JP6080451B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び熱電対支持体 - Google Patents
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Description
下記の特許文献1には、反応管とヒータを有する縦型熱処理装置において、処理炉の温度を検出するための熱電対を設置する技術が開示されている。
複数枚の基板を保持する基板保持具を収容し、前記基板保持具上に保持された基板を処理する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部に貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対と、
前記反応管内に収容された基板を処理するガスを、前記反応管内へ供給するガス供給部と、
前記反応管内からガスを排気する排気部と、
を備える基板処理装置。
複数枚の基板を保持する基板保持具を収容し、前記基板保持具上に保持された基板を処理する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部に貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対と、
前記反応管内に収容された基板を処理する処理ガスを、前記反応管内へ供給するガス供給部と、
前記反応管内からガスを排気する排気部と、
を備える基板処理装置を用いる半導体装置の製造方法であって、
前記複数枚の基板を保持する基板保持具を前記反応管内に収容する工程と、
前記加熱部により前記反応管内を加熱する工程と、
前記保護管内の前記絶縁管に挿通された前記熱電対を用いて温度を検出する温度検出工程と、
前記ガス供給部から前記反応管内へ前記処理ガスを供給する工程と、
前記温度検出工程で検出した温度に基づき、前記反応管内に収容された前記基板保持具上の複数枚の基板を処理する工程と、
前記排気部により前記反応管内からガスを排気する工程と、
を備える半導体装置の製造方法。
複数枚の基板を保持する基板保持具を収容し、前記基板保持具上に保持された基板を処理する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部に貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対と、
を備える基板処理装置を用いる温度検出方法であって、
前記加熱部により前記反応管内を加熱する工程と、
前記保護管内の前記絶縁管に挿通された前記熱電対を用いて温度を検出する温度検出工程と、
を備える温度検出方法。
本発明の第1実施形態として、半導体装置(IC等)の製造工程の1工程としての熱処理による基板処理工程を実施する基板処理装置の構成例について、図1を用いて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態における基板処理装置の斜透視図である。図1に示すように、第1実施形態に係る基板処理装置10は、筐体101を備え、シリコン等からなる基板であるウェハ200を筐体101内外へ搬送するために、ウェハキャリア(基板収容器)としてカセット(ポッド、FOUPとも言う)110が使用される。
筐体101内の前後方向における略中央部には、カセット棚114が設置されている。カセット棚114は、複数個のカセット110を保管する。カセット棚114の一部として、移載棚123が設けられ、移載棚123には、後述するウェハ移載機構112の搬送対象となるカセット110が収納される。
カセットステージ105とカセット棚114との間には、カセット搬送装置115が設置されている。カセット搬送装置115は、カセットステージ105、カセット棚114、移載棚123の間で、カセット110を搬送する。
処理炉202の下方には、ボート217を昇降させて処理炉202内外へ搬送する機構としてのボートエレベータ121が設置されている。ボートエレベータ121には、昇降台としてのアーム122が設置されている。アーム122上には、シールキャップ219が水平姿勢で設置されている。シールキャップ219は、ボート217を鉛直に支持するとともに、ボートエレベータ121によりボート217が上昇したときに、処理炉202の下端部を気密に閉塞する蓋体として機能するものである。ボート217の構成については後述する。
次に、第1実施形態における処理炉202の構成について、図2を用いて説明する。図2は、基板処理装置の処理炉の垂直断面図である。この実施形態においては、処理炉202は、バッチ式縦形ホットウオール形の熱処理炉として構成されている。
処理炉202は、その内側に、縦形の反応管222を備えている。反応管222は、上端が閉塞され下端が開口された略円筒形状をしており、開口された下端が下方を向くように、かつ、筒方向の中心線が鉛直になるように縦向きに配置されている。
反応管222内には、基板保持具としてのボート217によって水平姿勢で多段に積層された複数枚のウェハ200を収容して処理する処理室204が形成される。反応管222の内径は、ウェハ200群を保持するボート217の最大外径よりも大きくなるように設定されている。
反応管222は、本例では、石英(SiO2)や炭化シリコン(SiC)等の耐熱性の高い材料によって、略円筒形状に一体成形されている。
マニホールド206には、マニホールド206の下端開口を閉塞するシールキャップ219が、鉛直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ219は反応管222の外径と同等以上の外径を有する円盤形状に形成されており、反応管222の外部に鉛直に設備されたボートエレベータ121によって、前記円盤形状を水平姿勢に保った状態で鉛直方向に昇降されるように構成されている。
シールキャップ219上には、ウェハ200を保持する基板保持具としてのボート217が鉛直に支持されるようになっている。ボート217は、上下で一対の端板と、両端板間に渡って鉛直に設けられた複数本、本例では3本のウェハ保持部材(ボート支柱)とを備えている。端板及びウェハ保持部材は、例えば、石英(SiO2)や炭化珪素(SiC)等の耐熱性の高い材料から構成される。
ボート回転機構237及びボートエレベータ121は、制御部280に電気的に接続されている。制御部280は、ボート回転機構237及びボートエレベータ121が所望のタイミングにて所望の動作をするように制御する。
反応管222の外部には、反応管222内を全体にわたって均一または所定の温度分布に加熱する加熱部としてのヒータユニット208が、反応管222を包囲するように設けられている。ヒータユニット208は、基板処理装置10の筐体101に支持されることにより鉛直に据え付けられた状態になっており、例えば、カーボンヒータ等の抵抗加熱ヒータにより構成されている。
ガス供給系について、図2を用いて説明する。図2に示すように、処理室204内に処理ガスを供給するガスノズル224が、シールキャップ219を鉛直方向に貫通して設けられている。なお、ガスノズル224は、マニホールド206を水平方向に貫通するように設けてもよい。ガスノズル224には、処理ガス供給機構226が接続されている。処理ガス供給機構226は、上流から順に、処理ガスを供給する処理ガス供給源、流量制御装置としてのMFC(マスフローコントローラ)、及び開閉バルブを有する。主にガスノズル224から処理ガス供給部が構成される。なお、処理ガス供給機構226を処理ガス供給部に含めて考えることもできる。
処理ガス供給機構226のMFCや開閉バルブは、制御部280に電気的に接続されている。制御部280は、処理室204内に供給するガスの種類が所望のタイミングにて所望のガス種となるよう、また、供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるよう、MFC及び開閉バルブを制御する。
マニホールド206の側壁の一部には、処理室204内の雰囲気を排気する排気管231が接続されている。排気管231には、上流から順に、圧力検出器としての圧力センサ236、圧力調整器としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ232が設けられている。APCバルブ232の下流には、排気管233を介し、真空排気装置としての真空ポンプ234が接続されている。主に排気管231により、反応管222内からガスを排気する排気部が構成される。なお、APCバルブ232、真空ポンプ234を、排気部に含めて考えることもできる。
APCバルブ232および圧力センサ236は、制御部280に電気的に接続されている。制御部280は、処理室204内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、圧力センサ236により検出された圧力値に基づいてAPCバルブ232の開度を制御する。
制御部(コントローラ)280は、図示しない操作部や入出力部を備え、基板処理装置10の各構成部と電気的に接続されており、基板処理装置10の各構成部を制御する。制御部280は、成膜等のプロセスの制御シーケンスを時間軸で示したレシピに基づく温度制御や圧力制御、流量制御および機械駆動制御を指令する。
第1実施形態における温度検出装置の概略について、図3〜図5を参照しながら説明する。図3と図4は、第1実施形態における処理炉の垂直断面図である。図を解り易くするため、図3には、ヒータ熱電対とプロファイル熱電対を示すが、反応管熱電対の図示を省略している。また、図4には、ヒータ熱電対と反応管熱電対を示すが、プロファイル熱電対の図示を省略している。図5は、図4の処理炉の水平断面図である。
プロファイル熱電対52a〜52eは、基板処理装置10の準備状態において設置され、プロファイル補正値を取得する。そして、装置10の運用状態においては取り外される。
なお、ヒータ熱電対51a〜51eを用いずに反応管熱電対53a〜53eを用いて、反応管熱電対53a〜53eの計測温度と目標温度との誤差が小さくなるように、ヒータユニット208の発熱量を制御する構成とすることや、ヒータ熱電対51a〜51eとプロファイル熱電対52a〜52eを用いずに反応管熱電対53a〜53eを用いて、反応管熱電対53a〜53eの計測温度と目標温度との誤差が小さくなるように、ヒータユニット208の発熱量を制御する構成とすることも可能である。
反応管熱電対用保護管63a〜63eは、石英からなる断面が半円管状の保護管で、反応管222の外壁に鉛直方向に当接して、例えば溶接固定または鍵ピン等で機械的に固定され、反応管熱電対空間を構成して反応管222の一部とされ、その内部に反応管熱電対53a〜53eを収容するようになっている。反応管熱電対用保護管63a〜63e壁部の肉厚は、概ね反応管222と同じ厚さであり、例えば10mmである。なお、反応管熱電対用保護管63a〜63eは、断面が半円管状に限られるものではなく、反応管熱電対空間を構成できる形状であればよい。
図6の例では、熱電対素線21と熱電対素線22の上端を、熱電対素線支持部24において支持するようにしている。熱電対素線支持部24は、熱電対素線21,22を通すために絶縁管312に設けられた2つの貫通穴の間の壁部の上端312kであり、例えば、後述する図8のえぐり部310における2つの貫通穴の間の壁部の上端である。絶縁管312は、2つの貫通穴に通す熱電対素線21,22を電気的に絶縁する。
この構成により、熱膨張時において、熱電対素線21と熱電対素線22が自重で直線状を保つことができ、部分的に屈曲することや拘束力を受けることを抑制でき、その結果、熱電対素線21,22と絶縁管312との間に大きな摩擦力が発生することを抑制できる。
このように、熱電対接合部23の近傍において素線幅が穴幅よりも大きいので、熱電対素線21と熱電対素線22の外縁が、絶縁管32の上端において2つの貫通穴の円周部分に引っ掛かる、つまり、絶縁管32の上端面により支持される。
また、図7の例では、熱電対素線に膨らみ部を形成し、この膨らみ部により熱電対素線を絶縁管の上端で支持するようにしたが、熱電対接合部と絶縁管の上端面との間の熱電対素線に、熱電対素線21と熱電対素線22とが挿通されている2つの貫通穴により形成される穴幅よりも水平方向に長い被支持体を設けるよう構成することも可能である。この被支持体は、例えばアルミナ製の棒状物体を、熱電対素線21と熱電対素線22に接着剤で接着することにより構成できる。このようにしても、熱電対素線に膨らみ部を形成した構成と同様に、熱電対接合部にかかる力を低減できる。
また、熱電対素線に膨らみ部を形成するのではなく、2つの貫通穴の外縁を結ぶ最小長よりも、2つの熱電対素線間の間隔を小さくすることにより、熱電対素線を絶縁管の上端面で支持することも可能である。
また、2つの熱電対素線を捩じるあるいは撚ることにより、熱電対素線を絶縁管の上端面で支持することも可能である。この場合、2つの熱電対素線が電気的にショートしないよう、2つの熱電対素線間を絶縁する。
図8の例では、反応管熱電対支持体300は、反応管熱電対53と、えぐり部310を有する絶縁管312と、えぐり部310を覆うフタ304と、キャップ302と、スペーサ306とを備える。また、温度検出装置は、反応管熱電対支持体300と、反応管熱電対用保護管63と、反応管222とを備える。
図8(b),(c)に示すように、絶縁管312は、反応管熱電対53の2本の熱電対素線をそれぞれ挿通可能な内径の穴を少なくとも2穴以上、例えば2穴有するアルミナ製の円管である。
えぐり部310は、絶縁管312の中間位置を側面からえぐった部分であり、絶縁管312の内部の2穴を露出させ、この穴から反応管熱電対53の熱電対素線を挿通できるようにするとともに、反応管熱電対53の接合部23を内包できるような空間を持つ。
また、反応管熱電対用保護管63の下端部分には、リード部引出し窓318が備えられ、そこから熱電対リード部314を引き出すようになっている。
次に、本実施形態に係る基板処理動作を、ICの製造方法における成膜工程を例にして説明する。この基板処理動作は、コントローラ280により制御される。まず、ウェハチャージングステップにおいて、ウェハ200はボート217に装填される。複数枚のウェハ200は、ボート217におけるチャージング状態において、その中心を揃えられて互いに平行かつ水平、多段に積載され、整列されている。
次に、ボートローディングステップにおいて、複数枚のウェハ200を積載、保持したボート217は、処理室204に搬入(ボートローディング)される。続いて、減圧ステップにおいて、排気管231を介して真空ポンプ234により、反応管222の内部が所定の真空度に減圧されるとともに、昇温ステップにおいて、温度検出装置により測定した温度に基づき、ヒータユニット208により反応管222の内部が所定の温度に昇温される。
(A1)反応管外壁に当接させて反応管熱電対用保護管を設け、その中に反応管熱電対を配置したので、反応管熱電対の温度特性を、プロファイル熱電対の温度特性に近づけることができる。これにより、実運用時においてプロファイル熱電対を使用しない場合も、熱処理を開始するまでの待機時間を短くすることができる、あるいは、より正確な反応管内の温度計測が可能となる。
(A2)1本の絶縁管に2つの貫通穴を設け、該貫通穴に1対の反応管熱電対を挿通し、その絶縁管1本のみを1つの反応管熱電対用保護管内に配置したので、反応管熱電対用保護管の外径を小さくできる。これにより、反応管外壁に、つまり反応管とヒータユニットとの間の空間に反応管熱電対用保護管を設置することが容易となる。
(A3)絶縁管の上端にキャップを設け、該キャップの底面を反応管熱電対用保護管の上面で支持するようにしたので、絶縁管の交換が容易となり、反応管熱電対の清掃や交換等の保守作業を容易に行うことができる。
(A4)絶縁管のえぐり部内に反応管熱電対の接合部を収容し、えぐり部をフタで覆うようにしたので、接合部が反応管熱電対用保護管と接触して破損することを防止できる。
(A5)スペーサをえぐり部の下方に設け、スペーサの外径をえぐり部のフタの外径よりも大きく、かつ、反応管熱電対空間(反応管外壁と反応管熱電対用保護管で囲まれた空間)の内径よりも小さくしたので、反応管熱電対の接合部が反応管熱電対空間の水平断面の概ね中央に位置するように支持できると共に、振動等によってフタが反応管外壁や反応管熱電対用保護管の内壁に接触しないように保護できる。
次に、第2実施形態における反応管熱電対の構造を、図9と図10を用いて説明する。図9は、第2実施形態における処理炉と熱電対を示す図である。図10は、第2実施形態における反応管熱電対支持体の構造を示す図である。図10(a)は、第2実施形態における反応管熱電対支持体400の具体例の構成図であり、図10(b)は、後述するえぐり部410の正面図であり、図10(c)は、えぐり部410の側面図であり、図10(d)は、反応管熱電対支持体400の反応管222への取り付け概略を示す上面図である。なお、反応管及び反応管熱電対支持体以外の構成や基板処理動作は、第1実施形態と同じであるので説明を省略する。
図10(b),(c)に示すように、えぐり部410aは、絶縁管412の中間位置を側面からえぐった部分であり、絶縁管412の内部の2穴を露出させ、この穴から反応管熱電対53aの熱電対素線を挿通できるようにするとともに、反応管熱電対53aの接合部23を内包できるような空間を持つ。えぐり部410aのえぐり位置は、反応管熱電対53aに対応している。
えぐり部410eは、反応管熱電対53eに対応している。えぐり部410eは、410aと同様の構造である。えぐり部410aと410eは、絶縁管412の4穴のうち、それぞれ別の2穴を露出させて使用する。
また、反応管熱電対用保護管63の下端部分には、リード部引出し窓418(不図示)が備えられ、そこから熱電対リード部414を引き出すようになっている。
(B1)1本の絶縁管に4つの貫通穴を設け、該貫通穴に2対の反応管熱電対を挿通し、その1本の絶縁管を1つの反応管熱電対用保護管内に配置したので、絶縁管と反応管熱電対用保護管の数を第1実施形態よりも少なくすることができ、装置コストを低減できる。
(B2)キャップの側面に、反応管外壁と面接触する接触部を設けたので、反応管熱電対支持体の向きを固定することができ、熱電対リード部が絡まないようすることができる。
第3実施形態では、反応管熱電対用保護管63をその長手方向(鉛直方向)に分割し、さらに分割した各反応管熱電対用保護管63の肉厚をそれぞれ違う厚さとした。すなわち、各反応管熱電対53に対応するように反応管熱電対用保護管63を分離し、互いに離間させて設け、分離した各反応管熱電対用保護管63の肉厚をそれぞれ異なる厚さとした。なお、第3実施形態においても、反応管及び反応管熱電対支持体以外の構成や基板処理動作は、第1実施形態と同じであるので説明を省略する。
反応管熱電対用保護管63aは、反応管熱電対53aに対応している。反応管熱電対用保護管63aの材質や反応管222への取り付け方法は、第1実施形態の反応管熱電対用保護管63と同じ構成であるが、図11の反応管熱電対用保護管63aの長さは、上述したように、上下方向からの熱的影響を考慮した長さとした。但し、反応管222の上部は半球面となっているため、上方向は鉛直に設置できるまでの長さとした。また、反応管熱電対用保護管63aの壁部の厚さ(肉厚)は、プロファイル熱電対52aの計測温度の応答性が比較的早いので、反応管222の肉厚よりやや薄くしている。こうして、反応管熱電対用保護管63aの壁部の厚さを反応管222の肉厚と同じにした場合に比べて、反応管熱電対用保護管63aの熱容量を小さくしている。
反応管熱電対用保護管63b、63c、63dは、それぞれ反応管熱電対53b、53c、53dに対応し、反応管熱電対用保護管63aと同様の構成であるが、その厚さは、保護管63a<63b<63c<63d<63eとなるように反応管上部から反応管下部になるにつれて厚くなるように設けるのが好ましい。このようにすると、反応管熱電対用保護管63a、63b、63c、63d、63eの順に、熱容量を大きくすることができる。
第1,第2実施形態では、それぞれ、キャップ302,402により絶縁管312,412を支持したが、第3実施形態では、後述するように、絶縁管ストッパ516により絶縁管512を支持する。絶縁管ストッパ516は、例えばアルミナ製である。
また、反応管熱電対53eは、その接合部23がえぐり部510の内部空間にある。また、その熱電対素線を構成するプラス線とマイナス線が、その下方の絶縁管512の2穴(反応管熱電対53aを挿通する2穴とは別の2穴)にそれぞれ挿通され、絶縁管512の底面から、熱電対リード部514として引き出される構成になっている。
熱電対リード部514では、計4本のプラス線とマイナス線が接触しないように、それぞれ耐熱絶縁チューブで被覆されている。
このように構成した場合の保護管ホルダ36内における熱電対リード部514の状態を、図13と図14を用いて説明する。図13は、第3実施形態における熱電対リード部の状態を示す図である。図13(a)は、反応管熱電対用保護管63内に収容されている絶縁管512a,512b,512cを、処理炉202の中心から見た図である。図13(b)は、図13(a)を側面から見た垂直断面図である。図14は、図13のA−A部における水平断面図であり、図14(a)は絶縁管512aの断面、図14(b)は絶縁管512bの断面、図14(c)は絶縁管512cの断面である。図13と図14において、解り易くするため、反応管熱電対用保護管63、キャップ502、フタ504、スペーサ506等は図示を省略している。
また、図14(b)に示すように、絶縁管512bは、断面が円形で4つの穴が貫通しており、その4つの穴に、反応管熱電対53b用の熱電対素線21b,22bと反応管熱電対53d用の熱電対素線21d,22dが挿通し収容されるようになっている。
また、図14(c)に示すように、絶縁管512cは、断面が円形で4つの穴が貫通しており、そのうち2つの穴に、反応管熱電対53c用の熱電対素線21c,22cが挿通し収容されるようになっている。
なお、図13(b)では、熱電対素線21aのみを示しているが、熱電対素線22a,21e,22eや、絶縁管512b内の熱電対素線21b,22b,21d,22dや、絶縁管512c内の熱電対素線21c,22cについても、熱電対素線21aと同様であるので、以下、熱電対素線21aについて説明する。
絶縁管ストッパ516aは、絶縁管512aの底部をバッファエリア38より高い位置、つまり、素線保持部35の一端35aより高い位置で支持する。これにより、バッファエリアを広くすることがより容易になる。
絶縁管ストッパ516aは、内部が鉛直方向に貫通されており、この貫通穴により絶縁管512a下端からの熱電対素線21aをバッファエリア38に導くようになっている。これにより、熱電対素線が鉛直方向に直線状を保つことが容易となり、絶縁管ストッパから受ける拘束力を抑制できる。
図13(b)では、バッファエリア38内において、熱処理前後の待機状態(500℃)における熱電対素線21aを実線で、熱処理中のプロセス状態(1200℃)における熱電対素線21aを破線で示している。
また、絶縁管512の線膨張係数は、熱電対素線21,22の線膨張係数よりも小さいものを採用しており、熱膨張に伴う熱電対接合部23の位置、つまり温度測定位置の変化を従来よりも小さくすることができる。例えば、絶縁管512の線膨張係数は8.1×10−4/℃であり、熱電対素線21の線膨張係数は10.2×10−4/℃であり、熱電対素線22の線膨張係数は10.6×10−4/℃である。
(C1)反応管熱電対用保護管を、反応管熱電対の接合部に対応させて、互いに分離し、離間させて設けたので、反応管熱電対用保護管の材料(例えば石英)を節減できる。
(C2)分離した各反応管熱電対用保護管の肉厚を互いに異ならせるようにしたので、各反応管熱電対用保護管の熱量量を互いに異ならせることができ、各反応管熱電対用保護管内に配置する反応管熱電対の温度特性を、プロファイル熱電対の温度特性、つまり熱処理炉内の温度特性に近づけることが可能となる。
(C3)分離した各反応管熱電対用保護管のうち、最上部にある反応管熱電対用保護管の肉厚を、最下部にある反応管熱電対用保護管の肉厚よりも薄くしたので、最上部と最下部にある反応管熱電対の温度特性を、最上部と最下部にあるプロファイル熱電対の温度特性に近づけることができる。
(C4)分離した各反応管熱電対用保護管の位置が、上部から下部へ移るに連れて、各反応管熱電対用保護管の肉厚を、次第に厚くするようにしたので、各反応管熱電対の温度特性を、プロファイル熱電対の温度特性に近づけることができる。
(C5)分離した2つの反応管熱電対用保護管を、同一鉛直線上に配置したので、2対の反応管熱電対を挿通した1本の絶縁管を、該同一鉛直線上に配置した2つの反応管熱電対用保護管内に配置することができる。これにより、使用する絶縁管数を節減できるとともに、2つの反応管熱電対用保護管の間に切れ目ができるので反応管熱電対の設置が容易になる。
(C6)絶縁管の上端のキャップ内に、反応管熱電対の接合部を配置し、絶縁管を絶縁管ストッパで支持するようにしたので、反応管熱電対用保護管上端付近の温度計測が可能となる。
(C7)絶縁管下方にバッファエリアを設けたので、反応管熱電対素線の断線を抑制できる。
前述の第3実施形態では、1本の絶縁管512に反応管熱電対53を2対まとめて配置する構成としたが、1本の絶縁管512に反応管熱電対53を1対のみ配置する構成とすることもでき、これを第4実施形態とする。すなわち、第4実施形態においても、第3実施形態と同様に、各反応管熱電対53に対応するように反応管熱電対用保護管63を分離し、互いに離間させて設け、分離した各反応管熱電対用保護管63の肉厚をそれぞれ異なる厚さ、つまり異なる熱容量とする。そして、第3実施形態の図11に示す反応管熱電対用保護管63c,63e、絶縁管512c、反応管熱電対53cのような構成を、反応管熱電対53の接合部23の高さ位置を変えて、反応管222の外壁上に並列に5組設ける。つまり、第4実施形態では、反応管熱電対53をそれぞれ1対配置された5本の絶縁管512が、反応管222の外壁上に並列かつ鉛直方向に配置された5対の反応管熱電対用保護管63内に収容される。
なお、第4実施形態において、上述した反応管及び反応管熱電対支持体以外の構成や基板処理動作は、第3実施形態と同じであるので説明を省略する。
(D1)第4実施形態における絶縁管512は2穴あれば十分であるので、その外径が小さくなり、それによって反応管熱電対空間を小さくでき、その結果、反応管熱電対用保護管63の外径が小さくなって、反応管熱電対用保護管や反応管熱電対支持体を設けるためのスペースの確保が容易となる。
このように、反応管の外壁に当接させて設けた反応管熱電対用保護管の内部に反応管熱電対が設置されるので、反応管熱電対の計測温度の温度応答性能をプロファイル熱電対のそれと同じように設定することができる。
上述した第3実施形態や第4実施形態では、分割された反応管熱電対用保護管63の厚さを互いに異ならせるように構成したが、第1実施形態や第2実施形態の分割されていない反応管熱電対用保護管63においても、反応管熱電対53の接合部23が存在する付近における反応管熱電対用保護管63の厚さを互いに異ならせるように構成してもよいし、全ての実施形態における反応管熱電対用保護管の材質を熱容量の異なる材質で構成してもよい。
また、上述した第3実施形態や第4実施形態では、2対となる反応管熱電対の組み合わせ方を図面に記載されている反応管熱電対53aと53e、53bと53d、という組み合わせ方を記載したが、他の組合せとなる反応管熱電対の組み合わせ方であっても良い。
また、本発明は、半導体製造装置だけでなく、LCD製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、CVD、PVD、酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、露光処理、リソグラフィ、塗布処理等であってもよい。
本発明の一態様によれば、
複数枚の基板を保持する基板保持具を収容し、前記基板保持具上に保持された基板を処理する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部に貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対と、
前記反応管内に収容された基板を処理するガスを、前記反応管内へ供給するガス供給部と、
前記反応管内からガスを排気する排気部と、
を備える基板処理装置が提供される。
付記1の基板処理装置において、好ましくは、
前記保護管は、前記反応管外壁に設置される位置に応じて、当該保護管の壁部の肉厚が異なるよう構成される。
なお、この保護管は、1つであっても複数であってもよい。
付記2の基板処理装置において、好ましくは、
前記保護管は、前記反応管外壁に複数、鉛直方向に分離して設置されるよう構成される。
付記3の基板処理装置において、好ましくは、
前記複数の保護管は、最上部に設置される保護管の壁部の肉厚が、最下部に設置される保護管の壁部の肉厚よりも薄くなるよう構成される。
付記1ないし付記4の基板処理装置において、好ましくは、
前記絶縁管は、前記貫通穴を4つ以上有し、該貫通穴に2対分の前記熱電対の熱電対素線が挿通されるよう構成される。
付記1ないし付記5の基板処理装置において、好ましくは、
前記絶縁管の上端には、前記絶縁管の水平方向の外径よりも大きい外径を有するキャップが設けられ、該キャップの底面を前記保護管の上面で支持することにより、前記絶縁管が前記保護管で支持されるよう構成される。
付記6の基板処理装置において、好ましくは、
前記キャップは、その側面に、前記反応管外壁と接触して、前記絶縁管の水平方向の回転を防止するための接触部を有するよう構成される。
付記1ないし付記7の基板処理装置において、好ましくは、
前記絶縁管は、前記熱電対接合部を収容するえぐり部を有し、
前記絶縁管の前記えぐり部の位置には、前記えぐり部を覆う蓋が設けられ、
前記絶縁管の前記えぐり部の下方又は上方の位置には、前記蓋の水平方向の外径よりも大きい外径を有するスペーサが設けられるよう構成される。
付記1ないし付記8の基板処理装置において、好ましくは、
前記絶縁管の下方に設けられた空間であって、前記絶縁管の下端から出た前記熱電対素線が熱膨張したときに拘束されることを抑制するバッファエリアを有するよう構成される。
付記1の基板処理装置において、好ましくは、
前記保護管は、前記反応管外壁に設置される位置に応じて、当該保護管の熱容量が異なるよう構成される。
付記1の基板処理装置において、好ましくは、
前記加熱部近傍に配置され当該加熱部の温度を検出するための加熱部熱電対を有するよう構成される。
本発明の他の態様によれば、
複数枚の基板を保持する基板保持具を収容し、前記基板保持具上に保持された基板を処理する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部に貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対と、
前記反応管内に収容された基板を処理する処理ガスを、前記反応管内へ供給するガス供給部と、
前記反応管内からガスを排気する排気部と、
を備える基板処理装置を用いる半導体装置の製造方法であって、
前記複数枚の基板を保持する基板保持具を前記反応管内に収容する工程と、
前記加熱部により前記反応管内を加熱する工程と、
前記保護管内の前記絶縁管に挿通された前記熱電対を用いて温度を検出する温度検出工程と、
前記ガス供給部から前記反応管内へ前記処理ガスを供給する工程と、
前記排気部により前記反応管内からガスを排気する工程と、
前記温度検出工程で検出した温度に基づき、前記反応管内に収容された前記基板保持具上の複数枚の基板を処理する工程と、
を備える半導体装置の製造方法が提供される。
本発明の他の態様によれば、
複数枚の基板を保持する基板保持具を収容し、前記基板保持具上に保持された基板を処理する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部に貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対と、
を備える基板処理装置を用いる温度検出方法であって、
前記加熱部により前記反応管内を加熱する工程と、
前記保護管内の前記絶縁管に挿通された前記熱電対を用いて温度を検出する温度検出工程と、
を備える温度検出方法が提供される。
本発明の他の態様によれば、
柱形状であって、該柱形状の内部を長手方向に貫く貫通穴を有する絶縁管と、
上端に熱電対接合部を有し熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された熱電対とを備え、
前記絶縁管は、前記熱電対接合部を収容するえぐり部を有し、前記えぐり部の位置には、前記えぐり部を覆う蓋が設けられ、前記えぐり部の下方又は上方の位置には、前記蓋の水平方向の外径よりも大きい外径を有するスペーサが設けられる熱電対支持体が提供される。
付記14の熱電対支持体において、好ましくは、
前記絶縁管は、前記貫通穴を4つ以上有し、該貫通穴に2対分の前記熱電対の熱電対素線が挿通されるよう構成される。
付記14又は付記15の熱電対支持体において、好ましくは、
前記絶縁管の上端には、前記絶縁管の水平方向の外径よりも大きい外径を有するキャップが設けられるよう構成される。
付記16の熱電対支持体において、好ましくは、
前記キャップは、その側面に平坦部を有するよう構成される。
Claims (11)
- 基板を保持する基板保持具を収容する反応管と、
前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、
前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、
前記保護管内に配置され、内部を長手方向に貫く貫通穴を有する1本の絶縁管と、
上端に第1の熱電対素線と第2の熱電対素線を接合する第1の熱電対接合部を有し、前記第1の熱電対素線と前記第2の熱電対素線が前記貫通穴に挿通された第1の熱電対と、を備え、
前記絶縁管は、前記絶縁管の長手方向における中間位置をえぐって形成され前記第1の熱電対接合部を収容するえぐり部をさらに有する基板処理装置。 - 前記絶縁管は、前記貫通穴とは別に、前記絶縁管の内部を長手方向に貫く他の貫通穴を備え、
上端に第3の熱電対素線と第4の熱電対素線を接合する第2の熱電対接合部を有し、前記第3の熱電対素線と前記第4の熱電対素線が前記他の貫通穴に挿通された第2の熱電対を備え、
前記絶縁管の上端に前記第2の熱電対接合部を収容する請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記えぐり部の位置には、前記えぐり部を覆う蓋が設けられる請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記えぐり部の下方又は上方の位置には、前記蓋の水平方向の外径よりも大きい外径を有するスペーサが設けられる請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記絶縁管の下方に設けられた空間であって、前記絶縁管の下端から出た前記第1の熱電対素線及び前記第2の熱電対素線が熱膨張したときに拘束されることを抑制するバッファエリアを有する請求項1から4のいずれか1つに記載の基板処理装置。
- 前記絶縁管の上端には、前記絶縁管の水平方向の外径よりも大きい外径を有するキャップが設けられ、該キャップの底面を前記保護管の上面で支持することにより、前記絶縁管が前記保護管で支持されるよう構成される請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記保護管は、前記反応管外壁に設置される位置に応じて、当該保護管の熱容量が異なるように構成される請求項1から6のいずれか1つに記載の基板処理装置。
- 基板を保持する基板保持具を収容する反応管と、前記反応管の外部に設置され、前記反応管内を加熱する加熱部と、前記反応管外壁に当接して設置された保護管と、前記保護管内に配置され、内部を長手方向に貫く貫通穴を有する1本の絶縁管と、上端に第1の熱電対素線と第2の熱電対素線を接合する第1の熱電対接合部を有し、前記第1の熱電対素線と前記第2の熱電対素線が前記貫通穴に挿通された第1の熱電対と、を備え、前記絶縁管は、前記絶縁管の長手方向における中間位置をえぐって形成され前記第1の熱電対接合部を収容するえぐり部をさらに有する基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記基板保持具を前記反応管内に収容する工程と、
前記第1の熱電対によって計測された温度を基に前記加熱部を加熱制御して、前記基板に半導体装置を形成する工程と、
を備える半導体装置の製造方法。 - 内部を長手方向に貫く貫通穴を有する1本の絶縁管と、
上端に第1の熱電対素線と第2の熱電対素線を接合する第1の熱電対接合部を有し、前記第1の熱電対素線と前記第2の熱電対素線が前記絶縁管の貫通穴に挿通された第1の熱電対とを備え、
前記絶縁管は、前記絶縁管の長手方向における中間位置をえぐって形成され前記第1の熱電対接合部を収容するえぐり部を有する熱電対支持体。 - 前記絶縁管は、前記貫通穴とは別に、前記絶縁管の内部を長手方向に貫く他の貫通穴を備え、
上端に第3の熱電対素線と第4の熱電対素線を接合する第2の熱電対接合部を有し、前記第3の熱電対素線と前記第4の熱電対素線が前記他の貫通穴に挿通された第2の熱電対を備え、
前記絶縁管の上端に前記第2の熱電対接合部を収容する請求項9に記載の熱電対支持体。 - 前記絶縁管において、前記えぐり部の位置には、前記えぐり部を覆う蓋が設けられ、前記えぐり部の下方又は上方の位置には、前記蓋の水平方向の外径よりも大きい外径を有するスペーサが設けられる請求項9に記載の熱電対支持体。
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