で、Ｎｏ．９とＮｏ．１０
はＡｇ量のみが範囲外の場合、Ｎｏ．１１とＮｏ．１２
はＣｏ量のみが範囲外の場合、Ｎｏ．１３とＮｏ．１４
はＷＣ粒径のみが範囲外の場合、Ｎｏ．１５とＮｏ．１
６はＮ₂とＯ₂の合計のガス含有量のみが範囲外の場合を
それぞれ示している。

【００３０】比較例Ｎｏ．９とＮｏ．１０の場合は、Ａ
ｇ量が２５ｗｔ％未満では遮断試験後に接点割れを生じ
た。他方、４０ｗｔ％を越えると、裁断電流値が１．４
１Ａ以上と高くなり、裁断特性は悪くなる。また、比較
例Ｎｏ．１１とＮｏ．１２の場合は、Ｃｏ量が１ｗｔ％
未満では遮断限界電流値が約６ｋＡと低くなり、遮断特
性は悪くなる。他方、１０ｗｔ％を越えると、裁断電流
値が本発明材よりも高くなり、裁断特性は悪くなる。ま
た、比較例Ｎｏ．１３とＮｏ．１４の場合は、ＷＣ粒径
が１μｍ未満では遮断試験後に接点割れを生じた。他
方、ＷＣ粒径が８μｍを越えると、遮断限界電流値が約
７ｋＡと低くなり、遮断特性は悪くなる。さらに、比較
例Ｎｏ．１５とＮｏ．１６は、Ｎ₂とＯ₂の合計のガス含
有量が６００ｐｐｍを越えると、遮断限界電流値が約
９．５ｋＡと低く、遮断特性は悪くなり、Ｎｏ．１６の
ようにガス含有量が多い場合は接点割れも生じやすくな
る。従って、この発明に係る範囲内にある組成のＡｇ−
ＷＣ−Ｃｏ合金が裁断特性、遮断特性、耐割れ性に優れ
ていることがわかる。

【００３１】さらに、比較例Ｎｏ．１７〜Ｎｏ．２１の
場合は、この発明の範囲外の接点材料で、Ａｇ量は２５
重量％未満又は４０重量％を越え、Ｃｏ量は１重量％未
満又は８重量％を越え、ガス含有量は６００ｐｐｍを越
えるものである。Ｎｏ．１７とＮｏ．１８の裁断電流値
は０．６１Ａと０．５９Ａと小さい値を示したが、遮断
限界電流値は８．４ｋＡと９．４ｋＡで、実施例のＮ
ｏ．１とＮｏ．５に比べて低く、遮断試験後の接点に割
れも生じた。Ｎｏ．１９とＮｏ．２０の裁断電流値は
１．４１Ａと１．７０Ａと大きく、遮断限界電流値は
８．５ｋＡと８．３ｋＡと低く、実施例のＮｏ．１〜Ｎ
ｏ．５に比べて裁断特性と遮断特性が著しく劣る。ま
た、Ｃｏを含有しないＡｇ−ＷＣ合金（Ｎｏ．２１）
は、裁断電流値が０．９３Ａ、遮断限界電流値が６．１
ｋＡで、遮断特性が実施例に比べて劣れる。

【００３２】実施例のＮｏ．１〜Ｎｏ．５において、Ａ
ｇ量がこの発明に係る範囲の下限に近い場合（２５重量
％）は、遮断後の耐割れ性が劣化する傾向を抑制する為
に、Ｃｏ量を多くしてＷＣ粒子間の結合力を増加させ、
さらに、ＷＣ粒径を大きくして耐割れ性を向上させた。
一方、Ａｇ量がこの発明に係る範囲の上限に近い場合
（４０重量％）は、裁断特性と遮断特性の低下を抑制す
る為に、Ｃｏ量を少なくし、ＷＣ粒径は小さくして局部
的な組成バラツキを抑えて、バランスの取れた性能を確
保した。

【００３３】本実施の形態２では、各々の組成に対し１
種類の平均粒径のＷＣ粉末を用いていたが、例えば１μ
ｍと６μｍのＷＣ粉末を任意の割合でブレンドする等し
て、平均粒径１〜８μｍの範囲のＷＣ粉末を組み合わせ
て用いても良い。

【００３４】次に、この発明に係る範囲内の接点材料に
表面改質層を設けた場合について述べる。実施例Ｎｏ．
６〜Ｎｏ．８は、この発明に係る範囲内にある組成並び
にＷＣ粒径による接点材料に、表面改質層を設けた場合
の結果である。裁断電流値は０．５０〜１．１２Ａ、遮
断限界電流値は１０．２〜１０．８ｋＡであった。実施
例のＮｏ．１、Ｎｏ．３、Ｎｏ．５と比較すると、遮断
特性を維持しながら裁断電流値が一層小さくなったこと
がわかる。これは、この発明の接点材料の効果とともに
表面改質層を設けた効果が現れたものである。また、比
較例と比べてバランスが取れた接点性能を示しているこ
とがわかる。

【００３５】以上、この発明を要約すると次の通りであ
る。この発明の真空バルブ用接点材料は、高導電成分と
して２５〜４０重量％、好ましくは２７〜３５重量％の
Ａｇ、補助成分として１〜１０重量％、好ましくは３〜
７重量％のＣｏ、残部が耐弧成分として粒径が１〜８μ
ｍ、好ましくは１〜５μｍのＷＣ及び不可避の不純物か
らなるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ接点材料であって、Ｎ₂ガスと
Ｏ₂ガスの合計の含有量が６００ｐｐｍ以下で、接点表
面に直径１μｍ未満のＣｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相が分散
した組織を設けたものである。

【００３６】また、この発明の製造方法は、溶浸法でＡ
ｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金を得る工程と、そのＡｇ−ＷＣ−Ｃ
ｏ合金の接点表面に液相を生成して凝固する工程を行う
ものである。

【００３７】この発明者らがＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金につ
いて検討したところ、（１）Ａｇ量の増加に伴い耐割れ性は向上し、逆に、Ａ
ｇ量の減少に伴い裁断特性と遮断特性は向上する傾向が
ある。（２）Ｃｏ量の増加に伴い耐割れ性と遮断特性は向上
し、逆に、Ｃｏ量の減少に伴い裁断特性は向上する傾向
がある。（３）ＷＣ粒径が大きくなるに伴い耐割れ性と裁断電流
値は向上する傾向があり、遮断性能は最適な粒径範囲が
あることを突き止めた。

【００３８】この結果から、Ａｇ量、Ｃｏ量、ＷＣ粒径
の適切な組み合わせを選択することで、優れた裁断特性
と遮断特性が確保され、接点割れが抑制できることを見
い出した。即ち、Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金のＡｇ量を２５
〜４０重量％、好ましくは２７〜３５重量％；Ｃｏを１
〜１０重量％、好ましくは３〜７重量％；残部を平均粒
径１〜８μｍのＷＣ、好ましくは平均粒径１〜５μｍで
ある。

【００３９】また、上記Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金中のＮ₂
ガスとＯ₂ガスの合計含有量を６００ｐｐｍ以下とした
ことで、導電率や熱伝導率が安定し、遮断アーク発生時
の接点温度の上昇が容易となって金属蒸気の発生が均一
となり、接点表面のアークの広がり易い状態が形成され
て遮断特性が安定する。ガス含有量が６００ｐｐｍを越
えると遮断特性が劣化するため限定している。

【００４０】さらに、接点表面に直径１μｍ以下のＣｏ
相並びにＷＣ−Ｃｏ相が分散した表面層を設けたこと
で、遮断アーク時に均一な液相を生成し、かつ電子放出
が容易となって裁断電流値を小さくできると共に特性値
のバラツキを小さくすることができる。

【００４１】一方、この発明の製造方法では、溶浸法で
Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金を得る第１の工程と、その合金の
接点表面に液相を生成して凝固する第２の工程により、
１μｍ以下のＣｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相を接点表面に形
成させることができる。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、高導
電成分として２５〜４０重量％のＡｇ、補助成分として
１〜８重量％のＣｏ、残部が耐弧成分として平均粒径が
１〜８μｍのＷＣ及び不可避の不純物からなるＡｇ−Ｗ
Ｃ−Ｃｏ合金であって、Ｎ₂ガスとＯ₂ガスの合計の含有
量が６００ｐｐｍ以下で、接点表面に直径１μｍ以下の
Ｃｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相が分散した組織を示すことを
特徴とするので、極めて低い裁断電流値が安定して得ら
れると共に遮断特性と耐割れ性に優れた真空バルブ用接
点材料を得ることができる。

【００４３】また、上記Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金は、Ａｇ
量が２７〜３５重量％、Ｃｏ量が３〜７重量％のＣｏ、
残部が１〜５μｍの平均粒径を有するＷＣからなること
を特徴とすることにより、さらに安定した裁断電流特性
と遮断特性及び耐割れ性に優れた真空バルブ用接点材料
を得ることができる。

【００４４】また、この発明に係る真空バルブ用接点材
料の製造方法によれば、溶浸法でＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金
の接点を得る第１の工程と、第１の工程で得られたＡｇ
−ＷＣ−Ｃｏ合金の接点表面に液相を生成して凝固する
第２の工程とからなるので、裁断電流値と遮断特性並び
に耐割れ性に優れた真空バルブ用接点材料が得られる。

【００４５】さらに、第２の工程において、真空中で接
点表面にアーク放電を印加することで、接点表面に表面
改質層を得ることができ、裁断電流値と遮断特性並びに
耐割れ性に優れた真空バルブ用接点材料が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による製造方法により得られる接点
表面近傍の拡大断面図である。

【図２】この発明に係る電極部分の拡大断面図であ
る。

【図３】従来の真空バルブの断面図である。

【符号の説明】

１遮断室、２絶縁容器、３ａ，３ｂ封止金具、４
ａ，４ｂ金属製蓋、５固定電極棒、６可動電極
棒、７固定電極、８可動電極、９固定接点、１０
可動接点、１１ベローズ、１２ベローズ用アーク
シールド、１３絶縁容器用アークシールド、１４表
面改質層、１５ＷＣ粒子、１６Ｃｏ相、１７ＷＣ
−Ｃｏ相、１８Ａｇ相、１９非改質組織、２０非
改質組織のＣｏ相。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者伊藤武文東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者小山健一東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者菅則雄東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者倉島茂幸静岡県裾野市千福46番地の１株式会社東富士製作所内 (72)発明者山出真静岡県裾野市千福46番地の１株式会社東富士製作所内Ｆターム(参考） 5G026 BA01 BA03 BA07 BB04 BB10 BB12 BC04 BC08 5G050 AA01 AA11 AA51 BA01 BA03 BA12 CA01 EA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高導電成分として２５〜４０重量％のＡ
ｇ、補助成分として１〜１０重量％のＣｏ、残部が耐弧
成分として平均粒径が１〜８μｍのＷＣ及び不可避の不
純物からなるＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金であって、Ｎ₂ガス
とＯ₂ガスの合計の含有量が６００ｐｐｍ以下で、接点
表面は、直径１μｍ以下のＣｏ相並びにＷＣ−Ｃｏ相が
分散した組織を示すことを特徴とする真空バルブ用接点
材料。
【請求項２】請求項１に記載の真空バルブ用接点材料
において、上記Ａｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金は、Ａｇ量が２７
〜３５重量％、Ｃｏ量が３〜７重量％のＣｏ、残部が１
〜５μｍの平均粒径を有するＷＣからなることを特徴と
する真空バルブ用接点材料。
【請求項３】溶浸法でＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金の接点を
得る第１の工程と、第１の工程で得られたＡｇ−ＷＣ−Ｃｏ合金の接点表面
に液相を生成して凝固する第２の工程とからなる真空バ
ルブ用接点材料の製造方法。
【請求項４】請求項３に記載の真空バルブ用接点材料
の製造方法において、第２の工程において、真空中で接
点表面にアーク放電を印加することを特徴とする真空バ
ルブ用接点材料の製造方法。