JP2001057411A5 - - Google Patents
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Description
【0021】
(1)本発明の半導体集積回路装置は、半導体基板の主面の第1領域に形成された第1MISFETおよび第2領域に形成された第2MISFETのそれぞれの上部に第1絶縁膜が形成され、
前記第1領域の前記第1絶縁膜に形成された第1接続孔の内部には、前記第1MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続され、その上面が前記第1絶縁膜の上面より低い第1プラグおよび前記第1プラグの上部に形成された第2プラグが埋め込まれ、
前記第2領域の前記第1絶縁膜に形成された第2接続孔の内部には、前記第2MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続された第3プラグが埋め込まれ、
前記第1領域の前記第1絶縁膜の上部には、前記第1接続孔の内部の前記第1プラグおよびその上部の前記第2プラグを介して前記第1MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続された第1配線が形成され、
前記第1接続孔の内部の前記第2プラグは、第1金属材料からなり、前記第1プラグの上面および前記第1接続孔の側面に形成された凹部形状の第1金属膜およびその上部に形成され、前記第1配線と略同じ幅、前記第1絶縁膜と略同じ高さ、および前記第1金属膜の凹部の幅より狭い幅を有する第2金属材料からなる第2金属膜によって構成され、
前記第2接続孔の内部の前記第3プラグは、前記第2接続孔の底部および側面に形成された前記第1金属材料からなる第3金属膜と、前記第3金属膜の上部に前記第2接続孔を埋め込むように形成され、その上面が前記第1絶縁膜の上面と略同じ高さを有する前記第2金属材料からなる第4金属膜とによって構成されている。
(1)本発明の半導体集積回路装置は、半導体基板の主面の第1領域に形成された第1MISFETおよび第2領域に形成された第2MISFETのそれぞれの上部に第1絶縁膜が形成され、
前記第1領域の前記第1絶縁膜に形成された第1接続孔の内部には、前記第1MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続され、その上面が前記第1絶縁膜の上面より低い第1プラグおよび前記第1プラグの上部に形成された第2プラグが埋め込まれ、
前記第2領域の前記第1絶縁膜に形成された第2接続孔の内部には、前記第2MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続された第3プラグが埋め込まれ、
前記第1領域の前記第1絶縁膜の上部には、前記第1接続孔の内部の前記第1プラグおよびその上部の前記第2プラグを介して前記第1MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続された第1配線が形成され、
前記第1接続孔の内部の前記第2プラグは、第1金属材料からなり、前記第1プラグの上面および前記第1接続孔の側面に形成された凹部形状の第1金属膜およびその上部に形成され、前記第1配線と略同じ幅、前記第1絶縁膜と略同じ高さ、および前記第1金属膜の凹部の幅より狭い幅を有する第2金属材料からなる第2金属膜によって構成され、
前記第2接続孔の内部の前記第3プラグは、前記第2接続孔の底部および側面に形成された前記第1金属材料からなる第3金属膜と、前記第3金属膜の上部に前記第2接続孔を埋め込むように形成され、その上面が前記第1絶縁膜の上面と略同じ高さを有する前記第2金属材料からなる第4金属膜とによって構成されている。
Claims (13)
- 半導体基板の主面の第1領域に形成された第1MISFETおよび第2領域に形成された第2MISFETのそれぞれの上部に第1絶縁膜が形成され、
前記第1領域の前記第1絶縁膜に形成された第1接続孔の内部には、前記第1MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続され、その上面が前記第1絶縁膜の上面より低い第1プラグおよび前記第1プラグの上部に形成された第2プラグが埋め込まれ、
前記第2領域の前記第1絶縁膜に形成された第2接続孔の内部には、前記第2MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続された第3プラグが埋め込まれ、
前記第1領域の前記第1絶縁膜の上部には、前記第1接続孔の内部の前記第1プラグおよびその上部の前記第2プラグを介して前記第1MISFETのソース、ドレインの一方に電気的に接続された第1配線が形成された半導体集積回路装置であって、
前記第1接続孔の内部の前記第2プラグは、第1金属材料からなり、前記第1プラグの上面および前記第1接続孔の側面に形成された凹部形状の第1金属膜およびその上部に形成され、前記第1配線と略同じ幅、前記第1絶縁膜と略同じ高さ、および前記第1金属膜の凹部の幅より狭い幅を有する第2金属材料からなる第2金属膜によって構成され、
前記第2接続孔の内部の前記第3プラグは、前記第2接続孔の底部および側面に形成された前記第1金属材料からなる第3金属膜と、前記第3金属膜の上部に前記第2接続孔を埋め込むように形成され、その上面が前記第1絶縁膜の上面と略同じ高さを有する前記第2金属材料からなる第4金属膜とによって構成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、前記第1プラグとその上部の前記第1金属膜とは、前記第1金属膜の底面および側面において互いに接触していることを特徴とする半導体集積回路装置。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置において、前記第1プラグは、シリコンを主成分とする第1導電膜によって構成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置において、前記第1接続孔の上部の前記第1配線は、前記第2プラグの上面の一部の領域のみを覆っていることを特徴とする半導体集積回路装置。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置において、前記第1接続孔の上部の前記第1配線の幅は、前記第1配線の幅方向に沿った前記第1接続孔の径よりも小さいことを特徴とする半導体集積回路装置。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置において、前記第2MISFETのソース、ドレインの表面にはシリサイド層が形成され、前記第1MISFETのソース、ドレインの表面には前記シリサイド層が形成されていないことを特徴とする半導体集積回路装置。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置において、前記第2接続孔の内部に埋め込まれた前記第3プラグのアスペクト比は、前記第1接続孔の内部に埋め込まれた前記第2プラグのアスペクト比よりも大きいことを特徴とする半導体集積回路装置。
- 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法;
(a)半導体基板の主面の第1領域に第1MISFETを形成し、第2領域に第2MISFETを形成した後、前記半導体基板の主面上に、前記第1MISFETおよび前記第2MISFETを覆う第1絶縁膜を形成する工程、
(b)前記第1領域の前記第1絶縁膜に第1接続孔を形成した後、前記第1絶縁膜の上部および前記第1接続孔の内部に、第1プラグを構成する第1導電膜を形成し、前記第1導電膜をエッチングすることによって、前記第1絶縁膜の上部の前記第1導電膜を除去し、前記第1接続孔の内部の前記第1導電膜の上面を前記第1接続孔の上端部よりも下方に後退させることにより、前記第1接続孔の内部に前記第1プラグを埋め込み、前記第1MISFETのソース、ドレインの一方と前記第1プラグとを電気的に接続する工程、
(c)前記第2領域の前記第1絶縁膜に第2接続孔を形成した後、前記第1接続孔の内部に埋め込まれた前記第1プラグの上部に第2プラグを埋め込むことによって、前記第1プラグと前記第2プラグとを電気的に接続すると共に、前記第2接続孔の内部に第3プラグを埋め込むことによって、前記第2MISFETのソース、ドレインの一方と前記第3プラグとを電気的に接続する工程、
(d)前記第1領域の前記第1絶縁膜の上部に第1配線を形成し前記第2プラグと接続することにより、前記第1接続孔の内部の前記第1プラグおよび前記第2プラグを介して、前記第1MISFETのソース、ドレインの一方と前記第1配線とを電気的に接続する工程。 - 請求項8記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1導電膜は、シリコンを主成分とすることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
- 請求項8記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1接続孔の内部に前記第2プラグを埋め込み、前記第2接続孔の内部に前記第3プラグを埋め込む工程は、
(c−1)前記第1絶縁膜の上部、前記第1接続孔の内部および前記第2接続孔の内部に、前記第2プラグおよび前記第3プラグのそれぞれの一部を構成する第1金属材料からなる金属膜を形成する工程、
(c−2)前記第1金属材料からなる金属膜の上部に、前記第2プラグおよび前記第3プラグのそれぞれの他の一部を構成する第2金属材料からなる金属膜を形成する工程、
(c−3)前記第1絶縁膜の上部の前記第2金属材料からなる金属膜および前記第1金属材料からなる金属膜を除去し、前記第1接続孔の内部および前記第2接続孔の内部に、前記第1金属材料からなる金属膜および前記第2金属材料からなる金属膜を残す工程、
を含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 請求項10記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1絶縁膜の上部に前記第1配線を形成する工程は、
(d−1)前記第1接続孔の上部および前記第1絶縁膜の上部に前記第1配線を構成する前記第2金属材料からなる金属膜を形成する工程、
(d−2)前記第2金属材料のエッチング速度が前記第1金属材料のエッチング速度よりも大きいエッチング条件で、前記第2金属材料からなる金属膜をエッチングする工程、
を含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 請求項10記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1接続孔の内部に前記第2プラグを埋め込み、前記第2接続孔の内部に前記第3プラグを埋め込む工程は、
(c−1)前記第1絶縁膜の上部、前記第1接続孔の内部および前記第2接続孔の内部に、前記第2プラグおよび前記第3プラグのそれぞれの一部を構成するバリア金属膜を形成する工程、
(c−2)前記バリア金属膜の上部に、前記第2プラグおよび前記第3プラグを構成する金属膜を形成する工程、
(c−3)前記第1絶縁膜の上部の前記バリア金属膜および前記金属膜を除去し、前記第1接続孔の内部および前記第2接続孔の内部に、前記バリア金属膜および前記金属膜を残す工程、
を含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 請求項12記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1絶縁膜の上部に前記第1配線を形成する工程は、
(d−1)前記第2プラグの上部および前記第3プラグの上部および前記第1絶縁膜の上部に前記第1配線を構成する金属膜を形成する工程、
(d−2)前記金属膜のエッチング速度が前記バリア金属膜のエッチング速度よりも大きいエッチング条件で、前記金属膜をエッチングする工程、
を含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
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