FR2645959A1 - Appareil pour mesurer en continu la temperature de metal fondu et son procede de fabrication - Google Patents
Appareil pour mesurer en continu la temperature de metal fondu et son procede de fabrication Download PDFInfo
- Publication number
- FR2645959A1 FR2645959A1 FR8904962A FR8904962A FR2645959A1 FR 2645959 A1 FR2645959 A1 FR 2645959A1 FR 8904962 A FR8904962 A FR 8904962A FR 8904962 A FR8904962 A FR 8904962A FR 2645959 A1 FR2645959 A1 FR 2645959A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- derivatives
- thermocouple
- unit
- protection tube
- alumina
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 51
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract description 44
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims abstract description 39
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 42
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 22
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 13
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 8
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 claims description 7
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 5
- 238000004898 kneading Methods 0.000 claims description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 15
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000009749 continuous casting Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 3
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000629 Rh alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000009970 fire resistant effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical class O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052849 andalusite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000004079 fireproofing Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000007849 furan resin Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- UPIXZLGONUBZLK-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt].[Pt] UPIXZLGONUBZLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 1
- 229910052851 sillimanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
L'appareil comprend une unité de thermocouple A et une unité de tube de protection à immersion B, avec un thermocouple 1 dont une extrémité est munie d'un élément de détection de température 8 et une extrémité opposée est reliée à des bornes 2, un isolateur 9 sensiblement en une seule pièce contenant le thermocouple, un tube de protection en porcelaine 6 hautement étanche à l'air contenant l'isolateur 9, et une boîte à bornes 3 comportant un manchon d'extension 5 avec lequel la partie supérieure du tube de protection en porcelaine 6 est maintenue et comportant un logement 20 qui abrite les bornes 2.
Description
-1- La présente invention se rapporte à des améliorations apportées à un
appareil destiné à mesurer en continu la température de métal fondu. Plus particulièrement, l'invention se rapporte à des améliorations de l'appareil destiné à mesurer en continu la température de métal fondu dans un répartlteur, dit tundlsh
d'installatlon de coulée continue.
On connait un appareil pour mesurer en continu la température de métal fondu dans un tundish à l'aide d'un thermocouple, dans lequel il est prévu d'insérer un thermocouple dans un tube de
protection constitué par de l'alumine et du graphite.
Etant donné que la température de l'acier fondu dans le tundish est supérieure à 1500 C, généralement, on utilise, comme thermocouple, un thermocouple en alliage platine-platine/rhodium (dont un thermocouple de type R muni d'une électrode positive constituée par un alliage de 87% de platine et 13% de rhodium et une électrode négative constituée par du platine, et un thermocouple de type B muni d'une électrode positive constituée par un alliage de % de platine et 30% de rhodium et une électrode négative
constituée par un alliage de 94% de platine et 6% de rhodium).
On a constaté que lorsque le thermocouple en alliage platineplatine/rhodium est utilisé à haute température, s'il est exposé à une atmosphère réductrice ou de la vapeur métallique, du carbone, du soufre, du silicium et analogue, il se détériore
rapidement, ce qui entraîne le grillage du thermocouple.
C'est pour cette raison qu'il est classique d'introduire du gaz inerte dans le tube de protection en alumine-graphite ou d'assurer
l'évacuation du gaz hors du tube de protection.
De plus, l'appareil de mesure de température en continu -2- classique fait appel à une disposition suivant laquelle le tube de protection en alumine-graphite, qui doit être immergé dans l'acier fondu dans le tundish est adapté pour assurer la fonction de tube externe, tandis qu'un tube de protection en porcelaine est adapté pour assurer la fonction de tube interne si bien que le thermocouple est introduit dans le tube de protection en porcelaine lequel est ensuite introduit dans le tube de protection en alumine-graphite. Il est possible d'employer une autre disposition suivant laquelle le tube de protection en porcelaine est réalisé sous forme d'une couche triple, dont la structure comporte un sous-tube interne et un sous-tube externe. En même temps, un intervalle entre le tube de protection en alumine-graphite et le tube de protection en porcelaine est rempli d'une poudre électriquement isolante, par
exemple de la poudre d'alumine.
L'appareil de l'art antérieur sus-mentionné présentent des inconvénients relativement au remplacement du thermocouple, lorsqu'un incident tel que le grillage du thermocouple se produit dans l'appareil, et relativement à la ré-utilisation de l'appareil, une fois qu'il a déjà été utilisé pour effectuer une mesure continue, tout en maintenant le thermocouple logé dans le tube de
protection en porcelaine. -
En particulier, lors du préchauffage de l'appareil préalablement à son immersion, une variation de température considérable se produit au cours du stade primaire de ce préchauffage et on a constaté que ce phénomène, ainsi que d'autres causes, entraînait le grillage du thermocouple, ce qui nécessitait de prendre rapidement
des dispositions contre un tel grillage, en cas d- besoin.
La présente invention a pour objet de fournir un appareil, ainsi -3- que son procédé de fabrication, destiné à mesurer en continu la température de métal fondu, comprenant une unité de thermocouple et
une unité de tube de protection à immersion.
Un autre objet de la présente invention est de fournir un appareil de mesure de température, dont la construction est telle que mentionnée cidessus, dans lequel l'unité de thermocouple peut être facilement séparée de l'unité de tube de protection à immersion de sorte que le remplacement du thermocouple puisse être effectué de
manière simple.
Un autre objet encore de la présente invention est de fournir un appareil de mesure de température, dont la construction est telle que mentionnée ci-dessus, dans lequel l'unité de thermocouple peut être facilement retirée de l'unité de tube de protection à immersion de sorte que le remplacement d'un tube de protection à immersion détérioré puisse être effectué sans endommager le thermocouple, ce
qui permet de ré-utiliser l'unité de thermocouple.
Un autre objet encore de la présente invention est de fournir un appareil de mesure de température qui prévoit une structure permettant la fixation en place des fils de l'élément du thermocouple de manière à ce qu'ils ne soient pas soumis à
l'imposition d'une charge afin d'éviter de briser le thermocouple.
La présente invention a également pour objet de fournir un appareil de mesure de température dans lequel les fils de l'élément du thermocouple sont protégés d'un environnement nuisible dû à une modification chimique par un tube de protection en porcelaine
hautement étanche à l'air.
Enfin, un autre objet de la présente invention est de fournir un appareil de mesure de température et un procédé de fabrication d'un
2645-959
-4- tube en alumine-graphite, constituant en partie l'appareil de mesure de température, dont la construction et la composition sont de nature à réduire le degré de détérioration des fils de l'élément du thermocouple due à des modifications chimiques et à accélérer le processus de réponse de l'appareil. Ces objectifs ainsi que d'autres sont atteints grace à une unité de thermocouple constituée par un thermocouple comportant un élément de détection de température à une extrémité et des connexions terminales à une extrémité opposée, un isolateur électrique s'étendant dans une direction longitudinale à l'intérieur duquel le thermocouple est logé, un tube de protection en porcelaine qui abrite l'isolateur en vue de réduire dans une très grande mesure la perméabilité de l'air à travers celui-ci, et une boite à bornes comportant un logement renfermant les bornes et à partir duquel s'étend un manchon d'extension, la partie supérieure du tube de
protection en porcelaine étant ainsi couverte par celui-ci.
L'unité de tube de protection à immersion comprend un tube de protection en alumine-graphite, un manchon de maintien muni d'une bride qui est assemblée à la partie supérieure du tube de protection en aluminegraphite, et un manchon de connexion qui est assemblé de manière à communiquer avec la partie supérieure du manchon de maintien. Pour combiner les deux unités, le tube de protection en porcelaine hautement étanche à l'air de l'unité de thermocouple est inséré de manière amovible dans le tube de protection en alumine-graphite de l'unité de tube de protection à immersion. Le manchan d'extension de l'unité de thermocouple est également inséré de manière amovible dans le manchon de connexion de l'unité de tube de protection à immersion et leur union est effectuée de manière à ce que le manchon d'extension et le manchon de connexion soient
fixés l'un à l'autre de manière amovible.
Avec une telle disposition, la libération des moyens d'union permet de remplacer l'unité de thermocouple relativement à l'unité de tube de protection à immersion. Pour cette raison, si l'on s'apercevait que le thermocouple était grillé, il serait possible de remplacer l'ancienne unité de thermocouple par une nouvelle unité de thermocouple relativement à l'unité de tube de protection à
immersion.
D'autre part, lorsque l'appareil a déjà été utilisé pour mesurer la température et que l'unité de tube de protection à immersion est épuisée, l'appareil permet le remplacement de l'unité de tube de protection à immersion, qui est épuisée, par une nouvelle unité de tube de protection à immersion d'une manière permettant la ré-utilisation de l'unité de thermocouple. En conséquence, même s'il peut s'avérer difficile de réutiliser l'unité de tube de protection à immersion comprenant le tube de protection en alumine-graphite en raison de ses propriétés de résistance à l'effritement et à la corrosion limitées, l'unité de thermocouple est protégée par le tube de protection en porcelaine et ne peut pas être facilement influencée par une modification de l'atmosphère à l'intérieur de l'unité de tube de protection à immersion, ce qui évite une modification chimique qui entraînerait la détérioration des fils de l'élément du thermocouple. En outre, étant donné que le temps de mesure en continu, pendant lequel un thermocouple est immergé dans le métal fondu, est limité au temps d'utilisation de l'appareil (qui est de 20 heures maximum par opération ou 6 à 10 heures en raison du remplacement de l'entonnoir, si un métal fondu d'un type différent est chargé depuis une poche de coulée dans l'entonnoir, ou en raison d'un problème affectant la durée de vie de l'entonnoir), l'utilisation du thermocouple pour une opération de l'appareil n'entratne pas le gaspillage de l'unité de thermocouple étant donné que le remplacement indépendant du tube de protection permet de l'utiliser plusieurs fois. De plus, la structure de l'unité de thermocouple est telle que les fils de l'élément du thermocouple ne sont pas soumis à une charge due au poids de l'isolateur et à leur I0 propre poids, si bien qu'il est possible d'éviter que le
thermocouple ne se brise.
Conformément à la présente invention, le tube de protection en aluminegraphite constituant le tube de protection à immersion est soumis à un procédé consistant à ajouter un liant du type résine dont le rendement de carbonisation est élevé relativement à un composant de mélange comprenant un mélange de poudre de graphite, une poudre sélectionnée parmi et/ou mélangée à une poudre de dérivés de SiC, de dérivés de Si, de dérivés de ZrO2-SiO2, de dérivés de A1203-ZrO2-Si02, et leurs mélanges, la poudre restante étant essentiellement de l'alumine granulaire et/ou de l'alumine en poudre. On forme le produit résultant à partir du liant et des ingrédients de la composition en malaxant le mélange, en donnant au mélange malaxé la forme d'un tube et en opérant le frittage du tube de manière à ce que la quantité de SiO2 dans le produit soit inférieure à 8% en poids. Une telle construction résout en partie le problème de la détérioraton des fils de l'élément du thermocouple due à une modification chimique. De plus, la vitesse d'établissement de la force électromotrice à partir du thermocouple est assez élevée -7-
pour permettre une réduction du temps de réponse.
La figure 1 est une vue en coupe verticale frontale illustrant, dans son ensemble, un mode de réalisation de l'appareil de mesure de température selon la présente invention; La figure 2 est une vue verticale éclatée du mode de réalisation de la figure 1 représentant l'appareil démonté en deux parties, à savoir une unité de thermocouple et une unité de tube de protection à immersion; La figure 3 est une vue en coupe partielle d'un mode de réalisation d'une structure destinée à la fixation d'un élément de détection de température du thermocouple; La figure 4 est une vue en coupe partielle d'un autre mode de réalisation d'une structure destinée à la fixation de l'élément de détection de température du thermocouple; La figure 5 est une vue en perspective partielle d'un mode de réalisation d'une structure d'extrémité d'un isolateur; La figure 6 est une vue en perspective partielle d'un autre mode de réalisation d'une structure d'extrémité de l'isolateur; La figure 7 est une vue en coupe de l'unité de thermocouple comportant une disposition modifiée pour la fixation de l'isolateur; La figure 8 est une vue en coupe partielle de l'unité de thermocouple comportant une autre disposition pour l'installation de l'isolateur; La figure 8a est une vue agrandie de la partie encerclée de la figure 8; La figure 9 est une vue schématique illustrant l'utilisation d'un appareil de mesure de température conformément à la présente invention; et -8-- La figure l etungrph-ique représentant un résultat d'essai sur la base d'un mode de réalisation optimum selon la présente invention. Sur toutes les figures des dessins, les mêmes références numériques sont employées pour les éléments correspondants, les références comportant le signe prime (') étant utilisées pour
indiquer une modification d'un mode de réalisation à l'autre.
Les modes de réalisation de l'appareil destiné à mesurer en continu la température de métal fondu (dénommé ci-après appareil de mesure de température) conformément à la présente invention sont décrits en référence aux dessins annexés de la manière suivante: Dans tous les modes de réalisation, l'appareil de mesure comprend une unité de thermocouple A et une unité de tube de protection à immersion B. Alors que diverses structures internes différentes de l'unité de thermocouple A sont mentionnées ci-après, la construction de l'unité de tube de protection à immersion B est
commune à tous les modes de réalisation.
La construction de l'unité de thermocouple A est la suivante: Sur les figures 1 et 2, l'unité de thermocouple A est équipée d'une botte à bornes 3 comportant des bornes 2 par l'intermédiaire desquelles le thermocouple 1 est relié à un système de mesure
externe (non représenté).
La botte à bornes 3 comporte une partie cylindrique 13 qui s'étend vers le bas à partir d'un logement 20 renfermant les bornes 2, et un manchon métallique 5 est vissé, par l'intermédiaire de
parties filetées 4, à la partie cylindrique 13.
L'unité de thermocouple A est conçue de manière à présenter une disposition suivant laquelle une partie supérieure d'un tube de -9protection en porcelaine 6, qui est hautement imperméable à l'air, est introduit dans une partie inférieure du manchon d'extension 5 au niveau duquel il est fixé de manière adhésive à l'aide d'un adhésif
résistant au feu 7, qui peut être un ciment d'ignifugation.
Le présent mode de réalisation fait appel à un tube de protection en porcelaine étanche à l'air 6, dont la pureté est supérieure à celle d'un tube de protection en porcelaine de la Classe 1 de la Norme Industrielle Japonaise. Une autre disposition prévoit la possibilité d'obtenir un degré d'étanchéité à l'air plus élevé en couvrant ou en revêtant la surface du tube 6 d'une matière qui, lorsque le thermocouple est utilisé à une température élevée,
n'entralne pas la formation d'un composant qui lui est nocif.
Conformément à ce mode de réalisation, on utilise comme thermocouple 1 un thermocouple du type R ayant un diamètre de fil égal à 0,3 mm. Etant donné que les conditions de fonctionnement habituellement choisies dans les procédés de coulée en continu conduisent à une utilisation maximale pour la mesure en continu de la température de métal fondu de l'ordre de 10 heures, la durée de vie du thermocouple est assez longue pour que celui-ci puisse satisfaire les spécifications requises par une telle mesure de température. Un thermocouple dont le diamètre de fil est inférieur à celui de l'exemple sus-mentionné peut être utilisé. De plus, dans le cas o l'on désire ré-utiliser la même unité de thermocouple A, tandis que seule l'unité de tube de protection à immersion B est remplacée, Il est également envisagé, conformément à l'invention, d'utiliser un thermocouple dont le diamètre de fil est plus grand que dans le cas de l'exemple sus-mentionné, par exemple de 0,5 mm ou plus. Des thermocouples du type B et autres thermocouples appropriés -10-
aux fins de mesure de température peuvent également être utilisés.
En particulier, étant donné que l'élément de détection de température 8 à l'extrémité du thermocouple 1 est facilement soumis à des charges imposées en raison des forces de traction provenant de la dilatation et de la contraction du thermocouple pendant les variations de température, il est préférable d'adopter pour le thermocouple une structure suivant laquelle il est maintenu par un isolateur qui empêchera que les fils de l'élément du thermocouple ne soient soumis à une charge. Donc, pour éviter une charge pour laquelle le poids mort de l'isolateur 9 entraînerait l'imposition d'une charge au thermcouple I, un isolateur du type à une seule pièce est adopté et, si possible, l'isolateur 9, dont la longueur est aussi grande que possible, est étroitement relié au thermocouple de sorte qu'ils puissent être construits en formant une seule unité pour réaliser une construction similaire à celle de l'isolateur du type à une seule pièce; La partie supérieure de l'isolateur 9 est maintenue fixée au logement 20 de la botte à bornes 3 ou au manchon d'extension 5, ou elle est insérée à l'intérieur du tube de protection en porcelaine 6. Dans le mode de réalisation illustré par les figures 1 et 2, par exemple, une méthode consistant à maintenir la partie supérieure de l'isolateur 9 par un élément de fixation 10 et à visser cet élément 10 dans la partie cylindrique 13 de la botte à bornes 3 a été adoptée. D'autre part, dans un mode de réalisation représenté sur la figure 7, un élément de fixation 10 maintient la partie supérieure de l'isolateur 9 vissée dans la partie inférieure des bornes 2 à l'intérieur du logement 20 afin de fixer-l'isolateur
9 dans une position suspendue.
Etant donné que l'élément de détection de température 8, à -11l'extrémité du thermocouple 1, peut facilement être endommagé s'il est apte à se déplacer librement, en raison du contact entre le thermocouple et la face d'extrémité de l'isolateur 9, il est préférable d'adopter une structure suivant laquelle l'élément de détection de température 8 n'effectue pas de mouvements à l'intérieur du tube de protection en porcelaine 6 ou ne peut pas effectuer de mouvements facilement à l'intérieur de celui-ci. Avec le mode de réalisation tel que représenté sur les figures 1 et 2, par exemple, pour que l'élément de détection de température 8 n'effectue pas de mouvements à l'intérieur du tube de protection en porcelaine 6, on remplit l'intérieur de poudre isolante 14, telle que de la poudre d'alumine de très grande pureté ou analogue, afin de constituer une fixation pour l'élément 8. La fixation de l'élément de détection de température 8 n'est pas limitée uniquement à cette méthode et, tandis qu'un remplissage à l'aide d'une substance isolante granulaire ou en morceaux irréguliers est acceptable, une autre solution pourrait consister à intercaler une pièce formée, ayant une forme cylindrique ou une autre forme appropriée, comme représenté sur la figure 3 sur laquelle une pièce d'isolation 15 en forme de calotte est montée dans le fond du tube
de protection en porcelaine 6 suivant une configuration d'insertion.
La face intérieure de la pièce d'isolation 15, au niveau du fond, est équipée d'une chambre à peu près hémisphérique 16 destinée à abriter l'élément de détection de température 8. La fixation est réalisée de telle manière que l'extrémité de l'isolateur 9 qui est insérée dans la pièce formée d'isolation 15 ne soit pas en contact avec le fond de la face intérieure de la pièce formée 15, si bien que l'élément de détection de température 8 à l'extrémité du -12-
thermocouple 1 est enfermé dans la chambre 16.
Dans le cas du mode de réalisation de la figure 4, une pièce formée d'isolation 15',moulée a la forme indiquée est montée
à encastrement dans le fond du tube de protection en porcelaine 6.
La partie d'extrémité inférieure d'un isolateur 9'est insérée dans une rainure annulaire 17 de la pièce formée 15'. La surface d'extrémité intérieure de la pièce formée 15', qui est entourée par la rainure annulaire 17, constitue la chambre d'abri 16', dans laquelle l'élément de détection de température 8 à l'extrémité du thermocouple 1 est abrité, en association avec l'extrémité
inférieure de l'isolateur 9 que reçoit la rainure 17.
L'isolateur 9, 9', dans lequel le thermocouple 1 est abrité, doit être constitué par un matériau ne donnant pas lieu à la formation d'un composant nocif pour le thermocouple lorsque l'appareil de la présente invention est utilisé à des températures élevées. Il est préférable que le matériau de l'isolateur 9, 9' soit équivalent au matériau utilisé pour le tube de protection en
porcelaine 6.
Comme représenté sur la figure 5, un isolateur 9" a une extrémité inférieure qui est formée avec une encoche 11a en forme de V destinée à enfermer l'élément de détection température 8 du thermocouple. En outre, il est est possible d'utiliser un isolateur 9'" dont l'extrémité inférieure comporte une encoche en forme de fente 11b, comme représenté sur la figure 6, pour enfermer l'élément de détection de température 8 du thermocouple 1. A la place de la pièce , 15', on utilise un élément d'extrémité 12 qui est muni d'une branche 18 qui s'adapte dans l'encoche 11b de manière à ne pas -13- exercer de pression sur l'élément de détection de température 8. Une telle disposition de fixation qui en résulte empêche l'élément de détection de température 8 d'effectuer des mouvements à l'intérieur de l'extrémité inférieure du tube de protection en porcelaine 6. Il est recommandé qu'une tête 19 de l'élément d'extrémité 12 repose sur l'intérieur de l'extrémité inférieure du tube de protection en
porcelaine 6.
Le tube de protection en porcelaine 6 et l'isolateur 9, 9', 9", 9'" sont de préférence réalisés en des matériaux dont les coefficients de dilatation thermique sont essentiellement identiques les uns aux autres, étant donné qu'un endommagement pourrait se produire si une différence existait entre les coefficients de dilatation thermique. De plus, comme représenté sur les figures 8 et 8a, il est également possible d'adopter une autre disposition suivant laquelle, sans qu'une poudre isolante 14 ou une pièce formée d'isolation 15 ou 15', ou un élément d'extrémité 12 ne soient utilisés, comme mentionné ci-dessus, l'élément de détection de température 8 peut être positionné légèrement en retrait à l'intérieur de l'extrémité inférieure de l'isolateur 9"" qui est au contact de la face intérieure de la partie de fond du tube de protection en porcelaine 6, ce qui permet à l'isolateur 9"" de se dilater et de se contracter lorsque les coefficients de dilatation thermique de l'isolateur 9"" et du tube de protection en porcelaine
6 présentent une différence.
Tant que la disposition du thermocouple 1 n'entraîne pas pour l'élément de détection de température 8 l'imposition d'une charge et ne lui permet pas d'effectuer de mouvements excessifs, toute autre méthode appropriée pour fixer le thermocouple à l'isolateur et au -14- tube de protection peut être utilisée avec l'appareil de la présente invention. On va maintenant décrire la construction de l'unité de tube de
protection à immersion B des figures 1 et 2.
Divers matériaux peuvent être utilisés pour former l'unité de tube de protection à immersion B; par exemple, le tube de protection 21 est réalisé en alumine-graphite qui est un matériau dont la qualité est identique à celle du matériau utilisé pour le type de tube en aluminegraphite employé dans une - longue buse dans le procédé de coulée en continu et analogue. Il est nécessaire de faire appel à un matériau qui n'entraînera pas l'exposition du thermocouple à une atmosphère qui pourrait l'endommager, ou, au moins, à un matériau qui donnera difficilement lieu à la formation d'une telle atmosphère, lorsque le présent appareil est utilisé à des températures élevées. C'est pour cette raison que la constitution du tube de protection en alumine-graphite des modes de réalisation préférés décrits ici est différente de celle du tube de
protection en alumine-graphite habituellement commercialisé.
C'est-à-dire que, conformément à la présente invention, le tube en alumine-graphite 21 est préparé à l'aide des opérations suivantes: addition d'une résine, en tant que liant, dont le rendement de carbonisation est élevé par rapport aux ingrédients de la composition constitués par 10 à 40% en poids de poudre de graphite, 1 à 10% en poids de poudre choisie parmi et/ou mélangée avec de la poudre de dérivés de SiC, dérivés de Si, dérivés de ZrO2-SiO2, dérivés de A 1203-ZrO 2-SiO et leur mélange, et les 50 à
2 3 2 2
89% en poids restants étant de l'alumine essentiellement granulaire et/ou de l'alumine en poudre; malaxage du produit résultant et -15- frittage ultérieur de celui-ci de manière à ce que la quantité du composant SiO2 contenu dans le tube en alumine-graphite 21 soit inférieure à 8Z en poids. Ceci limite la formation de gaz SiO, dont la combinaison avec Pt dans le thermocouple forme Pt5Si2 dans un joint intergranulaire rendant le platine fragile, parce que la quantité de SiO2 dans le tube de protection en alumine-graphite
résultant 21 est réduite jusqu'au pourcentage indiqué.
Pour cette raison, une limitation consistant à réduire la quantité du composant SiO2 jusqu'à moins de 8% en poids, constitue une contre-mesure à l'égard d'une cause de détérioration du thermocouple. Plus particulièrement, une réduction de la teneur en SiO2, qui constitue un facteur concourant à la destruction des fils de l'élément du thermocouple dans le tube en alumine-graphite 21 utilisé dans l'unité de tube de protection à immersion B, jusqu'à moins de 8% en poids, permet de résoudre un problème constituant l'une des causes de la détérioration des fils du thermocouple en raison de la modification chimique suivante: sio2+ c-> siot+ cot Une telle disposition permet également d'améliorer la
conductivité thermique du tube de protection en alumine-graphite 21.
Plus particulièrement, le fait de limiter la quantité de SiO2 (dont la conductivité. thermique est plus faible) qui représente une partie des éléments constituant le tube en alumine-graphite, a pour effet d'améliorer la conductivité thermique du tube si bien que la vitesse
de la réponse à la température est accrue.
La raison pour laquelle on fixe la quantité de poudre de -16- graphite à 10-40% en poids est que, si moins de 10% en poids étaient utilisés, la résistance à l'effritement et la conductivité thermique ne seraient pas suffisantes, tandis que si plus de 40% en poids étaient utilisés, la résistance à la corrosion et la solidité seraient insuffisantes. Par ailleurs, une autre raison pour laquelle on fixe la quantité de poudre de SiC, Si, et de dérivés de Zr02-Si02 ou A1203-Zr02-SiO2 à 1-10% en poids est que, si moins de 1% en poids était utilisé, la quantité ne suffirait pas à empêcher l'oxydation du graphite et sa dissolution dans le métal fondu, ce qui entraînerait une réduction de la résistance à la corrosion, tandis que si plus de 10% en poids
étaient utilisés, la résistance à la corrosion serait insuffisante.
Quant à l'alumine granulaire et/ou l'alumine en poudre, aucune limite particulière n'est imposée au matériau électrofondu, au matériau fritté et au matériau calciné. Selon la présente invention, on impose une limite à o(-A1203, --A1203 en tant qu'alumine granulaire et/ou alumine en poudre. Il n'est pas recommandé d'utiliser une grande quantité de f-A1203 car il contient Na20 ou K20. Cependant, si la quantité de SiO2 est dans la limite de moins de 8% en poids après l'opération de frittage, l'addition d'unepetite quantité de poudre de silice, de mullite, d'andalousite, de sillimanite et analogue est également acceptable, étant donné qu'une
telle disposition permet d'améliorer la résistance à l'effritement.
Etant donné que la résine utilisée en tant que liant évite une augmentation de la porosité et une réduction de la solidité de l'article fritté, il est recommandé d'utiliser un type de résine ayant un rendement de carbonisation plus élevé. Par exemple, il est possible d'utiliser une résine phénolique, une résine furannique, -17- une résine époxyde, de la poix, et divers types de résines phénoliques dénaturées de poix. Comme mentionné ci-dessus, aucune limite n'est imposée aux propriétés de la résine, à l'exception de
la nécessité d'avoir un rendement de carbonisation plus élevé.
En ce qui concerne l'étape de frittage, l'utilisation d'un dispositif de compression isostatique à froid et d'une presse d'extrusion est appropriée selon l'invention. Généralement, il est préférable d'utiliser un dispositif de compression isostatique à
froid, mais l'utilisation d'un tel procédé n'est pas requis.
Conformément à un mode particulier préféré de la présente invention, on obtient un tube en alumine-graphite 21 dont la teneur en SiO2 est de 6,2% en poids. Pour cela, on ajoute une résine phénolique, en tant que liant, aux ingrédients de la composition constitués par 27% en poids de poudre de graphite, un mélange de poudre constitué par 3% en poids de SiC et 1% en poids de Si, le reste étant constitué par de l'alumine granulaire ou de l'alumine en poudre, puis on malaxe le produit résultant lequel est enfin compressé à l'aide d'un dispositif de compression isostatique à froid et fritté à 1000 C. On trouvera ci-après les données se rapportant à un tel tube de protection en alumine-graphite: (Conductivité thermique)
à 200 C -> 19,5
à 400 C -> 17,6
à 600 C -> 17,0
à 800 C -> 16,9
(Unité: kcal/m h deg.) -18- (Chaleur massique) 0,21 Kcal/kg.deg. à 800 C (Densité) 2600 kg/m3 En conséquence, par comparaison avec les caractéristiques d'un tube de protection en alumine-graphite habituellement commercialisé, des améliorations contribuant directement à un accroissement de la rapidité du processus de réponse du thermocouple, à un meilleur
suivi de la température et autres, ont été apportées.
Le graphique de la figure 10 représente les résultats d'un essai interne effectué avec un tube de protection de l'art antérieur et le tube de protection en alumine-graphite conformément au présent mode de réalisation particulier. Ces résultats montrent que l'article classique met environ 5 minutes à atteindre une température permettant le démarrage du processus de réponse, tandis que l'appareil de la présente invention met environ la moitié du temps
sus-mentionné pour atteindre le même résultat.
Le tube de protection en alumine-graphite 21, dont la forme est cylindrique et qui comporte une extrémité fermée conique, telle
qu'une disposition à extrémité fermée, n'est pas essentiel.
Alors que la partie supérieure du tube de protection en alumine-graphite 21 est fixée à l'aide d'un élément adhésif résistant au feu 23, par exemple un ciment d'ignifugation et analogue, et introduite à l'intérieur du manchon de maintien métallique 22, elle est également, en même temps, fixée par une pluralité de vis de blocage 24. Le manchon de maintien 22 est muni d'une bride 25 fixée à celui-ci par soudage. Lors de l'installation -19- de l'appareil de mesure de température in situ, l'ensemble de la partie de l'unité de tube de protection à immersion B est supportée par la bride 25. Un manchon de connexion métallique 26 est fixé de manière à reposer sur la partie supérieure de la bride 25 par soudage. Le manchon de connexion 26, la bride 25 et le tube de protection en alumine-graphite 21 sont disposés coaxialement de
manière à communiquer entre eux.
Ainsi, l'unité de thermocouple A est montée de manière amovible dans l'unité de tube de protection à immersion B. Plus particulièrement, le tube de protection en porcelaine 6, dans lequel l'isolateur 9 du thermocouple 1 de l'unité de thermocouple A est abrité, est introduit par l'intermédiaire de l'ouverture située à la partie supérieure du manchon de connexion 26 à l'intérieur du tube de protection en alumine-graphite 21 dans l'unité de tube de protection à immersion B. Le manchon d'extension 5, qui est dépendant de la boite à bornes 3 de l'unité de thermocouple A, est introduit dans le manchon de connexion 26 de l'unité de tube de protection à immersion B, et le manchon de connexion 26 est adapté pour être au contact de l'extrémité inférieure de la partie cylindrique 13 de la boite à bornes 3. Une fois cette disposition effectuée, un outil de fixation 28, tel qu'une vis à serrage à main et analogue, est vissé dans un petit orifice fileté 27 ménagé dans la face latérale du manchon de connexion 26, assurant ainsi la fixation de l'unité de thermocouple A à l'unité de tube de protection à immersion B. Les moyens destinés à fixer de manière amovible'le manchon d'extension 5 et le manchon de connexion 26 l'un à l'autre ne sont pas limités à l'outil de fixation-28, mais peuvent être choisis parmi un large éventail de divers types de méthodes de -20-
montage amovible.
Lorsque les unités A et B sont fixées ensemble (comme représenté' sur la figure 1) et exposées à la chaleur provenant du métal fondu, étant donné qu'il existe une différence entre le coefficient de dilatation thermique du tube de protection en porcelaine 6 et celui du tube de protection en alumine-graphite-21 de l'unité de tube de protection à immersion B, il est préférable de prévoir un jeu L entre l'extrémité du tube de protection en porcelaine 6 et l'extrémité à l'intérieur du tube de protection en alumine-graphite 21 afin de tenir compte de la différence entre les taux de
dilatation thermique.
Pour détacher l'unité de thermocouple A de l'unité à immersion B, il suffit de desserrer l'outil de fixation 28 afin de libérer
l'interconnexion les reliant.
Comme représenté sur la figure 9, l'appareil de mesure de-
température de la présente invention, qui est réalisé suivant la
construction sus-mentionnée, est installé dans un orifice 32; pour-
cela, l'appareil de mesure de température est introduit dans un couvercle supérieur 31 du tundish T avant la coulée du métal fondu. L'appareil de mesure de température est suffisamment chauffé en association avec la chaleur résiduelle en provenance d u tundish T pour éviter un endommagement du tube de protection en alumine-graphite 21 et du tube de protection en porcelaine 6 qui se
produirait en raison d'une variation thermique rapide.
De plus, pour éviter une élévation de la température des bornes 2 de la botte à bornes 3 de l'unité de thermocouple A pendant la mesure de la température de l'acier fondu, un gaz inerte sous pression ou analogue est introduit à l'intérieur de la botte à -21- bornes 3 suivant un procédé connu qui permet le refroidissement de
l'intérieur de la botte à bornes 3.
Comme indiqué ci-dessus dans les objets et la description de
l'appareil destiné à mesurer en continu la température de métal fondu, la présente invention permet d'obtenir les effets suivants: (1) La construction de l'appareil de mesure de température de la présente invention fait appel à une construction de l'unité de thermocouple et de l'unité de tube de protection à immersion telle
que, une fois ces unités combinées, le fonctionnement est supérieur.
(2) L'appareil de mesure de température de la présente invention, dont la construction est telle que mentionnée ci-dessus, permet de séparer facilement l'une de l'autre l'unité de thermocouple et l'unité de tube de protection à immersion, si bien qu'il est possible d'effectuer d'une manière simple le remplacement
de l'unité de thermocouple.
(3) L'appareil de mesure de température de la présente invention, dont la construction est telle que mentionnée ci-dessus, permet de retirer facilement l'unité de thermocouple de l'unité de tube de protection à immersion, ce qui facilite la manipulation,
lors de la ré-utilisation de l'unité de thermocouple.
(4) L'appareil de mesure de température de la présente invention a une construction suivant laquelle les fils de l'élément du thermocouple ne sont soumis à aucune charge susceptible, pendant l'utilisation de l'appareil, d'entratner une rupture des fils du
thermocouple.
(5) L'appareil de mesure de température de la présente invention a une construction prévoyant un tube de protection en porcelaine hautement imperméable à l'air de manière à ce qu'il soit possible -22- d'éviter une détérioration des fils de l'élément du thermocouple due
à une modification chimique.
(6) La composition du tube en alumine-graphite de la présente invention et la manière dont il est formé améliorent la réponse de l'appareil de mesure de température. Bien que divers modes de réalisation selon la présente invention aient été décrits et illustrés, il est entendu que l'invention n'est pas limitée à ceux-ci mais qu'elle est susceptible de recevoir de nombreuses modifications et variations à la portée de l'homme de l'art et, en conséquence, nous ne souhaitons pas être limités aux détails illustrés et décrits ici, mais entendons, au contraire, couvrir toutes les modifications et variations qui sont englobées
par la portée des revendications annexées.
-23-
Claims (12)
1. Appareil pour mesurer en continu la température de métal fondu comprenant une unité de thermocouple (A) et une unité de tube de protection à immersion (B), caractérisé en ce que: ladite unité de thermocouple (A) comprend un élément de détection de température (8) et des bornes (2) de thermocouple (1), un isolateur (9), un tube de protection en porcelaine (6), et une botte à bornes (3) comportant un manchon d'extension (5) avec lequel la partie supérieure dudit tube de protection en porcelaine (6) est maintenue ainsi qu'un logement (20) renfermant lesdites bornes (2); ladite unité de tube de protection à immersion (B) comprend un tube de protection (21), un manchon de maintien (22) et un manchon de connexion (26) relié audit manchon de maintien (22); ledit tube de protection (6) de ladite unité de thermocouple (A) est inséré de manière amovible dans ledit tube de protection 21 de ladite unité de tube de protection à immersion (B), ledit manchon d'extension (5) de ladite unité de thermocouple (A) étant inséré de manière amovible dans ledit manchon de connexion 26 de ladite unité de tube de protection à immersion (B); et des moyens de fixation (28) fixent de manière amovible ledit manchon d'extension et ledit manchon de connexion l'un à l'autre pour permettre de retirer facilement ladite unité de thermocouple
(A) de ladite unité de protection à immersion (B).
2. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit tube de protection en porcelaine (6) est constitué par une porcelaine qui est
essentiellement imperméable à l'air.
3. Appareil pour mesurer en continu la température selon la -24revendication 1, caractérisé en ce que ledit élément de détection de température (8) du thermocouple (1) est protégé contre un contact
avec ledit tube de protection en porcelaine (6).
4. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit isolateur (9) est essentiellement construit en une seule pièce et renferme ledit
thermocouple (1).
5. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'un article d'isolation est prévu à une extrémité de l'isolateur (9) à laquelle ledit élément de détection (8) est disposé en tant que moyen servant à empêcher ledit élément de détection de température (8) d'être en contact avec ledit
tube de protection en porcelaine (6).
6. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit tube de protection (21) de ladite unité de protection à immersion (B) est un tube de protection en alumine-graphite dont la teneur en composant SiO2 est
inférieure à 8% en poids.
7. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 6, caractérisé en ce que ledit tube de protection en alumine-graphite (21) est formé à partir d'un liant de type résine -ayant un rendement de carbonisation élevé, une poudre de graphite, une poudre d'un matériau sélectionné parmi le groupe constitué par: des dérivés de SiC, des dérivés de Si, des dérivés de ZrO2-SiO2, des dérivés de A1203-ZrO2-Si02, et leurs mélanges; et de t'alumine
sensiblement granulaire et/ou en poudre.
8. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit tube de protection en -25- aluminegraphite fritté (21) se compose de 10 à 40 pour cent en poids de ladite poudre de graphite, 1 à 10 pour cent en poids de ladite poudre sélectionnée parmi ledit groupe constitué par: des dérivés de SiC, des dérivés de Si, des dérivés de ZrO2-SiO2, des dérivés de A1203-ZrO2-SiO2, et leurs mélanges; et 50 à 89 pour cent
en poids de ladite alumine sensiblement granulaire et/ou en poudre.
9. Appareil pour mesurer en continu la température de métal fondu caractérisé en ce qu'il comprend une unité de thermocouple (A) et une unité de tube de protection à immersion (B), ladite unité de thermocouple comprenant un élément de détection de: température (8) monté à l'intérieur d'un tube de protection en porcelaine (6) et ladite unité de thermocouple (A) étant insérée de manière amovible à l'intérieur de ladite unité de tube de protection à immersion (B), et en ce que: ladite unité de tube de protection à immersion (B) contient un tube de protection en alumine-graphite fritté (21) contenant moins de 8% en poids de SiO2 formé à partir d'un liant de type résine ayant un rendement de carbonisation élevé, une poudre de graphite, une poudre d'un matériau sélectionné parmi le groupe constitué par: des dérivés de SiC, des dérivés de Si, des dérivés de ZrO2-Si02, des dérivés de A1203-ZrO2-SiO2, et leurs mélanges; et de l'alumine
sensiblement granulaire et/ou en poudre.
10. Appareil pour mesurer en continu la température selon la revendication 9, caractérisé en ce que le ledit tube de protection en alumine-graphite fritté (21) se compose de 10 à 40 pour cent en poids de ladite poudre de graphite, 1 à 10 pour cent en poids de ladite poudre sélectionnée, parmi ledit groupe constitué par: des dérivés de SiC, des dérivés de Si des dérivés de Zr02-SiO2, des -26- dérivés de A1203-Zr02- SiO2, et leurs mélanges; et 50 à 89 pour cent
en poids de ladite alumine sensiblement granulaire et/ou en poudre.
11. Procédé de fabrication d'un appareil pour mesurer en continu la temp&rature de métal fondu comprenant une unité de thermocouple (A) comportant un élément de détection de température (8) monté à l'intérieur d'un tube de protection en porcelaine (6) et une unité de tube de protection à immersion (B) recevant de manière amovible ladite unité de thermocouple (A) à l'intérieur d'un tube de protection en aluminegraphite, caractérisé en ce que ledit tube de protection en aluminegraphite est réalisé de manière à contenir moins de 8% en poids de SiO2 en formant un mélange par addition d'un liant de type résine à haut rendement de carbonisation à un ingrédient de composition constitué par une poudre de graphite, une poudre s&lectionnée parmi le groupe constitué par: des dérivés de SiC, des dérivés de Si, des dérivés de Zr02-SiO2 et leur mélange; et le reste étant de l'alumine essentiellement granulaire et/ou en poudre; en malaxant ensuite ledit m6lange; en donnant au mélange malaxé la forme d'un tube; et enfin en opérant le frittage dudit
tube formé.
12. Procédé de fabrication d'un appareil pour mesurer en continu la température de métal fondu selon la revendication 11, caractéris& en ce que ledit ingrédient de la composition se compose de: 10 à 40 pour cent en poids de ladite poudre de graphite; 10 à 40 pour cent en poids de ladite poudre sélectionnée parmi ledit groupe constitué par: des dérivés de SiC, des dérivés de Si, des dérivés de ZrO2-SiO2, des dérivés de A1203ZrO2-SiO2, et leurs mélanges; et 50 à 89 pour cent en poids de ladite alumine sensiblement granulaire
et/ou en poudre.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62328948A JPH0648217B2 (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 溶融金属の連続測温装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2645959A1 true FR2645959A1 (fr) | 1990-10-19 |
| FR2645959B1 FR2645959B1 (fr) | 1995-06-09 |
Family
ID=18215889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8904962A Expired - Fee Related FR2645959B1 (fr) | 1987-12-24 | 1989-04-14 | Appareil pour mesurer en continu la temperature de metal fondu et son procede de fabrication |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4984904A (fr) |
| JP (1) | JPH0648217B2 (fr) |
| FR (1) | FR2645959B1 (fr) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2676812A1 (fr) * | 1991-05-24 | 1992-11-27 | Thermo Controle | Dispositif pour mesurer la temperature dans une ambiance explosible. |
| WO2009146966A1 (fr) * | 2008-06-03 | 2009-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Capteur de température |
| EP1757915B1 (fr) * | 2005-08-24 | 2016-08-31 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Appareil pour la mesure de température dans du métal en fusion |
| CN106289551A (zh) * | 2016-08-30 | 2017-01-04 | 张子青 | 一种便于固定的热电偶结构 |
Families Citing this family (405)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5069553A (en) * | 1989-12-04 | 1991-12-03 | Vesuvius Crucible Company | Protective sheath for a continuous measurement thermocouple |
| JPH0393748U (fr) * | 1990-01-12 | 1991-09-25 | ||
| DE4014361A1 (de) * | 1990-05-04 | 1991-11-14 | Werner & Pfleiderer | Temperatursensor fuer misch- und knetmaschinen |
| DE9109308U1 (fr) * | 1991-07-27 | 1992-11-26 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt, De | |
| DE4207317C3 (de) * | 1992-03-06 | 2000-03-16 | Heraeus Electro Nite Int | Vorrichtung zur Messung der Temperatur von Metallschmelzen |
| US5348395A (en) * | 1992-12-11 | 1994-09-20 | General Electric Company | Aspirating pyrometer with platinum thermocouple and radiation shields |
| DE4302146A1 (de) * | 1993-01-27 | 1994-07-28 | Schramm Gmbh | Widerstandsthermometer |
| US5399018A (en) * | 1993-03-31 | 1995-03-21 | Omega Engineering, Inc. | Adjustable positioning housing assembly for an infrared thermocouple |
| US5275670A (en) * | 1993-07-06 | 1994-01-04 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | High temperature, oxidation resistant noble metal-Al alloy thermocouple |
| US5968223A (en) * | 1993-07-13 | 1999-10-19 | Eckert; C. Edward | Method for heating molten metal using heated baffle |
| US5456761A (en) * | 1993-07-15 | 1995-10-10 | Alcan International Limited | High temperature and abrasion resistant temperature measuring device |
| US5603571A (en) * | 1993-08-18 | 1997-02-18 | Eckert; C. Edward | Thermocouple assembly including an outer sleeve made in part of a titanium alloy |
| US5520461A (en) * | 1994-03-02 | 1996-05-28 | Alliedsignal Inc. | Airtight thermocouple probe |
| JP2929261B2 (ja) * | 1994-06-07 | 1999-08-03 | 中部助川興業株式会社 | 測温センサ |
| WO1996017230A1 (fr) * | 1994-11-30 | 1996-06-06 | Kabushiki Kaisha Kouransha | Thermometre a thermocouple et procede de fabrication de corps frittes pour ledit thermometre |
| US5772324A (en) * | 1995-10-02 | 1998-06-30 | Midwest Instrument Co., Inc. | Protective tube for molten metal immersible thermocouple |
| CA2199765A1 (fr) * | 1996-03-14 | 1997-09-14 | Sylvain P. Tremblay | Methode et appareil de mesure de la temperature de l'aluminium en fusion et des alliages d'aluminium. |
| US6217631B1 (en) | 1996-07-17 | 2001-04-17 | C. Edward Eckert | Method and apparatus for treating molten aluminum |
| US6143055A (en) * | 1997-06-26 | 2000-11-07 | Eckert; C. Edward | Carbon based composite material for molten metal |
| US6508977B2 (en) | 1997-06-26 | 2003-01-21 | C. Edward Eckert | Reinforced refractory shaft design for fluxing molten metal |
| US6146443A (en) * | 1997-06-26 | 2000-11-14 | Eckert; C. Edward | Pre-treated carbon based composite material for molten metal |
| US5975755A (en) * | 1997-10-15 | 1999-11-02 | Midwest Instrument Co., Inc. | Shield for molten metal immersible thermocouple support pole |
| WO1999023276A1 (fr) * | 1997-11-03 | 1999-05-14 | Asm America, Inc. | Chambre de traitement haute temperature a longue duree de vie |
| US6679627B1 (en) | 1997-11-04 | 2004-01-20 | Rdc Controle Ltee | Self-floating device for measuring the temperature of liquids |
| US5948999A (en) * | 1998-02-11 | 1999-09-07 | Midwest Instrument Co., Inc. | Molten metal dip sampler |
| US6059453A (en) * | 1998-04-20 | 2000-05-09 | Rosemount Inc. | Temperature probe with sapphire thermowell |
| JP2000035364A (ja) * | 1998-07-16 | 2000-02-02 | Fuji Electric Co Ltd | 溶融金属連続測温装置 |
| US6302578B1 (en) * | 1998-09-30 | 2001-10-16 | Texaco Inc. | Behind the brick thermocouple |
| US6367974B1 (en) * | 1999-04-19 | 2002-04-09 | Peter Lin | Thermocouple apparatus and well for containers having a flanged access opening |
| JP2001215156A (ja) * | 2000-02-02 | 2001-08-10 | Sharp Corp | 接触式温度測定装置 |
| US6341892B1 (en) * | 2000-02-03 | 2002-01-29 | George Schmermund | Resistance thermometer probe |
| US7166165B2 (en) | 2000-04-06 | 2007-01-23 | Asm America, Inc. | Barrier coating for vitreous materials |
| JP4601765B2 (ja) * | 2000-04-24 | 2010-12-22 | 東京窯業株式会社 | 測温プローブ装置 |
| CN1116593C (zh) * | 2000-07-12 | 2003-07-30 | 东北大学 | 钢水温度连续测量方法和测温管 |
| US7004623B2 (en) * | 2002-03-21 | 2006-02-28 | Jon Nakagawa | Disposable sheath for data logger probe and method for measuring and recording temperature in a closed container |
| US6825051B2 (en) * | 2002-05-17 | 2004-11-30 | Asm America, Inc. | Plasma etch resistant coating and process |
| US6827486B2 (en) * | 2002-11-22 | 2004-12-07 | Welker Engineering Company | Temperature probe and insertion device |
| US6857776B2 (en) * | 2002-12-12 | 2005-02-22 | Ametek, Inc. | Connectorized high-temperature thermocouple |
| WO2004090491A2 (fr) * | 2003-03-31 | 2004-10-21 | Saudi Arabian Oil Company | Mesure du niveau de soufre fondu dans des reservoirs |
| US7011446B2 (en) * | 2003-07-29 | 2006-03-14 | Ametek, Inc. | Thermocouple junction box with isolated studs |
| US6974781B2 (en) * | 2003-10-20 | 2005-12-13 | Asm International N.V. | Reactor precoating for reduced stress and uniform CVD |
| DE102004032561B3 (de) * | 2004-07-05 | 2006-02-09 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Behälter für Metallschmelze sowie Verwendung des Behälters |
| JP4678820B2 (ja) * | 2004-07-16 | 2011-04-27 | 日本特殊陶業株式会社 | 温度センサ |
| FR2880685B1 (fr) * | 2005-01-12 | 2007-10-19 | Sc2N Sa | Capteur de temperature, notamment pour vehicule automobile |
| JP4536642B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2010-09-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 温度センサ素子 |
| FR2894024B1 (fr) * | 2005-11-30 | 2008-01-18 | Cogema | Canne de mesure de temperature |
| US7874726B2 (en) * | 2007-05-24 | 2011-01-25 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
| US8034410B2 (en) | 2007-07-17 | 2011-10-11 | Asm International N.V. | Protective inserts to line holes in parts for semiconductor process equipment |
| US20090052498A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
| US7807222B2 (en) * | 2007-09-17 | 2010-10-05 | Asm International N.V. | Semiconductor processing parts having apertures with deposited coatings and methods for forming the same |
| US7993057B2 (en) * | 2007-12-20 | 2011-08-09 | Asm America, Inc. | Redundant temperature sensor for semiconductor processing chambers |
| US7891870B2 (en) * | 2008-04-29 | 2011-02-22 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Temperature sensor element and method of manufacturing the same |
| JP5198934B2 (ja) * | 2008-05-09 | 2013-05-15 | 日本特殊陶業株式会社 | 温度センサ |
| US7946762B2 (en) * | 2008-06-17 | 2011-05-24 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
| US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
| US8262287B2 (en) * | 2008-12-08 | 2012-09-11 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
| US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
| US9297705B2 (en) * | 2009-05-06 | 2016-03-29 | Asm America, Inc. | Smart temperature measuring device |
| US8100583B2 (en) * | 2009-05-06 | 2012-01-24 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
| US8382370B2 (en) | 2009-05-06 | 2013-02-26 | Asm America, Inc. | Thermocouple assembly with guarded thermocouple junction |
| US8297129B2 (en) * | 2009-06-18 | 2012-10-30 | Muskopf Brian A | Instrument mounting system and method |
| US8950936B2 (en) * | 2009-07-10 | 2015-02-10 | Honda Motor Company Limited | Nail puncture test device having temperature measurement function |
| US8545096B2 (en) * | 2009-08-06 | 2013-10-01 | Ge Infrastructure Sensing, Inc. | Thermal sensor device and method of assembly |
| US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
| EP2386843B1 (fr) * | 2010-05-11 | 2016-08-03 | Innovatherm Prof. Dr. Leisenberg GmbH & Co. KG | Thermocouple |
| EP2490000B1 (fr) * | 2011-02-16 | 2013-09-18 | Siemens VAI Metals Technologies GmbH | Connexion enfichable automatisée d'une tige de contact dans une sonde technique sidérurgique |
| JP5523383B2 (ja) * | 2011-03-22 | 2014-06-18 | 日新製鋼株式会社 | 羽口ユニットおよび熱電対交換方法 |
| US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
| US9793148B2 (en) | 2011-06-22 | 2017-10-17 | Asm Japan K.K. | Method for positioning wafers in multiple wafer transport |
| US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
| DE102011112876B3 (de) * | 2011-07-11 | 2012-12-06 | Tesona Gmbh & Co. Kg | Hochtemperaturmesssensoranordnung |
| US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
| US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
| US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
| US8946830B2 (en) | 2012-04-04 | 2015-02-03 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal oxide protective layer for a semiconductor device |
| US20130319494A1 (en) * | 2012-06-01 | 2013-12-05 | Watlow Electric Manufacturing Company | Speciality junction thermocouple for use in high temperature and corrosive environment |
| US9558931B2 (en) | 2012-07-27 | 2017-01-31 | Asm Ip Holding B.V. | System and method for gas-phase sulfur passivation of a semiconductor surface |
| US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
| DE102012017500B3 (de) * | 2012-09-05 | 2014-01-16 | S + S Regeltechnik Gmbh | Tauchfühler |
| US9021985B2 (en) | 2012-09-12 | 2015-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor |
| JP6080451B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2017-02-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び熱電対支持体 |
| US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
| CN102928108A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-13 | 阿尔赛(苏州)无机材料有限公司 | 新型高温热电偶 |
| US9640416B2 (en) | 2012-12-26 | 2017-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Single-and dual-chamber module-attachable wafer-handling chamber |
| US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
| US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
| USD702188S1 (en) | 2013-03-08 | 2014-04-08 | Asm Ip Holding B.V. | Thermocouple |
| US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
| US8993054B2 (en) | 2013-07-12 | 2015-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system to reduce outgassing in a reaction chamber |
| US9018111B2 (en) | 2013-07-22 | 2015-04-28 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor reaction chamber with plasma capabilities |
| EP3032231B1 (fr) * | 2013-08-08 | 2018-12-19 | Furuya Metal Co., Ltd. | Thermomètre |
| US9793115B2 (en) | 2013-08-14 | 2017-10-17 | Asm Ip Holding B.V. | Structures and devices including germanium-tin films and methods of forming same |
| US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
| US9556516B2 (en) | 2013-10-09 | 2017-01-31 | ASM IP Holding B.V | Method for forming Ti-containing film by PEALD using TDMAT or TDEAT |
| US9605343B2 (en) | 2013-11-13 | 2017-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming conformal carbon films, structures conformal carbon film, and system of forming same |
| US10179947B2 (en) | 2013-11-26 | 2019-01-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming conformal nitrided, oxidized, or carbonized dielectric film by atomic layer deposition |
| US9791328B2 (en) * | 2013-12-18 | 2017-10-17 | Ewig Industries Macao Commercial Offshore Ltd | Waterproof food thermometer probe and associated methods |
| US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
| US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
| US9447498B2 (en) | 2014-03-18 | 2016-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for performing uniform processing in gas system-sharing multiple reaction chambers |
| US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
| US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
| US9543180B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-01-10 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for transporting wafers between wafer carrier and process tool under vacuum |
| US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
| US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
| US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
| KR102300403B1 (ko) | 2014-11-19 | 2021-09-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
| KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
| US9478415B2 (en) | 2015-02-13 | 2016-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming film having low resistance and shallow junction depth |
| US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
| US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
| JP2016186432A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 東京窯業株式会社 | 測温プローブ |
| US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
| US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
| US10043661B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-08-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film |
| US9899291B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-02-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film |
| US10083836B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-09-25 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of boron-doped titanium metal films with high work function |
| US10087525B2 (en) | 2015-08-04 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | Variable gap hard stop design |
| US9647114B2 (en) | 2015-08-14 | 2017-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming highly p-type doped germanium tin films and structures and devices including the films |
| US9711345B2 (en) | 2015-08-25 | 2017-07-18 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming aluminum nitride-based film by PEALD |
| US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
| US9909214B2 (en) | 2015-10-15 | 2018-03-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing dielectric film in trenches by PEALD |
| US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
| US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
| US9455138B1 (en) | 2015-11-10 | 2016-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming dielectric film in trenches by PEALD using H-containing gas |
| US9905420B2 (en) | 2015-12-01 | 2018-02-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming silicon germanium tin films and structures and devices including the films |
| US9607837B1 (en) | 2015-12-21 | 2017-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon oxide cap layer for solid state diffusion process |
| US9627221B1 (en) | 2015-12-28 | 2017-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Continuous process incorporating atomic layer etching |
| US9735024B2 (en) | 2015-12-28 | 2017-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using functional group-containing fluorocarbon |
| US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
| US9754779B1 (en) | 2016-02-19 | 2017-09-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
| US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
| US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
| US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
| US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
| US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
| US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
| US10087522B2 (en) | 2016-04-21 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
| US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
| US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
| US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
| KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
| US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
| US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
| US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
| US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
| US9793135B1 (en) | 2016-07-14 | 2017-10-17 | ASM IP Holding B.V | Method of cyclic dry etching using etchant film |
| US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
| KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
| US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| US10177025B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-01-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
| US10090316B2 (en) | 2016-09-01 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | 3D stacked multilayer semiconductor memory using doped select transistor channel |
| US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
| US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
| US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
| US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
| US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
| US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
| US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
| US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
| KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
| US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
| JP6359076B2 (ja) * | 2016-12-09 | 2018-07-18 | 東京窯業株式会社 | 測温プローブ |
| KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
| US9916980B1 (en) | 2016-12-15 | 2018-03-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
| US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
| KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
| US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
| US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
| US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
| US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
| US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
| US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
| US10103040B1 (en) | 2017-03-31 | 2018-10-16 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for manufacturing a semiconductor device |
| USD830981S1 (en) | 2017-04-07 | 2018-10-16 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate processing apparatus |
| KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
| US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
| US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
| US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
| US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
| US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
| US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
| US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
| KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
| US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
| US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
| US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
| US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
| US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
| US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
| US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
| US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
| US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| US10236177B1 (en) | 2017-08-22 | 2019-03-19 | ASM IP Holding B.V.. | Methods for depositing a doped germanium tin semiconductor and related semiconductor device structures |
| USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
| US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
| KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
| US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
| US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
| KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
| US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
| US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
| US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
| US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
| US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
| KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
| US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
| US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
| US11639811B2 (en) | 2017-11-27 | 2023-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus including a clean mini environment |
| KR102597978B1 (ko) | 2017-11-27 | 2023-11-06 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치 |
| US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
| US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
| US11482412B2 (en) | 2018-01-19 | 2022-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a gap-fill layer by plasma-assisted deposition |
| US10753807B2 (en) * | 2018-01-19 | 2020-08-25 | Te Wire & Cable Llc | Thermocouple termination/closure and method |
| TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
| USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
| US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
| USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
| US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
| US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
| WO2019158960A1 (fr) | 2018-02-14 | 2019-08-22 | Asm Ip Holding B.V. | Procédé de dépôt d'un film contenant du ruthénium sur un substrat par un processus de dépôt cyclique |
| US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
| US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
| KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
| US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
| US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
| US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
| US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
| US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
| KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
| US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
| US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
| US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
| KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
| TWI811348B (zh) | 2018-05-08 | 2023-08-11 | 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
| TWI816783B (zh) | 2018-05-11 | 2023-10-01 | 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
| KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
| US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
| US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
| US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
| KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
| US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
| CN112292477A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
| JP2021529254A (ja) | 2018-06-27 | 2021-10-28 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 金属含有材料ならびに金属含有材料を含む膜および構造体を形成するための周期的堆積方法 |
| KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
| US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
| US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
| US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
| US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
| US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
| US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
| US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
| US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
| US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
| KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
| US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
| US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
| CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
| US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
| KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
| US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
| US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
| KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
| KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
| USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
| US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
| US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
| KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
| US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
| US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
| US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
| US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
| US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
| US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
| KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
| US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
| JP2020096183A (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム |
| TWI819180B (zh) | 2019-01-17 | 2023-10-21 | 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
| KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
| KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
| US11482533B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and methods for plug fill deposition in 3-D NAND applications |
| JP2020136677A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置 |
| KR102638425B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-02-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 내에 형성된 오목부를 충진하기 위한 방법 및 장치 |
| JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
| US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
| KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
| KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
| JP2020167398A (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置 |
| KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
| US11447864B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
| KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
| KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
| KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
| KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
| JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
| USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
| USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
| USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
| USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
| KR20200141002A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법 |
| KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
| USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
| USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
| US11366023B2 (en) * | 2019-07-02 | 2022-06-21 | Gas Turbine Specialty Parts LLC | Multi-piece thermowell |
| KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
| JP2021015791A (ja) | 2019-07-09 | 2021-02-12 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
| CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
| KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
| KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
| US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
| CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
| TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
| CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
| US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
| US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
| CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
| USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
| USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
| JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
| KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
| USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
| USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
| USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
| USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
| US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
| KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
| KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
| KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
| CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
| TW202129060A (zh) | 2019-10-08 | 2021-08-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 基板處理裝置、及基板處理方法 |
| TW202115273A (zh) | 2019-10-10 | 2021-04-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成光阻底層之方法及包括光阻底層之結構 |
| US20210108967A1 (en) | 2019-10-14 | 2021-04-15 | Justin Thrash | TempTech |
| KR20210045930A (ko) | 2019-10-16 | 2021-04-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 산화물의 토폴로지-선택적 막의 형성 방법 |
| US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
| KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
| US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
| KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
| US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
| KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
| US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
| CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 基板処理装置、基板処理方法 |
| KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| JP2021097227A (ja) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化バナジウム層および窒化バナジウム層を含む構造体を形成する方法 |
| US11527403B2 (en) | 2019-12-19 | 2022-12-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures |
| JP2021109175A (ja) | 2020-01-06 | 2021-08-02 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ガス供給アセンブリ、その構成要素、およびこれを含む反応器システム |
| KR20210095050A (ko) | 2020-01-20 | 2021-07-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법 |
| TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
| TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
| US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
| US11781243B2 (en) | 2020-02-17 | 2023-10-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon |
| TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
| US11876356B2 (en) | 2020-03-11 | 2024-01-16 | Asm Ip Holding B.V. | Lockout tagout assembly and system and method of using same |
| KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
| CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
| KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
| TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
| TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
| US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
| KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
| TW202146831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法 |
| CN113555279A (zh) | 2020-04-24 | 2021-10-26 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含氮化钒的层的方法及包含其的结构 |
| KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
| KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
| KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
| TW202147383A (zh) | 2020-05-19 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 基材處理設備 |
| KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
| KR20210145080A (ko) | 2020-05-22 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치 |
| TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
| TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
| TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
| KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
| TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
| US11187586B2 (en) | 2020-08-17 | 2021-11-30 | SoCal Dab Tools, LLC | Temperature sensing system |
| TW202212623A (zh) | 2020-08-26 | 2022-04-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法、半導體結構、及系統 |
| USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
| USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
| TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
| TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
| TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
| KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
| US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
| TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
| US11650106B2 (en) * | 2020-12-30 | 2023-05-16 | Rosemount Inc. | Temperature probe with improved response time |
| USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
| USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
| USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
| USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
| USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
| CN114812862A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-07-29 | 新美光(苏州)半导体科技有限公司 | 测温装置及化学气相沉积设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1136973A (en) * | 1965-04-01 | 1968-12-18 | Ajax Magnethermic Corp | Improvements in and relating to refractory protective sheaths for temperature-sensing devices |
| FR1569518A (fr) * | 1967-06-26 | 1969-05-30 | ||
| DE2411995A1 (de) * | 1973-04-20 | 1974-10-31 | Plansee Metallwerk | Vorrichtung zur temperaturmessung mittels thermoelementen |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB190807910A (en) * | 1908-04-09 | 1908-06-04 | Siemens Brothers & Co Ltd | Improvements in Pyrometers or Thermometers of the Thermo-electric or Electrical Resistance Type. |
| US2303704A (en) * | 1939-10-10 | 1942-12-01 | Carl L Oseland | Temperature responsive device |
| US3106493A (en) * | 1961-05-05 | 1963-10-08 | Gen Electric | Thermocouple |
| DE1995599U (de) * | 1967-09-19 | 1968-10-31 | Voest Ag | Einrichtung zur kontinuierlichen messung der temperatur von metallbaedern in schmelz- oder frischoefen, insbesondere tiegeln oder konvertern |
| US3580744A (en) * | 1969-02-04 | 1971-05-25 | Us Air Force | Immersion thermocouple for atmospheric and vacuum environments |
| US3580078A (en) * | 1969-04-16 | 1971-05-25 | American Standard Inc | Thermocouple failure indicating device |
| BE757488R (fr) * | 1969-10-16 | 1971-03-16 | Voest Ag | Procede de mesure continue de la temperature de bains metalliques et sonde pour sa mise en |
| US3680382A (en) * | 1970-06-08 | 1972-08-01 | Barber Colman Co | Thermocouple protection tube for use in molten metal |
| US3923552A (en) * | 1972-12-21 | 1975-12-02 | Ppg Industries Inc | Hermetically sealed thermocouple assembly |
| JPS52107682U (fr) * | 1976-02-12 | 1977-08-16 | ||
| GB2045433B (en) * | 1979-03-30 | 1983-08-17 | Mckee F B | Wall mounting arrangement suitable for a thermometer |
| US4430518A (en) * | 1981-11-30 | 1984-02-07 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Protecting tube for thermocouple |
| JPS5927428U (ja) * | 1982-08-12 | 1984-02-20 | 山里産業株式会社 | 熱電対の保護管体構造 |
| EP0132296B1 (fr) * | 1983-06-20 | 1987-04-01 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Dispositif pour détecter l'écoulement de laitier |
| JPS6168525A (ja) * | 1984-09-12 | 1986-04-08 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 溶融金属連続測温計 |
| JPS61246636A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-01 | Japan Metals & Chem Co Ltd | 溶鋼連続測温用保護管 |
| JPS6228626A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 溶融金属連続測温計 |
| US4721534A (en) * | 1985-09-12 | 1988-01-26 | System Planning Corporation | Immersion pyrometer |
| US4721533A (en) * | 1986-08-01 | 1988-01-26 | System Planning Corporation | Protective structure for an immersion pyrometer |
| JPS63247629A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-14 | Asahi Glass Co Ltd | 熱電対保護管 |
| US4776705A (en) * | 1987-06-11 | 1988-10-11 | Texaco Inc. | Thermocouple for use in a hostile environment |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP62328948A patent/JPH0648217B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-04-11 US US07/336,333 patent/US4984904A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-14 FR FR8904962A patent/FR2645959B1/fr not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1136973A (en) * | 1965-04-01 | 1968-12-18 | Ajax Magnethermic Corp | Improvements in and relating to refractory protective sheaths for temperature-sensing devices |
| FR1569518A (fr) * | 1967-06-26 | 1969-05-30 | ||
| DE2411995A1 (de) * | 1973-04-20 | 1974-10-31 | Plansee Metallwerk | Vorrichtung zur temperaturmessung mittels thermoelementen |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| SOVIET INSTRUMENTATION AND CONTROL JOURNAL, no. 9, septembre 1971, pages 41-44; S.M. DUKARSKII et al.: "An improved method and equipment for measuring the temperature of iron discharged from a blast furnace" * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2676812A1 (fr) * | 1991-05-24 | 1992-11-27 | Thermo Controle | Dispositif pour mesurer la temperature dans une ambiance explosible. |
| EP1757915B1 (fr) * | 2005-08-24 | 2016-08-31 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Appareil pour la mesure de température dans du métal en fusion |
| WO2009146966A1 (fr) * | 2008-06-03 | 2009-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Capteur de température |
| CN106289551A (zh) * | 2016-08-30 | 2017-01-04 | 张子青 | 一种便于固定的热电偶结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2645959B1 (fr) | 1995-06-09 |
| JPH0648217B2 (ja) | 1994-06-22 |
| JPH01169329A (ja) | 1989-07-04 |
| US4984904A (en) | 1991-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2645959A1 (fr) | Appareil pour mesurer en continu la temperature de metal fondu et son procede de fabrication | |
| BE1001249A5 (fr) | Structure protectrice pour un pyrometre a immersion. | |
| JP5044202B2 (ja) | ヒータ、装置及び関連する方法 | |
| CA2749829C (fr) | Cable de transmission electrique a haute tension | |
| EP0290322B1 (fr) | Cartouche en matériaux composites pour dispositif d'élaboration de monocristaux | |
| CA2600274C (fr) | Procede ameliore de preparation de composites a matrice metallique et dispositif de mise en oeuvre d'un tel procede | |
| FR2904103A1 (fr) | Dispositif a ecoulement de chaleur | |
| FR2755384A1 (fr) | Enduit protecteur pour elements en materiau refractaire d'une lingotiere de coulee continue des metaux, et elements en materiau refractaire protege a l'aide de cet enduit | |
| FR2638450A1 (fr) | Articles ceramiques tubulaires, procedes et appareils pour leur fabrication | |
| EP3550687B1 (fr) | Accessoire pour cable a conductivite thermique amelioree | |
| FR2714730A1 (fr) | Sonde à détecteur d'oxygène pour chaudière. | |
| EP3241003A1 (fr) | Canne de mesure de temperature, a thermocouple facilement remplacable | |
| EP1491819A1 (fr) | Système de brûleur à combustion catalytique et flacon équipé d'un tel système | |
| EP0117230B1 (fr) | Sonde pour la mesure de la pression partielle de l'oxygène dans une atmosphère de gaz | |
| CA2651060C (fr) | Cuve d'electrolyse d'obtention d'aluminium | |
| FR2498503A1 (fr) | ||
| WO2016087549A1 (fr) | Creuset réutilisable pour la fabrication de matériau cristallin | |
| FR2546625A1 (fr) | Dispositif pour prelever des echantillons de metal liquide et/ou mesurer la temperature et/ou la teneur en oxygene et autres elements du metal liquide et son procede de fabrication | |
| FR2754128A1 (fr) | Dispositif de chauffage electrique, procede de fabrication et radiateur ainsi equipe | |
| EP0356361B1 (fr) | Procédé de fabrication d'un barreau isolant en nitrure de bore principalement utilisé dans des éléments chauffants protégés, et barreau ainsi obtenu | |
| FR2695716A1 (fr) | Tube de chauffage pour four industriel, four industriel et procédé de chauffage du four. | |
| FR2830472A1 (fr) | Procede pour realiser un tube de coulee | |
| FR2601695A1 (fr) | Bouchon pour appareil d'affinage | |
| FR2699038A1 (fr) | Canne thermoplongeante pour le chauffage électrique de produits fusibles et son application notamment à l'aluminium. | |
| EP1302262A1 (fr) | Procédé pour réaliser un tube de coulée |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |